JP2017132074A - Structure, mems device, liquid injection head and method for bonding film - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、フィルムを有する構造体、構造体を有するMEMSデバイス、構造体を有する液体噴射ヘッド及びフィルム接着方法に関する。 The present invention relates to a structure including a film, a MEMS device including the structure, a liquid jet head including the structure, and a film bonding method.
液体噴射ヘッドとしては、例えば、圧力発生手段の圧力変化を利用してノズルからインク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドが知られている。インクジェット式記録ヘッドでは、インク滴を吐出するノズルと連通する流路の壁の一部を、インクの圧力変化に応じて変形する可撓性を有するプレート(フィルム)で形成したものが提案されている(例えば、特許文献1参照)。 As a liquid ejecting head, for example, an ink jet recording head that ejects ink droplets from nozzles using a pressure change of a pressure generating unit is known. An ink jet recording head has been proposed in which a part of a wall of a flow path communicating with a nozzle for ejecting ink droplets is formed of a flexible plate (film) that deforms in response to a change in ink pressure. (For example, refer to Patent Document 1).
この特許文献1のインクジェット式記録ヘッドは、レーザー加工やエッチング加工によって凹部又は開口を形成した金属からなるプレートを積層することで流路を形成し、積層したプレートに樹脂又は金属からなる可撓性を有するプレート(フィルム)を接着することで形成されている。
In the ink jet recording head of
しかしながら、厚さの薄いフィルムを単体で被接着部材に接着するのは困難であるという問題がある。特に、厚さの薄い高機能フィルムは高価であり、面積の大きなフィルムを小さな部材に接着すると、無駄な領域が多く高コストになってしまうという問題がある。 However, there is a problem that it is difficult to bond a thin film alone to a member to be bonded. In particular, a high-functional film having a small thickness is expensive, and there is a problem that if a film having a large area is bonded to a small member, there are many useless regions and the cost is increased.
また、金属からなる剛性部材にフィルムをラミネートした接着体を用いて、フィルムを被接着部材に接着することもできるが、剛性部材を用いることで、材料コストが高くなってしまうという問題がある。また、特許文献1のように剛性部材をそのまま流路を構成する部材として用いる場合であっても、剛性部材にフィルムをラミネートした後、剛性部材の余分な部分をエッチングやレーザー加工等によって除去しなくてはならず、製造コストが高くなってしまうという問題がある。
Moreover, although the film can be adhered to the adherend using an adhesive body in which a film is laminated on a rigid member made of metal, there is a problem that the material cost is increased by using the rigid member. Even if the rigid member is used as it is as a member constituting the flow path as in
さらに、特許文献1のように、フィルムを接着する被接着体として金属を用いると、フィルムを接着する接着剤と金属との接着界面における接着強度が低く、剥離等が発生する虞があるという問題がある。
Furthermore, as in
また、特許文献1のように金属からなるプレートとフィルムを接着する場合、プレートにフィルムをラミネートした後、プレートの余分な領域をエッチングしなければならず、コストが高くなってしまう。
In addition, when a metal plate and a film are bonded as in
本発明はこのような事情に鑑み、薄いフィルムを容易に且つ低コストで接着することができ、フィルムの剥離を抑制した構造体、MEMSデバイス、液体噴射ヘッド及びフィルム接着方法を提供することを目的とする。 In view of such circumstances, an object of the present invention is to provide a structure, a MEMS device, a liquid ejecting head, and a film bonding method capable of bonding a thin film easily and at low cost and suppressing film peeling. And
上記課題を解決する本発明の態様は、凹部を有する第1部材と、前記第1部材に第1接着剤を介して接着されて、前記凹部を区画する樹脂材料で形成されたフィルムと、前記フィルムの前記第1部材とは反対面側に第2接着剤を介して接着された第2部材と、を具備し、前記第1部材及び前記第2部材が、金属ではない部材であることを特徴とする構造体にある。
かかる態様では、第1部材、フィルム及び第2部材において、金属と接着剤との界面を減少させて、接着強度を向上することができる。また、第1部材及び第2部材として金属以外の材料を用いることで、コストを低減することができる。
An aspect of the present invention that solves the above problems includes a first member having a recess, a film formed of a resin material that is bonded to the first member via a first adhesive, and partitions the recess, A second member bonded to the opposite side of the film from the first member via a second adhesive, and the first member and the second member are members that are not metal. In the featured structure.
In this aspect, in the first member, the film, and the second member, the interface between the metal and the adhesive can be reduced to improve the adhesive strength. Moreover, cost can be reduced by using materials other than a metal as a 1st member and a 2nd member.
ここで、前記第1部材が、樹脂であることが好ましい。これによれば、第1部材を安価に形成することが可能である。 Here, it is preferable that the first member is a resin. According to this, it is possible to form the first member at low cost.
また、前記第2部材が、樹脂であることが好ましい。これによれば、第2部材を安価に形成することができる。 Moreover, it is preferable that the said 2nd member is resin. According to this, the second member can be formed at low cost.
また、前記第1部材の前記凹部が流路であると共に、前記第1部材には、前記フィルムの接着面側に開口して前記凹部に連通する導入口を有し、前記第2部材には、前記導入口に連通する連通路が設けられており、前記フィルムの端面は、前記導入口及び前記連通路内に露出しないように前記第1接着剤及び前記第2接着剤の少なくとも一方で覆われていることが好ましい。これによれば、フィルムと接着剤との接着界面が液体に接することがなく、接着界面に液体が接触することによる接着強度の低下を抑制することができる。 In addition, the concave portion of the first member is a flow path, and the first member has an introduction port that opens to the adhesive surface side of the film and communicates with the concave portion, and the second member has A communication passage communicating with the introduction port is provided, and an end surface of the film is covered with at least one of the first adhesive and the second adhesive so as not to be exposed in the introduction port and the communication passage. It is preferable that According to this, the adhesive interface between the film and the adhesive does not come into contact with the liquid, and a decrease in the adhesive strength due to the liquid coming into contact with the adhesive interface can be suppressed.
また、前記第1部材の前記導入口の開口縁部には、周方向に亘って接着剤逃がし溝が設けられていることが好ましい。これによれば、流路内に接着剤が流出するのを抑制して、異物の発生を低減することができる。 Moreover, it is preferable that the opening edge part of the said inlet of the said 1st member is provided with the adhesive agent escape groove | channel over the circumferential direction. According to this, it is possible to suppress the adhesive from flowing into the flow path, and to reduce the generation of foreign matter.
また、前記フィルムの厚さが15μm以下であることが好ましい。これによれば、よりや縮みが発生し易い比較的薄いフィルムを用いることができる。 Moreover, it is preferable that the thickness of the said film is 15 micrometers or less. According to this, it is possible to use a relatively thin film that is more likely to shrink.
