JP2017152317A - セラミックスヒータ - Google Patents
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Abstract
Description
前記発熱抵抗体が、その延在方向に沿って幅の広狭が変化するように延在し、かつ、幅が局所的に広くなる範囲において厚さが局所的に小さくなるように、代替的または付加的に、幅が局所的に狭くなる範囲において厚さが局所的に大きくなるように構成されていることを特徴とする。
本発明のセラミックスヒータによれば、発熱抵抗体2が、その幅が局所的に広くなっている箇所においてその厚さが局所的に小さくなるように形成されている。このため、当該幅広箇所において発熱抵抗体2の電気抵抗値が局所的に低下して発熱量が低下し、ウエハWに局所的な低温箇所(コールドスポット)が発生する事態が確実に回避される。また、発熱抵抗体2の電気抵抗値の均一のために当該幅広箇所に合わせてその他の箇所の幅を拡張するなど、発熱抵抗体2の延在態様を複雑化する必要はない。このような幅広部分の省略により、基体1に形成される貫通孔の位置およびサイズなどが制約されることなく、設計の自由度の低下が回避される。
Claims (3)
- 上面を基板の載置面とするセラミックスからなる基体と、前記基体に埋設されている発熱抵抗体と、を備えているセラミックスヒータであって、
前記発熱抵抗体が、その延在方向に沿って幅の広狭が変化するように延在し、かつ、幅が局所的に広くなる範囲において厚さが局所的に小さくなるように、代替的または付加的に、幅が局所的に狭くなる範囲において厚さが局所的に大きくなるように構成されていることを特徴とするセラミックスヒータ。 - 請求項1記載のセラミックスヒータにおいて、
前記発熱抵抗体が、その延在方向に沿って幅の広狭が変化する前後において幅および厚さの積が同一になるように構成されていることを特徴とするセラミックスヒータ。 - 請求項1または2記載のセラミックスヒータにおいて、
前記発熱抵抗体が、幅が同じ一対の発熱抵抗要素が屈曲して連続する屈曲箇所を有しており、当該屈曲箇所において幅が広くなるように構成されていることを特徴とするセラミックスヒータ。
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Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110707000A (zh) * | 2018-07-09 | 2020-01-17 | 杨丽芸 | 一种桶式外延炉ic片外延工艺方法 |
KR102173235B1 (ko) * | 2020-03-12 | 2020-11-03 | 방경수 | 판형 발열체 및 이의 제조방법 |
KR102173300B1 (ko) * | 2020-03-12 | 2020-11-04 | 주식회사 에쓰지테크 | 콤팩트한 구성이 가능한 디스크 타입 발열체 및 이의 제조방법 |
KR20210157709A (ko) * | 2020-06-22 | 2021-12-29 | 주식회사 에쓰지테크 | 접속 신뢰성을 높인 판형 발열체 및 이의 제조방법 |
TWI798735B (zh) * | 2020-10-02 | 2023-04-11 | 日商日本碍子股份有限公司 | 陶瓷加熱器 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001244059A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Kyocera Corp | セラミックヒーター及びこれを用いたウエハ加熱装置 |
JP2003300784A (ja) * | 2002-04-02 | 2003-10-21 | Ibiden Co Ltd | セラミック接合体 |
JP2008172208A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-24 | Ngk Insulators Ltd | セラミックヒータ |
JP2012009337A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | セラミックスヒータ |
US20120145701A1 (en) * | 2010-07-30 | 2012-06-14 | Colvin Ronald L | Electrical resistance heater and heater assemblies |
JP2015052587A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-03-19 | 日本特殊陶業株式会社 | ヒータ、ガスセンサ素子およびガスセンサ |
-
2016
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2001244059A (ja) * | 2000-02-28 | 2001-09-07 | Kyocera Corp | セラミックヒーター及びこれを用いたウエハ加熱装置 |
JP2003300784A (ja) * | 2002-04-02 | 2003-10-21 | Ibiden Co Ltd | セラミック接合体 |
JP2008172208A (ja) * | 2006-12-15 | 2008-07-24 | Ngk Insulators Ltd | セラミックヒータ |
JP2012009337A (ja) * | 2010-06-25 | 2012-01-12 | Shin Etsu Chem Co Ltd | セラミックスヒータ |
US20120145701A1 (en) * | 2010-07-30 | 2012-06-14 | Colvin Ronald L | Electrical resistance heater and heater assemblies |
JP2015052587A (ja) * | 2013-08-05 | 2015-03-19 | 日本特殊陶業株式会社 | ヒータ、ガスセンサ素子およびガスセンサ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN110707000A (zh) * | 2018-07-09 | 2020-01-17 | 杨丽芸 | 一种桶式外延炉ic片外延工艺方法 |
KR102173235B1 (ko) * | 2020-03-12 | 2020-11-03 | 방경수 | 판형 발열체 및 이의 제조방법 |
KR102173300B1 (ko) * | 2020-03-12 | 2020-11-04 | 주식회사 에쓰지테크 | 콤팩트한 구성이 가능한 디스크 타입 발열체 및 이의 제조방법 |
KR20210157709A (ko) * | 2020-06-22 | 2021-12-29 | 주식회사 에쓰지테크 | 접속 신뢰성을 높인 판형 발열체 및 이의 제조방법 |
KR102372656B1 (ko) * | 2020-06-22 | 2022-03-11 | 주식회사 에쓰지테크 | 접속 신뢰성을 높인 판형 발열체 및 이의 제조방법 |
TWI798735B (zh) * | 2020-10-02 | 2023-04-11 | 日商日本碍子股份有限公司 | 陶瓷加熱器 |
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