JP2018113408A - 基板保持装置および基板検査装置 - Google Patents

Abstract

【課題】製造コストの高騰を招くことなく各種の基板を保持可能とする。【解決手段】凹部が形成された先端部材３２を備えて基板１００Ａの隅部Ｃａを凹部に挿入可能に位置決めされた当接部１３ａと、直線状の溝部が形成された先端部材４２を備えて隅部Ｃｂを溝部に挿入可能に押圧機構１４ｂに取り付けられた当接部１３ｂと、部材３２を備えて隅部Ｃｃを凹部に挿入可能に押圧機構１４ｃに取り付けられた当接部１３ｃとを備え、当接部１３ａは凹部の中心が仮想基準面内に位置するように位置決めされ、機構１４ｂは、溝部の幅方向の中心が基準面内に位置すると共に、溝部の延在方向が矢印Ａ１，Ａ２の向きと交差し、かつ基準面と平行になるように取り付けられた当接部１３ｂを矢印Ａ１，Ａ２の向きに移動可能に構成され、機構１４ｃは、凹部の中心が基準面内に位置するように取り付けられた当接部１３ｃを矢印Ｂ１，Ｂ２の向きに移動可能に構成されている。【選択図】図２

Description

本発明は、基板を保持可能に構成された基板保持装置、および基板保持装置によって保持した状態の基板を検査可能に構成された基板検査装置に関するものである。

出願人は、検査対象の基板を保持する基板保持装置を備えた基板検査装置の発明を下記の特許文献に開示している。出願人が開示している基板検査装置１ｘ（以下、出願人が開示している基板検査装置や、その検査対象の基板に関する構成要素については、特許文献において使用している符号の末尾に「ｘ」を付して説明する）は、基板保持装置２ｘ、プロービング装置３ａｘ，３ｂｘおよび処理部４ｘ等を備え、基板保持装置２ｘによって保持した状態の基板１００ｘに各プローブユニット４１ａｘ，４１ｂｘのプローブ４２ｘ，４２ｘ・・をプロービングさせて電気的に検査する構成が採用されている。

また、基板保持装置２ｘは、基板１００ｘの４つの隅部１０５ａｘ〜１０５ｄｘにそれぞれ当接させられる当接部１２ａｘ〜１２ｄｘが取り付けられた押圧機構１３ａｘ〜１３ｄｘが矩形状の本体部１１ｘに取り付けられて構成されている。この場合、この基板保持装置２ｘでは、各当接部１２ａｘ〜１２ｄｘにおける先端部材２２ｘ（基板１００ｘに当接させられる部材）の端面に開口部２３ｘ（開口形状が円形の凹部）がそれぞれ形成されており、この開口部２３ｘ内に基板１００ｘの各隅部１０５ａｘ〜１０５ｄｘを挿入させた状態で各当接部１２ａｘ〜１２ｄｘに各隅部１０５ａｘ〜１０５ｄｘを押圧させて基板１００ｘを保持する構成が採用されている。

具体的には、この基板保持装置２ｘでは、押圧機構１３ａｘが、開口部２３ｘに隅部１０５ａｘを挿入させた状態の当接部１２ａｘを基板１００ｘの中心部１０１ｘに向かって移動させて当接部１２ａｘに隅部１０５ａｘを押圧させ、押圧機構１３ｂｘが、開口部２３ｘに隅部１０５ｂｘを挿入させた状態の当接部１２ｂｘを中心部１０１ｘに向かって移動させて当接部１２ｂｘに隅部１０５ｂｘを押圧させ、押圧機構１３ｃｘが、開口部２３ｘに隅部１０５ｃｘを挿入させた状態の当接部１２ｃｘを中心部１０１ｘに向かって移動させて当接部１２ｃｘに隅部１０５ｃｘを押圧させ、かつ押圧機構１３ｄｘが、開口部２３ｘに隅部１０５ｄｘを挿入させた状態の当接部１２ｄｘを中心部１０１ｘに向かって移動させて当接部１２ｄｘに隅部１０５ｄｘを押圧させることによって基板１００ｘを保持する構成が採用されている。

特開２０１５−１６２５６４号公報（第５−１０頁、第１−１４図）

ところが、出願人が開示している基板検査装置１ｘにおける基板保持装置２ｘの構成には、以下のような改善すべき課題がある。具体的には、出願人が開示している基板保持装置２ｘでは、各押圧機構１３ａｘ〜１３ｄｘが基板１００ｘの４つの隅部１０５ａｘ〜１０５ｄｘに各当接部１２ａｘ〜１２ｄｘを当接させて基板１００ｘの中心部１０１ｘに向かってそれぞれ押圧させることで基板１００ｘを保持する構成が採用されている。このため、出願人が開示している基板保持装置２ｘでは、各当接部１２ａｘ〜１２ｄｘを移動させるための４つの押圧機構１３ａｘ〜１３ｄｘが必要となっており、これに起因して、その製造コストの低減が困難となっている。また、出願人が開示している基板保持装置２ｘでは、４つの押圧機構１３ａｘ〜１３ｄｘを制御して４つの当接部１２ａｘ〜１２ｄｘをそれぞれ移動させる制御が煩雑となっている。

一方、出願人は、上記の改善すべき課題に鑑みて基板保持装置２ｘの構成を改良して、図１１に示す基板保持装置２Ａｘを試作した。出願人が試作した基板保持装置２Ａｘでは、基板１００ｘの隅部１０５ｄｘを押圧するための当接部１２ｄｘおよび押圧機構１３ｄｘを設けずに、３つの各押圧機構１３ａｘ〜１３ｃｘが基板１００ｘの３つの隅部１０５ａｘ〜１０５ｃｘに各当接部１２ａｘ〜１２ｃｘを当接させて基板１００ｘの中心部１０１ｘに向かってそれぞれ押圧させることで基板１００ｘを保持する構成が採用されている。

この場合、上記の基板保持装置２ｘ，２Ａｘでは、前述したように、先端部材２２ｘの開口部２３ｘに基板１００ｘの各隅部を挿入させた状態でこれを押圧する構成が採用されている。このため、基板保持装置２ｘのように４つの隅部１０５ａｘ〜１０５ｄｘを押圧しなくても、基板保持装置２Ａｘのように、３つの隅部１０５ａｘ〜１０５ｃｘを押圧するだけで基板１００ｘを好適に保持できることが確認された。したがって、基板保持装置２Ａｘのように、３つの押圧機構１３ａｘ〜１３ｃｘを制御して基板１００ｘを保持する構成を採用することにより、当接部１２ｄｘや押圧機構１３ｄｘ等が不要となる分だけ製造コストの低減を図ることが可能となり、また、基板１００ｘを保持する際の制御が容易となった。

この場合、この種の装置を使用した検査対象の基板には、その大きさや形状が異なる各種の基板が存在する。具体的には、図１１に示すように、上記の基板１００ｘよりも小さい平面視正方形状の基板１００Ｂｘ、および上記の基板１００ｘよりも大きい平面視正方形状の基板（図示せず）や、平面視長方形状の基板１００Ｃｘなどが存在する。一方、出願人が試作した基板保持装置２Ａｘでは、所定の大きさで平面視正方形状の基板１００ｘの検査（保持）を想定して、各当接部１２ａｘ〜１２ｃｘを基板１００ｘの中心部１０１ｘに向かって移動可能に各押圧機構１３ａｘ〜１３ｃｘが配置されて本体部１１ｘに取り付けられている。

したがって、基板保持装置２Ａｘによって基板１００Ｂｘを保持するには、押圧機構１３ａｘ〜１３ｃｘを同図に破線で示す位置に配置可能な本体部１１ｘを新たに用意したり、押圧機構１３ａｘ〜１３ｃｘを同図に破線で示す位置に移動可能な移動機構を増設したりする必要がある。また、基板保持装置２Ａｘによって基板１００Ｃｘを保持するには、押圧機構１３ｂｘ，１３ｃｘを同図に一点鎖線で示す位置に配置可能な本体部１１ｘを新たに用意したり、押圧機構１３ｂｘ，１３ｃｘを同図に一点鎖線で示す位置に移動可能な移動機構を増設したりする必要がある。

このため、基板保持装置２Ａｘの構成では、大きさや形状が異なる各種の基板を検査するために本体部１１ｘを新たに製作したり、押圧機構１３ａｘ〜１３ｃｘ等を移動させる移動機構を増設したりしなくてはならない分だけ、その製造コストの低減が困難となるおそれがある。したがって、この点を改善するのが好ましい。