また、前記第1部材と前記第2部材とが同じ材料で形成されていることが好ましい。これによれば、第1部材と第2部材との線膨張係数の差を低減して、線膨張係数差による第1部材及び第2部材の反りや剥離を抑制すると共にフィルムのよりや剥離を抑制することができる。 Moreover, it is preferable that the said 1st member and the said 2nd member are formed with the same material. According to this, the difference in the linear expansion coefficient between the first member and the second member is reduced, and the warpage and peeling of the first member and the second member due to the difference in linear expansion coefficient are suppressed, and the film is peeled off more. Can be suppressed.
さらに、本発明の態様は、上記態様の構造体を具備することを特徴とするMEMSデバイスにある。
かかる態様では、コストを低減してフィルムの剥離を抑制したMEMSデバイスを実現できる。
Furthermore, an aspect of the present invention is a MEMS device including the structure according to the above aspect.
In this aspect, it is possible to realize a MEMS device that reduces cost and suppresses peeling of the film.
また、本発明の他の態様は、上記態様の構造体を具備し、前記凹部が、液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室に共通して連通する共通液室であることを特徴とする液体噴射ヘッドにある。
かかる態様では、コストを低減してフィルムの剥離を抑制した液体噴射ヘッドを実現できる。
According to another aspect of the present invention, there is provided the structure according to the above aspect, wherein the concave portion is a common liquid chamber that communicates in common with a plurality of pressure chambers that communicate with a nozzle that ejects liquid. In the liquid jet head.
In this aspect, it is possible to realize a liquid jet head that reduces cost and suppresses film peeling.
さらに、本発明の他の態様は、厚さが15μm以下のフィルムと、ベース部材とを接着してなる接着体を形成する接着体形成工程と、前記フィルム側から半抜き型で前記接着体をハーフカットするハーフカット工程と、ハーフカットした前記接着体の前記フィルムと凹部を有する第1部材とを接着してなる構造体を形成する構造体形成工程と、前記構造体形成工程の後、前記構造体から前記ベース部材を剥がす剥離工程と、を有することを特徴とするフィルム接着方法にある。
かかる態様では、15μm以下の薄いフィルムを容易に第1部材に接着することができる。また、金属等で形成された剛性部材が不要となってコストを低減することができる。
Furthermore, in another aspect of the present invention, there is provided an adhesive body forming step of forming an adhesive body formed by bonding a film having a thickness of 15 μm or less and a base member, After the half-cutting step for half-cutting, the structure-forming step for forming the structure formed by bonding the film of the half-cut adhesive body and the first member having the recesses, and after the structure-forming step, And a peeling step of peeling off the base member from the structure.
In this aspect, a thin film of 15 μm or less can be easily bonded to the first member. In addition, a rigid member formed of metal or the like is not necessary, and the cost can be reduced.
ここで、前記構造体形成工程において、前記フィルムと前記第1部材とが紫外線硬化型接着剤を用いて固定され、前記第1部材には、前記ベース部材の一部が剥離されずに残っていることが好ましい。これによれば、フィルムを紫外線硬化型接着剤で第1部材に仮固定することができるため、フィルムを押さえる治具等が不要となって製造効率を向上し、コストを低減することができる。 Here, in the structure forming step, the film and the first member are fixed using an ultraviolet curable adhesive, and a part of the base member remains on the first member without being peeled off. Preferably it is. According to this, since the film can be temporarily fixed to the first member with the ultraviolet curable adhesive, a jig or the like for holding the film is unnecessary, and the manufacturing efficiency can be improved and the cost can be reduced.
また、前記剥離工程によって、前記構造体に接着された前記フィルムは、前記第1部材の前記フィルムが接着される面における当該第1部材の外周以下の面積であることが好ましい。これによれば、比較的面積の小さなフィルムを第1部材に容易に且つ低コストで接着することができる。 Moreover, it is preferable that the said film adhere | attached on the said structure by the said peeling process is an area below the outer periphery of the said 1st member in the surface where the said film of the said 1st member adhere | attaches. According to this, a film having a relatively small area can be easily and inexpensively bonded to the first member.
以下に本発明を実施形態に基づいて詳細に説明する。
(実施形態1)
図1は、本発明の実施形態1に係る液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッドの分解斜視図であり、図2は、インクジェット式記録ヘッドの流路形成基板の要部平面図であり、図3は、図2のA−A′線断面図であり、図4は、図3のB−B′線断面図であり、図5は、図4の要部を拡大した図である。
Hereinafter, the present invention will be described in detail based on embodiments.
