JP2018073848A - 電力半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 この発明に係る電力半導体装置は、半導体スイッチング素子と、半導体スイッチング素子が第1の接合材によって接合される絶縁基板と、半導体スイッチング素子に接続される配線材と、半導体スイッチング素子と配線材とが接合される第2の接合材と、絶縁基板に接着され配線材の位置を決める配線位置決め部材とを備え、第2の接合材は、還元剤を含まないことを特徴とする。
【選択図】図1B
Description
従来の電力半導体装置では、配線に突起を設け、はんだの厚さを管理することにより、はんだのストレスを管理して信頼性を確保したものがある(例えば、特許文献1参照)。
また、配線にアーチ形状を設けることで、はんだへのストレスを低減し、信頼性を確保したものがある(例えば、特許文献2参照)。
また、部材を高密度に配置するため、ワイヤボンドで配線する方法も考えられるが、小型化により配線の電流密度が高くなっており、ワイヤボンドでは大電流密度への対応は不適である。
特許文献2では、配線にアーチ形状を設けて、はんだへのストレスを低減している。しかし、配線長が伸びることで、配線のインダクタンスが大きくなり、サージなどのノイズの増加を招いてしまうといった課題がある。
なお、両先行技術文献とも、半導体素子と配線が近くなることに対する対策は述べられていない。はんだの表面張力による、セルフアライメントだけでは、高い位置精度は得られない。治具による位置のアライメントでは、治具の熱容量などがはんだ付けの状態に影響するため、はんだ付けのタクトが長くなる。
この発明は、上記のような問題点を解決するためになされたものであり、生産性がよく高信頼性を確保した電力半導体装置を得ることを目的としている。
接着され配線材の位置を決める配線位置決め部材とを備え、第2の接合材は、還元剤を含まないことを特徴とする。
図1Aは、本発明の実施の形態1の電力半導体装置を示す上面図であり、図1Bはその断面図である。
電力半導体装置は、例えばMOSFET(Metal-Oxide-Semiconductor Field-Effect Transistor)やIGBT(Insulated Gate Bipolar Transistor)等のスイッチング素子1a、スイッチング素子1bと、ダイオードなどの半導体素子2a、半導体素子2bが、絶縁性のセラミック3(例えば、窒化珪素など)の両面に銅(Cu)などの導電率の大きな金属板4を貼りあわせた絶縁基板5に接合材6aを用いて実装される。
絶縁基板5には、銅(Cu)などの導電率の大きな金属からなり、外部からのストレスを緩和するための屈曲部を有する配線材7a、配線材7bを位置決めする機構である配線位置決め部材8を有する。すなわち、スイッチング素子1a、スイッチング素子1b、および半導体素子2a、半導体素子2bと接続する配線材7aと、絶縁基板5と接続する配線材7bとを、絶縁樹脂からなる配線位置決め部材8で位置決めを行う、図1A中、位置決め部をPと表示する。配線位置決め部材8は図示しない接着材により絶縁基板5に接着される。
配線材7a、及び配線材7bは、例えば接合材6bの厚さより背の低い突起を有しており、還元剤などの有機物を含まない、はんだなどの金属接合するための接合材6bをかしめる。また、配線材7bは絶縁基板5と接合材6bにより接合され、配線材7aはスイッチング素子1a、スイッチング素子1b、及び半導体素子2a、半導体素子2bと接合材6bにより接合される。接合工程では、還元雰囲気にて絶縁基板5を還元した後、真空状態で接合材6bを溶融させ、冷却することで接合する。
上述した電力半導体装置Aは絶縁や異物混入を防ぐ目的でゲルなどの充填材9が充填され、冷却器(図示せず)に設置、外部配線(図示せず)に接続され、電力変換装置などに組み込まれる。
のクラック低減が可能になり信頼性が向上する。
なお、真空状態で接合材6bを溶融させることで、接合材6b内のボイドの低減や、はんだボールの抑制が可能となる。これは、接合材6bを大気圧中で溶融させると、周囲の空気を巻き込むことがあり、この空気が真空時に排出されることで接合材6bが飛散するが、真空中で接合材6bを溶融させると、周囲に巻き込む空気がほぼないためである。
図2は、この発明の実施の形態2による電力半導体装置を示す断面図である。
実施の形態1の配線材7a、配線材7bの曲げ部を無くし、配線材7a、配線材7bの根元の板厚を、部分的に薄くしたものである。形状は、鋭角形状で薄い部分を設けるより円形状で薄い部分を設ける方がよい。応力集中によって、配線材7a、配線材7bが破断するのを防ぐためである。
基準とする板厚1mmの配線材に比べ、部分的に板厚を0.6mmにすることで、曲げ剛
性が約2割低下する。この効果を実施の形態1の形状のように屈曲部を設けることで実現するには、図4のような形状となり、配線長が約3mmも長くなり、インダクタンスが増加する。
