JP2018105748A - Pressure sensor - Google Patents

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pressure
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義孝 伊藤
Yoshitaka Ito
義孝 伊藤
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Aisin AW Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To allow reduction of the size of a pressure sensor.SOLUTION: A pressure detector includes: a plate-like part having a diaphragm, the diaphram being deformed by the pressure of a fluid, and a detection part for detecting the deformation of the diaphragm; and a wall part extending from the outer periphery of the plate-like part to a base plate, the wall part having an end surface fixed to the base plate with an adhesive part. The adhesive part includes conductive adhesive parts and insulating adhesive parts alternately arranged along the circumferential direction of an end surface. The detection part and the conductive adhesive parts are electrically connected.SELECTED DRAWING: Figure 2

Description

本開示は、圧力センサに関する。   The present disclosure relates to pressure sensors.

従来、この種の圧力センサとしては、被取付部材と、被取付部材に対向配置されるパッケージと、パッケージの内部に収納される電子部品と、パッケージの開口を閉塞する筐体と、を備えるものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。ここで、パッケージは、被取付部材に対向する板部と、板部の周辺に形成される壁部とを有し、パッケージには、被取付部材に形成される流体導入孔から導入される被測定流体を流通させる流通孔が形成されている。電子部品は、パッケージに収納されると共に流通孔から流通された被測定流体の圧力を検出する歪みゲージ等の検知部が設けられた検出素子と、温度等の補正演算を行なうASICと、を有する。検知部やASICは、ボンディングワイヤを介してパッケージの板部のパッドに接続される。   Conventionally, this type of pressure sensor includes a mounted member, a package disposed opposite to the mounted member, an electronic component housed in the package, and a housing that closes the opening of the package. Has been proposed (see, for example, Patent Document 1). Here, the package has a plate portion facing the member to be attached and a wall portion formed around the plate portion, and the package has a member to be introduced from a fluid introduction hole formed in the member to be attached. A flow hole for flowing the measurement fluid is formed. The electronic component includes a detection element provided with a detection unit such as a strain gauge that detects the pressure of the fluid to be measured that is housed in the package and circulated from the circulation hole, and an ASIC that performs a correction operation such as temperature. . The detection unit and the ASIC are connected to pads on the plate portion of the package via bonding wires.

特開2015−96843号公報Japanese Patent Laying-Open No. 2015-96843

上述の圧力センサでは、検知部やASICとパッケージのパッドとがボンディングワイヤを介して接続されることから、検知部やASIC,パッケージにボンディングワイヤの端部を取り付けるためのスペースやその際に用いる取付ツールのスペースを確保する必要があり、センサの体格が大きくなってしまう。   In the above-described pressure sensor, the detection unit, the ASIC, and the pad of the package are connected via the bonding wire. Therefore, a space for attaching the end of the bonding wire to the detection unit, the ASIC, and the package, and the attachment used at that time It is necessary to secure a space for the tool, and the size of the sensor becomes large.

本開示の発明は、圧力センサの小型化を可能にすることを主目的とする。   The main object of the present disclosure is to enable downsizing of the pressure sensor.

本開示の圧力センサは、上述の主目的を達成するために以下の手段を採った。   The pressure sensor of this indication has taken the following means in order to achieve the above-mentioned main purpose.

本開示の圧力センサは、
基板と、前記基板とにより空間を形成すると共に前記基板に形成される流体導入孔を介して前記空間に導入される流体の圧力を検出するための圧力検出体と、を備える圧力センサであって、
前記圧力検出体は、前記流体の圧力に応じて変形するダイヤフラムを有する板状部と、前記板状部の外周から前記基板側に延出すると共に端面が全周に亘って接着部を介して前記基板に固定される壁部と、前記板状部に取り付けられると共に前記ダイヤフラムの変形を検出する検出部と、を備え、
前記接着部は、導電性の導電接着部と絶縁性の絶縁接着部とが前記端面の周方向に沿って交互に配設され、
前記検出部と前記導電接着部とは、電気的に接続される、
ことを要旨とする。
The pressure sensor of the present disclosure includes
A pressure sensor comprising: a substrate; and a pressure detector that forms a space by the substrate and detects a pressure of a fluid introduced into the space through a fluid introduction hole formed in the substrate. ,
The pressure detector includes a plate-like portion having a diaphragm that deforms in accordance with the pressure of the fluid, and extends from the outer periphery of the plate-like portion to the substrate side, and the end surface extends over the entire circumference via an adhesive portion. A wall portion fixed to the substrate, and a detection portion attached to the plate-like portion and detecting deformation of the diaphragm,
The adhesive part, the conductive conductive adhesive part and the insulating insulating adhesive part are alternately arranged along the circumferential direction of the end face,
The detection part and the conductive adhesive part are electrically connected.
This is the gist.

