JP2016055541A - Firing device, firing method, production system and production method - Google Patents

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent damage of an unfired film.SOLUTION: A firing device includes a belt-like conveyance belt 23a capable of moving in the loaded state of an unfired film FA formed of liquid containing a prescribed resin material and fine particles, and a heating part 22 for firing the unfired film FA, while conveying it by the conveyance belt 23a.SELECTED DRAWING: Figure 6

Description

本発明は、焼成装置、焼成方法、製造システム、及び製造方法に関する。   The present invention relates to a baking apparatus, a baking method, a manufacturing system, and a manufacturing method.

二次電池の一種であるリチウムイオン電池は、電解液に浸された正極と負極との間にセパレータが配置され、セパレータによって正極と負極との間の直接の電気的接触を防ぐ構造となっている。正極にはリチウム遷移金属酸化物が用いられ、負極には例えばリチウムやカーボン(グラファイト)等が用いられている。充電時には、リチウムイオンが正極からセパレータを通過して負極へ移動し、放電時には、リチウムイオンが負極からセパレータを通過して正極へ移動する。このようなセパレータとして、近年では、耐熱性が高く安全性の高い多孔性のポリイミド膜からなるセパレータを用いることが知られている(例えば、特許文献1等参照)。上記の多孔性のポリイミド膜は、例えば微粒子を含むポリアミド酸又はポリイミドの未焼成膜を塗布形成し、この未焼成膜を搬送しつつ焼成して焼成膜を形成し、焼成膜から微粒子を除去することで形成される。   A lithium ion battery, which is a type of secondary battery, has a structure in which a separator is disposed between a positive electrode and a negative electrode soaked in an electrolyte, and the separator prevents direct electrical contact between the positive electrode and the negative electrode. Yes. A lithium transition metal oxide is used for the positive electrode, and lithium, carbon (graphite) or the like is used for the negative electrode. During charging, lithium ions pass from the positive electrode through the separator to the negative electrode, and during discharging, lithium ions pass from the negative electrode through the separator to the positive electrode. In recent years, it has been known to use a separator made of a porous polyimide film having high heat resistance and high safety as such a separator (see, for example, Patent Document 1). The porous polyimide film is formed by, for example, coating and forming a polyamide acid or polyimide unfired film containing fine particles, firing the unfired film to form a fired film, and removing the fine particles from the fired film. Is formed.

特開2011−111470号公報JP 2011-111470 A

しかしながら、未焼成膜を焼成する場合、加熱により未焼成膜の組成が変化して脆くなってしまう期間がある。そのため、未焼成膜を破損しないように搬送することが可能な構成が求められている。   However, when firing an unfired film, there is a period during which the composition of the unfired film changes due to heating and becomes brittle. Therefore, the structure which can be conveyed so that an unbaked film | membrane may not be damaged is calculated | required.

以上のような事情に鑑み、本発明は、未焼成膜の破損を防ぐことが可能な焼成装置、焼成方法、製造システム、及び製造方法を提供することを目的とする。   In view of the circumstances as described above, it is an object of the present invention to provide a baking apparatus, a baking method, a manufacturing system, and a manufacturing method capable of preventing the unfired film from being damaged.

本発明の第1態様に係る焼成装置は、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド、又はポリアミド、及び微粒子を含む液体から形成された未焼成膜を載置して移動可能な帯状の搬送部材と、搬送部材により未焼成膜を搬送しながら焼成する焼成部と、を備える。   The firing apparatus according to the first aspect of the present invention includes a belt-shaped transport member that can move by placing an unfired film formed from a liquid containing polyamic acid, polyimide, polyamideimide, or polyamide, and fine particles, and a transport And a firing section that fires the unfired film while being conveyed by the member.

本発明の第2態様に係る焼成方法は、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド、又はポリアミド、及び微粒子を含む液体から形成された未焼成膜を、帯状の搬送部材に載置して搬送することと、搬送部材により未焼成膜を搬送しながら焼成することと、を含む。   The firing method according to the second aspect of the present invention includes transporting an unfired film formed from a liquid containing polyamic acid, polyimide, polyamideimide, or polyamide, and fine particles on a belt-like transport member. And firing while the unsintered film is transported by the transport member.

本発明の第3態様に係る製造システムは、多孔性のイミド系樹脂膜を製造する製造システムであって、本発明の第1態様に係る焼成装置を含む。   The manufacturing system which concerns on the 3rd aspect of this invention is a manufacturing system which manufactures a porous imide-type resin film, Comprising: The baking apparatus which concerns on the 1st aspect of this invention is included.

本発明の第4態様に係る製造方法は、多孔性のイミド系樹脂膜を製造する方法であって、本発明の第2態様に係る焼成方法を含む。   The manufacturing method according to the fourth aspect of the present invention is a method for manufacturing a porous imide-based resin film, and includes the firing method according to the second aspect of the present invention.

本発明の態様によれば、未焼成膜の破損を防ぐことができる。   According to the aspect of the present invention, it is possible to prevent the unfired film from being damaged.

第1実施形態に係る製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the manufacturing system which concerns on 1st Embodiment. 本実施形態に係る製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the manufacturing system which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る塗布ユニットに設けられるノズルの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the nozzle provided in the coating unit which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る巻き取り部の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the winding part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る焼成ユニットの一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the baking unit which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る焼成ユニットの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the baking unit which concerns on this embodiment. 本実施形態に係る巻き取り部の一例を示す斜視図である。It is a perspective view which shows an example of the winding part which concerns on this embodiment. 本実施形態に係るイミド系樹脂膜の製造過程の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the manufacture process of the imide type resin film which concerns on this embodiment. 変形例に係る焼成ユニットの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the baking unit which concerns on a modification. 変形例に係る焼成ユニットの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the baking unit which concerns on a modification. 変形例に係る製造システムの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the manufacturing system which concerns on a modification. 変形例に係る巻き取り装置の一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the winding apparatus which concerns on a modification. 実施形態に係るセパレータの一例を示す図である。It is a figure which shows an example of the separator which concerns on embodiment.

以下、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。以下、XYZ座標系を用いて図中の方向を説明する。このXYZ座標系においては、水平面に平行な平面をXY平面とする。このXY平面に平行な一方向をX方向と表記し、X方向に直交する方向をY方向と表記する。また、XY平面に垂直な方向はZ方向と表記する。X方向、Y方向及びZ方向のそれぞれは、図中の矢印の方向が+方向であり、矢印の方向とは反対の方向が−方向であるものとして説明する。   Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. Hereinafter, directions in the figure will be described using an XYZ coordinate system. In this XYZ coordinate system, a plane parallel to the horizontal plane is defined as an XY plane. One direction parallel to the XY plane is expressed as an X direction, and a direction orthogonal to the X direction is expressed as a Y direction. A direction perpendicular to the XY plane is expressed as a Z direction. In each of the X direction, the Y direction, and the Z direction, the direction of the arrow in the figure is the + direction, and the direction opposite to the arrow direction is the − direction.

図1及び図2は、本実施形態に係る製造システムSYSの一例を示す図である。図1及び図2に示す製造システムSYSは、多孔性樹脂膜F(多孔性のイミド系樹脂膜)を製造するものである。製造システムSYSは、所定の塗布液を塗布して未焼成膜FAを形成する塗布ユニット10と、未焼成膜FAを焼成して焼成膜FBを形成する焼成ユニット20と、焼成膜FBから微粒子を除去して多孔性樹脂膜Fを形成する除去ユニット(エッチング装置)30と、上記各ユニットを統括的に制御する制御装置(不図示)とを備えている。   1 and 2 are diagrams illustrating an example of the manufacturing system SYS according to the present embodiment. The manufacturing system SYS shown in FIGS. 1 and 2 manufactures a porous resin film F (porous imide resin film). The manufacturing system SYS applies a predetermined coating solution to form the unfired film FA, the firing unit 20 to fire the unfired film FA to form the fired film FB, and fine particles from the fired film FB. A removal unit (etching apparatus) 30 that removes to form a porous resin film F and a control apparatus (not shown) that controls the above units in an integrated manner are provided.

製造システムSYSは、例えば上下2階層に構成されており、塗布ユニット10が2階部分に配置され、焼成ユニット20及び除去ユニット30が1階部分に配置される。同一階に配置される焼成ユニット20及び除去ユニット30は、例えばY方向に並んで配置されるが、これに限定するものではなく、例えばX方向又はX方向とY方向との合成方向に並んで配置されてもよい。   The manufacturing system SYS is configured, for example, in two upper and lower layers, the coating unit 10 is disposed on the second floor portion, and the baking unit 20 and the removal unit 30 are disposed on the first floor portion. The firing unit 20 and the removal unit 30 arranged on the same floor are arranged side by side in the Y direction, for example, but are not limited to this, for example, arranged in the X direction or the combined direction of the X direction and the Y direction. It may be arranged.

なお、製造システムSYSの階層構造や各階における各ユニットの配置等については上記に限定するものではなく、例えば塗布ユニット10及び焼成ユニット20が2階部分に配置され、除去ユニット30が1階部分に配置されてもよい。また、すべてのユニットが同一階に配置されてもよい。この場合、各ユニットが一列に配置されてもよいし、複数列で配置されてもよい。また、すべてのユニットが異なる階層に配置されてもよい。   The hierarchical structure of the manufacturing system SYS and the arrangement of each unit on each floor are not limited to the above. For example, the coating unit 10 and the baking unit 20 are arranged on the second floor part, and the removal unit 30 is on the first floor part. It may be arranged. All units may be arranged on the same floor. In this case, each unit may be arranged in a row or in a plurality of rows. Further, all the units may be arranged on different levels.

製造システムSYSでは、未焼成膜FAが帯状に形成される。塗布ユニット10の+Y側(未焼成膜FAの搬送方向の前方)には、帯状の未焼成膜FAをロール状に巻き取る巻き取り部50が設けられる。焼成ユニット20の−Y側(未焼成膜FAの搬送方向の後方)には、ロール状の未焼成膜FAを焼成ユニット20へ向けて送り出す送り出し部60が設けられる。除去ユニット30の+Y側(焼成膜FBの搬送方向の前方)には、多孔性樹脂膜Fをロール状に巻き取る巻き取り部80が設けられる。   In the manufacturing system SYS, the unfired film FA is formed in a band shape. On the + Y side of the coating unit 10 (front in the transport direction of the unfired film FA), a winding unit 50 that winds the belt-like unfired film FA into a roll is provided. On the -Y side of the firing unit 20 (rear in the transport direction of the unfired film FA), a delivery unit 60 that feeds the roll-like unfired film FA toward the firing unit 20 is provided. On the + Y side of the removal unit 30 (front in the transport direction of the fired film FB), a winding unit 80 that winds the porous resin film F into a roll is provided.

このように、送り出し部60から焼成ユニット20及び除去ユニット30を経て巻き取り部80に至るまでの区間(1階部分)では、いわゆるロール・ツー・ロール方式による処理が行われる。したがって、この区間では、未焼成膜FA、焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fの各膜が一続きの状態で搬送される。   In this way, in the section (first floor portion) from the delivery unit 60 to the winding unit 80 through the firing unit 20 and the removal unit 30, processing by a so-called roll-to-roll method is performed. Accordingly, in this section, the unfired film FA, the fired film FB, and the porous resin film F are conveyed in a continuous state.

[塗布液]
ここで、各ユニットを説明する前に、多孔性樹脂膜Fの原料となる塗布液について説明する。塗布液は、所定の樹脂材料と、微粒子と、溶剤とを含む。所定の樹脂材料としては、例えばポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド、又はポリアミドが挙げられる。溶剤としては、これらの樹脂材料を溶解可能な有機溶剤が用いられる。
[Coating solution]
Here, before explaining each unit, the coating liquid used as the raw material of the porous resin film F is demonstrated. The coating liquid contains a predetermined resin material, fine particles, and a solvent. Examples of the predetermined resin material include polyamic acid, polyimide, polyamideimide, and polyamide. As the solvent, an organic solvent capable of dissolving these resin materials is used.

本実施形態では、塗布液として、微粒子の含有率が異なる2種類の塗布液(第1塗布液及び第2塗布液)が用いられる。具体的には、第1塗布液は、第2塗布液よりも微粒子の含有率が高くなるように調製される。これにより、未焼成膜FA、焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fの強度及び柔軟性を担保することができる。また、微粒子の含有率の低い層を設けることで、多孔性樹脂膜Fの製造コストの低減を図ることができる。   In the present embodiment, two types of coating liquids (first coating liquid and second coating liquid) having different fine particle contents are used as the coating liquid. Specifically, the first coating solution is prepared so that the content of fine particles is higher than that of the second coating solution. Thereby, the strength and flexibility of the unfired film FA, the fired film FB, and the porous resin film F can be ensured. Moreover, the manufacturing cost of the porous resin film F can be reduced by providing a layer having a low content of fine particles.

例えば、第1塗布液には、樹脂材料と微粒子とが19:81〜45:65の体積比となるように含有される。また、第2塗布液には、樹脂材料と微粒子とが20:80〜50:50の体積比となるように含有される。ただし、第1塗布液の微粒子の含有率が、第2塗布液の微粒子の含有率よりも高くなるように体積比が設定される。なお、各樹脂材料の体積は、各樹脂材料の質量にその比重を乗じて求めた値が用いられる。   For example, the first coating liquid contains a resin material and fine particles so as to have a volume ratio of 19:81 to 45:65. Further, the second coating liquid contains the resin material and the fine particles so as to have a volume ratio of 20:80 to 50:50. However, the volume ratio is set so that the fine particle content of the first coating liquid is higher than the fine particle content of the second coating liquid. As the volume of each resin material, a value obtained by multiplying the mass of each resin material by its specific gravity is used.

上記の場合において、第1塗布液の体積全体を100としたときに微粒子の体積が65以上であれば、粒子が均一に分散し、また、微粒子の体積が81以内であれば粒子同士が凝集することもなく分散する。このため、多孔性樹脂膜Fに孔を均一に形成することができる。また、微粒子の体積比率がこの範囲内であれば、未焼成膜FAを成膜する際の剥離性を確保することができる。   In the above case, when the volume of the fine particles is 65 or more when the entire volume of the first coating liquid is 100, the particles are uniformly dispersed, and when the volume of the fine particles is within 81, the particles are aggregated. Disperse without doing. For this reason, holes can be formed uniformly in the porous resin film F. Moreover, if the volume ratio of the fine particles is within this range, the releasability when the unfired film FA is formed can be ensured.

第2塗布液の体積全体を100としたときに微粒子の体積が50以上であれば、微粒子単体が均一に分散し、また、微粒子の体積80以内であれば微粒子同士が凝集することもなく、また、表面にひび割れ等が生じることもないため、安定して電気特性の良好な多孔性樹脂膜Fを形成することができる。   If the volume of the fine particles is 50 or more when the total volume of the second coating liquid is 100, the fine particles are uniformly dispersed, and if the volume is within 80 of the fine particles, the fine particles are not aggregated, Moreover, since no cracks or the like are generated on the surface, the porous resin film F having good electric characteristics can be formed stably.

上記2種類の塗布液は、例えば微粒子を予め分散した溶剤とポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド又はポリアミドを任意の比率で混合することで調製される。また、微粒子を予め分散した溶剤中でポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド又はポリアミドを重合して調製されてもよい。例えば、微粒子を予め分散した有機溶剤中でテトラカルボン酸二無水物及びジアミンを重合してポリアミド酸とするか、更にイミド化してポリイミドとすることで製造できる。   The two types of coating liquids are prepared, for example, by mixing a solvent in which fine particles are dispersed in advance with polyamic acid, polyimide, polyamideimide, or polyamide at an arbitrary ratio. Alternatively, it may be prepared by polymerizing polyamic acid, polyimide, polyamideimide or polyamide in a solvent in which fine particles are dispersed in advance. For example, it can be produced by polymerizing tetracarboxylic dianhydride and diamine in an organic solvent in which fine particles are dispersed in advance to form a polyamic acid, or by further imidizing it into a polyimide.

塗布液の粘度は、最終的に300〜2500cPとすることが好ましく、400〜1500cPの範囲がより好ましく、600〜1200cPの範囲がさらに好ましい。塗布液の粘度がこの範囲内であれば、均一に成膜をすることが可能である。   The viscosity of the coating solution is preferably finally 300 to 2500 cP, more preferably 400 to 1500 cP, and even more preferably 600 to 1200 cP. If the viscosity of the coating solution is within this range, it is possible to form a film uniformly.

上記塗布液には、微粒子とポリアミド酸又はポリイミドを乾燥して未焼成膜FAとした場合において、微粒子の材質が後述の無機材料の場合は微粒子/ポリイミドの比率が2〜6(質量比)となるように微粒子とポリアミド酸又はポリイミドとを混合するとよい。3〜5(質量比)とすることが、更に好ましい。微粒子の材質が後述の有機材料の場合は微粒子/ポリイミドの比率が1〜3.5(質量比)となるように微粒子とポリアミド酸又はポリイミドとを混合するとよい。1.2〜3(質量比)とすることが、更に好ましい。また、未焼成膜FAとした際に微粒子/ポリイミドの体積比率が1.5〜4.5となるように微粒子とポリアミド酸又はポリイミドとを混合するとよい。1.8〜3(体積比)とすることが更に好ましい。未焼成膜FAとした際に微粒子/ポリイミドの質量比又は体積比が下限値以上であれば、セパレータとして適切な密度の孔を得ることができ、上限値以下であれば、粘度の増加や膜中のひび割れ等の問題を生じることなく安定的に成膜することができる。ポリアミド酸又はポリイミドのかわりに樹脂材料がポリアミドイミド又はポリアミドとなる場合も、質量比は上記と同様である。   In the coating solution, when the fine particles and the polyamic acid or polyimide are dried to form an unfired film FA, the fine particle / polyimide ratio is 2 to 6 (mass ratio) when the material of the fine particles is an inorganic material described later. The fine particles and polyamic acid or polyimide may be mixed so as to be. More preferably, it is 3-5 (mass ratio). When the material of the fine particles is an organic material described later, the fine particles and the polyamic acid or the polyimide may be mixed so that the fine particle / polyimide ratio is 1 to 3.5 (mass ratio). It is still more preferable to set it as 1.2-3 (mass ratio). Moreover, it is good to mix a microparticle and a polyamic acid or a polyimide so that the volume ratio of microparticles / polyimide may be 1.5 to 4.5 when the unfired film FA is formed. More preferably, it is 1.8-3 (volume ratio). If the fine particle / polyimide mass ratio or volume ratio is equal to or higher than the lower limit when the unfired film FA is used, pores having an appropriate density as a separator can be obtained. It is possible to form a film stably without causing problems such as cracks inside. When the resin material is polyamide-imide or polyamide instead of polyamic acid or polyimide, the mass ratio is the same as above.

以下、各樹脂材料について具体的に説明する。
<ポリアミド酸>
本実施形態で用いるポリアミド酸は、任意のテトラカルボン酸二無水物とジアミンを重合して得られるものが、特に限定されることなく使用できる。テトラカルボン酸二無水物及びジアミンの使用量は特に限定されないが、テトラカルボン酸二無水物1モルに対して、ジアミンを0.50〜1.50モル用いるのが好ましく、0.60〜1.30モル用いるのがより好ましく、0.70〜1.20モル用いるのが特に好ましい。
Hereinafter, each resin material will be specifically described.
<Polyamide acid>
As the polyamic acid used in the present embodiment, one obtained by polymerizing an arbitrary tetracarboxylic dianhydride and diamine can be used without any particular limitation. Although the usage-amount of tetracarboxylic dianhydride and diamine is not specifically limited, It is preferable to use 0.50-1.50 mol of diamine with respect to 1 mol of tetracarboxylic dianhydrides, and 0.60-1. It is more preferable to use 30 mol, and it is particularly preferable to use 0.70 to 1.20 mol.