本発明は、かかる改善すべき課題に鑑みてなされたものであり、製造コストの高騰を招くことなく各種の基板を保持可能な基板保持装置および基板検査装置を提供することを主目的とする。

上記目的を達成すべく、請求項１記載の基板保持装置は、基板の被当接部に当接させられる当接部、および当該被当接部に当該当接部を当接させて当該被当接部を押圧させる押圧機構を備えて当該基板を保持可能に構成された基板保持装置であって、一端面に凹部が形成された凹部形成部材を備えて前記基板における複数の隅部のうちの第１の隅部を前記被当接部として当該凹部に挿入可能に位置決めされた第１の当接部と、一端面に直線状の溝部が形成された溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第２の隅部を前記被当接部として当該溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第１の押圧機構に取り付けられた第２の当接部と、一端面に凹部が形成された凹部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部および前記第２の隅部とは異なる第３の隅部を前記被当接部として当該凹部に挿入可能に前記押圧機構としての第２の押圧機構に取り付けられた第３の当接部とを前記当接部として備え、前記第１の当接部は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が予め規定された仮想基準面内に位置するように位置決めされ、前記第１の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第１の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第２の当接部を当該第１の方向に沿って移動可能に構成され、前記第２の押圧機構は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が前記仮想基準面内に位置するように取り付けられた前記第３の当接部を前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第２の方向に沿って移動可能に構成されている。

また、請求項２記載の基板保持装置は、基板の被当接部に当接させられる当接部、および当該被当接部に当該当接部を当接させて当該被当接部を押圧させる押圧機構を備えて当該基板を保持可能に構成された基板保持装置であって、一端面に凹部が形成された凹部形成部材を備えて前記基板における複数の隅部のうちの第１の隅部を前記被当接部として当該凹部に挿入可能に位置決めされた第１の当接部と、一端面に直線状の溝部が形成された溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第２の隅部を前記被当接部として当該溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第１の押圧機構に取り付けられた第２の当接部と、一端面に直線状の溝部が形成された溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部および前記第２の隅部とは異なる第３の隅部を前記被当接部として当該溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第２の押圧機構に取り付けられた第４の当接部とを前記当接部として備え、前記第１の当接部は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が予め規定された仮想基準面内に位置するように位置決めされ、前記第１の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第１の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第２の当接部を当該第１の方向に沿って移動可能に構成され、前記第２の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第２の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第４の当接部を当該第２の方向に沿って移動可能に構成されている。

さらに、請求項３記載の基板保持装置は、請求項１または２記載の基板保持装置において、前記凹部形成部材には、開口部が円形の前記凹部が形成されている。

また、請求項４記載の基板保持装置は、請求項１から３のいずれかに記載の基板保持装置において、前記凹部形成部材には、前記凹部の中心部に向かって当該凹部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面が当該凹部内に形成されている。

さらに、請求項５記載の基板保持装置は、請求項１から４のいずれかに記載の基板保持装置において、前記溝部形成部材には、前記溝部における幅方向の中心部に向かって当該溝部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面が当該溝部内に形成されている。

また、請求項６記載の基板保持装置は、請求項１から５のいずれかに記載の基板保持装置において、前記凹部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第３の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第４の隅部を前記被当接部として前記凹部に挿入可能に前記押圧機構としての第３の押圧機構に取り付けられた第５の当接部を前記当接部としてさらに備え、前記第３の押圧機構は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が前記仮想基準面内に位置するように取り付けられた前記第５の当接部を前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第３の方向に沿って移動可能に構成されている。

また、請求項７記載の基板保持装置は、請求項１から５のいずれかに記載の基板保持装置において、前記溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第３の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第４の隅部を前記被当接部として前記溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第３の押圧機構に取り付けられた第６の当接部を前記当接部としてさらに備え、前記第３の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第３の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第６の当接部を当該第３の方向に沿って移動可能に構成されている。

さらに、請求項８記載の基板保持装置は、請求項１から７のいずれかに記載の基板保持装置において、前記押圧機構の動作を制御する制御部を備え、前記制御部は、前記押圧機構を制御して前記基板の前記被当接部に前記当接部を当接させて当該被当接部を押圧させることによって当該基板を保持する保持処理を実行する。

また、請求項９記載の基板保持装置は、請求項８記載の基板保持装置において、前記基板を移動させる基板移動機構を備え、前記制御部は、前記基板移動機構を制御して予め規定された保持位置に前記基板を移動させる基板移動処理を実行した後に、前記保持位置に位置させられている前記基板を前記保持処理において保持させる。

さらに、請求項１０記載の基板保持装置は、請求項９記載の基板保持装置において、前記基板の位置を検出する検出部を備え、前記制御部は、前記検出部の検出結果に基づいて前記基板移動処理を実行する。

また、請求項１１記載の基板検査装置は、請求項１から１０のいずれかに記載の基板保持装置と、前記基板保持装置によって保持されている前記基板に対して検査用プローブをプロービングさせるプロービング装置と、前記基板にプロービングさせられた前記検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部を備えている。

請求項１記載の基板保持装置では、基板の第１の隅部を凹部形成部材の凹部に挿入可能に位置決めされた第１の当接部と、基板の第２の隅部を溝部形成部材の溝部に挿入可能に第１の押圧機構に取り付けられた第２の当接部と、基板の第３の隅部を凹部形成部材の凹部に挿入可能に第２の押圧機構に取り付けられた第３の当接部とを備え、第１の当接部が、凹部形成部材における凹部の中心が仮想基準面内に位置するように位置決めされ、第１の押圧機構が、溝部形成部材の溝部における幅方向の中心が仮想基準面内に位置すると共に、溝部の延在方向が第１の当接部における凹部形成部材に対して接離する第１の方向と交差し、かつ仮想基準面と平行になるよう第２の当接部を第１の方向に沿って移動可能に構成され、第２の押圧機構が、凹部形成部材における凹部の中心が仮想基準面内に位置するように取り付けられた第３の当接部を第１の当接部における凹部形成部材に対して接離する第２の方向に沿って移動可能に構成されている。また、請求項１１記載の基板検査装置１は、上記の基板保持装置と、基板に対して検査用プローブをプロービングさせるプロービング装置と、検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板を検査する検査部とを備えている。

したがって、請求項１記載の基板保持装置、および請求項１１記載の基板検査装置によれば、出願人が試作した基板保持装置２Ａｘ等と同様にして、プロービング装置によるプロービングを妨げることなく基板保持装置によって基板を好適に保持することができるだけでなく、第１の押圧機構によって第２の当接部を第１の方向に移動させ、かつ第２の押圧機構によって第３の当接部を第２の方向に移動させるだけで、大きさや形状が異なる各種の基板に各当接部を好適に当接させて押圧させることができるため、保持する基板の大きさや形状に応じて各押圧機構を固定可能な新たなベース部（基台）の製作や、保持する基板の大きさや形状に応じて各押圧機構等を移動させるための移動機構の増設を不要とし、各種の基板を保持可能な基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置の製造コストを十分に低減することができる。

請求項２記載の基板保持装置では、基板の第１の隅部を凹部形成部材の凹部に挿入可能に位置決めされた第１の当接部と、基板の第２の隅部を溝部形成部材の溝部に挿入可能に第１の押圧機構に取り付けられた第２の当接部と、基板の第３の隅部を溝部形成部材の溝部に挿入可能に第２の押圧機構に取り付けられた第４の当接部とを備え、第１の当接部が、凹部形成部材における凹部の中心が仮想基準面内に位置するように位置決めされ、第１の押圧機構が、溝部形成部材の溝部における幅方向の中心が仮想基準面内に位置すると共に、溝部の延在方向が第１の当接部における凹部形成部材に対して接離する第１の方向と交差し、かつ仮想基準面と平行になるよう第２の当接部を第１の方向に沿って移動可能に構成され、第２の押圧機構が、溝部形成部材の溝部における幅方向の中心が仮想基準面内に位置すると共に、溝部の延在方向が第１の当接部における凹部形成部材に対して接離する第２の方向と交差し、かつ仮想基準面と平行になるように取り付けられた第４の当接部を第２の方向に沿って移動可能に構成されている。また、請求項１１記載の基板検査装置１は、上記の基板保持装置と、基板に対して検査用プローブをプロービングさせるプロービング装置と、検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて基板を検査する検査部とを備えている。

