JP2018105763A - 異常判定方法および異常判定装置 - Google Patents

Abstract

【課題】空気圧駆動機器の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定方法および異常判定装置を提供する。【解決手段】配管を通じて空気圧駆動機器に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定方法であって、変化状態測定ステップと、異常判定ステップと、を有する。変化状態測定ステップでは、配管から空気圧駆動機器へ供給される圧縮空気の変化状態を測定する。異常判定ステップは、変化状態測定ステップで測定された変化状態と予め定められた判定基準情報との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する。この異常判定方法によれば、空気圧駆動機器の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定することができる。【選択図】図４

Description

本開示は、空気圧駆動機器に対する圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定方法および異常判定装置に関する。

配管から供給される圧縮空気を利用して駆動する空気圧駆動機器（空気圧アクチュエータともいう）が知られている。
このような空気圧駆動機器および配管を備える装置においては、圧縮空気の経路での空気漏洩が発生する場合がある。

このような空気漏洩の有無を判定するにあたり、圧縮空気の供給を停止した状態での時間経過に伴う空気圧の変化状態に基づいて、空気漏洩を判定する判定装置が提案されている（特許文献１）。

特開２０１３−０８３０１６号公報

しかしながら、上記従来の判定装置では、空気漏洩の有無を判定するにあたり、空気圧駆動機器に対する圧縮空気の供給を停止する必要があるため、空気圧駆動機器の動作中に空気漏洩の有無を判定することができないという問題がある。

つまり、上記従来の判定装置では、空気圧駆動機器の動作中に空気漏洩が発生して圧縮空気の供給状態が異常となっても空気漏洩を検出できないため、そのまま空気圧駆動機器の動作が継続されると、圧縮空気の供給状態が異常であることに起因する空気圧駆動機器の動作不良が発生する可能性がある。

また、上記従来の判定装置では、空気圧駆動機器の動作速度（換言すれば、圧縮空気の供給速度）が適切であるか否かを判定できないため、圧縮空気の供給速度の異常に起因する空気圧駆動機器の動作不良が発生する可能性がある。

本開示は、空気圧駆動機器の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定方法および異常判定装置を提供することを目的とする。

本開示の一態様は、配管を通じて空気圧駆動機器に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定方法であって、変化状態測定ステップと、異常判定ステップと、を有する。

変化状態測定ステップでは、配管から空気圧駆動機器へ供給される圧縮空気の変化状態を測定する。異常判定ステップは、変化状態測定ステップで測定された変化状態と予め定められた判定基準情報との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する。

予め定められた判定基準情報は、例えば、圧縮空気の供給状態が正常であるときの圧縮空気の変化状態（値、波形など）を予め測定しておき、その測定結果に基づいて設定することができる。

そして、異常判定ステップでは、例えば、変化状態測定部で測定された変化状態が判定基準情報と一致する場合には、圧縮空気の供給状態が正常状態であると判定し、変化状態測定部で測定された変化状態が判定基準情報と異なる場合には、圧縮空気の供給状態が異常状態であると判定する。

よって、この異常判定方法によれば、空気圧駆動機器の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定することができる。
本開示の異常判定方法においては、空気圧駆動機器は複数備えられ、配管は、外部から圧縮空気が供給される主配管と、複数の空気圧駆動機器のそれぞれに圧縮空気を供給するために主配管から分岐する複数の分岐配管と、を備えてもよい。そして、変化状態測定ステップでは、主配管における圧縮空気の変化状態を測定する変化状態測定部を用いて圧縮空気の変化状態を測定し、異常判定ステップでは、複数の空気圧駆動機器のそれぞれの動作時期における圧縮空気の変化状態と判定基準情報との比較結果に基づいて、複数の空気圧駆動機器のうちいずれが異常状態であるかを判定してもよい。

複数の空気圧駆動機器が備えられる構成であっても、異常判定ステップで上記のように判定することで、複数の変化状態測定部ではなく１つの変化状態測定部を用いて、複数の空気圧駆動機器のうちいずれが異常状態であるか判定できる。つまり、変化状態測定部の設置個数を増加させることなく、複数の空気圧駆動機器における圧縮空気の供給状態が正常であるか異常であるかを判定できる。

本開示の異常判定方法においては、異常判定ステップでは、さらに、空気圧駆動機器の動作完了時における圧縮空気の変化状態に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定してもよい。

空気圧駆動機器が正常であれば、空気圧駆動機器の動作完了時には配管からの圧縮空気の供給が停止されるが、空気圧駆動機器が異常（漏洩あり）であれば、空気圧駆動機器の動作完了時以降も漏洩する空気量に応じて配管からの圧縮空気の供給が継続される。このため、空気圧駆動機器の動作完了時における圧縮空気の変化状態に基づいて、空気圧駆動機器での圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定できる。

よって、この異常判定方法のように、空気圧駆動機器の動作中における圧縮空気の変化状態に加えて、空気圧駆動機器の動作完了時における圧縮空気の変化状態を用いて判定することで、圧縮空気の供給状態の判定精度を向上できる。

本開示の異常判定方法においては、異常判定ステップでは、空気圧駆動機器の動作開始時を起点として変化状態測定ステップで測定された変化状態と判定基準情報との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定してもよい。

空気圧駆動機器の動作開始時を起点として測定された圧縮空気の変化状態は、空気圧駆動機器の動作中における圧縮空気の変化状態となる。このため、このような変化状態を用いることで、空気圧駆動機器の動作中における異常の有無を判定できる。

なお、空気圧駆動機器の動作開始時は、例えば、空気圧駆動機器の動作を開始するための指令信号に基づいて判断してもよい。
本開示の異常判定方法においては、空気圧駆動機器は、圧縮空気の移動方向を切り替える流通方向切替部により動作状態が切り替わるように構成されてもよい。

空気圧駆動機器は、一例として、このような流通方向切替部による圧縮空気の移動方向の切替により動作状態が切り替わるものがある。このような流通方向切替部を用いる場合には、圧縮空気の経路が複雑に変化する構成となるため、空気漏洩が生じやすくなる。このような流通方向切替部を備える場合に、上記の判定方法を用いることで、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを適切に判定できるとともに、空気圧駆動機器の動作が異常であるか否かを適切に判断できる。

本開示の他の態様は、配管を通じて空気圧駆動機器に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定装置であって、変化状態測定部と、異常判定部と、を備える。

変化状態測定部は、配管から空気圧駆動機器へ供給される圧縮空気の変化状態を測定するように構成されている。異常判定部は、変化状態測定部で測定された変化状態と予め定められた判定基準情報との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定するように構成されている。

予め定められた判定基準情報は、例えば、圧縮空気の供給状態が正常であるときの圧縮空気の変化状態（値、波形など）を予め測定しておき、その測定結果に基づいて設定することができる。

そして、異常判定部は、例えば、変化状態測定部で測定された変化状態が判定基準情報と一致する場合には、圧縮空気の供給状態が正常状態であると判定し、変化状態測定部で測定された変化状態が判定基準情報と異なる場合には、圧縮空気の供給状態が異常状態であると判定する。

よって、この異常判定装置によれば、空気圧駆動機器の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定することができる。

空気圧駆動機器を備える製造装置の概略構成図である。 制御部からの動作信号に基づいて空気圧駆動機器の状態を切り替える一連の動作を表す説明図である。 空気圧駆動機器への圧縮空気の供給状態であって、流量測定部で測定される圧縮空気の変化状態（圧縮空気の瞬時流量）を表す説明図である。 異常判定処理の処理内容を表すフローチャートである。 第２異常判定処理の処理内容を表すフローチャートである。 第３実施形態の流量測定部で測定される圧縮空気の変化状態（圧縮空気の瞬時流量）の一例を表す説明図である。 ４個（Ａ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目）の空気圧駆動機器のうち、Ｂ番目が「空気漏れ異常」であり、Ｄ番目が「速度低異常」である場合の波形の一例を示す説明図である。 第３異常判定処理の処理内容を表すフローチャートである。 第４実施形態の流量測定部で測定される圧縮空気の変化状態（圧縮空気の瞬時流量）の一例を表す説明図である。 第４異常判定処理の処理内容を表すフローチャートである。

以下、本発明が適用された実施形態について、図面を用いて説明する。
尚、本発明は、以下の実施形態に何ら限定されるものではなく、本発明の技術的範囲に属する限り種々の形態を採り得ることはいうまでもない。

［１．第１実施形態］
［１−１．全体構成］
第１実施形態として、空気圧駆動機器３１（空気圧アクチュエータ３１ともいう）を備える製造装置１について説明する。

製造装置１は、空気圧駆動機器３１を駆動制御して、製品の製造工程における各種動作を実行して製品を製造する装置である。
図１に示すように、製造装置１は、制御部３と、複数の空気圧駆動機器３１と、を備えている。なお、図１では、複数の空気圧駆動機器３１のうち、３個の空気圧駆動機器３１（第１空気圧駆動機器３１ａ，第２空気圧駆動機器３１ｂ，第３空気圧駆動機器３１ｃ）を図示している。