(Embodiment 1)
FIG. 1 is an exploded perspective view of an ink jet recording head that is an example of a liquid jet head according to
図示するように、本実施形態のインクジェット式記録ヘッド1(以下、単に記録ヘッド1とも言う)を構成する流路形成基板10には、一方面側から異方性エッチングすることにより、複数の隔壁によって区画された圧力室12がインクを吐出する複数のノズル21が並設される方向に沿って並設されている。以降、この方向を圧力室12の並設方向、又は第1の方向Xと称する。また、流路形成基板10には、圧力室12が第1の方向Xに並設された列が複数列、本実施形態では、2列設けられている。この圧力室12の列が複数列設された列設方向を、以降、第2の方向Yと称する。さらに、第1の方向X及び第2の方向Yの両方に直交する方向を第3の方向Zと称し、第3の方向Zにおいて、記録ヘッド1の詳しくは後述するホルダー150側をZ1側、ノズル21側をZ2側と称する。なお、第1の方向X、第2の方向Y及び第3の方向Zは、互いにそれぞれ直交する方向としたが、特にこれに限定されず、直交以外の角度で交差する方向であってもよい。
As shown in the figure, the flow
このような流路形成基板10の第3の方向Zの一方面側には、連通板15と、ノズルプレート20とが順次積層されている。
On one side of the flow
連通板15には、圧力室12とノズル21とを連通するノズル連通路16が設けられている。連通板15は、流路形成基板10よりも大きな面積を有し、ノズルプレート20は流路形成基板10よりも小さい面積を有する。このように連通板15を設けることによってノズルプレート20のノズル21と圧力室12とを離せるため、圧力室12の中にあるインクは、ノズル21付近のインクで生じるインク中の水分の蒸発による増粘の影響を受け難くなる。また、ノズルプレート20は圧力室12とノズル21とを連通するノズル連通路16の開口を覆うだけで良いので、ノズルプレート20の面積を比較的小さくすることができ、コストの削減を図ることができる。なお、本実施形態では、ノズルプレート20のノズル21が開口されて、インク滴が吐出される面を液体噴射面20aと称する。
The
また、連通板15には、マニホールド100の一部を構成する第1マニホールド部17と、第2マニホールド部18とが設けられている。
第1マニホールド部17は、連通板15を第3の方向Zに貫通して設けられている。
また、第2マニホールド部18は、連通板15を第3の方向Zに貫通することなく、連通板15のノズルプレート20側に開口して設けられている。
The
The
Further, the
さらに、連通板15には、圧力室12の第2の方向Yの一端部に連通する供給連通路19が、圧力室12の各々に対して独立して設けられている。この供給連通路19は、第2マニホールド部18と圧力室12とを連通する。すなわち、供給連通路19は、マニホールド100に対して、第1の方向Xに並設されている。
Further, the
ノズルプレート20には、各圧力室12とノズル連通路16を介して連通するノズル21が形成されている。すなわち、ノズル21は、同じ種類の液体(インク)を噴射するものが第1の方向Xに並設され、この第1の方向Xに並設されたノズル21の列が第2の方向Yに2列形成されている。
In the
また、連通板15の第1マニホールド部17及び第2マニホールド部18が開口する面には、カバー49が接合されており、第1マニホールド部17及び第2マニホールド部18の開口は、カバー49によって塞がれている。
Further, a
一方、流路形成基板10の連通板15とは反対面側には、振動板50が形成されている。本実施形態では、振動板50として、流路形成基板10側に設けられた酸化シリコンからなる弾性膜51と、弾性膜51上に設けられた酸化ジルコニウムからなる絶縁体膜52と、を設けるようにした。なお、圧力室12等の液体流路は、流路形成基板10を一方面側(ノズルプレート20が接合された面側)から異方性エッチングすることにより形成されており、圧力室12の他方面は、弾性膜51によって画成されている。
On the other hand, a
また、流路形成基板10の振動板50上には、第1電極60と圧電体層70と第2電極80とを有する圧電アクチュエーター300が設けられている。本実施形態では、圧電アクチュエーター300が、詳しくは後述する半導体素子である駆動回路121によって駆動される圧力発生手段となっている。ここで、本実施形態では、第1電極60は、圧力室12毎に切り分けてあり、詳しくは後述する能動部毎に独立する個別電極を構成する。この第1電極60は、第1の方向Xにおいては、圧力室12の幅よりも狭い幅で形成されている。すなわち、圧力室12の第1の方向Xにおいて、第1電極60の端部は、圧力室12に対抗する領域の内側に位置している。また、第2の方向Yにおいて、第1電極60の両端部は、それぞれ圧力室12の外側まで延設されている。
A
圧電体層70は、第2の方向Yが所定の幅となるように、第1の方向Xに亘って連続して設けられている。圧電体層70の第2の方向Yの幅は、圧力室12の第2の方向Yの長さよりも広い。このため、圧力室12の第2の方向Yでは、圧電体層70は圧力室12の外側まで設けられている。
The
圧力室12の第2の方向Yにおいて、圧電体層70のインク供給路側の端部は、第1電極60の端部よりも外側に位置している。すなわち、第1電極60の端部は圧電体層70によって覆われている。また、圧電体層70のノズル21側の端部は、第1電極60の端部よりも内側(圧力室12側)に位置しており、第1電極60のノズル21側の端部は、圧電体層70に覆われていない。
In the second direction Y of the
圧電体層70は、第1電極60上に形成される分極構造を有する酸化物の圧電材料からなり、例えば、一般式ABO3で示されるペロブスカイト型酸化物からなることができ、鉛を含む鉛系圧電材料や鉛を含まない非鉛系圧電材料などを用いることができる。
The
このような圧電体層70には、図2に示すように、各隔壁に対応する凹形状を有する溝部71が形成されている。この溝部71の第1の方向Xの幅は、各隔壁の第1の方向Xの幅と略同一、もしくはそれよりも広くなっている。これにより、振動板50の圧力室12の第2の方向Yの端部に対抗する部分(いわゆる振動板50の腕部)の剛性が押さえられるため、圧電アクチュエーター300を良好に変位させることができる。
In such a
第2電極80は、圧電体層70の第1電極60とは反対面側に設けられており、複数の能動部に共通する共通電極を構成する。また、第2電極80は、溝部71の内面、すなわち、圧電体層70の溝部71の側面内に設けるようにしても良く、設けないようにしてもよい。
The
このような第1電極60、圧電体層70及び第2電極80で構成される圧電アクチュエーター300は、第1電極60と第2電極80との間に電圧を印加することで変位が生じる。すなわち両電極の間に電圧を印加することで、第1電極60と第2電極80とで挟まれている圧電体層70に圧電歪みが生じる。そして、両電極に電圧を印加した際に、圧電体層70に圧電歪みが生じる部分を能動部と称する。これに対して、圧電体層70に圧電歪みが生じない部分を非能動部と称する。また、圧電体層70に圧電歪みが生じる能動部において、圧力室12に対向する部分を可撓部と称し、圧力室12の外側の部分を非可撓部と称する。
Such a
本実施形態では、第2の方向Yにおいて、第1電極60、圧電体層70及び第2電極80の全てが圧力室12の外側まで連続的に設けられている。すなわち能動部が圧力室12の外側まで連続的に設けられている。このため、能動部のうち圧電アクチュエーター300の圧力室12に対向する部分が可撓部となり、圧力室12の外側の部分が非可撓部となっている。
In the present embodiment, in the second direction Y, all of the
また、図2に示すように、圧電アクチュエーター300の第1電極60からは、引き出し配線である個別配線91が引き出されている。個別配線91は、2列の圧電アクチュエーター300の間に引き出されている。また、第2電極80からは、引き出し配線である共通配線92が引き出されている。
Further, as shown in FIG. 2,
そして、このような個別配線91及び共通配線92には、フレキシブルケーブル120が電気的に接続されている。フレキシブルケーブル120は、可撓性を有する配線基板であって、本実施形態では、半導体素子である駆動回路121が実装されている。外部からの印刷制御信号は、フレキシブルケーブル120を介して駆動回路121に供給され、駆動回路121からの駆動信号は、フレキシブルケーブル120及び個別配線91、共通配線92を介して圧電アクチュエーター300に供給される。
