JP2016066663A - 半導体装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】本明細書は、半導体装置においてポンピング等によるグリス抜けを抑制する技術を提供する。【解決手段】本明細書が開示する半導体装置は、半導体素子を封止したパワーカード10と冷却部材6を備えている。パワーカード10と冷却部材6はグリスを挟んで積層されている。パワーカード10の冷却部材6と対向する面には放熱板16aが設けられている。放熱板16aの冷却部材6と対向する面には、平行な突条群46が設けられている。突条群46は、その面上の一方の端部44aから他方の端部44bまで伸びている。そして、端部44aの表面粗さが隣接する突条46aの間に位置する平坦面の表面粗さより大きい。【選択図】図5
Description
本明細書が開示する技術は、半導体装置に関する。特に、半導体素子を封止したパワーカードがグリスを挟んで冷却部材に接している半導体装置に関する。
上記したタイプの半導体装置の一例が特許文献1に開示されている。特許文献1の半導体装置では、半導体素子を封止したパワーカードに放熱板が備えられており、放熱板と冷却部材がグリスを挟んで対向している。その放熱板に複数の溝が設けられている。複数の溝は、放熱板の一端から他端まで伸びており、各溝の端は放熱板の外の空間へ開いている。そして、放熱板または冷却部材のどちらか一方に放熱板と冷却部材との間へのグリス注入用孔が設けられている。注入されたグリスは溝に沿って拡がり、放熱板と冷却部材の間の全体にグリスがいきわたる。
特許文献1に開示された半導体装置の溝は、装置製造時にグリスを放熱板と冷却部材の間に拡げるのに好都合である。しかしながら、放熱板と冷却部材の間にグリスを挟んだ半導体装置では、その半導体装置が作動と停止を繰り返しているうちに、ブリードアウトやポンピングと呼ばれる現象によりグリスが放熱板と冷却部材の間から流出する場合がある。ブリードアウトやポンピングの詳細については実施例にて説明する。特許文献1に開示される半導体装置では、各溝の端が放熱板の外の空間へ開いている。よって、その開いた部分からグリスが放熱板の外へ流出し易くなる。なお、一般に、パワーカードと冷却部材の間からグリスが流出することを「グリスが抜ける」と表現することがある。本明細書でもそのような表現を用いる場合がある。特許文献1の半導体装置では、グリス抜けを抑制することは困難である。本明細書は、ブリードアウトやポンピングによるグリス抜けを抑制する技術を提供する。
本願の発明者らは、グリス抜けの現象を子細に観察した結果、グリスが抜ける方向に特徴があることに気が付いた。放熱板あるいは冷却部材は、平面度を高めるために研磨される。発明者らは、研磨によって生じる研磨痕に沿ってグリスが移動し易いことに気が付いた。研磨痕は、研磨加工に伴って生成される平行な筋状の突条群である。研磨痕は、ツールマークとも呼ばれている。研磨痕の突条の高さは十ミクロン未満である。そのような微細な突条群がグリスの移動方向を規制する。
別言すれば、グリスは、研磨痕を横切るようには移動し難い。この現象を利用し、研磨痕の延伸方向のグリスの移動を抑制できれば、グリス抜けを抑制することができる。そこで、発明者らは、研磨痕の延伸方向の両端部の表面粗さを大きくする、ということを発案した。グリスは、突条群を横切る方向には移動し難い。他方、突条群の延伸方向の両端部に表面粗さの大きい領域を設けることでそこにグリスが留まる。隣接する突条間のグリスは、両端部にグリスが留まることで、結局、突条に沿っても移動できなくなる。こうして、放熱板と冷却部材の間に塗布されているグリスはいずれの方向へも放熱板の外へと抜け難くなる。そして、表面粗さを大きくする部位を突条群の延伸方向の両端部に限定できるので、初期の冷却効率がそれほど下がることはない。もちろん、研磨痕と同等の平行な筋状の突条群を設けるとともに、突条群の延伸方向の両端部の表面粗さを大きくすることでも同等の効果が得られる。
本明細書が開示する半導体装置は、半導体素子を封止したパワーカードと冷却部材を備えている。パワーカードと冷却部材は積層されている。パワーカードの冷却部材と対向する面には放熱板が露出している。放熱板と冷却部材の間にはグリスが塗布されている。放熱板の冷却部材の互いに対向する面の一方であって積層方向(パワーカードと冷却部材の積層方向)からみたときに放熱板と冷却部材が重なる領域(重畳領域)に、複数の平行な突条が設けられている。複数の突条は、積層方向から見たときに、重畳領域の一方の端部から他方の端部まで伸びている。そして、両方の端部の表面粗さが、両方の端部の間の領域における隣接する突条間の平坦面の表面粗さより大きくなっている。グリスは、突条群を超えては移動し難く、また、突条群の延伸方向の両端部では表面粗さが大きくグリスが留まるようになっているので、突条間のグリスは突条に沿っても移動し難い。こうしてグリス抜けが抑制される。
