JP2017167277A - 親撥材を用いたパターン形成方法 - Google Patents
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Abstract
Description
本発明の実施形態の感放射線性樹脂組成物(以下、単に、組成物と称することがある。)は、アセタール結合を有する基またはケイ素原子を含む基から選ばれる少なくとも一つの基を有する重合体([A]重合体とも言う)と酸発生剤とを成分として含有する。
アセタール結合を有する基は特にフッ素原子を含む基であることが特に好ましい。
本発明の実施形態の組成物は、上述した本発明の実施形態の親液部と撥液部を有する基材の製造方法に用いられて、親液部と撥液部を有する基材を製造することができる。
そして、本発明の実施形態の組成物は、本発明の効果を損なわない限り、その他の任意成分を含有することができる。
本実施形態の組成物の成分となる[A]アセタール結合を有する基またはケイ素原子を含む基から選ばれる少なくとも一つの基を有する重合体([A]重合体)である。
ケイ素原子を含む基は、下記式(1−1)、下記式(1−2)、下記式(1−3)および下記式(1−4)で示される基の群から選ばれる少なくとも1つの基を有する。
式(1−3)および(1−4)中、R3は単結合または炭素数1〜12の2価の有機基を示し、R4、R5およびR6はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、脂環式炭化水素基、アリール基、これらの基が有する水素原子の一部または全部が置換基で置換された基、またはケイ素原子を有する1価の有機基を示す。式(1−1)、式(1−2)、式(1−3)および(1−4)中、*は結合部位を示す。)
上記式(1−3)および上記式(1−4)中、R3は単結合または炭素数1〜12の2価の有機基を示し、R4、R5およびR6はそれぞれ独立して、水素原子、炭素数1〜20のアルキル基、脂環式炭化水素基、アリール基、これらの基が有する水素原子の一部または全部が置換基で置換された基、またはケイ素原子を有する1価の有機基を示す。
R6は、式(1−1)および式(1−2)における好ましいRsの具体例と同様な基を用いることができる。
前記R4としては、前記RAで例示した基と同様の基等が挙げられる。
前記R5としては、前記RBで例示した基と同様の基等が挙げられる。
前記nとしては、0〜9の整数が好ましい。
上述した[A]重合体の前駆体となる化合物、特に前駆体として水酸基を有する化合物は、熱による保護基の脱離が生じ難いという性質を備え、一方で、放射線照射による保護基の脱離の制御ができるという性質を備えるため、[A]重合体を得るのに好適に使用できる。さらに、[A]重合体は、後述する[B]酸発生剤との組み合わせによって、放射線照射による、より高精度の保護基の脱離の制御が可能となるため好ましい。
[B]酸発生剤は、少なくとも放射線の照射によって酸を発生する化合物である。本発明の実施形態の組成物が、[B]酸発生剤を含有することで、[A]重合体から酸解離性基を脱離させることができる。
上述のオキシムスルホネート化合物としては、下記式(2A)で表されるオキシムスルホネート基を含む化合物が好ましい。
上述のR21で表される炭素数4〜12の脂環式炭化水素基は置換基により置換されていてもよく、置換基としては、例えば、炭素数1〜5のアルキル基、アルコキシ基、ハロゲン原子が挙げられる。
また、特開2011−227106号公報、特開2012−150494号公報に記載のオキシムエステル化合物を光酸発生剤として用いることができる。
オニウム塩としては、ジフェニルヨードニウム塩、トリフェニルスルホニウム塩、スルホニウム塩、ベンゾチアゾニウム塩、テトラヒドロチオフェニウム塩、スルホンイミド化合物等が挙げられる。
[A]重合体と異なる化合物(以下、[C]化合物ともいう)は、[A]重合体に比較して、撥液性が低い化合物であることが好ましい。[C]化合物は、低分子化合物でも重合体等の高分子化合物であってもよい。撥液性は化合物中の構成原子の違い、分子量、構成単位を与える化学種によって変わってくるものであり、特にフッ素原子、ケイ素原子の存在によって変わってくる。
[A]重合体は、フッ素原子またはケイ素原子の少なくとも一方を酸解離性基に含み、[C]化合物はフッ素原子またはケイ素原子を含まないか、もしくは酸解離性基を有する場合でもフッ素原子またはケイ素原子のいずれをも含まない酸解離性基を含む化合物であることが好ましい。
[C]化合物は、得られる膜の耐熱性等の向上の観点から重合体であることが好ましい。
