JP2016076603A - 金属−セラミックス回路基板およびその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】活性金属含有ろう材によりセラミックス基板に金属板を接合した金属−セラミックス回路基板において、マイグレーションの発生を十分に抑制することができる、金属−セラミックス回路基板およびその製造方法を提供する。
【解決手段】窒化アルミニウムからなるセラミックス基板10を酸化してセラミックス基板10の表面(少なくとも一方の面)に酸化層12を形成した後、この酸化層12上に活性金属含有ろう材14を塗布し、この活性金属含有ろう材14上に金属板15を配置し、活性金属含有ろう材14と酸化層12を介して金属板16をセラミックス基板10に接合し、その後、活性金属含有ろう材14の露出面にめっき皮膜18を形成する。
【選択図】図1
【解決手段】窒化アルミニウムからなるセラミックス基板10を酸化してセラミックス基板10の表面(少なくとも一方の面)に酸化層12を形成した後、この酸化層12上に活性金属含有ろう材14を塗布し、この活性金属含有ろう材14上に金属板15を配置し、活性金属含有ろう材14と酸化層12を介して金属板16をセラミックス基板10に接合し、その後、活性金属含有ろう材14の露出面にめっき皮膜18を形成する。
【選択図】図1
Description
本発明は、金属−セラミックス回路基板およびその製造方法に関し、特に、活性金属含有ろう材により金属板がセラミックス部材に接合された金属−セラミックス回路基板およびその製造方法に関する。
従来、電気自動車、電車、工作機械などの大電力を制御するために、パワーモジュールが使用されている。このようなパワーモジュール用の絶縁基板として、セラミックス基板の一方の面に接合された金属回路板上のチップ部品や端子の半田付けが必要な部分などにめっきが施された金属−セラミックス回路基板が使用されている。
しかし、金属回路板を活性金属含有ろう材でセラミックス基板に接合した金属−セラミックス回路基板をパワーモジュールに組み込むと、セラミックス基板上の金属回路板の回路パターン間などにおいて、活性金属含有ろう材中の金属(例えば、活性金属と銀と銅からなるろう材を使用した場合に銀または銅)のマイグレーションが生じて、絶縁不良などを起こすおそれがある。
このようなマイグレーションを防止する方法として、ろう材の露出面に無電解Ni−Pめっきを施す方法が知られている(例えば、特許文献1参照)。
しかし、活性金属含有ろう材の露出面にNi−Pめっきを施しても、金属−セラミックス回路基板をパワーモジュールに組み込む際のアセンブリ工程における(半田付けなどの)熱処理や絶縁ゲルによる被覆によってマイグレーションが発生するのを十分に抑制することができない。
したがって、本発明は、このような従来の問題点に鑑み、活性金属含有ろう材によりセラミックス基板に金属板を接合した金属−セラミックス回路基板において、マイグレーションの発生を十分に抑制することができる、金属−セラミックス回路基板およびその製造方法を提供することを目的とする。
本発明者らは、上記課題を解決するために鋭意研究した結果、窒化アルミニウムからなるセラミックス基板を酸化してセラミックス基板の少なくとも一方の面に酸化層を形成した後、酸化層上に活性金属含有ろう材を塗布し、この活性金属含有ろう材上に金属板を配置し、活性金属含有ろう材と酸化層を介して金属板をセラミックス基板に接合し、その後、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜を形成することにより、マイグレーションの発生を十分に抑制することができる、金属−セラミックス回路基板およびその製造方法を提供することができることを見出し、本発明を完成するに至った。
すなわち、本発明による金属−セラミックス回路基板の製造方法は、窒化アルミニウムからなるセラミックス基板を酸化してセラミックス基板の少なくとも一方の面に酸化層を形成した後、この酸化層上に活性金属含有ろう材を塗布し、この活性金属含有ろう材上に金属板を配置し、活性金属含有ろう材と酸化層を介して金属板をセラミックス基板に接合し、その後、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜を形成することを特徴とする。
この金属−セラミックス回路基板の製造方法において、金属板が銅板であるのが好ましく、酸化層の厚さが0.05〜3μmであるのが好ましい。また、活性金属含有ろう材が、活性金属と銀と銅からなるろう材であるのが好ましく、活性金属含有ろう材中の銀の含有量が25〜95質量%であるのが好ましい。また、めっき皮膜が、Niめっき皮膜であるのが好ましく、無電解Ni−Pめっきによって形成されるのが好ましい。さらに、セラミックス基板の酸化が、酸素の存在下において950〜1400℃で加熱することによって行われるのが好ましい。