制御部３は、外部機器（図示省略）からの指令信号Ｓｃに基づいて、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの状態を制御するために備えられている。制御部３は、演算部１１と、流量測定部１３と、複数の流通方向切替部１５と、供給配管１７と、排出配管１９と、を備えている。

演算部１１は、各種制御処理を実行する。制御処理としては、例えば、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの状態を制御する処理が挙げられる。演算部１１は、外部機器に対して情報通知信号Ｓｊを出力するとともに、複数の流通方向切替部１５のそれぞれに対して動作信号Ｓａｎ（ｎは整数）を出力する。情報通知信号Ｓｊは、例えば、製造装置１の各部の状態を示す信号である。

流量測定部１３は、供給配管１７（詳細には、後述する主供給配管１７ａ）に流れる圧縮空気の流量（瞬時流量Ｆｉ）を測定し、測定結果を示す測定信号Ｓｍを演算部１１に対して出力する。

供給配管１７は、主供給配管１７ａと、複数の分岐供給配管１７ｂと、を備えている。主供給配管１７ａは、外部供給経路２１を介して空気ポンプ（図示省略）に接続されており、空気ポンプから圧縮空気が供給されるように構成されている。主供給配管１７ａの圧縮空気は、複数の分岐供給配管１７ｂに分配されて、複数の流通方向切替部１５を介して複数の空気圧駆動機器３１に供給される。

排出配管１９は、主排出配管１９ａと、複数の分岐排出配管１９ｂと、を備えている。複数の分岐排出配管１９ｂは、それぞれ異なる流通方向切替部１５に接続されている。複数の分岐排出配管１９ｂは、主排出配管１９ａに集約される。主排出配管１９ａは、外部の外部排出経路２３に接続されている。つまり、複数の流通方向切替部１５から排出される圧縮空気は、複数の分岐排出配管１９ｂを介して主排出配管１９ａに移動し、さらに、外部排出経路２３を介して大気中に放出される。

流通方向切替部１５は、それぞれ平行連結部１５ａと、交差連結部１５ｂと、を備えている。流通方向切替部１５は、演算部１１からの動作信号Ｓａｎに基づいて、供給配管１７と空気圧駆動機器３１とを連結する連結部を、平行連結部１５ａまたは交差連結部１５ｂのいずれかに設定する。なお、流通方向切替部１５は、例えば、外部からの信号に基づいて連結経路（連結部）を切替可能に構成されたエア切替弁を用いて実現できる。

空気圧駆動機器３１は、第１経路３３および第２経路３５から供給される圧縮空気によってピストン３２が移動するように構成されている。空気圧駆動機器３１は、第１経路３３から圧縮空気が供給される場合には、ピストン３２が図１の上方向に移動し、第２経路３５から圧縮空気が供給される場合には、ピストン３２が図１の下方向に移動するように構成されている。

つまり、流通方向切替部１５の状態が、供給配管１７と空気圧駆動機器３１とを平行連結部１５ａを介して連結する状態になると、空気圧駆動機器３１に対して第１経路３３から圧縮空気が供給されて、ピストン３２が図１の上方向に移動する。このとき、空気圧駆動機器３１から排出された圧縮空気は、第２経路３５を介して、流通方向切替部１５に移動し、さらに、排出配管１９および外部排出経路２３を介して大気中に排出される。

また、流通方向切替部１５の状態が、供給配管１７と空気圧駆動機器３１とを交差連結部１５ｂを介して連結する状態になると、空気圧駆動機器３１に対して第２経路３５から圧縮空気が供給されて、ピストン３２が図１の下方向に移動する。このとき、空気圧駆動機器３１から排出された圧縮空気は、第１経路３３を介して、流通方向切替部１５に移動し、さらに、排出配管１９および外部排出経路２３を介して大気中に排出される。

ここで、制御部３からの動作信号Ｓａ１に基づいて、空気圧駆動機器３１の状態（ピストン３２の位置）を切り替える一連の動作について、図２を用いて説明する。
図２に示す「（１）初期状態」では、３個の空気圧駆動機器３１（３１ａ，３１ｂ，３１ｃ）は、いずれもピストン３２が最上部に位置する状態である。次の「（２）動作信号入力」では、動作信号Ｓａ１が３個の流通方向切替部１５のうち第１空気圧駆動機器３１ａに対応する流通方向切替部１５（以下、第１流通方向切替部１５ともいう）に入力される。次の「（３）流通方向切替部動作」では、第１流通方向切替部１５が、供給配管１７と空気圧駆動機器３１とを交差連結部１５ｂを介して連結する状態になる。次の「（４）空気圧駆動機器動作」では、第１空気圧駆動機器３１ａに対して第２経路３５から圧縮空気が供給されて、第１空気圧駆動機器３１ａのピストン３２が図２の下方向に徐々に移動する。次の「（５）動作完了」では、ピストン３２が最下部に移動することで、第１空気圧駆動機器３１ａの動作が完了する。

［１−２．圧縮空気の変化状態］
次に、流量測定部１３で測定される圧縮空気の変化状態（圧縮空気の瞬時流量）について、図３を用いて説明する。図３では、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態として、５種類の状態におけるそれぞれの「圧縮空気の変化状態」を図示している。

図３の「（ａ）正常状態」は、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が正常である場合の圧縮空気の変化状態を表している。圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となる前までの期間は０［Ｌ／ＳＥＣ］であるが、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態になると徐々に増加していき、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となった時点から第１時間Ｔ１が経過した時点で最大値（以下、第１流量Ｆ１ともいう）を示す。その後、圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、徐々に低下していき、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となった時点から第２時間Ｔ２が経過した時点で０となる。このときの第２時間Ｔ２は、空気圧駆動機器３１の正常状態における動作所要時間である。

次に、「（ｂ）異常状態（動作後）」は、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が、異常（詳細には、動作中および動作後に空気漏れが生じる状態）である場合の圧縮空気の変化状態を表している。圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となる前までの期間は０［Ｌ／ＳＥＣ］であるが、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態になると徐々に増加していき、第１流量Ｆ１よりも大きい第２流量Ｆ２で最大値を示す。その後、圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、徐々に低下していき、第３流量Ｆ３になるとその流量が継続する状態となる。このため、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となった時点から第２時間Ｔ２が経過しても、圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、０［Ｌ／ＳＥＣ］とはならず、空気漏れが生じていることが分かる。なお、図３の「（ｂ）異常状態（動作後）」における点線（波形）は、図３の「（ａ）正常状態」を示すものである。同様に、図３において、「（ｃ）異常状態（動作前）」、「（ｄ）異常状態（速度高）」、「（ｅ）異常状態（速度低）」のそれぞれにおける点線（破線）についても、図３の「（ａ）正常状態」を示すものである。

次に、「（ｃ）異常状態（動作前）」は、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が、異常（詳細には、動作前および動作中に空気漏れが生じる状態）である場合の圧縮空気の変化状態を表している。圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となる前までの期間は第３流量Ｆ３を示し、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態になると徐々に増加していき、第１流量Ｆ１よりも大きい第２流量Ｆ２で最大値を示す。その後、圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、徐々に低下していき、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となった時点から第２時間Ｔ２が経過した時点で０［Ｌ／ＳＥＣ］となる。

なお、「（ｂ）異常状態（動作後）」および「（ｃ）異常状態（動作前）」のいずれも、第２時間Ｔ２で示す期間中において、この異常状態での圧縮空気の瞬時流量を示す波形（実線）の面積は、正常状態での圧縮空気の瞬時流量を示す波形（点線）の面積よりも大きくなる。空気漏れが生じているため、空気圧駆動機器３１の動作に必要な圧縮空気の総量よりも多くの圧縮空気が消費されるからである。

次に、「（ｄ）異常状態（速度高）」は、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が、異常（詳細には、供給速度が高い状態）である場合の圧縮空気の変化状態を表している。圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となる前までの期間は０［Ｌ／ＳＥＣ］を示し、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態になると徐々に増加していき、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となった時点から第１時間Ｔ１が経過するよりも早い時点で、最大値の第４流量Ｆ４を示す。このときの第４流量Ｆ４は、第１流量Ｆ１よりも大きい。なお、この異常状態での圧縮空気の瞬時流量Ｆｉを示す波形（実線）の面積は、正常状態での圧縮空気の瞬時流量Ｆｉを示す波形（点線）の面積と等しくなる。空気圧駆動機器３１の動作速度が異なる場合であっても、空気漏れが無い場合には、空気圧駆動機器３１の動作に必要な圧縮空気の総量が等しいからである。