そして、上述の構成によれば、表面粗さを大きくする範囲は、端部だけでよい。従って、表面粗さを大きくする部分を限られた範囲に限定することができ、放熱板と冷却部材の間の熱抵抗の増大を抑えることができる。なお、突条群は、もともとの放熱板(あるいは冷却部材)の表面から突出しているので、放熱板と冷却部材の間の平均間隔を大きくすることはない。
本明細書が開示する技術によれば、ブリードアウトやポンピングによるグリス抜けを抑制することができる。本明細書が開示する技術の詳細とさらなる改良は以下の「発明を実施するための形態」にて説明する。
図面を参照して実施例の半導体装置を説明する。図1は、第1実施例の半導体装置2の斜視図である。半導体装置2は、複数のパワーカード10と複数の冷却器3が積層されたユニットである。なお、図1では、一つのパワーカードだけに符号10を付し、他のパワーカードには符号を省略している。同様に一つの冷却器だけに符号3を付し、他の冷却器には符号を省略している。また、半導体装置2の全体が見えるように、半導体装置2を収容するケース31は仮想線で描いてある。なお、パワーカード10と絶縁板6の間、及び、絶縁板6と冷却器3の間にはグリスが塗布されているが、図1と図2ではグリスの図示は省略している。
一つのパワーカード10には4個の半導体素子が収容されている。4個の半導体素子は、具体的には、2個のトランジスタTa、Tbと、2個のダイオードDa、Dbである。パワーカード10の内部構造は後に詳しく説明する。冷却器3を通る冷媒により、半導体素子が冷却される。冷媒は液体であり、典型的には水である。
パワーカード10と冷却器3は、共に平板型であり、複数の側面のうち最大面積の平坦面が対向するように積層されている。パワーカード10と冷却器3は交互に積層されており、ユニットの積層方向の両端には冷却器が位置している。パワーカード10と冷却器3の間には絶縁板6が挟まれている。各パワーカード10は、積層方向の両面の夫々に、絶縁板6を挟んで冷却器3が対向している。
複数の冷却器3は、連結パイプ5a、5bで連結されている。積層方向の一端の冷却器3には、冷媒供給管4aと冷媒排出管4bが連結されている。冷媒供給管4aを通じて供給される冷媒は、連結パイプ5aを通じて全ての冷却器3に分配される。冷媒は各冷却器3を通る間に隣接するパワーカード10から熱を吸収する。各冷却器3を通った冷媒は連結パイプ5bを通り、冷媒排出管4bから排出される。
半導体装置2はケース31に収容される際、積層方向の一端側に板バネ32が挿入される。その板バネ32により、パワーカード10と絶縁板6と冷却器3の積層ユニットには、積層方向の両側から荷重が加えられる。その荷重は、例えば3[kN]である。後述するように絶縁板6とパワーカード10の間にはグリスが塗布されるが、3[kN]という高い荷重は、グリスの層を薄く引き延ばし、パワーカード10から冷却器3への伝熱効率を高める。パワーカード10は、直接的には絶縁板6に熱を奪われる。それゆえ、絶縁板6は、冷却部材に相当する。半導体装置2は、半導体素子(2個のトランジスタTa、Tbと2個のダイオードDa、Db)を収容したパワーカード10にグリスを挟んで絶縁板6(冷却部材)が接しているとともに、パワーカード10と絶縁板6が密着するようにそれらの積層方向に荷重が加えられているデバイスである。
パワーカード10を説明する。パワーカード10において、絶縁板6と対向する一方の側面10aには、放熱板16a、16bが露出している。放熱板16a、16bにはグリスを挟んで絶縁板6が接しており、その絶縁板6にはグリスを挟んで冷却器3が接している。説明の便宜上、側面10aが位置する側をパワーカード10の正面と称する。パワーカード10を裏面(X軸の負方向)から見た図を図2に示す。側面10aとは反対側の側面10bには、別の放熱板17が露出している。放熱板17にはグリスを挟んで別の絶縁板6が接しており、その絶縁板6にはグリスを挟んで別の冷却器3が接している。パワーカード10の上面(図中Z軸の正方向を向く面)からは3本の電極端子7a、7b、7cが伸びており、下面(図中Z軸方向の負方向を向く面)からは制御端子29が伸びている。
ここからは、図1、図2とともに図3と図4を参照してパワーカード10の内部構造を説明する。図3は、図1のパワーカード10を図中の座標系のXY面に平行な平面であってトランジスタTaとTbを横切る平面でカットした断面図である。図4は、図1のパワーカード10を図中の座標系のXZ面に平行な平面でカットした断面図であってトランジスタTaとダイオードDaを横切る平面でカットした断面図である。別言すれば、図4は図3のIV−IV線に沿った断面図であり、図3は図4のIII−III線に沿った断面図である。