A
このような流路形成基板10の圧電アクチュエーター300側の面には、流路形成基板10と略同じ大きさを有する保護基板30が接合されている。保護基板30は、圧電アクチュエーター300を保護するための空間である保持部31を有する。保持部31は、第1の方向Xに並設された圧電アクチュエーター300の列の間に第2の方向Yに2つ並んで形成されている。また、保護基板30には、第2の方向Yで並設された2つの保持部31の間に第3の方向Zに貫通する貫通孔32が設けられている。圧電アクチュエーター300の電極から引き出された個別配線91及び共通配線92の端部は、この貫通孔32内に露出するように延設され、個別配線91及び共通配線92とフレキシブルケーブル120とは、貫通孔32内で電気的に接続されている。
A
また、保護基板30上には、複数の圧力室12に連通するマニホールド100を流路形成基板10と共に画成する本実施形態の第1部材であるケース部材40が固定されている。ケース部材40は、平面視において上述した連通板15と略同一形状を有し、保護基板30に接合されると共に、上述した連通板15にも接合されている。具体的には、ケース部材40は、保護基板30側に流路形成基板10及び保護基板30が収容される深さの第1凹部41を有する。この第1凹部41は、保護基板30の流路形成基板10に接合された面よりも広い開口面積を有する。そして、第1凹部41に流路形成基板10等が収容された状態で第1凹部41のノズルプレート20側の開口面が連通板15によって塞がれている。
Further, on the
また、ケース部材40には、連通板15の第1マニホールド部17と連通する第3マニホールド部42が形成されている。第3マニホールド部42は、第3の方向Zに貫通する貫通部42aと、連通板15とは反対側であるZ1側に設けられて、貫通部42aの第2の方向Yの幅を拡幅した拡幅部42bと、を具備する。拡幅部42bは、本実施形態では、第2の方向Yにおいて、圧電アクチュエーター300側にせり出すように設けられている。つまり、拡幅部42bは、本実施形態では、第3の方向Zから平面視した際に、その一部が第1凹部41に重なる位置に配置されている。これにより、第3マニホールド部42のZ1側の開口は、Z2側に比べて広い面積となっている。そして、連通板15に設けられた第1マニホールド部17及び第2マニホールド部18と、ケース部材40に設けられた第3マニホールド部42と、によって本実施形態の共通液室であるマニホールド100が構成されている。マニホールド100は、圧力室12の並設方向である第1の方向Xに亘って連続して設けられており、各圧力室12とマニホールド100とを連通する供給連通路19は、第1の方向Xに並設されている。
The
また、ケース部材40には、保護基板30の貫通孔32に連通してフレキシブルケーブル120が挿通される接続孔43が設けられている。接続孔43は、第2の方向Yにおいて、2つの第3マニホールド部42の間に設けられている。
The
このようなケース部材40としては、例えば、樹脂、シリコン、ガラス、セラミックス、金属、金属酸化物等が挙げられる。特に、ケース部材40として樹脂を用いることで、成型によって安価に形成することができる。なお、ケース部材40として金属を用いた場合、切削加工、エッチング加工、プレス部品の積層等によって形成することができる。
Examples of
また、ケース部材40の第3マニホールド部42が開口するZ1側の面には、フィルム130が第1接着剤140を介して接着されており、第3マニホールド部42のZ1側の開口はフィルム130によって塞がれている。すなわち、本実施形態では、ケース部材40が第1部材に相当し、ケース部材40に設けられた第3マニホールド部42が第1部材の凹部に相当する。ちなみに、本願発明の「凹部」とは、内部に空間が形成されていればよく、第1部材を貫通することなく溝状に形成されたものも、第1部材を貫通して形成されたものも含む。
Further, the
ここで、フィルム130は、可撓性を有する厚さが15μm以下の樹脂からなる。例えば、フィルム130としては、例えば、パラ系の芳香族ポリアミドフィルムが挙げられる。また、フィルム130は、ケース部材40のZ1側の当該フィルム130が接着される面の外周以下の面積を有する。すなわち、フィルム130は、ケース部材40よりも外側に突出して設けられていない。また、本実施形態では、2つの第3マニホールド部42を1つのフィルム130で塞ぐように連続して設けられている。もちろん、第3マニホールド部42毎にフィルム130を独立して設けるようにしてもよい。
Here, the
このように、第3マニホールド部42の開口をフィルム130で塞ぐことで、マニホールド100の壁の一部は、可撓性を有するフィルム130で画成された可撓部であるコンプライアンス部131となっている。本実施形態では、拡幅部42bを設けて第3マニホールド部42の開口面積を広げることで、コンプライアンス部131の面積を広げることができ、マニホールド100内のインクの大きな圧力変動をコンプライアンス部131で吸収することができる。
Thus, by closing the opening of the third
なお、図5に示すように、ケース部材40のフィルム130が接着された面には、第3マニホールド部42に連通する導入口44が設けられている。導入口44は、第2の方向Yにおいて、2つの第3マニホールド部42の間側の壁の一方から拡幅部42b内に突出して設けられた突出部45に第3の方向Zに貫通して設けられている。また、突出部45の導入口44が開口する面にもフィルム130が第1接着剤140を介して接着されている。なお、フィルム130には、導入口44の開口よりも大きな開口を有する開口部132が設けられており、フィルム130は、導入口44の開口縁部よりも外側において突出部45に接着されている。
As shown in FIG. 5, an
さらに、突出部45のフィルム130側の面において、導入口44のZ1側の開口縁部には、凹形状を有する接着剤逃がし溝46が導入口44の周方向に亘って設けられている。すなわち、接着剤逃がし溝46は、導入口44に連通して、導入口44よりも大きな内径を有する孔となっている。
Further, on the surface of the projecting
さらに、第3の方向Zにおいて、フィルム130のケース部材40とは反対側であるZ1側には、第2部材であるホルダー150が第2接着剤141を介して接着されている。ホルダー150は、金属以外の材料、例えば、樹脂、シリコン、ガラス、セラミックス、金属酸化物等が挙げられる。すなわち、金属以外の材料とは、金属酸化物を含むものである。特に、ホルダー150として、樹脂を用いることで安価に形成することができる。さらに、ホルダー150は、ケース部材40と線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましい。すなわち、ホルダー150として、ケース部材40と線膨張係数が大きく異なる材料を用いた場合、加熱や冷却されることで、ホルダー150とケース部材40との線膨張係数の違いにより反りが生じてしまう。そして、ホルダー150とケース部材40とに反りが生じると、ホルダー150とケース部材40との剥離や、フィルム130によれや剥離が発生してしまう。特に、本実施形態のフィルム130は、厚さが15μm以下と薄いので、ホルダー150とケース部材40との線膨張係数差による変形の応力が影響しやすい。したがって、ホルダー150とケース部材40とは、線膨張係数が同等の材料を用いるのが好ましく、ホルダー150とケース部材40とを同じ材料で形成するのがより好ましい。これによりホルダー150とケース部材40との剥離やフィルム130のよれや剥離が発生するのを抑制することができる。
Furthermore, in the third direction Z, the
なお、ホルダー150には、フィルム130の第3マニホールド部42に対向する領域、すなわち、コンプライアンス部131に対向する領域に開口する第2凹部151が設けられている。第2凹部151は、フィルム130の変形を阻害しない程度の深さを備えており、マニホールド100内のインクの圧力変化によるフィルム130の変形は、第2凹部151によって許容される。
The
さらに、ホルダー150には、導入口44に連通する連通路152が設けられており、連通路152から供給されたインクは、導入口44を介してマニホールド100内に供給される。
Further, the
また、ホルダー150には、フレキシブルケーブル120を挿通するための挿通孔153が設けられており、ホルダー150の挿通孔153側から挿入されたフレキシブルケーブル120が、ケース部材40の接続孔43及び保護基板30の貫通孔32を挿通して、流路形成基板10上で圧電アクチュエーター300と電気的に接続される。
