JP2017073771A5 - - Google Patents

Description

第１の発明によって提供される高周波整合システムは、
負荷に対して高周波電力を供給する高周波電力供給手段と前記高周波電力供給手段から前記負荷側を見たインピーダンスを調整するインピーダンス調整手段とを含む高周波整合システムであって、
前記インピーダンス調整手段の内部に設けた可変電気特性素子の電気特性情報と前記高周波電力供給手段の出力周波数情報とを組み合わせた情報を組み合わせ情報とし、前記電気特性情報と前記出力周波数情報とが取り得る全ての組み合わせを対象とした場合に、対象となる組み合わせを実現させたときの前記インピーダンス調整手段全体の伝送特性を示す特性パラメータを、組み合わせ情報と関連付けて記憶した特性パラメータ記憶手段と、
前記高周波電力供給手段から前記負荷側に進行する進行波電圧及び前記負荷側から反射してくる反射波電圧を取得可能な情報を高周波情報としたときに、前記高周波電力供給手段の出力端又は前記インピーダンス調整手段の入力端における高周波情報を検出する高周波情報検出手段と、
前記可変電気特性素子の現時点の電気特性情報を検出する可変素子情報検出手段と、
前記現時点の電気特性情報と現時点の出力周波数情報との組み合わせに対応する特性パラメータを、前記特性パラメータ記憶手段に記憶された特性パラメータの中から探索することによって取得する特性パラメータ取得手段と、
前記高周波情報検出手段によって検出された高周波情報と前記特性パラメータ取得手段によって取得された特性パラメータとに基づいて、前記インピーダンス調整手段の現時点の出力端における反射係数を演算する現時点の出力反射係数演算手段と、
前記インピーダンス調整手段の入力端における反射係数が予め設定された目標入力反射係数であると仮想した場合に、前記特性パラメータ記憶手段に記憶された全て又は一部の特性パラメータの夫々に対応する前記インピーダンス調整手段の仮想の出力端における反射係数を演算すると共に、演算した前記インピーダンス調整手段の複数の仮想の出力端における反射係数と当該反射係数の夫々に対応する組み合わせ情報とを関連付けて出力する仮想の出力反射係数演算手段と、
前記仮想の出力反射係数演算手段で演算された複数の仮想の出力端における反射係数と当該反射係数の夫々に対応する組み合わせ情報とを関連付けて記憶する仮想の出力反射係数記憶手段と、
前記仮想の出力反射係数記憶手段に記憶された複数の仮想の出力端における反射係数のうちで、前記現時点の出力端における反射係数に一番近似する仮想の出力端における反射係数を探索する近似反射係数探索手段と、
前記近似反射係数探索手段で探索した仮想の出力端における反射係数に関連付けられた電気特性情報を目標電気特性情報として設定し、前記可変電気特性素子の電気特性が、前記目標電気特性情報が示す電気特性に調整されるように指令信号を出力する目標電気特性設定手段と、
前記近似反射係数探索手段で探索した仮想の出力端における反射係数に関連付けられた出力周波数情報を目標出力周波数情報として設定し、前記高周波電力供給手段の出力周波数が、目標出力周波数情報が示す周波数に調整されるように指令信号を前記高周波電力供給手段に向けて出力する目標出力周波数設定手段と、
前記目標電気特性設定手段から出力された指令信号に基づいて可変電気特性素子の電気特性を調整する可変電気特性素子調整手段と、
を備えたことを特徴としている。

Claims (1)

1. 負荷に対して高周波電力を供給する高周波電力供給手段と前記高周波電力供給手段から前記負荷側を見たインピーダンスを調整するインピーダンス調整手段とを含む高周波整合システムであって、
   前記インピーダンス調整手段の内部に設けた可変電気特性素子の電気特性情報と前記高周波電力供給手段の出力周波数情報とを組み合わせた情報を組み合わせ情報とし、前記電気特性情報と前記出力周波数情報とが取り得る全ての組み合わせを対象とした場合に、対象となる組み合わせを実現させたときの前記インピーダンス調整手段全体の伝送特性を示す特性パラメータを、組み合わせ情報と関連付けて記憶した特性パラメータ記憶手段と、
   前記高周波電力供給手段から前記負荷側に進行する進行波電圧及び前記負荷側から反射してくる反射波電圧を取得可能な情報を高周波情報としたときに、前記高周波電力供給手段の出力端又は前記インピーダンス調整手段の入力端における高周波情報を検出する高周波情報検出手段と、
   前記可変電気特性素子の現時点の電気特性情報を検出する可変素子情報検出手段と、
   前記現時点の電気特性情報と現時点の出力周波数情報との組み合わせに対応する特性パラメータを、前記特性パラメータ記憶手段に記憶された特性パラメータの中から探索することによって取得する特性パラメータ取得手段と、
   前記高周波情報検出手段によって検出された高周波情報と前記特性パラメータ取得手段によって取得された特性パラメータとに基づいて、前記インピーダンス調整手段の現時点の出力端における反射係数を演算する現時点の出力反射係数演算手段と、
   前記インピーダンス調整手段の入力端における反射係数が予め設定された目標入力反射係数であると仮想した場合に、前記特性パラメータ記憶手段に記憶された全て又は一部の特性パラメータの夫々に対応する前記インピーダンス調整手段の仮想の出力端における反射係数を演算すると共に、演算した前記インピーダンス調整手段の複数の仮想の出力端における反射係数と当該反射係数の夫々に対応する組み合わせ情報とを関連付けて出力する仮想の出力反射係数演算手段と、
   前記仮想の出力反射係数演算手段で演算された複数の仮想の出力端における反射係数と当該反射係数の夫々に対応する組み合わせ情報とを関連付けて記憶する仮想の出力反射係数記憶手段と、
   前記仮想の出力反射係数記憶手段に記憶された複数の仮想の出力端における反射係数のうちで、前記現時点の出力端における反射係数に一番近似する仮想の出力端における反射係数を探索する近似反射係数探索手段と、
   前記近似反射係数探索手段で探索した仮想の出力端における反射係数に関連付けられた電気特性情報を目標電気特性情報として設定し、前記可変電気特性素子の電気特性が、前記目標電気特性情報が示す電気特性に調整されるように指令信号を出力する目標電気特性設定手段と、
   前記近似反射係数探索手段で探索した仮想の出力端における反射係数に関連付けられた出力周波数情報を目標出力周波数情報として設定し、前記高周波電力供給手段の出力周波数が、目標出力周波数情報が示す周波数に調整されるように指令信号を前記高周波電力供給手段に向けて出力する目標出力周波数設定手段と、
   前記目標電気特性設定手段から出力された指令信号に基づいて可変電気特性素子の電気特性を調整する可変電気特性素子調整手段と、
   を備えたことを特徴とする高周波整合システム。