4個の半導体素子(トランジスタTa、Tb、ダイオードDa、Db)は、樹脂製の筐体13に封止されている。筐体13は、射出成形により半導体素子を封止する。いずれの半導体素子も平坦なチップであり、その平坦面が筐体13の側面(パワーカード10の側面10a、10b)と平行になるように配置されている。なお、以下ではパワーカード10の側面10a、10bを筐体13の側面10a、10bと称する場合がある。
トランジスタTa、TbはIGBTである。トランジスタTa、Tbはコレクタ電極、エミッタ電極、ゲート電極を有している。トランジスタTa(Tb)のチップの一方の平坦面にはコレクタ電極が露出しており、他方の平坦面にはエミッタ電極が露出している。トランジスタTa(Tb)のゲートは、チップの一方の平坦面の端に設けられている。トランジスタTaの一方の平坦面の電極はハンダ15により放熱板16aの裏面に接合している。放熱板16aのおもて面は、筐体13の側面10aに露出している。なお、放熱板において、筐体13から露出している側の面を「おもて面」と称し、反対側の面を「裏面」と称する。一方、トランジスタTaの他方の平坦面の電極は、ハンダ15と導電部材(スペーサ14)を介して放熱板17の裏面に接合している。放熱板17のおもて面は、筐体13の側面10bに露出している。トランジスタTaの他方の平坦面の端にはゲートが位置しており、そのゲートはワイヤを介して制御端子29に接続されている。図4では、ワイヤは破線で描いてある。トランジスタTbも同様の構成を有しており、トランジスタTbのコレクタ電極、エミッタ電極は夫々放熱板16b、17に接続されている。
図4によく示されているように、放熱板16aは、電極端子7aの一部である。筐体内部で放熱板16aの側縁から延設部が伸びており、その延設部は筐体13の内部を通り、筐体13の上面(図中の座標系のZ軸正方向を向く面)から外部へ伸びている。即ち、トランジスタTaの電極を外部の他のデバイスと接続するための電極端子7aにおいて、筐体13の側面10aに露出している部位が放熱板16aに相当する。電極端子7aはトランジスタTaの電極と接しているので、トランジスタTaの内部の熱を伝えやすい。その電極端子7aの一部が放熱板16aとして筐体13から露出しているので、放熱板16aにはトランジスタTaの内部の熱がよく伝わる。一方、冷却器3はアルミニウム(導電性の金属)で作られているので、放熱板16aと絶縁する必要がある。それゆえ、半導体装置2は、冷却器3と放熱板16a(パワーカード10)との間に絶縁板6を挟んでいる。絶縁板6は、薄くて絶縁性が高く、伝熱性も良いセラミックスで作られている。放熱板16a(電極端子7a)は、導電性と伝熱性に優れた銅で作られている。スペーサ14も、導電性と伝熱性に優れた銅で作られている。
ダイオードDa、Dbも平坦なチップであり、一方の平坦面にアノード電極が露出しており、他方の平坦面にカソード電極が露出している。ダイオードDaの一方の平坦面に露出している電極は、トランジスタTaと同様に、ハンダ15を介して放熱板16aの裏面に接続している。ダイオードDaの他方の平坦面に露出している電極も、トランジスタTaと同様に、ハンダ15とスペーサ14を介して放熱板17の裏面に接続している。即ち、トランジスタTaとダイオードDaは、放熱板16a(即ち電極端子7a)と放熱板17の間で並列(逆並列)に接続されている。放熱板17も、放熱板16aと同様に電極端子7cの一部である。
トランジスタTbとダイオードDbの組も、トランジスタTaとダイオードDaの組と同様の構造を有している。トランジスタTaとダイオードDbの一方の面の電極はハンダ15を介して放熱板16bの裏面に接続されており、他方の面の電極はハンダ15とスペーサ14を介して放熱板17の裏面に接続している。トランジスタTbとダイオードDbも、筐体13の内部で並列(逆並列)に接続されている。放熱板16bも、放熱板16aと同様に、電極端子7bの一部である。
放熱板16a、16bは、平板型のパワーカード10(筐体13)の最大面積の一方の側面10aに露出しており、放熱板17は、パワーカード10(筐体13)の最大面積の他方の側面10bに露出している。図3、及び、図4によく示されているように、絶縁板6と放熱板16aとの間にはグリス9が塗布されている。同様に、絶縁板6と放熱板16b、17の間にもグリス9が塗布されている。絶縁板6と冷却器3の間の夫々にもグリス9が塗布されている。
放熱板のおもて面について、図5、図6を参照して説明する。図5に、パワーカード10の正面図を示し、図6に、パワーカード10の裏面図を示す。図5は、パワーカード10をX軸の正方向から見た図であり、図6は、パワーカード10をX軸の負方向からみた図である。図5、図6では、絶縁板6が仮想線で描かれている。トランジスタTa、Tb及びダイオードDa、Dbは破線で描かれている。また、図5、図6では、グリスが塗布されている領域が二点鎖線Gで描かれている。後述する図9についても、グリスが塗布されている領域が二点鎖線領域Gで描かれている。