この本発明の圧力センサでは、圧力検出体は、流体の圧力に応じて変形するダイヤフラムを有する板状部と、板状部の外周から基板側に延出すると共に端面が接着部を介して基板に固定される壁部と、板状部に取り付けられると共にダイヤフラムの変形を検出する検出部と、を備える。また、接着部は、導電性の導電接着部と絶縁性の絶縁接着部とが端面の周方向に沿って交互に配設される。さらに、検出部と導電接着部とは、電気的に接続される。これにより、検出部と外部の電気回路とを導通接着部を介して電気的に接続することができる。したがって、ボンディングワイヤを取り付けるためのスペースやその際に用いる取付ツールのスペースを確保する必要がなくなるから、圧力センサの小型化を図ることができる。しかも、壁部が全周に亘って接着部を介して基板に固定されることにより、空間からの流体の漏れ(圧力の検出精度の低下)を抑制することができると共に、接着部において、導電接着部と絶縁接着部とが交互に配設されることにより、隣り合う導電接着部間の絶縁を確保することができる。   In the pressure sensor of the present invention, the pressure detector includes a plate-like portion having a diaphragm that deforms in accordance with the pressure of the fluid, and extends from the outer periphery of the plate-like portion to the substrate side, and an end surface of the substrate via the bonding portion. And a detection unit that is attached to the plate-like part and detects deformation of the diaphragm. Moreover, as for the bonding part, a conductive conductive bonding part and an insulating insulating bonding part are alternately arranged along the circumferential direction of the end face. Further, the detection unit and the conductive bonding unit are electrically connected. Thereby, a detection part and an external electric circuit can be electrically connected via a conduction adhesion part. Accordingly, it is not necessary to secure a space for attaching a bonding wire and a space for an attachment tool used at that time, and thus the pressure sensor can be miniaturized. In addition, since the wall portion is fixed to the substrate through the adhesive portion over the entire circumference, fluid leakage from the space (decrease in pressure detection accuracy) can be suppressed, and the adhesive portion is electrically conductive. By alternately arranging the adhesive portions and the insulating adhesive portions, it is possible to ensure insulation between adjacent conductive adhesive portions.

本開示の圧力センサ20の構成の概略を示す構成図である。It is a block diagram which shows the outline of a structure of the pressure sensor 20 of this indication. 図1の圧力センサ20の要部を上側から見た平面図である。It is the top view which looked at the principal part of the pressure sensor 20 of FIG. 1 from the upper side. 図1の圧力センサ20の基板22の接着部40周辺を上側から見た上面図である。It is the top view which looked at the adhesion part 40 periphery of the board | substrate 22 of the pressure sensor 20 of FIG. 1 from the upper side.

次に、図面を参照しながら、本開示の発明を実施するための形態について説明する。   Next, embodiments for carrying out the invention of the present disclosure will be described with reference to the drawings.

図1は、本開示の圧力センサ20の構成の概略を示す構成図であり、図2は、図1の圧力センサ20の要部を上側から見た平面図であり、図3は、図1の圧力センサ20の基板22の接着部40周辺を上側から見た上面図である。なお、図2では、配線33a〜33d,50a〜50c,52a〜52cについては、模式的に示したが、ノイズなどを考慮すると、直角配線を避けるのが好ましい。   FIG. 1 is a configuration diagram showing an outline of the configuration of the pressure sensor 20 of the present disclosure, FIG. 2 is a plan view of the main part of the pressure sensor 20 of FIG. 1 viewed from above, and FIG. It is the top view which looked at the adhesion part 40 periphery of the board | substrate 22 of the pressure sensor 20 from the upper side. In FIG. 2, the wirings 33a to 33d, 50a to 50c, and 52a to 52c are schematically shown. However, in consideration of noise and the like, it is preferable to avoid the right-angle wiring.

図1〜図3に示すように、本開示の圧力センサ20は、変速機の油圧制御装置のバルブボディ10に形成された油路12、例えば、ソレノイドバルブから作動油が出力される油路の油圧を検出するための油圧センサとして構成されており、基板22と、基板22とにより空間26sを形成するように基板22に固定される圧力検出体26と、を備える。   As shown in FIGS. 1 to 3, the pressure sensor 20 of the present disclosure includes an oil passage 12 formed in a valve body 10 of a hydraulic control device for a transmission, for example, an oil passage through which hydraulic oil is output from a solenoid valve. The hydraulic sensor is configured to detect hydraulic pressure, and includes a substrate 22 and a pressure detector 26 fixed to the substrate 22 so as to form a space 26 s by the substrate 22.