[C]化合物は、[A]重合体と併用することで、得られる膜の耐熱性、耐溶剤性を向上できる。さらには[A]重合体と[C]重合体の混合比を適宜変更することで、例えば[A]重合体よる親撥機能を発現しつつ、露光部の凹形状の制御が可能となる。
アクリル樹脂としては、(メタ)アクリロイル基を有する不飽和単量体をラジカル重合して得られる重合体が挙げられる。このようなアルカリ樹脂であれば特に限定されない。現像性を有する工程に使用する場合は、カルボキシル基を有する構成単位を含む重合体であることが望ましい。
カルボキシル基を有する構成単位と重合性基を有する構成単位とを含む樹脂である。
ブチロラクトン環基、バレロラクトン環基等の単環のラクトン環基;
ノルボルナンラクトン環基、5−オキソ−4−オキサトリシクロ[4.3.1.13,8]ウンデカン環基等の多環のラクトン環基などが挙げられる。
メチル基、エチル基、n−プロピル基、i−プロピル基、n−ブチル基、i−ブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基等のアルキル基;
エテニル基、プロペニル基、ブテニル基、ペンテニル基等のアルケニル基;
エチニル基、プロピニル基、ブチニル基、ペンチニル基等のアルキニル基等が挙げられる。
シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロオクチル基等の単環のシクロアルキル基;
ノルボルニル基、アダマンチル基、トリシクロデシル基、テトラシクロドデシル基等の多環のシクロアルキル基;
シクロプロペニル基、シクロブテニル基、シクロペンテニル基、シクロヘキセニル基等の単環のシクロアルケニル基;
ノルボルネニル基、トリシクロデセニル基等の多環のシクロアルケニル基等が挙げられる。
これらの中で、単環のシクロアルキル基、多環のシクロアルキル基が好ましく、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、ノルボルニル基、アダマンチル基がより好ましい。
フェニル基、トリル基、キシリル基、メシチル基、ナフチル基、メチルナフチル基、アントリル基、メチルアントリル基等のアリール基;
ベンジル基、フェネチル基、ナフチルメチル基、アントリルメチル基等のアラルキル基等が挙げられる。
ポリイミドは、重合体の構成単位中にアルカリ可溶性の基を有するポリイミドであることが好ましい。アルカリ可溶性の基としては、例えば、カルボキシル基を挙げることができる。構成単位中にアルカリ可溶性の基、例えば、カルボキシル基を有することでアルカリ現像性(アルカリ可溶性)を備え、アルカリ現像時に露光部のスカム発現を抑えることができる。同様に、ポリイミド前駆体も、例えば、カルボキシル基等のアルカリ可溶性の基を有してアルカリ可溶性を備えることができる。
ポリイミドの形成に用いられるテトラカルボン酸二無水物としては、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、1,1−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)スルホン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)ヘキサフルオロプロパン二無水物、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)フルオレン二無水物、9,9−ビス{4−(3,4−ジカルボキシフェノキシ)フェニル}フルオレン二無水物または下記に示した構造の酸二無水物などが好ましい。これらを2種以上用いてもよい。
ポリシロキサンは、シロキサン結合を有する化合物のポリマーである限りは特に限定されるものではない。このポリシロキサンは、通常、例えば、光酸発生剤から発生した酸や光塩基発生剤から発生した塩基を触媒として硬化する。
してもよい。
環状オレフィン系樹脂としては、特に制限されず、環状オレフィン部位を含む樹脂であればよく、例えば、WO2013/054864号公報に記載されている環状オレフィン系樹脂を使用することができる。記載されている方法で合成することができる。
ポリカーボネートとしては、特に制限されず、フルオレン部位を含むポリカーボネート樹脂であればよく、例えば、特開2008−163194号公報に記載されているポリカーボネートを使用することができる。
ポリエステルとしては、特に制限されず、ウレタン結合部位を有するポリエステル、フルオレン部位を含むポリエステルが特に好ましく、例えば、特開2010−285505号公報や特開2011−197450号公報に記載されている方法で合成することができる。