したがって、請求項２記載の基板保持装置、および請求項１１記載の基板検査装置によれば、出願人が試作した基板保持装置２Ａｘ等と同様にして、プロービング装置によるプロービングを妨げることなく基板保持装置によって基板を好適に保持することができるだけでなく、第１の押圧機構によって第２の当接部を第１の方向に移動させ、かつ第２の押圧機構によって第４の当接部を第２の方向に移動させるだけで、大きさや形状が異なる各種の基板に各当接部を好適に当接させて押圧させることができるため、保持する基板の大きさや形状に応じて各押圧機構を固定可能な新たなベース部（基台）の製作や、保持する基板の大きさや形状に応じて各押圧機構等を移動させるための移動機構の増設を不要とし、各種の基板を保持可能な基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置の製造コストを十分に低減することができる。

請求項３記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、開口部が円形の凹部を凹部形成部材に形成したことにより、凹部内に第１の隅部等をスムーズに挿入させることができるため、第１の隅部等を凹部の内面または縁部に対して確実に当接させて第１の隅部等を確実に押圧させることができる。これにより、第１の隅部等の上下左右方向への移動を防止することができる結果、基板を安定的に保持することができる。

請求項４記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、凹部の中心に向かって凹部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面を凹部形成部材の凹部内に形成したことにより、テーパ面によって第１の隅部等を凹部内に向けて案内させて、凹部内に第１の隅部等をスムーズに挿入させることができる。

請求項５記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、溝部における幅方向の中心に向かって溝部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面を溝部形成部材の溝部内に形成したことにより、テーパ面によって第２の隅部等を溝部内に向けて案内させて、溝部内に第２の隅部等をスムーズに挿入させることができる。

請求項６記載の基板保持装置では、基板の第４の隅部を凹部形成部材の凹部に挿入可能に第３の押圧機構に取り付けられた第５の当接部をさらに備え、第３の押圧機構が、凹部形成部材における凹部の中心が仮想基準面内に位置するように取り付けられた第５の当接部を第１の当接部における凹部形成部材に対して接離する第３の方向に沿って移動可能に構成されている。また、請求項７記載の基板保持装置では、基板の第４の隅部を溝部形成部材の溝部に挿入可能に第３の押圧機構に取り付けられた第６の当接部をさらに備え、第３の押圧機構が、溝部形成部材の溝部における幅方向の中心が仮想基準面内に位置すると共に、溝部の延在方向が第１の当接部における凹部形成部材に対して接離する第３の方向と交差し、かつ仮想基準面と平行になるように取り付けられた第６の当接部を第３の方向に沿って移動可能に構成されている。

したがって、請求項６，７記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、３つの当接部だけで基板を保持する構成と比較して、４つの当接部によって保持することで、基板保持装置による基板の保持が意図せずに解除されることを好適に回避することができる。

請求項８記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、制御部が、押圧機構を制御して基板に当接部を当接させて被当接部（隅部）を押圧させることによって基板を保持する保持処理を実行することにより、基板を保持する作業を自動化することができるため、その作業時間を充分に短縮することができる。

請求項９記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、制御部が、基板移動機構を制御して予め規定された保持位置に基板を移動させる基板移動処理を実行した後に、保持位置に位置させられている基板を保持処理において保持させることにより、基板を保持位置まで搬送する作業を含めて自動化することができるため、その作業時間をさらに短縮することができる。

請求項１０記載の基板保持装置、およびそのような基板保持装置を備えた基板検査装置によれば、制御部が、検出部の検出結果に基づいて基板移動処理を実行することにより、確実に基板を保持位置に位置させることができるため、基板保持装置による基板の保持不良を好適に回避することができる。

基板検査装置１の構成を示す構成図である。 基板１００Ａを保持している状態の基板保持装置２の平面図である。 先端部材３２，４２の外観斜視図である。 先端部材３２，４２を垂直方向に切断した断面図である。 基板１００を保持している状態の先端部材３２，４２を垂直方向に切断した断面図である。 基板１００を保持している状態の先端部材３２，４２を水平方向に切断した断面図である。 基板１００Ｂを保持している状態の基板保持装置２の平面図である。 基板１００Ｃを保持している状態の基板保持装置２の平面図である。 基板１００Ａを保持している状態の基板保持装置２Ａの平面図である。 先端部材３２ａ，４２ａを垂直方向に切断した断面図である。 出願人が試作した基板保持装置２Ａｘによる基板の保持方法について説明するための説明図である。

以下、基板保持装置および基板検査装置の実施の形態について、添付図面を参照して説明する。

最初に、「基板検査装置」の一例としての基板検査装置１の構成について説明する。図１に示す基板検査装置１は、前述した特許文献において出願人が開示した基板検査装置１ｘと同様にして、検査対象の基板１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ（図２，７，８参照：以下、区別しないときには「基板１００」ともいう）などを電気的に検査可能に構成されている。具体的には、基板検査装置１は、基板保持装置２、プロービング装置３ａ，３ｂおよび処理部４を備えて構成されている。

この場合、基板１００は、「基板」の一例であって、一例として、電子部品等が実装されていないベアボードで構成されている。なお、基板１００は、図２，７，８に示すように、隅部Ｃａ〜Ｃｄの４つの隅部を備えた平面視方形状（平面視四角形状）に形成されている。この場合、本例では、各基板１００における隅部Ｃａが「被当接部」としての「第１の隅部」に相当し、隅部Ｃｂが「被当接部」としての「第２の隅部」に相当し、隅部Ｃｃが「被当接部」としての「第３の隅部」に相当し、かつ隅部Ｃｄが「被当接部」としての「第４の隅部」に相当するものとして、以下に説明する。

一方、基板保持装置２は、「基板保持装置」の一例であって、図１，２に示すように、ベース部１０、移動機構１１、検出部１２、当接部１３ａ〜１３ｃおよび押圧機構１４ｂ，１４ｃを備えると共に、後述するように、処理部４が「制御部」として機能して移動機構１１や各押圧機構１４ｂ，１４ｃを制御する構成が採用されている。ベース部１０は、検出部１２、当接部１３ａおよび押圧機構１４ｂ，１４ｃ等を取り付けるための基体であって、図２，７，８に示すように、その中央部には、保持状態における基板１００の他面Ｆ１００ｂ（図５参照）に対するプロービングを可能とするために平面視方形状の開口部１０ａが形成されている。

移動機構１１は、「基板移動機構」の一例であって、図示しない吸着機構を備え、処理部４の制御に従い、基板検査装置１に対して供給すべき基板１００が載置されている供給位置（検査対象の基板１００が載置されている位置）とベース部１０上の検査位置（保持位置）との間、および検査位置（保持位置）と検査を完了した基板１００を保管する保管位置との間で基板１００を吸着して搬送することができるように構成されている。検出部１２は、「検出部」の一例であるレーザ変位計であって、一例として、ベース部１０における開口部１０ａの口縁部に設置されている。この検出部１２は、移動機構１１によって搬送される基板１００の位置を検出して検出信号を処理部４に出力する。

当接部１３ａは、「当接部」としての「第１の当接部」の一例であって、図２に示すように、固定部３０および先端部材３２を備えて基板１００の隅部Ｃａを「被当接部」として押圧可能にベース部１０に固定されている（「位置決めされ」との構成の一例）。この場合、先端部材３２は、「凹部形成部材」に相当し、図３，４に示すように、先端側（基板１００に当接させられる側）が小径で基端側（固定部３０等に固定される側）が大径の円柱状に形成されている。

また、先端部材３２における先端面Ｆ３２（「一端面」の一例）には、開口部の形状が円形で、かつ先端面Ｆ３２と直交する切断面の形状がＶ字状の凹部３５（「凹部」の一例）が形成されている。この場合、凹部３５は、中心（図４における一点鎖線Ｌ３５の位置）に向かって奥側ほど狭くなるようにテーパ面Ｆ３５が形成されると共に、基板１００の隅部Ｃａ等を挿入可能な大きさに形成されている。また、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、凹部３５におけるテーパ面Ｆ３５の傾斜角θ３５ａ，θ３５ｂが４５°よりも大きな角度（一例として、５０°）となるように凹部３５が形成され、これにより、テーパ面Ｆ３５における凹部３５の中心を挟んで対向する部位の交差角θ３５が９０°よりも大きな角度（一例として、１００°：隅部Ｃａ等の角度である直角よりも大きな角度の一例）となっている。