基板22は、例えばセラミックによって矩形や円形などに形成されている。この基板22には、油路12に連通すると共に油路12内の作動油(流体)を空間26sに導入するための導入孔23が形成されている。この基板22とバルブボディ10との間には、シール部材としてのOリング14が配置されている。   The substrate 22 is formed, for example, in a rectangular shape or a circular shape from ceramic. The substrate 22 is formed with an introduction hole 23 that communicates with the oil passage 12 and introduces hydraulic oil (fluid) in the oil passage 12 into the space 26s. An O-ring 14 as a seal member is disposed between the substrate 22 and the valve body 10.

圧力検出体26は、板状の板状部28と、板状部28の外周から板状部28に直交する方向(基板22側)に延出する壁部30と、板状部28の表面に取り付けられる検出部31と、を備える。板状部28および壁部30は、例えばシリコンによって一体に成形されている。   The pressure detector 26 includes a plate-like plate-like portion 28, a wall portion 30 extending from the outer periphery of the plate-like portion 28 in a direction orthogonal to the plate-like portion 28 (substrate 22 side), and the surface of the plate-like portion 28. And a detection unit 31 attached to. The plate-like portion 28 and the wall portion 30 are integrally formed of, for example, silicon.

図1や図2に示すように、板状部28は、空間26s内の作動油の油圧に応じて変形する(歪む)ダイヤフラム29を有する。壁部30は、端面が全周に亘って接着部40を介して基板22に固定される。検出部31は、ダイヤフラム29の変形を検出するために用いられるものであり、ダイヤフラム29に取り付けられる4つの歪みゲージ(抵抗成分)32a〜32dと、配線33a〜33dと、処理回路36と、を備える。歪みゲージ32a〜32dは、例えばシリコンに不純物拡散を施すことによって形成され、ダイヤフラム29の変形に応じて伸びたり縮んだりすることによってその抵抗値が変化する。歪みゲージ32aの一方の端子と歪みゲージ32bの一方の端子とは、配線33aによって電気的に接続されている。歪みゲージ32bの他方の端子と歪みゲージ32cの一方の端子とは、配線33bによって電気的に接続されている。歪みゲージ32cの他方の端子と歪みゲージ32dの一方の端子とは、配線33cによって電気的に接続されている。歪みゲージ32dの他方の端子と歪みゲージ32aの他方の端子とは、配線33dによって電気的に接続されている。ここで、配線33a〜33dは、板状部28の表面に回路パターン(プリント配線)として形成されている。また、歪みゲージ32a〜32dおよび配線33a〜33dにより、ブリッジ回路が形成されている。処理回路36は、配線33bと配線33dとの電位差(電圧)に応じた信号を出力する。   As shown in FIGS. 1 and 2, the plate-like portion 28 includes a diaphragm 29 that is deformed (distorted) in accordance with the hydraulic pressure of the hydraulic oil in the space 26 s. The wall portion 30 is fixed to the substrate 22 through the adhesive portion 40 at the end surface over the entire circumference. The detection unit 31 is used to detect deformation of the diaphragm 29, and includes four strain gauges (resistance components) 32 a to 32 d attached to the diaphragm 29, wirings 33 a to 33 d, and a processing circuit 36. Prepare. The strain gauges 32 a to 32 d are formed, for example, by diffusing impurities in silicon, and the resistance value thereof changes as the diaphragm 29 expands or contracts according to the deformation of the diaphragm 29. One terminal of the strain gauge 32a and one terminal of the strain gauge 32b are electrically connected by a wiring 33a. The other terminal of the strain gauge 32b and one terminal of the strain gauge 32c are electrically connected by a wiring 33b. The other terminal of the strain gauge 32c and one terminal of the strain gauge 32d are electrically connected by a wiring 33c. The other terminal of the strain gauge 32d and the other terminal of the strain gauge 32a are electrically connected by a wiring 33d. Here, the wirings 33 a to 33 d are formed on the surface of the plate-like portion 28 as a circuit pattern (printed wiring). A bridge circuit is formed by the strain gauges 32a to 32d and the wirings 33a to 33d. The processing circuit 36 outputs a signal corresponding to the potential difference (voltage) between the wiring 33b and the wiring 33d.