The
このようなホルダー150がフィルム130のZ1側の面に第2接着剤141を介して接着されている。また、ホルダー150とフィルム130とを接着する第2接着剤141によって、フィルム130の開口部132の開口縁部は、周方向に亘って覆われている。つまり、フィルム130の開口部132は、導入口44よりも大きな開口を有するため、ケース部材40にフィルム130を導入口44よりも外側となるように第1接着剤140で接着することで、フィルム130の開口部132の開口縁部を第2接着剤141によって覆うことができる。したがって、導入口44と連通路152との接続部分である流路において、フィルム130の端部は露出することなく、第2接着剤141によって覆われている。さらに、フィルム130の開口部132の端面を覆う第2接着剤141は、接着剤逃がし溝46内に充填されるため、余分な第2接着剤141が導入口44と連通路152との接続部分である流路内に流れ出るのを抑制することができる。したがって、流出した余分な第2接着剤141による異物の発生を抑制して、ノズル21の目詰まり等を抑制することができる。なお、本実施形態では、接着剤逃がし溝46内に第2接着剤141が充填されるようにしたが、特にこれに限定されず、フィルム130をケース部材40に接着する第1接着剤140の流路内への流出も接着剤逃がし溝46によって抑制することができる。すなわち、接着剤逃がし溝46内には、第1接着剤140及び第2接着剤141の少なくとも一方が充填されていればよい。
Such a
このような記録ヘッド1では、インクを噴射する際に、インクを連通路152から取り込み、マニホールド100からノズル21に至るまで流路内部をインクで満たす。その後、駆動回路121からの信号に従い、圧力室12に対応する各圧電アクチュエーター300に電圧を印加することにより、圧電アクチュエーター300と共に振動板50をたわみ変形させる。これにより、圧力室12内の圧力が高まり所定のノズル21からインク滴が噴射される。このように連通路152からマニホールド100内にインクが充填された際に、フィルム130のコンプライアンス部131が可撓変形することで、マニホールド100内のインクの圧力変化を吸収する。また、ノズル21からインク滴を噴射した際に生じるマニホールド100内のインクの圧力変動も、フィルム130のコンプライアンス部131が変形することで吸収される。したがって、インクの供給特性及び吐出特性を向上して、安定したインク滴の吐出を行うことができる。また、本実施形態では、15μm以下のフィルム130を用いることで、マニホールド100内のインクの圧力変化に対する反応性が高い。したがって、本実施形態の記録ヘッド1では、高周波数でのインク滴の吐出時にもインク吐出特性が低下するのを抑制することができる。
In such a
また、本実施形態では、上述したように、金属以外の材料からなるケース部材40にフィルム130を第1接着剤140を介して接着し、フィルム130のケース部材40とは反対面側に金属以外の材料からなるホルダー150を第2接着剤141を介して接着するようにした。このため、ケース部材40とフィルム130とホルダー150との接着界面において、金属材料と第1接着剤140及び第2接着剤141との接着界面を無くすことができる。したがって、ケース部材40、フィルム130及びホルダー150の接着強度の低下を抑制して、剥離やそれに伴うインクのリーク等を抑制することができる。すなわち、一般的に、金属以外の材料と接着剤との接着強度は、金属材料と接着剤との接着強度に比べて高いため、金属材料と接着剤との接着部分を減少させることで接着強度を向上することができる。
In the present embodiment, as described above, the
また、ケース部材40とホルダー150とを金属以外の材料、特に線膨張係数が同等の材料を用いることで、線膨張係数の違いによるケース部材40及びホルダー150の反りや剥離を抑制して、フィルム130のよりや剥離を抑制することができる。
Further, the
さらに、本実施形態では、フィルム130の端面、すなわち、開口部132の開口縁部を流路内に露出しないように第2接着剤141で覆うことで、フィルム130の剥離をさらに抑制することができる。すなわち、フィルム130の端面が流路内に露出していると、フィルム130と第1接着剤140及び第2接着剤141との接着界面にインクが浸食し、フィルム130の接着強度が低下してフィルム130の剥離が発生し易い。本実施形態では、フィルム130と第1接着剤140及び第2接着剤141との界面が直接インクに触れないため、フィルム130の接着界面の接着強度の低下を抑制して、フィルム130の剥離を抑制することができる。
Furthermore, in this embodiment, peeling of the
ここで、このようなフィルム130の接着方法について図6〜図9を参照して説明する。なお、図6〜図9は、本実施形態のフィルム接着方法を示す断面図である。また、本実施形態では、ケース部材40にフィルム130を接着する方法について説明するが、もちろん、フィルムの接着方法は、記録ヘッド1におけるフィルムの接着方法に限定されるものではなく、広くフィルムを被接着体である第1部材に接着する接着方法に適用することができるものである。
Here, the adhesion method of such a
具体的には、図6に示すように、厚さが15μm以下のフィルム130と裏打ち材であるベース部材160とを第3接着剤142を介して接着して接着体を形成する(接着体形成工程)。
Specifically, as shown in FIG. 6, an adhesive body is formed by bonding a
このようにフィルム130をベース部材160に接着して接着体とすることで、接着体のハンドリング性を向上することができる。すなわち、フィルム130は、15μm以下の厚さであるためハンドリング性が悪く、実質的にフィルム130単体ではハンドリングすることが困難である。このため、フィルム130をベース部材160に接着して接着体とすることで、フィルム130単体に比べて接着体のハンドリング性を向上して、フィルム130を扱い易くすることができる。
In this way, by bonding the
このような接着体を形成するベース部材160としては、接着体のハンドリング性を向上すると共に、後の工程で接着体をケース部材40に接着し易い材料が好ましく、可撓性を有する材料、特に、樹脂材料を用いるのが好ましい。また、ベース部材160は、フィルム130よりも硬い樹脂材料を用いるのが好ましい。これにより、接着体のハンドリング性を向上することができると共に、接着体のよれや縮みを抑制することができる。さらに、ベース部材160は、フィルム130よりも厚い部材を用いるのが好ましい。これによっても、接着体のハンドリング性を向上することができると共に、接着体のよれや縮みを抑制することができる。本実施形態では、ベース部材160として、厚さが100〜200μmのポリエチレンテレフタレート(PET)を用いるようにした。
As the
なお、接着体形成工程で形成する接着体のフィルム130及びベース部材160は、被接着体であるケース部材40の接着面(接着面側の外周)よりも大きな面積を有するものを用いている。本実施形態では、例えば、ロール状のベース部材160とロール状のフィルム130とを接着し、それをある程度の大きさで切断することで接着体を形成している。このように、接着体としてケース部材40との接着面よりも大きな面積のものを用いることハンドリング性を向上して、接着体によれや縮みが生じるのを抑制することができる。
The
また、フィルム130とベース部材160とを接着する第3接着剤142は、フィルム130をベース部材160に仮固定して、後の工程で容易に剥離することができる接着剤を用いることができる。つまり、第3接着剤142としては、第1接着剤140よりも粘着力が弱い接着剤が用いられる。
The third adhesive 142 that bonds the
次に、図7に示すように、接着体をフィルム130側から半抜き型170でハーフカットする(ハーフカット工程)。このハーフカットでは、フィルム130が完全に切断されると共にベース部材160が完全に切断されないように、フィルム130の表面からベース部材160の厚さの途中に達するまで行う。
Next, as shown in FIG. 7, the adhesive body is half-cut from the
次に、図8に示すように、ハーフカットした接着体のフィルム130とケース部材40とを第1接着剤140を介して接着して構造体を形成する(構造体形成工程)。
