JP2016203237A - 導電性接合体および該接合体の製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
前記被接合部材の少なくとも一つが難はんだ接合性金属からなり、
前記接合層は、主要成分としてバナジウム(V)を含有し副成分としてリン(P)、バリウム(Ba)およびタングステン(W)の内の一種以上を含有し390℃以下のガラス転移点を示す酸化物ガラス相と、導電金属相とからなり、
前記被接合部材間の接続抵抗が、1×10-5Ω/mm2未満であることを特徴とする導電性接合体を提供する。
前記導電性接合体は、導電性の被接合部材同士が接合材を介して電気的に接合されたものであり、
前記被接合部材の少なくとも一つが難はんだ接合性金属からなり、
前記被接合部材間の接続抵抗が1×10-5Ω/mm2未満であり、
前記接合材は酸化物ガラスを含み、
前記酸化物ガラスは、その名目成分を酸化物で表したときに、主要成分として酸化バナジウム(V2O5)を含有し副成分として酸化リン(P2O5)、酸化バリウム(BaO)および酸化タングステン(WO3)の内の一種以上を含有し、390℃以下のガラス転移点を示すガラスであり、
前記接合材を調合する接合材調合工程と、
前記被接合部材間に前記接合材を介在させて抵抗溶接を行う被接合部材接合処理工程とを有することを特徴とする導電性接合体の製造方法を提供する。
(i)前記難はんだ接合性金属は、軽金属または該軽金属を含む複合材である。
(ii)前記軽金属は、アルミニウム(Al)、Al合金、および/またはマグネシウム(Mg)合金である。
(iii)前記酸化物ガラス相は、その主要成分としてテルル(Te)および/または銀(Ag)を更に含有し、そのガラス転移点が355℃以下である。
(iv)前記酸化物ガラス相は、その副成分として、イットリウム(Y)、ランタン(La)、鉄(Fe)およびAlの内の一種以上を更に含有し、そのガラス転移点が200℃以下である。
(v)前記導電金属相は、金(Au)、Ag、銅(Cu)、Al、ニッケル(Ni)、錫(Sn)、亜鉛(Zn)、およびそれらの一を主成分とする合金の内の一種以上からなる。
(vi)前記接合層は、前記導電金属相が10体積%以上95体積%以下であり、残部が前記酸化物ガラス相からなる。
(vii)前記被接合部材接合処理工程の抵抗溶接条件は、印加電流密度が80 A/mm2以上360 A/mm2以下であり、通電時間が10 ms(0.01 s)以上100 ms(0.1 s)以下である。
(viii)前記被接合部材接合工程の抵抗溶接条件は、前記被接合部材への加圧応力が8 MPa以上15 MPa以下である。
(ix)前記難はんだ接合性金属は、軽金属または該軽金属を含む複合材である。
(x)前記軽金属は、Al、Al合金、および/またはMg合金である。
(xi)前記接合材は、前記酸化物ガラスがその主要成分として酸化銀(Ag2O)を更に含有し、そのガラス転移点が355℃以下であり、金属粒子が混合されていない。
(xii)前記接合材は、前記酸化物ガラスがその主要成分として酸化テルル(TeO2)を更に含有し、そのガラス転移点が355℃以下であり、かつ金属粒子が混合されている。
(xiii)前記金属粒子は、Au、Ag、Cu、Al、Ni、Sn、Zn、およびそれらの一を主成分とする合金の内の一種以上からなり、前記接合材における前記酸化物ガラスと前記金属粒子との合計体積率を100体積%としたときに、前記金属粒子の比率が10体積%以上95体積%以下である。
(xiv)前記接合材は、前記酸化物ガラスがその副成分として、酸化イットリウム(Y2O3)、酸化ランタン(La2O3)、酸化鉄(Fe2Oe)および酸化アルミニウム(Al2O3)の内の一種以上を更に含有し、そのガラス転移点が200℃以下である。
前述したように、特許文献1で開示された接合材は、Al等の難はんだ接合性金属同士の接合材として良好な機械的接合性を示したが、電気的接合性(例えば、接続抵抗)に関しては、Cu等の易はんだ接合性金属同士のはんだ接合と比較すると、十分に低い接続抵抗の接合が達成されているとは言えなかった。その要因を解明すべく、本発明者等は、特許文献1の技術における低融点ガラスの組成、混合する金属粒子の種類や混合比率、熱処理条件、および接合層の微細組織を更に詳細に調査・検討した。その結果、特許文献1の技術は、熱処理後の金属粒子同士の結合がランダムであり、被接合部材間を電気的につなぐ導電パスの形成が比較的少ない可能性が考えられた。