図2,図3に示すように、接着部40は、壁部30(図1参照)の周方向に沿って順に配設される、導電接着部41a,絶縁接着部42a,導電接着部41b,絶縁接着部42b,導電接着部41c,絶縁接着部42cを有する。導電接着部41a〜41cは、導電性を有する材料、例えば、銀ペーストなどによる接着剤により構成されている。絶縁接着部42a〜42cは、絶縁性を有する材料、例えば、エポキシ樹脂などによる接着剤により構成されている。   As shown in FIGS. 2 and 3, the bonding portion 40 is disposed in order along the circumferential direction of the wall portion 30 (see FIG. 1). The bonding portion 41 a, the insulating bonding portion 42 a, the conductive bonding portion 41 b, It has an insulating bonding portion 42b, a conductive bonding portion 41c, and an insulating bonding portion 42c. The conductive bonding portions 41a to 41c are made of a conductive material, for example, an adhesive made of silver paste or the like. The insulating bonding portions 42a to 42c are made of an insulating material, for example, an adhesive made of an epoxy resin or the like.

図2に示すように、導電接着部41aは、配線50aを介して配線33aに電気的に接続されると共に配線52aを介してパッド54aに電気的に接続されている。このパッド54aには電源(図示せず)が電気的に接続される。導通接着部41bは、配線50bを介して配線33cに電気的に接続されると共に配線52bを介してパッド54bに電気的に接続されている。このパッド54bにはグランドが電気的に接続される(パッド54bは接地される)。導通接着部41cは、配線50cを介して処理回路36に電気的に接続されると共に配線52cを介してパッド54cに電気的に接続されている。パッド54cには演算装置(図示せず)が電気的に接続される。配線50a〜50cは、板状部28および壁部30の表面に回路パターン(プリント配線)として形成され、配線52a〜52cは、基板22の表面にプリント配線として形成されている。なお、配線50a〜50c,配線52a〜52c,パッド54a〜54cは、図1では、それぞれ、符号を「50」,「52」,「54」とした。   As shown in FIG. 2, the conductive bonding portion 41a is electrically connected to the wiring 33a via the wiring 50a and electrically connected to the pad 54a via the wiring 52a. A power source (not shown) is electrically connected to the pad 54a. The conductive bonding portion 41b is electrically connected to the wiring 33c via the wiring 50b and electrically connected to the pad 54b via the wiring 52b. A ground is electrically connected to the pad 54b (the pad 54b is grounded). The conductive bonding portion 41c is electrically connected to the processing circuit 36 via the wiring 50c and electrically connected to the pad 54c via the wiring 52c. An arithmetic device (not shown) is electrically connected to the pad 54c. The wirings 50 a to 50 c are formed as circuit patterns (printed wiring) on the surfaces of the plate-like portion 28 and the wall portion 30, and the wirings 52 a to 52 c are formed as printed wirings on the surface of the substrate 22. The wirings 50a to 50c, the wirings 52a to 52c, and the pads 54a to 54c are denoted by “50”, “52”, and “54”, respectively, in FIG.

こうして構成される圧力センサ20では、空間26s内の作動油の油圧によってダイヤフラム29が変形して(歪んで)歪みゲージ32a〜32dが伸びたり縮んだりすると、伸びた歪みゲージの抵抗値が大きくなると共に縮んだ歪みゲージの抵抗値が小さくなり、配線33b(歪みゲージ32b,32cの間)と配線33d(歪みゲージ32a,32dの間)とに電位差(電圧)が生じる。この電圧に応じた信号が処理回路36から配線50cや導通接着部41c,配線52c,パッド54cを介して演算装置に出力され、演算装置は、この信号に応じて油路12の作動油の油圧を演算する。   In the pressure sensor 20 configured in this manner, when the diaphragm 29 is deformed (distorted) by the hydraulic pressure of the hydraulic oil in the space 26s and the strain gauges 32a to 32d are expanded or contracted, the resistance value of the expanded strain gauge increases. At the same time, the resistance value of the shrunk strain gauge is reduced, and a potential difference (voltage) is generated between the wiring 33b (between the strain gauges 32b and 32c) and the wiring 33d (between the strain gauges 32a and 32d). A signal corresponding to this voltage is output from the processing circuit 36 to the arithmetic device via the wiring 50c, the conductive adhesive portion 41c, the wiring 52c, and the pad 54c. The arithmetic device responds to this signal with the hydraulic pressure of the hydraulic oil in the oil passage 12 Is calculated.

