JP2017100102A - 圧力チャンバの締結構造 - Google Patents
圧力チャンバの締結構造 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2017100102A JP2017100102A JP2015237069A JP2015237069A JP2017100102A JP 2017100102 A JP2017100102 A JP 2017100102A JP 2015237069 A JP2015237069 A JP 2015237069A JP 2015237069 A JP2015237069 A JP 2015237069A JP 2017100102 A JP2017100102 A JP 2017100102A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- lid
- fastening structure
- screw
- pressure chamber
- hole
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims abstract description 7
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 6
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 6
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 6
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 5
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 5
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 20
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 14
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 10
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 10
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 9
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 9
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 8
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 6
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000036961 partial effect Effects 0.000 description 5
- 230000002829 reductive effect Effects 0.000 description 5
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000008602 contraction Effects 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 1,1-difluoroethane Chemical compound CC(F)F NPNPZTNLOVBDOC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007743 anodising Methods 0.000 description 1
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 1
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 1
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 1
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 1
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 238000010079 rubber tapping Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 239000007779 soft material Substances 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Plasma Technology (AREA)
Abstract
【解決手段】圧力チャンバCの締結構造1であって、内周側に圧力空間を形成する筒部材T1、T2と、筒部材T1、T2の一方の端面に配置される蓋部材F1、F2、F3と、雄ねじ体O及び雄ねじ体Oと螺合する雌ねじ体Mと、を備えるようにする。筒部材T1、T2は筒側貫通孔H1、H2を有し、上記蓋部材は蓋側貫通孔K1、K2、K3を有し、雄ねじ体の軸部10が蓋側貫通孔K1、K2、K3及び上記筒側貫通孔H1、H2に挿入された状態で雌ねじ体Mと螺合することで、少なくとも蓋部材F1、F2、F3及び該筒部材T1、T2を締結するねじ締結構造を成すようにした。
【選択図】図1
Description
10 軸部
20 頭部
30 シール部
40 係合機構
50 逆回転防止機構
60 逆回転防止機構
64 突出部
A1 第一圧力空間
A2 第二圧力空間
C 圧力チャンバ
F1 第一蓋部材
F2 第二蓋部材
F3 第三蓋部材
H1 第一筒側貫通孔
K1 第一蓋側貫通孔
K2 第二蓋側貫通孔
M 雌ねじ体
N 締結構造
O 雄ねじ体
T1 第一筒部材
T2 第二筒部材
T2 第二筒部材
Claims (17)
- 圧力チャンバの締結構造であって、
内周側に圧力空間を形成する筒部材と、
上記筒部材の一方の端面に配置される蓋部材と、
雄ねじ体及び該雄ねじ体と螺合する雌ねじ体と、
を備え、
上記筒部材は、該筒部材に形成されて軸方向に延びる筒側貫通孔を有し、
上記蓋部材は、該蓋部材に形成される蓋側貫通孔を有し、
上記雄ねじ体の軸部が上記蓋側貫通孔及び上記筒側貫通孔に挿入された状態で前記雌ねじ体と螺合することで、少なくとも該蓋部材及び該筒部材を締結する、ねじ締結構造を成すことを特徴とする圧力チャンバの締結構造。 - 前記雄ねじ体の頭部が前記圧力チャンバの前記圧力空間の内部側に配置され、前記雌ねじ体が、上記圧力空間の外部側に配置されることを特徴とする、
請求項1に記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記筒側貫通孔の端部近傍には、前記ねじ締結構造のねじ側座部と当接する筒側座部が前記筒部材と一体的及び/又は別体的に設けられ、
上記筒側座部は、錐状又は部分球状の筒側テーパ面を有することを特徴とする、
請求項1又は2の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記筒側貫通孔の端部近傍には、前記ねじ締結構造のねじ側座部と当接する筒側座部が前記筒部材と一体的及び/又は別体的に設けられ、
上記筒側座部と上記ねじ側座部の間に、環状のシール部が形成されることを特徴とする、
請求項1乃至3の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記蓋側貫通孔の端部近傍には、前記ねじ締結構造のねじ側座部と当接する蓋側座部が前記蓋部材と一体的及び/又は別体的に設けられ、
上記蓋側座部は、錐状又は部分球状の蓋側テーパ面を有することを特徴とする、