テトラカルボン酸二無水物は、従来からポリアミド酸の合成原料として使用されているテトラカルボン酸二無水物から適宜選択することができる。テトラカルボン酸二無水物は、芳香族テトラカルボン酸二無水物であっても、脂肪族テトラカルボン酸二無水物であってもよいが、得られるポリイミド樹脂の耐熱性の点から、芳香族テトラカルボン酸二無水物を使用することが好ましい。テトラカルボン酸二無水物は、2種以上を組合せて用いてもよい。   The tetracarboxylic dianhydride can be appropriately selected from tetracarboxylic dianhydrides conventionally used as raw materials for synthesizing polyamic acid. The tetracarboxylic dianhydride may be an aromatic tetracarboxylic dianhydride or an aliphatic tetracarboxylic dianhydride. From the viewpoint of the heat resistance of the resulting polyimide resin, the aromatic tetracarboxylic dianhydride may be used. Preference is given to using carboxylic dianhydrides. Tetracarboxylic dianhydride may be used in combination of two or more.

芳香族テトラカルボン酸二無水物の好適な具体例としては、ピロメリット酸二無水物、1,1−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エタン二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)メタン二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,3,3’,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2,6,6−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)プロパン二無水物、2,2−ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−へキサフルオロプロパン二無水物、2,2−ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)−1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロプロパン二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、ビス(3,4−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、ビス(2,3−ジカルボキシフェニル)エーテル二無水物、2,2’,3,3’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物、4,4−(p−フェニレンジオキシ)ジフタル酸二無水物、4,4−(m−フェニレンジオキシ)ジフタル酸二無水物、1,2,5,6−ナフタレンテトラカルボン二無水物、1,4,5,8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−ベンゼンテトラカルボン酸二無水物、3,4,9,10−ペリレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,7−アントラセンテトラカルボン酸二無水物、1,2,7,8−フェナントレンテトラカルボン酸二無水物、9,9−ビス無水フタル酸フルオレン、3,3’,4,4’−ジフェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。脂肪族テトラカルボン酸二無水物としては、例えば、エチレンテトラカルボン酸二無水物、ブタンテトラカルボン酸二無水物、シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、シクロへキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,4,5−シクロへキサンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−シクロヘキサンテトラカルボン酸二無水物等が挙げられる。これらの中では、価格、入手容易性等から、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物及びピロメリット酸二無水物が好ましい。また、これらのテトラカルボン酸二無水物は単独あるいは二種以上混合して用いることもできる。   Preferable specific examples of the aromatic tetracarboxylic dianhydride include pyromellitic dianhydride, 1,1-bis (2,3-dicarboxyphenyl) ethane dianhydride, bis (2,3-dicarboxy). Phenyl) methane dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) methane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,3,3 ′, 4′- Biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2,6,6-biphenyltetracarboxylic dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (2 , 3-Dicarboxyphenyl) propane dianhydride, 2,2-bis (3,4-dicarboxyphenyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 2,2 -Bis (2,3-dicarboxy Enyl) -1,1,1,3,3,3-hexafluoropropane dianhydride, 3,3 ′, 4,4′-benzophenone tetracarboxylic dianhydride, bis (3,4-dicarboxyphenyl) Ether dianhydride, bis (2,3-dicarboxyphenyl) ether dianhydride, 2,2 ′, 3,3′-benzophenonetetracarboxylic dianhydride, 4,4- (p-phenylenedioxy) diphthal Acid dianhydride, 4,4- (m-phenylenedioxy) diphthalic dianhydride, 1,2,5,6-naphthalene tetracarboxylic dianhydride, 1,4,5,8-naphthalene tetracarboxylic acid di Anhydride, 2,3,6,7-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-benzenetetracarboxylic dianhydride, 3,4,9,10-perylenetetracarboxylic dianhydride , 2, 3 6,7-anthracenetetracarboxylic dianhydride, 1,2,7,8-phenanthrenetetracarboxylic dianhydride, 9,9-bisphthalic anhydride fluorene, 3,3 ′, 4,4′-diphenylsulfone Tetracarboxylic dianhydride etc. are mentioned. Examples of the aliphatic tetracarboxylic dianhydride include ethylene tetracarboxylic dianhydride, butane tetracarboxylic dianhydride, cyclopentane tetracarboxylic dianhydride, cyclohexane tetracarboxylic dianhydride, 1, 2,4,5-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclohexanetetracarboxylic dianhydride, and the like. Among these, 3,3 ′, 4,4′-biphenyltetracarboxylic dianhydride and pyromellitic dianhydride are preferable from the viewpoint of price and availability. These tetracarboxylic dianhydrides may be used alone or in combination of two or more.

ジアミンは、従来からポリアミド酸の合成原料として使用されているジアミンから適宜選択することができる。ジアミンは、芳香族ジアミンであっても、脂肪族ジアミンであってもよいが、得られるポリイミド樹脂の耐熱性の点から、芳香族ジアミンが好ましい。これらのジアミンは、2種以上を組合せて用いてもよい。   The diamine can be appropriately selected from diamines conventionally used as a raw material for synthesizing polyamic acid. The diamine may be an aromatic diamine or an aliphatic diamine, but an aromatic diamine is preferred from the viewpoint of the heat resistance of the resulting polyimide resin. These diamines may be used in combination of two or more.

芳香族ジアミンとしては、フェニル基が1個あるいは2〜10個程度が結合したジアミノ化合物を挙げることができる。具体的には、フェニレンジアミン及びその誘導体、ジアミノビフェニル化合物及びその誘導体、ジアミノジフェニル化合物及びその誘導体、ジアミノトリフェニル化合物及びその誘導体、ジアミノナフタレン及びその誘導体、アミノフェニルアミノインダン及びその誘導体、ジアミノテトラフェニル化合物及びその誘導体、ジアミノヘキサフェニル化合物及びその誘導体、カルド型フルオレンジアミン誘導体である。   Examples of the aromatic diamine include diamino compounds in which one phenyl group or about 2 to 10 phenyl groups are bonded. Specifically, phenylenediamine and derivatives thereof, diaminobiphenyl compounds and derivatives thereof, diaminodiphenyl compounds and derivatives thereof, diaminotriphenyl compounds and derivatives thereof, diaminonaphthalene and derivatives thereof, aminophenylaminoindane and derivatives thereof, diaminotetraphenyl Compounds and derivatives thereof, diaminohexaphenyl compounds and derivatives thereof, and cardo-type fluorenediamine derivatives.

フェニレンジアミンはm−フェニレンジアミン、p−フェニレンジアミン等であり、フェニレンジアミン誘導体としては、メチル基、エチル基等のアルキル基が結合したジアミン、例えば、2,4−ジアミノトルエン、2,4−トリフェニレンジアミン等である。   Phenylenediamine is m-phenylenediamine, p-phenylenediamine, etc., and phenylenediamine derivatives include diamines to which alkyl groups such as methyl group and ethyl group are bonded, such as 2,4-diaminotoluene, 2,4-triphenylene. Diamines and the like.

ジアミノビフェニル化合物は、2つのアミノフェニル基がフェニル基同士で結合したものである。例えば、4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ビス(トリフルオロメチル)ビフェニル等である。   The diaminobiphenyl compound is a compound in which two aminophenyl groups are bonded to each other. For example, 4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diamino-2,2'-bis (trifluoromethyl) biphenyl, and the like.

ジアミノジフェニル化合物は、2つのアミノフェニル基が他の基を介してフェニル基同士で結合したものである。結合はエーテル結合、スルホニル結合、チオエーテル結合、アルキレン又はその誘導体基による結合、イミノ結合、アゾ結合、ホスフィンオキシド結合、アミド結合、ウレイレン結合等である。アルキレン結合は炭素数が1〜6程度のものであり、その誘導体基はアルキレン基の水素原子の1以上がハロゲン原子等で置換されたものである。   The diaminodiphenyl compound is a compound in which two aminophenyl groups are bonded to each other via other groups. The bond is an ether bond, a sulfonyl bond, a thioether bond, a bond by alkylene or a derivative group thereof, an imino bond, an azo bond, a phosphine oxide bond, an amide bond, a ureylene bond, or the like. The alkylene bond has about 1 to 6 carbon atoms, and the derivative group has one or more hydrogen atoms in the alkylene group substituted with halogen atoms or the like.

ジアミノジフェニル化合物の例としては、3,3’−ジアミノジフェニルエーテル、3,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノジフェニルスルホン、3,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、3,3’−ジアミノジフェニルメタン、3,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノジフェニルスルフィド、3,3’−ジアミノジフェニルケトン、3,4’−ジアミノジフェニルケトン、2,2−ビス(p−アミノフェニル)プロパン、2,2’−ビス(p−アミノフェニル)へキサフルオロプロパン、4−メチル−2,4−ビス(p−アミノフェニル)−1−ペンテン、4−メチル−2,4−ビス(p−アミノフェニル)−2−ぺンテン、イミノジアニリン、4−メチル−2,4−ビス(p−アミノフェニル)ペンタン、ビス(p−アミノフェニル)ホスフィンオキシド、4,4’−ジアミノアゾベンゼン、4,4’−ジアミノジフェニル尿素、4,4’−ジアミノジフェニルアミド、1,4−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−ビス(4−アミノフェノキシ)ビフェニル、ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、ビス[4−(3−アミノフェノキシ)フェニル]スルフォン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプロパン等が挙げられる。   Examples of diaminodiphenyl compounds include 3,3′-diaminodiphenyl ether, 3,4′-diaminodiphenyl ether, 4,4′-diaminodiphenyl ether, 3,3′-diaminodiphenyl sulfone, 3,4′-diaminodiphenyl sulfone, 4,4'-diaminodiphenylsulfone, 3,3'-diaminodiphenylmethane, 3,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 3,3'-diaminodiphenyl ketone 3,4′-diaminodiphenyl ketone, 2,2-bis (p-aminophenyl) propane, 2,2′-bis (p-aminophenyl) hexafluoropropane, 4-methyl-2,4-bis ( p-aminophenyl) -1-pentene, 4-methyl-2 4-bis (p-aminophenyl) -2-pentene, iminodianiline, 4-methyl-2,4-bis (p-aminophenyl) pentane, bis (p-aminophenyl) phosphine oxide, 4,4 ′ -Diaminoazobenzene, 4,4'-diaminodiphenylurea, 4,4'-diaminodiphenylamide, 1,4-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1, 3-bis (3-aminophenoxy) benzene, 4,4′-bis (4-aminophenoxy) biphenyl, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, bis [4- (3-aminophenoxy) phenyl ] Sulfone, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2-bis [4- (4-aminophen ) Phenyl] hexafluoropropane, and the like.

これらの中では、価格、入手容易性等から、p−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、2,4−ジアミノトルエン、及び4,4’−ジアミノジフェニルエーテルが好ましい。   Among these, p-phenylenediamine, m-phenylenediamine, 2,4-diaminotoluene, and 4,4'-diaminodiphenyl ether are preferable from the viewpoint of price and availability.

ジアミノトリフェニル化合物は、2つのアミノフェニル基と1つのフェニレン基が何れも他の基を介して結合したものであり、他の基は、ジアミノジフェニル化合物と同様のものが選ばれる。ジアミノトリフェニル化合物の例としては、1,3−ビス(m−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,4−ビス(p−アミノフェノキシ)ベンゼン等を挙げることができる。   In the diaminotriphenyl compound, two aminophenyl groups and one phenylene group are both bonded via other groups, and the other groups are the same as those of the diaminodiphenyl compound. Examples of diaminotriphenyl compounds include 1,3-bis (m-aminophenoxy) benzene, 1,3-bis (p-aminophenoxy) benzene, 1,4-bis (p-aminophenoxy) benzene, and the like. be able to.

ジアミノナフタレンの例としては、1,5−ジアミノナフタレン及び2,6−ジアミノナフタレンを挙げることができる。   Examples of diaminonaphthalene include 1,5-diaminonaphthalene and 2,6-diaminonaphthalene.

アミノフェニルアミノインダンの例としては、5又は6−アミノ−1−(p−アミノフェニル)−1,3,3−トリメチルインダンを挙げることができる。   Examples of aminophenylaminoindane include 5 or 6-amino-1- (p-aminophenyl) -1,3,3-trimethylindane.

ジアミノテトラフェニル化合物の例としては、4,4’−ビス(p−アミノフェノキシ)ビフェニル、2,2’−ビス[p−(p’−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2’−ビス[p−(p’−アミノフェノキシ)ビフェニル]プロパン、2,2’−ビス[p−(m−アミノフェノキシ)フェニル]ベンゾフェノン等を挙げることができる。   Examples of diaminotetraphenyl compounds include 4,4′-bis (p-aminophenoxy) biphenyl, 2,2′-bis [p- (p′-aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2′-bis [ p- (p′-aminophenoxy) biphenyl] propane, 2,2′-bis [p- (m-aminophenoxy) phenyl] benzophenone, and the like.

カルド型フルオレンジアミン誘導体は、9,9−ビスアニリンフルオレン等が挙げられる。   Examples of the cardo type fluoreneamine derivative include 9,9-bisaniline fluorene.

脂肪族ジアミンは、例えば、炭素数が2〜15程度のものがよく、具体的には、ペンタメチレンジアミン、へキサメチレンジアミン、へプタメチレンジアミン等が挙げられる。   The aliphatic diamine has, for example, about 2 to 15 carbon atoms, and specific examples include pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, and heptamethylenediamine.

なお、これらのジアミンの水素原子がハロゲン原子、メチル基、メトキシ基、シアノ基、フェニル基等の群より選択される少なくとも1種の置換基により置換された化合物であってもよい。   A compound in which the hydrogen atom of these diamines is substituted with at least one substituent selected from the group such as a halogen atom, a methyl group, a methoxy group, a cyano group, and a phenyl group may be used.

本実施形態で用いられるポリアミド酸を製造する手段に特に制限はなく、例えば、有機溶剤中で酸、ジアミン成分を反応させる方法等の公知の手法を用いることができる。   There is no restriction | limiting in particular in the means to manufacture the polyamic acid used by this embodiment, For example, well-known methods, such as the method of making an acid and a diamine component react in an organic solvent, can be used.

テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応は、通常、有機溶剤中で行われる。テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応に使用される有機溶剤は、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンを溶解させることができ、テトラカルボン酸二無水物及びジアミンと反応しないものであれば特に限定されない。有機溶剤は単独で又は2種以上を混合して用いることができる。   Reaction of tetracarboxylic dianhydride and diamine is normally performed in an organic solvent. The organic solvent used for the reaction of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine is particularly capable of dissolving the tetracarboxylic dianhydride and the diamine and not reacting with the tetracarboxylic dianhydride and the diamine. It is not limited. An organic solvent can be used individually or in mixture of 2 or more types.

テトラカルボン酸二無水物とジアミンとの反応に用いる有機溶剤の例としては、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチルカプローラクタム、N,N,N’,N’−テトラメチルウレア等の含窒素極性溶剤;β−プロピオラクトン、γ−ブチローラクトン、γ−バレローラクトン、δ−バレローラクトン、γ−カプローラクトン、ε−カプローラクトン等のラクトン系極性溶剤;ジメチルスルホキシド;アセトニトリル;乳酸エチル、乳酸ブチル等の脂肪酸エステル類;ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールジエチルエーテル、ジオキサン、テトラヒドロフラン、メチルセルソルブアセテート、エチルセルソルブアセテート等のエーテル類;クレゾール類等のフェノール系溶剤が挙げられる。これらの有機溶剤は単独あるいは2種以上を混合して用いることができる。有機溶剤の使用量に特に制限はないが、生成するポリアミド酸の含有量が5〜50質量%とするのが望ましい。   Examples of the organic solvent used for the reaction of tetracarboxylic dianhydride and diamine include N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N Nitrogen-containing polar solvents such as N, N-diethylformamide, N-methylcaprolactam, N, N, N ′, N′-tetramethylurea; β-propiolactone, γ-butyrolactone, γ-valerolactone Lactone polar solvents such as δ-valerolactone, γ-caprolactone and ε-caprolactone; dimethyl sulfoxide; acetonitrile; fatty acid esters such as ethyl lactate and butyl lactate; diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, dioxane, Tetrahydrofuran, methyl cellosolve acetate Over DOO, ethers such as ethyl cellosolve acetate; include phenolic solvents cresols, and the like. These organic solvents can be used alone or in admixture of two or more. Although there is no restriction | limiting in particular in the usage-amount of an organic solvent, It is desirable for content of the polyamic acid to produce | generate to be 5-50 mass%.

これらの有機溶剤の中では、生成するポリアミド酸の溶解性から、N−メチル−2−ピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、N,N−ジエチルアセトアミド、N,N−ジメチルホルムアミド、N,N−ジエチルホルムアミド、N−メチルカプローラクタム、N,N,N’,N’−テトラメチルウレア等の含窒素極性溶剤が好ましい。   Among these organic solvents, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylacetamide, N, N-diethylacetamide, N, N-dimethylformamide, N, N- Nitrogen-containing polar solvents such as diethylformamide, N-methylcaprolactam, N, N, N ′, N′-tetramethylurea are preferred.

重合温度は一般的には−10〜120℃、好ましくは5〜30℃である。重合時間は使用する原料組成により異なるが、通常は3〜24Hr(時間)である。また、このような条件下で得られるポリアミド酸の有機溶剤溶液の固有粘度は、好ましくは1000〜10万cP(センチポアズ)、より一層好ましくは5000〜7万cPの範囲である。   The polymerization temperature is generally -10 to 120 ° C, preferably 5 to 30 ° C. The polymerization time varies depending on the raw material composition to be used, but is usually 3 to 24 Hr (hour). Moreover, the intrinsic viscosity of the organic solvent solution of polyamic acid obtained under such conditions is preferably in the range of 1000 to 100,000 cP (centipoise), and more preferably in the range of 5,000 to 70,000 cP.

<ポリイミド>
本実施形態に用いるポリイミドは、塗布液に使用する有機溶剤に溶解可能な可溶性ポリイミドなら、その構造や分子量に限定されることなく、公知のものが使用できる。ポリイミドについて、側鎖にカルボキシ基等の縮合可能な官能基又は焼成時に架橋反応等を促進させる官能基を有していてもよい。
<Polyimide>
The polyimide used in the present embodiment is not limited to its structure and molecular weight, and any known polyimide can be used as long as it is a soluble polyimide that can be dissolved in the organic solvent used in the coating solution. About a polyimide, you may have a functional group which accelerates | stimulates a crosslinking reaction etc. at the time of baking, or a functional group which can be condensed, such as a carboxy group.

有機溶剤に可溶なポリイミドとするために、主鎖に柔軟な屈曲構造を導入するためのモノマーの使用、例えば、エチレジアミン、ヘキサメチレンジアミン、1,4−ジアミノシクロヘキサン、1,3−ジアミノシクロヘキサン、4,4’−ジアミノジシクロヘキシルメタン等の脂肪族ジアミン;2−メチルー1,4−フェニレンジアミン、o−トリジン、m−トリジン、3,3’−ジメトキシベンジジン、4,4’−ジアミノベンズアニリド等の芳香族ジアミン;ポリオキシエチレンジアミン、ポリオキシプロピレンジアミン、ポリオキシブチレンジアミン等のポリオキシアルキレンジアミン;ポリシロキサンジアミン;2,3,3’,4’−オキシジフタル酸無水物、3,4,3’,4’−オキシジフタル酸無水物、2,2−ビス(4−ヒドロキシフェニル)プロパンジベンゾエート−3,3’,4,4’−テトラカルボン酸二無水物等の使用が有効である。また、有機溶剤への溶解性を向上する官能基を有するモノマーの使用、例えば、2,2’−ビス(トリフルオロメチル)−4,4’−ジアミノビフェニル、2−トリフルオロメチル−1,4−フェニレンジアミン等のフッ素化ジアミンを使用することも有効である。更に、上記ポリイミドの溶解性を向上するためのモノマーに加えて、溶解性を阻害しない範囲で、上記ポリアミド酸の欄に記したものと同じモノマーを併用することもできる。   Use of a monomer to introduce a flexible bending structure into the main chain in order to obtain a polyimide soluble in an organic solvent, such as ethylenediamine, hexamethylenediamine, 1,4-diaminocyclohexane, 1,3-diaminocyclohexane, Aliphatic diamines such as 4,4′-diaminodicyclohexylmethane; 2-methyl-1,4-phenylenediamine, o-tolidine, m-tolidine, 3,3′-dimethoxybenzidine, 4,4′-diaminobenzanilide, etc. Aromatic diamines; polyoxyalkylene diamines such as polyoxyethylene diamine, polyoxypropylene diamine, polyoxybutylene diamine; polysiloxane diamines; 2,3,3 ′, 4′-oxydiphthalic anhydride, 3,4,3 ′, 4′-oxydiphthalic anhydride, 2,2-bis (4- Rokishifeniru) propane dibenzoate-3,3 ', use of such 4,4'-tetracarboxylic dianhydride is valid. In addition, use of a monomer having a functional group that improves solubility in an organic solvent, for example, 2,2′-bis (trifluoromethyl) -4,4′-diaminobiphenyl, 2-trifluoromethyl-1,4 -It is also effective to use a fluorinated diamine such as phenylenediamine. Furthermore, in addition to the monomer for improving the solubility of the polyimide, the same monomers as those described in the column for the polyamic acid can be used in combination as long as the solubility is not inhibited.