第1接着剤140は、予めフィルム130に塗布しておいてもよく、また、ケース部材40に塗布しておいてもよい。本実施形態では、ケース部材40側のフィルム130が接着される面に、フィルム130側に突出する部材がないため、ケース部材40側に第1接着剤140を容易に塗布することができる。
Next, as shown in FIG. 8, the half-
The
また、本実施形態では、図5に示すように、ケース部材40には、接着剤逃がし溝46が形成されているため、ケース部材40へのフィルム130の位置決めは、接着剤逃がし溝46を基準として行うことができる。また、フィルム130の開口部132は、ケース部材40に接着体を接着する前に、接着体を厚さ方向に貫通して当該開口部132を形成しておいてもよい。また、ハーフカット工程によって開口部132が形成されるように接着体をハーフカットしておき、後の剥離工程でベース部材160を剥離した際に、フィルム130に開口部132が形成されるようにしてもよい。
Further, in this embodiment, as shown in FIG. 5, the
次に、図9に示すように、構造体を形成した後、構造体からベース部材160を剥離する(剥離工程)。このとき、ハーフカット工程によってフィルム130は所定形状に切断されているため、ケース部材40に第1接着剤140によって接着されたフィルム130の一部のみを残して、ケース部材40に第1接着剤140によって接着されなかった余分な領域のフィルム130をベース部材160と同時に除去することができる。なお、剥離工程におけるベース部材160の剥離は、フィルム130とケース部材40とを接着する第1接着剤140が硬化してから行うようにしてもよく、第1接着剤140が完全に硬化する前、すなわち半硬化状態で行ってもよい。
Next, as shown in FIG. 9, after forming the structure, the
以上説明したフィルム接着方法によれば、厚さが15μm以下の比較的薄いフィルム130を第1部材であるケース部材40に容易に接着することができる。また、ベース部材160を用いてハーフカットするだけで15μm以下のフィルム130を接着することができるため、フィルム130を接着するためのステンレス鋼等の固定部材や、固定部材を所定形状にエッチングする工程が不要となって、コストを低減することができる。特に、ベース部材160は、裏打ち材であるため、安価な材料を用いることができ、コストを低減することができる。
According to the film bonding method described above, a relatively
なお、上述した工程によって、フィルム130を第1接着剤140を介してケース部材40に接着した後は、図3に示すように、フィルム130のケース部材40とは反対側にホルダー150を第2接着剤141で接着することで、本実施形態の記録ヘッド1とすることができる。ちなみに、フィルム130にホルダー150を第2接着剤141で接着する際には、上述したように第2接着剤141を接着剤逃がし溝46内に充填することで、第2接着剤141によってフィルム130及び第1接着剤140の端面を覆う。なお、第2接着剤141を導入口44や連通路152等の流路内に流出しないように接着剤逃がし溝46内に充填するには、第2接着剤141の粘度に合わせて第2接着剤141の量及びホルダー150を押圧する圧力を適宜設定すればよい。
After the
(実施形態2)
図10は、本発明の実施形態2に係る記録ヘッドの要部断面図である。なお、上述した実施形態1と同様の部材には同一の符号を付して重複する説明は省略する。
図10に示すように、ケース部材40には、フィルム130が接着される面に突出したかしめ部47が設けられている。
フィルム130は、かしめ部47が挿通される第1固定孔133を有する。また、フィルム130のケース部材40とは反対側には、かしめ部47の周囲のみにベース部材160が形成されている。すなわち、ベース部材160は、かしめ部47の周囲のみに設けられており、ベース部材160には、第1固定孔133に連通してかしめ部47が挿通される第2固定孔161が設けられている。そして、かしめ部47は、フィルム130の第1固定孔133及びベース部材160の第2固定孔161に挿通された状態で、その先端部が溶融されることで、ケース部材40にフィルム130及びベース部材160の一部をかしめ固定している。
(Embodiment 2)
FIG. 10 is a cross-sectional view of the main part of a recording head according to
As shown in FIG. 10, the
The
このようなケース部材40に設けられたかしめ部47によるフィルム130及びベース部材160のかしめ固定は、フィルム130をケース部材40に接着する第1接着剤140を硬化させるまでの間の仮固定として使用される。つまり、かしめ部47を設けずに、フィルム130をケース部材40に接着する場合には、第1接着剤140が硬化するまでの間、治具等で押さえる必要がある。このように治具による固定では、同時に複数の構造体を製造する場合、複数の治具が必要となりコストが高くなる。本実施形態では、かしめ部47によってケース部材40とフィルム130とをかしめ固定することで、第1接着剤140が硬化するまでに押さえる治具が不要となり、コストを低減することができる。すなわち、かしめ部47によってケース部材40とフィルム130とをかしめ固定することで、第1接着剤140が硬化する前に剥離工程を行うことができる。これにより、1つの接合体に記録ヘッド1に用いられるフィルム130の領域が複数形成されていても、1つの接合体を使い回すことができ、製造工程の効率化を図ることができる。
The caulking and fixing of the
なお、本実施形態の構造体も、上述した実施形態1と同様のフィルム接着方法によって形成することができる。すなわち、接着体をケース部材40に接着する構造体形成工程の後であって、ベース部材160をフィルム130から剥離する剥離工程の前に、かしめ部47によって接合体をケース部材40にかしめ固定すればよい。ちなみに、剥離工程では、ベース部材160をレーザー光等で切断することで、かしめ部47の周囲のみにベース部材160を残留させることができる。
In addition, the structure of this embodiment can also be formed by the same film adhesion method as
また、本実施形態では、ケース部材40にフィルム130及びベース部材160をかしめ固定するようにしたが、特にこれに限定されない。例えば、図11に示すように、ケース部材40にフィルム130及びベース部材160を紫外線硬化型接着剤143で固定してもよい。すなわち、紫外線硬化型接着剤143の周囲にベース部材160が残留している。
In the present embodiment, the
このように紫外線硬化型接着剤143を用いた場合であっても、第1接着剤140を硬化するまで押さえる治具が不要となって、コストを低減することができる。つまり、紫外線硬化型接着剤143は、紫外線を照射することで硬化するため、第1接着剤140の硬化時間よりも短い時間で硬化させることができるため、紫外線硬化型接着剤143を用いることで治具を用いることなくフィルム130とケース部材40とを仮固定することができるからである。
In this way, even when the ultraviolet
(他の実施形態)
以上、本発明の各実施形態について説明したが、本発明の基本的な構成は上述したものに限定されるものではない。
上述した各実施形態では、ケース部材40に接着剤逃がし溝46を設けるようにしたが、特にこれに限定されず、接着剤逃がし溝46を設けないようにしてもよい。接着剤逃がし溝46を設けない場合であっても、フィルム130の開口部132を導入口44よりも大きな開口とすることで、フィルム130の開口部132の開口縁部である端面を第1接着剤140及び第2接着剤141の少なくとも一方で覆って、フィルム130の端面が流路内に露出しないようにすることができる。もちろん、フィルム130の端面が流路内に露出していてもよい。すなわち、フィルム130の端面が第1接着剤140及び第2接着剤141の少なくとも一方で覆われていなくてもよい。
(Other embodiments)
As mentioned above, although each embodiment of this invention was described, the fundamental structure of this invention is not limited to what was mentioned above.