エポキシ樹脂としては、特に制限されず、エポキシ基を有する化合物であればよく、以下に具体例を示す。
1,4−ブタンジオールジグリシジルエーテル、1,6−ヘキサンジオールジグリシジルエーテル、グリセリントリグリシジルエーテル、トリメチロールプロパントリグリシジルエーテル、ポリエチレングリコールジグリシジルエーテル、ポリプロピレングリコールジグリシジルエーテルなどの多価アルコールのポリグリシジルエーテル類;
エチレングリコール、プロピレングリコール、グリセリンなどの脂肪族多価アルコールに1種または2種以上のアルキレンオキサイドを付加することにより得られるポリエーテルポリオールのポリグリシジルエーテル類; フェノールノボラック型エポキシ樹脂;
クレゾールノボラック型エポキシ樹脂; ポリフェノール型エポキシ樹脂; 脂肪族長鎖二塩基酸のジグリシジルエステル類;
高級脂肪酸のグリシジルエステル類; 脂肪族ポリグリシジルエーテル類; エポキシ化大豆油、エポキシ化アマニ油等が挙げられる。
本実施形態の組成物に用いられる樹脂として好ましいフェノール樹脂としては、フェノール類をホルマリンなどのアルデヒド類で公知の方法で重縮合することにより得ることができるフェノール樹脂が好適に用いられ、ノボラック樹脂、レゾール樹脂のいずれも用いる。これらのうち、特に分子量の制御の観点から特にノボラック樹脂が好ましい。
ポリアミドとしては、有機溶剤に溶解するポリアミドが好適に用いられ、このようなポリアミドとしては、例えば、特殊ポリアミド樹脂:PAシリーズ(株式会社T&K TOKA社製)等を用いることができる。
本発明の実施形態の組成物は、[D]増感剤を含有することができる。[D]増感剤をさらに含有することで、その組成物の放射線感度をより向上することができる。[D]増感剤は、活性光線または放射線を吸収して電子励起状態となる化合物であることが好ましい。電子励起状態となった[D]増感剤は、[B]酸発生剤と接触して、電子移動、エネルギー移動、発熱等が生じ、これにより[B]酸発生剤は化学変化を起こして分解し酸を生成する。
本発明の実施形態の組成物は、上述した[A]重合体、[B]酸発生剤、[C]化合物、[D]増感剤のほか、[E]クエンチャーを含有することができる。
本発明の実施形態の組成物は、[F]重合性化合物を含有することで、該組成物の硬化を行うことができる。
[G]光ラジカル重合開始剤は、放射線の照射を受けて、[F]重合性化合物の重合を促進する化合物である。したがって、本発明の実施形態の組成物が[F]重合性化合物を含有する場合、[G]光ラジカル重合開始剤を用いることが好ましい。
光ラジカル重合開始剤は、放射線に感応して、重合性を備えた化合物の重合を開始し得るラジカル種を生じる成分である。重合性化合物の架橋反応を開始し、得られる膜の耐熱性、耐溶剤性を向上させることが可能となる。
本実施形態の感放射線性樹脂組成物においては、基板となる無機物、例えば、シリコン、酸化シリコン、窒化シリコン等のシリコン化合物、珪酸塩、石英等のガラス、および金、銅、アルミニウム等の金属と絶縁膜との接着性を向上させるため密着助剤を使用することが好ましい。このような密着助剤としては、官能性シランカップリング剤が好ましく使用される。官能性シランカップリング剤の例としては、カルボキシル基、メタクリロイル基、イソシアネート基、エポキシ基(好ましくはオキシラニル基)、チオール基等の反応性置換基を有するシランカップリング剤等が挙げられる。
本実施形態の組成物は、さらに、本発明の効果を損なわない限りその他の任意成分を含有することができる。その他の任意成分としては、界面活性剤、保存安定剤、耐熱性向上剤等を挙げることができる。本実施形態の組成物において、その他の任意成分は、1種を単独で使用してもよいし、2種以上を混合して使用してもよい。
親撥材に用いる[A]重合体の合成例を以下に示す。
[合成例1]
冷却管および撹拌機を備えたフラスコに、ジメチル2,2’−アゾビス(2−メチルプロピオネート)8質量部、2,4−ジフェニル−4−メチル−1−ペンテン2質量部、および、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート200質量部を仕込んだ。引き続き4-ヒドロキシフェニルメタクリレート64質量部、メタクリル酸メチル36質量部を仕込み、窒素雰囲気下、緩やかに攪拌しつつ、溶液の温度を80℃に上昇させ、この温度を4時間保持して重合することにより、共重合体である重合体(A−1)を含有する溶液を得た(固形分濃度=34.7質量%、Mw=28000、Mw/Mn=2.4)。尚、固形分濃度は共重合体溶液の全質量に占める共重合体質量の割合を意味する。
