JP2017009404A - 慣性力センサ - Google Patents
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Abstract
【課題】本発明は、小型化で高精度な慣性力センサを提供することを目的とする。
【解決手段】支持部と、前記支持部に接続するアーム部と、前記アーム部に接続する錘部と、前記錘部を駆動振動する駆動部と、前記検出素子に働く慣性力を検出する検出部と、を備える。そして、前記支持部に設けられ、前記駆動部に電気的に接続する第1の電極と、前記支持部に設けられ、前記検出部に電気的に接続する第2の電極と、前記支持部に設けられ、基準電気に接続する第3の電極と、を有する。ここで、前記第3の電極は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置される検出素子を有する構成とした。
【選択図】図1
【解決手段】支持部と、前記支持部に接続するアーム部と、前記アーム部に接続する錘部と、前記錘部を駆動振動する駆動部と、前記検出素子に働く慣性力を検出する検出部と、を備える。そして、前記支持部に設けられ、前記駆動部に電気的に接続する第1の電極と、前記支持部に設けられ、前記検出部に電気的に接続する第2の電極と、前記支持部に設けられ、基準電気に接続する第3の電極と、を有する。ここで、前記第3の電極は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置される検出素子を有する構成とした。
【選択図】図1
Description
本発明は、電子機器などに振動子を用いた慣性力センサに関する。
従来、錘部と、この錘部を駆動振動する駆動部と、慣性力を検出する検出部と、を備える検出素子を用いて慣性力を検出するセンサが知られている。
なお、この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、例えば、特許文献1が知られている。
従来は、駆動部、検出部から電気信号を引き出す電極の数が多いために小型化が困難であるという課題を有していた。
そこで本発明の検出素子は、支持部と、前記支持部に接続するアーム部と、前記アーム部に接続する錘部と、前記錘部を駆動振動する駆動部と、前記検出素子に働く慣性力を検出する検出部と、前記支持部に設けられ、前記駆動部に電気的に接続する第1の電極と、前記支持部に設けられ、前記検出部に電気的に接続する第2の電極と、前記支持部に設けられ、基準電気に接続する第3の電極と、を有する。ここで、前記第3の電極は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置される検出素子を有する構成とした。
本発明によれば、小型な慣性力センサを提供することができる。
以下、本発明の一実施の形態における慣性力センサについて図を用いて説明する。なお、各図面において、同一部分に対する符号の付与を省略し、その説明を適宜省略することがある。また、各図面は好ましい形態の一例を示すものであり、それぞれの構成・状・数値に限定されるわけではない。また、実施の形態中で説明する各要素技術を矛盾 の無い範囲で適宜組み合わせることは可能である。
図1は、慣性力の一種である角速度を検出するための検出素子2を示した斜視図、図2は、検出素子2の上面図、図3は、図1の破線部を拡大した図である。
検出素子2は、第1の基板2aと、第2の基板2bと、第3の基板2cと、積層した構造である。
第1の基板2aは、単結晶のシリコン基板を用いている。単結晶シリコン基板は、加工が容易であるだけでなく、表面が平滑で、しかも平面度を得やすいので、他の基板との接合が実施しやすいという特徴を有している。しかしながら、本発明はこれに必ずしも限定されることはない。例えば、水晶や酸化マグネシウム単結晶基板などの単結晶基板、ガラス基板や石英基板等の非晶質基板、またはアルミナやジルコニウム等のセラミック基板等を用いても良い。
第2の基板2bは、第1の基板2aと同じシリコン基板を用いている。これは第1の基板2aや第3の基板2cとの接合が精度良く実施できるためであるが、他の単結晶基板やガラス基板等を用いても良い。