図5に示すように、放熱板16aは、平面視したときに周囲を樹脂製の筐体13に囲まれている。また、放熱板16aは平面視したときにその全体が絶縁板6と重なっている。即ち、放熱板16aの全面が、パワーカード10と絶縁板6をそれらの積層方向からみたときに、放熱板16aと絶縁板6が重なっている領域に相当する。
図5に示すように、放熱板16aは、平面視したとき、直交する2方向で長さが異なっている。放熱板16aのZ軸方向の長さをL1と称し、Y軸方向の長さをL2と称する。放熱板16aはL1>L2である。即ち、Z軸方向が放熱板16aの長手方向となり、Y軸方向が放熱板16aの短手方向となる。放熱板16bも放熱板16aと同様である。また、図6に示すように、放熱板17も平面視したときに直交する2方向で長さが異なっている。放熱板17のY軸方向の長さをL3と称し、Z軸方向の長さをL4と称する。放熱板17はL3>L4である。即ち、Y軸方向が放熱板17の長手方向となり、Z軸方向が放熱板17の短手方向となる。放熱板16a、16bの長手方向と放熱板17の長手方向は互いに直交する。
放熱板16aのおもて面(筐体13の側面10aに露出している面)には、突条群46が設けられている。突条群46は複数の筋状の突条の集合である。放熱板16aから絶縁板6への伝熱効率を高めるにはそれらの間のグリスの厚みは薄い方がよい。放熱板16aと絶縁板6の間の間隔を小さく保つために、放熱板16aのおもて面はできるだけ平坦になるように研磨される。突条群46は、放熱板16aを研磨した際に不可避的に生じる研磨痕(ツールマーク)である。以下では、複数の突条(突条群)を集合的に表すときには突条群46と称し、個々の突条を表すときには突条46aと称する。突条群46は、平行に放熱板16aの長手方向(Z軸方向)に沿って伸びている。そして、突条群46は放熱板16aのおもて面上のZ軸正方向における一方の端部44aからZ軸負方向における他方の端部44bまで伸びている。端部44a、44bは、積層方向(X軸方向)からみたときに放熱板16aと絶縁板6が重なる領域の端部に相当する。端部44a、44bは、放熱板16aのおもて面上の面領域である。そして、後述するように端部44a、44bの表面粗さは、端部44aと端部44bの間の領域において隣接する突条46aの間の平坦面16c(図7を参照)の表面粗さより大きくなっている。本明細書では、「表面粗さ」は「算術平均粗さRa」の意味で用いる。ここで、記号「Ra」は、算術平均粗さを示す場合に当業者が日常的に用いる記号であり、本明細書でもその例に倣い用いる。突条群46のZ軸正方向における先端は、端部44aのZ軸負方向における外縁と接続している。突条群46のZ軸負方向における先端は、端部44bのZ軸正方向における外縁と接続している。
図5では、パワーカード10に封止されている4個の半導体素子(トランジスタTa、Tb、ダイオードDa、Db)を破線で描いている。図5に示すように、パワーカード10を平面視したときに(放熱板16aのおもて面と直交する方向からみたときに)、突条群46が設けられている領域とトランジスタTa、ダイオードDaが重なっている。一方、パワーカード10を平面視したときに端部44a、44bとトランジスタTa、ダイオードDaが重なっていない。
図5の二点鎖線領域Gによく示されているように、グリス9は放熱板16aのおもて面の全面に塗布されている。別言すれば、放熱板16aの絶縁板6と対向する面の全面にグリス9が塗布されている。即ち、グリス9は、放熱板16aの突条群46が設けられている放熱板16aの面領域だけでなく、端部44a、44bにも塗布されている。
突条群46の形状について説明する。図7は、図5のVII−VII線における放熱板16aの部分断面図である。突条群46は、放熱板16aのおもて面から、その直交する方向に突出している。また、突条群46は、先に述べたように、放熱板16aの長手方向に伸びる複数の突条である。突条群46の各突条46aの高さを符号H1で示す。図中では1つの突条に符号H1を付しているが、他の突条についてもその高さはH1である。即ち、符号H1は突条群46の平均高さに相当する。また、隣接して平行に伸びる突条46aの間隔を符号W1で示す。図中では1つの間隔に符号W1を付しているが、他の突条の間隔についてもその長さはW1である。即ち、符号W1は突条群46の平均間隔に相当する。端部44aと端部44bの間の領域における隣接する突条46aの間の平面を平坦面16cと称する。平坦面16cの表面粗さ(算術平均粗さRa)は、突条群46の平均高さH1よりも小さい。
放熱板16aのおもて面上の端部44aの断面形状について説明する。図8は、図5のVIII−VIII線における放熱板16aの部分断面図である。図の見易さのため、図7より拡大して描いている。図8には、絶縁板6の断面図も描かれている。絶縁板6と放熱板16aとの間隔は実際より狭く描かれている。図8に示すように端部44aの表面は凹凸になっている。破線CLは、凹凸を平滑化して放熱板16aの表面を仮想的な直線で表した線(以下、中心線CLと称する)を示している。図8では、端部44aの凹凸と比較するため、突条群46及び平坦面16cを仮想線で描いてある。中心線CLと絶縁板6との距離D2は、平坦面16cと絶縁板6との距離D1より大きい。距離D2は端部44aと絶縁板6との平均間隔に相当する。突条群46aの延伸方向から見たとき、中心線CLは平坦面16cより下方に位置している。