上述した親撥材を用いたパターン形成方法及びそれによって形成されたパターン構造体について説明する。以下ではパターン構造体として、特に配線構造体について説明する。
<第1実施形態>
本実施形態に係る配線構造体100及び配線形成方法について説明する。
〔配線構造体〕
先ず、本実施形態に係る配線形成方法によって形成された配線構造体100の構成について、図面を参照しながら説明する。
次いで、本実施形態に係る配線構造体100を形成するための配線形成方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(a)基板102上に、第1塗膜104を形成する工程、
(b)基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程、
(c)基板102上の第2領域R2に導電材料106を堆積する工程。
以下、各工程について、図面を参照しながら詳細に説明する。
工程(a)は、基板102上に、第1塗膜104を形成する工程である。第1塗膜104は、撥液性を有し、特定波長のエネルギーを照射することによって親液化する。第1塗膜104は、例えば上述した親撥材を含むことによってこのような性質が付与される。
工程(b)は、基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程である。工程(b)は、次の工程(b−1)と工程(b−2)とを含む。工程(b−1)は露光工程であり、第1領域R1の第1塗膜104に特定波長のエネルギーを照射する。これと同時に、第1領域R1の第1塗膜104の表面が親液化する。工程(b−2)は現像工程であり、当該特定の薬液に接触させ、第1領域R1の第1塗膜104を除去する。以下では、当該特定の薬液を現像液と呼称する。
工程(c)は、基板102上の第2領域R2に導電材料106を堆積する工程である。工程(c)は、次の工程(c−1)と、工程(c−2)とを含む。工程(c−1)は、特定波長のエネルギーを照射して第2領域R2の第1塗膜104の表面を親液化させる。工程(c−2)は、第1塗膜104上に導電材料106を含む溶液を塗布することにより、少なくとも第2領域R2に導電材料106を堆積する。
本実施形態の変形例に係る配線構造体150及びそれを形成するための配線形成方法について説明する。
〔配線構造体〕
先ず、本実施形態の変形例に係る配線形成方法によって形成された配線構造体150の構成について、図面を参照しながら説明する。
次いで、本実施形態の変形例に係る配線形成方法について、前述した配線形成方法との相違点に絞り説明する。
工程(a)は、基板102上に、第1塗膜104を形成する工程である。第1塗膜104は、撥液性を有し、特定波長のエネルギーを照射することによって親液化する。第1塗膜104は、例えば上述した親撥材を含むことによってこのような性質が付与される。工程(a)は、図2A及び図2Bを用いた前述の工程(a)と同様であるため、説明は省略する。
工程(b)は、基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程である。工程(b)は、次の工程(b−1)と工程(b−2)とを含む。工程(b−1)は露光工程であり、第1領域R1の第1塗膜104に特定波長のエネルギーを照射する。これと同時に、第1領域R1の第1塗膜104の表面が親液化する。工程(b−2)は現像工程であり、当該特定の薬液に接触させ、第1領域R1の第1塗膜104を除去する。当該特定の薬液としては、前述した現像液を含む。
工程(c)は、基板102上の第2領域R2に導電材料106を堆積する工程である。工程(c)は、次の工程(c−1)と、工程(c−2)とを含む。工程(c−1)は、特定波長のエネルギーを照射して第2領域R2の第1塗膜104の表面を親液化させる。工程(c−2)は、第1塗膜104上に導電材料106を含む溶液を塗布することにより、少なくとも第2領域R2に導電材料106を堆積する。
他の変形例として、本実施形態で使用される親撥材において、前述の[C]化合物の含有量を調整する変形例について説明する。本実施形態に係る配線構造体の構成においては、特定波長のエネルギーを第1塗膜104に照射して照射部104aを親液化する際、第1塗膜104の内部まで親液化させず、第1塗膜104の表面近傍のみを親液化させれば足りる。
以下に[C]化合物の合成例を示す。
[合成例2]
