JP2016162639A - ショートアーク放電ランプ用陽極およびその製法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1に、本発明にかかるショートアーク放電ランプの陽極1を示す。陽極1の本体はタングステンであり、その側面には、後述するプラズマ処理により、太さ数十nm、長さ1μm程度の長さの繊維状ナノ突起3が多数形成されている(図1拡大写真参照)。
上記実施形態においては、陽極1の側面の全面に繊維状ナノ突起を形成したが、先端部近傍だけ、または陽極の先端部を除く陽極側面に形成するようにしてもよい。
3・・・・・・繊維状ナノ突起
Claims (5)
- 高融点金属で構成された本体部、
前記本体部の表面に設けられた多数の繊維状ナノ突起、
を備えたショートアーク放電ランプ用の陽極。 - 請求項1のショートアーク放電ランプ用の陽極において、
前記高融点金属はタングステンであること、
を特徴とするショートアーク放電ランプ用の陽極。 - 請求項1または2のショートアーク放電ランプ用の陽極において、
前記繊維状ナノ突起は、陽極の先端部近傍の側面に形成されていること、
を特徴とするショートアーク放電ランプ用の陽極。 - 請求項1または2のショートアーク放電ランプ用の陽極において、
前記繊維状ナノ突起は、陽極の先端部を除く陽極側面に形成されていること、
を特徴とするショートアーク放電ランプ用の陽極。 - 高融点金属で構成された本体部を準備し、
前記本体部の表面にヘリウムイオンを照射することにより、表面に多数の繊維状ナノ突起を形成すること、
を特徴とするショートアーク放電ランプ用の陽極の製造方法。
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- 2015-03-03 JP JP2015041512A patent/JP6487720B2/ja active Active
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