更に第1の基板2aと第2の基板2bとは互いに同じ基板で形成されていてもよい。具体的には第1の基板2aを加工し、必要な部分に凹凸形状を設けることにより、第1の基板2aと第2の基板2bとの二つの機能を一つの基板で実現することが可能となる。
第3の基板2cも、単結晶のシリコン基板を用いて形成されている。これは、単結晶シリコン基板は加工精度が高く、角速度センサの振動子となる構造体を精度良く形成できるためである。しかしながら、本発明はこれに必ずしも限定されることはなく、シリコン以外の単結晶基板やガラス基板や石英基板等の非晶質基板、またはアルミナやジルコニウム等のセラミック基板等を用いても良い。なお、第1の基板2aと第2の基板2bとは異なる材料を用いて形成してもよいし、一つの部材で構成してもよい。
なお、SOI基板を用いて検出素子2を構成することもできる。この場合、第1の基板2aがシリコン、第2の基板2bが埋め込み酸化膜(シリコン酸化膜)、第3の基板2cがシリコン、からそれぞれ構成される。
更に、SOI基板において、予め第1の基板2aおよび第2の基板2bが加工されている基板を用いて検出素子2を構成することもできる。
第3の基板2cは、支持部6と、アーム部8と、駆動部10と、検出部11と、モニタ部(図示せず)と、周縁部16a、周縁部16bと、を有する。
支持部6は、第3の基板2cの中央に設けられた矩形状の部分である。支持部6において、第3の基板2cと第2の基板2bとが接続される。
支持部6は、上面視で第3の基板2cの中央に設けられる。
また、支持部6は、駆動部10に接続される第1の電極18a、検出部11に接続される第2の電極18b、モニタ部に接続される第3の電極18c、基準電位を供給する第4の電極18d、を有する。図2では、一例として、第1の電極18a、第2の電極18b、第3の電極18c、はそれぞれが支持部6に2つ設けられ、第4の電極18dは支持部6に1つ設ける場合を図示している。
アーム部8は、第1の部分8a、第2の部分8b、第3の部分8c、第4の部分8d、第5の部分8e、第6の部分8f、第7の部分8g、を有する。
別の表現では、アーム部8は、支持部6を中心としてY軸方向に伸びる一対の梁と、この梁の先端に接続された一対のアーム部8と、このアーム部8の先端部分に設けられた錘部9とから構成されている。
第1の部分8aは支持部6からY軸方向に延びる。第2の部分8bは第1の部分8aからX軸方向に延びる。第3の部分8cは第2の部分8bからY軸方向に延びる。第4の部分8dは第3の部分8cからX軸方向に延びる。第5の部分8eは第4の部分8dからY軸方向に延びる。第6の部分8fは第5の部分8eからX軸方向に延びる。第7の部分8gは第6の部分8fからY軸方向に延びる。
また、以上の第1の部分8aから第6の部分8fからなる構造体を第1の構造としたとき、第3の基板2cは、図3中のL1に対して第1の構造に対称な第2の構造と、図3中のL2に対して第1の構造に対称な第3の構造と、図3中のL1に対して第2の構造に対称な第4の構造と、を有する。ここで、L1は、支持部6の中心を通り、X軸に平行な仮想線である。L2は、支持6部の中心を通り、Y軸に平行な仮想線である。
別の表現では、アーム部8は、XY平面内で折れ曲がる複数の屈曲部を有し、支持部6を取り囲む環状の構造を有する。ここで、「屈曲部」とは、第1の部分8aと第2の部分8bとが接続される部分、第2の部分8bと第3の部分8cとが接続される部分、第3の部分8cと第4の部分8dとが接続される部分、第4の部分8dと第5の部分8eとが接続される部分、第5の部分8eと第6の部分8fとが接続される部分、第6の部分8fと第7の部分8gとが接続される部分、である。
なお、アーム部8は、第1の部分8aから第7の部分8gまでの全てを有する必要はない。例えば、第3の部分8cから第5の部分8eを有さずに構成することもできる。
なお、アーム部8は、第1の部分8aから第7の部分8gに加えて、更に多くの部分を有して構成することもできる。
図4は、図2の一部を拡大した図である。