本発明で用いられる、有機溶剤に溶解可能なポリイミドを製造する手段に特に制限はなく、例えば、ポリアミド酸を化学イミド化又は加熱イミド化させ、有機溶剤に溶解させる方法等の公知の手法を用いることができる。そのようなポリイミドとしては、脂肪族ポリイミド(全脂肪族ポリイミド)、芳香族ポリイミド等を挙げることができ、芳香族ポリイミドが好ましい。芳香族ポリイミドとしては、式(1)で示す繰り返し単位を有するポリアミド酸を熱又は化学的に閉環反応によって取得したもの、若しくは式(2)で示す繰り返し単位を有するポリイミドを溶媒に溶解したものでよい。式中Arはアリール基を示す。   There is no restriction | limiting in particular in the means which manufactures the polyimide which can be melt | dissolved in the organic solvent used by this invention, For example, well-known methods, such as the method of making a polyamic acid chemically imidate or heat imidize, and making it melt | dissolve in an organic solvent, are used. be able to. Examples of such polyimide include aliphatic polyimide (total aliphatic polyimide), aromatic polyimide and the like, and aromatic polyimide is preferable. The aromatic polyimide is obtained by thermally or chemically obtaining a polyamic acid having a repeating unit represented by the formula (1) by a ring-closing reaction or by dissolving a polyimide having a repeating unit represented by the formula (2) in a solvent. Good. In the formula, Ar represents an aryl group.

Figure 2016055541
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Figure 2016055541
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<ポリアミドイミド>
本実施形態に用いるポリアミドイミドは、塗布液に使用する有機溶剤に溶解可能な可溶性ポリアミドイミドなら、その構造や分子量に限定されることなく、公知のものが使用できる。ポリアミドイミドについて、側鎖にカルボキシ基等の縮合可能な官能基又は焼成時に架橋反応等を促進させる官能基を有していてもよい。
<Polyamideimide>
As the polyamideimide used in the present embodiment, any known polyamideimide can be used as long as it is a soluble polyamideimide that can be dissolved in an organic solvent used in the coating solution, without being limited to its structure and molecular weight. The polyamideimide may have a functional group capable of condensing such as a carboxy group in the side chain or a functional group that promotes a crosslinking reaction or the like during firing.

本実施形態で用いるポリアミドイミドは、任意の無水トリメリット酸とジイソシアネートとを反応させて得られるものや、任意の無水トリメリット酸の反応性誘導体とジアミンとの反応により得られる前駆体ポリマーをイミド化して得られるものを特に限定されることなく使用できる。   The polyamideimide used in the present embodiment is obtained by reacting any trimellitic anhydride and diisocyanate, or a precursor polymer obtained by reacting any reactive derivative of trimellitic anhydride with diamine. What is obtained by forming can be used without particular limitation.

上記任意の無水トリメッと酸又はその反応性誘導体としては、例えば、無水トリメリット酸、無水トリメリット酸クローライド等の無水トリメリット酸ハロゲン化物、無水トリメリット酸エステル等が挙げられる。   Examples of the arbitrary trimellitic anhydride and acid or a reactive derivative thereof include trimellitic anhydride halides such as trimellitic anhydride and trimellitic anhydride chloride, trimellitic anhydride ester, and the like.

ジイソシアネートとしては、例えば、メタフェニレンジイソシアネート、p−フェニレンジイソシアネート、4,4’−オキシビス(フェニルイソシアネート)、4,4’−ジイソシアネートジフェニルメタン、ビス[4−(4−イソシアネートフェノキシ) フェニル] スルホン、2,2′−ビス[4−(4−イソシアネートフェノキシ)フェニル] プロパン等が挙げられる。   Examples of the diisocyanate include metaphenylene diisocyanate, p-phenylene diisocyanate, 4,4′-oxybis (phenylisocyanate), 4,4′-diisocyanatediphenylmethane, bis [4- (4-isocyanatephenoxy) phenyl] sulfone, 2, And 2'-bis [4- (4-isocyanatophenoxy) phenyl] propane.

ジアミンとしては、前記ポリアミド酸の説明において例示したものと同様のものが挙げられる。   Examples of the diamine include those similar to those exemplified in the description of the polyamic acid.

<ポリアミド>
ポリアミドとしては、ジカルボン酸とジアミンとから得られるポリアミドが好ましく、特に芳香族ポリアミドが好ましい。
<Polyamide>
As the polyamide, a polyamide obtained from a dicarboxylic acid and a diamine is preferable, and an aromatic polyamide is particularly preferable.

ジカルボン酸としては、マレイン酸、フマル酸、イタコン酸、メチルマレイン酸、ジメチルマレイン酸、フェニルマレイン酸、クロロマレイン酸、ジクロロマレイン酸、フルオロマレイン酸、フタル酸、イソフタル酸、テレフタル酸、及びジフェン酸等が挙げられる。   Dicarboxylic acids include maleic acid, fumaric acid, itaconic acid, methylmaleic acid, dimethylmaleic acid, phenylmaleic acid, chloromaleic acid, dichloromaleic acid, fluoromaleic acid, phthalic acid, isophthalic acid, terephthalic acid, and diphenic acid Etc.

ジアミンとしては、前記ポリアミド酸の説明において例示したものと同様のものが挙げられる。   Examples of the diamine include those similar to those exemplified in the description of the polyamic acid.

<微粒子>
続いて、微粒子について説明する。微粒子は、例えば真球率が高く、粒径分布指数の小さいものが用いられる。このような微粒子は、液体中での分散性に優れ、互いに凝集しない状態となる。微粒子の粒径(平均直径)としては、例えば、100〜2000nm程度に設定することができる。上記のような微粒子を用いることにより、後の工程で微粒子を除去することで得られる多孔性樹脂膜Fの孔径を揃えることができる。このため、多孔性樹脂膜Fによって形成されるセパレータに印加される電界を均一化できる。
<Fine particles>
Subsequently, the fine particles will be described. For example, fine particles having a high sphericity and a small particle size distribution index are used. Such fine particles are excellent in dispersibility in a liquid and do not aggregate with each other. The particle size (average diameter) of the fine particles can be set to about 100 to 2000 nm, for example. By using the fine particles as described above, the pore diameter of the porous resin film F obtained by removing the fine particles in a later step can be made uniform. For this reason, the electric field applied to the separator formed by the porous resin film F can be made uniform.

なお、微粒子の材質としては、塗布液に含まれる溶剤に不溶であって、後の工程で多孔性樹脂膜Fから除去可能な材質であれば、特に限定されることはなく公知のものを採用することができる。例えば、無機材料では、シリカ(二酸化珪素)、酸化チタン、アルミナ(Al)等の金属酸化物が挙げられる。また、有機材料では、高分子量オレフィン(ポリプロピレン,ポリエチレン等)、ポリスチレン、エポキシ樹脂、セルロース、ポリビニルアルコール、ポリビニルブチラール、ポリエステル、ポリメチルメタクリレート、ポリエーテル等の有機高分子微粒子が挙げられる。また、微粒子の一例として、(単分散)球状シリカ粒子などのコロイダルシリカ、炭酸カルシウム等が挙げられる。この場合、多孔性樹脂膜Fの孔径をより均一にすることができる。 The fine particle material is not particularly limited as long as it is a material that is insoluble in the solvent contained in the coating solution and can be removed from the porous resin film F in a later step. can do. For example, the inorganic materials, silica (silicon dioxide), metal oxides such as titanium oxide, alumina (Al 2 O 3) can be mentioned. Examples of organic materials include high molecular weight olefins (polypropylene, polyethylene, etc.), polystyrene, epoxy resin, cellulose, polyvinyl alcohol, polyvinyl butyral, polyester, polymethyl methacrylate, polyether, and other organic polymer fine particles. Examples of the fine particles include colloidal silica such as (monodispersed) spherical silica particles, calcium carbonate, and the like. In this case, the pore diameter of the porous resin film F can be made more uniform.

また、第1塗布液に含まれる微粒子と第2塗布液に含まれる微粒子とは、真球率、粒径、材料等の諸元が同一であってもよいし、互いに異なってもよい。第1塗布液に含まれる微粒子は、第2塗布液に含まれる微粒子よりも粒径分布指数が小さいか同じであることが好ましい。あるいは、第1塗布液に含まれる微粒子は、第2塗布液に含まれる微粒子よりも真球率が小さいか同じであることが好ましい。また、第1塗布液に含まれる微粒子は、第2塗布液に含まれる微粒子よりも微粒子の粒径(平均直径)が小さいことが好ましく、特に、第1塗布液に含まれる微粒子が100〜1000nm(より好ましくは100〜600nm)であり、第2塗布液に含まれる微粒子が500〜2000nm(より好ましくは700〜2000nm)であることが好ましい。第1塗布膜に含まれる微粒子の粒径に第2塗布液に含まれる微粒子の粒径より小さいものを用いることで、多孔性樹脂膜F表面の孔の開口割合を高く均一にすることができる。また、多孔性樹脂膜F全体を第1塗布液に含まれる微粒子の粒径とした場合よりも膜の強度を高めることができる。   Further, the fine particles contained in the first coating solution and the fine particles contained in the second coating solution may have the same specifications such as sphericity, particle size, material, etc., or may be different from each other. The fine particles contained in the first coating solution preferably have a smaller or the same particle size distribution index as the fine particles contained in the second coating solution. Alternatively, it is preferable that the fine particles contained in the first coating solution have a smaller or the same sphericity as the fine particles contained in the second coating solution. The fine particles contained in the first coating solution preferably have a smaller particle diameter (average diameter) than the fine particles contained in the second coating solution. Particularly, the fine particles contained in the first coating solution have a particle size of 100 to 1000 nm. (More preferably 100 to 600 nm), and the fine particles contained in the second coating solution are preferably 500 to 2000 nm (more preferably 700 to 2000 nm). By using a particle size of the fine particles contained in the first coating film that is smaller than the particle size of the fine particles contained in the second coating solution, the opening ratio of the pores on the surface of the porous resin film F can be made high and uniform. . Further, the strength of the film can be increased as compared with the case where the entire porous resin film F is made the particle size of the fine particles contained in the first coating liquid.

なお、上記塗布液は、所定の樹脂材料と、微粒子と、溶剤の他、必要に応じて、離型剤、分散剤、縮合剤、イミド化剤、界面活性剤等種々の添加剤を含んでいてもよい。   The coating solution contains various additives such as a mold release agent, a dispersant, a condensing agent, an imidizing agent, and a surfactant as required in addition to a predetermined resin material, fine particles, and a solvent. May be.

[塗布ユニット]
塗布ユニット10は、搬送部11と、第1ノズル12と、第2ノズル13と、乾燥部14と、剥離部15と、とを有する。
搬送部11は、搬送基材(基材)Sと、基材送出ローラ11aと、支持ローラ11b〜11dと、基材巻取ローラ11eと、搬出ローラ11fとを有する。
[Coating unit]
The coating unit 10 includes a transport unit 11, a first nozzle 12, a second nozzle 13, a drying unit 14, and a peeling unit 15.
The transport unit 11 includes a transport base material (base material) S, a base material feed roller 11a, support rollers 11b to 11d, a base material take-up roller 11e, and a carry-out roller 11f.

搬送基材Sは、帯状に形成されている。搬送基材Sは、基材送出ローラ11aから送り出され、テンションを有するように支持ローラ11b〜11dに架け渡されて、基材巻取ローラ11eによって巻き取られる。搬送基材Sの材質としては、例えばポリエチレンテレフタレート(PET)などが挙げられるが、これに限定するものではなく、ステンレス鋼等の金属材料であってもよい。   The conveyance base material S is formed in a strip shape. The conveyance base material S is sent out from the base material feed roller 11a, is stretched around the support rollers 11b to 11d so as to have a tension, and is taken up by the base material take-up roller 11e. Examples of the material of the transport substrate S include polyethylene terephthalate (PET), but are not limited thereto, and may be a metal material such as stainless steel.

各ローラ11a〜11fは、例えば円筒状に形成され、それぞれX方向に平行に配置されている。なお、各ローラ11a〜11fは、X方向に平行な配置に限られず、少なくとも1つがX方向に対して傾いて配置されてもよい。例えば、各ローラ11a〜11fがZ方向に平行に配置され、Z方向の高さ位置が同一となるように配置されてもよい。この場合、搬送基材Sは、水平面(XY平面)に対して立った状態で水平面に沿って移動することになる。   Each of the rollers 11a to 11f is formed in a cylindrical shape, for example, and is arranged in parallel to the X direction. Each of the rollers 11a to 11f is not limited to the arrangement parallel to the X direction, and at least one of the rollers 11a to 11f may be arranged inclined with respect to the X direction. For example, each roller 11a-11f may be arrange | positioned in parallel with a Z direction, and may be arrange | positioned so that the height position of a Z direction may become the same. In this case, the conveyance base material S moves along the horizontal plane while standing on the horizontal plane (XY plane).

基材送出ローラ11aは、搬送基材Sが巻かれた状態で配置される。支持ローラ11bは、基材送出ローラ11aの+Z側に配置されると共に、基材送出ローラ11aよりも−Y側に配置される。また、支持ローラ11cは、支持ローラ11bの+Z側に配置されると共に、支持ローラ11bよりも+Y側に配置される。この3つのローラ(基材送出ローラ11a、支持ローラ11b、11c)の配置により、搬送基材Sは支持ローラ11bの−Y側端部を含む面で支持される。   The base material feed roller 11a is arranged in a state where the transport base material S is wound. The support roller 11b is disposed on the + Z side of the base material feed roller 11a, and is disposed on the −Y side of the base material feed roller 11a. The support roller 11c is disposed on the + Z side of the support roller 11b, and is disposed on the + Y side of the support roller 11b. Due to the arrangement of these three rollers (base material feed roller 11a, support rollers 11b, 11c), the transport base material S is supported on the surface including the −Y side end portion of the support roller 11b.

また、支持ローラ11dは、支持ローラ11cの+Y側に配置されると共に、支持ローラ11cの−Z側に配置される。この場合、支持ローラ11b〜11dの3つのローラの配置により、搬送基材Sは、支持ローラ11cの+Z側端部を含む面で支持される。   The support roller 11d is disposed on the + Y side of the support roller 11c, and is disposed on the −Z side of the support roller 11c. In this case, the conveyance base material S is supported on the surface including the + Z side end portion of the support roller 11c by the arrangement of the three rollers of the support rollers 11b to 11d.

なお、支持ローラ11dが、支持ローラ11cの高さ位置(Z方向の位置)とほぼ等しい高さ位置に配置されてもよい。この場合、搬送基材Sは、支持ローラ11cから支持ローラ11dに向けてXY平面にほぼ平行な状態で+Y方向に送られる。   The support roller 11d may be disposed at a height position substantially equal to the height position (position in the Z direction) of the support roller 11c. In this case, the transport substrate S is fed in the + Y direction from the support roller 11c toward the support roller 11d in a state substantially parallel to the XY plane.

基材巻取ローラ11eは、支持ローラ11dの−Z側に配置される。支持ローラ11dから基材巻取ローラ11eに向けて、搬送基材Sは、−Z方向に送られる。搬出ローラ11fは、支持ローラ11dの+Y側かつ−Z側に配置される。搬出ローラ11fは、乾燥部14で形成される未焼成膜FAを+Y方向に送る。この未焼成膜FAは、搬出ローラ11fにより、塗布ユニット10の外部に搬出される。   The substrate winding roller 11e is arranged on the −Z side of the support roller 11d. The transport substrate S is sent in the −Z direction from the support roller 11d toward the substrate take-up roller 11e. The carry-out roller 11f is disposed on the + Y side and the −Z side of the support roller 11d. The carry-out roller 11f sends the unfired film FA formed by the drying unit 14 in the + Y direction. This unfired film FA is carried out of the coating unit 10 by the carry-out roller 11f.

なお、上記のローラ11a〜11fは、円筒形に限られず、テーパー型のクラウンが形成されてもよい。この場合、ローラ11a〜11fのたわみ補正に有効であり、搬送基材S又は後述の未焼成膜FAがローラ11a〜11fに均等に接触可能となる。また、ローラ11a〜11fにラジアル型のクラウンが形成されてもよい。この場合、搬送基材S又は未焼成膜FAの蛇行防止に有効である。また、ローラ11a〜11fにコンケイブ型のクラウン(X方向の中央部が凹形に湾曲した部分)が形成されてもよい。この場合、X方向に張力を付与しつつ搬送基材S又は未焼成膜FAを搬送することが可能となるため、シワの発生防止に有効となる。以下のローラについても、上記同様にテーパー型、ラジアル型、コンケイブ型等のクラウンを有する構成であってもよい。   The rollers 11a to 11f are not limited to a cylindrical shape, and a tapered crown may be formed. In this case, it is effective for correcting the deflection of the rollers 11a to 11f, and the transport base material S or an unfired film FA described later can contact the rollers 11a to 11f evenly. Further, a radial crown may be formed on the rollers 11a to 11f. In this case, it is effective for preventing meandering of the transport substrate S or the unfired film FA. Further, a concave crown (a portion in which the central portion in the X direction is curved in a concave shape) may be formed on the rollers 11a to 11f. In this case, it is possible to transport the transport substrate S or the unfired film FA while applying tension in the X direction, which is effective in preventing wrinkles. Similarly to the above, the following rollers may have a taper type, radial type, concave type crown or the like.

図3(a)は、第1ノズル12の一例を示す斜視図である。図2及び図3(a)に示すように、第1ノズル12は、搬送基材Sに第1塗布液EQ1の塗布膜(以下、第1塗布膜F1とする)を形成する。第1ノズル12は、第1塗布液EQ1を吐出する吐出口12aを有する。吐出口12aは、例えば長手方向が搬送基材SのX方向の寸法とほぼ同一となるように形成される。   FIG. 3A is a perspective view showing an example of the first nozzle 12. As shown in FIGS. 2 and 3A, the first nozzle 12 forms a coating film (hereinafter, referred to as a first coating film F1) of the first coating liquid EQ1 on the transport substrate S. The first nozzle 12 has a discharge port 12a that discharges the first coating liquid EQ1. The discharge port 12a is formed, for example, such that the longitudinal direction is substantially the same as the dimension of the transport substrate S in the X direction.

第1ノズル12は、吐出位置P1に配置される。吐出位置P1は、支持ローラ11bに対して−Y方向上の位置である。第1ノズル12は、吐出口12aが+Y方向を向くように傾いて配置される。したがって、吐出口12aは、搬送基材Sのうち支持ローラ11bの−Y側端部で支持された部分に向けられる。第1ノズル12は、この搬送基材Sに対して、吐出口12aから水平方向に沿って第1塗布液EQ1を吐出する。   The first nozzle 12 is disposed at the discharge position P1. The discharge position P1 is a position on the −Y direction with respect to the support roller 11b. The first nozzle 12 is disposed to be inclined such that the discharge port 12a faces the + Y direction. Accordingly, the discharge port 12a is directed to the portion of the transport base S that is supported by the −Y side end of the support roller 11b. The first nozzle 12 discharges the first coating liquid EQ1 along the horizontal direction from the discharge port 12a to the transport substrate S.