上述のように構成される本開示の圧力センサ20では、配線33a,33cや処理回路36と導電接着部41a〜41cとを配線50a〜50cを介して電気的に接続すると共に導電接着部41a〜41cとパッド54a〜54cとを配線52a〜52cを介して電気的に接続することにより、配線33a,33cや処理回路36とパッド54a〜54cとを、ボンディングワイヤを用いることなく、電気的に接続することができる。このため、ボンディングワイヤの端部を取り付けるためのスペースやその際に用いる取付ツールのスペースを確保する必要がない。したがって、圧力センサ20の小型化を図ることができる。また、ボンディングワイヤを用いないことによるコスト削減を図ることもできる。   In the pressure sensor 20 of the present disclosure configured as described above, the wirings 33a and 33c and the processing circuit 36 are electrically connected to the conductive bonding portions 41a to 41c via the wirings 50a to 50c and the conductive bonding portions 41a to 41c. 41c and pads 54a to 54c are electrically connected via wirings 52a to 52c, so that wirings 33a and 33c and processing circuit 36 and pads 54a to 54c are electrically connected without using bonding wires. can do. For this reason, it is not necessary to ensure the space for attaching the edge part of a bonding wire, and the space of the attachment tool used in that case. Therefore, the pressure sensor 20 can be downsized. Further, the cost can be reduced by not using the bonding wire.

また、圧力検出体26の壁部30の端面を全周に亘って接着部40を介して基板22に固定することにより、空間26sからの作動油の漏れ(油圧の検出精度の低下)を抑制することができる。また、接着部40において、壁部30の端面の周方向に沿って、導電接着部41a,絶縁接着部42a,導電接着部41b,絶縁接着部42b,導電接着部41c,絶縁接着部42cをこの順に配設することにより、導電接着部41a〜41cの互いの絶縁を確保する(短絡を回避する)ことができる。   Further, by fixing the end face of the wall portion 30 of the pressure detection body 26 to the substrate 22 through the bonding portion 40 over the entire circumference, leakage of hydraulic oil from the space 26s (decrease in hydraulic pressure detection accuracy) is suppressed. can do. Further, in the bonding portion 40, the conductive bonding portion 41a, the insulating bonding portion 42a, the conductive bonding portion 41b, the insulating bonding portion 42b, the conductive bonding portion 41c, and the insulating bonding portion 42c are arranged along the circumferential direction of the end surface of the wall portion 30. By arranging in order, it is possible to ensure insulation of the conductive bonding portions 41a to 41c (a short circuit is avoided).

上述の圧力センサ20では、配線33a,33cや処理回路36と導電接着部41a〜41cとを圧力検出体26の表面に回路パターンとして形成された配線50a〜50cを介して電気的に接続するものとした。しかし、配線33a,33cや処理回路36と導電接着部41a〜41cとを電気的に接続するものであれば、これに限定されるものではない。例えば、圧力検出体26の内部を通るように形成された配線を介して電気的に接続するものとしてもよい。   In the pressure sensor 20 described above, the wirings 33a and 33c, the processing circuit 36, and the conductive bonding portions 41a to 41c are electrically connected to each other through the wirings 50a to 50c formed as circuit patterns on the surface of the pressure detector 26. It was. However, the wiring 33a, 33c or the processing circuit 36 and the conductive bonding portions 41a to 41c are not limited to this as long as they are electrically connected. For example, it is good also as what is electrically connected through the wiring formed so that the inside of the pressure detection body 26 might be passed.

上述の圧力センサ20では、例えばシリコンのダイヤフラム29に歪みゲージ32a〜32dが取り付けられて構成されるものとした。しかし、これに限定されるものではなく、例えば、金属製のダイヤフラムに絶縁膜を介して金属ゲージ薄膜が取り付けられて構成されるものとしてもよい。   The pressure sensor 20 described above is configured, for example, by attaching strain gauges 32 a to 32 d to a silicon diaphragm 29. However, the present invention is not limited to this. For example, a metal gauge thin film may be attached to a metal diaphragm via an insulating film.

上述の圧力センサ20では、ダイヤフラム29に歪みゲージ32a〜32dが取り付けられるいわゆる歪みゲージ式の圧力センサとして構成されるものとした。しかし、これに限定されるものではなく、例えば、ダイヤフラムが2つの電極に挟まれると共にダイヤフラムの変動に応じて2つの電極の静電容量が変化するいわゆる静電容量式の圧力センサとして構成されるものとしてもよい。   The pressure sensor 20 described above is configured as a so-called strain gauge type pressure sensor in which strain gauges 32 a to 32 d are attached to the diaphragm 29. However, the present invention is not limited to this. For example, it is configured as a so-called capacitance-type pressure sensor in which the diaphragm is sandwiched between two electrodes and the capacitance of the two electrodes changes according to the fluctuation of the diaphragm. It may be a thing.