配線材7a、配線材7bの一部を細くすることで、僅かに配線材7a、配線材7bの発熱量の増加は発生するが、数十〜数百W発熱するスイッチング素子1a、スイッチング素子1b、半導体素子2a、半導体素子2bに比べれば無視できる発熱量である。また、銅などの金属は熱伝導率も高いことに加え、絶縁基板5は冷却器に設置されるため、冷却によって配線材7a、配線材7bの発熱増加による温度上昇、周りへの熱干渉の影響は無視できるようになる。
なお、板厚を部分的に薄くする位置は、可能な限り配線材7a、配線材7bの根元側に設ける方が外部からのストレス緩和の効果が大きい。
図5A、図5Bは、本発明の実施の形態3による電力半導体装置を示す上面図と断面図である。
実施の形態1の配線位置決め部材8の形状を変更したものであり、スイッチング素子1a、スイッチング素子1bと、配線材7bとの間に、配線材位置決め部材8により、壁10を形成した構成としている。
接合材6bが必要以上に濡れ拡がらないよう、絶縁基板5の金属板4の表面に、接合材6bが濡れない有機物などのレジストでパター二ングする場合がある。このように、周りにレジストなどで接合材6bの広がりを抑制している場合でも、接合材6bが溶融した際に、配線材7bの重みなどで接合材6bがレジストに乗り上げる時がある。
また、アウトサートの場合、接合前に配線材7bが動いたり、倒れたりする可能性がある。壁10を含め、4方向を壁にして位置決めすることで、配線材7bの位置ずれ、倒れ
を防止できる。
また、図中、同一符号は同一構成または相当部分を示す。
2b 半導体素子、3 セラミック、4 金属板、5 絶縁基板、6a 接合材、
6b 接合材、7a 配線材、7b 配線材、8 配線位置決め部材、9 充填材、
10 壁
ることで、電力半導体装置を小型化できる。また、還元剤を含まない接合材を使用するた
め、はんだボールを抑制でき、フラックスの飛散が無いことから、絶縁信頼性に優れ、フ
ラックスやはんだボール除去のための洗浄工程が不要となり、生産性が向上する。さらに
は、フラックスや洗浄液などの化学物質の使用量が削減できるため、地球環境の保全にも
貢献できる。さらに、壁を設けることにより、第1の接合材と第2の接合材が触れることを防ぐことが可能である。
図5A、図5Bは、本発明の実施の形態3による電力半導体装置を示す上面図と断面図
である。
実施の形態1の配線位置決め部材8の形状を変更したものであり、スイッチング素子1
a、スイッチング素子1bと、配線材7bとの間に、配線材位置決め部材8により、壁1
0を形成した構成としている。
接合材6bが必要以上に濡れ拡がらないよう、絶縁基板5の金属板4の表面に、接合材
6bが濡れない有機物などのレジストでパターニングする場合がある。このように、周り
にレジストなどで接合材6bの広がりを抑制している場合でも、接合材6bが溶融した際
に、配線材7bの重みなどで接合材6bがレジストに乗り上げる時がある。
Claims (7)
- 半導体スイッチング素子と、前記半導体スイッチング素子が第1の接合材によって接合される絶縁基板と、前記半導体スイッチング素子に接続される配線材と、前記半導体スイッチング素子と前記配線材とが接合される第2の接合材と、前記絶縁基板に接着され前記配線材の位置を決める配線位置決め部材と、を備え、前記第2の接合材は、還元剤を含まないことを特徴とする電力半導体装置。
- 半導体スイッチング素子と、前記半導体スイッチング素子が第1の接合材によって接合される絶縁基板と、前記半導体スイッチング素子に接続される第1の配線材と、前記絶縁基板に接続される第2の配線材と、前記絶縁基板に接着され前記第1及び前記第2の配線材の位置を決める配線位置決め部材とを備え、前記第1及び前記第2の配線材は前記配線位置決め部材によって位置決めされ、還元剤を含まない第2の接合材により接合されていることを特徴とする電力半導体装置。
- 前記半導体スイッチング素子に接続する前記第1および前記第2の配線材の裏面に、前記第2の接合材の厚さ以下の高さの突起を有することを特徴とする、請求項1または2に記載の電力半導体装置。
- 前記第1の配線材、及び前記第2の配線材は、一部の板厚が他の部分の板厚より薄く形成されていることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の電力半導体装置。
- 前記第1の接合材は前記第2の接合材との間に、前記配線位置決め部材により形成された壁が設けられていることを特徴とする請求項2から4のいずれか一項に記載の電力半導体装置。
- 前記第1の接合材は焼結材であることを特徴とする請求項2から5のいずれか一項に記載の電力半導体装置。
- 前記半導体スイッチング素子が、ワイドギャップ半導体からなることを特徴とする、請求項1から6のいずれか一項に記載の電力半導体装置。
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