JP2017100170A5 - デブリ回収機構、レーザ加工装置及び物品の製造方法 - Google Patents

Description

本発明は、レーザ光の照射により生じたデブリを回収するデブリ回収機構、デブリ回収機構を備えたレーザ加工装置、及び物品の製造方法に関する。

Claims (14)

1. ワークの表面と、前記ワークの表面にレーザ光を照射して前記ワークを加工するレーザ加工部との間に配置されるダクトと、
   前記ダクトの側部に配置され、送風機から送風された気体を前記ダクトの内部に噴出する噴出部材と、を有し、
   前記ダクトには、
   前記レーザ加工部に対向する天部に、前記レーザ光が通過する第１開口部と、
   前記ワークの表面に対向する底部に、前記レーザ光が通過する第２開口部と、
   前記側部において、前記噴出部材に対し、前記第２開口部における前記レーザ光が通過する領域よりも遠い部分に、集塵機に接続され、前記集塵機に吸引される前記ダクトの内部の気体及びデブリが通過する吸引口と、
   前記側部において前記噴出部材に対して前記天部に近い側の部分に第３開口部と、が形成されているデブリ回収機構。
2. 前記噴出部材は、前記側部において前記天部から前記底部に向かう方向の中央よりも前記底部に近い側に配置されている請求項１に記載のデブリ回収機構。
3. 前記底部と前記ワークの表面とが非接触となるように前記ダクトが配置されている請求項１又は２に記載のデブリ回収機構。
4. 前記第２開口部は、前記底部において、前記レーザ光が通過する領域から前記噴出部材に向かって開口するように形成されている請求項１乃至３のいずれか１項に記載のデブリ回収機構。
5. 前記第２開口部は、前記底部において、更に、前記レーザ光が通過する領域から前記吸引口に向かって開口するように形成されている請求項４に記載のデブリ回収機構。
6. 前記第３開口部に配置され、通気量を調整する調整部材を更に備えた請求項４又は５に記載のデブリ回収機構。
7. 前記噴出部材には、前記天部から前記底部に向かう方向に多段配置された複数のノズル口が形成されている請求項１乃至６のいずれか１項に記載のデブリ回収機構。
8. 前記複数のノズル口は、前記天部から前記底部に向かう方向に見て、前記レーザ光が通過する領域に向かってガスを噴き出す第１ノズル口と、前記レーザ光が通過する領域の側方の領域に向かってガスを噴き出す第２ノズル口とを含む請求項７に記載のデブリ回収機構。
9. 前記第２ノズル口は、前記複数のノズル口のうち前記底部に最も近い段に位置する請求項８に記載のデブリ回収機構。
10. 前記複数のノズル口のうち前記底部に最も近い段に位置するノズル口は、前記底部に向かってガスを噴き出すよう傾斜して形成されている請求項７乃至９のいずれか１項に記載のデブリ回収機構。
11. 前記側部において前記第３開口部に対して前記天部に近い側の部分に配置され、送風機から送風された気体を前記ダクトの内部に噴出する補助噴出部材を更に備えた請求項１乃至１０のいずれか１項に記載のデブリ回収機構。
12. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のデブリ回収機構と、
    レーザ光を前記ワークの表面に照射して、前記ワークを加工するレーザ加工部と、を備えたレーザ加工装置。
13. 前記ワークの周囲に配置され、前記ワークの表面と同じ高さの板部材を更に備えた請求項１２に記載のレーザ加工装置。
14. 請求項１乃至１１のいずれか１項に記載のデブリ回収機構によりデブリを回収しながら前記ワークを加工することにより物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。