この当接部１３ａは、図５に示すように、先端部材３２に形成された凹部３５の中心が予め規定された仮想基準面Ｆ０内に位置するように位置決めされている。なお、仮想基準面Ｆ０は、「仮想基準面」に相当し、一例として、基板保持装置２によって正常な姿勢で保持位置に保持された状態の基板１００における一面Ｆ１００ａおよび他面Ｆ１００ｂと平行で、一面Ｆ１００ａおよび他面Ｆ１００ｂの中間に位置する面が仮想基準面Ｆ０として規定されている。

当接部１３ｂは、「当接部」としての「第２の当接部」の一例であって、図２に示すように、押圧機構１４ｂに取り付けられるスライダ４１、および「溝部形成部材」に相当する先端部材４２を備えて基板１００の隅部Ｃｂを「被当接部」として押圧可能に押圧機構１４ｂに取り付けられている。また、図３，４に示すように、先端部材４２における先端面Ｆ４２（「一端面」の一例）には、スライダ４１を介して押圧機構１４ｂに取り付けられた状態において上記の仮想基準面Ｆ０と平行になる直線状で、かつ先端面Ｆ４２と直交する切断面の形状がＶ字状の溝部４５（「溝部」の一例）が形成されている。また、溝部４５は、その幅方向の中心（図４における一点鎖線Ｌ４５の位置）に向かって奥側ほど狭くなるようにテーパ面Ｆ４５ａ，Ｆ４５ｂが形成されると共に、基板１００の隅部Ｃｂ等を挿入可能な大きさに形成されている。

この場合、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、溝部４５におけるテーパ面Ｆ４５ａの傾斜角θ４５ａ、およびテーパ面Ｆ４５ｂの傾斜角θ４５ｂが４５°よりも大きな角度（一例として、５０°）となるように溝部４５が形成され、これにより、テーパ面Ｆ４５ａ，Ｆ４５ｂの交差角θ４５が９０°よりも大きな角度（一例として、１００°）となっている。この当接部１３ｂは、図５に示すように、先端部材４２に形成された溝部４５の幅方向における中心が予め規定された仮想基準面Ｆ０内に位置するように押圧機構１４ｂに取り付けられている。

当接部１３ｃは、「当接部」としての「第３の当接部」の一例であって、図２に示すように、押圧機構１４ｃに取り付けられるスライダ３１、および「凹部形成部材」に相当する先端部材３２を備えて基板１００の隅部Ｃｃを「被当接部」として押圧可能に押圧機構１４ｃに取り付けられている。この場合、当接部１３ｃの先端部材３２は、当接部１３ａの先端部材３２と同様にして、基板１００の隅部Ｃｃを挿入可能に凹部３５が先端面Ｆ３２に形成されている。また、この当接部１３ｃは、図５に示すように、先端部材３２に形成された凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置するように押圧機構１４ｃに取り付けられている。

押圧機構１４ｂは、「押圧機構」としての「第１の押圧機構」の一例であって、図２に示すように、当接部１３ｂのスライダ４１を取付け可能なレール２１ｂと、レール２１ｂに対して当接部１３ｂ（スライダ４１）をスライドさせることで当接部１３ｂを矢印Ａ１，Ａ２の向き（「第１の方向」の一例）に移動させる図示しない動力源とを備えている。この場合、レール２１ｂは、当接部１３ｂの先端部材４２の溝部４５における幅方向の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、溝部４５の延在方向が、当接部１３ａにおける先端部材３２に対して当接部１３ｂが接離する矢印Ａ１，Ａ２の向きと交差し、かつ仮想基準面Ｆ０と平行になるように当接部１３ｂを取付け可能にベース部１０に固定されている。

押圧機構１４ｃは、「押圧機構」としての「第２の押圧機構」の一例であって、当接部１３ｃのスライダ３１を取付け可能なレール２１ｃと、レール２１ｃに対して当接部１３ｃ（スライダ３１）をスライドさせることで当接部１３ｃを矢印Ｂ１，Ｂ２の向き（「第２の方向」の一例）に移動させる図示しない動力源とを備えている。この場合、レール２１ｃは、当接部１３ｃの先端部材３２における凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、当接部１３ａにおける先端部材３２に対して当接部１３ｃが接離する矢印Ｂ１，Ｂ２の向きに当接部１３ｃを移動させることができるようにベース部１０に固定されている。

一方、プロービング装置３ａは、「プロービング装置」の一例であって、処理部４の制御に従い、基板保持装置２によって支持されている基板１００の一面Ｆ１００ａ（図５参照）にプローブユニット５０ａ（図１参照）の各プローブ５１（「検査用プローブ」の一例）をプロービングさせる処理を実行する。また、プロービング装置３ｂは、「プロービング装置」の他の一例であって、処理部４の制御に従い、基板保持装置２によって支持されている基板１００の他面Ｆ１００ｂ（図５参照）にプローブユニット５０ｂ（図１参照）の各プローブ５１（「検査用プローブ」の他の一例）をプロービングさせる処理を実行する。

この場合、プローブユニット５０ａは、基板１００の一面Ｆ１００ａに形成されている複数の被接触部（検査ポイント）に対してプロービング可能に各プローブ５１が配置されている。また、プローブユニット５０ｂは、基板１００の他面Ｆ１００ｂに形成されている複数の被接触部（検査ポイント）に対してプロービング可能に各プローブ５１が配置されている。

処理部４は、基板検査装置１を総括的に制御する。この処理部４は、前述したように、基板保持装置２の「制御部」として機能して移動機構１１や当接部１３ｂ，１３ｃを制御する。具体的には、処理部４は、検出部１２からの検出信号（「検出部の検出結果」の一例）に基づいて基板１００の位置を特定しつつ移動機構１１を制御することにより、予め規定された検査位置（保持位置）に基板１００を搬入させる（「基板移動処理」の一例）。

また、処理部４は、押圧機構１４ｂを制御して基板１００の隅部Ｃｂに当接部１３ｂの先端部材４２を当接させて隅部Ｃｂを押圧させると共に、当接部１３ｂによる隅部Ｃｂの押圧によって基板１００の隅部Ｃｂを当接部１３ａの先端部材３２に当接させて先端部材３２に隅部Ｃａを押圧させ、かつ押圧機構１４ｃを制御して基板１００の隅部Ｃｃに当接部１３ｃの先端部材３２を当接させて隅部Ｃｃを押圧させることによって基板１００を検査位置（保持位置）保持させる（「保持処理」の一例）。

さらに、処理部４は、プロービング装置３ａを制御してプローブユニット５０ａの各プローブ５１を基板１００の一面Ｆ１００ａにプロービングさせると共に、プロービング装置３ｂを制御してプローブユニット５０ｂの各プローブ５１を基板１００の他面Ｆ１００ｂにプロービングさせる。また、処理部４は、「検査部」として機能してプローブユニット５０ａ，５０ｂの各プローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００の良否を電気的に検査する。さらに、処理部４は、押圧機構１４ｂ，１４ｃを制御して、検査を完了した基板１００の保持を解除させると共に、移動機構１１を制御して検査位置（保持位置）から基板１００を搬出させる。

次に、基板検査装置１を用いて基板１００を検査する検査方法（基板保持装置２による基板１００の保持方法）について、添付図面を参照して説明する。

例えば、図２に示す基板１００Ａを検査する際には、まず、図示しない操作部を操作して、検査対象の「基板」が基板１００Ａであることを指示する。この指示操作により、保持すべき「基板」の各隅部Ｃａ〜Ｃｄ等の位置が記録された検査データが図示しない記憶部から読み出され、後述する「保持処理」に際して処理部４が各押圧機構１４ｂ，１４ｃ等をどのように制御すべきかが特定される。

次いで、操作部の操作によって検査の開始を指示されたときに、処理部４は、まず、押圧機構１４ｂを制御して図２に示す矢印Ａ２の向きでレール２１ｂに対してスライダ４１をスライドさせることで当接部１３ｂの先端部材４２をベース部１０の開口部１０ａ上から待避させると共に、押圧機構１４ｃを制御して矢印Ｂ２の向きでレール２１ｃに対してスライダ３１をスライドさせることで当接部１３ｃの先端部材３２をベース部１０の開口部１０ａ上から待避させる。これにより、３つの「当接部」のうちのベース部１０に固定されている当接部１３ａの先端部材３２だけが開口部１０ａ上に位置した状態となる。

