JP2017117884A - スピントルク型マイクロ波発振器 - Google Patents
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Abstract
Description
一次および二次の一軸異方性がある場合、自由層のエネルギーEは、次の式(2)で表される。
磁化の歳差運動の一周期分のエネルギー変化に対する時間平均Wは、次の式(9)で表される。
式(6)と式(7)から下記の式(16)、式(17)を得る。
1.自由層(垂直磁化膜)
自由層を構成する材料は、強磁性材料である。強磁性材料としては、Fe、Co、Niまたはそれらの合金(例えばFeCo)が代表的である。これらにB、Si、Ti、Cr、Vなどを添加した合金FeB、FeCoB、FeCoBSi、FeCoBTi、FeCoBCr、FeCoBVなどを用いることもできる。また、CoPt、CoPd、FePt、FePdなどの合金又はそれらの合金を積層した合金、これらにB、Crなど添加した合金を用いることができる。積層した合金としては、例えば、Co/Pt(111)、Co/Pd(111)、Co/Ni(111)なども使用可能である。
自由層と固定層との間に位置する非磁性層の材料は、既に知られているが、(1)非磁性金属(GMR素子)と(2)絶縁体(TMR素子)に分けることができる。TMR素子の場合、非磁性層はトンネル障壁層とも呼ばれる。本発明の一実施形態のMR素子では、非磁性層にこれらの従来の材料を用いることができる。以下にその具体例を示す。
(1)非磁性金属の場合
例えばCu、Ag、Crなどを含む金属・合金が使用できる。非磁性層の厚さは、例えば0.3nm〜10nm程度である。特に、大きなMR比を実現するCu、Agを含む金属・合金を用いた場合、その厚さは例えば2nm〜10nm程度である。
(2)絶縁体の場合
例えばMg、Al、Si、Ca、Li等の酸化物、窒化物、ハロゲン化物等の様々な誘電体を使用することができる。特に、大きなMR比と小さな面抵抗を両立するMgO(酸化マグネシウム)を使うことが好ましい。酸化物、窒化物を非磁性層に用いる場合は、その酸化物、窒化物の中に酸素、窒素欠損が多少存在していてもかまわない。非磁性層の厚さは、例えば0.3nm〜2nm程度である。
固定層は面内方向に容易磁化軸を持つ面内磁化膜である。固定層も強磁性材料で構成される。そのような材料の例を次に示す。Fe、Co、Niなどの鉄系又は鉄系合金(例えばFeCo)が代表的な材料である。これらにB、Si、Ti、Cr、Vなどを添加した合金(例えば、FeB、FeCoB、FeCoBSi、FeCoBTi、FeCoBCr、FeCoBVなど)を用いることもできる。
所望のスピン分極率Pを得るための方法について述べる。スピン分極率Pは上記した各層の組成や成膜方法、自由層、非磁性層、固定層の組み合わせで変化させることができる。例えば、分極率PはFeでは0.40〜0.48、Coでは0.35付近、Niでは0.23付近であり、合金では例えばFeCoでは0.5〜0.6、Co2FeAlでは0.56付近である。しかし、これらの値は層の成膜条件や測定方法によって多少前後する。
上述した各層は、非常に薄いので基板の上に真空薄膜形成技術によって作製できる。そのような技術としては、例えば、スパッタリング法、蒸着法、MBE法、ALE法、CVD法等の従来からある技術を適宜選択的に用いることができる。
Ms=1.448MA/m、減衰定数α=0.005、P=0.5
Ku1=1346.5kJ/m3、
Ku2=2.76kJ/m3 (κ1 eff=0.022、κ2=0.0021に相当)、
(κ1 eff=(Ku1/Ed)−1、κ2=Ku2/Ed)
この場合、κ1 effおよびκ2から式(1)の左辺の値は0.095となり、P=0.5から式(1)の右辺の値は0.025となるので、式(1)の条件を満たす。
Ms=1.19MA/m、減衰定数α=0.013、P=0.5、
Ku1=1020.7kJ/m3、
Ku2=12.8kJ/m3 (κ1 eff=0.147、κ2=0.0144に相当)、
(κ1 eff=(Ku1/Ed)−1、κ2=Ku2/Ed)
この場合、κ1 effおよびκ2から式(1)の左辺の値は0.098となり、P=0.5から式(1)の右辺の値は0.025となるので、式(1)の条件を満たす。
2:非磁性層
3:固定層
Claims (3)
- 前記磁気抵抗素子の形状が円形である、請求項1に記載のマイクロ波発振器。
- 前記スピン分極率Pが0.1〜1であって、前記式(1)の左辺の値が0.000037以上である、請求項1又は2に記載のマイクロ波発振器。
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