また、本発明による金属−セラミックス回路基板は、窒化アルミニウムからなるセラミックス基板の少なくとも一方の面に酸化層が形成され、この酸化層と活性金属含有ろう材を介して金属板がセラミックス基板に接合され、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜が形成されていることを特徴とする。
この金属−セラミックス回路基板において、金属板が銅板であるのが好ましく、酸化層の厚さが0.05〜3μmであるのが好ましい。また、活性金属含有ろう材が、活性金属と銀と銅からなるろう材であるのが好ましく、活性金属含有ろう材中の銀の含有量が25〜95質量%であるのが好ましい。また、めっき皮膜が、Niめっき皮膜であるのが好ましく、Ni−Pめっき皮膜であるのがさらに好ましい。
本発明によれば、活性金属含有ろう材によりセラミックス基板に金属板を接合した金属−セラミックス回路基板において、マイグレーションの発生を十分に抑制することができる、金属−セラミックス回路基板およびその製造方法を提供することができる。
本発明による金属−セラミックス回路基板の実施の形態では、図1に示すように、窒化アルミニウムからなるセラミックス基板10の表面(少なくとも一方の面)に酸化層12が形成され、この酸化層12と活性金属含有ろう材14を介して金属板16がセラミックス基板10に接合され、活性金属含有ろう材14の露出面にめっき皮膜18が形成されている。
本発明による金属−セラミックス回路基板の製造方法の実施の形態では、窒化アルミニウムからなるセラミックス基板10を酸化してセラミックス基板10の表面(少なくとも一方の面)に酸化層12を形成した後、この酸化層12上に活性金属含有ろう材14を塗布し、この活性金属含有ろう材14上に金属板16を配置し、活性金属含有ろう材14と酸化層12を介して金属板16をセラミックス基板10に接合し、その後、活性金属含有ろう材14の露出面にめっき皮膜18を形成する。
セラミックス基板10として、5〜200mm×5〜200mm×0.25〜3.0mm程度の大きさの窒化アルミニウム基板を使用することができる。セラミックス基板10上に形成される酸化層12の厚さは、0.05〜3μmであるのが好ましく、0.1〜1.5μmであるのがさらに好ましい。この酸化物層12は、窒化アルミニウム基板を酸素の存在下、例えば、大気中において950〜1400℃(好ましくは1000〜1300℃)で加熱することによって形成することができる。あるいは、窒化アルミニウム基板の表面にアルミニウム含有溶液(例えば、アルミナゾル、アルミニウム塩溶液、アルミニウム粉と有機バインダを含む溶液など)を塗布し、不活性雰囲気(例えば、窒素雰囲気)または大気中において800〜1200℃程度の温度で焼成して酸化物層12を形成してもよい。この場合、市販されている窒化アルミニウム基板の殆どに焼結助剤として使用されているイットリアが、上記のアルミニウム含有溶液中のアルミニウムと反応して、YとAlを含む酸化物の層が形成される。なお、金属−セラミックス回路基板の良好な耐熱衝撃性を確保するために、セラミックス基板10として、3点曲げ強度が好ましくは450MPa以上、さらに好ましくは500MPa以上の窒化アルミニウム基板を使用する。
金属板16は、銅板であるのが好ましく、無酸素銅板であるのがさらに好ましい。また、セラミックス基板10に接合した金属板16の表面に回路パターンのレジストを塗布した後に金属板15をエッチングして除去することにより、金属回路板を形成するのが好ましい。
活性金属含有ろう材14は、活性金属と銀と銅からなるろう材であるのが好ましい。この場合、活性金属含有ろう材14中の銀の含有量は、25〜95質量%であるのが好ましく、30〜75質量%であるのがさらに好ましい。この活性金属含有ろう材14の活性金属成分として、チタン、ジルコニウム、ハフニウムおよびこれらの水素化物の少なくとも1種以上を使用することができる。この活性金属含有ろう材14として、Ag−Cu−Ti系、Ag−Cu−Zr系、Ag−Cu−Ti−Zr系などのろう材を使用するのが好ましく、これらのろう材にSnを添加してもよい。なお、ジルコニウムを含有するろう材は、セラミックス基板10の表面の酸化物層12と反応して、正方晶ジルコニアを含む酸化物を形成し、熱伝導性を損なうことなく、金属−セラミックス回路基板の耐熱衝撃性を向上させることができる。
また、めっき皮膜18は、Niめっき皮膜であるのが好ましく、無電解Ni−Pめっきにより形成するのが好ましい。