次に、「（ｅ）異常状態（速度低）」は、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が、異常（詳細には、供給速度が低い状態）である場合の圧縮空気の変化状態を表している。圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となる前までの期間は０［Ｌ／ＳＥＣ］を示し、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態になると徐々に増加していき、動作信号Ｓａ１がＯＮ状態となった時点から第１時間Ｔ１が経過するよりも遅い時点で、最大値の第５流量Ｆ５を示す。このときの第５流量Ｆ５は、第１流量Ｆ１よりも小さい。なお、この異常状態での圧縮空気の瞬時流量Ｆｉを示す波形（実線）の面積は、正常状態での圧縮空気の瞬時流量を示す波形（点線）の面積と等しくなる。空気圧駆動機器３１の動作速度が異なる場合であっても、空気漏れが無い場合には、空気圧駆動機器３１の動作に必要な圧縮空気の総量が等しいからである。

［１−３．制御部が実行する処理］
次に、制御部３の演算部１１が実行する各種処理について説明する。
演算部１１は、マイクロコンピュータ（以下、マイコンともいう。図示省略。）を備える。マイコンは、ＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよび信号入出力部を備える。演算部１１の各種機能は、ＣＰＵが非遷移的実体的記録媒体に格納されたプログラムを実行することにより実現される。この例では、ＲＯＭが、プログラムを格納した非遷移的実体的記録媒体に該当する。また、このプログラムの実行により、プログラムに対応する方法が実行される。信号入出力部は、外部機器との間で各種信号の送受信を行う。なお、マイコンを構成するＣＰＵ、ＲＯＭ、ＲＡＭおよび信号入出力部のそれぞれの個数は１つでも複数でもよい。また、マイコンが実行する機能の一部または全部を、一つあるいは複数のＩＣ等によりハードウェア的に構成してもよい。

演算部１１（詳細には、ＣＰＵ）は、各種処理として、ＲＯＭに記憶されたプログラムに基づいて、空気圧駆動機器３１を制御するためのアクチュエータ制御処理、圧縮空気の供給状態を判定する異常判定処理などを実行する。

アクチュエータ制御処理は、外部機器から受信した指令信号Ｓｃに基づいて、複数の空気圧駆動機器３１のうち指令信号Ｓｃの指令内容に対応する空気圧駆動機器３１の状態を制御する処理である。具体的には、アクチュエータ制御処理を実行する演算部１１は、指令信号Ｓｃに基づいて、対応する流通方向切替部１５に対して動作信号Ｓａｎ（ｎは整数）を出力することで、空気圧駆動機器３１の状態を制御する。これにより、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれのピストン３２の位置は、動作信号Ｓａｎに応じた位置（最上部または最下部）に設定される。

なお、指令信号Ｓｃの指令内容は、１個の空気圧駆動機器３１の状態に限られることはなく、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの状態を表す場合もある。そのような指令信号Ｓｃを受信した演算部１１は、複数の流通方向切替部１５のそれぞれに対して動作信号Ｓａｎ（ｎは整数）を出力することで、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの状態を制御する。

なお、本実施形態の制御部３は、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作期間が異なる時期となるように構成されている。つまり、アクチュエータ制御処理を実行する演算部１１は、１つの空気圧駆動機器３１が動作中である場合には、他の空気圧駆動機器３１は停止状態となるように制御処理を実行する。

また、演算部１１は、流量測定部１３からの測定信号Ｓｍが示す瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する流量記憶処理を実行する。流量記憶処理は、流通方向切替部１５への動作信号Ｓａｎの出力開始時を起点として第２時間Ｔ２が経過するまでの動作期間中における瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する処理である。換言すれば、流量記憶処理は、空気圧駆動機器３１の動作開始時を起点として第２時間Ｔ２が経過するまでの動作期間中において、流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する処理である。

さらに、演算部１１は、記憶した瞬時流量Ｆｉの履歴データに基づいて、動作期間中における瞬時流量Ｆｉの積分値（積算量Ｉｍ）を演算するとともに、動作期間中において瞬時流量Ｆｉが最大値となる時刻（最大時刻Ｔｍ）を特定する流量分析処理を実行する。なお、流量分析処理には、演算結果（積算量Ｉｍ、最大時刻Ｔｍなど）を記憶部に記憶する処理も含まれる。また、ここでの時刻とは、動作信号ＳａｎのＯＮ時点を起点とした経過時間を意味しており、図３の「（ａ）正常状態」においては、第１時間Ｔ１が最大時刻Ｔｍに相当する。

次に、演算部１１が実行する異常判定処理について、図４のフローチャートを用いて説明する。
まず、Ｓ１００で、演算部１１は、供給配管１７（詳細には、主供給配管１７ａ）に流れる圧縮空気の瞬時流量Ｆｉの履歴データなどを記憶部（ＲＡＭなど）から読み取る。

次に、演算部１１は、Ｓ１１０で、瞬時流量Ｆｉの積算量Ｉｍが予め定められた基準積算量Ｉｓｔと同一であると判定した場合には、Ｓ１２０へ移行し、瞬時流量Ｆｉが最大となる最大時刻Ｔｍが予め定められた基準最大時刻Ｔｓｔと同じであるか否かを判定する。

なお、基準積算量Ｉｓｔは、予め実施した測定結果に基づいて、正常状態の動作期間中における瞬時流量Ｆｉの積算量Ｉｍに相当する値が設定されている。また、基準最大時刻Ｔｓｔは、予め実施した測定結果に基づいて、正常状態の動作期間中において瞬時流量Ｆｉが最大値となる時刻が設定されている。

一方、演算部１１は、Ｓ１１０で、否定判定した場合には、Ｓ１６０へ移行し、瞬時流量Ｆｉの積算量Ｉｍが基準積算量Ｉｓｔよりも大きいか否かを判定する。
演算部１１は、Ｓ１２０で肯定判定した場合には、Ｓ１３０へ移行し、動作期間の終了時（動作完了時）における瞬時流量Ｆｉ（以下、完了時流量Ｆｓともいう）が０［Ｌ／ＳＥＣ］である（Ｆｓ＝０）か否かを判定する。

演算部１１は、Ｓ１３０で肯定判定した場合には、Ｓ１４０へ移行し、圧縮空気の供給状態が正常と判定する。一方、演算部１１は、Ｓ１３０で否定判定した場合には、Ｓ１５０へ移行し、圧縮空気の供給状態が複合異常（空気漏れとその他の異常との複合異常）と判定する。なお、複合異常とは、例えば、空気漏れ異常と、空気圧駆動機器３１の接続機構の不具合（過負荷等）と、が併発した状態が挙げられる。

また、演算部１１は、Ｓ１６０で肯定判定した場合には、Ｓ１８０へ移行し、圧縮空気の供給状態が空気漏れ状態であると判定する。なお、空気漏れ状態としては、例えば、空気圧駆動機器３１の破損、配管（供給配管１７、第１経路３３、第２経路３５のいずれか）の穴あき、流通方向切替部１５のシール（気密性）不具合などが挙げられる。

一方、演算部１１は、Ｓ１６０で否定判定した場合には、Ｓ１９０へ移行し、瞬時流量Ｆｉが最大となる最大時刻Ｔｍが基準最大時刻Ｔｓｔより早いか否かを判定する。
演算部１１は、Ｓ１９０で肯定判定した場合には、Ｓ２００へ移行し、圧縮空気の供給状態が「その他の異常状態（異常停止等）」であると判定する。なお、その他の異常状態としては、例えば、空気圧駆動機器３１の動作不良、空気圧駆動機器３１の接続機構の不具合（過負荷等）などが挙げられる。この場合、全ての空気圧駆動機器３１の動作を停止する処理を実行して、異常状態に起因する事故の発生を抑制してもよい。

演算部１１は、Ｓ１９０で否定した場合には、Ｓ２１０へ移行し、圧縮空気の供給状態が「速度低状態」（圧縮空気の供給速度が正常状態よりも遅い状態）と判定する。なお、速度低状態としては、例えば、速度調整機器の誤調整、速度調整機器の故障、配管（供給配管１７、第１経路３３、第２経路３５、排出配管１９のいずれか）の詰まり、空気圧駆動機器３１の接続機構の不具合（過負荷等）、流通方向切替部１５の故障などが挙げられる。速度調整機器は、図１などでは図示を省略しているが、第１経路３３，第２経路３５に配置されており、それぞれの経路における断面積の大きさを変更可能な絞り弁を有している。そして、この絞り弁により断面積の大きさを変更することで第１経路３３、第２経路３５の流量を調整可能であり、この調整によりピストン３２の移動速度を調整するものである。