請求項1乃至4の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記蓋側貫通孔の端部近傍には、前記ねじ締結構造のねじ側座部と当接する蓋側座部が前記蓋部材と一体的及び/又は別体的に設けられ、
上記蓋側座部と上記ねじ側座部の間に、環状のシール部が形成されることを特徴とする、
請求項1乃至5の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記筒部材の他方の端面に配置される第二蓋部材と、
上記第二蓋部材に形成される第二蓋側貫通孔と、を備え、
前記ねじ締結構造の前記軸部が、前記蓋側貫通孔、前記筒側貫通孔及び上記第二蓋側貫通孔に挿入されて、前記蓋部材、前記筒部材及び該第二蓋部材を締結することを特徴とする、
請求項1乃至7の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記第二蓋側貫通孔の端部近傍には、前記ねじ締結構造のねじ側座部と当接する第二蓋側座部が前記第二蓋部材と一体的及び/又は別体的に設けられ、
上記第二蓋側座部は、錐状又は部分球状の第二蓋側テーパ面を有することを特徴とする、
請求項7に記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記第二蓋側貫通孔の端部近傍には、前記ねじ締結構造のねじ側座部と当接する第二蓋側座部が前記第二蓋部材と一体的及び/又は別体的に設けられ、
上記第二蓋側座部と上記ねじ側座部の間に、環状のシール部が形成されることを特徴とする、
請求項7又は8に記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記筒部材の他方の端面に配置される第二蓋部材と、
上記第二蓋部材に形成される第二蓋側貫通孔と、
前記蓋側貫通孔と前記筒側貫通孔を利用して、前記第一蓋部材と上記筒部材を締結する第一の前記ねじ締結構造と、
上記第二蓋側貫通孔と前記筒側貫通孔を利用して、前記第二蓋部材と上記筒部材を締結する第二の前記ねじ締結構造と、を備え、
上記第一のねじ締結構造と上記第二のねじ締結構造とが、前記筒部材の周方向における位相がずれて設けられることを特徴とする、
請求項1乃至9の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記雄ねじ体の頭部、又は、前記雌ねじ体が、前記筒部材及び/又は前記蓋部材に凹設される筒側座部及び/又は蓋側座部に、予め、回転不能に配設されることを特徴とする、
請求項1乃至10の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記シール部材は、ポリテトラフルオロエチレン樹脂であることを特徴とする、
請求項4、6、9の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記ねじ締結構造のねじ側座部は、錐状又は部分球状のねじ側テーパ面を有することを特徴とする、
請求項1乃至12の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記雄ねじ体及び/又は前記雌ねじ体のねじ側座部には、皿ばね型ワッシャが介在されることを特徴とする、
請求項1乃至13の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記雌ねじ体は、キャップナットであることを特徴とする、
請求項1乃至14の何れかに記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記キャップナットの座部には、環状を成す該キャップナットの座部に沿って、環状を成すシール部が設けられることを特徴とする、
請求項15に記載の圧力チャンバの締結構造。 - 前記キャップナットの座部には、環状を成す該キャップナットの座部に沿って、該座面に凹設される環状溝を有し、該環状溝にはシール部が設けられることを特徴とする、
請求項15に記載の圧力チャンバの締結構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015237069A JP6606704B2 (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 圧力チャンバの締結構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015237069A JP6606704B2 (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 圧力チャンバの締結構造 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2017100102A true JP2017100102A (ja) | 2017-06-08 |
JP6606704B2 JP6606704B2 (ja) | 2019-11-20 |
Family
ID=59017194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015237069A Active JP6606704B2 (ja) | 2015-12-04 | 2015-12-04 | 圧力チャンバの締結構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6606704B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200078912A (ko) * | 2018-12-24 | 2020-07-02 | 주식회사 동화엔텍 | 밀폐성능이 향상된 초저온용 맨홀 |
CN113771904A (zh) * | 2021-09-18 | 2021-12-10 | 株洲时代瑞唯减振装备有限公司 | 橡胶止挡上耐磨板的连接方法 |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4920627Y1 (ja) * | 1969-12-17 | 1974-06-03 | ||
JPS5620645U (ja) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | ||
JPS6017494U (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-06 | 三菱重工業株式会社 | プラズマの磁気閉じ込め用真空容器 |
JP2002220673A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空処理装置 |
JP2006336809A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Majima Seisakusho:Kk | 皿ボルトによる締結構造及びこの締結構造に用いる緩止めテーパリング、並びにテーパナットによる締結構造及びこの締結構造に用いる緩止めテーパリング |
JP2007266576A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-10-11 | Applied Materials Inc | 分離されたチャンバ本体 |
JP2008055394A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Joyo Kogaku Kk | オートクレーブ装置 |
JP2011176361A (ja) * | 2000-02-24 | 2011-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 平行平板型ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 |
WO2012102401A1 (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-02 | Next Innovation合同会社 | 雌ねじ構造 |