図3(b)は、第2ノズル13の一例を示す斜視図である。図2及び図3(b)に示すように、第2ノズル13は、搬送基材S上に第1塗布膜F1に重ねて第2塗布液EQ2の塗布膜(以下、第2塗布膜F2とする)を形成する。第2ノズル13は、第2塗布液EQ2を吐出する吐出口13aを有する。吐出口13aは、例えば長手方向が搬送基材SのX方向の寸法とほぼ同一となるように形成される。   FIG. 3B is a perspective view showing an example of the second nozzle 13. As shown in FIGS. 2 and 3B, the second nozzle 13 overlaps the first coating film F1 on the transport substrate S, and the coating film of the second coating liquid EQ2 (hereinafter referred to as the second coating film F2). Form). The second nozzle 13 has a discharge port 13a that discharges the second coating liquid EQ2. The discharge port 13a is formed, for example, so that the longitudinal direction is substantially the same as the dimension of the transport base S in the X direction.

第2ノズル13は、吐出位置P2に配置される。吐出位置P2は、支持ローラ11cに対して+Z方向上の位置である。第2ノズル13は、吐出口13aが−Z方向を向くように配置される。したがって、吐出口13aは、搬送基材Sのうち支持ローラ11cの+Z側端部で支持された部分に向けられる。第2ノズル13は、この搬送基材Sに対して、吐出口13aから重力方向に沿って第2塗布液EQ2を吐出する。   The second nozzle 13 is disposed at the discharge position P2. The discharge position P2 is a position on the + Z direction with respect to the support roller 11c. The second nozzle 13 is disposed such that the discharge port 13a faces the −Z direction. Accordingly, the discharge port 13a is directed to the portion of the transport base S that is supported by the + Z side end of the support roller 11c. The 2nd nozzle 13 discharges the 2nd coating liquid EQ2 with respect to this conveyance base material S along the gravity direction from the discharge outlet 13a.

なお、第1ノズル12及び第2ノズル13は、X方向、Y方向及びZ方向のうち少なくとも一方向に移動可能であってもよい。また、第1ノズル12及び第2ノズル13は、X方向に平行な軸線の周りに回転可能に設けられてもよい。また、第1ノズル12及び第2ノズル13は、塗布液を吐出しないときには不図示の待機位置に配置され、塗布液を吐出する際に待機位置から上記の吐出位置P1、P2にそれぞれ移動するようにしてもよい。また、第1ノズル12及び第2ノズル13の予備吐出動作を行う部分が設けられてもよい。   Note that the first nozzle 12 and the second nozzle 13 may be movable in at least one of the X direction, the Y direction, and the Z direction. The first nozzle 12 and the second nozzle 13 may be provided so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction. The first nozzle 12 and the second nozzle 13 are arranged at a standby position (not shown) when the coating liquid is not discharged, and move from the standby position to the discharge positions P1 and P2 when discharging the coating liquid, respectively. It may be. Moreover, the part which performs the preliminary discharge operation | movement of the 1st nozzle 12 and the 2nd nozzle 13 may be provided.

第1ノズル12及び第2ノズル13は、それぞれ接続配管(不図示)などを介して、塗布液供給源(不図示)に接続されている。第1ノズル12及び第2ノズル13は、例えば内部に所定量の塗布液を保持する保持部(不図示)が設けられる。この場合、第1ノズル12及び第2ノズル13は、上記保持部に保持された液状体の温度を調整する温調部を有してもよい。   The first nozzle 12 and the second nozzle 13 are each connected to a coating liquid supply source (not shown) via a connection pipe (not shown). The first nozzle 12 and the second nozzle 13 are provided with a holding unit (not shown) for holding a predetermined amount of coating liquid, for example. In this case, the first nozzle 12 and the second nozzle 13 may include a temperature adjustment unit that adjusts the temperature of the liquid material held in the holding unit.

第1ノズル12又は第2ノズル13から塗出される各塗布液の塗出量や、第1塗布膜F1又は第2塗布膜F2の膜厚は、各ノズル、各接続配管(不図示)、若しくは塗布液供給源(不図示)に接続されるポンプ(不図示)の圧力、搬送速度、各ノズル位置又は搬送基材Sとノズルとの距離等により、調整可能である。第1塗布膜F1又は第2塗布膜F2の膜厚は、例えば、それぞれ、0.5μm〜500μmである。   The coating amount of each coating liquid coated from the first nozzle 12 or the second nozzle 13 and the film thickness of the first coating film F1 or the second coating film F2 are determined by the nozzles, the connection pipes (not shown), or Adjustment is possible by the pressure of a pump (not shown) connected to a coating liquid supply source (not shown), the conveyance speed, the position of each nozzle or the distance between the conveyance substrate S and the nozzle, and the like. The film thickness of the first coating film F1 or the second coating film F2 is, for example, 0.5 μm to 500 μm, respectively.

本実施形態のように、2種類の塗布液(第1塗布液EQ1及び第2塗布液EQ2)を用いる場合は、第1塗布液EQ1による第1塗布膜F1の膜厚を、例えば、0.5μm〜10μmの範囲で調整し、第2塗布液EQ2による第2塗布膜F2の膜厚を、例えば、1μm〜50μmの範囲で調整することが好ましい。   When two types of coating liquids (first coating liquid EQ1 and second coating liquid EQ2) are used as in this embodiment, the film thickness of the first coating film F1 by the first coating liquid EQ1 is, for example, 0. It is preferable to adjust in the range of 5 μm to 10 μm and adjust the film thickness of the second coating film F2 by the second coating liquid EQ2 in the range of 1 μm to 50 μm, for example.

なお、第1ノズル12及び第2ノズル13の間に、第1塗布膜F1を乾燥させるための乾燥部(不図示)を配置してもよい。この乾燥部は加熱乾燥部を備えていることが好ましい。加熱乾燥部としては、温風送風部や赤外線ヒータを用いることが好ましい。加熱温度は、例えば50℃〜150℃、好ましくは50℃〜100℃の範囲である。第1塗布膜F1を乾燥させた後に第2塗布膜F2を形成することで、例えば、第2塗布液に用いた微粒子が第1塗布膜F1の微粒子と、混在してしまうことを抑制することができる。   In addition, you may arrange | position the drying part (not shown) for drying the 1st coating film F1 between the 1st nozzle 12 and the 2nd nozzle 13. FIG. This drying section preferably includes a heat drying section. As the heating and drying unit, it is preferable to use a hot air blowing unit or an infrared heater. The heating temperature is, for example, in the range of 50 ° C to 150 ° C, preferably 50 ° C to 100 ° C. By forming the second coating film F2 after drying the first coating film F1, for example, it is possible to prevent the fine particles used in the second coating liquid from being mixed with the fine particles of the first coating film F1. Can do.

図2に示すように、乾燥部14は、第2ノズル13の+Y側であって、支持ローラ11cと支持ローラ11dとの間に配置されている。乾燥部14は、搬送基材S上に塗布された2層の塗布膜(第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2)を乾燥させ、未焼成膜FAを形成する。   As shown in FIG. 2, the drying unit 14 is disposed on the + Y side of the second nozzle 13 and between the support roller 11c and the support roller 11d. The drying unit 14 dries the two coating films (the first coating film F1 and the second coating film F2) applied on the transport substrate S to form an unfired film FA.

乾燥部14は、チャンバー14aと、加熱部14bとを有する。チャンバー14aは、搬送基材S及び加熱部14bを収容する。加熱部14bは、搬送基材S上に形成される第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2を加熱する。加熱部14bとしては、例えば赤外線ヒータなどが用いられる。加熱部14bは、50℃〜100℃程度の温度で塗布膜を加熱する。   The drying unit 14 includes a chamber 14a and a heating unit 14b. The chamber 14a accommodates the transport substrate S and the heating unit 14b. The heating unit 14b heats the first coating film F1 and the second coating film F2 formed on the transport substrate S. For example, an infrared heater is used as the heating unit 14b. The heating unit 14b heats the coating film at a temperature of about 50 ° C to 100 ° C.

剥離部15は、未焼成膜FAが搬送基材Sから剥離される部分である。本実施形態では、作業者の手作業によって未焼成膜FAの剥離が行われるが、これに限定するものではなく、マニピュレータ等を用いて自動的に行ってもよい。搬送基材Sから剥離された未焼成膜FAは、搬出ローラ11fによって塗布ユニット10の外部に搬出され、巻き取り部50に送られる。また、未焼成膜FAが剥離された搬送基材Sは、基材巻取ローラ11eによって巻き取られる。   The peeling portion 15 is a portion where the unfired film FA is peeled from the transport substrate S. In the present embodiment, the unsintered film FA is peeled off manually by the operator, but the present invention is not limited to this, and it may be automatically performed using a manipulator or the like. The unsintered film FA peeled off from the transport substrate S is carried out of the coating unit 10 by the carry-out roller 11 f and sent to the winding unit 50. Further, the transport substrate S from which the unfired film FA has been peeled is wound up by the substrate winding roller 11e.

[巻き取り部(1)]
図4は、塗布ユニット10の+Y側の構成を概略的に示す斜視図である。
図4に示すように、塗布ユニット10の+Y側には、未焼成膜FAを搬出する搬出口10bが設けられている。搬出口10bから搬出された未焼成膜FAは、巻き取り部50によって巻き取られる。
[Winding part (1)]
FIG. 4 is a perspective view schematically showing a configuration on the + Y side of the coating unit 10.
As shown in FIG. 4, on the + Y side of the coating unit 10, a carry-out port 10b for carrying out the unfired film FA is provided. The unsintered film FA carried out from the carry-out port 10 b is taken up by the take-up unit 50.

巻き取り部50は、軸受51に軸部材SFが装着された構成となっている。軸部材SFは、搬出口10bから搬出された未焼成膜FAを巻き取ってロール体Rを形成する。軸部材SFは、軸受51に対して着脱可能に設けられる。軸部材SFは、軸受51に装着される場合、X方向に平行な軸線の周りに回転可能となるように支持される。巻き取り部50は、軸受51に装着される軸部材SFを回転させる不図示の駆動機構を有している。   The winding unit 50 is configured such that the shaft member SF is mounted on the bearing 51. The shaft member SF forms the roll body R by winding up the unfired film FA carried out from the carry-out port 10b. The shaft member SF is provided so as to be detachable from the bearing 51. When the shaft member SF is attached to the bearing 51, the shaft member SF is supported so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction. The winding unit 50 has a drive mechanism (not shown) that rotates the shaft member SF attached to the bearing 51.

なお、巻き取り部50では、未焼成膜FAのうち第1塗布膜F1側の面が外側に配置されるように未焼成膜FAを巻き取るようにする。例えば駆動機構によって軸部材SFを図2の反時計回りに回転させることにより、未焼成膜FAが巻き取られるようになっている。ロール体Rが形成された状態で軸部材SFを軸受51から取り外すことにより、ロール体Rを他のユニットに移動させることが可能となる。   In the winding unit 50, the unsintered film FA is wound so that the surface of the unsintered film FA on the first coating film F1 side is disposed outside. For example, the unfired film FA is wound up by rotating the shaft member SF counterclockwise in FIG. 2 by a drive mechanism. By removing the shaft member SF from the bearing 51 in a state where the roll body R is formed, the roll body R can be moved to another unit.

なお、図2及び図4では、巻き取り部50が塗布ユニット10から独立して配置されているが、これに限定するものではない。例えば、巻き取り部50は、塗布ユニット10の内部に配置されていてもよい。この場合、塗布ユニット10に搬出口10bを配置せず、搬出ローラ11fから、(又は支持ローラ11dから)未焼成膜FAを巻き取ってロール体Rを形成してもよい。   In FIGS. 2 and 4, the winding unit 50 is disposed independently from the coating unit 10, but is not limited thereto. For example, the winding unit 50 may be disposed inside the coating unit 10. In this case, the roll body R may be formed by winding the unfired film FA from the carry-out roller 11f (or from the support roller 11d) without arranging the carry-out port 10b in the coating unit 10.

[送り出し部]
図5は、焼成ユニット20の−Y側の構成を概略的に示す斜視図である。ただし、図5においては、後述の除去部26を省略して示している。
図5に示すように、焼成ユニット20の−Y側には、未焼成膜FAを搬入する搬入口20aが設けられている。送り出し部60は、搬入口20aに対して未焼成膜FAを送り出す。
[Sending part]
FIG. 5 is a perspective view schematically showing a configuration on the −Y side of the firing unit 20. However, in FIG. 5, a removing unit 26 described later is omitted.
As shown in FIG. 5, on the −Y side of the baking unit 20, a carry-in port 20 a for carrying the unfired film FA is provided. The sending-out unit 60 sends out the unfired film FA to the carry-in port 20a.

送り出し部60は、軸受61に軸部材SFが装着可能な構成となっている。軸部材SFは、巻き取り部50の軸受51に装着するものと共通で使用可能である。したがって、巻き取り部50から取り外した軸部材SFを送り出し部60の軸受61に装着可能である。これにより、巻き取り部50で形成されたロール体Rを送り出し部60に配置することが可能である。なお、軸受61及び巻き取り部50の軸受51については、それぞれ床面からの高さが等しくなるように設定可能であるが、異なる高さ位置に設定されてもよい。   The delivery portion 60 is configured such that the shaft member SF can be attached to the bearing 61. The shaft member SF can be used in common with that mounted on the bearing 51 of the winding unit 50. Therefore, the shaft member SF removed from the winding unit 50 can be mounted on the bearing 61 of the delivery unit 60. Thereby, the roll body R formed by the winding unit 50 can be arranged in the delivery unit 60. In addition, about the bearing 61 and the bearing 51 of the winding-up part 50, although it can set so that the height from a floor surface may become equal, respectively, you may set to a different height position.

軸部材SFは、軸受61に装着される場合、X方向に平行な軸線の周りに回転可能となるように支持される。送り出し部60は、軸受61に装着される軸部材SFを回転させる不図示の駆動機構を有している。駆動機構によって軸部材SFを図2の時計回りに回転させることにより、ロール体Rを構成する未焼成膜FAが搬入口20aへ向けて送り出されるようになっている。なお、上記の巻き取り部50において、未焼成膜FAのうち第1塗布膜F1側の面が外側に配置されるように未焼成膜FAが巻き取られるため、ロール体Rから未焼成膜FAが引き出される場合には、第1塗布膜F1側が上方に配置されることになる。   When the shaft member SF is attached to the bearing 61, the shaft member SF is supported so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction. The delivery unit 60 has a drive mechanism (not shown) that rotates the shaft member SF attached to the bearing 61. By rotating the shaft member SF clockwise in FIG. 2 by the driving mechanism, the unfired film FA constituting the roll body R is sent out toward the carry-in entrance 20a. In the winding unit 50, the unfired film FA is wound so that the surface of the unfired film FA on the first coating film F1 side is disposed on the outside. Is pulled out, the first coating film F1 side is arranged upward.

[焼成ユニット]
図6は、焼成ユニット20の一例を示す図である。図6(a)はYZ平面に沿った断面構成を示す図であり、図6(b)はチャンバー21内を−Z方向に見たときの構成を示す図である。
[Baking unit]
FIG. 6 is a diagram illustrating an example of the firing unit 20. 6A is a diagram showing a cross-sectional configuration along the YZ plane, and FIG. 6B is a diagram showing a configuration when the inside of the chamber 21 is viewed in the −Z direction.

図6に示すように、焼成ユニット20は、本実施形態において、未焼成膜FAに対する高温処理を行うユニットである。焼成ユニット20は、未焼成膜FAを焼成し、微粒子を含んだ焼成膜FBを形成する。焼成ユニット20は、チャンバー21と、加熱部(焼成部)22と、搬送部23と、ベルト冷却部(冷却部)24と、排気部25と、除去部26とを有する。   As shown in FIG. 6, the firing unit 20 is a unit that performs high-temperature processing on the unfired film FA in the present embodiment. The firing unit 20 fires the unfired film FA to form a fired film FB containing fine particles. The firing unit 20 includes a chamber 21, a heating unit (baking unit) 22, a transport unit 23, a belt cooling unit (cooling unit) 24, an exhaust unit 25, and a removing unit 26.

チャンバー21は、ベースフレームBF上に配置され、天井部21a及び底部21bを有する。チャンバー21には、未焼成膜FAを搬入する搬入口20aと、焼成膜FBを搬出する搬出口20bとが形成される。チャンバー21は、加熱部22、搬送部23及びベルト冷却部24を収容する。また、チャンバー21には、雰囲気調整部21cが設けられる。雰囲気調整部21cは、未焼成膜FAの周囲の雰囲気を調整する。雰囲気調整部21cは、例えばチャンバー21の内部に窒素ガス等の不活性ガスを供給可能であり、未焼成膜FAの周囲を不活性ガスの雰囲気に調整可能である。   The chamber 21 is disposed on the base frame BF and has a ceiling portion 21a and a bottom portion 21b. In the chamber 21, a carry-in port 20a for carrying in the unfired film FA and a carry-out port 20b for carrying out the fired film FB are formed. The chamber 21 accommodates a heating unit 22, a transport unit 23, and a belt cooling unit 24. The chamber 21 is provided with an atmosphere adjusting unit 21c. The atmosphere adjusting unit 21c adjusts the atmosphere around the unfired film FA. The atmosphere adjusting unit 21c can supply an inert gas such as nitrogen gas into the chamber 21, for example, and can adjust the periphery of the unfired film FA to an atmosphere of an inert gas.

加熱部22は、チャンバー21内に搬入された未焼成膜FAを加熱する。加熱部22は、Y方向に並んで配置される複数のヒータ22aを有する。複数のヒータ22aは、未焼成膜FAの+Z側に配置されている。したがって、加熱部22は、未焼成膜FAの表面(+Z側の面)側から未焼成膜FAを加熱する構成となっている。ヒータ22aとしては、例えば赤外線ヒータなどが用いられる。   The heating unit 22 heats the unsintered film FA carried into the chamber 21. The heating unit 22 includes a plurality of heaters 22a arranged side by side in the Y direction. The plurality of heaters 22a are arranged on the + Z side of the unfired film FA. Therefore, the heating unit 22 is configured to heat the unsintered film FA from the surface (+ Z side surface) side of the unsintered film FA. For example, an infrared heater is used as the heater 22a.

加熱部22は、チャンバー21の内部の−Y側端部から+Y側端部に亘って配置されている。加熱部22は、Y方向のほぼ全体で未焼成膜FAを加熱することが可能となっている。加熱部22は、例えば未焼成膜FAを120℃〜450℃程度に加熱することが可能である。加熱部22による加熱温度は、未焼成膜FAの搬送速度や未焼成膜FAの構成成分等に応じて適宜調整する。また、加熱部22は、例えばヒータ22aごとに出力を調整することで、Y方向に温度勾配を形成することが可能となっている。   The heating unit 22 is disposed from the −Y side end inside the chamber 21 to the + Y side end. The heating unit 22 can heat the unsintered film FA almost entirely in the Y direction. The heating unit 22 can heat the unfired film FA to about 120 ° C. to 450 ° C., for example. The heating temperature by the heating unit 22 is appropriately adjusted according to the conveyance speed of the unfired film FA, the constituent components of the unfired film FA, and the like. Moreover, the heating part 22 can form a temperature gradient in the Y direction by adjusting the output for each heater 22a, for example.

搬送部23は、搬送ベルト23aと、駆動ローラ23bと、従動ローラ23cと、テンションローラ23d、23eとを有している。搬送ベルト23aは、環状に形成されており、Y方向に沿って配置されている。搬送ベルト23aは、未焼成膜FAの焼成温度に耐久性を有する材料を用いて形成される。本実施形態では、一例としてPBO(ポリパラフェニレンベンズオキサゾール)繊維により形成された搬送ベルト23aが用いられる構成を例に挙げて説明するが、これに限定するものではなく、ステンレスやポリイミド(カプトン(登録商標))など他の材料によって搬送ベルト23aが形成されてもよい。   The conveyance unit 23 includes a conveyance belt 23a, a driving roller 23b, a driven roller 23c, and tension rollers 23d and 23e. The conveyor belt 23a is formed in an annular shape and is disposed along the Y direction. The conveyor belt 23a is formed using a material having durability against the firing temperature of the unfired film FA. In this embodiment, as an example, a configuration in which a conveyance belt 23a formed of PBO (polyparaphenylene benzoxazole) fibers is used will be described as an example. However, the present invention is not limited to this, and stainless steel or polyimide (kapton ( The conveyor belt 23a may be formed of other materials such as a registered trademark)).