また、演算部１１は、Ｓ１２０で否定判定した場合には、Ｓ２２０へ移行し、最大時刻Ｔｍが基準最大時刻Ｔｓｔよりも早いか否かを判定する。
演算部１１は、Ｓ２２０で肯定判定した場合には、Ｓ２３０へ移行し、圧縮空気の供給状態が「速度高状態」（圧縮空気の供給速度が正常状態よりも速い状態）と判定する。なお、速度高状態としては、例えば、速度調整機器の誤調整、速度調整機器の故障などが挙げられる。

演算部１１は、Ｓ２２０で否定判定した場合には、Ｓ２１０に移行する。
演算部１１は、Ｓ１４０，Ｓ１５０，Ｓ１８０，Ｓ２００，Ｓ２１０，Ｓ２３０のいずれかの処理を完了すると、異常判定処理を終了する。

なお、演算部１１は、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれについて、個別に異常判定処理を行うように構成されている。つまり、異常判定処理を実行する演算部１１は、空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作時期（動作期間中）における圧縮空気の瞬時流量Ｆｉと判定基準情報との比較結果に基づいて、複数の空気圧駆動機器３１のうちいずれが異常状態であるかを判定している。

［１−４．効果］
以上説明したように、本実施形態の製造装置１に備えられる制御部３は、各種処理を実行する演算部１１と、供給配管１７（主供給配管１７ａ）に流れる圧縮空気の流量を測定する流量測定部１３と、を備えている。

制御部３は、演算部１１が異常判定処理を実行することで、供給配管１７を通じて空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定装置として動作する。

流量測定部１３は、供給配管１７（主供給配管１７ａ）から空気圧駆動機器３１へ供給される圧縮空気の変化状態を測定する。
演算部１１は、異常判定処理を実行することで、流量測定部１３で測定された圧縮空気の変化状態（積算量Ｉｍ、最大時刻Ｔｍ、完了時流量Ｆｓなど）と、予め定められた判定基準情報（基準積算量Ｉｓｔ、基準最大時刻Ｔｓｔ、０［Ｌ／ＳＥＣ］など）との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する。

演算部１１は、流量測定部１３で測定された圧縮空気の変化状態が判定基準情報と一致する場合には（Ｓ１１０、Ｓ１２０、Ｓ１３０でいずれも肯定判定）、圧縮空気の供給状態が正常状態であると判定する（Ｓ１４０）。また、演算部１１は、流量測定部１３で測定された圧縮空気の変化状態が判定基準情報と異なる場合には（Ｓ１１０、Ｓ１２０、Ｓ１３０のうちいずれか１つで否定判定）、圧縮空気の供給状態が異常状態であると判定する（Ｓ１５０，Ｓ１８０，Ｓ２００，Ｓ２１０，Ｓ２３０のいずれか）。

よって、この制御部３は、空気圧駆動機器３１の停止中ではなく、空気圧駆動機器３１の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定することができる。
次に、製造装置１においては、空気圧駆動機器３１は複数備えられ、供給配管１７は、主供給配管１７ａと、複数の分岐供給配管１７ｂと、を備えている。主供給配管１７ａは、外部供給経路２１から圧縮空気が供給されるように構成されており、分岐供給配管１７ｂは、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれに圧縮空気を供給するために主供給配管１７ａから分岐して構成されている。

そして、流量測定部１３は、主供給配管１７ａにおける圧縮空気の変化状態（具体的には、瞬時流量Ｆｉ）を測定する。異常判定処理を実行する演算部１１は、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作時期（動作期間中）における圧縮空気の瞬時流量Ｆｉと判定基準情報との比較結果に基づいて、複数の空気圧駆動機器３１のうちいずれが異常状態であるかを判定している。例えば、第１空気圧駆動機器３１ａの動作期間中に異常判定処理での判定結果が異常状態となる場合には、複数の空気圧駆動機器３１のうち第１空気圧駆動機器３１ａが異常状態であると判定する。

複数の空気圧駆動機器３１が備えられる構成であっても、演算部１１が上記のように判定することで、複数の分岐供給配管１７ｂのそれぞれに対応した複数の流量測定部１３を備えることなく、主供給配管１７ａに備えられた１つの流量測定部１３を用いて、複数の空気圧駆動機器３１のうちいずれが異常状態であるか判定できる。つまり、流量測定部１３の設置個数を増加させることなく、複数の空気圧駆動機器３１における圧縮空気の供給状態が正常であるか異常であるかを判定できる。

次に、制御部３において、異常判定処理を実行する演算部１１は、積算量Ｉｍおよび最大時刻Ｔｍを用いた判定（Ｓ１１０、Ｓ１２０）に加えて、動作期間の終了時（動作完了時）における瞬時流量Ｆｉ（完了時流量Ｆｓ）を用いた判定（Ｓ１３０）を行い、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定している。

空気圧駆動機器３１が正常であれば、空気圧駆動機器３１の動作完了時には供給配管１７からの圧縮空気の供給が停止されるが、空気圧駆動機器３１が異常（漏洩あり）であれば、空気圧駆動機器３１の動作完了時以降も漏洩する空気量に応じて供給配管１７からの圧縮空気の供給が継続される。このため、空気圧駆動機器３１の動作完了時における圧縮空気の変化状態に基づいて、空気圧駆動機器３１での圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定できる。

よって、制御部３は、空気圧駆動機器３１の動作中における圧縮空気の変化状態に加えて、空気圧駆動機器３１の動作完了時における圧縮空気の変化状態を用いて判定することで、圧縮空気の供給状態の判定精度を向上できる。

次に、制御部３において、流量記憶処理および流量分析処理を実行する演算部１１は、空気圧駆動機器３１の動作開始時を起点として流量測定部１３で測定された圧縮空気の瞬時流量Ｆｉに基づいて圧縮空気の変化状態（積算量Ｉｍ、最大時刻Ｔｍ、完了時流量Ｆｓなど）を演算する。そして、異常判定処理を実行する演算部１１は、空気圧駆動機器３１の動作期間中における圧縮空気の変化状態（積算量Ｉｍ、最大時刻Ｔｍ、完了時流量Ｆｓなど）と判定基準情報（基準積算量Ｉｓｔ、基準最大時刻Ｔｓｔ、０［Ｌ／ＳＥＣ］など）との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定している。

つまり、演算部１１は、空気圧駆動機器３１の動作期間中における圧縮空気の変化状態に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否か判定を行うため、空気圧駆動機器３１の動作中における異常の有無を判定できる。

なお、本実施形態の演算部１１は、空気圧駆動機器３１の動作を開始するための動作信号Ｓａｎに基づいて、空気圧駆動機器３１の動作開始時を判断するよう構成されている。
次に、制御部３は、圧縮空気の移動方向を切り替える流通方向切替部１５を用いて空気圧駆動機器３１の動作状態を切り替えるように構成されている。換言すれば、空気圧駆動機器３１は、このような流通方向切替部１５による圧縮空気の移動方向の切替により動作状態が切り替わるように構成されている。このような流通方向切替部１５を用いる場合には、圧縮空気の経路が複雑に変化する構成となるため、空気漏洩が生じやすくなる。

このような流通方向切替部１５を備える構成において、上記の異常判定処理を実行することで、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを適切に判定できるとともに、空気圧駆動機器３１の動作が異常であるか否かを適切に判断できる。

［１−５．文言の対応関係］
ここで、文言の対応関係について説明する。
制御部３が異常判定装置の一例に相当し、流量測定部１３が変化状態測定部の一例に相当し、異常判定処理を実行する演算部１１が異常判定部の一例に相当し、供給配管１７が配管の一例に相当し、主供給配管１７ａが主配管の一例に相当し、分岐供給配管１７ｂが分岐配管の一例に相当する。

積算量Ｉｍ、最大時刻Ｔｍ、完了時流量Ｆｓのそれぞれが圧縮空気の変化状態の一例に相当し、基準積算量Ｉｓｔ、基準最大時刻Ｔｓｔ、０［Ｌ／ＳＥＣ］のそれぞれが判定基準情報の一例に相当し、流量記憶処理および流量分析処理が変化状態測定ステップの一例に相当し、異常判定処理が異常判定ステップの一例に相当する。

［２．第２実施形態］
第２実施形態として、第１実施形態における異常判定処理に代えて、第２異常判定処理を実行する制御部３を備える製造装置について説明する。

なお、第２実施形態の製造装置は、制御部３と、複数の空気圧駆動機器３１と、を備えており、第１実施形態と比べてハードウェア構成は同様であり、以下の説明では、第１実施形態とは異なる点を中心に説明する。また、第２実施形態のうち第１実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明する。