上述したように、本発明者等は、従来の導電性接合体および本発明の導電性接合体の接合層の微細組織を数多くかつ詳細に観察した。その結果、次のようなことが明らかになった。図1は、低融点ガラスと導電性粒子とを含む接合材を用いた従来の導電性接合体の一例を示す模式図と部分拡大断面模式図である。図1に示した従来の導電性接合体100は、特許文献1の記載に沿った熱処理を施したものである。図1に示したように、従来の導電性接合体100は、導電性の被接合部材11,12が接合層21を介して電気的に接合されており、接合層21は、低融点ガラス相31をマトリックスとし、その中に導電性粒子41が分散していた。
つぎに、導電性接合体の製造方法に沿って本発明の構成・特徴をより詳細に説明する。
導電性の被接合部材を用意する。本発明において、被接合部材11,12は、導電性を有する限り材料に特段の限定は無いが、本発明の趣旨から、少なくとも一方が難はんだ接合性金属からなることに技術的意義がある。難はんだ接合性金属とは、化学的に安定な酸化皮膜を表面に形成し易い金属(例えば、軽金属または該軽金属を含む複合材)を意味し、代表的には、Al、Al合金、マグネシウム(Mg)、Mg合金、チタン(Ti)、Ti合金、およびそれらを含む複合材が挙げられる。
接合層22を形成するための接合材を調合する。本発明で用いる接合材は、酸化物ガラス相32を構成する所定の酸化物ガラスを含む。該酸化物ガラスは、その名目成分を酸化物で表したときに、主要成分としてV2O5を必ず含有し、副成分としてP2O5、BaOおよびWO3の内の一種以上を含有し、390℃以下のガラス転移点を示すガラスである。
被接合部材間に接合材を介在させて抵抗溶接を行う被接合部材接合処理工程を行う。図3は、本発明に係る導電性接合体の製造方法における被接合部材接合処理工程の概略を示す斜視模式図である。図3(a)に示したように、被接合部材11,12の接合面の少なくとも一つに、接合材23を配設する。より具体的には、接合材23が接合材ペーストの場合、接合材ペーストを被接合部材の接合面上に塗布し、溶剤成分を乾燥させる。接合材ペーストの塗布・乾燥の後、必要に応じて、焼成を行って焼付塗膜の形態にしてもよい。一方、接合材23が接合材プリフォームの場合、被接合部材の接合面上に置けばよい。
本実施例においては、種々の名目組成を有する酸化物ガラスを作製し、該酸化物ガラスの物性(特性温度、密度)を調査した。
後述する表1〜表2に示す名目組成を有する酸化物ガラス(VG-01〜VG-45)を作製した。表中の名目組成は、各成分の酸化物換算における質量比率で表示してある。出発原料としては、Ba源以外は(株)高純度化学研究所製の酸化物粉末(純度99.9%)を用い、Ba源としては炭酸バリウム(BaCO3、純度99.9%)を用いた。出発原料の純度から分かるように、本発明で調合する酸化物ガラスは、ある程度の不可避不純物を含む。
上記で得られた各酸化物ガラス粉末に対して、特性温度と密度とを測定した。特性温度の測定は、示差熱分析(DTA)により行い、ガラス転移点Tg、屈伏点Mg、軟化点Tsおよび結晶化温度Tcryを測定した。DTA測定は、参照試料(α−アルミナ)および測定試料の質量をそれぞれ650 mgとし、大気中5℃/minの昇温速度で行った。密度測定は、定容積膨張法により行った。結果を後述の表3〜表4に記す。
本実施例においては、上記の酸化物ガラスを含む接合材を用意して導電性接合体を作製し、該導電性接合体の電気的接合性(接続抵抗)を調査した。
実施例1で作製した酸化物ガラス粉末(VG-01〜VG-45)のそれぞれと、金属粒子とバインダと溶剤とを混合・混練して、VG-01〜VG-45の接合材ペーストを作製した。金属粒子としては、Ag粒子(福田金属箔粉工業(株)製、AGC-103、平均粒径1.4μm)を用い、酸化物ガラス粉末と金属粒子との混合比率は、酸化物ガラス粉末30体積%、金属粒子70体積%とした。
上記で用意した接合材ペーストを用い、以下のような手順で接合処理を施して、導電性接合体を作製した。