周縁部16a(第1の周縁部)は、アーム部8の外側に設けられる部分であり、慣性力の検出に寄与しない部分である。
また、周縁部16aは支持部6、アーム部8、錘部9から分離した別体である。
また、周縁部16aと錘部9とを合わせた形は、上面視で、四角の形状になる。
周縁部16aはアーム部8に対向する部分と、錘部9に対向する部分とを有する。
周縁部16aと錘部9との間は、幅W1の隙間を設けている。
周縁部16aと第2の部分8bとの間の幅は、周縁部16aと第6の部分8fとの間の幅は等しい。この幅をW2とする。
周縁部16aと第7の部分8gとの間は、幅W3の隙間を設けている。
周縁部16b(第2の周縁部)は、第1の周縁部16aとL1に対して対称な構造を有する。
ここでW1とW2とW3とが略等しくなるようにする。W1とW2とW3との寸法が等しいと、振動子を形成するSiドライエッチング工程において、マイクロローディング効果を抑制することができ、振動子を精度良く加工することができる。
また好ましくは、振動子のアーム幅とW1・W2・W3の寸法とを同じにした方が、ドライエッチング時のライン&スペース比が一定となり、振動子をより精度良く加工することができる。
(補足:マイクロローディング効果とは、ドライエッチングで加工するパターンの幅が小さくなると(もしくはエッチングする部分のアスペクト比:パターン幅/エッチング深さが大きくなると)、エッチング速度が低下する現象であり、エッチング速度が異なるパターンが存在すると、エッチングによる加工形状が悪化するという特徴を有している)
また振動子が振動(駆動)している際、外部衝撃などの外乱要因により、振動子の駆動アームが過振幅する場合があるが、その際、周縁部を一定距離で設けることにより、駆動アームの過振幅を抑制するストッパーとなるため、振動子の信頼性を向上することができる。
(補足:マイクロローディング効果とは、ドライエッチングで加工するパターンの幅が小さくなると(もしくはエッチングする部分のアスペクト比:パターン幅/エッチング深さが大きくなると)、エッチング速度が低下する現象であり、エッチング速度が異なるパターンが存在すると、エッチングによる加工形状が悪化するという特徴を有している)
また振動子が振動(駆動)している際、外部衝撃などの外乱要因により、振動子の駆動アームが過振幅する場合があるが、その際、周縁部を一定距離で設けることにより、駆動アームの過振幅を抑制するストッパーとなるため、振動子の信頼性を向上することができる。
また、アーム部8には駆動部10と検出部11とモニタ電極部(図示せず)を設けている。
図5は、検出素子2の動作原理を説明するための図である。
駆動部10と、検出部11とはそれぞれ、Auなどからなる上部電極12と、Ptなどからなる下部電極13と、これらの間に配置されチタン酸ジルコン酸鉛などからなる圧電体14と、を有する積層構造である。
駆動部10と、検出部11とはそれぞれ、Auなどからなる上部電極12と、Ptなどからなる下部電極13と、これらの間に配置されチタン酸ジルコン酸鉛などからなる圧電体14と、を有する積層構造である。
ここで、下部電極13がグランドに接続された状態で上部電極12に正電圧が印加されると、電極の積層方向に対して圧縮力が働く。この圧縮力により電極が伸びる方向に応力が発生する。下部電極13がグランドに接続された状態で上部電極12に負電圧が印加されと電極に引張力が働く。この引張力により電極パターンが縮む方向に応力が発生する。
また、これとは逆にアーム部8が撓み電極に圧縮応力が生じることで負電圧が発生する。電極に引張応力が生じることで正電圧が発生する。
駆動部10にIC(図示せず)から駆動信号を印加することで、錘部9がX軸方向(図2中の矢印A1)に振動する。以下、この振動を「駆動振動」と記載する。駆動振動が発生している状態において、振動平面(XY平面)に直交するZ軸回りの角速度が加わることで、検出素子2にコリオリ力が生じる。このコリオリ力により錘部9が矢印16で示すようY軸方向に検出振動(図2中の矢印A2)し、この検出振動によるアーム部8の撓みを検出部11により電気信号に変換しICに出力する。