まず、第２実施形態の演算部１１は、記憶部に記憶した瞬時流量Ｆｉの履歴データに基づいて、空気圧駆動機器３１の動作期間中における瞬時流量Ｆｉの最大値Ｆｍを特定するとともに、空気圧駆動機器３１の動作期間中において瞬時流量Ｆｉが最大値Ｆｍとなる時刻（最大時刻Ｔｍ）を特定する流量分析処理を実行する。なお、第２実施形態の演算部１１は、第１実施形態と同様の流量記憶処理を実行する。

次に、制御部３の演算部１１が実行する第２異常判定処理について、図５のフローチャートを用いて説明する。
まず、Ｓ３００で、演算部１１は、供給配管１７（詳細には、主供給配管１７ａ）に流れる圧縮空気の瞬時流量Ｆｉの履歴データなどを記憶部（ＲＡＭなど）から読み取る。

次に、演算部１１は、Ｓ３１０で、瞬時流量Ｆｉが最大となる最大時刻Ｔｍが予め定められた基準最大時刻Ｔｓｔと同じであると判定した場合には、Ｓ３２０へ移行し、瞬時流量Ｆｉの最大値Ｆｍが予め定められた基準最大値Ｆｓｔと同一か否かを判定する。

なお、基準最大時刻Ｔｓｔは、予め実施した測定結果に基づいて、正常状態の動作期間中において瞬時流量Ｆｉが最大値となる時刻が設定されている。また、基準最大値Ｆｓｔは、予め実施した測定結果に基づいて、正常状態の動作期間中における瞬時流量Ｆｉの最大値Ｆｍに相当する値が設定されている。

演算部１１は、Ｓ３２０で肯定判定した場合には、Ｓ３３０へ移行し、動作期間の終了時（動作完了時）における瞬時流量Ｆｉ（以下、完了時流量Ｆｓともいう）が０［Ｌ／ＳＥＣ］である（Ｆｓ＝０）か否かを判定する。

演算部１１は、Ｓ３３０で肯定判定した場合には、Ｓ３４０へ移行し、圧縮空気の供給状態が正常と判定する。一方、演算部１１は、Ｓ３３０で否定判定した場合には、Ｓ４００へ移行し、圧縮空気の供給状態が「その他の異常状態（異常停止等）」であると判定する。

演算部１１は、Ｓ３２０で否定判定した場合には、Ｓ３８０へ移行し、瞬時流量Ｆｉの最大値Ｆｍが基準最大値Ｆｓｔより大きいか否かを判定する。
演算部１１は、Ｓ３８０で肯定判定した場合には、Ｓ３９０へ移行する。演算部１１は、Ｓ３８０で否定した場合には、Ｓ４００へ移行し、圧縮空気の供給状態が「その他の異常状態（異常停止等）」であると判定する。

一方、演算部１１は、Ｓ３１０で、否定判定した場合には、Ｓ３５０へ移行し、瞬時流量Ｆｉが最大となる最大時刻Ｔｍが基準最大時刻Ｔｓｔより早いか否かを判定する。
演算部１１は、Ｓ３５０で肯定判定した場合には、Ｓ３６０へ移行し、圧縮空気の供給状態が「速度高状態」（圧縮空気の供給速度が正常状態よりも速い状態）と判定する。演算部１１は、Ｓ３５０で否定した場合には、Ｓ３７０へ移行し、圧縮空気の供給状態が「速度低状態」（圧縮空気の供給速度が正常状態よりも遅い状態）と判定する。

演算部１１は、Ｓ３４０，Ｓ３６０，Ｓ３７０，Ｓ３９０，Ｓ４００のいずれかの処理を完了すると、第２異常判定処理を終了する。
以上説明したように、第２実施形態の製造装置１に備えられる制御部３は、演算部１１が第２異常判定処理を実行することで、供給配管１７を通じて空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定装置として動作する。

演算部１１は、第２異常判定処理を実行することで、流量測定部１３で測定された圧縮空気の変化状態（最大値Ｆｍ、最大時刻Ｔｍ、完了時流量Ｆｓなど）と、予め定められた判定基準情報（基準最大値Ｆｓｔ、基準最大時刻Ｔｓｔ、０［Ｌ／ＳＥＣ］など）との比較結果に基づいて、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する。

演算部１１は、流量測定部１３で測定された圧縮空気の変化状態が判定基準情報と一致する場合には（Ｓ３１０，Ｓ３２０，Ｓ３３０でいずれも肯定判定）、圧縮空気の供給状態が正常状態であると判定する（Ｓ３４０）。また、演算部１１は、流量測定部１３で測定された圧縮空気の変化状態が判定基準情報と異なる場合には（Ｓ３１０，Ｓ３２０，Ｓ３３０のうちいずれか１つで否定判定）、圧縮空気の供給状態が異常状態であると判定する（Ｓ３６０，Ｓ３７０，Ｓ３９０，Ｓ４００のいずれか）。

よって、この制御部３は、空気圧駆動機器３１の停止中ではなく、空気圧駆動機器３１の動作中に、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定することができる。
次に、制御部３において、第２異常判定処理を実行する演算部１１は、最大値Ｆｍおよび最大時刻Ｔｍを用いた判定（Ｓ３１０，Ｓ３２０）に加えて、動作期間の終了時（動作完了時）における瞬時流量Ｆｉ（完了時流量Ｆｓ）を用いた判定（Ｓ３３０）を行い、圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定している。

よって、制御部３は、空気圧駆動機器３１の動作中における圧縮空気の変化状態に加えて、空気圧駆動機器３１の動作完了時における圧縮空気の変化状態を用いて判定することで、圧縮空気の供給状態の判定精度を向上できる。

ここで、文言の対応関係について説明する。
最大値Ｆｍ、最大時刻Ｔｍ、完了時流量Ｆｓのそれぞれが圧縮空気の変化状態の一例に相当し、基準最大値Ｆｓｔ、基準最大時刻Ｔｓｔ、０［Ｌ／ＳＥＣ］のそれぞれが判定基準情報の一例に相当し、流量記憶処理および流量分析処理が変化状態測定ステップの一例に相当し、第２異常判定処理が異常判定ステップの一例に相当する。

［３．第３実施形態］
［３−１．全体構成］
第３実施形態として、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作期間のうち少なくとも一部が重なるのを許容するように構成された制御部３を備える製造装置について説明する。

なお、第３実施形態の製造装置は、制御部３と、複数の空気圧駆動機器３１と、を備えており、第１実施形態と比べてハードウェア構成は同様であり、以下の説明では、第１実施形態とは異なる点を中心に説明する。また、第３実施形態のうち第１実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明する。

［３−２．圧縮空気の変化状態］
第３実施形態の流量測定部１３で測定される圧縮空気の変化状態（圧縮空気の瞬時流量）の一例について、図６を用いて説明する。

ここでは、４個（Ａ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目）の空気圧駆動機器３１における動作期間の一部が重複する場合の波形について説明する。また、図６では、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態として、２種類の状態（正常状態、Ｂが異常（Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常））におけるそれぞれの「圧縮空気の変化状態」を図示している。

図６の「正常状態」は、４個の空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が正常である場合の圧縮空気の変化状態を表している。Ａ番目の空気圧駆動機器３１は第１時刻ｔａに動作を開始し、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１は第２時刻ｔｂに動作を開始し、Ｃ番目の空気圧駆動機器３１は第３時刻ｔｃに動作を開始し、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１は第４時刻ｔｄに動作を開始する。

なお、図６の「正常状態」では、流量測定部１３で測定される圧縮空気の瞬時流量Ｆｉを示す波形を「総和値」として記載している。また、参考用として、４個（Ａ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目）の空気圧駆動機器３１に個別に供給される圧縮空気の瞬時流量を示す波形を、それぞれ、基準Ａ、基準Ｂ、基準Ｃ、基準Ｄとして記載している。

次に、図６における「Ｂが異常」の波形は、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が空気漏れ異常である場合の波形であり、Ｂ番目の波形は、最大値に到達した後は約０．００７［Ｌ／ＳＥＣ］までしか低下せず、０［Ｌ／ＳＥＣ］に収束しない波形であり、「正常状態」の基準Ｂとは異なる波形を示す。なお、Ａ番目、Ｃ番目、Ｄ番目の各波形は、「正常状態」の基準Ａ、基準Ｃ、基準Ｄと同様の波形である。

このため、「Ｂが異常」の場合に、流量測定部１３で測定される圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、「測定値」と記載した波形（太い実線）となる。これは、「正常状態」の「総和値」（以下、基準総和値ともいう）の波形（太い点線）とは異なる波形を示す。

次に、４個（Ａ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目）の空気圧駆動機器３１のうち、Ｂ番目が「空気漏れ異常」であり、Ｄ番目が「速度低異常」である場合の波形を、図７の上側欄に示す。