冷却管および攪拌機を備えたフラスコに、2,2’−アゾビス(2,4−ジメチルバレロニトリル)7質量部、ジエチレングリコールエチルメチルエーテル200質量部を仕込んだ。引き続きメタクリル酸5質量部、テトラヒドロ−2H−ピラン−2−イルメタクリレート40質量部、スチレン5質量部、メタクリル酸グリシジル40質量部、2−ヒドロキシエチルメタクリレート10質量部およびα−メチルスチレンダイマー3質量部を仕込み窒素置換した後、ゆるやかに撹拌を始めた。溶液の温度を70℃に上昇させ、この温度を5時間保持し、共重合体である重合体[C−1]を含む重合体溶液を得た。重合体[C−1]のポリスチレン換算質量平均分子量(Mw)は9000であった。また、ここで得られた重合体溶液の固形分濃度は、31.3質量%であった。
本実施形態に係る配線構造体200及び配線形成方法について説明する。
〔配線構造体〕
先ず、本実施形態に係る配線形成方法によって形成された配線構造体200の構成について、図面を参照しながら説明する。
次いで、本実施形態に係る配線構造体200を形成するための配線形成方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(a)基板102上に、親撥材を含む第1塗膜104を形成する工程、
(b)基板102上の第2領域R2の第1塗膜104を除去する工程、
(c)基板102上の第2領域R2に導電材料106を堆積する工程、
(d)基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程。
工程(a)は、基板102上に、親撥材を含む第1塗膜104を形成する工程である。工程(a)は、図2A及び図2Bを用いた前述の工程(a)と同様であるため、説明は省略する。
工程(b)は、基板102上の第2領域R2の第1塗膜104を除去する工程である。工程(b)は、次の工程(b−1)と工程(b−2)とを含む。工程(b−1)は露光工程であり、第2領域R2の第1塗膜104に特定波長のエネルギーを照射する。これと同時に、第2領域R2の第1塗膜104の表面が親液化する。工程(b−2)は現像工程であり、当該特定の薬液に接触させ、第2領域R2の第1塗膜104を除去する。当該特定の薬液としては、前述した現像液を含む。
[工程(c)]
工程(c)は、基板102上の第2領域R2に導電材料106を堆積する工程である。
工程(d)は、基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程である。工程(d)は、次の工程(d−1)と工程(d−2)とを含む。工程(d−1)は露光工程であり、特定波長のエネルギーを照射する。これと同時に、第1領域R1の第1塗膜104の表面が親液化する。ここでは、基板102の全面に特定波長のエネルギーを照射する。工程(d−2)は現像工程であり、当該特定の薬液に接触させ、第1領域R1の第1塗膜104を除去する。当該特定の薬液としては、後述する現像液を含む。
本実施形態に係る配線構造体300及び配線形成方法について説明する。
〔配線構造体〕
先ず、本実施形態に係る配線形成方法によって形成された配線構造体300の構成について、図面を参照しながら説明する。
次いで、本実施形態に係る配線構造体300を形成するための配線形成方法について、前述した配線形成方法との相違点に絞り説明する。
(a)基板102上に、第1塗膜104を形成する工程、
(b)基板102上の第3領域R3の第1塗膜104を除去する工程、
(c)基板102上の第2領域R2及び第3領域R3に導電材料106を堆積する工程、
(d)基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程。
工程(a)は、基板102上に、第1塗膜104を形成する工程である。第1塗膜104は、撥液性を有し、特定波長のエネルギーを照射することによって親液化する。工程(a)は、図2A及び図2Bを用いた前述の工程(a)と同様であるため、説明は省略する。
工程(b)は、基板102上の第3領域R3の第1塗膜104を除去する工程である。工程(b)は、次の工程(b−1)と工程(b−2)とを含む。工程(b−1)は露光工程であり、第3領域R3の第1塗膜104に特定波長のエネルギーを照射する。これと同時に、第3領域R3の第1塗膜104の表面が親液化する。工程(b−2)は現像工程であり、当該特定の薬液に接触させ、第3領域R3の第1塗膜104を除去する。当該特定の薬液としては、後述する現像液を含む。