活性金属含有ろう材(例えば、活性金属と銀と銅からなるろう材)によりセラミックス基板に(銅板などの)金属板を接合した金属−セラミックス回路基板では、無電解Ni−Pめっきにより金属板と活性金属含有ろう材を覆うようにめっき皮膜を形成しても、金属−セラミックス回路基板をパワーモジュールに組み込む際のアセンブリ工程における熱履歴によって、めっき皮膜にクラックが生じて、活性金属含有ろう材中の(活性金属以外の)金属(例えば、活性金属と銀と銅からなるろう材を使用した場合に銀または銅)が露出したり、活性金属含有ろう材の端部とセラミックス基板の表面の間の微細な隙間から活性金属含有ろう材が露出することがわかった。このように露出した活性金属含有ろう材が硫黄と接触すると、マイグレーションが生じる。そのため、本発明による金属−セラミックス回路基板およびその製造方法の実施の形態では、セラミックス基板の表面に酸化物層を形成するとともに、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜を形成することにより、マイグレーションを防止している。
以下、本発明による金属−セラミックス回路基板およびその製造方法の実施例について詳細に説明する。
[実施例1]
セラミックス基板として32mm×22mm×0.6mmの大きさの窒化アルミニウム基板(3点曲げ強度520MPa)を用意し、この窒化アルミニウム基板を箱型炉により大気中において1150℃で10時間加熱して酸化することにより、窒化アルミニウム基板上に酸化物層を形成した。なお、酸化物層を切断して断面を電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)により観察したところ、酸化物層の厚さは1μmであった。また、この酸化物層をEPMAとX線回折装置(XRD)により分析したところ、酸化アルミニウムからなる層であることが確認された。
セラミックス基板として32mm×22mm×0.6mmの大きさの窒化アルミニウム基板(3点曲げ強度520MPa)を用意し、この窒化アルミニウム基板を箱型炉により大気中において1150℃で10時間加熱して酸化することにより、窒化アルミニウム基板上に酸化物層を形成した。なお、酸化物層を切断して断面を電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)により観察したところ、酸化物層の厚さは1μmであった。また、この酸化物層をEPMAとX線回折装置(XRD)により分析したところ、酸化アルミニウムからなる層であることが確認された。
このようにして表面に酸化物層を形成した窒化アルミニウム基板の両面に、活性金属成分として2重量%のチタンを含む活性金属含有ろう材(Ag:Cu:Ti=70:28:2)をスクリーン印刷し、その上に厚さ0.3mmの無酸素銅板を配置し、真空中で850℃に加熱して窒化アルミニウム基板の両面に銅板を接合した。
次に、両面の銅板上に紫外線硬化アルカリ剥離型レジストをスクリーン印刷により塗布し、レジストに紫外線を照射して硬化させた後、塩化銅と過酸化水素水を含むエッチング液により銅板の不要な部分をエッチングして除去し、フッ酸を含むエッチング液により活性金属含有ろう材の不要部分をエッチングして除去し、水酸化ナトリウム水溶液によりレジストを除去して銅回路を形成した。
次に、銅板および活性金属含有ろう材を覆うように無電解Ni−Pめっきにより厚さ2μmのめっき皮膜を形成して、金属−セラミックス回路基板を得た。
このようにして作製した金属−セラミックス回路基板について、以下のような硫黄華試験を行って、マイグレーションの発生の有無を評価した。まず、金属−セラミックス回路基板を270℃で3分間熱処理(金属−セラミックス回路基板に電子部品を半田付けする際と同様の熱処理)した後、金属−セラミックス回路基板にゲル(モメンティブ社製のTSE3051)を厚さ1〜2mm程度に塗布し、150℃で1時間加熱して硬化させた。この金属−セラミックス回路基板を、硫黄華4gと相対湿度制御用の蒸留水20mLを入れておいた容積約1200cm3のガラス容器内に投入し、密閉して80℃で500時間静置した。その後、銅板の周縁部の幅1mm程度の部分を上方から電子プローブマイクロアナライザ(EPMA)により500倍で観察し、Ni−Pめっき皮膜からAg(とS)がはみ出した部分(幅5μm以上の点状または線状の部分)を特性X線で確認し、その部分をマイグレーション発生箇所として、その発生箇所の数が0〜10個未満の場合はマイグレーションの発生なし、10〜20個の場合はマイグレーションの発生軽微、21〜100個の場合はマイグレーションの発生多数と評価し、100個を超える場合、幅100μm以上の箇所がある場合、観察領域のほぼ全てにマイグレーション発生箇所がある場合には、マイグレーションの発生顕著として評価した。その結果、本実施例で作製した金属−セラミックス回路基板では、マイグレーションの発生箇所の数は2個であり、マイグレーションの発生はなかった。
[実施例2]
活性金属成分として2重量%のチタンを含む活性金属含有ろう材(Ag:Cu:Ti:Sn=50:43:2:5)を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス回路基板を得た。