図７の上側欄の波形は、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が空気漏れ異常である場合の波形であり、Ｂ番目の波形は、最大値に到達した後は約０．００７［Ｌ／ＳＥＣ］までしか低下せず、０［Ｌ／ＳＥＣ］に収束しない波形であり、図６における「正常状態」の基準Ｂとは異なる波形を示す。また、図７の上側欄の波形は、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１が速度低異常である場合の波形であり、Ｄ番目の波形は、図６の「正常状態」の基準Ｂの波形と比べて、最大値が小さく、最大値となる時刻が遅い波形である。なお、Ａ番目、Ｃ番目の各波形は、図６の「正常状態」の基準Ａ、基準Ｄと同様の波形である。

このため、図７の上側欄の波形では、流量測定部１３で測定される圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、「測定値」と記載した波形（太い実線）となる。これは、図６における「正常状態」の「総和値」の波形（図７の上側欄では、基準総和値（太い点線））とは異なる波形を示す。

［３−３．制御部が実行する処理］
次に、第３実施形態において、制御部３の演算部１１が実行する各種処理について説明する。

なお、上述のように、第３実施形態の制御部３は、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作期間のうち少なくとも一部が重なるのを許容するように構成されている。つまり、第３実施形態の演算部１１は、アクチュエータ制御処理を実行するにあたり、１つの空気圧駆動機器３１が動作中であっても、他の空気圧駆動機器３１も動作可能となるように処理を実行する。

また、第３実施形態の流量記憶処理は、動作信号Ｓａｎの出力開始時から第２時間Ｔ２が経過するまでの動作期間中、あるいは、動作信号Ｓａｎの出力開始時から他の動作信号Ｓａｎの出力開始時までの期間中のうちいずれかにおける瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する処理である。換言すれば、流量記憶処理は、通常動作期間（空気圧駆動機器３１の動作開始時を起点として第２時間Ｔ２が経過するまでの動作期間）および短縮動作期間（空気圧駆動機器３１の動作開始時を起点として他の空気圧駆動機器３１の動作開始時までの動作期間）のうち早期に終点に到達する動作期間中において、流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する処理である。

第３実施形態の異常判定処理は、流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉの波形（測定値）と、予め定められた基準波形との対比結果に基づいて、異常状態であるか否かを判定している。なお、第３実施形態の演算部１１は、「正常状態」における「総和値」の波形（図６参照）を基準波形として、記憶部（ＲＯＭなど）に予め記憶している。

例えば、図６の「Ｂが異常」における測定値は、基準総和値と対比すると、第２時刻ｔｂ以降の波形が不一致であるため、第２時刻ｔｂの直後に動作を開始するＢ番目の空気圧駆動機器３１が異常であると判断できる。なお、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１における異常の内容（種類）を特定するためには、例えば、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１を単独で動作させて、第１実施形態の異常判定処理や第２実施形態の第２異常判定処理を実行することで、異常の内容（種類）を特定しても良い。

また、図７の上側欄における測定値は、基準総和値と対比すると、第２時刻ｔｂ以降の波形が不一致であるため、第２時刻ｔｂの直後に動作を開始するＢ番目の空気圧駆動機器３１が異常状態であると判断できる。

Ｂ番目の空気圧駆動機器３１よりも後に動作を開始するＣ番目およびＤ番目の空気圧駆動機器３１が異常であるか否かを判断するためには、例えば、図７の下側欄に示すように、４個の空気圧駆動機器３１のそれぞれについて、測定値（流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉ）から個別基準値（例えば、図６の「正常状態」における基準Ａ，基準Ｂ，基準Ｃ，基準Ｄの各波形）を差し引いた個別演算値を用いて判定しても良い。具体的には、Ａ番目の空気圧駆動機器３１における個別演算値は、「測定値」から「基準Ｂ，基準Ｃ、基準Ｄ」を差し引いた波形である。同様に、Ｂ番目の個別演算値は、「測定値」から「基準Ａ，基準Ｃ、基準Ｄ」を差し引いた波形であり、Ｃ番目の個別演算値は、「測定値」から「基準Ａ，基準Ｂ、基準Ｄ」を差し引いた波形であり、Ｄ番目の個別演算値は、「測定値」から「基準Ａ，基準Ｂ、基準Ｃ」を差し引いた波形である。

得られた個別演算値の波形を、その空気圧駆動機器３１の個別基準値の波形（例えば、図６の「正常状態」における基準Ａ，基準Ｂ，基準Ｃ，基準Ｄのいずれかの波形）と対比して、波形の相関値を算出し、その相関値に基づいて異常の有無を判定してもよい。なお、波形の相関値とは、相関関数とも言われており、「波形形状の近似度合い」のことであり、例えば、個別演算値の波形を高さ方向に拡大・縮小した波形が、個別基準値の波形と一致する場合には、最大値（例えば、１．０００）となり、波形の不一致点が増えるに従い値が低下する、という特徴を有する数値である。そして、例えば、波形の相関値が相関基準値（例えば、０．９９０）以上である場合に正常と判断し、波形の相関値が相関基準値よりも小さい場合には異常と判断することで、異常の有無を判定できる。

あるいは、個別演算値の波形および個別基準値の波形をそれぞれ時間微分して微分波形を算出し、それぞれの微分波形の相関値を算出して、その相関値と相関基準値との比較結果に基づいて異常の有無を判定してもよい。

図７の下側欄に示すように、相関値に基づいて、４個の空気圧駆動機器３１におけるそれぞれの異常の有無を判定すると、Ａ番目およびＣ番目の空気圧駆動機器３１はそれぞれ正常と判定され、Ｂ番目およびＤ番目の空気圧駆動機器３１はそれぞれ異常と判定される。なお、Ｃ番目の個別演算値の波形は、全体的に個別基準値の波形よりも大きい値を示すとともに、高さ方向に縮小すると個別基準値の波形と一致することから、Ｃ番目の空気圧駆動機器３１は正常と判定できるとともに、さらに、この前に動作したＢ番目の空気圧駆動機器３１で「空気漏れ」と判定できる。これにより、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１における異常の種類を特定できる。

なお、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１については、個別演算値の波形に基づいて、異常であることは判定できるが、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常であることの影響により、異常の内容（種類）を特定することは難しい。このため、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１の異常の内容を特定するためには、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１のみを単独で動作させて、そのときの圧縮空気の変化状態に基づいて異常の内容（種類）を判定してもよい。

なお、図８に、第３実施形態における第３異常判定処理のフローチャートの一例を示す。このフローチャートは、４個（Ａ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目）の空気圧駆動機器３１がＡ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目の順番で動作する場合の異常判定処理である。

まず、Ｓ５００で、演算部１１は、供給配管１７（詳細には、主供給配管１７ａ）に流れる圧縮空気の瞬時流量Ｆｉ（図６および図７では測定値に相当）の履歴データなどを記憶部（ＲＡＭなど）から読み取る。

次に、演算部１１は、Ｓ５１０で、瞬時流量Ｆｉ（測定値）の波形および予め定められた基準総和値の波形のうち、図７の上側欄における第１時刻ｔａから第２時刻ｔｂまでの波形どうしの対比結果に基づいて、Ａ番目の空気圧駆動機器３１が異常であるか否かを判定する。両者の波形が異なる場合にはＡ番目の空気圧駆動機器３１が異常であると判定（肯定判定）してＳ５６０に移行し、両者の波形が同一の場合にはＡ番目の空気圧駆動機器３１が異常ではないと判定（否定判定）してＳ５２０に移行する。

次に、演算部１１は、Ｓ５２０で、瞬時流量Ｆｉ（測定値）の波形および基準総和値の波形のうち、図７の上側欄における第２時刻ｔｂから第３時刻ｔｃまでの波形どうしの対比結果に基づいて、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常であるか否かを判定する。Ｓ５２０で肯定判定するとＳ５７０に移行し、Ｓ５２０で否定判定するとＳ５３０に移行する。

演算部１１は、Ｓ５３０で、瞬時流量Ｆｉ（測定値）の波形および基準総和値の波形のうち、図７の上側欄における第３時刻ｔｃから第４時刻ｔｄまでの波形どうしの対比結果に基づいて、Ｃ番目の空気圧駆動機器３１が異常であるか否かを判定する。Ｓ５３０で肯定判定するとＳ５８０に移行し、Ｓ５３０で否定判定するとＳ５４０に移行する。

演算部１１は、Ｓ５４０で、瞬時流量Ｆｉ（測定値）の波形および基準総和値の波形のうち、図７の上側欄における第４時刻ｔｄから一定時間（例えば、図３の第２時間Ｔ２に相当する時間が経過するまでの時間）が経過するまでの波形どうしの対比結果に基づいて、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１が異常であるか否かを判定する。Ｓ５４０で肯定判定するとＳ５９０に移行し、Ｓ５４０で否定判定するとＳ５５０に移行する。