搬送ベルト23aは、テンションを有する状態で、XY平面にほぼ平行となるように、駆動ローラ23bと従動ローラ23cとの間に架け渡されている。この状態において、搬送ベルト23aの+Z側には、未焼成膜FAを載置する載置面23fが形成される。この載置面23fは、平坦に形成される。このため、未焼成膜FAの全体を均一に支持することが可能となっている。   The conveying belt 23a is stretched between the driving roller 23b and the driven roller 23c so as to be substantially parallel to the XY plane in a tensioned state. In this state, a placement surface 23f on which the unfired film FA is placed is formed on the + Z side of the transport belt 23a. The placement surface 23f is formed flat. For this reason, it is possible to uniformly support the entire unfired film FA.

搬送ベルト23aのうち搬出口20bから排出された部分は、駆動ローラ23bによって−Y方向に巻き返され、ベースフレームBF内部を通過する。なお、ベースフレームBFに搬送ベルト23aの載置面23fを洗浄する洗浄部(不図示)を配置した構成であってもよい。   A portion of the transport belt 23a that is discharged from the carry-out port 20b is rewound in the −Y direction by the drive roller 23b and passes through the base frame BF. In addition, the structure which arrange | positioned the washing | cleaning part (not shown) which wash | cleans the mounting surface 23f of the conveyance belt 23a in the base frame BF may be sufficient.

駆動ローラ23bは、チャンバー21の内部の+Y側端部に配置される。駆動ローラ23bは、例えば円筒状に形成され、X方向に平行に配置されている。駆動ローラ23bには、例えばモータ等の回転駆動装置が設けられている。駆動ローラ23bは、この回転駆動装置により、X方向に平行な軸線の周りに回転可能に設けられている。駆動ローラ23bが回転することで、搬送ベルト23aが図2の時計回りに回転し、未焼成膜FAの搬送領域TRを含んで循環するように移動する。搬送ベルト23aの移動により、未焼成膜FA及び焼成膜FBは、搬送ベルト23aの載置面23fに載置された状態で+Y方向に搬送されるようになっている。   The driving roller 23 b is disposed at the + Y side end inside the chamber 21. The drive roller 23b is formed in a cylindrical shape, for example, and is disposed in parallel with the X direction. The drive roller 23b is provided with a rotary drive device such as a motor. The driving roller 23b is provided so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction by the rotation driving device. As the drive roller 23b rotates, the transport belt 23a rotates clockwise in FIG. 2, and moves so as to circulate including the transport region TR of the unfired film FA. By the movement of the transport belt 23a, the unfired film FA and the fired film FB are transported in the + Y direction while being placed on the placement surface 23f of the transport belt 23a.

従動ローラ23cは、チャンバー21の内部の−Y側端部に配置される。従動ローラ23cは、例えば円筒状に形成され、X方向に平行に配置されている。従動ローラ23cは、駆動ローラ23bと同一の径に形成され、Z方向の位置(高さ位置)が駆動ローラ23bとほぼ等しくなるように配置されている。従動ローラ23cは、X方向に平行な軸線の周りに回転可能に設けられている。従動ローラ23cは、搬送ベルト23aの回転に追従して回転する。   The driven roller 23 c is disposed at the −Y side end inside the chamber 21. The driven roller 23c is formed in a cylindrical shape, for example, and is arranged in parallel with the X direction. The driven roller 23c is formed to have the same diameter as that of the driving roller 23b, and is disposed so that the position (height position) in the Z direction is substantially equal to that of the driving roller 23b. The driven roller 23c is provided to be rotatable around an axis parallel to the X direction. The driven roller 23c rotates following the rotation of the conveyor belt 23a.

テンションローラ23dは、従動ローラ23cの+Z側に配置されている。テンションローラ23dは、X方向に平行に配置されており、X軸周りに回転可能に設けられている。テンションローラ23dは、Z方向に昇降移動可能に設けられる。テンションローラ23dは、従動ローラ23cとの間で未焼成膜FAを挟むことが可能である。テンションローラ23dは、未焼成膜FAを挟んだ状態で回転可能である。   The tension roller 23d is disposed on the + Z side of the driven roller 23c. The tension roller 23d is arranged in parallel to the X direction and is provided to be rotatable around the X axis. The tension roller 23d is provided to be movable up and down in the Z direction. The tension roller 23d can sandwich the unfired film FA with the driven roller 23c. The tension roller 23d can rotate with the unfired film FA interposed therebetween.

テンションローラ23eは、駆動ローラ23bの+Z側に配置されている。テンションローラ23eは、X方向に平行に配置されており、X軸周りに回転可能に設けられている。テンションローラ23eは、Z方向に昇降移動可能に設けられる。テンションローラ23eは、駆動ローラ23bとの間で焼成膜FBを挟むことが可能である。テンションローラ23eは、焼成膜FBを挟んだ状態で回転可能である。   The tension roller 23e is disposed on the + Z side of the drive roller 23b. The tension roller 23e is disposed in parallel with the X direction, and is provided to be rotatable around the X axis. The tension roller 23e is provided to be movable up and down in the Z direction. The tension roller 23e can sandwich the fired film FB with the driving roller 23b. The tension roller 23e can rotate with the fired film FB interposed therebetween.

テンションローラ23d、23eがそれぞれ従動ローラ23c及び駆動ローラ23bとの間で未焼成膜FA及び焼成膜FBをそれぞれ挟んだ状態とすることにより、一続きの未焼成膜FA及び焼成膜FBのうち挟まれた2か所の間の部分は、外部からのテンションがカットされることになる。これにより、未焼成膜FA及び焼成膜FBに対して過剰な負荷がかかることを防止できる。テンションローラ23d、23eは、チャンバー21内に配置される未焼成膜FA及び焼成膜FBにテンションがかからないように調整可能である。   The tension rollers 23d and 23e sandwich the unfired film FA and the fired film FB between the driven roller 23c and the drive roller 23b, respectively, so that the unrolled film FA and the fired film FB are sandwiched. The tension between the two places is cut from the external tension. Thereby, it is possible to prevent an excessive load from being applied to the unfired film FA and the fired film FB. The tension rollers 23d and 23e can be adjusted so that no tension is applied to the unfired film FA and the fired film FB disposed in the chamber 21.

ベルト冷却部24は、チャンバー21の底部21bに配置され、チャンバー21内を移動する搬送ベルト23aを冷却する。ベルト冷却部24は、矩形の箱状に形成され、搬送ベルト23aの移動方向(+Y方向)に複数並んで配置される。ベルト冷却部24は、貫通穴24aを有している。貫通穴24aは、ベルト冷却部24の内部をX方向に貫通するように形成される。貫通穴24aのうちX方向の一方の端部は、配管24bを介して排気部25に接続される。また、貫通穴24aのうちX方向の他方の端部は、外部に開放される。   The belt cooling unit 24 is disposed on the bottom 21 b of the chamber 21 and cools the conveyance belt 23 a that moves in the chamber 21. The belt cooling unit 24 is formed in a rectangular box shape, and a plurality of the belt cooling units 24 are arranged in the moving direction (+ Y direction) of the transport belt 23a. The belt cooling unit 24 has a through hole 24a. The through hole 24a is formed so as to penetrate the inside of the belt cooling unit 24 in the X direction. One end portion in the X direction of the through hole 24a is connected to the exhaust portion 25 via a pipe 24b. The other end in the X direction of the through hole 24a is opened to the outside.

本実施形態では、例えば図6(b)に示すように、貫通穴24aの+X側端部に配管24bが接続されたベルト冷却部24と、貫通穴24aの−X側端部に配管24bが接続されたベルト冷却部24とが、Y方向に交互に配置される。ただし、この配置に限定するものではなく、他の配置であってもよい。また、複数のベルト冷却部24が一体であってもよい。   In this embodiment, for example, as shown in FIG. 6B, the belt cooling unit 24 in which the pipe 24b is connected to the + X side end of the through hole 24a, and the pipe 24b to the −X side end of the through hole 24a. The connected belt cooling units 24 are alternately arranged in the Y direction. However, the arrangement is not limited to this, and other arrangements may be used. Further, the plurality of belt cooling units 24 may be integrated.

排気部25は、ベルト冷却部24の貫通穴24aを吸引するとともに、吸引した気体を外部に排出する。排気部25は、第1排気部25a及び第2排気部25bを有している。一例として、第1排気部25aは、チャンバー21のY方向の中央から−Y側に配置されるベルト冷却部24の貫通穴24aに接続される。また、第2排気部25bは、チャンバー21のY方向の中央から+Y側に配置されるベルト冷却部24の貫通穴24aに接続される。第1排気部25a及び第2排気部25bの動作により、外部の気体が貫通穴24aをX方向に通り抜けるようになっている。   The exhaust unit 25 sucks the through hole 24a of the belt cooling unit 24 and discharges the sucked gas to the outside. The exhaust part 25 has a first exhaust part 25a and a second exhaust part 25b. As an example, the first exhaust part 25 a is connected to the through hole 24 a of the belt cooling part 24 disposed on the −Y side from the center in the Y direction of the chamber 21. The second exhaust part 25b is connected to a through hole 24a of the belt cooling part 24 disposed on the + Y side from the center in the Y direction of the chamber 21. By the operation of the first exhaust part 25a and the second exhaust part 25b, the external gas passes through the through hole 24a in the X direction.

加熱部22の加熱が行われると、搬送ベルト23aの温度が上昇し、搬送ベルト23aを構成する材料の耐久温度を超えてしまう可能性がある。排気部25(第1排気部25a及び第2排気部25b)の動作により、外部の気体が貫通孔24aをX方向に通り抜けて排出され、これに伴ってベルト冷却部24の内部の熱が排出される。よって、搬送ベルト23aの温度が上昇した場合、その熱がベルト冷却部24を介して外部に排出されるため、搬送ベルト23aが冷却される。このように、ベルト冷却部24によって搬送ベルト23aを冷却することで、搬送ベルト23aの温度上昇を抑制している。   When the heating unit 22 is heated, the temperature of the transport belt 23a rises and may exceed the durable temperature of the material constituting the transport belt 23a. By the operation of the exhaust unit 25 (the first exhaust unit 25a and the second exhaust unit 25b), the external gas passes through the through hole 24a in the X direction and is exhausted, and the heat inside the belt cooling unit 24 is exhausted accordingly. Is done. Therefore, when the temperature of the conveyance belt 23a rises, the heat is discharged to the outside through the belt cooling unit 24, and thus the conveyance belt 23a is cooled. In this way, by cooling the transport belt 23a by the belt cooling unit 24, the temperature rise of the transport belt 23a is suppressed.

除去部26は、チャンバー21の−Y側に配置される。除去部26は、未焼成膜FAの焼成に先立って、未焼成膜FAから溶剤を除去する。除去部26は、容器26aと、除去液26bと、案内ローラ26c〜26fとを有している。容器26aは、上部(+Z側)が解放されている。除去液26bは、例えば水などが用いられ、容器26aに交換可能に貯留される。案内ローラ26c〜26fは、送り出し部60から送り出される未焼成膜FAが容器26aの除去液26b内を通過するように折り返して案内する。未焼成膜FAが除去液26bに浸されると、未焼成膜FAに含まれる溶剤の一部が除去液26bに溶け出し、除去液26bが未焼成膜FAに吸収される。これにより、未焼成膜FAの強度が向上するようになっている。   The removal unit 26 is disposed on the −Y side of the chamber 21. The removal unit 26 removes the solvent from the unsintered film FA prior to firing the unsintered film FA. The removing unit 26 includes a container 26a, a removing liquid 26b, and guide rollers 26c to 26f. The upper part (+ Z side) of the container 26a is released. As the removal liquid 26b, for example, water is used, and is exchangeably stored in the container 26a. The guide rollers 26c to 26f are folded and guided so that the unsintered film FA sent out from the sending-out part 60 passes through the removal liquid 26b of the container 26a. When the unfired film FA is immersed in the removal liquid 26b, a part of the solvent contained in the unfired film FA is dissolved in the removal liquid 26b, and the removal liquid 26b is absorbed by the unfired film FA. Thereby, the strength of the unfired film FA is improved.

[除去ユニット(エッチング装置)]
除去ユニット30は、図2に示すように、チャンバー31と、浸漬部32と、洗浄部33と、液切部34と、搬送部35と、を有する。チャンバー31は、焼成膜FBを搬入する搬入口30aと、多孔性樹脂膜Fを搬出する搬出口30bとを有している。チャンバー31は、浸漬部32、洗浄部33、液切部34及び搬送部35を収容する。
[Removal unit (etching equipment)]
As shown in FIG. 2, the removal unit 30 includes a chamber 31, an immersion unit 32, a cleaning unit 33, a liquid draining unit 34, and a transport unit 35. The chamber 31 has a carry-in port 30a for carrying in the fired film FB and a carry-out port 30b for carrying out the porous resin film F. The chamber 31 accommodates an immersion unit 32, a cleaning unit 33, a liquid draining unit 34, and a transport unit 35.

浸漬部32は、焼成膜FBに対してエッチングを行い、焼成膜FBに含まれる微粒子を除去して、多孔性樹脂膜Fを形成する。浸漬部32では、微粒子を溶解又は分解可能なフッ酸溶液等のエッチング液Q1に焼成膜FBを浸すことで微粒子を除去する。浸漬部32には、このようなエッチング液Q1を焼成膜FBの+Y側から吐出して供給する供給部32aや、エッチング液Q1を焼成膜FBの−Y側から吐出して供給する供給部32bが設けられる。また、エッチング液Q1を貯留可能な貯留部(不図示)が設けられる。浸漬部32と洗浄部33とでは内部に含む液体が異なるので、浸漬部32から搬出される手前の位置に後述の給水ローラを設けてもよい。吸水ローラは、多孔性樹脂膜Fに対し+Z側及び−Z側の少なくとも一方、好ましくは両方に配置される。   The immersion part 32 performs etching on the fired film FB to remove fine particles contained in the fired film FB to form the porous resin film F. In the immersion part 32, the fine particles are removed by immersing the fired film FB in an etching solution Q1 such as a hydrofluoric acid solution capable of dissolving or decomposing the fine particles. In the immersion part 32, a supply part 32a that discharges and supplies the etching liquid Q1 from the + Y side of the fired film FB, and a supply part 32b that discharges and supplies the etching liquid Q1 from the -Y side of the fired film FB. Is provided. In addition, a reservoir (not shown) capable of storing the etching solution Q1 is provided. Since the liquid contained in the dipping unit 32 and the cleaning unit 33 is different, a water supply roller (to be described later) may be provided at a position before being carried out from the dipping unit 32. The water absorbing roller is disposed on at least one of the + Z side and the −Z side with respect to the porous resin film F, preferably both.

洗浄部33は、エッチング後の多孔性樹脂膜Fを洗浄する。洗浄部33は、浸漬部32の+Y側(多孔性樹脂膜Fの搬送方向の前方)に配置される。洗浄部33は、洗浄液を供給する供給部(不図示)を有する。また、多孔性樹脂膜Fを洗浄した後の廃液を回収する回収部(不図示)などを有してもよい。   The cleaning unit 33 cleans the etched porous resin film F. The cleaning unit 33 is disposed on the + Y side of the immersion unit 32 (in front of the transport direction of the porous resin film F). The cleaning unit 33 includes a supply unit (not shown) that supplies a cleaning liquid. Moreover, you may have a collection | recovery part (not shown) etc. which collect | recover the waste liquid after wash | cleaning the porous resin film F. FIG.

液切部34は、洗浄後の多孔性樹脂膜Fに付着した液体を除去する。予備乾燥等を行ってもよい。液切部34は、洗浄部33の+Y側(多孔性樹脂膜Fの搬送方向の前方)に配置される。液切部34には、吸水ローラ等が設けられている。吸水ローラを多孔性樹脂膜Fに接触させることにより、多孔性樹脂膜Fを搬送しつつ、多孔性樹脂膜Fに付着している液体を吸収可能である。吸水ローラの搬送方向に対する配置は液切部34から搬出される手前であれば特に制限されない。また吸水ローラは、多孔性樹脂膜Fに対し+Z側及び−Z側の少なくとも一方、好ましくは両方に配置される。   The liquid drain part 34 removes the liquid adhering to the washed porous resin film F. You may perform preliminary drying etc. The liquid draining part 34 is disposed on the + Y side of the cleaning part 33 (in front of the transport direction of the porous resin film F). The liquid draining part 34 is provided with a water absorption roller or the like. By bringing the water absorption roller into contact with the porous resin film F, the liquid adhering to the porous resin film F can be absorbed while the porous resin film F is conveyed. The arrangement of the water absorption roller in the conveying direction is not particularly limited as long as it is before being carried out from the liquid draining portion 34. Further, the water absorbing roller is disposed on at least one of the + Z side and the −Z side, preferably both, with respect to the porous resin film F.

搬送部35は、浸漬部32、洗浄部33及び液切部34に亘って焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fを搬送する。搬送部35は、搬送ベルト35aと、駆動ローラ35bと、従動ローラ35cとを有する。なお、駆動ローラ35b及び従動ローラ35cの他に、浸漬部32、洗浄部33、液切部34の内部に、搬送ベルト35aを支持する支持ローラが配置されてもよい。   The transport unit 35 transports the fired film FB and the porous resin film F across the immersion unit 32, the cleaning unit 33, and the liquid draining unit 34. The conveyance unit 35 includes a conveyance belt 35a, a driving roller 35b, and a driven roller 35c. In addition to the driving roller 35b and the driven roller 35c, a support roller that supports the conveyance belt 35a may be disposed inside the immersion unit 32, the cleaning unit 33, and the liquid draining unit 34.

搬送ベルト35aは、焼成膜FB(又はエッチング後の多孔性樹脂膜F)を+Y方向に搬送する。搬送ベルト35aは、帯状に形成され、搬送方向に沿ったY方向に長手となるように配置される。搬送ベルト35aは、環状に形成されており、Y方向に沿って配置されている。搬送ベルト35aは、例えばアラミドなど、エッチング液Q1に耐久性を有する材料を用いて形成される。なお、搬送ベルト35aの表面がフッ素樹脂などによってコーティングされていてもよい。これにより、エッチング液に対する耐久性がより向上することになる。搬送ベルト35aは、例えば全面が網状に形成されており、エッチング液が搬送ベルト35aを通過可能となっている。搬送ベルト35aは、XY平面にほぼ平行となるように、テンションを有する状態で駆動ローラ35bと従動ローラ35cとの間に架け渡されている。多孔性樹脂膜Fは、搬送ベルト35aに載置されて搬送される。   The transport belt 35a transports the fired film FB (or the etched porous resin film F) in the + Y direction. The transport belt 35a is formed in a belt shape and is arranged to be long in the Y direction along the transport direction. The conveyor belt 35a is formed in an annular shape and is disposed along the Y direction. The conveyance belt 35a is formed using a material having durability with respect to the etching solution Q1, such as aramid. Note that the surface of the conveyor belt 35a may be coated with a fluororesin or the like. Thereby, the durability against the etching solution is further improved. For example, the entire surface of the transport belt 35a is formed in a net shape, and an etching solution can pass through the transport belt 35a. The conveyor belt 35a is stretched between the driving roller 35b and the driven roller 35c in a state having tension so as to be substantially parallel to the XY plane. The porous resin film F is placed on the transport belt 35a and transported.

駆動ローラ35bは、チャンバー31の内部の+Y側端部に配置される。駆動ローラ35bは、例えば円筒状に形成され、X方向に平行に配置されている。駆動ローラ35bには、例えば不図示の回転駆動機構が設けられている。この回転駆動機構により、駆動ローラ35bがX方向に平行な軸線の周りに回転可能となっている。   The drive roller 35 b is disposed at the + Y side end inside the chamber 31. The drive roller 35b is formed in a cylindrical shape, for example, and is disposed in parallel with the X direction. The drive roller 35b is provided with a rotation drive mechanism (not shown), for example. With this rotational drive mechanism, the drive roller 35b can rotate around an axis parallel to the X direction.