次いで、処理部４は、移動機構１１を制御して基板１００Ａを検査位置（保持位置）に搬入させる。具体的には、処理部４は、移動機構１１を制御して、供給位置に載置されている基板１００Ａを吸着させた後に、基板保持装置２のベース部１０における開口部１０ａの上方に搬送させる。次いで、処理部４は、検出部１２からの検出信号に基づいて基板１００Ａの位置を特定しつつ、移動機構１１を制御して基板１００Ａの隅部Ｃａが当接部１３ａにおける先端部材３２の凹部３５内に挿入されるように基板１００Ａを移動させる。これにより、基板１００Ａが検査位置（保持位置）に位置した状態となる。

続いて、処理部４は、押圧機構１４ｂ，１４ｃを制御して基板１００Ａを保持させる（「保持処理」の実行）。具体的には、処理部４は、まず、押圧機構１４ｂを制御して図２に示す矢印Ａ１の向きでレール２１ｂに対してスライダ４１をスライドさせることにより、先端部材４２の溝部４５内に基板１００Ａの隅部Ｃｂが挿入されるように当接部１３ｂを移動させる。この際には、図５，６に示すように、基板１００Ａにおける隅部Ｃｂの一面Ｆ１００ａ側の角Ｐｂａが溝部４５内のテーパ面Ｆ４５ａに点的に当接すると共に、基板１００Ａにおける隅部Ｃｂの他面Ｆ１００ｂ側の角Ｐｂｂが溝部４５内のテーパ面Ｆ４５ｂに点的に当接する。この状態で当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きにさらに移動させられることにより、先端部材４２（溝部４５のテーパ面Ｆ４５ａ，Ｆ４５ｂ）によって基板１００Ａの隅部Ｃｂ（角Ｐｂａ，Ｐｂｂ）が押圧される。

この場合、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、当接部１３ｂにおける先端部材４２の溝部４５内に、溝部４５の奥側ほど溝幅が狭くなるようにテーパ面Ｆ４５ａ，Ｆ４５ｂが形成されている。したがって、上記の例とは異なるが、例えば、基板１００Ａの隅部Ｃｂが本来の検査位置（保持位置）よりもやや上側に位置している状態で「保持処理」が開始され、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられたときに角Ｐｂｂがテーパ面Ｆ４５ｂに接触せずに角Ｐｂａがテーパ面Ｆ４５ａに接触した状態となったときには、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられたときに、テーパ面Ｆ４５ａの案内に従って基板１００Ａの隅部Ｃｂが下方に移動させられる結果、角Ｐｂｂがテーパ面Ｆ４５ｂに接触した状態となる。

同様にして、基板１００Ａの隅部Ｃｂが本来の検査位置（保持位置）よりもやや下側に位置している状態で「保持処理」が開始され、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられたときに角Ｐｂａがテーパ面Ｆ４５ａに接触せずに角Ｐｂｂがテーパ面Ｆ４５ｂに接触した状態となったときには、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられたときに、テーパ面Ｆ４５ｂの案内に従って基板１００Ａの隅部Ｃｂが上方に移動させられる結果、角Ｐｂａがテーパ面Ｆ４５ａに接触した状態となる。これにより、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、基板１００Ａの厚み方向の中心と、当接部１３ｂの先端部材４２における溝部４５の幅方向の中心（一点鎖線Ｌ４５の位置）とが確実に一致した状態となる。

また、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられて基板１００Ａの隅部Ｃｂが矢印Ａ１の向きで押圧されることにより、基板１００Ａが当接部１３ｂと共に矢印Ａ１の向きに移動させられる。この際には、図５，６に示すように、当接部１３ｂと対向する位置に配置されている当接部１３ａの先端部材３２における凹部３５のテーパ面Ｆ３５に基板１００Ａにおける隅部Ｃａの一面Ｆ１００ａ側の角Ｐａａおよび他面Ｆ１００ｂ側の角Ｐａｂが点的に当接した状態で、先端部材３２（凹部３５のテーパ面Ｆ３５）によって基板１００Ａの隅部Ｃａ（角Ｐａａ，Ｐａｂ）が押圧される。

この場合、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、当接部１３ａにおける先端部材３２の凹部３５に、凹部３５の奥側ほど狭くなるようにテーパ面Ｆ３５が形成されている。したがって、上記の例とは異なるが、例えば、基板１００Ａの隅部Ｃａが本来の検査位置（保持位置）よりもやや上側に位置している状態で「保持処理」が開始され、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられて基板１００Ａが矢印Ａ１の向きに移動したときに角Ｐａａだけがテーパ面Ｆ３５に接触した状態となったときには、基板１００Ａが当接部１３ｂと共に矢印Ａ１の向きに移動させられたときに、テーパ面Ｆ３５の案内に従って基板１００Ａの隅部Ｃａが下方に移動させられる結果、角Ｐａｂもテーパ面Ｆ３５に接触した状態となる。

同様にして、基板１００Ａの隅部Ｃａが本来の検査位置（保持位置）よりもやや下側に位置している状態で「保持処理」が開始され、当接部１３ｂが矢印Ａ１の向きに移動させられて基板１００Ａが矢印Ａ１の向きに移動したときに角Ｐａｂだけがテーパ面Ｆ３５に接触した状態となったときには、基板１００Ａが当接部１３ｂと共に矢印Ａ１の向きに移動させられたときに、テーパ面Ｆ３５の案内に従って基板１００Ａの隅部Ｃａが上方に移動させられる結果、角Ｐａａもテーパ面Ｆ３５に接触した状態となる。これにより、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、基板１００Ａの厚み方向の中心と、当接部１３ａの先端部材３２における凹部３５の中心（一点鎖線Ｌ３５の位置）とが確実に一致した状態となる。

また、処理部４は、押圧機構１４ｂについての上記の制御と並行して押圧機構１４ｃを制御して図２に示す矢印Ｂ１の向きでレール２１ｃに対してスライダ３１をスライドさせることにより、先端部材３２の凹部３５内に基板１００Ａの隅部Ｃｃが挿入されるように当接部１３ｃを移動させる。この際には、図５，６に示すように、基板１００Ａにおける隅部Ｃｃの一面Ｆ１００ａ側の角Ｐｃａ、および他面Ｆ１００ｂ側の角Ｐｃｂが凹部３５内のテーパ面Ｆ３５に点的に当接する。この状態で当接部１３ｃが矢印Ｂ１の向きにさらに移動させられることにより、先端部材３２（凹部３５のテーパ面Ｆ３５）によって基板１００Ａの隅部Ｃｃ（角Ｐｃａ，Ｐｃｂ）が押圧される。

この場合、本例の基板保持装置２（基板検査装置１）では、当接部１３ｃにおける先端部材３２の凹部３５内に、凹部３５の奥側ほど溝幅が狭くなるようにテーパ面Ｆ３５が形成されている。したがって、当接部１３ａについて説明したように、基板１００Ａの厚み方向の中心と、当接部１３ｃの先端部材３２における凹部３５の幅方向の中心（一点鎖線Ｌ３５の位置）とが確実に一致した状態となる。以上により、基板１００Ａの隅部Ｃａ〜Ｃｃが当接部１３ａ〜１３ｃによって押圧されて基板１００Ａが基板保持装置２によって保持された状態となる。

次いで、処理部４は、移動機構１１を制御して基板１００Ａの吸着を解除させると共に、プロービング装置３ａ，３ｂを制御して、プロービング処理を実行させる。このプロービング処理では、プロービング装置３ａがプローブユニット５０ａを下向きに移動（下降）させて、基板１００Ａの一面Ｆ１００ａ上のプロービングポイントにプローブユニット５０ａの各プローブ５１をプロービングさせる。また、プロービング装置３ｂがプローブユニット５０ｂを上向きに移動（上昇）させて、基板１００Ａの他面Ｆ１００ｂ上のプロービングポイントにプローブユニット５０ｂの各プローブ５１をプロービングさせる。

この際に、この基板保持装置２では、当接部１３ａ，１３ｃの先端部材３２に形成されている凹部３５内に基板１００Ａの隅部Ｃａ，Ｃｂが挿入されると共に、当接部１３ｂの先端部材４２に形成されている溝部４５内に基板１００Ａの隅部Ｃｂが挿入された状態で基板１００Ａが検査位置（保持位置）に保持されている。したがって、図２に示すように、基板保持装置２が基板１００Ａを保持するために一面Ｆ１００ａや他面Ｆ１００ｂを覆い隠す面積、すなわち、基板保持装置２がプロービングを阻害する領域が十分に狭くなっている。これにより、基板１００Ａの一面Ｆ１００ａおよび他面Ｆ１００ｂの十分に広い領域にプローブ５１を好適にプロービングさせることが可能となっている。