端部44aの算術平均粗さRaは、中心線CLからの凸部の高さH2と中心線CLからの凹部の深さH3の基準長さ(中心線CLに沿った基準長さ)当たりの平均値である。図8に示すように、端部44aの算術平均粗さRaは、平坦面16cの算術平均粗さRaよりも大きくなっている。また、図8に示すように、突条群46の平均高さH1は、概ね凸部の高さH2及び凹部の深さH3よりも小さい。即ち、端部44aの算術平均粗さRaが突条群46の平均高さH1より大きい。
また、図8に示すように、端部44aの凹凸の間隔W2は、突条群46の平均間隔W1よりも小さい。即ち、放熱板16aの長手方向(Z軸方向)から見たとき、隣接する突条の間には、端部44aの凹凸が少なくとも1つは存在している。別言すれば、端部44aの粗さ曲線要素の平均長さRsmが突条群46の平均間隔W1よりも小さい。ここで、「粗さ曲線要素の平均長さRsm」は、中心線CL方向の基準長さにおける粗さ曲線に含まれる凹凸の間隔を平均した値である。ここで、記号「Rsm」は、粗さ曲線要素の平均長さを示す場合に当業者が日常的に用いる記号であり、本明細書でもその例に倣い用いる。実施例においては、端部44aの粗さ曲線要素の平均長さRsmは凹凸の間隔W2の基準長さにおける平均値となる。また、さらに別言すれば、隣接する突条46aの間の平坦面16cを突条群46の延伸方向(Z軸方向)に沿って延長した平面と端部44aとが重なる面領域において、その面領域の表面粗さが平坦面16cの表面粗さより大きい。
放熱板16bのおもて面にも、放熱板16aの突条群46と同様の突条群49が設けられている。突条群49は放熱板16bのおもて面上のZ軸正方向における一方の端部44cからZ軸負方向における他方の端部44cまで伸びている。パワーカード10を平面視したとき、トランジスタTbとダイオードDbは突条群49が設けられた領域に重なっており、端部44c、44dとは重なっていない。突条群49の形状は、突条群46の形状と同じであり、端部44c、44dの表面粗さは端部44a、44bの表面粗さと同じである。
また、図6に示すように、パワーカード10の裏面に位置する放熱板17のおもて面にも、放熱板16aの突条群46と同様の突条群47が設けられている。突条群47は放熱板17のおもて面上のY軸正方向における一方の端部45aからY軸負方向における他方の端部45bまで伸びている。即ち、突条群47は、放熱板17の長手方向(Y軸方向)に沿って伸びている。パワーカード10を平面視したときトランジスタTa、TbとダイオードDa、Dbは突条群47が設けられた領域に重なっており、端部45a、45bとは重なっていない。突条群47の形状は、突条群47の形状と同じであり、端部45a、45bの表面粗さは端部44a、44bの表面粗さと同じである。
半導体装置2では、グリスの層が薄いほどパワーカードに対する冷却能力が高まる。上述したように、半導体装置2では、パワーカード10と絶縁板6と冷却器3の積層ユニットに板ばね32により積層方向に荷重が加えられ、グリス9の層が薄く延ばされる。グリスの厚みは20〜40ミクロン程度であることが好ましい。グリスの厚みが数十ミクロンオーダになると、半導体素子の発熱と冷却の繰り返し(熱サイクル)で生じるポンピングやブリードアウトと呼ばれる現象によりグリスが流出する虞がある。上述したように、放熱板16aは、平坦に研磨される。平坦な面上ではグリスは移動しやすくなる。そのため、平坦な面上ではブリードアウト等によるグリス抜けも起きやすい。一方、放熱板16aのおもて面を複数の凹部を設けることにより粗くすれば、グリスがその場に留まりやすくなる。放熱板16aのおもて面に凹部を設けると、ブリードアウト等によるグリス抜けが起き難くなる。しかし、放熱板16aに凹部を設けると放熱板16aと絶縁板6の平均間隔が大きくなってしまう。その結果、グリスを介した放熱板16aと絶縁板6の間の熱抵抗が増大してしまう。即ち、放熱板16aと絶縁板6の間がグリスで満たされているときのパワーカードの冷却効率(初期の冷却効率)そのものが下がってしまう。
ポンピングとは、パワーカードの熱変形により、パワーカードと冷却部材の間の隙間幅が局所的に狭まったり元に戻ったりする現象である。隙間幅が狭まるとグリスがパワーカードと冷却部材に圧縮され、グリスは放熱板の周囲へと拡がる。隙間幅が元に戻る際にグリスは隙間に吸い込まれる。ここで、隙間幅が元に戻る際に放熱板の外まで拡がったグリスの一部が放熱板の外に流出したままの状態になる場合がある。グリスの一部が放熱板の外に流出したままの状態になると、流出したグリスの一部が千切れることにより生じた隙間に空気が入り込む。空気はグリスよりも熱伝導率が低い。隙間に空気が入り込むことにより放熱板と冷却部材の間の熱抵抗が上昇する。また、ブリードアウトは、グリス自体の熱膨張収縮によりパワーカードと冷却部材の隙間からグリスが抜ける現象である。グリスが膨張すると、グリスは放熱板の周囲へと拡がる。膨張した際に放熱板の外まで拡がったグリスの一部が放熱板の外に流出したままの状態になる場合がある。これにより、ポンピングと同様に、流出したグリスの一部が千切れることにより生じた隙間に空気が入り込み、放熱板と冷却部材の間の熱抵抗が上昇する。
上述した半導体装置2の放熱板16aのおもて面には、平行に伸びる突条群46が設けられており、突条群46の両端の延伸方向の先には、隣接する突条46a間の平坦面16cよりも表面粗さの大きい端部44a、44bが設けられている。グリスは、突条群46を横切るようには移動し難い。一方、突条群46の延伸方向の両端部44a、44bは表面粗さが大きく、端部44a、44bにはグリスが留まりやすくなっている。それゆえ、隣接する突条46aの間のグリスは、端部44a、44bにグリスが留まることで、突条の延伸方向にも移動し難い。結果、放熱板16a上のグリスはどの方向にも移動し難くなり、グリス抜けが抑制される。
また、放熱板16aのグリス9が位置するおもて面において、表面粗さを大きくする箇所は、端部44a、44bだけでよい。放熱板16aは、表面の平坦度を大きくするために研磨されており、一端研磨された表面の表面粗さを大きくするには、レーザ光のスポッティングが適している。レーザ光が照射された先が溶融することで放熱板16aの表面に凹部が形成される。レーザ光により表面粗さを大きくすると、形成される凹部により放熱板16aと絶縁板6の間の平均間隔が大きくなってしまう。放熱板16aと絶縁板6の間の平均間隔が大きくなると、隙間がグリスで満たされたときの放熱板16aと絶縁板6の間の熱抵抗が増大してしまう。実施例の半導体装置では、表面粗さを大きくする部分を半導体素子から遠い限られた範囲に収めることができ、熱抵抗の増大を抑えることができる。
また、突条群46は、放熱板16aのおもて面から絶縁板6に向かって突出している。即ち、放熱板16aと絶縁板6の間の平均間隔を小さくする方向に働く。従って、突条群を採用することで、熱抵抗を小さくしつつグリス抜けを抑制することができる。
さらに、半導体装置2は以下の特徴も備えている。放熱板16aは平面視したときに直交する2方向で長さが異なっており、突条群46が放熱板16aの長手方向に伸びている。このような構成によれば、短手方向に沿うように突状群を設ける場合と比較して端部の領域を小さくすることができる。すなわち、表面粗さを大きくする領域を小さくできる。
また、パワーカード10を平面視したときに突条群46が設けられた領域と半導体素子(トランジスタTa、Da)が重なっている。表面粗さが大きくなっている端部44a、44bは半導体素子と重なっていない。このような構成によれば、端部44a、44bの表面粗さを大きくしても半導体装置2の冷却効率に与える影響は小さい。
また、端部44a、44bの算術平均粗さRaが突条群46の平均高さH1より大きい。このような構成によれば、端部の凹凸によるグリスの流れに対する抵抗をより大きくすることができる。即ち、端部にグリスが留まりやすくなる。従って、グリス抜けの抑制効果を高めることができる。
放熱板16b(17)についても、放熱板16aと同様の突条群49(47)及び端部44c、44d(45a、45b)を備えている。突条群49(47)及び端部44c、44d(45a、45b)も、グリス抜けの抑制に貢献する。
上述の実施例では、突条群と突条群の延伸方向における両端に位置している端部は放熱板のおもて面上に設けられていたが、それらは冷却部材である絶縁板に設けられても良い。その場合、絶縁板の放熱板と対向する面の面上に突条群と端部が設けられる。端部は、積層方向(図中のX軸方向)からみたときに絶縁板と放熱板が重なっている領域の端部である。絶縁板に設けられる突条群と端部も、グリス抜けの抑制に貢献する。
絶縁板に突条群と端部を設ける場合、端部を絶縁板と筐体表面との間には設けない。これは、樹脂製の筐体表面は金属製の放熱板よりもグリスとの親和性が高く、一旦、放熱板上から筐体表面上へ移動したグリスは放熱板上へ戻り難くなるからである。
図9を参照して半導体装置2の変形例について説明する。変形例の半導体装置は、放熱板以外の構成は、上述の実施例と同じである。以下、変形例の放熱板について説明する。図9は、変形例のパワーカード110の正面図を示す。パワーカード110の放熱板116aのおもて面には、複数の平行に伸びる湾曲した突条群146が残っている。突条群146も、研磨の際に不可避的に残ってしまう研磨痕(ツールマーク)である。なお、個々の突条を表すときには突条146aと称する。放熱板を研磨する研磨機は通常、研磨粉が塗布された回転円板を有する。そのため、ツールマーク(突条群146)は、図9に示すように湾曲する。突条群146は、湾曲しているが、概ね一方向(Y軸方向)に沿って伸びている。放熱板116aの面上のY軸方向の両端には、半導体装置2の放熱板16aにおける端部44a、44bと同様の端部144a、144bが設けられている。即ち、突条群146は、一方の端部144aから他方の端部144bに向かって伸びている。突条群146の形状は図7と同様であり、端部144a、144bの表面粗さも図8と同様である。以下では、図7の平均高さH1を突条群146の平均高さとしても用い、平均間隔W1を突条群146の平均間隔としても用いる。
端部144a、144bの加工方法について説明する。以下では端部144aで代表して説明する。まず、放熱板116aの全面が研磨される。研磨の際に、放熱板116aの全面に突条群146(ツールマーク)が残る。端部144aは、放熱板116aの全面に突条群146が残っている状態で、突条群146の上から端部144aに相当する面領域をレーザ光のスポッティングによって形成される。放熱板116aの面上にレーザを照射することで、その面上が溶融し凹部が形成されるとともに凹部の周りに溶融した材料が盛り上がる。その後冷えて溶融した材料が凝固することで凹凸が形成される。凹凸の凸部の高さH2と凹部の深さH3、即ち凹凸の算術平均粗さRaは、照射するレーザの強さにより調整することができる。照射するレーザを調整し、端部144aの算術平均粗さRaを突条群146の平均高さH1より大きくすることで、突条群146が形成されている上から、突条群146を消すように端部144a、144bを形成することができる。また、レーザを所定のピッチで照射することで端部144aに相当する面領域全面に凹凸面を形成することができる。所定のピッチは図8における凹凸の間隔W2に相当する。即ち、所定のピッチを突条群146の平均間隔W1より小さくすれば、端部144aの粗さ曲線要素の平均長さRsmを突条群146の平均間隔W1よりも小さくすることができる。
突条群146の平均高さH1は、6から7ミクロンである。突条群146の間隔W1は、500から700ミクロンである。また、端部144a(144b)の算術平均粗さRaは、10から50ミクロンである。端部144aの粗さ曲線要素の平均長さRsmは、20から50ミクロンである。
このような構成によれば、放熱板のおもて面を研磨した後に、そのおもて面に残るツールマークの上から表面粗さの大きい端部を形成することができる。変形例においても実施例と同様に、ポンピング等による放熱板と冷却部材(絶縁板)の間のグリス抜けを抑制することができる。
放熱板116bについても、放熱板116aと同様の突条群149及び端部1144c、144dを備えている。突条群149及び端部144c、144dも、グリス抜けの抑制に貢献する。なお、図示は省略するが、パワーカードの裏面に配置されている放熱板についても、放熱板116aと同様の突条群及び端部が設けられている。
以下、実施例で示した技術に関する留意点を述べる。半導体装置に使用される半導体素子(トランジスタ)は、IGBTに限らない。例えば、MOSFETでもよい。その場合、「コレクタ電極」は「ソース電極」、「エミッタ電極」は「ドレイン電極」と呼ばれる。また、突条群の間隔は同一でなくても良い。図9の変形例で示したように、突条群は湾曲していてもよい。また、突条群は、放熱板の長手方向/短手方向のどちらか一方向に沿って伸びていればよい。そして、突条群の延伸方向における両端に、突条群の各突条の間の平坦面より表面粗さの大きい端部が位置していればよい。また、変形例における突条群の延伸方向は放熱板の短手方向であったが、突条群を放熱板の長手方向に沿って伸ばしてもよい。
実施例の半導体装置は、放熱板上に残っている研磨痕を利用した。研磨痕は、表面研磨の際に不可避的に残ってしまう筋状の突条群である。研磨痕のかわりに、研磨痕と同等の突条群を放熱板上、または絶縁板上に設けても同じ効果を得られることができるのは言うまでもない。
平面視したときの放熱板の形状は、長手方向と短手方向の区別がつけばよい。例えば、平面視したときの放熱板の形状は楕円であってもよい。
実施例ではパワーカードの積層方向の両面に位置する放熱板上に突条群と端部を設けていたが、片側の面に位置する放熱板上のみに突条群と端部を設けてもよい。この場合、突条群と端部は発熱量が高い側に位置する放熱板に設けるとよい。例えば、半導体素子であるトランジスタの使用形態に応じて主にコレクタ電極に負荷がかかる場合、コレクタ電極の側に位置する放熱板に突条群と端部を設けるとよい。
図3と図4に示したように、冷却器3の内部は単純な空洞である。冷却器の内部空間には、絶縁板と接する側板の裏側に接するフィンを設けてもよい。
本明細書において「表面粗さ」とは、「算術平均粗さRa」を意味する。また、「端部」とは、放熱板上(あるいは冷却部材上)の面領域であって、その面領域に突条群の延伸方向における先端が含まれている場合と、その面領域に突条群の先端が含まれておらずその面領域が突条群の先端から延伸方向の先に位置している場合も含む。
以上、本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示に過ぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。本明細書または図面に説明した技術要素は、単独であるいは各種の組合せによって技術的有用性を発揮するものであり、出願時請求項記載の組合せに限定されるものではない。また、本明細書または図面に例示した技術は複数目的を同時に達成し得るものであり、そのうちの一つの目的を達成すること自体で技術的有用性を持つものである。
2:半導体装置
3:冷却器
4a:冷媒供給管
4b:冷媒排出管
5a:連結パイプ
5b:連結パイプ
6:絶縁板
7a、7b、7c:電極端子
9:グリス
10、110:パワーカード
13:筐体
14:スペーサ
15:ハンダ
16a、16b、17、116a、116b:放熱板
16c:平坦面
29:制御端子
31:ケース
32:板バネ
44a、44b、44c、45a、45b、144a、144b、144c、144d:端部
46、47、49、146、149:突条群
3:冷却器
4a:冷媒供給管
4b:冷媒排出管
5a:連結パイプ
5b:連結パイプ
6:絶縁板
7a、7b、7c:電極端子
9:グリス
10、110:パワーカード
13:筐体
14:スペーサ
15:ハンダ
16a、16b、17、116a、116b:放熱板
16c:平坦面
29:制御端子
31:ケース
32:板バネ
44a、44b、44c、45a、45b、144a、144b、144c、144d:端部
46、47、49、146、149:突条群
Claims (5)
- 半導体素子を封止したパワーカードと冷却部材がグリスを挟んで積層されている半導体装置であり、
前記パワーカードの前記冷却部材と対向する面に放熱板が露出しており、
前記放熱板と前記冷却部材の互いに対向する面の一方に、前記積層方向からみたときに前記放熱板と前記冷却部材が重なる領域の一方の端部から他方の端部まで伸びている平行な突条群が設けられており、
両方の前記端部の表面粗さが、両方の前記端部の間の領域における隣接する突条間の平坦面の表面粗さより大きいことを特徴とする半導体装置。 - 前記放熱板は平面視したときに直交する2方向で長さが異なっており、
前記突条群が前記放熱板の長手方向に沿って伸びていることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置。 - 前記突条群が前記放熱板の表面に残っている研磨痕であることを特徴とする請求項1又は2に記載の半導体装置。
- 前記端部の算術平均粗さRaが前記突条群の平均高さより大きいことを特徴とする請求項1から3のいずれか1項に記載の半導体装置。
- 前記パワーカードを平面視したときに前記突条群が設けられている範囲と前記半導体素子が重なっていることを特徴とする請求項1から4のいずれか1項に記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014193477A JP2016066663A (ja) | 2014-09-24 | 2014-09-24 | 半導体装置 |
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Cited By (2)
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---|---|---|---|---|
JP2018160499A (ja) * | 2017-03-22 | 2018-10-11 | トヨタ自動車株式会社 | 放熱型電子部品の製造方法 |
JP2020136519A (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-31 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
-
2014
- 2014-09-24 JP JP2014193477A patent/JP2016066663A/ja active Pending
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2020136519A (ja) * | 2019-02-20 | 2020-08-31 | トヨタ自動車株式会社 | 半導体装置 |
JP7215210B2 (ja) | 2019-02-20 | 2023-01-31 | 株式会社デンソー | 半導体装置 |
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