In each embodiment described above, the
さらに、上述した各実施形態では、厚さが15μm以下のフィルム130を有する構造体である記録ヘッド1を例示したが、記録ヘッド1には、厚さが15μmより厚いフィルム130を有するものであってもよい。つまり、上述したフィルム接着方法において、フィルム130の厚さが15μm以下に規定されるものであり、構造体としてのフィルム130の厚さは15μm以下に限定されるものではない。
Further, in each of the above-described embodiments, the
さらに、上述した各実施形態では、マニホールド100のZ2側の開口をカバー49によって塞ぐようにしたが、特にこれに限定されず、カバー49に代わって上述した実施形態1と同様のフィルム130を接着してもよい。これにより、コンプライアンス部131の面積を大きくすることができ、さらにマニホールド100内のインクの大きな圧力変動を吸収することができる。
Further, in each of the above-described embodiments, the opening on the Z2 side of the manifold 100 is closed by the
また、上述した実施形態1では、第1電極60を各圧電アクチュエーター300の個別電極とし、第2電極80を複数の圧電アクチュエーター300の共通電極としたが、特にこれに限定されず、第1電極60を複数の圧電アクチュエーター300の共通電極とし、第2電極80を各圧電アクチュエーター300の個別電極としてもよい。
In the first embodiment described above, the
さらに、上述した各実施形態では、圧力室12に圧力変化を生じさせる圧力発生手段として、薄膜型の圧電アクチュエーター300を用いて説明したが、特にこれに限定されず、例えば、グリーンシートを貼付する等の方法により形成される厚膜型の圧電アクチュエーターや、圧電材料と電極形成材料とを交互に積層させて軸方向に伸縮させる縦振動型の圧電アクチュエーターなどを使用することができる。また、駆動素子として、圧力室内に発熱素子を配置して、発熱素子の発熱で発生するバブルによってノズルから液滴を吐出するものや、振動板と電極との間に静電気を発生させて、静電気力によって振動板を変形させてノズルから液滴を吐出させるいわゆる静電式アクチュエーターなどを使用することができる。
Further, in each of the embodiments described above, the thin
このような記録ヘッド1は、インクジェット式記録装置Iに搭載される。図12は、本実施形態のインクジェット式記録装置の一例を示す概略図である。
図12に示すインクジェット式記録装置Iにおいて、記録ヘッド1は、液体供給手段を構成するカートリッジ2が着脱可能に設けられ、この記録ヘッド1を搭載したキャリッジ3は、装置本体4に取り付けられたキャリッジ軸5に軸方向移動自在に設けられている。
Such a
In the ink jet recording apparatus I shown in FIG. 12, the
そして、駆動モーター6の駆動力が図示しない複数の歯車およびタイミングベルト7を介してキャリッジ3に伝達されることで、記録ヘッド1を搭載したキャリッジ3はキャリッジ軸5に沿って移動される。一方、装置本体4には搬送手段としての搬送ローラー8が設けられており、紙等の記録媒体である。
記録シートSが搬送ローラー8により搬送されるようになっている。なお、記録シートSを搬送する搬送手段は、搬送ローラーに限られずベルトやドラム等であってもよい。
Then, the driving force of the driving motor 6 is transmitted to the
The recording sheet S is conveyed by the conveying
また、上述した例では、インクジェット式記録装置Iは、インク供給手段であるカートリッジ2がキャリッジ3に搭載された構成であるが、特にこれに限定されず、例えば、インクタンク等の液体供給手段を装置本体4に固定して、液体供給手段と記録ヘッド1とをチューブ等の供給管を介して接続してもよい。また、液体供給手段がインクジェット式記録装置に搭載されていなくてもよい。
In the above-described example, the ink jet recording apparatus I has a configuration in which the
さらに、上述したインクジェット式記録装置Iでは、記録ヘッド1がキャリッジ3に搭載されて主走査方向に移動するものを例示したが、特にこれに限定されず、例えば、記録ヘッド1が固定されて、紙等の記録シートSを副走査方向に移動させるだけで印刷を行う、所謂ライン式記録装置にも本発明を適用することができる。
Further, in the above-described ink jet recording apparatus I, the
また、本発明は、広く液体噴射ヘッド全般を対象としたものであり、例えば、プリンター等の画像記録装置に用いられる各種のインクジェット式記録ヘッド等の記録ヘッド、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ELディスプレイ、FED(電界放出ディスプレイ)等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオchip製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等にも適用することができる。また、液体噴射装置の一例としてインクジェット式記録装置Iを挙げて説明したが、上述した他の液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置にも用いることが可能である。 In addition, the present invention is intended for a wide range of liquid ejecting heads in general, for example, for manufacturing recording heads such as various ink jet recording heads used in image recording apparatuses such as printers, and color filters such as liquid crystal displays. The present invention can also be applied to a coloring material ejecting head, an organic EL display, an electrode material ejecting head used for forming electrodes such as an FED (field emission display), a bioorganic matter ejecting head used for biochip manufacturing, and the like. Further, although the ink jet recording apparatus I has been described as an example of the liquid ejecting apparatus, the liquid ejecting apparatus using the other liquid ejecting heads described above can also be used.