演算部１１は、Ｓ５１０、Ｓ５２０、Ｓ５３０、Ｓ５４０の全てで否定判定すると、Ｓ５５０に移行して、４個の空気圧駆動機器３１がいずれも正常状態であると判定する。
一方、演算部１１は、Ｓ５１０で肯定判定されてＳ５６０に移行すると、Ａ番目以外の複数の空気圧駆動機器３１（Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１）のそれぞれについて異常の有無を判定する処理を実行する。具体的には、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１のそれぞれについて、上述したように、測定値（流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉ）から個別基準値（例えば、図６の「正常状態」における基準Ａ，基準Ｂ，基準Ｃ，基準Ｄのうちいずれか３個の波形）を差し引いた個別演算値を用いて判定する。Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１のそれぞれについて、個別演算値を算出し、得られた個別演算値の波形を、その空気圧駆動機器３１の個別基準値の波形と対比して、波形の相関値を算出し、その相関値に基づいて異常の有無を判定する。なお、微分波形を用いて判定する場合には、微分処理を実施した上で、微分波形どうしの相関値を算出し、その相関値に基づいて異常の有無を判定する。

一方、演算部１１は、Ｓ５２０で肯定判定されてＳ５７０に移行すると、Ａ番目およびＢ番目以外の空気圧駆動機器３１であるＣ番目、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１のそれぞれについて異常の有無を判定する処理を実行する。Ｓ５７０での処理内容は、Ｓ５６０に類似した判定処理であって、Ｃ番目、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１を判定対象とした判定処理であるため、説明は省略する。

一方、演算部１１は、Ｓ５３０で肯定判定されてＳ５８０に移行すると、Ａ，Ｂ，Ｃ番目以外の空気圧駆動機器３１であるＤ番目の空気圧駆動機器３１について異常の有無を判定する処理を実行する。Ｓ５８０での処理内容は、Ｓ５６０に類似した判定処理であって、Ｄ番目の空気圧駆動機器３１を判定対象とした判定処理であるため、説明は省略する。

演算部１１は、Ｓ５６０，Ｓ５７０，Ｓ５８０の処理が終了するか、Ｓ５４０で肯定判定されてＳ５９０に移行すると、異常と判定された空気圧駆動機器３１を個別に動作させて異常の内容（種類）を判定する。

演算部１１は、Ｓ５５０またはＳ５９０の処理が終了すると、第３異常判定処理を終了する。
なお、図８に示す第３異常判定処理は、４個の空気圧駆動機器３１におけるそれぞれの動作期間が重なる場合において異常の有無を判定する異常判定処理の一例であり、動作期間が重なる空気圧駆動機器３１の個数が異なる場合には、Ｓ５１０〜Ｓ５４０の判定ステップの個数を適宜変更するとともに、Ｓ５６０〜Ｓ５８０の判定ステップの個数を適宜変更することで、異常の有無を判定できる。

また、図８に示す第３異常判定処理は、４個の空気圧駆動機器３１がＡ番目、Ｂ番目、Ｃ番目、Ｄ番目の順番で動作する場合の異常判定処理の一例であり、動作の順番が異なる場合には、動作の順番に応じて、Ｓ５１０〜Ｓ５４０の判定ステップの判定内容およびＳ５６０〜Ｓ５８０の判定ステップの判定内容を適宜変更することで、異常の有無を判定できる。

［３−４．効果］
以上説明したように、第３実施形態の製造装置１に備えられる制御部３は、演算部１１が第３異常判定処理を実行することで、供給配管１７を通じて空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定装置として動作する。

演算部１１は、第３異常判定処理を実行することで、複数の空気圧駆動機器３１におけるそれぞれの動作期間のうち少なくとも一部が重なる場合において、少なくとも１つの空気圧駆動機器３１が異常状態である場合には、異常の有無を判定することができる。例えば、図６に示す例のように、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常状態である場合には、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常状態であると判定できる。

また、図７に示す例のように、複数（Ｂ番目およびＤ番目）の空気圧駆動機器３１が異常状態である場合においても、測定値および基準総和値のそれぞれの波形の対比結果に加えて、個別演算値および個別基準値のそれぞれの波形の対比結果を用いて判定することで、複数の空気圧駆動機器３１が異常状態であることを判定できる。

よって、この制御部３は、複数の空気圧駆動機器３１におけるそれぞれの動作期間が重なる場合であっても、空気圧駆動機器３１における異常の有無を判定できる。
［３−５．文言の対応関係］
ここで、文言の対応関係について説明する。

測定値の波形が圧縮空気の変化状態の一例に相当し、基準総和値の波形が判定基準情報の一例に相当し、流量記憶処理および流量分析処理が変化状態測定ステップの一例に相当し、第３異常判定処理が異常判定ステップの一例に相当する。

［４．第４実施形態］
［４−１．全体構成］
第４実施形態として、複数の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作開始時期が同一時期となるのを許容するように構成された制御部３を備える製造装置について説明する。

なお、第４実施形態の製造装置は、制御部３と、複数の空気圧駆動機器３１と、を備えており、第１実施形態と比べてハードウェア構成は同様であり、以下の説明では、第１実施形態とは異なる点を中心に説明する。また、第４実施形態のうち第１実施形態と同一の構成については、同一符号を付して説明する。

［４−２．圧縮空気の変化状態］
第４実施形態の流量測定部１３で測定される圧縮空気の変化状態（圧縮空気の瞬時流量）の一例について、図９を用いて説明する。

ここでは、２個（Ａ番目、Ｂ番目）の空気圧駆動機器３１における動作開始時期が同一である場合（動作期間の全体が重複する場合）の波形について説明する。また、図９では、空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態として、２種類の状態（正常状態、Ｂが異常（Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常））におけるそれぞれの「圧縮空気の変化状態」を図示している。

図９の「正常状態」は、２個の空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が正常である場合の圧縮空気の変化状態（瞬時流量）を表している。Ａ番目およびＢ番目の空気圧駆動機器３１は、それぞれ同一時刻（第１時刻ｔａ）に動作を開始する。

なお、図９の「正常状態」では、流量測定部１３で測定される圧縮空気の瞬時流量Ｆｉを示す波形を「測定値」として記載している。また、参考用として、２個（Ａ番目、Ｂ番目）の空気圧駆動機器３１に個別に供給される圧縮空気の瞬時流量を示す波形を、それぞれ、基準Ａ、基準Ｂとして記載している。さらに、基準Ａおよび基準Ｂを足し合わせた値を、基準総和値として記載している。図９では、基準Ａよりも基準Ｂの方が、全体として大きい値となる波形となっている。

次に、図９における「Ｂが異常」の波形は、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が空気漏れ異常である場合の波形であり、Ｂ番目の波形は、最大値に到達した後は約０．０１０［Ｌ／ＳＥＣ］までしか低下せず、０［Ｌ／ＳＥＣ］に収束しない波形であり、「正常状態」の基準Ｂとは異なる波形を示す。なお、Ａ番目の波形は、「正常状態」の基準Ａと同様の波形である。

このため、「Ｂが異常」の場合に、流量測定部１３で測定される圧縮空気の瞬時流量Ｆｉは、「測定値」と記載した波形（実線）となる。これは、「正常状態」の「総和値」（以下、基準総和値ともいう）の波形（太い点線）とは異なる波形を示す。

［４−３．制御部が実行する処理］
次に、第４実施形態において、制御部３の演算部１１が実行する各種処理について説明する。

なお、上述のように、第４実施形態の制御部３は、複数の空気圧駆動機器３１のうち少なくとも２つの動作開始時期が同一となるのを許容するように構成されている。つまり、第４実施形態の演算部１１が実行するアクチュエータ制御処理は、２つの空気圧駆動機器３１が同時に動作を開始するのを許容するように制御処理を実行する。

また、第４実施形態の流量記憶処理は、流通方向切替部１５への動作信号Ｓａｎの出力開始時を起点として第２時間Ｔ２が経過するまでの動作期間中における瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する処理である。換言すれば、流量記憶処理は、空気圧駆動機器３１の動作開始時を起点として第２時間Ｔ２が経過するまでの動作期間中において、流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉの履歴データを記憶部に記憶する処理である。

第４実施形態の異常判定処理は、流量測定部１３で測定された瞬時流量Ｆｉの波形（測定値）と、予め定められた基準波形との対比結果に基づいて、異常状態であるか否かを判定している。なお、第４実施形態の演算部１１は、「正常状態」における「総和値」の波形（図９参照）を基準波形として、記憶部（ＲＯＭなど）に予め記憶している。