工程(c)は、基板102上の第2領域R2及び第3領域R3に導電材料106を堆積する工程である。工程(c)は、次の工程(c−1)と、工程(c−2)とを含む。工程(c−1)は、特定波長のエネルギーを照射して第2領域R2の第1塗膜104の表面を親液化させる。工程(c−2)は、第1塗膜104上に導電材料106を含む溶液を塗布することにより、少なくとも第2領域R2及び第3領域R3に導電材料106を堆積する。
本実施形態に係る配線構造体400及び配線形成方法について説明する。
〔配線構造体〕
先ず、本実施形態に係る配線形成方法によって形成された配線構造体400の構成について、図面を参照しながら説明する。
次いで、本実施形態に係る配線構造体400を形成するための配線形成方法について、図面を参照しながら詳細に説明する。
(a)基板102上に、親撥材を含む第1塗膜104を形成する工程、
(b)基板102上の第2領域R2の第1塗膜104を除去する工程、
(c)基板102上の第2領域R2に導電材料106を堆積する工程、
(d)基板102上の第1領域R1の第1塗膜104を除去する工程、
(e)基板102上に、親撥材を含む第1塗膜104を形成する工程、
(f)基板102上の第3領域R3の第1塗膜104を除去する工程、
(g)基板102上の第4領域R4に導電材料106を堆積する工程。
102:基板
102a:第1面
102b:第2面
104:第1塗膜
104a:照射部
104b:未照射部
106:導電材料
108:配線
108a:第1配線
108b:第2配線
114:フォトマスク
R1:第1領域
R2:第2領域
R3:第3領域
R4:第4領域
Claims (11)
- 基板上に、撥液性を有し、特定波長のエネルギーを照射することによって親液化する第1塗膜を形成することと、
前記基板上の第1領域の前記第1塗膜を除去することと、
前記基板上の前記第1領域を除く領域の少なくとも一部に配置された第2領域に凹パターンを形成することとを含み、
前記第1領域の前記第1塗膜を除去することは、
特定波長のエネルギーを照射して前記第1領域の前記第1塗膜を特定の薬液に接触させ、前記第1領域の第1塗膜を除去することを含み、
前記第2領域に前記凹パターンを形成することは、
特定波長のエネルギーを照射して前記第2領域の前記第1塗膜の表面を親液化させることを含むパターン形成方法。 - 前記凹パターン上に所定の材料を堆積することを更に含み、
前記凹パターン上に前記所定の材料を堆積することは、前記第1塗膜上に前記所定の材料を含む溶液を塗布することにより、少なくとも凹パターン上に前記所定の材料を堆積することを含む請求項1に記載のパターン形成方法。 - 前記第1領域の前記第1塗膜を除去することは、
前記第2領域に前記所定の材料を堆積する前に行うことを特徴とする請求項1に記載のパターン形成方法。 - 前記第1領域及び前記第2領域は、互いに接触することを特徴とする請求項3に記載のパターン形成方法。
- 前記少なくとも前記第2領域は、前記第1領域を含むことを特徴とする請求項3に記載のパターン形成方法。
- 基板上に、撥液性を有し、特定波長のエネルギーを照射することによって親液化する第1塗膜を形成することと、
前記基板上の第1領域の前記第1塗膜を除去することと、
前記基板上の前記第1領域に所定の材料を堆積することと、
前記基板上の第1領域を除く領域の前記第1塗膜を除去することとを含み、
前記第1塗膜を除去することは、
特定波長のエネルギーを照射して前記第1塗膜を特定の薬液に接触させ、前記第1領域の第1塗膜を除去することを含み、
前記第1領域に前記所定の材料を堆積することは、
前記第1塗膜上に前記所定の材料を含む溶液を塗布することにより、前記第1領域に前記所定の材料を堆積することを含むパターン形成方法。 - 前記特定の薬液は、アルカリ現像液であることを特徴とする請求項1又は請求項6に記載のパターン形成方法。
- 前記親撥材は、酸発生体及び酸解離性基を有する重合体を含み、
前記特定波長のエネルギーは、前記酸発生体から酸を発生させ、前記酸により前記酸解離性基を解離させることを特徴とする請求項1又は請求項6に記載のパターン形成方法。 - 前記第1塗膜を形成することは、酸発生体及び酸解離性基を有する重合体、さらに酸解離性基を有しない化合物を含む親撥材によって形成され、前記第1塗膜の表面に酸解離性基を有する重合体を偏析させることを特徴とする請求項1又は請求項6に記載のパターン形成方法。
- 前記酸解離性基が、フッ素原子もしくはケイ素原子から選ばれる少なくとも一方の原子を含む酸解離性基である請求項9に記載のパターン形成方法。
- 前記請求項1から請求項10のパターン形成方法に用いる感放射線性樹脂組成物。
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