駆動ローラ35bが回転することで、搬送ベルト35aが図2の時計回りに回転し、焼成膜FBの搬送領域に対して循環して供給されるようになっている。また、この搬送ベルト35aが循環して供給されることにより、搬送ベルト35a上に載置された焼成膜FBが+Y方向に搬送されるようになっている。   As the driving roller 35b rotates, the transport belt 35a rotates in the clockwise direction in FIG. 2, and is circulated and supplied to the transport region of the fired film FB. In addition, the transport belt 35a is circulated and supplied, so that the fired film FB placed on the transport belt 35a is transported in the + Y direction.

従動ローラ35cは、チャンバー31の内部の−Y側端部に配置される。従動ローラ35d〜35fは、それぞれ従動ローラ35c及び駆動ローラ35bの−Z側に配置される。従動ローラ35c〜35fは、例えば円筒状に形成され、X方向に平行に配置されている。従動ローラ35cは、駆動ローラ35bと同一の径に形成され、Z方向の位置(高さ位置)が駆動ローラ35bとほぼ等しくなるように配置されている。従動ローラ35c〜35fは、X方向に平行な軸線の周りに回転可能に設けられている。従動ローラ35c〜35fは、搬送ベルト35aの回転に追従して回転する。   The driven roller 35 c is disposed at the −Y side end inside the chamber 31. The driven rollers 35d to 35f are disposed on the −Z side of the driven roller 35c and the driving roller 35b, respectively. The driven rollers 35c to 35f are formed in a cylindrical shape, for example, and are arranged in parallel to the X direction. The driven roller 35c is formed to have the same diameter as the driving roller 35b, and is disposed so that the position (height position) in the Z direction is substantially equal to the driving roller 35b. The driven rollers 35c to 35f are provided so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction. The driven rollers 35c to 35f rotate following the rotation of the transport belt 35a.

また、従動ローラ35d〜35fは、搬送ベルト35aのテンションを調整するものであり、例えば互いに同一の径に形成されている。従動ローラ35fは、不図示の駆動機構によって、Z方向に移動可能(昇降可能)に設けられている。従動ローラ35fが昇降することにより、搬送ベルト35aのテンションを調整可能となっている。   The driven rollers 35d to 35f adjust the tension of the conveyor belt 35a and are formed to have the same diameter, for example. The driven roller 35f is provided so as to be movable (movable up and down) in the Z direction by a drive mechanism (not shown). The tension of the conveyor belt 35a can be adjusted by moving the driven roller 35f up and down.

なお、除去ユニット30では、微粒子をエッチングによって除去する場合に限定されるものではない。例えば、微粒子の材質として、ポリイミドよりも低温で分解する有機材料が用いられる場合、焼成膜FBを加熱することによって微粒子を分解させることができる。このような有機材料としては、ポリイミドよりも低温で分解するものであれば、特に限定されることなく使用できる。例えば、線状ポリマーや公知の解重合性ポリマーからなる樹脂微粒子を挙げることができる。通常の線状ポリマーは、熱分解時にポリマーの分子鎖がランダムに切断され、解重合性ポリマーは、熱分解時にポリマーが単量体に分解するポリマーである。いずれも、低分子量体、あるいは、COまで分解することによって、焼成膜FBから消失する。この場合の微粒子の分解温度は200〜320℃であることが好ましく、230〜260℃であることが更に好ましい。分解温度が200℃以上であれば、塗布液に高沸点溶剤を使用した場合も成膜を行うことができ、焼成ユニット20における焼成条件の選択の幅が広くなる。また、分解温度が320℃未満であれば、焼成膜FBに熱的なダメージを与えることなく微粒子のみを消失させることができる。 The removal unit 30 is not limited to removing fine particles by etching. For example, when an organic material that decomposes at a lower temperature than polyimide is used as the material of the fine particles, the fine particles can be decomposed by heating the fired film FB. Such an organic material is not particularly limited as long as it decomposes at a lower temperature than polyimide. For example, resin fine particles made of a linear polymer or a known depolymerizable polymer can be mentioned. A normal linear polymer is a polymer in which a polymer molecular chain is randomly cleaved during thermal decomposition, and a depolymerizable polymer is a polymer in which the polymer is decomposed into monomers during thermal decomposition. Any of them disappears from the fired film FB by decomposing into low molecular weight substances or CO 2 . In this case, the decomposition temperature of the fine particles is preferably 200 to 320 ° C, and more preferably 230 to 260 ° C. When the decomposition temperature is 200 ° C. or higher, film formation can be performed even when a high boiling point solvent is used for the coating solution, and the range of selection of the baking conditions in the baking unit 20 is widened. If the decomposition temperature is less than 320 ° C., only the fine particles can be lost without causing thermal damage to the fired film FB.

[巻き取り部(2)]
図7は、除去ユニット30の+Y側の構成を概略的に示す斜視図である。
図7に示すように、除去ユニット30の+Y側には、多孔性樹脂膜Fを搬出する搬出口30bが設けられている。搬出口30bから搬出された多孔性樹脂膜Fは、巻き取り部80によって巻き取られる。
[Winding part (2)]
FIG. 7 is a perspective view schematically showing the configuration of the removal unit 30 on the + Y side.
As shown in FIG. 7, on the + Y side of the removal unit 30, a carry-out port 30 b for carrying out the porous resin film F is provided. The porous resin film F carried out from the carry-out port 30 b is taken up by the take-up unit 80.

巻き取り部80は、軸受81に軸部材SFが装着された構成となっている。軸部材SFは、搬出口30bから搬出された多孔性樹脂膜Fを巻き取ってロール体RFを形成する。軸部材SFは、軸受81に対して着脱可能に設けられる。軸部材SFは、軸受81に装着される場合、X方向に平行な軸線の周りに回転可能となるように支持される。巻き取り部80は、軸受81に装着される軸部材SFを回転させる不図示の駆動機構を有する。駆動機構によって軸部材SFを回転させることにより、多孔性樹脂膜Fが巻き取られるようになっている。ロール体RFが形成された状態で軸部材SFを軸受81から取り外すことにより、ロール体RFを回収することが可能となる。   The winding unit 80 is configured such that the shaft member SF is mounted on the bearing 81. The shaft member SF winds up the porous resin film F carried out from the carry-out port 30b to form the roll body RF. The shaft member SF is provided so as to be detachable from the bearing 81. When the shaft member SF is mounted on the bearing 81, the shaft member SF is supported so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction. The winding unit 80 has a drive mechanism (not shown) that rotates the shaft member SF attached to the bearing 81. The porous resin film F is wound up by rotating the shaft member SF by the drive mechanism. By removing the shaft member SF from the bearing 81 in a state where the roll body RF is formed, the roll body RF can be collected.

[製造方法]
次に、上記のように構成された製造システムSYSを用いて多孔性樹脂膜Fを製造する動作の一例を説明する。図8(a)〜(f)は、多孔性樹脂膜Fの製造過程の一例を示す図である。
[Production method]
Next, an example of the operation | movement which manufactures the porous resin film F using the manufacturing system SYS comprised as mentioned above is demonstrated. 8A to 8F are diagrams illustrating an example of a manufacturing process of the porous resin film F. FIG.

まず、塗布ユニット10において、未焼成膜FAを形成する。塗布ユニット10では、基材送出ローラ11aを回転させて搬送基材Sを送り出し、搬送基材Sを支持ローラ11b〜11dに掛けた後、基材巻取ローラ11eで巻き取らせる。その後、基材送出ローラ11aから搬送基材Sを順次送り出すと共に、基材巻取ローラ11eで巻き取りを行う。   First, an unfired film FA is formed in the coating unit 10. In the coating unit 10, the base material feed roller 11 a is rotated to send out the transport base material S, the transport base material S is hung on the support rollers 11 b to 11 d, and then wound around the base material take-up roller 11 e. Thereafter, the transport base material S is sequentially sent out from the base material feed roller 11a and is wound up by the base material take-up roller 11e.

この状態で、第1ノズル12を吐出位置P1に配置させ、吐出口12aを+Y方向に向ける。これにより、搬送基材Sのうち支持ローラ11bによって支持される部分に吐出口12aが向けられる。その後、吐出口12aから第1塗布液EQ1を吐出させる。第1塗布液EQ1は、吐出口12aから+Y方向に向けて吐出され、搬送基材Sに到達した後、搬送基材Sの移動に伴って搬送基材S上に塗布される。これにより、図8(a)に示すように、搬送基材S上に第1塗布液EQ1による第1塗布膜F1が形成される。   In this state, the first nozzle 12 is disposed at the discharge position P1, and the discharge port 12a is directed in the + Y direction. As a result, the discharge port 12a is directed to the portion of the transport substrate S that is supported by the support roller 11b. Thereafter, the first coating liquid EQ1 is discharged from the discharge port 12a. The first coating liquid EQ1 is discharged from the discharge port 12a in the + Y direction, reaches the transport base S, and is applied onto the transport base S as the transport base S moves. As a result, as shown in FIG. 8A, the first coating film F1 is formed on the transport substrate S by the first coating liquid EQ1.

続いて、第2ノズル12を吐出位置P2に配置させ、吐出口13aを−Z方向に向ける。これにより、搬送基材Sのうち支持ローラ11cによって支持される部分に吐出口13aが向けられる。その後、吐出口13aから第2塗布液EQ2を吐出させる。第2塗布液EQ2は、吐出口13aから−Z方向に向けて吐出され、搬送基材Sに形成された第1塗布膜F1上に到達した後、搬送基材Sの移動に伴って第1塗布膜F1上に塗布される。これにより、図8(b)に示すように、第1塗布膜F1上に第2塗布液による第2塗布膜F2が形成される。なお、第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2には、樹脂材料A1に微粒子A2が互いに異なる体積比で含まれる。なお、微粒子の含有率は、第1塗布膜F1の方が第2塗布膜F2よりも大きく設定される。   Subsequently, the second nozzle 12 is disposed at the discharge position P2, and the discharge port 13a is directed in the −Z direction. As a result, the discharge port 13a is directed to the portion of the transport substrate S that is supported by the support roller 11c. Thereafter, the second coating liquid EQ2 is discharged from the discharge port 13a. The second coating liquid EQ2 is discharged in the −Z direction from the discharge port 13a, reaches the first coating film F1 formed on the transport substrate S, and then moves along with the movement of the transport substrate S. It is applied on the coating film F1. As a result, as shown in FIG. 8B, a second coating film F2 made of the second coating liquid is formed on the first coating film F1. The first coating film F1 and the second coating film F2 contain fine particles A2 in the resin material A1 at different volume ratios. The content ratio of the fine particles is set to be larger in the first coating film F1 than in the second coating film F2.

なお、搬送基材Sのうち支持ローラ11b、11cによって支持される部分に吐出口12a、13aを向けた状態で第1塗布液EQ1及び第2塗布液EQ2が塗布されるため、第1塗布液EQ1及び第2塗布液EQ2が搬送基材Sに到達するときに搬送基材Sに作用する力が支持ローラ11b、11cによって受けられる。このため、搬送基材Sの撓みや振動等の発生が抑制され、搬送基材S上に均一な厚さで安定して第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2が形成される。   The first coating liquid EQ1 and the second coating liquid EQ2 are applied with the discharge ports 12a and 13a facing the portions of the transport base S supported by the support rollers 11b and 11c. The forces acting on the transport substrate S when the EQ1 and the second coating liquid EQ2 reach the transport substrate S are received by the support rollers 11b and 11c. For this reason, generation | occurrence | production of the bending of a conveyance base material S, a vibration, etc. is suppressed, and the 1st coating film F1 and the 2nd coating film F2 are stably formed on the conveyance base material S with uniform thickness.

続いて、搬送基材Sが移動し、第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2の積層部分が乾燥部14のチャンバー14a内に搬入された場合、乾燥部14において第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2の乾燥を行う。乾燥部14では、加熱部14bを用いて、例えば50℃〜100℃程度の温度で第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2を加熱する。この温度範囲であれば、搬送基材Sに歪みや変形等が発生することなく、第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2を加熱できる。第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2の積層体を乾燥することにより、図8(c)に示すように、未焼成膜FAが形成される。なお、未焼成膜FAには、一部の溶剤が残存している。   Subsequently, when the transport substrate S moves and the laminated portion of the first coating film F1 and the second coating film F2 is carried into the chamber 14a of the drying unit 14, the first coating film F1 and the first coating film F1 in the drying unit 14 are transferred. 2 Dry the coating film F2. In the drying unit 14, the first coating film F1 and the second coating film F2 are heated at a temperature of, for example, about 50 ° C. to 100 ° C. using the heating unit 14b. If it is this temperature range, the 1st coating film F1 and the 2nd coating film F2 can be heated, without distortion, a deformation | transformation, etc. generating to the conveyance base material S. By drying the laminate of the first coating film F1 and the second coating film F2, an unfired film FA is formed as shown in FIG. 8C. A part of the solvent remains in the unfired film FA.

なお、本明細書において、積層体とは前記第1塗布膜F1及び前記第2塗布膜F2からなる未焼成膜をいう。本発明に係る多孔性のイミド系樹脂膜を形成する際、第1の液体及び第2の液体において、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド又はポリアミドのうち、それぞれ同種の樹脂を使用した場合、形成された前記第1塗布膜F1及び前記第2塗布膜F2からなる未焼成膜(または多孔性のイミド系樹脂膜)は、実質1層となるが、微粒子の含有率が異なる未焼成膜(または空孔率の異なる領域を有する多孔性のイミド系樹脂膜)が形成されるため、第1の液体及び第2の液体に同種の樹脂を使用した場合も含め、本明細書においては、積層体という。   In the present specification, the laminate means an unfired film composed of the first coating film F1 and the second coating film F2. When the porous imide-based resin film according to the present invention is formed, the first liquid and the second liquid are formed when the same kind of resin is used in each of polyamic acid, polyimide, polyamideimide, and polyamide. The unfired film (or porous imide-based resin film) composed of the first coating film F1 and the second coating film F2 is substantially one layer, but the unfired film (or the empty film) having a different content of fine particles. In this specification, including the case where the same kind of resin is used for the first liquid and the second liquid, the laminate is referred to as a laminate. .

続いて、搬送基材Sが移動し、未焼成膜FAの先端部分が支持ローラ11d(剥離部15)に到達した場合には、例えば作業者の手作業により、この先端部分を搬送基材Sから剥離する。本実施形態では、搬送基材Sの材料として例えばPETが用いられているため、第1塗布膜F1及び第2塗布膜F2を乾燥させて未焼成膜FAを形成した場合、搬送基材Sから剥がれやすくなるため、作業者は容易に剥離を行うことができる。   Subsequently, when the transport substrate S moves and the leading end portion of the unfired film FA reaches the support roller 11d (peeling portion 15), the leading end portion is moved by, for example, an operator's manual operation. Peel from. In this embodiment, for example, PET is used as the material of the transport substrate S. Therefore, when the uncoated film FA is formed by drying the first coating film F1 and the second coating film F2, from the transport substrate S. Since it becomes easy to peel off, the operator can easily peel off.

未焼成膜FAの先端部分を剥離した後、引き続き搬送基材Sが移動し、第1ノズル12によって第1塗布膜F1が形成される。また、引き続き第2ノズル13によって第2塗布膜F2が形成され、乾燥部14によって未焼成膜FAが形成される。これにより、未焼成膜FAが帯状に形成され、乾燥部14から+Y側に搬出される未焼成膜FAの長さが徐々に長くなる。作業者は、剥離部15において未焼成膜FAを剥離し続ける。そして、剥離された未焼成膜FAの先端が巻き取り部50の軸部材SFに到達する長さになった場合、作業者は手作業によって未焼成膜FAを搬出ローラ11fに掛けると共に、未焼成膜FAの先端部分を軸部材SFに取り付ける。その後、未焼成膜FAが順次形成され、剥離されていくのに応じて、巻き取り部50で軸部材SFを回転させる。これにより、剥離された未焼成膜FAが順次塗布ユニット10から搬出され、巻き取り部50の軸部材SFによって巻き取られてロール体Rが形成される。ロール体Rを構成する未焼成膜FAは、図8(d)に示すように、搬送基材Sから剥離された状態となり、表面及び裏面が共に露出する。   After peeling off the tip portion of the unfired film FA, the transport substrate S continues to move, and the first coating film F1 is formed by the first nozzle 12. Further, the second coating film F <b> 2 is subsequently formed by the second nozzle 13, and the unfired film FA is formed by the drying unit 14. Thereby, the unsintered film FA is formed in a band shape, and the length of the unsintered film FA carried out from the drying unit 14 to the + Y side is gradually increased. The operator continues to peel off the unfired film FA at the peeling portion 15. When the tip of the peeled unfired film FA reaches a length that reaches the shaft member SF of the winding unit 50, the operator manually places the unfired film FA on the unloading roller 11f and unfires the unfired film FA. The tip portion of the film FA is attached to the shaft member SF. Thereafter, as the unfired film FA is sequentially formed and peeled off, the winding member 50 rotates the shaft member SF. Thereby, the peeled unfired film FA is sequentially carried out of the coating unit 10 and wound up by the shaft member SF of the winding unit 50 to form the roll body R. As shown in FIG. 8D, the unfired film FA constituting the roll body R is peeled from the transport substrate S, and both the front surface and the back surface are exposed.

なお、未焼成膜FAの先端部分を剥離する作業、及び剥離した先端部分を軸部材SFに装着する作業等については、作業者が手作業で行う態様に限られず、例えばマニピュレータ等を用いて自動で行ってもよい。また、未焼成膜FAの剥離性を高めるため、搬送基材Sの表面に離型層を形成しておいてもよい。   In addition, about the operation | work which peels the front-end | tip part of unfired film | membrane FA, and the operation | work which mounts the peeled front-end | tip part to shaft member SF, it is not restricted to the mode which an operator performs manually, for example, automatically using a manipulator etc. You may go on. Further, a release layer may be formed on the surface of the transport substrate S in order to improve the peelability of the unfired film FA.

所定の長さの未焼成膜FAが軸部材SFに巻き取られた後、未焼成膜FAをカットすると共に、軸部材SFをロール体Rごと軸受51から取り外す。そして、新たな軸部材SFを巻き取り部50の軸受51に装着し、未焼成膜FAの切り取り端部をこの軸部材SFに取り付けて回転させ、未焼成膜FAを引き続き形成することにより、新たなロール体Rを作成可能である。   After the unfired film FA having a predetermined length is wound around the shaft member SF, the unfired film FA is cut and the shaft member SF is removed from the bearing 51 together with the roll body R. Then, a new shaft member SF is mounted on the bearing 51 of the winding unit 50, and the cut end portion of the unfired film FA is attached to the shaft member SF and rotated to continuously form the unfired film FA. A simple roll body R can be created.

一方、例えば作業者は、軸受51からロール体Rごと取り外した軸部材SFを送り出し部60に搬送し、軸受61に装着する。この軸部材SFの搬送動作及び装着動作は、マニピュレータや搬送装置等を用いて自動で行ってもよい。軸部材SFを軸受61に装着した後、軸部材SFを回転させることでロール体Rから未焼成膜FAが順次引き出され、未焼成膜FAが焼成ユニット20の除去部26に搬入される。   On the other hand, for example, the operator conveys the shaft member SF removed together with the roll body R from the bearing 51 to the delivery unit 60 and attaches it to the bearing 61. The conveying operation and mounting operation of the shaft member SF may be automatically performed using a manipulator, a conveying device, or the like. After mounting the shaft member SF on the bearing 61, the unfired film FA is sequentially pulled out from the roll body R by rotating the shaft member SF, and the unfired film FA is carried into the removing portion 26 of the firing unit 20.

