JP2018020924A - 焼結装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】多孔質ガラス母材を焼結する焼結装置であって、ヒータに取り巻かれ、多孔質ガラス母材を収容する炉心管と、多孔質ガラス母材に結合された保持棒を挿通する挿通穴を有し、炉心管の一端を塞ぐ蓋部材と炉心管の外部で蓋部材に一部を接触させ、炉心管の内側と外側との間の気圧差を維持すべく、保持棒および蓋部材の間隙の少なくとも一部を封止する封止部材とを備え、封止部材は、炉心管の内部の気圧が予め定めた閾値を超えた場合に、保持棒に沿って移動して蓋部材から離れ、炉心管の内部の気圧が閾値よりも低くなるまで、保持棒および蓋部材の間隙を通じて炉心管の内部の気体を炉心管の外部に流出させる重さを有する。
【選択図】図3
Description
特許文献1 特許第5221309号
図1は、焼結装置10の構造を示す模式的断面図である。焼結装置10は、ヒータ11、炉心管12および回転チャック15を備える。また、炉心管12の図中上端には、蓋部材18、シール室24、封止部材25、および上蓋部材13が配される。
図6は、焼結装置20の炉心管12上部に形成されたシール構造を拡大して示す図である。焼結装置20における炉心管12の構造は、図1に示した焼結装置10と等しい。よって、焼結装置10と共通の要素には図1と同じ参照番号を付して重複する説明を省く。
Claims (12)
- 多孔質ガラス母材を焼結する焼結装置であって、
ヒータに取り巻かれ、多孔質ガラス母材を収容する炉心管と、
前記多孔質ガラス母材に結合された保持棒を挿通する挿通穴を有し、前記炉心管の一端を塞ぐ蓋部材と
前記炉心管の外部で前記蓋部材に一部を接触させ、前記炉心管の内側と外側との間の気圧差を維持すべく、前記保持棒および前記蓋部材の間隙の少なくとも一部を封止する封止部材と
を備え、
前記封止部材は、前記炉心管の内部の気圧が予め定めた閾値を超えた場合に、前記保持棒に沿って移動して前記蓋部材から離れ、前記炉心管の内部の気圧が前記閾値よりも低くなるまで、前記保持棒および前記蓋部材の間隙を通じて前記炉心管の内部の気体を前記炉心管の外部に流出させる重さを有する焼結装置。 - 前記封止部材は、重さを調節する目的で交換可能な錘を有する請求項1に記載の焼結装置。
- 多孔質ガラス母材を焼結する焼結装置であって、
ヒータに取り巻かれ、多孔質ガラス母材を収容する炉心管と、
前記多孔質ガラス母材に結合された保持棒を挿通する挿通穴を有し、前記炉心管の一端を塞ぐ蓋部材と、
前記炉心管の外部で前記蓋部材に一部を接触させ、前記炉心管の内側と外側との間の気圧差を維持すべく、前記保持棒および前記蓋部材の間隙の少なくとも一部を封止する封止部材と、
前記封止部材を前記蓋部材に向かって押しつけるべく付勢する付勢部材と
を備え、
前記付勢部材は、前記炉心管の内部の気圧が予め定めた閾値を超えた場合に、前記保持棒に沿って移動して前記蓋部材から離れ、前記炉心管の内部の気圧が前記閾値よりも低くなるまで、前記保持棒および前記蓋部材の間隙を通じて前記炉心管の内部の気体を前記炉心管の外部に流出させる付勢力を有する焼結装置。 - 前記封止部材は、少なくとも前記保持棒に対する摺動摩擦が低い材料により形成される請求項1から3のいずれか一項に記載の焼結装置。
- 前記封止部材において、少なくとも前記保持棒に対向する面がカーボン材料により形成される請求項4に記載の焼結装置。
- 前記炉心管の外側に、前記蓋部材に隣接して設けられ、前記間隙および前記封止部材を内部に収容するシール室を更に有する請求項1から5のいずれか一項に記載の焼結装置。
- 前記シール室は、シールガスを導入する供給ポートとシールガスを排出する排出ポー卜とを有する請求項6に記載の焼結装置。
- 前記蓋部材に設けられ、前記炉心管の内部から排出するガスが通過する直截排気ポートを更に備える請求項1から7のいずれか一項に記載の焼結装置。
- 前記封止部材と前記保持棒とのクリアランスが、0.1mm以上、且つ、0.15mm以下であり、前記封止部材の長さが100mm以上である請求項1から8のいずれか一項に記載の焼結装置。
- 前記封止部材において前記蓋部材に接触する接触面の表面粗さが、Ra2.0以下である請求項1から9のいずれか一項に記載の焼結装置。
- 前記封止部材において前記保持棒が挿通される貫通穴の内面の垂直度が、前記接触面に対して0.01mm以下である請求項10に記載の焼結装置。
- 前記蓋部材において前記封止部材に接触する面の表面粗さが、Ra2.0以下である請求項1から11のいずれか一項に記載の焼結装置。
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