上記のようにして作製した各種導電性接合体の試料に対して、接合部の導電性を評価した。接合部の導電性としては、被接合部材11,12間の接続抵抗を四端子法により測定した。
本実施例においては、接合材ペーストにおける酸化物ガラスと金属粒子との混合比率について検討した。
実施例1で作製した酸化物ガラス粉末VG-41と、実施例2で用いたAg粒子および溶剤(α−テルピネオール、イソボルニルシクロヘキサノール)とを混合・混練して、接合材ペーストを作製した。VG-41とAg粒子との混合比率は、体積%で「0:100」、「5:95」、「10:90」、「20:80」、「30:70」、「40:60」、「50:50」、「70:30」、「90:10」、および「100:0」の10種類とした。
被接合部材11,12として、実施例2と同寸法(幅5 mm×長さ100 mm×厚さ1 mm)の一対のAl合金平板を用意した。同様にして、一対のMg合金平板を用意した。Al合金はAl-Cu-Mg系合金(JIS A2024)を用い、Mg合金はMg-Al-Zn系合金(JIS AZ91)を用いた。
上記のようにして作製したAl合金/Al合金接合体およびMg合金/Mg合金接合体に対して、実施例2と同様にして接合部の導電性を評価した。導電性接合体の仕様および導電性評価結果を表7に記す。
本実施例においては、接合材における金属粒子の種類と、被接合部材の種類とについて検討した。
実施例1で作製した酸化物ガラス粉末VG-41と、金属粒子と、バインダ(変性ポリフェニレンエーテル)と、溶剤(ブチルカルビトールアセテート)とを混合・混練して粘土状とした後に、シート状に成型し、ホットプレート上(約150℃)で溶剤を乾燥させることによって、接合材プリフォーム(幅5 mm×長さ5 mm×厚さ0.3 mm)を作製した。金属粒子としては、それぞれ平均粒径が10μm以下のAu粒子、Ag粒子、Cu粒子、Al粒子、Ni粒子、Sn粒子、Zn粒子、Au-Sn合金粒子、Sn-Ag合金粒子、Cu-Al合金粒子(Cu>>Al)、およびAl-Cu合金粒子(Al>>Cu)の11種類を用いた。VG-41と金属粒子との混合比率は、体積%で「30:70」とした。
被接合部材11,12として、実施例2と同寸法(幅5 mm×長さ100 mm×厚さ1 mm)のAl平板、Cu平板、Ni平板、Al合金平板(JIS A2024)、Mg合金平板(JIS AZ91)、および炭化ケイ素粒子分散アルミニウム平板(Al-SiC)の6種類を用意した。
上記のようにして作製した各種接合体に対して、実施例2と同様にして接合部の導電性を評価した。金属粒子と接合体の組合せによる導電性評価結果を表8に記す。
11,12・・・被接合部材、
21,22・・・接合層、23・・・接合材、
31・・・低融点ガラス相、32・・・酸化物ガラス相、
41・・・導電性粒子、42・・・導電金属相、
51,52・・・導電性結合相、
61,62・・・抵抗溶接用電極。
Claims (16)
- 導電性の被接合部材同士が接合層を介して電気的に接合された導電性接合体であって、
前記被接合部材の少なくとも一つが難はんだ接合性金属からなり、
前記接合層は、主要成分としてバナジウムを含有し副成分としてリン、バリウムおよびタングステンの内の一種以上を含有し390℃以下のガラス転移点を示す酸化物ガラス相と、導電金属相とからなり、
前記被接合部材間の接続抵抗が、1×10-5Ω/mm2未満であることを特徴とする導電性接合体。 - 請求項1に記載の導電性接合体において、
前記難はんだ接合性金属は、軽金属または該軽金属を含む複合材であることを特徴とする導電性接合体。 - 請求項2に記載の導電性接合体において、
前記軽金属は、アルミニウム、アルミニウム合金、および/またはマグネシウム合金であることを特徴とする導電性接合体。 - 請求項1乃至請求項3のいずれかに記載の導電性接合体において、
前記酸化物ガラス相は、その主要成分としてテルルおよび/または銀を更に含有し、そのガラス転移点が355℃以下であることを特徴とする導電性接合体。 - 請求項4に記載の導電性接合体において、
前記酸化物ガラス相は、その副成分として、イットリウム、ランタン、鉄およびアルミニウムの内の一種以上を更に含有し、そのガラス転移点が200℃以下であることを特徴とする導電性接合体。 - 請求項1乃至請求項5のいずれかに記載の導電性接合体において、