例えば、図９の「Ｂが異常」における測定値は、基準総和値と対比すると、波形が不一致であるため、Ａ番目およびＢ番目のうち少なくとも一方の空気圧駆動機器３１が異常であると判断できる。なお、いずれの空気圧駆動機器３１が異常であるかを特定するため、あるいは、異常の内容（種類）を特定するためには、例えば、複数の空気圧駆動機器３１を個別に動作させて、第１実施形態の異常判定処理や第２実施形態の第２異常判定処理を実行することで、複数の空気圧駆動機器３１のうちいずれが異常状態であるのかを特定するとともに、異常の内容（種類）を特定しても良い。

なお、図１０に、第４実施形態における第４異常判定処理のフローチャートの一例を示す。このフローチャートは、２個（Ａ番目、Ｂ番目）の空気圧駆動機器３１が同時期に動作を開始する場合の異常判定処理である。

まず、Ｓ７００で、演算部１１は、供給配管１７（詳細には、主供給配管１７ａ）に流れる圧縮空気の瞬時流量Ｆｉ（図９では測定値に相当）の履歴データなどを記憶部（ＲＡＭなど）から読み取る。

次に、演算部１１は、Ｓ７１０で、瞬時流量Ｆｉ（測定値）の波形および予め定められた基準総和値の波形の対比結果に基づいて、測定値と基準総和値とが同一であるか否かを判定する。このとき、両者の波形が同一の場合には肯定判定してＳ７２０に移行し、Ａ番目およびＢ番目の空気圧駆動機器３１がいずれも正常であると判定する。また、両者の波形が異なる場合には否定判定してＳ７３０に移行し、Ａ番目およびＢ番目のうち少なくとも一方の空気圧駆動機器３１が異常であると判定する。

Ｓ７３０が終了してＳ７４０に移行すると、２個（Ａ番目、Ｂ番目）の空気圧駆動機器３１を個別に動作させて、いずれが異常であるのか判定するとともに、異常の内容（種類）を判定する。

演算部１１は、Ｓ７２０またはＳ７３０の処理が終了すると、第４異常判定処理を終了する。
［４−４．効果］
以上説明したように、第４実施形態の製造装置１に備えられる制御部３は、演算部１１が第４異常判定処理を実行することで、供給配管１７を通じて空気圧駆動機器３１に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定装置として動作する。

演算部１１は、第４異常判定処理を実行することで、２個の空気圧駆動機器３１が同時期に動作を開始する場合において、少なくとも１つの空気圧駆動機器３１が異常状態である場合には、異常の有無を判定することができる。例えば、図９の下側に示す例のように、Ｂ番目の空気圧駆動機器３１が異常状態である場合には、少なくとも１つの空気圧駆動機器３１が異常状態であると判定できる。

また、測定値および基準総和値のそれぞれの波形の対比結果に加えて、個別演算値および個別基準値のそれぞれの波形の対比結果を用いて判定することで、複数の空気圧駆動機器３１のうちいずれが異常であるのか判定できるとともに、異常の内容（種類）を判定できる。

よって、この制御部３は、複数の空気圧駆動機器３１が同時期に動作を開始する場合であっても、複数の空気圧駆動機器３１のうちいずれが異常であるのか判定できるとともに、異常の内容（種類）を判定できる。

［４−５．文言の対応関係］
ここで、文言の対応関係について説明する。
測定値の波形が圧縮空気の変化状態の一例に相当し、基準総和値の波形が判定基準情報の一例に相当し、流量記憶処理および流量分析処理が変化状態測定ステップの一例に相当し、第４異常判定処理が異常判定ステップの一例に相当する。

［５．他の実施形態］
以上、本発明の実施形態について説明したが、本発明は上記実施形態に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、様々な態様にて実施することが可能である。

例えば、上述の各実施形態の制御部３（異常判定装置）は、複数の空気圧駆動機器を制御するように構成されているが、本開示の異常判定装置は、単一の空気圧駆動機器を制御する構成であってもよい。

次に、第１実施形態および第２実施形態では、異常判定処理が、空気圧駆動機器３１の動作期間の終了時（動作完了時）における瞬時流量Ｆｉ（完了時流量Ｆｓ）を用いて圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する完了時判定ステップ（Ｓ１３０，Ｓ３３０）を有する構成であるが、異常判定処理はこのような構成に限られることはない。例えば、異常判定処理が、空気圧駆動機器３１の動作期間の開始時（動作開始時）における瞬時流量Ｆｉ（開始時流量Ｆｐ）を用いて圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する開始時判定ステップを有する構成であってもよい。異常判定処理は、開始時判定ステップおよび完了時判定ステップの両者を備える構成であってもよいし、いずれか一方の判定ステップを備える構成であってもよい。

次に、第３実施形態では、４個の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作期間のうち少なくとも一部が重なるように構成について説明したが、２個または３個または５個以上の空気圧駆動機器３１のそれぞれの動作期間のうち少なくとも一部が重なるように構成であってもよい。

また、第４実施形態では、２個の空気圧駆動機器３１が同時期に動作を開始する構成について説明したが、３個以上の空気圧駆動機器３１が同時期に動作を開始する構成であっても良い。

さらに、上記実施形態は、空気圧駆動機器を備える製造装置について説明したが、本開示の適用対象は製造装置に限られることはなく、空気圧駆動機器を備えるものであれば任意の機器に適用できる。例えば、機械設備、産業機械、空気圧駆動機器そのもの、これらの制御装置などに本開示を適用してもよい。

次に、上記各実施形態における１つの構成要素が有する機能を複数の構成要素に分担させたり、複数の構成要素が有する機能を１つの構成要素に発揮させたりしてもよい。また、上記各実施形態の構成の一部を、省略してもよい。また、上記各実施形態の構成の少なくとも一部を、他の上記実施形態の構成に対して付加、置換等してもよい。なお、特許請求の範囲に記載の文言から特定される技術思想に含まれるあらゆる態様が本開示の実施形態である。

上述したマイコンの他、当該マイコンを構成要素とするシステム、当該マイコンとしてコンピュータを機能させるためのプログラム、このプログラムを記録した半導体メモリ等の非遷移的実態的記録媒体、濃度算出方法など、種々の形態で本開示を実現することもできる。

１…製造装置、３…制御部、１１…演算部、１３…流量測定部、１５…流通方向切替部、１５ａ…平行連結部、１５ｂ…交差連結部、１７…供給配管、１７ａ…主供給配管、１７ｂ…分岐供給配管、１９…排出配管、１９ａ…主排出配管、１９ｂ…分岐排出配管、３１…空気圧駆動機器（空気圧アクチュエータ）、３２…ピストン、３３…第１経路、３５…第２経路。

Claims (6)

1. 配管を通じて空気圧駆動機器に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定方法であって、
   前記配管から前記空気圧駆動機器へ供給される前記圧縮空気の変化状態を測定する変化状態測定ステップと、
   前記変化状態測定ステップで測定された前記変化状態と予め定められた判定基準情報との比較結果に基づいて、前記圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定ステップと、
   を有する異常判定方法。
2. 前記空気圧駆動機器は複数備えられ、
   前記配管は、外部から前記圧縮空気が供給される主配管と、前記複数の空気圧駆動機器のそれぞれに前記圧縮空気を供給するために前記主配管から分岐する複数の分岐配管と、を備えており、
   前記変化状態測定ステップでは、前記主配管における前記圧縮空気の変化状態を測定する変化状態測定部を用いて前記圧縮空気の変化状態を測定し、
   前記異常判定ステップでは、前記複数の空気圧駆動機器のそれぞれの動作時期における前記圧縮空気の変化状態と前記判定基準情報との比較結果に基づいて、前記複数の空気圧駆動機器のうちいずれが異常状態であるかを判定する、
   請求項１に記載の異常判定方法。
3. 前記異常判定ステップでは、さらに、前記空気圧駆動機器の動作完了時における前記圧縮空気の変化状態に基づいて、前記圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する、
   請求項１または請求項２に記載の異常判定方法。
4. 前記異常判定ステップでは、前記空気圧駆動機器の動作開始時を起点として前記変化状態測定ステップで測定された前記変化状態と前記判定基準情報との比較結果に基づいて、前記圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する、
   請求項１から請求項３のうちいずれか一項に記載の異常判定方法。
5. 前記空気圧駆動機器は、前記圧縮空気の移動方向を切り替える流通方向切替部により動作状態が切り替わるように構成されている、
   請求項１から請求項４のうちいずれか一項に記載の異常判定方法。
6. 配管を通じて空気圧駆動機器に供給される圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定装置であって、
   前記配管から前記空気圧駆動機器へ供給される前記圧縮空気の変化状態を測定する変化状態測定部と、
   前記変化状態測定部で測定された前記変化状態と予め定められた判定基準情報との比較結果に基づいて、前記圧縮空気の供給状態が異常であるか否かを判定する異常判定部と、
   を備える異常判定装置。