除去部26では、未焼成膜FAが案内ローラ26c〜26fによって搬送され、容器26a内の除去液26bに所定期間浸漬された後に取り出される。未焼成膜FAを除去液26bに浸漬させることにより、未焼成膜FAに残存する溶剤が除去液26bに溶け出すと共に、溶剤が含まれていた部分に除去液26bが吸収される。これにより、未焼成膜FAから溶剤が除去され、未焼成膜FAの強度が高められる。除去液26bから取り出された未焼成膜FAは、チャンバー21内に搬入される。なお、未焼成膜FAの先端を除去部26及びチャンバー21に搬入する場合には、それぞれ作業者が手作業で行ってもよいし、マニピュレータ等を用いて自動的に行ってもよい。また、除去液26bから取り出された未処理膜FAをチャンバー21に搬入する前に、ローラ等によって加圧してもよい。   In the removing unit 26, the unfired film FA is conveyed by the guide rollers 26c to 26f, and is taken out after being immersed in the removing liquid 26b in the container 26a for a predetermined period. By immersing the unfired film FA in the removal liquid 26b, the solvent remaining in the unfired film FA is dissolved into the removal liquid 26b, and the removal liquid 26b is absorbed by the portion containing the solvent. Thereby, the solvent is removed from the unfired film FA, and the strength of the unfired film FA is increased. The unsintered film FA taken out from the removal liquid 26 b is carried into the chamber 21. In addition, when carrying the front-end | tip of the unbaked film | membrane FA in the removal part 26 and the chamber 21, each operator may carry out manually and may carry out automatically using a manipulator etc., respectively. Further, the untreated film FA taken out from the removal liquid 26b may be pressurized by a roller or the like before being carried into the chamber 21.

チャンバー21内に搬入された未焼成膜FAは、搬送ベルト23a上に載置される。この状態で搬送ベルト23aが搬送領域TRを含んで循環するように移動することで、未焼成膜FAが搬送領域TRを+Y方向に搬送される。なお、テンションローラ23d、23eを用いてテンションの調整を行ってもよい。また、例えば雰囲気調整部21cによって未焼成膜FAの周囲の雰囲気を窒素ガス等の不活性ガスの雰囲気に調整する。この状態で、未焼成膜FAを搬送しながら、加熱部22を用いて未焼成膜FAの焼成を行う。この場合、未焼成膜FAは、加熱部22により、表面側(図6の+Z側)から加熱される。   The unsintered film FA carried into the chamber 21 is placed on the transport belt 23a. In this state, the transport belt 23a moves so as to circulate including the transport region TR, whereby the unsintered film FA is transported through the transport region TR in the + Y direction. The tension may be adjusted using the tension rollers 23d and 23e. For example, the atmosphere around the unfired film FA is adjusted to an atmosphere of an inert gas such as nitrogen gas by the atmosphere adjusting unit 21c. In this state, the unfired film FA is baked using the heating unit 22 while the unfired film FA is conveyed. In this case, the unfired film FA is heated from the surface side (+ Z side in FIG. 6) by the heating unit 22.

焼成時の温度は、未焼成膜FAの構造により異なるが、120℃〜375℃程度であることが好ましく、更に好ましくは150℃〜350℃である。また、微粒子に有機材料が含まれる場合は、その熱分解温度よりも低い温度に設定する必要がある。なお、塗布液がポリアミド酸を含む場合、この焼成においてはイミド化を完結させることが好ましいが、未焼成膜FAがポリイミド、ポリアミドイミド又はポリアミドから構成され、焼成ユニット20により未焼成膜FAに対し高温処理を行う場合はこの限りでない。   Although the temperature at the time of baking changes with structures of the unbaked film | membrane FA, it is preferable that it is about 120 to 375 degreeC, More preferably, it is 150 to 350 degreeC. Moreover, when the organic material is contained in the fine particles, it is necessary to set the temperature lower than the thermal decomposition temperature. In the case where the coating solution contains polyamic acid, it is preferable to complete imidization in this baking. However, the unfired film FA is composed of polyimide, polyamideimide or polyamide, and the firing unit 20 applies the unfired film FA to the unfired film FA. This does not apply when high-temperature treatment is performed.

また、焼成条件は、例えば、塗布液がポリアミド酸及び/又はポリイミドを含む場合、室温から375℃までを3時間で昇温させた後、375℃で20分間保持させる方法や、室温から50℃刻みで段階的に375℃まで昇温(各ステップ20分保持)し、最終的に375℃で20分保持させる等の段階的な加熱を行ってもよい。また、未焼成膜FAの端部をSUS製の型枠等に固定し変形を防ぐようにしてもよい。   In addition, for example, when the coating solution contains polyamic acid and / or polyimide, the firing conditions include a method of raising the temperature from room temperature to 375 ° C. over 3 hours and then holding the temperature at 375 ° C. for 20 minutes, or from room temperature to 50 ° C. Stepwise heating may be performed such that the temperature is gradually raised to 375 ° C. in increments (each step is held for 20 minutes) and finally held at 375 ° C. for 20 minutes. Further, the end of the unfired film FA may be fixed to a SUS mold or the like to prevent deformation.

このような焼成により、図8(e)に示すように、焼成膜FBが形成される。焼成膜FBでは、イミド化又は高温処理された樹脂層A3の内部に微粒子A2が含まれている。焼成膜FBの膜厚は、例えばマイクロメータ等で複数の箇所の厚さを測定し平均することで求めることができる。好ましい平均膜厚としては、セパレータ等に用いられる場合は、3μm〜500μmであることが好ましく、5μm〜100μmであることがより好ましく、10μm〜30μmであることが更に好ましい。   By such firing, a fired film FB is formed as shown in FIG. In the fired film FB, fine particles A2 are contained inside the resin layer A3 that has been imidized or subjected to high temperature treatment. The film thickness of the fired film FB can be obtained, for example, by measuring and averaging the thickness of a plurality of locations with a micrometer or the like. As a preferable average film thickness, when used for a separator or the like, it is preferably 3 μm to 500 μm, more preferably 5 μm to 100 μm, and still more preferably 10 μm to 30 μm.

なお、焼成において、未焼成膜FAの組成が変化して一時的に脆くなる期間がある。本実施形態では、未焼成膜FAにテンションを加えて搬送するものではなく、搬送ベルト23a上に載置して搬送するものであるため、未焼成膜FAが脆くなる期間であっても、未焼成膜FAが破れたり切断されたりするのを防ぐことができる。   In firing, there is a period in which the composition of the unfired film FA changes and becomes temporarily brittle. In this embodiment, the unsintered film FA is not transported with tension, but is placed on the transport belt 23a and transported. It is possible to prevent the fired film FA from being broken or cut.

また、未焼成膜FAの焼成後に、搬送ベルト23aを冷却してもよい。この場合、排気部25(第1排気部25a及び第2排気部25b)によりベルト冷却部24の貫通穴24aが吸引される。これにより、外部の気体が貫通穴24a内をX方向に通り抜け、外部に排出される。これに伴い、ベルト冷却部24の熱が気体と共に外部に排出される。よって、搬送ベルト23aの熱がベルト冷却部24を介して外部に排出され、搬送ベルト23aが冷却される。   Further, after the unfired film FA is fired, the transport belt 23a may be cooled. In this case, the through hole 24a of the belt cooling unit 24 is sucked by the exhaust unit 25 (the first exhaust unit 25a and the second exhaust unit 25b). Thereby, the external gas passes through the through hole 24a in the X direction and is discharged to the outside. Accordingly, the heat of the belt cooling unit 24 is discharged to the outside together with the gas. Therefore, the heat of the conveyance belt 23a is discharged to the outside through the belt cooling unit 24, and the conveyance belt 23a is cooled.

焼成ユニット20において形成された焼成膜FBは、焼成ユニット20から搬出されると、巻き取られることなく、除去ユニット30に搬入される。なお、焼成膜FBの先端部分を除去ユニット30に搬入する場合には、作業者が手作業で行ってもよいし、マニピュレータ等を用いて自動的に行ってもよい。   When the fired film FB formed in the firing unit 20 is unloaded from the firing unit 20, it is carried into the removal unit 30 without being wound up. In addition, when carrying in the removal unit 30 the front-end | tip part of the baking film | membrane FB, an operator may carry out manually and may carry out automatically using a manipulator etc.

除去ユニット30に搬入された焼成膜FBは、搬送ベルト35a上に載置され、搬送ベルト35aの回転に従って+Y方向に搬送される。除去ユニット30では、焼成膜FBの搬送に伴い、まずは浸漬部32において微粒子A2の除去が行われる。微粒子A2の材質として例えばシリカが用いられる場合、浸漬部32では、低濃度のフッ化水素水等のエッチング液に焼成膜FBが浸される。これにより、微粒子A2がエッチング液に溶解して除去され、図8(f)に示すように、樹脂層A3の内部に多孔部A4が含まれた多孔性樹脂膜Fが形成される。   The fired film FB carried into the removal unit 30 is placed on the transport belt 35a and transported in the + Y direction according to the rotation of the transport belt 35a. In the removal unit 30, the fine particles A <b> 2 are first removed in the immersion part 32 along with the conveyance of the fired film FB. When silica, for example, is used as the material of the fine particles A2, the fired film FB is immersed in an etching solution such as low-concentration hydrogen fluoride water in the immersion part 32. Thereby, the fine particles A2 are dissolved and removed in the etching solution, and as shown in FIG. 8F, the porous resin film F in which the porous portion A4 is included in the resin layer A3 is formed.

その後、搬送ベルト35aの回転に従って、多孔性樹脂膜Fが洗浄部33及び乾燥部34に順に搬入される。洗浄部33では、洗浄液によって多孔性樹脂膜Fが洗浄され、液切りが行われる。また、乾燥部34では、液切り後の多孔性樹脂膜Fが加熱され、洗浄液が除去される。そして、多孔性樹脂膜Fが除去ユニット30から搬出され、巻き取り部80の軸部材SFによって巻き取られる。     Thereafter, the porous resin film F is sequentially carried into the cleaning unit 33 and the drying unit 34 according to the rotation of the conveyance belt 35a. In the cleaning unit 33, the porous resin film F is cleaned by the cleaning liquid, and liquid draining is performed. Moreover, in the drying part 34, the porous resin film F after draining is heated, and the cleaning liquid is removed. Then, the porous resin film F is unloaded from the removal unit 30 and wound up by the shaft member SF of the winding unit 80.

以上のように、本実施形態に係る焼成ユニット20は、所定の樹脂材料及び微粒子を含む液体から形成された未焼成膜FAを載置して移動可能な帯状の搬送ベルト23aと、搬送ベルト23aにより未焼成膜FAを搬送しながら焼成する加熱部22と、を備えるため、焼成において、未焼成膜FAの組成が変化して一時的に脆くなる期間であっても、未焼成膜FAが破れたり切断されたりするのを防ぐことができる。これにより、未焼成膜FAの破損を防ぐことができる。   As described above, the firing unit 20 according to the present embodiment has the belt-like transport belt 23a that can move by placing the unfired film FA formed from a liquid containing a predetermined resin material and fine particles, and the transport belt 23a. And the heating unit 22 that bakes while transporting the unfired film FA, so that the unfired film FA is broken even during a period in which the composition of the unfired film FA changes and becomes temporarily brittle during firing. Or being cut off. Thereby, damage to the unfired film FA can be prevented.

また、本実施形態に係る製造システムSYSは、このような焼成ユニット20を含むため、未焼成膜FAの形成、未焼成膜FAの焼成(焼成膜FBの形成)、及び微粒子A2の除去(多孔性樹脂膜Fの形成)の3つの工程を一連の流れで行うことができ、未焼成膜FAの焼成においては高品質の焼成膜FBを形成することができる。これにより、高品質の多孔性樹脂膜Fを高効率で製造することができる。   Further, since the manufacturing system SYS according to the present embodiment includes such a firing unit 20, formation of the unfired film FA, firing of the unfired film FA (formation of the fired film FB), and removal of the fine particles A2 (porous) The three steps of forming the conductive resin film F) can be performed in a series of flows, and a high-quality fired film FB can be formed in firing the unfired film FA. Thereby, the high quality porous resin film F can be manufactured with high efficiency.

[変形例]
図9は、変形例に係る焼成ユニットの例を示す図である。図9(a)及び(b)は、一例として焼成ユニット20Aの一部を示す図である。図9(c)及び(d)は、他の例として焼成ユニット20Bの一部を示す図である。
[Modification]
FIG. 9 is a diagram illustrating an example of a firing unit according to a modification. FIGS. 9A and 9B are views showing a part of the firing unit 20A as an example. FIGS. 9C and 9D are views showing a part of the firing unit 20B as another example.

図9(a)及び(b)に示すように、焼成ユニット20Aが、押さえ部材28を有する構成であってもよい。押さえ部材28は、未焼成膜FAのうち移動方向(Y方向)に交差する方向(X方向)の両端辺を搬送ベルト23a側に押さえる。押さえ部材28は、例えばチャンバー21内のうち搬入口20aの近傍に配置される。図9(b)では、押さえ部材28が未焼成膜FAのX方向の両端辺に配置される例が示されているが、これに限定するものではなく、未焼成膜FAのX方向の一方の端辺のみを押さえる構成であってもよい。また、図9(a)及び(b)に示すように、押さえ部材28は、基部28a及びローラ28bを有し、ローラ28bによって未焼成膜FAを押さえる構成となっている。この構成において、未焼成膜FAは、X方向の両端辺が押さえ部材28によって搬送ベルト23a側に押さえられた状態で搬送される。これにより、未焼成膜FAのX方向の両端辺が湾曲するのを防ぐことができる。また、搬送ベルト23a及び未焼成膜FAの移動と共にローラ23bが回転するため、未焼成膜FAにテンションが掛かるのを抑制しつつ、未焼成膜FAの端辺を押さえることができる。   As shown in FIGS. 9A and 9B, the firing unit 20 </ b> A may have a pressing member 28. The holding member 28 holds both sides of the unfired film FA in the direction (X direction) intersecting the moving direction (Y direction) toward the conveying belt 23a. The pressing member 28 is disposed, for example, in the chamber 21 in the vicinity of the carry-in port 20a. FIG. 9B shows an example in which the pressing members 28 are arranged at both ends in the X direction of the unfired film FA. However, the present invention is not limited to this, and one side of the unfired film FA in the X direction is shown. The structure which hold | suppresses only the edge of this may be sufficient. Further, as shown in FIGS. 9A and 9B, the pressing member 28 includes a base portion 28a and a roller 28b, and is configured to press the unsintered film FA by the roller 28b. In this configuration, the unfired film FA is transported in a state where both ends in the X direction are pressed against the transport belt 23a by the pressing member 28. Thereby, it can prevent that the both ends of the X direction of unbaking film | membrane FA curve. Further, since the roller 23b rotates with the movement of the transport belt 23a and the unfired film FA, it is possible to suppress the edge of the unfired film FA while suppressing the tension on the unfired film FA.

また、図9(c)及び(d)に示すように、焼成ユニット20Bが、押さえ部材29を有する構成であってもよい。押さえ部材29は、基部29a及び帯状部29bを有している。押さえ部材29は、基部29aがチャンバー21の外部に配置され、帯状部29bがチャンバー21の外部から搬入口20aを介してチャンバー21の内部に挿入された状態で設けられる。帯状部29bは、未焼成膜FAのうち移動方向(Y方向)に交差する方向(X方向)の両端辺を搬送ベルト23a側に押さえる。この構成において、未焼成膜FAは、X方向の両端辺が押さえ部材29によって搬送ベルト23a側に押さえられた状態で搬送される。この場合においても、未焼成膜FAのX方向の両端辺が湾曲するのを防ぐことができる。なお、図9(d)では、帯状部29bが未焼成膜FAのX方向の両端辺に配置される例が示されているが、これに限定するものではなく、未焼成膜FAのX方向の一方の端辺のみを押さえる構成であってもよい。   Moreover, as shown in FIGS. 9C and 9D, the firing unit 20 </ b> B may have a pressing member 29. The pressing member 29 has a base portion 29a and a strip portion 29b. The pressing member 29 is provided in a state where the base portion 29 a is disposed outside the chamber 21 and the belt-like portion 29 b is inserted into the chamber 21 from the outside of the chamber 21 via the carry-in port 20 a. The strip portion 29b presses both ends of the unfired film FA in the direction (X direction) intersecting the moving direction (Y direction) toward the transport belt 23a. In this configuration, the unfired film FA is transported in a state where both ends in the X direction are pressed against the transport belt 23 a by the pressing member 29. Even in this case, it is possible to prevent the both ends in the X direction of the unfired film FA from being curved. FIG. 9D shows an example in which the strip portion 29b is disposed at both ends in the X direction of the unfired film FA. However, the present invention is not limited to this, and the X direction of the unfired film FA is shown. The structure which hold | suppresses only one edge side of may be sufficient.

図10は、他の変形例に係る焼成ユニット20Cの例を示す図である。
図10に示すように、焼成ユニット20Cでは、チャンバー21の底部21bにベルト加熱部(搬送部材加熱部)22Cが設けられている。ベルト加熱部22Cは、搬送ベルト23gの裏面側(−Z側)に配置され、搬送ベルト23gを介して裏面側から未焼成膜FAを加熱する。ベルト加熱部22Cは、Y方向に並んで配置される複数のヒータを有する。このようなヒータとしては、上記実施形態と同様、例えば赤外線ヒータなどが用いられる。
FIG. 10 is a diagram illustrating an example of a firing unit 20C according to another modification.
As shown in FIG. 10, in the firing unit 20 </ b> C, a belt heating unit (conveying member heating unit) 22 </ b> C is provided on the bottom 21 b of the chamber 21. The belt heating unit 22C is disposed on the back side (−Z side) of the transport belt 23g, and heats the unfired film FA from the back side through the transport belt 23g. The belt heating unit 22C has a plurality of heaters arranged side by side in the Y direction. As such a heater, for example, an infrared heater is used as in the above embodiment.

この場合、搬送ベルト23gは、ステンレス等の金属材料によって形成される。ベルト加熱部22Cの動作により、搬送ベルト23gが加熱され、搬送ベルト23gによって未焼成膜FAが加熱されて焼成される。なお、図10では、天井部21a側に加熱部が設けられない構成が示されているが、これに限定するものではなく、天井部21a側に上記実施形態に記載の加熱部22等が設けられてもよい。なお、ステンレス等の金属材料によって形成された搬送ベルト23gについては、例えば図10に示すようにベルト冷却部を設けなくてもよいし、ベルト冷却部を設けて冷却を行ってもよい。   In this case, the conveyance belt 23g is formed of a metal material such as stainless steel. By the operation of the belt heating unit 22C, the conveyance belt 23g is heated, and the unsintered film FA is heated and baked by the conveyance belt 23g. In addition, in FIG. 10, although the structure by which a heating part is not provided in the ceiling part 21a side is shown, it is not limited to this, The heating part 22 grade | etc., Described in the said embodiment is provided in the ceiling part 21a side. May be. In addition, about the conveyance belt 23g formed with metal materials, such as stainless steel, it is not necessary to provide a belt cooling part as shown, for example in FIG. 10, and it may cool by providing a belt cooling part.

図11は、他の変形例に係る製造システムSYS2の一例を示す図である。
図11に示すように、製造システムSYS2では、除去ユニット30において、焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fを載置して搬送する搬送部35が設けられず、これらの膜をローラR1〜R7で直接搬送する構成となっている。また、浸漬部32では、例えばエッチング液Q1が容器32pに貯留された構成となっており、案内ローラ32qによって焼成膜FBがエッチング液Q1に浸漬されるようになっている。
FIG. 11 is a diagram illustrating an example of a manufacturing system SYS2 according to another modification.
As shown in FIG. 11, in the production system SYS2, the removal unit 30 is not provided with the transport unit 35 for placing and transporting the fired film FB and the porous resin film F. It is configured to carry directly. In the immersion part 32, for example, the etching solution Q1 is stored in the container 32p, and the fired film FB is immersed in the etching solution Q1 by the guide roller 32q.

