JP2017116903A5

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Publication number: JP2017116903A5
Application number: JP2016013147A
Authority: JP
Filing date: 2016-01-27
Publication date: 2017-08-31
Anticipated expiration: 2036-01-27

Claims

複数の製品領域と、それぞれの前記製品領域を囲んで格子状となる第１格子領域とを有するガラス基板を用意する工程と、
少なくとも前記第１格子領域に、前記ガラス基板よりも硬質の保護膜を形成する工程と、
前記保護膜を覆って、前記複数の製品領域及び前記第１格子領域に重複するように、前記ガラス基板の上に連続的に樹脂層を形成する工程と、
前記複数の製品領域とは重複せず且つ前記第１格子領域と重複して、それぞれの前記製品領域を囲む第２格子領域で、ブラスト加工によって前記樹脂層の一部を除去する工程と、
前記樹脂層の上に、画素回路を備える複数の画素と、前記画素回路を駆動する駆動部と、を含む回路層を形成する工程と、
前記複数の製品領域をそれぞれ分離するように、前記樹脂層の前記一部が除去された前記第２格子領域を通るラインで、前記ガラス基板を切断する工程と、
前記ガラス基板を前記樹脂層から剥離する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１に記載された表示装置の製造方法において、
前記ガラス基板を切断する工程で、前記保護膜も切断することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１又は２に記載された表示装置の製造方法において、
前記ガラス基板を前記樹脂層から剥離する工程で、前記保護膜を前記樹脂層から剥離することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項３に記載された表示装置の製造方法において、
前記ガラス基板を前記樹脂層から剥離する工程で、前記ガラス基板及び前記保護膜を通して前記樹脂層にレーザー光を照射し、前記樹脂層の、前記ガラス基板及び前記保護膜に対向する表面にレーザーアブレーションを生じさせることを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１又は２に記載された表示装置の製造方法において、
前記ガラス基板を前記樹脂層から剥離する工程で、前記ガラス基板を前記保護膜から剥離し、前記保護膜は前記樹脂層から剥離されないことを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項５に記載された表示装置の製造方法において、
前記ガラス基板を前記樹脂層から剥離する工程で、前記ガラス基板を通して前記保護膜及び前記樹脂層にレーザー光を照射し、前記保護膜及び前記樹脂層の、前記ガラス基板に対向する表面にレーザーアブレーションを生じさせることを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１から６のいずれか１項に記載された表示装置の製造方法において、
前記保護膜を形成する工程で、前記保護膜を、前記複数の製品領域及び前記第１格子領域を連続的に覆うように形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１から６のいずれか１項に記載された表示装置の製造方法において、
前記保護膜を形成する工程で、前記保護膜を、前記複数の画素が位置する表示領域の外周を囲むシール材との重複を避けて形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項８に記載された表示装置の製造方法において、
前記樹脂層を形成する工程で、前記樹脂層の前記保護膜と重複する領域に、前記ガラス基板とは反対の方向に突出する凸部を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項９に記載された表示装置の製造方法において、
前記ガラス基板を切断する工程及び前記ガラス基板を剥離する工程の前に、
対向樹脂層が形成された対向ガラス基板を用意する工程と、
前記対向ガラス基板を、充填材及び前記充填材を囲む前記シール材を介して、前記ガラス基板と貼り合わせる工程と、
をさらに含み、
前記対向ガラス基板を貼り合わせる工程で、前記シール材を、前記凸部に囲まれた領域の内側に配置し、
前記ガラス基板を切断する工程で、前記複数の製品領域に対応して分離するように、前記対向ガラス基板を切断し、
前記対向ガラス基板を前記対向樹脂層から剥離する工程をさらに有することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１０に記載された表示装置の製造方法において、
前記対向ガラス基板は、複数の対向製品領域と、それぞれの前記対向製品領域を囲んで格子状となる第１対向格子領域を有し、
前記対向ガラス基板を用意する工程は、
少なくとも前記第１対向格子領域に、前記対向ガラス基板よりも硬質の対向保護膜を形成する工程と、
前記対向保護膜を覆うように、前記複数の対向製品領域及び前記第１対向格子領域に、連続的に前記対向樹脂層を形成する工程と、
前記複数の対向製品領域とは重複せず且つ前記第１対向格子領域と重複して、それぞれの前記対向製品領域を囲む第２対向格子領域で、ブラスト加工によって前記対向樹脂層の一部を除去する工程と、
を含むことを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１１に記載された表示装置の製造方法において、
前記対向樹脂層を形成する工程で、前記対向樹脂層の前記対向保護膜と重複する領域に、前記対向ガラス基板とは反対の方向に突出する凸部を形成することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１２に記載された表示装置の製造方法において、
前記対向ガラス基板を貼り合わせる工程で、前記シール材を、前記対向ガラス基板の凸部に囲まれた領域の内側に配置することを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１から請求項１３の何れか１項に記載された表示装置の製造方法において、
前記回路層は、下地膜と、前記下地膜の上に位置する薄膜トランジスタとを有し、
前記回路層を形成する工程は、前記下地膜を前記樹脂層の上面と側面とに形成する工程を含み、
前記第１格子領域において、前記樹脂層の前記上面と前記側面と下面とは、前記下地膜と前記保護膜とによって囲われていることを特徴とする表示装置の製造方法。
請求項１から請求項１４の何れか１項に記載された表示装置の製造方法において、
前記保護膜は、ダイアモンドライクカーボン、アルミナ、ＳｉＣの何れかで形成されることを特徴とする表示装置の製造方法。