前記導電金属相は、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、錫、亜鉛、およびそれらの一を主成分とする合金の内の一種以上からなることを特徴とする導電性接合体。 - 請求項1乃至請求項6のいずれかに記載の導電性接合体において、
前記接合層は、前記導電金属相が10体積%以上95体積%以下であり、残部が前記酸化物ガラス相からなることを特徴とする導電性接合体。 - 導電性接合体の製造方法であって、
前記導電性接合体は、導電性の被接合部材同士が接合材を介して電気的に接合されたものであり、
前記被接合部材の少なくとも一つが難はんだ接合性金属からなり、
前記被接合部材間の接続抵抗が1×10-5Ω/mm2未満であり、
前記接合材は酸化物ガラスを含み、
前記酸化物ガラスは、その名目成分を酸化物で表したときに、主要成分として酸化バナジウムを含有し副成分として酸化リン、酸化バリウムおよび酸化タングステンの内の一種以上を含有し、390℃以下のガラス転移点を示すガラスであり、
前記接合材を調合する接合材調合工程と、
前記被接合部材間に前記接合材を介在させて抵抗溶接を行う被接合部材接合処理工程とを有することを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項8に記載の導電性接合体の製造方法において、
前記被接合部材接合処理工程の抵抗溶接条件は、印加電流密度が80 A/mm2以上360 A/mm2以下であり、通電時間が10 ms以上100 ms以下であることを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項9に記載の導電性接合体の製造方法において、
前記被接合部材接合工程の抵抗溶接条件は、前記被接合部材への加圧応力が8 MPa以上15 MPa以下であることを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項8乃至請求項10のいずれかに記載の導電性接合体の製造方法において、
前記難はんだ接合性金属は、軽金属または該軽金属を含む複合材であることを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項11に記載の導電性接合体の製造方法において、
前記軽金属は、アルミニウム、アルミニウム合金、および/またはマグネシウム合金であることを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項8乃至請求項12のいずれかに記載の導電性接合体の製造方法において、
前記接合材は、前記酸化物ガラスがその主要成分として酸化銀を更に含有し、そのガラス転移点が355℃以下であり、金属粒子が混合されていないことを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項8乃至請求項12のいずれかに記載の導電性接合体の製造方法において、
前記接合材は、前記酸化物ガラスがその主要成分として酸化テルルを更に含有し、そのガラス転移点が355℃以下であり、かつ金属粒子が混合されていることを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項14に記載の導電性接合体の製造方法において、
前記金属粒子は、金、銀、銅、アルミニウム、ニッケル、錫、亜鉛、およびそれらの一を主成分とする合金の内の一種以上からなり、
前記接合材における前記酸化物ガラスと前記金属粒子との合計体積率を100体積%としたときに、前記金属粒子の比率が10体積%以上95体積%以下であることを特徴とする導電性接合体の製造方法。 - 請求項13乃至請求項15のいずれかに記載の導電性接合体の製造方法において、
前記接合材は、前記酸化物ガラスがその副成分として、酸化イットリウム、酸化ランタン、酸化鉄および酸化アルミニウムの内の一種以上を更に含有し、そのガラス転移点が200℃以下であることを特徴とする導電性接合体の製造方法。
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