活性金属成分として2重量%のチタンを含む活性金属含有ろう材(Ag:Cu:Ti:Sn=50:43:2:5)を使用した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス回路基板を得た。
このようにして作製した金属−セラミックス回路基板について、実施例1と同様の方法により、硫黄華試験を行って、マイグレーションの発生の有無を評価したところ、本実施例で作製した金属−セラミックス回路基板では、マイグレーションの発生箇所の数は1個であり、マイグレーションの発生はなかった。
[実施例3]
窒化アルミニウム基板の酸化温度を1100℃として3時間加熱した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス回路基板を得た。なお、窒化アルミニウム基板上に形成した酸化物層の断面を実施例1と同様の方法により観察したところ、酸化物層の厚さは0.5μmであった。
窒化アルミニウム基板の酸化温度を1100℃として3時間加熱した以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス回路基板を得た。なお、窒化アルミニウム基板上に形成した酸化物層の断面を実施例1と同様の方法により観察したところ、酸化物層の厚さは0.5μmであった。
このようにして作製した金属−セラミックス回路基板について、実施例1と同様の方法により、硫黄華試験を行って、マイグレーションの発生の有無を評価したところ、本実施例で作製した金属−セラミックス回路基板では、マイグレーション発生箇所は1つもなく、マイグレーションの発生はなかった。
[比較例]
セラミックス基板の酸化処理を行わなかった以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス回路基板を得た。
セラミックス基板の酸化処理を行わなかった以外は、実施例1と同様の方法により、金属−セラミックス回路基板を得た。
このようにして作製した金属−セラミックス回路基板について、実施例1と同様の方法により、硫黄華試験を行って、マイグレーションの発生の有無を評価したところ、本比較例で作製した金属−セラミックス回路基板では、マイグレーションの発生箇所の数が非常に多く(100個超)、マイグレーションの発生は顕著であった。
これらの実施例および比較例の結果から、窒化アルミニウム基板の表面に酸化物層を形成するとともに、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜を形成すれば、活性金属含有ろう材によりセラミックス基板に金属板を接合した金属−セラミックス回路基板のマイグレーションの発生を十分に抑制することができることがわかる。
また、実施例1〜3と比較例1で作製した金属−セラミックス回路基板をそれぞれ270℃で3分間加熱した後、そのセラミックス基板の主面に略垂直に切断し、その断面を走査電子顕微鏡(SEM)により5000倍に拡大して観察した。
その結果、実施例1〜3の金属−セラミックス回路基板では、窒化アルミニウム基板の表面に平行に延びる長さ数μmのクラックが窒化アルミニウム基板上の酸化物層に形成されているのが確認された。実施例1〜3の金属−セラミックス回路基板をそれぞれ270℃で3分間加熱する前にそのセラミックス基板の主面に略垂直に切断した断面を同様の方法により観察したところ、酸化物層にクラックが形成されていなかったので、このようなクラックが発生するのは、窒化アルミニウム基板の表面を酸化することにより、窒化アルミニウム基板の表面に強度が低い酸化物層が形成され、270℃で3分間加熱した際に発生した応力によって、強度が低い酸化物層にクラックが発生したと考えられる。この酸化物層に形成されたクラック内に硫黄が侵入しても、活性金属含有ろう材中の活性金属以外の金属(銀や銅など)と反応せずに、マイグレーションが十分に抑制されると考えられる。
一方、比較例1の金属−セラミックス回路基板では、窒化アルミニウム基板とめっき皮膜の間に間隙が形成されているのが確認された。比較例1の金属−セラミックス回路基板をそれぞれ270℃で3分間加熱する前にそのセラミックス基板の主面に略垂直に切断した断面を同様の方法により観察したところ、窒化アルミニウム基板とめっき皮膜の間に間隙が形成されていなかったので、このような間隙は、270℃で3分間加熱した際に発生した応力によって形成されたと考えられ、この間隙から露出した活性金属含有ろう材中の活性金属以外の金属(銀や銅など)が硫黄と反応して、マイグレーションが発生したと考えられる。なお、実施例1〜3と比較例で作製した金属−セラミックス回路基板をそれぞれ270℃で3分間加熱した後に窒化アルミニウム基板の両面の銅板間に6kVの電圧を印加したが、いずれも絶縁破壊は起こらなかった。