JP2014105862A (ja) * | 2013-08-01 | 2014-06-09 | Next Innovation合同会社 | ねじ体の逆回転防止構造 |
CN203877124U (zh) * | 2014-05-05 | 2014-10-15 | 杭州钢铁集团公司 | 一种带补漏装置的容器 |
JP2014214761A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-11-17 | 裕 道脇 | 締結保持部材及び締結保持構造 |
JP2015048875A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | Next Innovation合同会社 | ねじ体の逆回転防止構造 |
-
2015
- 2015-12-04 JP JP2015237069A patent/JP6606704B2/ja active Active
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS4920627Y1 (ja) * | 1969-12-17 | 1974-06-03 | ||
JPS5620645U (ja) * | 1979-07-27 | 1981-02-24 | ||
JPS6017494U (ja) * | 1983-07-15 | 1985-02-06 | 三菱重工業株式会社 | プラズマの磁気閉じ込め用真空容器 |
JP2011176361A (ja) * | 2000-02-24 | 2011-09-08 | Tokyo Electron Ltd | 平行平板型ドライエッチング装置及びドライエッチング方法 |
JP2002220673A (ja) * | 2001-01-25 | 2002-08-09 | Mitsubishi Heavy Ind Ltd | 真空処理装置 |
JP2006336809A (ja) * | 2005-06-03 | 2006-12-14 | Majima Seisakusho:Kk | 皿ボルトによる締結構造及びこの締結構造に用いる緩止めテーパリング、並びにテーパナットによる締結構造及びこの締結構造に用いる緩止めテーパリング |
JP2007266576A (ja) * | 2006-01-13 | 2007-10-11 | Applied Materials Inc | 分離されたチャンバ本体 |
JP2008055394A (ja) * | 2006-09-04 | 2008-03-13 | Joyo Kogaku Kk | オートクレーブ装置 |
WO2012102401A1 (ja) * | 2011-01-28 | 2012-08-02 | Next Innovation合同会社 | 雌ねじ構造 |
JP2014214761A (ja) * | 2013-04-23 | 2014-11-17 | 裕 道脇 | 締結保持部材及び締結保持構造 |
JP2014105862A (ja) * | 2013-08-01 | 2014-06-09 | Next Innovation合同会社 | ねじ体の逆回転防止構造 |
JP2015048875A (ja) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | Next Innovation合同会社 | ねじ体の逆回転防止構造 |
CN203877124U (zh) * | 2014-05-05 | 2014-10-15 | 杭州钢铁集团公司 | 一种带补漏装置的容器 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20200078912A (ko) * | 2018-12-24 | 2020-07-02 | 주식회사 동화엔텍 | 밀폐성능이 향상된 초저온용 맨홀 |
KR102147648B1 (ko) * | 2018-12-24 | 2020-08-25 | 주식회사 동화엔텍 | 밀폐성능이 향상된 초저온용 맨홀 |
CN113771904A (zh) * | 2021-09-18 | 2021-12-10 | 株洲时代瑞唯减振装备有限公司 | 橡胶止挡上耐磨板的连接方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6606704B2 (ja) | 2019-11-20 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7624991B2 (en) | Seal ring and method | |
JP4928681B2 (ja) | メタルパッキン | |
US20060157975A1 (en) | Double-pipe joint | |
JP5514125B2 (ja) | 動的封止 | |
JP4942332B2 (ja) | 継手構造 | |
KR20170007437A (ko) | 밀봉장치 | |
WO2011111488A1 (ja) | 流体圧シリンダ | |
JP5586023B2 (ja) | バタフライ弁およびシートリング | |
JP6606704B2 (ja) | 圧力チャンバの締結構造 | |
KR20180071345A (ko) | 경사면을 가지는 커플링 시일 | |
US20160334040A1 (en) | Backlash-free plug-in connection for pipe lines and hose lines | |
KR200393425Y1 (ko) | 냉각파이프 마개 | |
US10234035B2 (en) | Seal structure of regulating valve gland portion | |
US10393167B2 (en) | Self-locking plug assembly | |
US11306850B2 (en) | Connecting device for corrugated pipe and coupling method thereof | |
JP2007024307A (ja) | マニホールドブロック及びそれを用いたバルブユニット | |
CN206190716U (zh) | 防松垫圈组件 | |
JP5830290B2 (ja) | ガスケット及び管継手 | |
JP2006194291A (ja) | 緩止座金、締結構造及び締結方法 | |
KR20100002034A (ko) | 개스킷 및 이를 사용하는 파이프 조인트 | |
JP2007205531A (ja) | クーラントバルブ | |
JP2008045598A (ja) | 管継手 | |
WO2015174142A1 (ja) | ガスケット及び管継手 | |
JP2019219029A (ja) | 継手及び継手の施工方法 | |
JP7335667B1 (ja) | 締結具、雄ねじ側部材、雌ねじ側部材 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20180322 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20181113 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20190212 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20190408 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20190917 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20190926 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6606704 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313114 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |