JP2016064561A - Method of manufacturing optical member plate and method of manufacturing optical member roll plate - Google Patents

Method of manufacturing optical member plate and method of manufacturing optical member roll plate Download PDF

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Kazuhiro Sasahara
一紘 笹原
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a method of manufacturing an optical member plate, by which a risk for wasting an original plate can be decreased and an optical member plate can be efficiently manufactured.SOLUTION: A method includes: a step of exposing the resist layer of a laminate for manufacturing an original plate including a substrate and a resist layer, based on a concavo-convex pattern of an optical member, and removing the resist layer in an exposed part or in an unexposed part to prepare an original plate 34; a step of bringing an uncured ionization radiation-curable resin into contact with the resist layer of the original plate, then curing the ionization radiation-curable resin, and releasing the original plate to prepare an electroforming sheet 37; a conductor-forming step of forming a conductive layer on a surface of the electroforming sheet on a side that has been in contact with the original plate; a step of depositing an electrolytic plating layer on the conductive layer; and a step of releasing the electroforming sheet to obtain an optical member plate.SELECTED DRAWING: Figure 5

Description

本発明は、表面に微細な凹凸を有する光学部材を作製するための型である光学部材用版を製造する方法、及び光学部材用ロール版を製造する方法に関する。詳しくは電鋳により当該光学部材用版を製造する方法、及び光学部材用ロール版を製造する方法に関する。   The present invention relates to a method for producing a plate for optical members, which is a mold for producing an optical member having fine irregularities on the surface, and a method for producing a roll plate for optical members. Specifically, the present invention relates to a method for producing the optical member plate by electroforming and a method for producing the optical member roll plate.

表示装置の多様化によりテレビ等は画面が大きくなる一方、携帯型の端末ではその性質上、画面はある程度の大きさに抑えられる。ただし、小さな画面であっても表示される画像の質は高いものが要求される。そのため、光学部材にはより微細な凹凸を適用し、その屈折や反射を利用して所望の光を出射できるような構成にして、画像の質の向上が図られる。   The screens of televisions and the like become larger due to diversification of display devices, while the screens of portable terminals can be suppressed to a certain size due to their properties. However, a high quality image is required even on a small screen. For this reason, finer unevenness is applied to the optical member, and a configuration in which desired light can be emitted by utilizing the refraction and reflection can improve the image quality.

このような微細な凹凸を有する光学部材を量産する方法の1つとして例えば特許文献1に記載の技術が開示されている。これには光学部材の凹凸に対応した凹凸を表面に有するシート状の型を準備し、複数のシート状の型をロールに巻き付け、隣り合うシート状の型同士は接合される形態のロール版が開示されている。   For example, a technique described in Patent Document 1 is disclosed as one method for mass-producing an optical member having such fine irregularities. For this, a sheet-shaped mold having irregularities corresponding to the irregularities of the optical member on the surface is prepared, a plurality of sheet-shaped molds are wound around a roll, and adjacent sheet-shaped molds are bonded to each other. It is disclosed.

特開2008−296466号公報JP 2008-296466 A

特許文献1に記載の発明によれば、原版に対して電鋳をしてこれを離型することによりシート状の型を得る。しかしながら、電鋳では外観不良が生じやすいとともに、原版にレジストが用いられるときには電鋳によるシート状の型を離型する際にレジストの一部が壊れ、シート状の型側にこの壊れたレジストが付着して適切に離型することができないことがあった。このような不具合が生じると原版は再度使用することができず、廃棄せざるを得ないので非常に無駄である。原版はその性質上高価になることが多いので、このような不具合で原版を無駄にすることは回避しなければならない。   According to the invention described in Patent Document 1, a sheet-like mold is obtained by electroforming the original plate and releasing it. However, in electroforming, appearance defects tend to occur, and when a resist is used for the original, a part of the resist is broken when the electroformed sheet mold is released, and the broken resist is formed on the sheet mold side. In some cases, it could adhere and not be released properly. If such a problem occurs, the original plate cannot be used again and must be discarded, which is very wasteful. Since the original is often expensive due to its nature, it must be avoided that the original is wasted due to such a problem.

そこで本発明は上記問題を鑑み、原版を無駄にするリスクを低減し、効率よく製造をすることができる光学部材用版の製造方法を提供することを課題とする。また、光学部材用ロール版の製造方法を提供する。   In view of the above problems, it is an object of the present invention to provide a method for manufacturing a plate for an optical member that can reduce the risk of wasting the original plate and can be efficiently manufactured. Moreover, the manufacturing method of the roll plate for optical members is provided.

以下、本発明について説明する。わかりやすさのため、ここでは括弧書きで図面の参照符号を付記するが、本発明はこれに限定されるものではない。   The present invention will be described below. For ease of understanding, reference numerals in the drawings are appended here in parentheses, but the present invention is not limited to this.

請求項1に記載の発明は、光学部材用の版(22)を製造する方法であって、基板(30)、及びレジスト層(32)を有する原版作製用積層体(33)のレジスト層に対して光学部材が有する凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去して原版(34)を作製する工程と、原版のレジスト層に未硬化の電離放射線硬化樹脂を接触させた後に該電離放射線硬化樹脂を硬化させ、原版を離型して電鋳用シート(37)を作製する工程と、電鋳用シートのうち原版に接触していた側の面に導電層(38)を形成する導体化処理工程と、導電層に電解メッキ層(39)を積層させる工程と、電鋳用シートを離型して光学部材用版を得る工程と、を含む、光学部材用版の製造方法である。   The invention according to claim 1 is a method for producing a plate (22) for an optical member, comprising: a substrate (30); and a resist layer of a master preparation laminate (33) having a resist layer (32). On the other hand, exposure is performed based on the uneven pattern of the optical member, and the resist layer in the exposed or unexposed part is removed to prepare an original (34), and the original resist layer is uncured. A step of contacting the ionizing radiation curable resin and then curing the ionizing radiation curable resin, releasing the original plate to produce an electroforming sheet (37), and the side of the electroforming sheet in contact with the original plate Forming a conductive layer (38) on the surface, a step of laminating an electroplating layer (39) on the conductive layer, a step of releasing an electroforming sheet to obtain a plate for an optical member, Is a method for producing a plate for an optical member.

請求項2に記載の発明は、請求項1に記載の方法により光学部材用版(22)を製造する工程と、製造した光学部材用版を円筒状のロール(21)に巻きつける工程と、を含む、光学部材用ロール版(20)の製造方法である。   Invention of Claim 2 manufactures the plate for optical members (22) by the method of Claim 1, the step of winding the manufactured plate for optical members around a cylindrical roll (21), It is a manufacturing method of the roll plate (20) for optical members containing.

本発明によれば、原版に対して直接電鋳をする必要がないため、原版が電鋳により破損することがなく、原版を再利用できる可能性を高めることができる。これにより高価である原版の破損を回避することができ、効率よく安価に光学部材用版、光学部材用ロール版を製造することが可能である。   According to the present invention, since it is not necessary to directly perform electroforming on the original plate, the original plate is not damaged by electroforming, and the possibility that the original plate can be reused can be increased. As a result, damage to the expensive original plate can be avoided, and an optical member plate and an optical member roll plate can be produced efficiently and inexpensively.

図1(a)は光学部材10の平面図、図1(b)は光学部材10の一部の断面図である。FIG. 1A is a plan view of the optical member 10, and FIG. 1B is a partial cross-sectional view of the optical member 10. ロール版20の斜視図である。2 is a perspective view of a roll plate 20. FIG. 図3(a)は光学部材用版22の平面図、図3(b)はその一部を拡大した図である。3A is a plan view of the optical member plate 22, and FIG. 3B is a partially enlarged view thereof. 図4(a)〜図4(c)は光学部材用版22を作製する各場面を説明する図である。FIG. 4A to FIG. 4C are diagrams for explaining each scene for producing the optical member plate 22. 図5(a)、図5(b)は光学部材用版22を作製する各場面を説明する図である。FIG. 5A and FIG. 5B are diagrams for explaining each scene for producing the optical member plate 22. 図6(a)〜図6(c)は光学部材用版22を作製する各場面を説明する図である。FIG. 6A to FIG. 6C are diagrams illustrating scenes for producing the optical member plate 22. ロール21に光学部材用版22を巻きつける場面を説明する図である。It is a figure explaining the scene where the plate 22 for optical members is wound around the roll 21. FIG. 賦形シート40を説明する図である。It is a figure explaining the shaping sheet. ロール版20により賦形シート40を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process which produces the shaping sheet 40 with the roll plate. 賦形シート40を用いて光学部材10を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process in which the optical member is produced using the shaping sheet. 押し出し法にてロール版20から光学部材10を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process in which the optical member 10 is produced from the roll plate 20 by the extrusion method. 他の形態の光学部材110を説明する図である。It is a figure explaining the optical member 110 of another form. 光学部材110を作製する過程の一場面を説明する図である。It is a figure explaining one scene of the process in which the optical member 110 is produced.

以下、本発明を図面に示す形態に基づき説明する。ただし、本発明はこれら形態に限定されるものではない。なお、以下に示す図面では分かりやすさのため部材の大きさや比率を変更または誇張して記載することがある。また、見やすさのため繰り返しとなる符号は省略することがある。   Hereinafter, the present invention will be described based on embodiments shown in the drawings. However, the present invention is not limited to these forms. In the drawings shown below, the size and ratio of members may be changed or exaggerated for easy understanding. Moreover, the code | symbol which becomes repeated may be abbreviate | omitted for legibility.

初めに、光学部材10について説明する。光学部材10は後述する光学部材用版22を含むロール版20を用いて製造される光学部材であり、シート状の光学部材である。ここで光学部材としては例えば導光板、プリズムシート、レンズシート、回折構造体、モスアイ構造体等、表面に形成された凹凸により光を制御する光学部材全般を対象とすることができる。
図1(a)は光学シート10の平面図、図1(b)は図1(a)にIa−Iaで示した矢視断面図である。
First, the optical member 10 will be described. The optical member 10 is an optical member manufactured using a roll plate 20 including an optical member plate 22 described later, and is a sheet-like optical member. Here, the optical member can be a general optical member that controls light by unevenness formed on the surface, such as a light guide plate, a prism sheet, a lens sheet, a diffractive structure, and a moth-eye structure.
1A is a plan view of the optical sheet 10, and FIG. 1B is a cross-sectional view taken along line Ia-Ia in FIG.

光学部材10は光制御層12を有しており、該光制御層12は光透過性を有するシート状の部材である。また、光制御層12は、その少なくとも一方の面には凹凸が形成され、凹凸部13とされている。   The optical member 10 has a light control layer 12, and the light control layer 12 is a sheet-like member having light transmittance. Further, the light control layer 12 is provided with irregularities on at least one surface thereof to form an irregularity portion 13.

本例の凹凸部13では、図1(a)、図1(b)からわかるように微小な凹凸が繰り返されている。例えば、凹凸部13では、矩形断面の凸部13aと矩形断面の凹部13bとが光制御層12の長手方向に繰り返され、この断面を維持して光制御層12の幅方向に一次元的に延びている。この凹凸は微細に形成されており、凹部の深さは0.5μm以上3.0μm以下程度である。凹部の底幅及び凸部の頂部幅は1μm以上30μm以下程度とされる。例えば凸形状の場合には凹部の底幅は5μm以上30μm以下、凸部の頂部幅は1μm以上10μm以下に形成され、凹形状の場合には凸部の頂部幅が5μm以上30μm以下、凹部の底幅は1μm以上10μm以下に形成される。   In the concavo-convex portion 13 of this example, minute undulations are repeated as can be seen from FIGS. 1 (a) and 1 (b). For example, in the concavo-convex portion 13, a convex portion 13 a having a rectangular cross section and a concave portion 13 b having a rectangular cross section are repeated in the longitudinal direction of the light control layer 12, and this cross section is maintained to be one-dimensionally in the width direction of the light control layer 12. It extends. The unevenness is finely formed, and the depth of the recess is about 0.5 μm to 3.0 μm. The bottom width of the concave portion and the top width of the convex portion are about 1 μm or more and 30 μm or less. For example, in the case of a convex shape, the bottom width of the concave portion is 5 μm to 30 μm and the top width of the convex portion is 1 μm to 10 μm. In the case of the concave shape, the top width of the convex portion is 5 μm to 30 μm. The bottom width is formed to be 1 μm or more and 10 μm or less.

凹凸部の形状は本形態に限られることなく、他の形態が適用されたり、複数の態様が複合して用いられたりしてもよい。他の形態の凹凸部としては例えば、所定の断面を有して光制御層の幅方向に対して斜めになるように延びる形態、複数の錐状の凸部が平面視で縦横に配列されるような二次元的な形状を有する形態、等を挙げることができる。   The shape of the concavo-convex portion is not limited to this form, and other forms may be applied, or a plurality of forms may be used in combination. As another example of the concavo-convex part, a form having a predetermined cross section and extending obliquely with respect to the width direction of the light control layer, and a plurality of conical convex parts are arranged vertically and horizontally in plan view The form which has such a two-dimensional shape etc. can be mentioned.

光制御層12を構成する材料としては種々の材料を使用することができる。その中でも、光学部材用の材料として広く使用され、優れた機械的特性、光学特性、安定性および加工性等を有するとともに安価に入手可能な材料を用いることができる。これには例えば脂環式構造を有する重合体樹脂、メタクリル樹脂、ポリカーボネート、ポリスチレン、アクリロニトリル−スチレン共重合体、メタクリル酸メチル−スチレン共重合体、ABS樹脂、ポリエーテルスルホン等の熱可塑性樹脂や、エポキシアクリレートやウレタンアクリレート系の反応性樹脂(電離放射線硬化型樹脂等)等を挙げることができる。   Various materials can be used as the material constituting the light control layer 12. Among them, it is possible to use a material that is widely used as a material for an optical member and has excellent mechanical characteristics, optical characteristics, stability, workability, and the like, and can be obtained at low cost. For example, a polymer resin having an alicyclic structure, a methacrylic resin, a polycarbonate, a polystyrene, an acrylonitrile-styrene copolymer, a methyl methacrylate-styrene copolymer, an ABS resin, a polyethersulfone, or a thermoplastic resin, Examples thereof include epoxy acrylate and urethane acrylate-based reactive resins (ionizing radiation curable resins and the like).

次に、以上のような光学部材10を形成する際に用いる賦形シート40を作製するためのロール版20について説明する。図2はロール版20の外観を概略的に示した斜視図である。また、図3(a)はロール版20に備えられる光学部材用版22の平面図、図3(b)はその一部を拡大して表した図である。
図2からわかるように、ロール版20は、ロール21及び光学部材用版22を有して構成されている。
Next, the roll plate 20 for producing the shaping sheet 40 used when forming the optical member 10 as described above will be described. FIG. 2 is a perspective view schematically showing the appearance of the roll plate 20. 3A is a plan view of the optical member plate 22 provided in the roll plate 20, and FIG. 3B is an enlarged view of a part thereof.
As can be seen from FIG. 2, the roll plate 20 includes a roll 21 and an optical member plate 22.

ロール21は円柱状のロール本体21a及びロール本体21aの端面から軸線に沿って突出する回転軸21bを有している。これによりロール21は、回転軸21bが支持されて、該回転軸21bを中心に回動するように構成されている。
ロール本体21aは、剛性を確保するための部位で、ロール版20の大部分を構成している。かかる観点からロール本体21aは、機械構造用の鉄系材料が用いられることが好ましい。また、必要な剛性を確保しつつも軽量化をする観点から、ロール本体21aは両側が有底である円筒状であってもよい。また、ロール本体21aの表面の温度調節ができるようにロール本体内部に冷水や温水、蒸気または高温の油を循環できるように2重構造にするのが一般的である。
The roll 21 has a cylindrical roll body 21a and a rotating shaft 21b that protrudes along the axis from the end surface of the roll body 21a. Thus, the roll 21 is configured to support the rotating shaft 21b and rotate around the rotating shaft 21b.
The roll body 21a is a part for securing rigidity, and constitutes most of the roll plate 20. From this point of view, the roll body 21a is preferably made of an iron-based material for machine structure. Further, from the viewpoint of reducing the weight while ensuring the necessary rigidity, the roll body 21a may be cylindrical with both sides being bottomed. Moreover, it is common to make a double structure so that cold water, warm water, steam or high-temperature oil can be circulated inside the roll body so that the temperature of the surface of the roll body 21a can be adjusted.

光学部材用版22は、賦形シート40に対して光学部材10の凹凸部13に対応する凹凸形状を転写する型として機能する版であり、本形態ではシート状である。図3(a)には光学部材用版22をロール本体21aから外して展開した平面図を示した。また、図3(b)には図3(a)にIIIbで示した部分を拡大して表した。   The optical member plate 22 is a plate that functions as a mold for transferring the concavo-convex shape corresponding to the concavo-convex portion 13 of the optical member 10 to the shaped sheet 40, and is in the form of a sheet in this embodiment. FIG. 3A shows a plan view in which the optical member plate 22 is removed from the roll body 21a and developed. FIG. 3B is an enlarged view of the portion indicated by IIIb in FIG.

光学部材用版22にはこれら図からわかるように、その表面に縦横に複数の単位型部22aが配列され、これらは継ぎ目なく並べられている。図には隣り合う単位型部22aの境界を点線で表したが、これは理解しやすくするためのものであり、継ぎ目ではない。すなわち光学部材用版22は接合部を有さずに一体である一枚のシートである。従って隣り合う単位型部22a間には段差や意図しない位置ずれが生じることがなく、単位型部22aの正確な配置ができる。そして光学部材用版22の大きさはその一辺が800mm以上1500mm以下であることが好ましい。これにより、1つの型シートに多くの単位型部22aを含ませることができるとともに、ロール21の外周を一周させることができる。   As can be seen from these drawings, the optical member plate 22 has a plurality of unit mold portions 22a arranged vertically and horizontally on the surface thereof, and these are arranged seamlessly. In the drawing, the boundary between adjacent unit mold portions 22a is indicated by a dotted line, but this is for easy understanding and is not a joint. In other words, the optical member plate 22 is a single sheet having no joint portion. Accordingly, there is no step or unintended displacement between the adjacent unit mold parts 22a, and the unit mold parts 22a can be accurately arranged. And as for the magnitude | size of the plate 22 for optical members, it is preferable that the one side is 800 mm or more and 1500 mm or less. Thereby, many unit mold | type parts 22a can be included in one type | mold sheet | seat, and the outer periphery of the roll 21 can be made to make one round.

各単位型部22aには、図3(b)からわかるように、光学部材10の凹凸部13の形状に対応した凹凸が形成されている。   As can be seen from FIG. 3 (b), each unit mold portion 22 a is provided with unevenness corresponding to the shape of the uneven portion 13 of the optical member 10.

このような光学部材用版22は電鋳板により構成することができる。詳しくは後でその作製方法を説明するが、導電層上に電解ニッケルメッキ層が形成された積層体により構成されており、導電層の表面に凹凸が形成されている。ここではニッケルによる電解メッキ層及び導電層で説明するが、他の材料によるものであってもよい。
なお、光学部材用版22には位置決めのためのアライメントマークを設けておくことが好ましい。このアライメントマークも転写されて、光学部材10の打ち抜きの際の位置決めの基準となる。
Such an optical member plate 22 can be formed of an electroformed plate. Although the production method will be described later in detail, it is composed of a laminate in which an electrolytic nickel plating layer is formed on a conductive layer, and irregularities are formed on the surface of the conductive layer. Here, the electroplating layer and the conductive layer made of nickel will be described, but other materials may be used.
The optical member plate 22 is preferably provided with an alignment mark for positioning. This alignment mark is also transferred and serves as a positioning reference when the optical member 10 is punched.

そしてロール21の外周面に光学部材用版22を巻きつけて固定することによりロール版20となる。本形態では上記のように光学部材用版22には継ぎ目が存在しないので、ロール版20とされたときには図2に示したように継ぎ目は端部同士が突き合わされた突き合わせ部23が唯一の継ぎ目となる。   The roll plate 20 is obtained by winding and fixing the optical member plate 22 around the outer peripheral surface of the roll 21. In the present embodiment, there is no seam in the optical member plate 22 as described above. Therefore, when the roll plate 20 is formed, the seam has a unique seam 23 where the ends are butted together as shown in FIG. It becomes.

次に光学部材用版22の作製方法について説明する。図4(a)〜図6(c)に作製の順を追った図を表した。
初めに、図4(a)に示したように、ガラス、金属、セラミック、合成石英、プラスチック等により構成された、必要な強度、面精度を有する基板30上に、表面低反射クロム等により形成された密着性向上層31(以下、「クロム層31」と記載することがある。)を積層したフォトマスクブランク板を準備する。そしてそのクロム層31の上に、レジスト層32を薄膜状に形成する。レジストとしては公知のものを用いることができるが、例えばナガセケムテックス株式会社製のGRX−M220やGRX−M100が挙げられる。ここではクロム層31は基板30とレジスト層32との密着性を向上させる層として機能する。この基板30、密着性向上層31、及びレジスト層32による積層体を原版作製用積層体33とする。
Next, a method for producing the optical member plate 22 will be described. The figure which followed the order of preparation to FIG.4 (a)-FIG.6 (c) was represented.
First, as shown in FIG. 4 (a), formed on a substrate 30 made of glass, metal, ceramic, synthetic quartz, plastic, etc., having the required strength and surface accuracy, with low-reflection chrome or the like on the surface. The photomask blank board which laminated | stacked the adhesive improvement layer 31 (it may be described as "the chromium layer 31" hereafter) laminated | stacked was prepared. Then, a resist layer 32 is formed on the chromium layer 31 in a thin film shape. Known resists can be used, and examples thereof include GRX-M220 and GRX-M100 manufactured by Nagase ChemteX Corporation. Here, the chromium layer 31 functions as a layer that improves the adhesion between the substrate 30 and the resist layer 32. A laminate including the substrate 30, the adhesion improving layer 31, and the resist layer 32 is referred to as a master preparation laminate 33.

次に図4(b)に示したように、原版作製用積層体33のレジスト層32に対して光学部材10の凹凸部13に基づいたパターンで露光する。この露光方法は特に限定されないが、本形態ではレーザービームLの走査により露光を行っている。この他電子線の走査をしてもよい。この露光によりレジスト層32を構成するレジスト樹脂が硬化した易溶化部分32aと、未露光部分32bとが形成される。そして図4(c)のように現像液を噴霧して行なうスプレー現像等によって、現像して易溶化部分32aを除去し、未露光部分32bによりパターン化されたレジストパターンを得る。これが原版34となる。   Next, as shown in FIG. 4 (b), the resist layer 32 of the precursor preparation laminate 33 is exposed with a pattern based on the uneven portion 13 of the optical member 10. Although this exposure method is not particularly limited, in this embodiment, exposure is performed by scanning with a laser beam L. In addition, scanning with an electron beam may be performed. By this exposure, an easily soluble portion 32a in which the resist resin constituting the resist layer 32 is cured and an unexposed portion 32b are formed. Then, as shown in FIG. 4C, development is performed by spray development performed by spraying a developing solution to remove the easily soluble portion 32a, and a resist pattern patterned by the unexposed portion 32b is obtained. This is the original version 34.

なお、ここまでの説明では露光された部分が除去される、いわゆるポジレジストによる過程を説明したが、レジスト材料を変更することにより、露光された部分が残り、露光されなかった部分が除去されるネガレジストによる過程が用いられてもよい。   In the above description, the process using a so-called positive resist is described in which the exposed portion is removed. However, by changing the resist material, the exposed portion remains and the unexposed portion is removed. A negative resist process may be used.

形成された原版34のレジストパターンを利用して、図5(a)に示したように基材層36とレジストパターンとの間に未硬化の電離放射線硬化樹脂(本形態では紫外線硬化樹脂)を充填して接触させて電鋳用パターン層35を形成する。これにより未硬化の電離放射線硬化樹脂がレジストパターンの凹凸に対応した凹凸を有する層となる。   Using the resist pattern of the formed original plate 34, an uncured ionizing radiation curable resin (in this embodiment, an ultraviolet curable resin) is applied between the base material layer 36 and the resist pattern as shown in FIG. The pattern layer 35 for electroforming is formed by filling and contacting. Thereby, the uncured ionizing radiation curable resin becomes a layer having unevenness corresponding to the unevenness of the resist pattern.

ここで、基材層36としては、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、メタクリル酸メチル・ブタジエン・スチレン(MBS)樹脂、メタクリル酸メチル・スチレン(MS)樹脂、アクリル・スチレン(AS)樹脂、及びアクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂(ABS)等の透明樹脂を用いることができる。   Here, as the base material layer 36, polycarbonate (PC) resin, polyethylene terephthalate (PET) resin, methyl methacrylate / butadiene / styrene (MBS) resin, methyl methacrylate / styrene (MS) resin, acrylic / styrene (AS) ) Resin and transparent resin such as acrylonitrile / butadiene / styrene resin (ABS).

一方、電鋳用パターン層35の電離放射硬化樹脂としては特に限定されることはないが、例えばウレタンアクリレート系、ポリエステルアクリレート系、エポキシアクリレート系、ポリエーテルアクリレート系、ポリチオール系およびブタジエンアクリレート等の紫外線硬化型樹脂を用いることができる。   On the other hand, the ionizing radiation curable resin of the electroforming pattern layer 35 is not particularly limited, but for example, ultraviolet rays such as urethane acrylate, polyester acrylate, epoxy acrylate, polyether acrylate, polythiol, and butadiene acrylate. A curable resin can be used.

次に図5(a)に矢印Vaで示したように基材層36側から電離放射線(例えば紫外線)を照射して未硬化であった電離放射線硬化樹脂を硬化し、凹凸を有する電鋳用パターン層35の形状を固定する。   Next, as indicated by an arrow Va in FIG. 5A, ionizing radiation (for example, ultraviolet rays) is irradiated from the base material layer 36 side to cure the uncured ionizing radiation curable resin, and for electroforming having irregularities. The shape of the pattern layer 35 is fixed.

その後、図5(b)に示したように基材層36及び電鋳用パターン層35を原版34から離型して、電鋳用シート37を得る。
原版34と電鋳用シート37とは、ここに用いられる材料及び形成方法の性質上離型しやすく、当該離型において原版34のレジストパターンが破損してしまうなどの不具合を大幅に減じることができる。従って、高価である原版34を再度利用することができる。
Thereafter, as shown in FIG. 5B, the base material layer 36 and the electroforming pattern layer 35 are released from the original plate 34 to obtain an electroforming sheet 37.
The original plate 34 and the electroforming sheet 37 are easy to release due to the nature of the materials and forming methods used here, and the problems such as the resist pattern of the original plate 34 being damaged during the release may be greatly reduced. it can. Therefore, the expensive original plate 34 can be used again.

次に得られた電鋳用シート37を用いて電鋳により光学部材用版22を作製する。
初めに図6(a)に示したように、電鋳用シート37のうち原版34に接していた電鋳用パターン層35が形成された側に導電層(本形態では導電ニッケル層)38を導電化処理により形成する。このとき導電層38は10nm以上1μm以下の厚みがよい。
ここで導電化処理としては例えば無電解メッキや蒸着(スパッタリング)を挙げることができる。
次いで図6(b)に示したように、導電層38の上に電解ニッケルメッキ層39を電鋳により形成する。このとき電解ニッケルメッキ層39により、導電層38と電解ニッケルメッキ層39との総厚みが0.3mm程度となるように電解ニッケルメッキ層39を形成する。
そして、図6(c)に示したように、電鋳用シート37を剥離することにより光学部材用版22を得る。
Next, the plate 22 for optical members is produced by electroforming using the obtained sheet 37 for electroforming.
First, as shown in FIG. 6A, a conductive layer (conductive nickel layer in this embodiment) 38 is formed on the side of the electroforming sheet 37 on which the electroforming pattern layer 35 in contact with the original plate 34 is formed. It is formed by conducting treatment. At this time, the conductive layer 38 has a thickness of 10 nm to 1 μm.
Examples of the conductive treatment include electroless plating and vapor deposition (sputtering).
Next, as shown in FIG. 6B, an electrolytic nickel plating layer 39 is formed on the conductive layer 38 by electroforming. At this time, the electrolytic nickel plating layer 39 is formed by the electrolytic nickel plating layer 39 so that the total thickness of the conductive layer 38 and the electrolytic nickel plating layer 39 is about 0.3 mm.
And as shown in FIG.6 (c), the plate 22 for optical members is obtained by peeling the sheet | seat 37 for electroforming.

以上示した光学部材用版22の作製方法によれば、原版34に対して電鋳をする必要がないため、原版34を破損することなく繰り返し使用できる可能性が高まり、高価な原版を無駄にすることを抑制することができる。   According to the method for producing the optical member plate 22 described above, since there is no need to electroform the original plate 34, the possibility that the original plate 34 can be repeatedly used without damage is increased, and an expensive original plate is wasted. Can be suppressed.

以上のように作製された光学部材用版22は、図7に示したようにロール本体21aに巻き付けられ、ロール版20(図2参照)とされる。   The optical member plate 22 produced as described above is wound around the roll body 21a as shown in FIG. 7 to form a roll plate 20 (see FIG. 2).

次に、上記ロール版20を用いて、光学部材10を製造する方法を説明する。
図8〜図10に説明のための図を示した。本形態では、押し出し法により光学部材10を製作するに先立ち、凹凸部13の形状を賦形できる賦形シート40を作製する。図8に賦形シート40の形態を概念的な斜視図で示した。
Next, a method for manufacturing the optical member 10 using the roll plate 20 will be described.
FIGS. 8 to 10 show diagrams for explanation. In this embodiment, prior to manufacturing the optical member 10 by the extrusion method, the shaping sheet 40 capable of shaping the shape of the uneven portion 13 is produced. The form of the shaping sheet 40 was shown with the conceptual perspective view in FIG.

賦形シート40は上記のように光学部材10の凹凸部13の形状を賦形できる帯状のシートである。賦形シート40は透光性を有する基材41、及び基材41の一方の面に積層された型部42を有して構成されている。そして型部42には、光学部材10の1つの凹凸部13を形成するための単位型部42aが複数縦横に配列されている。   The shaping sheet 40 is a belt-like sheet that can shape the shape of the uneven portion 13 of the optical member 10 as described above. The shaped sheet 40 is configured to have a base material 41 having translucency and a mold part 42 laminated on one surface of the base material 41. In the mold part 42, a plurality of unit mold parts 42a for forming one uneven part 13 of the optical member 10 are arranged vertically and horizontally.

このような賦形シート40は次のように作製される。図9に説明のための図を示した。図9に示したように、準備されたロール版20と金型ニップロール45との間に、図9に矢印IXで示したように基材41を送り出す。そして基材41上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物42’をノズル46から供給する。これにより基材41とロール版20との間に硬化前の紫外線硬化樹脂42’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物42’がロール版20の光学部材用版22に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置47から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して型部42となる。その後、剥離ロール48により離型して賦形シート40を得る。得られた賦形シート40は巻き取られてロール状とされる。
Such a shaped sheet 40 is produced as follows. FIG. 9 shows an explanatory diagram. As shown in FIG. 9, the base material 41 is sent out between the prepared roll plate 20 and the mold nip roll 45 as indicated by an arrow IX in FIG. 9. Then, the ultraviolet curable resin composition 42 ′ before being cured on the base material 41 is supplied from the nozzle 46. Thereby, the ultraviolet curing resin 42 ′ before curing is filled between the base material 41 and the roll plate 20. As a result, the ultraviolet curable resin composition 42 ′ before curing is filled in the unevenness formed on the optical member plate 22 of the roll plate 20.
In such a state of being filled, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet irradiation device 47 and the ultraviolet curable resin composition is cured to form the mold part 42. Then, it molds with the peeling roll 48 and the shaping sheet 40 is obtained. The obtained shaped sheet 40 is wound up into a roll shape.

次に、賦形シート40を用いて押し出し法により光学部材10を得る。図10に説明のための図を示した。
第一ロール51と、該第一ロール51に対して所定の間隙を有して配置される第二ロール52との間に図10に矢印Xで示したように賦形シート40を順次送り出し、賦形シート40と第二ロール52との間に溶融した熱可塑性樹脂組成物55をノズル56から流入させる。ここで賦形シート40の送り方向は帯状である賦形シート40の長手方向である。また、流入される熱可塑性樹脂組成物55は第二ロール52及び賦形シート40の幅方向大きさと同程度の大きさ(幅)を有する帯状であることが好ましい。これにより幅方向に均一な材料供給が可能である。
Next, the optical member 10 is obtained by an extrusion method using the shaping sheet 40. FIG. 10 shows a diagram for explanation.
As shown by the arrow X in FIG. 10, the shaped sheet 40 is sequentially sent out between the first roll 51 and the second roll 52 arranged with a predetermined gap with respect to the first roll 51. A melted thermoplastic resin composition 55 is caused to flow from the nozzle 56 between the shaping sheet 40 and the second roll 52. Here, the feeding direction of the shaped sheet 40 is the longitudinal direction of the shaped sheet 40 having a strip shape. Moreover, it is preferable that the thermoplastic resin composition 55 to be introduced has a belt-like shape having a size (width) that is approximately the same as the size in the width direction of the second roll 52 and the shaped sheet 40. Thereby, uniform material supply in the width direction is possible.

供給された熱可塑性樹脂は第二ロール52と賦形シート40との間に所定の圧力を具備しつつ流入する。これにより熱可塑性樹脂が賦形シート40の型部42の表面に形成された凹凸に充填され、熱可塑性樹脂組成物55がこの凹凸に沿った形状となる。そして第三ロール53、及び第四ロール54を経て冷却され、最終的に熱可塑性樹脂組成物55が硬化して形状が固定される。これにより光学部材10が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート10’を得る。そして剥離ロール57により光学部材用帯状シート10’と賦形シート40とが分離される。
この状態では光学部材用帯状シート10’にはアライメントマークも含まれていることが好ましい。
The supplied thermoplastic resin flows in between the second roll 52 and the shaping sheet 40 with a predetermined pressure. Thereby, the thermoplastic resin is filled in the unevenness formed on the surface of the mold part 42 of the shaped sheet 40, and the thermoplastic resin composition 55 has a shape along the unevenness. And it cools through the 3rd roll 53 and the 4th roll 54, and finally the thermoplastic resin composition 55 hardens | cures and a shape is fixed. As a result, an optical member belt-like sheet 10 ′ in which the optical members 10 are seamlessly arranged vertically and horizontally is obtained. And the strip | belt-shaped sheet | seat 10 'for optical members and the shaping sheet 40 are isolate | separated by the peeling roll 57. FIG.
In this state, it is preferable that an alignment mark is included in the optical member strip 10 '.

最終的に光学部材用帯状シート10’の打ち抜きや切断により光学部材10を得ることができる。その際にはアライメントマークが位置決めの基準となる。   Finally, the optical member 10 can be obtained by punching or cutting the optical member strip 10 '. In that case, the alignment mark serves as a positioning reference.

このようにして作製された光学部材10はその凹凸の位置精度が高く、所望の光制御を精度良く行うことができる。   The optical member 10 manufactured in this way has high positional accuracy of the unevenness, and can perform desired light control with high accuracy.

次に、賦形シート40を用いることなく押し出し法により光学部材10を得る方法を説明する。図11に説明のための図を示した。この際にはロール版20を用いて直接光学部材用帯状シート10’を得る。従って本例のロール版20は、直接光学部材用帯状シート10’の凹凸部13を転写できるパターンを具備している。   Next, a method for obtaining the optical member 10 by the extrusion method without using the shaping sheet 40 will be described. FIG. 11 shows an explanatory diagram. At this time, the roll plate 20 is used to directly obtain the optical member strip 10 '. Therefore, the roll plate 20 of this example has a pattern that can directly transfer the concavo-convex portion 13 of the belt-like sheet 10 ′ for optical members.

図11からわかるように、第一ロール51と、該第一ロール51に対して所定の間隙を有して配置されるロール版20との間に溶融した熱可塑性樹脂組成物55をノズル56から流入させる。流入される熱可塑性樹脂組成物55はロール版20の幅方向大きさと同程度の大きさ(幅)を有する帯状であることが好ましい。これにより幅方向に均一な材料供給が可能である。   As can be seen from FIG. 11, the thermoplastic resin composition 55 melted between the first roll 51 and the roll plate 20 disposed with a predetermined gap with respect to the first roll 51 is discharged from the nozzle 56. Let it flow. The inflowing thermoplastic resin composition 55 is preferably in the form of a strip having the same size (width) as the size in the width direction of the roll plate 20. Thereby, uniform material supply in the width direction is possible.

供給された熱可塑性樹脂は第一ロール51とロール版20との間に所定の圧力を具備しつつ流入する。これにより熱可塑性樹脂がロール版20の表面に形成された凹凸に充填され、熱可塑性樹脂組成物55がこの凹凸に沿った形状となる。そして第三ロール53、及び第四ロール54を経て冷却され、最終的に熱可塑性樹脂組成物55が硬化して形状が固定される。これにより光学部材10が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート10’を得る。この状態では光学部材用帯状シート10’にはアライメントマークも含まれていることが好ましい。   The supplied thermoplastic resin flows between the first roll 51 and the roll plate 20 with a predetermined pressure. Thereby, the thermoplastic resin is filled in the unevenness formed on the surface of the roll plate 20, and the thermoplastic resin composition 55 has a shape along the unevenness. And it cools through the 3rd roll 53 and the 4th roll 54, and finally the thermoplastic resin composition 55 hardens | cures and a shape is fixed. As a result, an optical member belt-like sheet 10 ′ in which the optical members 10 are seamlessly arranged vertically and horizontally is obtained. In this state, it is preferable that an alignment mark is included in the optical member strip 10 '.

最終的に光学部材用帯状シート10’の打ち抜きや切断により光学部材10を得ることができる。その際にはアライメントマークが位置決めの基準となる。   Finally, the optical member 10 can be obtained by punching or cutting the optical member strip 10 '. In that case, the alignment mark serves as a positioning reference.

このようにして作製された光学部材10もその凹凸の位置精度が高く、所望の光制御を精度良く行うことができる。   The optical member 10 manufactured in this way also has high unevenness position accuracy, and can perform desired light control with high accuracy.

図12には他の形態の光学部材110を示した。図12は図1(b)と同じ視点による図である。光学部材110は、上記説明した光制御層12が基材11の一方の面に積層された2層の構造となっている。光制御層12の構造は上記の通りである。   FIG. 12 shows another form of the optical member 110. FIG. 12 is a view from the same viewpoint as FIG. The optical member 110 has a two-layer structure in which the light control layer 12 described above is laminated on one surface of the substrate 11. The structure of the light control layer 12 is as described above.

基材11は、該基材11の一方の面に光制御層12を形成するための基材となる光透過性を有するシート状の部材である。このような基材11を構成する材料としては、ポリカーボネート(PC)樹脂、ポリエチレンテレフタレート(PET)樹脂、メタクリル酸メチル・ブタジエン・スチレン(MBS)樹脂、メタクリル酸メチル・スチレン(MS)樹脂、アクリル・スチレン(AS)樹脂、及びアクリロニトリル・ブタジエン・スチレン樹脂(ABS)等が挙げられる。   The base material 11 is a sheet-like member having light transmissivity to be a base material for forming the light control layer 12 on one surface of the base material 11. Examples of the material constituting the substrate 11 include polycarbonate (PC) resin, polyethylene terephthalate (PET) resin, methyl methacrylate / butadiene / styrene (MBS) resin, methyl methacrylate / styrene (MS) resin, acrylic Examples include styrene (AS) resin, acrylonitrile / butadiene / styrene resin (ABS), and the like.

光学部材110は次のように製造することができる。すなわち、上記したロール版20と同じ要領により、直接光学部材110の凹凸部13を形成できる凹凸を有するロール版120を作製する。そして当該ロール版120を用いて図13に示したように基材11上に光制御層12を積層する。   The optical member 110 can be manufactured as follows. That is, in the same manner as the roll plate 20 described above, the roll plate 120 having unevenness that can directly form the uneven portion 13 of the optical member 110 is produced. And the light control layer 12 is laminated | stacked on the base material 11 as shown in FIG.

より詳しくは、図13に示したように、準備されたロール版120と金型ニップロール45との間に、図13に矢印XIIIで示したように基材11を送り出す。そして基材11上に硬化する前の紫外線硬化樹脂組成物12’をノズル46から供給する。これにより基材11とロール版120との間に硬化前の紫外線硬化樹脂12’が充填される。これにより硬化前の紫外線硬化樹脂組成物12’がロール版20に形成された凹凸に充填される。
このように充填された状態で、紫外線照射装置47から紫外線が照射され、紫外線硬化樹脂組成物が硬化して光制御層12となる。その後、剥離ロール48により離型する。これにより光学部材110が縦横に継ぎ目なく配列された光学部材用帯状シート110’を得る。
この状態では光学部材用帯状シート110’にはアライメントマークも含まれていることが好ましい。
More specifically, as shown in FIG. 13, the base material 11 is sent out between the prepared roll plate 120 and the mold nip roll 45 as indicated by an arrow XIII in FIG. 13. Then, the ultraviolet curable resin composition 12 ′ before being cured on the substrate 11 is supplied from the nozzle 46. Thus, the ultraviolet curable resin 12 ′ before curing is filled between the base material 11 and the roll plate 120. As a result, the ultraviolet curable resin composition 12 ′ before curing is filled in the unevenness formed on the roll plate 20.
In this filled state, ultraviolet rays are irradiated from the ultraviolet irradiation device 47, and the ultraviolet curable resin composition is cured to form the light control layer 12. Thereafter, the mold is released by the peeling roll 48. As a result, an optical member belt-like sheet 110 ′ in which the optical members 110 are seamlessly arranged vertically and horizontally is obtained.
In this state, it is preferable that the belt-shaped sheet 110 ′ for optical members also includes an alignment mark.

最終的に光学部材用帯状シート110’の打ち抜きや切断により光学部材110を得ることができる。その際にはアライメントマークが位置決めの基準となる。   Finally, the optical member 110 can be obtained by punching or cutting the optical member strip 110 '. In that case, the alignment mark serves as a positioning reference.

10 光学部材
11 基材
12 光制御層
13 凹凸部
20 ロール版
21 ロール
22 光学部材用版
30 基板
31 クロム層(密着性向上層)
32 レジスト層
33 原版作製用積層体
34 原版
35 電鋳用パターン層
36 基材層
37 電鋳用シート
38 導電層(導電ニッケル層)
39 電解ニッケルメッキ層(電解メッキ層)
40 賦型シート
DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 Optical member 11 Base material 12 Light control layer 13 Concavity and convexity 20 Roll plate 21 Roll 22 Plate for optical member 30 Substrate 31 Chromium layer (adhesion improvement layer)
32 Resist layer 33 Laminate for producing original plate 34 Original plate 35 Pattern layer for electroforming 36 Base material layer 37 Sheet for electroforming 38 Conductive layer (conductive nickel layer)
39 Electrolytic nickel plating layer (electrolytic plating layer)
40 Molding sheet

Claims (2)

光学部材用の版を製造する方法であって、
基板、及びレジスト層を有する原版作製用積層体の前記レジスト層に対して前記光学部材が有する凹凸のパターンに基づいて露光し、該露光した部位又は露光しなかった部位におけるレジスト層を除去して原版を作製する工程と、
前記原版のレジスト層に未硬化の電離放射線硬化樹脂を接触させた後に該電離放射線硬化樹脂を硬化させ、原版を離型して電鋳用シートを作製する工程と、
前記電鋳用シートのうち前記原版に接触していた側の面に導電層を形成する導体化処理工程と、
前記導電層に電解メッキ層を積層させる工程と、
前記電鋳用シートを離型して前記光学部材用版を得る工程と、を含む、光学部材用版の製造方法。
A method for producing a plate for an optical member, comprising:
The substrate and the resist layer of the laminate for preparing an original plate having a resist layer are exposed based on the uneven pattern of the optical member, and the resist layer in the exposed portion or the unexposed portion is removed. Producing an original plate; and
The step of bringing the uncured ionizing radiation curable resin into contact with the resist layer of the original plate and then curing the ionizing radiation curable resin, releasing the original plate to produce an electroforming sheet; and
Conducting treatment step of forming a conductive layer on the surface of the electroforming sheet that was in contact with the original plate,
Laminating an electroplating layer on the conductive layer;
And a step of releasing the electroforming sheet to obtain the optical member plate.
請求項1に記載の方法により光学部材用版を製造する工程と、
前記製造した光学部材用版を円筒状のロールに巻きつける工程と、を含む、
光学部材用ロール版の製造方法。
Producing a plate for optical members by the method according to claim 1;
Winding the manufactured plate for optical members around a cylindrical roll,
Manufacturing method of roll plate for optical member.
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