上述の圧力センサ20では、基板22に設けられたパッド54a〜54cに電源やグランド,演算装置が電気的に接続されるものとした。しかし、パッド54a〜54cに代えて金属製のばねなどを基板22に設けて、そのばねに電源やグランド,演算装置が電気的に接続されるものとしてもよい。   In the pressure sensor 20 described above, the power source, the ground, and the arithmetic unit are electrically connected to the pads 54 a to 54 c provided on the substrate 22. However, instead of the pads 54a to 54c, a metal spring or the like may be provided on the substrate 22, and a power source, a ground, or an arithmetic unit may be electrically connected to the spring.

上述の圧力センサ20は、基板22に形成された導入孔23が変速機の油圧制御装置のバルブボディ10に形成された油路12に連通し、油路12の作動油の油圧を検出するのに用いられるものとした。しかし、これに限定されるものではなく、作動油以外の流体、例えば、空気などの気体や水などの液体の圧力を検出するのに用いられるものとしてもよい。   In the pressure sensor 20 described above, the introduction hole 23 formed in the base plate 22 communicates with the oil passage 12 formed in the valve body 10 of the hydraulic control device of the transmission, and detects the hydraulic pressure of the hydraulic oil in the oil passage 12. It was used for. However, the present invention is not limited to this, and may be used to detect the pressure of a fluid other than hydraulic oil, for example, a gas such as air or a liquid such as water.

以上説明したように、本開示の圧力センサは、基板(22)と、前記基板(22)とにより空間(26s)を形成すると共に前記基板(22)に形成される流体導入孔(23)を介して前記空間(26s)に導入される流体の圧力を検出するための圧力検出体(26)と、を備える圧力センサ(20)であって、前記圧力検出体(26)は、前記流体の圧力に応じて変形するダイヤフラム(29)を有する板状部(28)と、前記板状部(28)の外周から前記基板(22)側に延出すると共に端面が全周に亘って接着部(40)を介して前記基板(22)に固定される壁部(30)と、前記板状部(28)に取り付けられると共に前記ダイヤフラム(29)の変形を検出する検出部(31)と、を備え、前記接着部(40)は、導電性の導電接着部(41a〜41c)と絶縁性の絶縁接着部(42a〜42c)とが前記端面の周方向に沿って交互に配設され、前記検出部(31)と前記導電接着部(41a〜41c)とは、電気的に接続される、ことを要旨とする。   As described above, the pressure sensor of the present disclosure forms a space (26s) by the substrate (22) and the substrate (22) and has a fluid introduction hole (23) formed in the substrate (22). A pressure sensor (20) for detecting the pressure of the fluid introduced into the space (26s) via the pressure sensor (20), wherein the pressure detector (26) A plate-like portion (28) having a diaphragm (29) that deforms in response to pressure, and an end portion extending from the outer periphery of the plate-like portion (28) toward the substrate (22) and having an end face over the entire circumference A wall part (30) fixed to the substrate (22) via (40), a detection part (31) attached to the plate-like part (28) and detecting deformation of the diaphragm (29); And the adhesive portion (40) is made of conductive conductive material. Adhesive portions (41a to 41c) and insulating insulating adhesive portions (42a to 42c) are alternately arranged along the circumferential direction of the end face, and the detection portion (31) and the conductive adhesive portions (41a to 41c). ) Is an electrical connection.

この本発明の圧力センサでは、圧力検出体は、流体の圧力に応じて変形するダイヤフラムを有する板状部と、板状部の外周から基板側に延出すると共に端面が接着部を介して基板に固定される壁部と、板状部に取り付けられると共にダイヤフラムの変形を検出する検出部と、を備える。また、接着部は、導電性の導電接着部と絶縁性の絶縁接着部とが端面の周方向に沿って交互に配設される。さらに、検出部と導電接着部とは、電気的に接続される。これにより、検出部と外部の電気回路とを導通接着部を介して電気的に接続することができる。したがって、ボンディングワイヤを取り付けるためのスペースやその際に用いる取付ツールのスペースを確保する必要がなくなるから、圧力センサの小型化を図ることができる。しかも、壁部が全周に亘って接着部を介して基板に固定されることにより、空間からの流体の漏れ(圧力の検出精度の低下)を抑制することができると共に、接着部において、導電接着部と絶縁接着部とが交互に配設されることにより、隣り合う導電接着部間の絶縁を確保することができる。   In the pressure sensor of the present invention, the pressure detector includes a plate-like portion having a diaphragm that deforms in accordance with the pressure of the fluid, and extends from the outer periphery of the plate-like portion to the substrate side, and an end surface of the substrate via the adhesive portion And a detection unit that is attached to the plate-like part and detects deformation of the diaphragm. Moreover, as for the bonding part, a conductive conductive bonding part and an insulating insulating bonding part are alternately arranged along the circumferential direction of the end face. Further, the detection unit and the conductive bonding unit are electrically connected. Thereby, a detection part and an external electric circuit can be electrically connected via a conduction adhesion part. Accordingly, it is not necessary to secure a space for attaching a bonding wire and a space for an attachment tool used at that time, and thus the pressure sensor can be miniaturized. In addition, since the wall portion is fixed to the substrate through the adhesive portion over the entire circumference, fluid leakage from the space (decrease in pressure detection accuracy) can be suppressed, and the adhesive portion is electrically conductive. By alternately arranging the adhesive portions and the insulating adhesive portions, it is possible to ensure insulation between adjacent conductive adhesive portions.