続いて、処理部４は、検査処理を実行する。この検査処理では、処理部４は、各プローブユニット５０ａ，５０ｂの各プローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００Ａについての電気的検査（例えば、導体パターンの導通状態の検査や、導体パターン間の絶縁状態の検査）を行う。これにより、基板保持装置２によって保持されている基板１００Ａの良否が検査される。

次いで、検査処理を完了したときに、処理部４は、プロービング装置３ａ，３ｂを制御してプローブユニット５０ａ，５０ｂを検査位置から待避させた後に、移動機構１１を制御して基板１００Ａを吸着させ、押圧機構１４ｂ，１４ｃを制御して基板１００Ａの保持を解除させる。具体的には、押圧機構１４ｂを制御して図２に示す矢印Ａ２の向きでレール２１ｂに対してスライダ４１をスライドさせることで当接部１３ｂの先端部材４２をベース部１０の開口部１０ａ上から待避させると共に、押圧機構１４ｃを制御して矢印Ｂ２の向きでレール２１ｃに対してスライダ３１をスライドさせることで当接部１３ｃの先端部材３２をベース部１０の開口部１０ａ上から待避させる。これにより、移動機構１１によって吸着された状態の基板１００Ａの基板保持装置２による保持が解除される。続いて、処理部４は、移動機構１１を制御して、基板１００Ａを保管位置に移動させた後に吸着を解除させる。以上により基板１００Ａの検査が終了する。

一方、この基板検査装置１（基板保持装置２）では、上記の基板１００Ａとは大きさや形状が異なる基板１００を保持して検査することができる。例えば、図７に示す基板１００Ｂは、基板１００Ａと同じ形状の平面視正方形であるものの、その大きさが基板１００Ａよりも小さく形成されている。また、図８に示す基板１００Ｃは、基板１００Ａとは異なり、平面視長方形に形成されている。

このような基板１００Ｂ，１００Ｃを検査対象とするときには、前述した基板１００Ａの検査時と同様にして、図示しない操作部を操作して、検査対象の「基板」が基板１００Ｂまたは基板１００Ｃであることを指示する。この指示操作により、保持すべき「基板」の各隅部Ｃａ〜Ｃｄ等の位置が記録された検査データが図示しない記憶部から読み出され、「保持処理」に際して処理部４が各押圧機構１４ｂ，１４ｃ等をどのように制御すべきかが特定される。なお、基板１００Ａとは異なる基板１００（基板１００Ｂ．１００Ｃ等）の検査に際しては、検査対象の基板１００に応じたプローブユニット５０ａ，５０ｂをプロービング装置３ａ，３ｂに取り付ける作業が行われるが、基板検査装置１（基板保持装置２）についての理解を容易とするために、これらの作業についての詳細な説明を省略する。

この後、上記の基板１００Ａを対象とする一連の処理と同様にして基板１００Ｂまたは基板１００Ｃが移動機構１１によって検査位置（保持位置）に搬入された後に、図７，８に示すように、基板保持装置２によって保持される。なお、基板保持装置２による基板１００Ｂ，１００Ｃの保持処理については、上記の基板１００Ａを対象とする保持処理と同様の処理が行なわれるため、詳細な説明を省略する。この後、プロービング装置３ａ，３ｂおよび処理部４によって電気的に検査された基板１００Ｂまたは基板１００Ｃが移動機構１１によって保管位置に搬出され、これらを対象とする検査が完了する。

このように、この基板保持装置２では、基板１００の隅部Ｃａを先端部材３２の凹部３５に挿入可能に位置決めされた当接部１３ａと、基板１００の隅部Ｃｂを先端部材４２の溝部４５に挿入可能に押圧機構１４ｂに取り付けられた当接部１３ｂと、基板１００の隅部Ｃｃを先端部材３２の凹部３５に挿入可能に押圧機構１４ｃに取り付けられた当接部１３ｃとを備え、当接部１３ａが、先端部材３２における凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置するように位置決めされ、押圧機構１４ｂが、先端部材４２の溝部４５における幅方向の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、溝部４５の延在方向が当接部１３ａにおける先端部材３２に対して接離する「第１の方向（図２における矢印Ａ１，Ａ２の向き）」と交差し、かつ仮想基準面Ｆ０と平行になるよう当接部１３ｂを「第１の方向」に沿って移動可能に構成され、押圧機構１４ｃが、先端部材３２における凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置するように取り付けられた当接部１３ｃを当接部１３ａにおける先端部材３２に対して接離する「第２の方向（図２における矢印Ｂ１，Ｂ２の向き）」に沿って移動可能に構成されている。また、この基板検査装置１１は、上記の基板保持装置２と、基板１００に対して各プローブ５１をプロービングさせるプロービング装置３ａ，３ｂと、各プローブ５１を介して入出力する電気信号に基づいて基板１００を検査する「検査部（本例では、処理部４）」とを備えている。

したがって、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、出願人が試作した基板保持装置２Ａｘ等と同様にして、プロービング装置３ａ，３ｂによるプロービングを妨げることなく基板保持装置２によって基板１００を好適に保持することができるだけでなく、押圧機構１４ｂによって当接部１３ｂを矢印Ａ１，Ａ２の向きに移動させ、かつ押圧機構１４ｃによって当接部１３ｃを矢印Ｂ１，Ｂ２の向きに移動させるだけで、大きさや形状が異なる各種の基板に当接部１３ａ〜１３ｃを好適に当接させて押圧させることができるため、保持する基板１００の大きさや形状に応じて押圧機構１４ｂ，１４ｃ等を固定可能な新たなベース部１０の製作や、保持する基板１００の大きさや形状に応じて押圧機構１４ｂ，１４ｃ等を移動させるための移動機構の増設を不要とし、各種の基板１００を保持可能な基板保持装置２、および基板保持装置２を備えた基板検査装置１の製造コストを十分に低減することができる。

また、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、開口部が円形の凹部３５を先端部材３２に形成したことにより、凹部３５内に隅部Ｃａ等をスムーズに挿入させることができるため、隅部Ｃａ等を凹部３５の内面または縁部（本例では、テーパ面Ｆ３５）に対して確実に当接させて隅部Ｃａ等を確実に押圧させることができる。これにより、隅部Ｃａ等の上下左右方向への移動を防止することができる結果、基板１００を安定的に保持することができる。

さらに、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、凹部３５の中心に向かって凹部３５の奥側ほど狭くなるようにテーパ面Ｆ３５を先端部材３２の凹部３５内に形成したことにより、テーパ面Ｆ３５によって隅部Ｃａ等を凹部３５内に向けて案内させて、凹部３５内に隅部Ｃａ等をスムーズに挿入させることができる。

さらに、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、溝部４５における幅方向の中心に向かって溝部４５の奥側ほど狭くなるようにテーパ面Ｆ４５ａ，Ｆ４５ｂを先端部材４２の溝部４５内に形成したことにより、テーパ面Ｆ４５ａ，Ｆ４５ｂによって隅部Ｃｂ等を溝部４５内に向けて案内させて、溝部４５内に隅部Ｃｂ等をスムーズに挿入させることができる。

また、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、処理部４が、押圧機構１４ｂ，１４ｃを制御して基板１００に当接部１３ａ〜１３ｃを当接させて各隅部Ｃａ〜Ｃｃを押圧させることによって基板１００を保持する「保持処理」を実行することにより、基板１００を保持する作業を自動化することができるため、その作業時間を充分に短縮することができる。

さらに、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、処理部４が、移動機構１１を制御して予め規定された「保持位置」に基板１００を移動させる「基板移動処理」を実行した後に、「保持位置」に位置させられている基板１００を「保持処理」において保持させることにより、基板１００を保持位置まで搬送する作業を含めて自動化することができるため、その作業時間をさらに短縮することができる。

また、この基板保持装置２および基板検査装置１によれば、処理部４が、検出部１２の検出結果に基づいて「基板移動処理」を実行することにより、確実に基板１００を保持位置に位置させることができるため、基板保持装置２による基板１００の保持不良を好適に回避することができる。