また、本発明は、広くMEMSデバイスを対象としたものであり、記録ヘッド以外のMEMSデバイスにも適用することができる。このようなMEMSデバイスの一例としては、超音波デバイス、モーター、圧力センサー、焦電素子、強誘電体素子などが挙げられる。また、これらのMEMSデバイスを利用した完成体、たとえば、上記記録ヘッドを利用した液体等噴射装置、上記超音波デバイスを利用した超音波センサー、上記モーターを駆動源として利用したロボット、上記焦電素子を利用したIRセンサー、強誘電体素子を利用した強誘電体メモリーなども、MEMSデバイスに含まれる。
さらに、本発明は、広く構造体を対象としたものであり、MEMSデバイス以外に用いられる構造体にも適用することができる。
The present invention is widely intended for MEMS devices, and can be applied to MEMS devices other than recording heads. Examples of such a MEMS device include an ultrasonic device, a motor, a pressure sensor, a pyroelectric element, and a ferroelectric element. Further, a completed body using these MEMS devices, for example, a liquid ejecting apparatus using the recording head, an ultrasonic sensor using the ultrasonic device, a robot using the motor as a driving source, the pyroelectric element The MEMS device includes an IR sensor using a ferroelectric layer and a ferroelectric memory using a ferroelectric element.
Furthermore, the present invention is intended for a wide range of structures, and can be applied to structures used for devices other than MEMS devices.
I…インクジェット式記録装置(液体噴射装置)、1…インクジェット式記録ヘッド(液体噴射ヘッド)、2…カートリッジ、10…流路形成基板、12…圧力室、20…ノズルプレート、21…ノズル、30…保護基板、40…ケース部材(第1部材)、41…第1凹部、42…第3マニホールド部(凹部)、43…接続孔、44…導入口、45…突出部、46…接着剤逃がし溝、47…かしめ部、49…カバー、50…振動板、60…第1電極、70…圧電体層、80…第2電極、91…個別配線、92…共通配線、100…マニホールド、120…フレキシブルケーブル、120…駆動回路、130…フィルム、131…コンプライアンス部、132…開口部、133…第1固定孔、140…第1接着剤、141…第2接着剤、142…第3接着剤、143…紫外線硬化型接着剤、150…ホルダー(第2部材)、151…第2凹部、152…連通路、153…挿通孔、160…ベース部材、161…第2固定孔、170…半抜き型、300…圧電アクチュエーター(圧力発生手段) DESCRIPTION OF SYMBOLS I ... Inkjet recording apparatus (liquid ejecting apparatus), 1 ... Inkjet recording head (liquid ejecting head), 2 ... Cartridge, 10 ... Channel formation substrate, 12 ... Pressure chamber, 20 ... Nozzle plate, 21 ... Nozzle, 30 ... Protective substrate, 40 ... Case member (first member), 41 ... First recess, 42 ... Third manifold part (recess), 43 ... Connection hole, 44 ... Inlet, 45 ... Protrusion, 46 ... Adhesive escape Groove, 47 ... caulking part, 49 ... cover, 50 ... diaphragm, 60 ... first electrode, 70 ... piezoelectric layer, 80 ... second electrode, 91 ... individual wiring, 92 ... common wiring, 100 ... manifold, 120 ... Flexible cable, 120 ... drive circuit, 130 ... film, 131 ... compliance part, 132 ... opening, 133 ... first fixing hole, 140 ... first adhesive, 141 ... second adhesive, 142 Third adhesive, 143 ... UV curable adhesive, 150 ... Holder (second member), 151 ... Second recess, 152 ... Communication path, 153 ... Insertion hole, 160 ... Base member, 161 ... Second fixing hole, 170 ... half-punch type, 300 ... piezoelectric actuator (pressure generating means)
Claims (12)
前記第1部材に第1接着剤を介して接着されて、前記凹部を区画する樹脂材料で形成されたフィルムと、
前記フィルムの前記第1部材とは反対面側に第2接着剤を介して接着された第2部材と、を具備し、
前記第1部材及び前記第2部材が、金属ではない部材であることを特徴とする構造体。 A first member having a recess;
A film formed of a resin material bonded to the first member via a first adhesive and defining the recess;
A second member bonded via a second adhesive to the opposite side of the film from the first member;
The structure in which the first member and the second member are members that are not metal.
前記第2部材には、前記導入口に連通する連通路が設けられており、
前記フィルムの端面は、前記導入口及び前記連通路内に露出しないように前記第1接着剤及び前記第2接着剤の少なくとも一方で覆われていることを特徴とする請求項1〜3の何れか一項に記載の構造体。 The concave portion of the first member is a flow path, and the first member has an introduction port that opens to the adhesive surface side of the film and communicates with the concave portion,
The second member is provided with a communication passage communicating with the introduction port,
The end face of the film is covered with at least one of the first adhesive and the second adhesive so as not to be exposed in the introduction port and the communication path. The structure according to claim 1.
前記凹部が、液体を噴射するノズルに連通する複数の圧力室に共通して連通する共通液室であることを特徴とする液体噴射ヘッド。 Comprising the structure according to any one of claims 1 to 7,
The liquid ejecting head, wherein the concave portion is a common liquid chamber communicating in common with a plurality of pressure chambers communicating with a nozzle for ejecting liquid.
前記フィルム側から半抜き型で前記接着体をハーフカットするハーフカット工程と、
ハーフカットした前記接着体の前記フィルムと凹部を有する第1部材とを接着してなる構造体を形成する構造体形成工程と、
前記構造体形成工程の後、前記構造体から前記ベース部材を剥がす剥離工程と、を有することを特徴とするフィルム接着方法。 An adhesive body forming step of forming an adhesive body formed by adhering a film having a thickness of 15 μm or less and a base member;
A half-cut step of half-cutting the adhesive body with a half-cut mold from the film side;
A structure forming step of forming a structure formed by bonding the film of the half-cut adhesive body and the first member having a recess;
And a peeling step of peeling the base member from the structure after the structure forming step.
前記フィルムと前記第1部材とが紫外線硬化型接着剤を用いて固定され、
前記第1部材には、前記ベース部材の一部が剥離されずに残っていることを特徴とする請求項10記載のフィルム接着方法。 In the structure forming step,
The film and the first member are fixed using an ultraviolet curable adhesive,
The film bonding method according to claim 10, wherein a part of the base member remains on the first member without being peeled off.
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