10 セラミックス基板
12 酸化物層
14 活性金属含有ろう材
16 金属板
18 めっき皮膜
12 酸化物層
14 活性金属含有ろう材
16 金属板
18 めっき皮膜
Claims (17)
- 窒化アルミニウムからなるセラミックス基板を酸化してセラミックス基板の少なくとも一方の面に酸化層を形成した後、この酸化層上に活性金属含有ろう材を塗布し、この活性金属含有ろう材上に金属板を配置し、活性金属含有ろう材と酸化層を介して金属板をセラミックス基板に接合し、その後、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜を形成することを特徴とする、金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記金属板が銅板であることを特徴とする、請求項1に記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記酸化層の厚さが0.05〜3μmであることを特徴とする、請求項1または2に記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記活性金属含有ろう材が、活性金属と銀と銅からなるろう材であることを特徴とする、請求項1乃至3のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記活性金属含有ろう材が錫を含むことを特徴とする、請求項4に記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記活性金属含有ろう材中の銀の含有量が25〜95質量%であることを特徴とする、請求項4または5に記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記めっき皮膜がNiめっき皮膜であることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記めっき皮膜が、無電解Ni−Pめっきによって形成されることを特徴とする、請求項1乃至6のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 前記セラミックス基板の酸化が、酸素の存在下において950〜1400℃で加熱することによって行われることを特徴とする、請求項1乃至7のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板の製造方法。
- 窒化アルミニウムからなるセラミックス基板の少なくとも一方の面に酸化層が形成され、この酸化層と活性金属含有ろう材を介して金属板がセラミックス基板に接合され、活性金属含有ろう材の露出面にめっき皮膜が形成されていることを特徴とする、金属−セラミックス回路基板。
- 前記金属板が銅板であることを特徴とする、請求項10に記載の金属−セラミックス回路基板。
- 前記酸化層の厚さが0.05〜3μmであることを特徴とする、請求項10または11に記載の金属−セラミックス回路基板。
- 前記活性金属含有ろう材が、活性金属と銀と銅からなるろう材であることを特徴とする、請求項10乃至12のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板。
- 前記活性金属含有ろう材が錫を含むことを特徴とする、請求項13に記載の金属−セラミックス回路基板。
- 前記活性金属含有ろう材中の銀の含有量が25〜95質量%であることを特徴とする、請求項13または14に記載の金属−セラミックス回路基板。
- 前記めっき皮膜がNiめっき皮膜であることを特徴とする、請求項10乃至15のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板。
- 前記めっき皮膜がNi−Pめっき皮膜であることを特徴とする、請求項10乃至15のいずれかに記載の金属−セラミックス回路基板。
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Cited By (2)
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WO2019054291A1 (ja) * | 2017-09-12 | 2019-03-21 | 株式会社 東芝 | 活性金属ろう材用エッチング液およびそれを用いたセラミックス回路基板の製造方法 |
WO2022014319A1 (ja) * | 2020-07-15 | 2022-01-20 | Dowaメタルテック株式会社 | 絶縁基板およびその製造方法 |
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