なお、「基板保持装置」および「基板検査装置」の構成は、上記の基板保持装置２および基板検査装置１の構成の例に限定されない。例えば、当接部１３ａ〜１３ｃによって基板１００の隅部Ｃａ〜Ｃｃの３箇所を押圧して保持する構成の基板保持装置２を例に挙げて説明したが、図９に示す基板保持装置２Ａのように、当接部１３ａ〜１３ｄによって基板１００の隅部Ｃａ〜Ｃｄの４箇所を押圧して保持する構成を採用することもできる。なお、この基板保持装置２Ａにおいて前述した基板保持装置２と同様の機能を有する構成要素については、同一の符号を付して重複する説明を省略する。

この場合、この基板保持装置２Ａにおける当接部１３ｄは、「当接部」としての「第５の当接部」の一例であって、押圧機構１４ｄに取り付けられるスライダ３１、および「凹部形成部材」に相当する先端部材３２を備えて基板１００の隅部Ｃｄを「被当接部」として押圧可能に押圧機構１４ｄに取り付けられている。この当接部１３ｄは、前述した基板保持装置２における当接部１３ａ，１３ｃと同様にして、先端部材３２に形成された凹部３５の中心が予め規定された仮想基準面Ｆ０内に位置するように押圧機構１４ｄに取り付けられている。

また、押圧機構１４ｄは、「押圧機構」としての「第３の押圧機構」の一例であって、当接部１３ｄのスライダ３１を取付け可能なレール２１ｄと、レール２１ｄに対して当接部１３ｄ（スライダ３１）をスライドさせることで当接部１３ｄを矢印Ｃ１，Ｃ２の向き（「第３の方向」の一例）に移動させる図示しない動力源とを備えている。この場合、レール２１ｄは、当接部１３ｄの先端部材３２における凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、当接部１３ａにおける先端部材３２に対して当接部１３ｄが接離する矢印Ｃ１，Ｃ２の向きに当接部１３ｄを移動させることができるようにベース部１０に固定されている。

この基板保持装置２Ａによる基板１００の保持処理に際しては、前述した基板保持装置２による基板１００の保持処理の動作に加え、処理部４が、押圧機構１４ｄを制御して当接部１３ｄを基板１００の隅部Ｃｄに当接させて押圧する処理が行なわれる。具体的には、処理部４は、押圧機構１４ｂ，１４ｃについての前述した制御と並行して押圧機構１４ｄを制御して矢印Ｃ１の向きでレール２１ｄに対してスライダ３１をスライドさせることにより、先端部材３２の凹部３５内に基板１００の隅部Ｃｄが挿入されるように当接部１３ｄを移動させる。この際には、基板１００における隅部Ｃｄの一面Ｆ１００ａ側の角、および他面Ｆ１００ｂ側の角が凹部３５内のテーパ面Ｆ３５に点的に当接する。この状態で当接部１３ｄが矢印Ｃ１の向きにさらに移動させられることにより、先端部材３２（凹部３５のテーパ面Ｆ３５）によって基板１００の隅部Ｃｄが押圧される。

この場合、本例の基板保持装置２Ａでは、当接部１３ｄにおける先端部材３２の凹部３５内に、凹部３５の奥側ほど溝幅が狭くなるようにテーパ面Ｆ３５が形成されている。したがって、基板保持装置２の当接部１３ａ，１３ｃについて説明したように、基板１００の厚み方向の中心と、当接部１３ｄの先端部材３２における凹部３５の幅方向の中心とが確実に一致した状態となる。以上により、基板１００の隅部Ｃａ〜Ｃｃが当接部１３ａ〜１３ｄによって押圧されて基板１００が基板保持装置２Ａによって保持された状態となる。

このように、この基板保持装置２Ａでは、基板１００の隅部Ｃｄを先端部材３２の凹部３５に挿入可能に押圧機構１４ｄに取り付けられた当接部１３ｄをさらに備え、押圧機構１４ｄが、先端部材３２における凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置するように取り付けられた当接部１３ｄを当接部１３ａにおける先端部材３２に対して接離する「第３の方向（図９における矢印Ｃ１，Ｃ２の向き）」に沿って移動可能に構成されている。

したがって、この基板保持装置２Ａ、および基板保持装置２Ａを備えた基板検査装置１によれば、当接部１３ａ〜１３ｃだけで基板１００を保持する構成と比較して、当接部１３ａ〜１３ｄによって保持することで、基板保持装置２Ａによる基板１００の保持が意図せずに解除されることを好適に回避することができる。

また、「第１の当接部」、「第２の当接部」および「第３の当接部」を「当接部」として備えた構成の基板保持装置２，２Ａを例に挙げて説明したが、「第３の当接部」の一例である当接部１３ｃに代えて、基板保持装置２，２Ａにおける当接部１３ｂと同様の「当接部」を「第４の当接部」として押圧機構１４ｃに取り付けて「基板保持装置」を構成することもできる（図示せず）。

具体的には、「第３の当接部」に代えて「第４の当接部」を備えた「基板保持装置」では、基板１００の隅部Ｃａを先端部材３２の凹部３５に挿入可能に位置決めされた当接部１３ａ（第１の当接部）と、基板１００の隅部Ｃｂを先端部材４２の溝部４５に挿入可能に押圧機構１４ｂに取り付けられた当接部１３ｂ（第２の当接部）と、基板１００の隅部Ｃｃを先端部材４２の溝部４５に挿入可能に押圧機構１４ｃに取り付けられた「第４の当接部」とを備え、当接部１３ａが、先端部材３２における凹部３５の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置するように位置決めされ、押圧機構１４ｂ（第１の押圧機構）が、先端部材４２の溝部４５における幅方向の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、溝部４５の延在方向が当接部１３ａにおける先端部材３２に対して接離する「第１の方向（図２における矢印Ａ１，Ａ２の向き）」と交差し、かつ仮想基準面Ｆ０と平行になるよう当接部１３ｂを「第１の方向」に沿って移動可能に構成され、押圧機構１４ｃ（第２の押圧機構）が、先端部材４２の溝部４５における幅方向の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、溝部４５の延在方向が当接部１３ａにおける先端部材３２に対して接離する「第２の方向（図２における矢印Ｂ１，Ｂ２の向き）」と交差し、かつ仮想基準面Ｆ０と平行になるように取り付けられた「第４の当接部」を「第２の方向」に沿って移動可能に構成されている。

したがって、そのような「基板保持装置」、およびその「基板保持装置」を備えた「基板検査装置」によれば、出願人が試作した基板保持装置２Ａｘ等と同様にして、プロービング装置３ａ，３ｂによるプロービングを妨げることなく「基板保持装置」によって基板１００を好適に保持することができるだけでなく、前述した基板保持装置２および基板検査装置１と同様にして、押圧機構１４ｂによって当接部１３ｂを矢印Ａ１，Ａ２の向きに移動させ、かつ押圧機構１４ｃによって「第４の当接部」を矢印Ｂ１，Ｂ２の向きに移動させるだけで、大きさや形状が異なる各種の基板に当接部１３ａ，１３ｂおよび「第４の当接部」を好適に当接させて押圧させることができるため、保持する基板１００の大きさや形状に応じて押圧機構１４ｂ，１４ｃ等を固定可能な新たなベース部１０の製作や、保持する基板１００の大きさや形状に応じて押圧機構１４ｂ，１４ｃ等を移動させるための移動機構の増設を不要とし、各種の基板１００を保持可能な「基板保持装置」、およびそのような「基板保持装置」を備えた「基板検査装置」の製造コストを十分に低減することができる。

さらに、「第５の当接部」の一例である当接部１３ｄに代えて、基板保持装置２，２Ａにおける当接部１３ｂと同様の「当接部」を「第６の当接部」として押圧機構１４ｄに取り付けて「基板保持装置」を構成することもできる（図示せず）。

具体的には、「第５の当接部」に代えて「第６の当接部」を備えた「基板保持装置」では、基板１００の隅部Ｃｄを先端部材４２の溝部４５に挿入可能に押圧機構１４ｄ（第３の押圧機構）に取り付けられた「第６の当接部」を備え、押圧機構１４ｄが、先端部材４２の溝部４５における幅方向の中心が仮想基準面Ｆ０内に位置すると共に、溝部４５の延在方向が当接部１３ａにおける先端部材３２に対して接離する「第３の方向（図９における矢印Ｃ１，Ｃ２の向き）」と交差し、かつ仮想基準面Ｆ０と平行になるように取り付けられた「第６の当接部」を「第３の方向」に沿って移動可能に構成されている。