こうした本開示の圧力センサにおいて、前記検出部(31)と前記導電接着部(41a〜41c)とは、前記板状部(28)および前記壁部(30)の外側の表面に形成される回路パターンにより電気的に接続されるものとしてもよい。こうすれば、配線を簡易に形成することができる。   In such a pressure sensor of the present disclosure, the detection part (31) and the conductive adhesive parts (41a to 41c) are circuits formed on the outer surfaces of the plate-like part (28) and the wall part (30). It is good also as what is electrically connected by a pattern. In this way, the wiring can be easily formed.

また、本開示の圧力センサにおいて、前記検出部(31)は、前記ダイヤフラム(29)に取り付けられる第1〜第4歪みゲージ(32a〜32d)を有するブリッジ回路と処理回路(36)とを有し、前記第1〜第4歪みゲージ(32a〜32d)は、前記第1歪みゲージ(32a),前記第2歪みゲージ(32b),前記第3歪みゲージ(32c),前記第4歪みゲージ(32d),前記第1歪みゲージ(32a)の順に電気的に接続され、前記処理回路(36)は、前記第2,第3歪みゲージ(32b,32c)の間と前記第1,第4歪みゲージ(32a,32d)の間との電位差を検出し、前記導電接着部(41a〜41c)は、前記第1,第2歪みゲージ(32a,32b)の間と電源とを電気的に接続するための第1導電接着部(41a)と、前記第3,第4歪みゲージ(32c,32d)の間とグランドとを電気的に接続するための第2導電接着部(41b)と、前記処理回路(36)と前記処理回路(36)からの信号に応じて前記流体の圧力を演算する演算装置とを電気的に接続するための第3導電接着部(41c)とを有するものとしてもよい。   In the pressure sensor according to the present disclosure, the detection unit (31) includes a bridge circuit having first to fourth strain gauges (32a to 32d) attached to the diaphragm (29) and a processing circuit (36). The first to fourth strain gauges (32a to 32d) include the first strain gauge (32a), the second strain gauge (32b), the third strain gauge (32c), and the fourth strain gauge ( 32d) and the first strain gauge (32a) in this order, and the processing circuit (36) is connected between the second and third strain gauges (32b, 32c) and the first and fourth strain gauges. A potential difference between the gauges (32a, 32d) is detected, and the conductive adhesive portions (41a-41c) electrically connect between the first and second strain gauges (32a, 32b) and a power source. First conductive adhesive part for 41a), a second conductive adhesive portion (41b) for electrically connecting between the third and fourth strain gauges (32c, 32d) and the ground, the processing circuit (36), and the processing circuit A third conductive adhesive portion (41c) for electrically connecting the arithmetic device that calculates the pressure of the fluid according to the signal from (36) may be provided.

さらに、本開示の圧力センサにおいて、前記流体導入孔(23)は、変速機の油圧制御装置の油路(12)に連通するものとしてもよい。   Furthermore, in the pressure sensor of the present disclosure, the fluid introduction hole (23) may communicate with an oil passage (12) of a hydraulic control device of the transmission.

以上、本開示を実施するための形態について説明したが、本開示はこうした実施形態に何等限定されるものではなく、本開示の要旨を逸脱しない範囲内において、種々なる形態で実施し得ることは勿論である。   As mentioned above, although the form for implementing this indication was demonstrated, this indication is not limited to such embodiment at all, and can be implemented with various forms within the range which does not deviate from the gist of this indication. Of course.

本開示は、圧力センサの製造産業などに利用可能である。   The present disclosure can be used in the manufacturing industry of pressure sensors.