モニタ電極17は、アーム部8の連接梁7の近傍に設けられる。アーム部8の駆動振動の振動状態を検出しICでの駆動信号の生成にフィードバックする。
図6は、本実施の形態の慣性力センサが備える別の検出素子20の上面図である。
検出素子20が検出素子2と異なる点は、検出素子20が周縁部16c(第1の周縁部)、周縁部16d(第2の周縁部)、周縁部16c(第3の周縁部)、周縁部16d(第4の周縁部)を備える点である。
図7は、検出素子2、20の支持部を拡大した図である。図7中におけるL1、L2の説明は上述のものと同じである。
駆動部10に接続される第1の電極18aは、L2に対して対称に2つ設けられる。
検出部11に接続される第2の電極18bは、L2に対して対称に2つ設けられる。
ここで、第1の電極18aと第2の電極18bとは、L1に対して対称に設けられる。
モニタ部に接続される第3の電極18cは、第1の電極18aと第2の電極18bとの間に設けられる。ここで、第3の電極18cは、第1の電極18aと第2の電極18bとよりも、幅D1だけ支持部6の外周に近くなるように設けられている。
次に検出素子20と検出素子20を駆動・制御するICとは,一般的にワイヤーボンディング等により電気的に接続する。 また検出素子20と制御ICとをパッケージを経由して電気的に接続する場合もある。ここで上記検出素子20の各電極(電極18a,電極18b,電極18c)と制御ICもしくはパッケージと電気的な接続を取るワイヤーは、すべて同じ長さであることが望ましい。 これは駆動部や検出部およびモニタ部に接続されるワイヤーの長さが異なると、上記ワイヤーの共振周波数が異なり、その結果、慣性センサの振動特性などに悪影響を発生させる要因となるためである。但し、一般的に制御ICやパッケージの電極配置は、一定の間隔で形成されているため、検出素子の支持部に形成される各電極部を通常の一定間隔に配置してしまうと、ワイヤー長さが異なってしまう。ここでワイヤーの長さを調整するためにD1の長さを調整し、各電極(電極18a,電極18b,電極18c)と接続するワイヤーの長さを等しくすることにより、センサ特性の悪化を抑制することが可能となる。 更にワイヤーの長さが各電極間で等しいと、ワイヤー間で発生する寄生容量を差動出力によりキャンセルすることが容易となる。 更に層間絶縁層を用いて、検出素子内の寄生容量を悪化させずに幅D1を含めた各電極配置を実施することにより、慣性センサの高精度化を実現することが可能となる。また幅D2についてもD1と同様に、各電極(電極18a、電極18b、電極18d)とのワイヤーの長さが均等になるようにD2の長さを調整することにより、慣性センサの高精度化を実現することが可能となる。
なお、第3の電極18cが、第1の電極18aと第2の電極18bとの両方に対して、支持部6の外側に設ける場合について説明したが、これに限らない。例えば、第3の電極18cが、第1の電極18aまたは第2の電極18bの一方により支持部6の外側に設けてもよい。
基準電位を供給する第4の電極18dは、第1の電極18aと第2の電極18bとの間に設けられる。ここで、第4の電極18dは、第1の電極18aと第2の電極18bとよりも、幅D2だけ支持部6の外周に近くなるように設けられている。また、第4の電極18dの面積は、第1の電極18a、第2の電極18b、第3の電極18cの面積よりも大きくなるように設けている。好ましくは、第4の電極18dの面積は、第1の電極18a、第2の電極18b、第3の電極18cの面積の2倍になるように設けている。ここで基準電位を供給する電極18dは、慣性センサの冗長化のため、制御ICやパッケージとの電気的な接続を取るワイヤーを2本にする必要があり、支持部の対称性を崩さずに安定にワイヤーでの電気的な接続を取るためには、電極18dの面積は、他の電極面積の約2倍にすることが望ましい。 更に本発明では電極18dを形成するためには、圧電膜をウェットエッチングでエッチングする必要があるが、電極面積が大きい程、ウェットエッチングが容易になり、エッチング残渣が発生しにくいといった特徴を有しており、安定したモノづくりを実現することが可能となる。なお上述した説明では、検出素子20と制御ICおよびPKGとの接続にワイヤーボンディングの場合を例に説明したが、それに限定されるものではなく、再配線基板やBGAなどを用いて接続した場合においても同様の効果を得ることが可能である。