したがって、そのような「基板保持装置」、およびその「基板保持装置」を備えた「基板検査装置」によれば、当接部１３ａ〜１３ｃだけで基板１００を保持する構成と比較して、当接部１３ａ〜１３ｃおよび「第６の当接部」によって保持することで、「基板保持装置」による基板１００の保持が意図せずに解除されることを好適に回避することができる。

また、先端面Ｆ３２と直交する切断面の形状がＶ字状の凹部３５が形成された先端部材３２を備えて当接部１３ａ，１３ｃ，１３ｄ等を構成した例について説明したが、「凹部」の断面形状はＶ字状に限定されず、一例として、図１０に示す先端部材３２ａにおける先端面Ｆ３２ａに形成された凹部３５ａのように、「凹部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面が凹部内に形成され」との条件を満たす任意の断面形状とすることができる。この場合、先端部材３２ａの凹部３５ａは、基板１００の隅部Ｃａ等にテーパ面Ｆ３５ａが当接させられることでこれを押圧する構成が採用されている。

さらに、先端面Ｆ４２と直交する切断面の形状がＶ字状の溝部４５が形成された先端部材４２を備えて当接部１３ｂを構成した例について説明したが、「溝部」の断面形状はＶ字状に限定されず、一例として、図１０に示す先端部材４２ａにおける先端面Ｆ４２ａに形成された溝部４５ａのように、「溝部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面が溝部内に形成され」との条件を満たす任意の断面形状とすることができる。この場合、先端部材４２ａの溝部４５ａは、基板１００の隅部Ｃｂ等にテーパ面Ｆ４５ｃが当接させられることでこれを押圧する構成が採用されている。

また、「凹部」の形状を円形とした例について説明したが、そのような構成に代えて、任意の多角形や楕円形の「凹部」を形成して「凹部形成部材」を構成することができる（図示せず）。さらに、「凹部」や「溝部」の深さについても任意に定めることができ、実質的な底部が存在しない「凹部（凹部の底部に「基板」が接することがない程度に深い凹部）」や、実質的な底部が存在しない「溝部（溝部の底部に「基板」が接することがない程度に深い溝部）」を形成して「凹部形成部材」を構成することもできる（図示せず）。また、「凹部」や「溝部」の底部に貫通孔を形成して「凹部形成部材」を構成することもできる（図示せず）。

１ 基板検査装置
２，２Ａ 基板保持装置
３ａ，３ｂ プロービング装置
４ 処理部
１０ ベース部
１０ａ 開口部
１１ 移動機構
１２ 検出部
１３ａ〜１３ｄ 当接部
１４ｂ〜１４ｄ 押圧機構
３２，３２ａ，４２，４２ａ 先端部材
３５，３５ａ 凹部
４５，４５ａ 溝部
５０ａ，５０ｂ プローブユニット
５１ プローブ
１００Ａ，１００Ｂ，１００Ｃ 基板
Ｃａ〜Ｃｄ 隅部
Ｆ０ 仮想基準面
Ｆ３２，Ｆ３２ａ，Ｆ４２，Ｆ４２ａ 先端面
Ｆ３５，Ｆ３５ａ，Ｆ４５ａ〜Ｆ４５ｃ テーパ面
Ｆ１００ａ 一面
Ｆ１００ｂ 他面
Ｐａａ〜Ｐｃａ，Ｐａｂ〜Ｐｃｂ 角

Claims (11)

1. 基板の被当接部に当接させられる当接部、および当該被当接部に当該当接部を当接させて当該被当接部を押圧させる押圧機構を備えて当該基板を保持可能に構成された基板保持装置であって、
   一端面に凹部が形成された凹部形成部材を備えて前記基板における複数の隅部のうちの第１の隅部を前記被当接部として当該凹部に挿入可能に位置決めされた第１の当接部と、一端面に直線状の溝部が形成された溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第２の隅部を前記被当接部として当該溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第１の押圧機構に取り付けられた第２の当接部と、一端面に凹部が形成された凹部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部および前記第２の隅部とは異なる第３の隅部を前記被当接部として当該凹部に挿入可能に前記押圧機構としての第２の押圧機構に取り付けられた第３の当接部とを前記当接部として備え、
   前記第１の当接部は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が予め規定された仮想基準面内に位置するように位置決めされ、
   前記第１の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第１の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第２の当接部を当該第１の方向に沿って移動可能に構成され、
   前記第２の押圧機構は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が前記仮想基準面内に位置するように取り付けられた前記第３の当接部を前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第２の方向に沿って移動可能に構成されている基板保持装置。
2. 基板の被当接部に当接させられる当接部、および当該被当接部に当該当接部を当接させて当該被当接部を押圧させる押圧機構を備えて当該基板を保持可能に構成された基板保持装置であって、
   一端面に凹部が形成された凹部形成部材を備えて前記基板における複数の隅部のうちの第１の隅部を前記被当接部として当該凹部に挿入可能に位置決めされた第１の当接部と、一端面に直線状の溝部が形成された溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第２の隅部を前記被当接部として当該溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第１の押圧機構に取り付けられた第２の当接部と、一端面に直線状の溝部が形成された溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第１の隅部および前記第２の隅部とは異なる第３の隅部を前記被当接部として当該溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第２の押圧機構に取り付けられた第４の当接部とを前記当接部として備え、
   前記第１の当接部は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が予め規定された仮想基準面内に位置するように位置決めされ、
   前記第１の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第１の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第２の当接部を当該第１の方向に沿って移動可能に構成され、
   前記第２の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第２の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第４の当接部を当該第２の方向に沿って移動可能に構成されている基板保持装置。
3. 前記凹部形成部材には、開口部が円形の前記凹部が形成されている請求項１または２記載の基板保持装置。
4. 前記凹部形成部材には、前記凹部の中心部に向かって当該凹部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面が当該凹部内に形成されている請求項１から３のいずれかに記載の基板保持装置。
5. 前記溝部形成部材には、前記溝部における幅方向の中心部に向かって当該溝部の奥側ほど狭くなるようにテーパ面が当該溝部内に形成されている請求項１から４のいずれかに記載の基板保持装置。
6. 前記凹部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第３の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第４の隅部を前記被当接部として前記凹部に挿入可能に前記押圧機構としての第３の押圧機構に取り付けられた第５の当接部を前記当接部としてさらに備え、
   前記第３の押圧機構は、前記凹部形成部材における前記凹部の中心が前記仮想基準面内に位置するように取り付けられた前記第５の当接部を前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第３の方向に沿って移動可能に構成されている請求項１から５のいずれかに記載の基板保持装置。
7. 前記溝部形成部材を備えて前記複数の隅部のうちの前記第３の隅部と前記基板の中心部を挟んで対向する第４の隅部を前記被当接部として前記溝部に挿入可能に前記押圧機構としての第３の押圧機構に取り付けられた第６の当接部を前記当接部としてさらに備え、
   前記第３の押圧機構は、前記溝部形成部材の前記溝部における幅方向の中心が前記仮想基準面内に位置すると共に、当該溝部の延在方向が前記第１の当接部における前記凹部形成部材に対して接離する第３の方向と交差し、かつ前記仮想基準面と平行になるように取り付けられた前記第６の当接部を当該第３の方向に沿って移動可能に構成されている請求項１から５のいずれかに記載の基板保持装置。
8. 前記押圧機構の動作を制御する制御部を備え、
   前記制御部は、前記押圧機構を制御して前記基板の前記被当接部に前記当接部を当接させて当該被当接部を押圧させることによって当該基板を保持する保持処理を実行する請求項１から７のいずれかに記載の基板保持装置。
9. 前記基板を移動させる基板移動機構を備え、
   前記制御部は、前記基板移動機構を制御して予め規定された保持位置に前記基板を移動させる基板移動処理を実行した後に、前記保持位置に位置させられている前記基板を前記保持処理において保持させる請求項８記載の基板保持装置。
10. 前記基板の位置を検出する検出部を備え、
    前記制御部は、前記検出部の検出結果に基づいて前記基板移動処理を実行する請求項９記載の基板保持装置。
11. 請求項１から１０のいずれかに記載の基板保持装置と、
    前記基板保持装置によって保持されている前記基板に対して検査用プローブをプロービングさせるプロービング装置と、
    前記基板にプロービングさせられた前記検査用プローブを介して入出力する電気信号に基づいて前記基板を検査する検査部を備えている基板検査装置。

Images