10 バルブボディ、12 油路、14 Oリング、20 圧力センサ、22 基板、23 導入孔、26 圧力検出体、26s 空間、28 板状部、29 ダイヤフラム、30 壁部、31 検出部、32a〜32d 歪みゲージ、33a〜33d,50,50a〜50d,52,52a〜52c 配線、36 処理回路、40 接着部、41a〜41c 導電接着部、42a〜42c 絶縁接着部、54,54a〜54c パッド。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Valve body, 12 Oil path, 14 O-ring, 20 Pressure sensor, 22 Substrate, 23 Introduction hole, 26 Pressure detection body, 26s Space, 28 Plate-shaped part, 29 Diaphragm, 30 Wall part, 31 Detection part, 32a-32d Strain gauge, 33a to 33d, 50, 50a to 50d, 52, 52a to 52c Wiring, 36 processing circuit, 40 bonding part, 41a to 41c conductive bonding part, 42a to 42c insulating bonding part, 54, 54a to 54c pad.

Claims (4)

基板と、前記基板とにより空間を形成すると共に前記基板に形成される流体導入孔を介して前記空間に導入される流体の圧力を検出するための圧力検出体と、を備える圧力センサであって、
前記圧力検出体は、前記流体の圧力に応じて変形するダイヤフラムを有する板状部と、前記板状部の外周から前記基板側に延出すると共に端面が全周に亘って接着部を介して前記基板に固定される壁部と、前記板状部に取り付けられると共に前記ダイヤフラムの変形を検出する検出部と、を備え、
前記接着部は、導電性の導電接着部と絶縁性の絶縁接着部とが前記端面の周方向に沿って交互に配設され、
前記検出部と前記導電接着部とは、電気的に接続される、
圧力センサ。
A pressure sensor comprising: a substrate; and a pressure detector that forms a space by the substrate and detects a pressure of a fluid introduced into the space through a fluid introduction hole formed in the substrate. ,
The pressure detector includes a plate-like portion having a diaphragm that deforms in accordance with the pressure of the fluid, and extends from the outer periphery of the plate-like portion to the substrate side, and the end surface extends over the entire circumference via an adhesive portion. A wall portion fixed to the substrate, and a detection portion attached to the plate-like portion and detecting deformation of the diaphragm,
The adhesive part, the conductive conductive adhesive part and the insulating insulating adhesive part are alternately arranged along the circumferential direction of the end face,
The detection part and the conductive adhesive part are electrically connected.
Pressure sensor.
請求項1記載の圧力センサであって、
前記検出部と前記導電接着部とは、前記板状部および前記壁部の外側の表面に形成される回路パターンにより電気的に接続される、
圧力センサ。
The pressure sensor according to claim 1,
The detection part and the conductive adhesive part are electrically connected by a circuit pattern formed on the outer surface of the plate-like part and the wall part,
Pressure sensor.
請求項1または2記載の圧力センサであって、
前記検出部は、前記ダイヤフラムに取り付けられる第1〜第4歪みゲージを有するブリッジ回路と処理回路とを有し、
前記第1〜第4歪みゲージは、前記第1歪みゲージ,前記第2歪みゲージ,前記第3歪みゲージ,前記第4歪みゲージ,前記第1歪みゲージの順に電気的に接続され、
前記処理回路は、前記第2,第3歪みゲージの間と前記第1,第4歪みゲージの間との電位差を検出し、
前記導電接着部は、前記第1,第2歪みゲージの間と電源とを電気的に接続するための第1導電接着部と、前記第3,第4歪みゲージの間とグランドとを電気的に接続するための第2導電接着部と、前記処理回路と前記処理回路からの信号に応じて前記流体の圧力を演算する演算装置とを電気的に接続するための第3導電接着部とを有する、
圧力センサ。
The pressure sensor according to claim 1 or 2,
The detection unit has a bridge circuit and a processing circuit having first to fourth strain gauges attached to the diaphragm,
The first to fourth strain gauges are electrically connected in the order of the first strain gauge, the second strain gauge, the third strain gauge, the fourth strain gauge, and the first strain gauge,
The processing circuit detects a potential difference between the second and third strain gauges and between the first and fourth strain gauges;
The conductive bonding portion electrically connects the first conductive bonding portion for electrically connecting the first and second strain gauges and a power source, and the ground between the third and fourth strain gauges and the ground. A second conductive adhesive portion for connecting to the processing circuit, and a third conductive adhesive portion for electrically connecting the processing circuit and an arithmetic device for calculating the pressure of the fluid in response to a signal from the processing circuit. Have
Pressure sensor.
請求項1ないし3のいずれか1つの請求項に記載の圧力センサであって、
前記流体導入孔は、変速機の油圧制御装置の油路に連通する、
圧力センサ。
The pressure sensor according to any one of claims 1 to 3,
The fluid introduction hole communicates with an oil passage of a hydraulic control device of a transmission;
Pressure sensor.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2021095404A1 (en) * 2019-11-13 2021-05-20 北陸電気工業株式会社 Pressure sensor device

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