なお、上述の説明では、圧電体を用いて検出素子を駆動振動させる例について説明したが、これに限らない。例えば、錘部9に第1の櫛歯電極を設け、この第1の櫛歯電極に静電気力を印加することで駆動振動を発生させてもよい。なお、圧電体を用いて検出振動を電気信号に変換する例について説明したが、これに限らない。例えば、錘部9に第2の櫛歯電極を設け、この第2の櫛歯電極の変位にともなう静電容量の変化に基づいて検出振動を電気信号に変換してもよい。
また、検出素子2と、ICとは、例えばセラミックなどからなるパッケージ(図示せず)に実装される。検出素子2と、ICと、パッケージと、慣性力センサが構成される。
本発明は、小型化で高精度な慣性力センサが要求される、例えば電子機器において有用である。
2、20 検出素子
2a 第1の基板
2b 第2の基板
2c 第3の基板
6 支持部
8 アーム部
8a 第1の部分
8b 第2の部分
8c 第3の部分
8d 第4の部分
8e 第5の部分
8f 第6の部分
8g 第7の部分
9 錘部
10 駆動部
11 検出部
12 上部電極
13 下部電極
14 圧電体
16a、16b、16c、16d 周縁部
18a 第1の電極
18b 第2の電極
18c 第3の電極
18d 第4の電極
2a 第1の基板
2b 第2の基板
2c 第3の基板
6 支持部
8 アーム部
8a 第1の部分
8b 第2の部分
8c 第3の部分
8d 第4の部分
8e 第5の部分
8f 第6の部分
8g 第7の部分
9 錘部
10 駆動部
11 検出部
12 上部電極
13 下部電極
14 圧電体
16a、16b、16c、16d 周縁部
18a 第1の電極
18b 第2の電極
18c 第3の電極
18d 第4の電極
Claims (10)
- 検出素子を備える慣性力センサであって、
前記検出素子は、
支持部と、
前記支持部に接続するアーム部と、
前記アーム部に接続する錘部と、
前記錘部を駆動振動する駆動部と、
前記検出素子に働く慣性力を検出する検出部と、
前記支持部に設けられ、前記駆動部に電気的に接続する第1の電極と、
前記支持部に設けられ、前記検出部に電気的に接続する第2の電極と、
前記支持部に設けられ、基準電気に接続する第3の電極と、を有し、
前記第3の電極は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置される慣性力センサ。 - 前記第3の電極は前記第1の電極よりも大きな面積を有する請求項1の慣性力センサ。
- 前記第3の電極は前記第1の電極の2倍の面積を有する請求項2の慣性力センサ。
- 前記第3の電極は前記第1の電極及び/又は前記第2の電極より、前記支持部の外側に設けられる請求項1の慣性力センサ。
- 前記検出素子は、前記駆動振動をモニタするモニタ部を更に有し、
前記支持部は、前記モニタ部に電気的に接続する第4の電極を更に有し、
前記第4の電極は、前記第1の電極と前記第2の電極との間に配置される請求項1の慣性力センサ。 - 前記第4の電極は前記第1の電極と同じ面積を有する請求項5の慣性力センサ。
- 前記第4の電極は前記第1の電極及び/又は前記第2の電極より、前記支持部の外側に設けられる請求項5の慣性力センサ。
- 前記検出素子は、第1の基板と、前記第1の基板に接続する第2の基板と、前記第2の基板に接続する第3の基板と、を有し、
前記支持部と、前記アーム部と、前記錘部とは、前記第3の基板の一部である請求項1の慣性力センサ。 - 前記検出素子に電気的に接続するICと、
前記検出素子と前記ICとを実装するパッケージと、を更に備える請求項1の慣性力センサ。 - 前記慣性力は角速度である請求項1の慣性力センサ。
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