製造システムSYS2では、焼成ユニット20において焼成を行う前に、除去部26において未焼成膜FAに含まれる溶剤が除去される。これにより、未焼成膜FAの強度が向上し、その後の焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fについても強度が向上する。そのため、搬送ベルト35a上に載置せずに直接ローラRで搬送した場合であっても、焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fが破損しにくくなる。よって、焼成膜FB及び多孔性樹脂膜Fを効率的に搬送することができる。   In the manufacturing system SYS2, the solvent contained in the unfired film FA is removed in the removing unit 26 before firing in the firing unit 20. Thereby, the strength of the unfired film FA is improved, and the strength of the fired film FB and the porous resin film F thereafter is also improved. Therefore, even if it is a case where it conveys with the roller R directly, without mounting on the conveyance belt 35a, the baking film | membrane FB and the porous resin film F become difficult to damage. Therefore, the fired film FB and the porous resin film F can be efficiently conveyed.

また、上記実施形態では、巻き取り部50、80として、軸部材SFを軸受51、81に着脱させる構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、例えば図12に示すような巻き取り装置90が用いられてもよい。以下、巻き取り部50に代えて巻き取り装置90が用いられる場合を例に挙げて説明する。   Moreover, in the said embodiment, although the structure which attaches / detaches shaft member SF to the bearings 51 and 81 was mentioned as an example as the winding parts 50 and 80, it did not limit to this, For example, as shown in FIG. A simple winding device 90 may be used. Hereinafter, a case where the winding device 90 is used instead of the winding unit 50 will be described as an example.

図12に示すように、巻き取り装置90は、フレーム91と、軸部材SFと、軸受92と、駆動部93と、中継ローラ94a〜94eと、ローラ支持部95とを有する。フレーム91は、軸部材SF、軸受92、駆動部93、中継ローラ94a〜94e、ローラ支持部95の各部を支持する。   As illustrated in FIG. 12, the winding device 90 includes a frame 91, a shaft member SF, a bearing 92, a drive unit 93, relay rollers 94 a to 94 e, and a roller support unit 95. The frame 91 supports each part of the shaft member SF, the bearing 92, the drive unit 93, the relay rollers 94a to 94e, and the roller support unit 95.

軸部材SFは、塗布ユニット10から搬出された未焼成膜FAを巻き取ってロール体Rを形成する。軸部材SFは、軸受92に対して着脱可能に設けられている。軸部材SFは、軸受92に装着される場合、X方向に平行な軸線の周りに回転可能となるように軸受92に支持される。ロール体Rが形成された状態で軸部材SFを軸受92から取り外すことにより、ロール体Rを他のユニットに移動又は回収することができる。   The shaft member SF forms the roll body R by winding up the unfired film FA carried out from the coating unit 10. The shaft member SF is detachably attached to the bearing 92. When the shaft member SF is attached to the bearing 92, the shaft member SF is supported by the bearing 92 so as to be rotatable around an axis parallel to the X direction. By removing the shaft member SF from the bearing 92 in a state where the roll body R is formed, the roll body R can be moved or recovered to another unit.

中継ローラ94a〜94eは、未焼成膜FAのテンションを調整しつつ、未焼成膜FAを軸部材SFに送る。中継ローラ94a〜94eは、例えば円筒状に形成され、それぞれX方向に平行に配置されている。本実施形態では、未焼成膜FAは、中継ローラ94a、94b、94c、94d、94eの順に架け渡されるが、これに限定されるものではなく、一部の中継ローラを用いなくてもよい。なお、中継ローラ94a〜94eのうち少なくとも1つは、ローラ支持部95によって移動可能であってもよい。例えば、ローラ支持部95が中継ローラ94bをZ方向又はY方向に移動可能であってもよい。また、ローラ支持部95によって、X軸に平行な軸線AXの周りに中継ローラ94bを回動させる構成であってもよい。この場合、中継ローラ94bが移動(回動)する量(距離)を軸受92の巻取り速度にフィードバックさせることにより、未焼成膜FAのテンションを一定に保つことが可能となる。また、中継ローラ94bの−Y側にあり、支点軸を介して配置される移動可能な重り(不図示)を移動させて中継ローラ94bへの負荷を変更する構成であってもよい。この場合、中継ローラ94bにかかる負荷を前記重りにより調整することで、未焼成膜FAのテンションを調整することが可能となる。   The relay rollers 94a to 94e send the unsintered film FA to the shaft member SF while adjusting the tension of the unsintered film FA. The relay rollers 94a to 94e are formed in a cylindrical shape, for example, and are arranged in parallel to the X direction. In the present embodiment, the unsintered film FA is bridged in the order of the relay rollers 94a, 94b, 94c, 94d, and 94e, but is not limited to this, and some relay rollers may not be used. Note that at least one of the relay rollers 94 a to 94 e may be movable by the roller support portion 95. For example, the roller support part 95 may be able to move the relay roller 94b in the Z direction or the Y direction. Moreover, the structure which rotates the relay roller 94b around the axis line AX parallel to an X-axis by the roller support part 95 may be sufficient. In this case, it is possible to keep the tension of the unfired film FA constant by feeding back the amount (distance) by which the relay roller 94b moves (rotates) to the winding speed of the bearing 92. Further, the load on the relay roller 94b may be changed by moving a movable weight (not shown) located on the −Y side of the relay roller 94b and arranged via a fulcrum shaft. In this case, it is possible to adjust the tension of the unfired film FA by adjusting the load applied to the relay roller 94b with the weight.

中継ローラ94a〜94eは、X方向に平行な配置に限られず、X方向に対して傾いて配置されてもよい。また、中継ローラR21〜R25は、円筒形に限られず、テーパー型、ラジアル型、コンケイブ型等のクラウンが形成されたものが用いられてもよい。   The relay rollers 94a to 94e are not limited to being arranged parallel to the X direction, and may be arranged inclined with respect to the X direction. Further, the relay rollers R21 to R25 are not limited to a cylindrical shape, and those having a crown such as a taper type, a radial type, and a concave type may be used.

なお、上記の巻き取り装置90は、巻き取り部80に代えて用いてもよい。また、未焼成膜FA等の膜を巻き取る場合とは反対の方向に軸部材SFを回転させることにより、未焼成膜FA等の膜を送り出すことができる。このため、例えば上記の送り出し部60に代えて巻き取り装置90を用いることも可能である。   Note that the winding device 90 described above may be used in place of the winding unit 80. Further, the film such as the unfired film FA can be sent out by rotating the shaft member SF in the direction opposite to the case of winding the film such as the unfired film FA. For this reason, for example, it is possible to use the winding device 90 instead of the above-described delivery unit 60.

[セパレータ]
次に、実施形態に係るセパレータ100を説明する。図13は、リチウムイオン電池200の一例を示す模式図であり、一部が切り開かれた状態を示している。図13に示すように、リチウムイオン電池200は、正極端子を兼ねた金属ケース201と、負極端子202とを有する。金属ケース201の内部には、正極201aと、負極202aと、セパレータ100とが設けられており、不図示の電解液に浸されている。セパレータ100は、正極201aと負極202aとの間に配置され、正極201aと負極202aとの間の電気的接触を防いでいる。正極201aとしては、リチウム遷移金属酸化物が用いられ、負極202aとしては、例えばリチウムやカーボン(グラファイト)等が用いられている。
[Separator]
Next, the separator 100 according to the embodiment will be described. FIG. 13 is a schematic view showing an example of the lithium ion battery 200, and shows a state in which a part thereof is cut open. As shown in FIG. 13, the lithium ion battery 200 includes a metal case 201 that also serves as a positive electrode terminal, and a negative electrode terminal 202. Inside the metal case 201, a positive electrode 201a, a negative electrode 202a, and a separator 100 are provided and are immersed in an electrolyte solution (not shown). The separator 100 is disposed between the positive electrode 201a and the negative electrode 202a, and prevents electrical contact between the positive electrode 201a and the negative electrode 202a. As the positive electrode 201a, a lithium transition metal oxide is used, and as the negative electrode 202a, for example, lithium, carbon (graphite), or the like is used.

上記実施形態に記載の多孔性樹脂膜Fは、このリチウムイオン電池200のセパレータ100として用いられる。この場合、例えば第1塗布膜F1が形成される面をリチウムイオン電池の負極202a側とすることにより、電池性能を向上することができる。なお、図13では、角型のリチウムイオン電池200のセパレータ100を例に挙げて説明しているが、これに限定するものではない。上記の多孔性樹脂膜Fは、円筒型やラミネート型等のいずれのタイプのリチウムイオン電池のセパレータであっても用いることができる。なお、リチウムイオン電池のセパレータの他、上記の多孔性樹脂膜Fは、燃料電池電解質膜、ガス又は液体の分離用膜、低誘電率材料として使用することが可能である。   The porous resin film F described in the above embodiment is used as the separator 100 of the lithium ion battery 200. In this case, for example, by setting the surface on which the first coating film F1 is formed on the negative electrode 202a side of the lithium ion battery, the battery performance can be improved. In FIG. 13, the separator 100 of the square lithium ion battery 200 is described as an example, but the present invention is not limited to this. The porous resin film F can be used for any type of lithium ion battery separator such as a cylindrical type or a laminate type. In addition to the separator of the lithium ion battery, the porous resin film F can be used as a fuel cell electrolyte membrane, a gas or liquid separation membrane, and a low dielectric constant material.

以上、実施形態について説明したが、本発明は、上述した説明に限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更が可能である。
例えば、上記実施形態では、未焼成膜FAをチャンバー21内で焼成する前に、除去部26において除去液26bに所定時間浸漬させる構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、除去液26bに浸漬させる代わりに、所定時間放置させておいてもよい。この場合、未焼成膜FAから溶剤が除去されると共に、焼成時に未焼成膜FAのX方向の端辺が湾曲するのを防ぐことができる。
The embodiment has been described above, but the present invention is not limited to the above description, and various modifications can be made without departing from the gist of the present invention.
For example, in the above-described embodiment, the structure in which the unfired film FA is immersed in the removing liquid 26b for a predetermined time in the removing unit 26 before firing in the chamber 21 has been described as an example. However, the present invention is not limited thereto. . For example, instead of immersing in the removal liquid 26b, it may be allowed to stand for a predetermined time. In this case, the solvent is removed from the unfired film FA, and the edge of the unfired film FA in the X direction can be prevented from being curved during firing.

また、例えば、上記実施形態の構成に加えて、除去ユニット30で形成された多孔性樹脂膜Fに対して後処理を行う後処理ユニットが設けられてもよい。このような後処理ユニットとしては、例えば多孔性樹脂膜Fに対して除電処理を行う帯電防止ユニットが挙げられる。帯電防止ユニットとしては、例えばイオナイザーなどの除電装置が搭載される。   For example, in addition to the structure of the said embodiment, the post-processing unit which performs a post-process with respect to the porous resin film F formed with the removal unit 30 may be provided. As such a post-processing unit, for example, an antistatic unit that performs static elimination treatment on the porous resin film F can be cited. As the antistatic unit, for example, a static eliminator such as an ionizer is mounted.

また、後処理ユニットとして、例えば多孔性樹脂膜Fの一部を除去するケミカルエッチングユニット(不図示)を用いることができる。ケミカルエッチングユニットは、例えば上記実施形態の除去ユニット30と同様の構成を有しており、処理液として、フッ酸溶液に代えてアルカリ溶液などが用いられる。処理液に多孔性樹脂膜Fを所定時間浸すことにより、多孔部A4の内部が除去される。この場合、多孔部A4のバリが取れると共に、連通性が確保されることになる。   Further, as the post-processing unit, for example, a chemical etching unit (not shown) for removing a part of the porous resin film F can be used. The chemical etching unit has, for example, the same configuration as that of the removal unit 30 of the above embodiment, and an alkaline solution or the like is used as the treatment liquid instead of the hydrofluoric acid solution. By immersing the porous resin film F in the treatment liquid for a predetermined time, the inside of the porous portion A4 is removed. In this case, the burrs of the porous portion A4 can be removed and the connectivity is ensured.

また、このようなケミカルエッチングユニットによって多孔性樹脂膜Fの一部を除去する場合、ケミカルエッチング法に限定するものではない。例えば、ケミカルエッチング法と物理的除去方法とを組合せた方法により多孔性樹脂膜Fの一部を除去するようにしてもよい。物理的な方法としては、例えば、プラズマ(酸素、アルゴン等)、コロナ放電等によるドライエッチング、研磨剤(例えば、アルミナ(硬度9)等)を液体に分散し、これを芳香族ポリイミドフィルムの表面に30m/s〜100m/sの速度で照射することでポリイミドフィルム表面を処理する方法等が使用できる。これらの手法は、除去ユニット30において焼成膜FBから微粒子を除去する前及び微粒子の除去後のいずれの場合にも適用可能である。また、微粒子を除去した後に行う場合にのみ適用可能な物理的方法として、対象表面を液体で濡らした台紙フィルム(例えばPETフィルム等のポリエステルフィルム)に圧着後、乾燥しないで又は乾燥した後、多孔性樹脂膜Fを台紙フィルムから引きはがす方法を採用することもできる。液体の表面張力あるいは静電付着力に起因して、多孔性樹脂膜Fの表面層のみが台紙フィルム上に残された状態で、多孔性樹脂膜Fが台紙フィルムから引きはがされる。   Moreover, when removing a part of porous resin film F by such a chemical etching unit, it is not limited to a chemical etching method. For example, a part of the porous resin film F may be removed by a method combining a chemical etching method and a physical removal method. As a physical method, for example, plasma (oxygen, argon, etc.), dry etching by corona discharge, etc., an abrasive (eg, alumina (hardness 9), etc.) is dispersed in a liquid, and this is the surface of an aromatic polyimide film. Or a method of treating the surface of the polyimide film by irradiating at a speed of 30 m / s to 100 m / s. These methods can be applied to both the case before removing fine particles from the fired film FB in the removing unit 30 and the case after removing fine particles. In addition, as a physical method that can be applied only when it is performed after removing fine particles, after being pressure-bonded to a backing film (for example, a polyester film such as a PET film) whose surface is wetted with a liquid, it is not dried or dried, and then porous. It is also possible to employ a method of peeling the conductive resin film F from the mount film. Due to the surface tension or electrostatic adhesion of the liquid, the porous resin film F is peeled off from the mount film in a state where only the surface layer of the porous resin film F is left on the mount film.

例えば、上記実施形態及び変形例では、微粒子の含有率が異なる2種類の塗布液を用いて未焼成膜FAを形成する場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、1種類の塗布液で未焼成膜を形成するものであってもよい。この場合、第1ノズル12及び第2ノズル13のうちいずれか一方が用いられなくてもよいし、一方のノズルを省略してもよい。一方のノズルを省略する場合は、第1ノズル12を省略し、第2ノズル13を使用することが好ましい。   For example, in the above embodiment and the modification, the case where the unfired film FA is formed using two types of coating liquids having different fine particle contents has been described as an example, but the present invention is not limited to this. An unsintered film may be formed with various types of coating solutions. In this case, one of the first nozzle 12 and the second nozzle 13 may not be used, and one nozzle may be omitted. When one nozzle is omitted, it is preferable to omit the first nozzle 12 and use the second nozzle 13.

また、上記実施形態及び変形例では、塗布ユニット10、焼成ユニット20、除去ユニット30が1台ずつ配置された構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、上記ユニットの少なくとも1つが複数台設けられてもよい。この場合、例えば単位時間あたりに処理可能な未焼成膜FA、焼成膜FB又は多孔性樹脂膜Fの分量(例、長さ、等)が少ないユニットを多く配置することにより、製造システムSYS全体の製造効率を高めることができる。   Moreover, although the said embodiment and modification demonstrated and demonstrated as an example the structure by which the coating | coated unit 10, the baking unit 20, and the removal unit 30 were arrange | positioned 1 each, it is not limited to this. For example, a plurality of at least one of the above units may be provided. In this case, for example, by arranging many units with a small amount (eg, length, etc.) of the unfired film FA, fired film FB or porous resin film F that can be processed per unit time, the entire manufacturing system SYS Manufacturing efficiency can be increased.

また、上記実施形態及び変形例では、塗布ユニット10、焼成ユニット20、及び除去ユニット30の各ユニットが、未焼成膜FA、焼成膜FB又は多孔性樹脂膜Fの各膜をY方向に沿って搬送する場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、いずれかのユニットが膜をX方向、Y方向、Z方向又はこれらの合成方向に搬送してもよいし、1つのユニット内で搬送方向を適宜変更してもよい。   Moreover, in the said embodiment and modification, each unit of the application | coating unit 10, the baking unit 20, and the removal unit 30 is each film | membrane of unbaked film | membrane FA, the baked film FB, or the porous resin film | membrane F along a Y direction. Although the case of carrying was described as an example, the present invention is not limited to this. For example, any unit may transport the film in the X direction, the Y direction, the Z direction, or a combination direction thereof, or the transport direction may be appropriately changed within one unit.

また、上記実施形態及び変形例では、塗布ユニット10における塗布、焼成ユニット20における焼成、除去ユニット30における除去、の3つの工程を行う場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、塗布膜の材料としてポリイミド、ポリアミドイミド、又はポリアミドが用いられる場合、焼成を行わなくてもよい。このため、焼成を行わない場合、例えば焼成ユニット20と除去ユニット30との間に巻き取り装置及び送り出し装置等を設けることにより、塗布ユニット10で形成された未焼成膜FAを、焼成ユニット20を介することなく、除去ユニット30に搬入させることが可能となる。また、焼成を行わない場合、多孔性のイミド系樹脂膜を製造する製造システムは、ポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド又はポリアミド及び微粒子を含む液体を基材に塗布して未焼成膜を形成する塗布ユニットと、前記塗布ユニット内又は前記塗布ユニット外で前記基材から剥離した前記未焼成膜から前記微粒子を除去する除去ユニットとを含む製造システムとすることができる。なお、焼成を行わない場合、微粒子を除去する除去ユニット30から多孔性樹脂膜Fを搬出させた後、前述のポストベーク処理工程を行ってもよい。また、ケミカルエッチングユニットを用いる場合には、ポストベーク処理工程前に、ケミカルエッチングユニットを介してもよい。この場合、ポストベーク処理工程は、例えばケミカルエッチングユニット内に加熱部を設け、この加熱部により行ってもよい。   Moreover, although the said embodiment and modification demonstrated and demonstrated as an example the case where three processes of application | coating in the application | coating unit 10, baking in the baking unit 20, and removal in the removal unit 30 were performed, it does not limit to this. Absent. For example, when polyimide, polyamideimide, or polyamide is used as the material of the coating film, baking is not necessary. For this reason, when baking is not performed, for example, by providing a winding device, a feeding device, and the like between the baking unit 20 and the removal unit 30, the unfired film FA formed by the coating unit 10 is replaced with the baking unit 20. It can be carried into the removal unit 30 without intervention. In addition, when firing is not performed, a production system for producing a porous imide resin film is a coating system in which a liquid containing polyamic acid, polyimide, polyamideimide or polyamide and fine particles is applied to a substrate to form an unfired film. It can be set as the manufacturing system containing a unit and the removal unit which removes the said microparticles | fine-particles from the said unbaking film | membrane peeled from the said base material in the said coating unit or the said coating unit outside. In addition, when baking is not performed, after carrying out the porous resin film | membrane F from the removal unit 30 which removes microparticles | fine-particles, you may perform the above-mentioned post-baking process process. Moreover, when using a chemical etching unit, you may pass a chemical etching unit before a post-baking process. In this case, the post-bake treatment step may be performed by, for example, a heating unit provided in the chemical etching unit.

また、上記実施形態及び変形例では、いわゆるロール・ツー・ロール方式によって多孔性樹脂膜Fを形成する構成を例に挙げて説明したが、これに限定するものではない。例えば、除去ユニット30(又はケミカルエッチングユニット)における処理が終了した後、多孔性樹脂膜Fが除去ユニット30(又はケミカルエッチングユニット)から搬出された場合に、巻き取り部80で巻き取らせることなく所定の長さで切断し、切断したものを回収してもよい。   Moreover, although the said embodiment and modification demonstrated and demonstrated the structure which forms the porous resin film F by what is called a roll-to-roll system as an example, it is not limited to this. For example, when the porous resin film F is unloaded from the removal unit 30 (or chemical etching unit) after the processing in the removal unit 30 (or chemical etching unit) is completed, the winding unit 80 does not wind the porous resin film F. You may cut | disconnect by predetermined length and collect | recover what was cut | disconnected.

SYS、SYS2…製造システム F…多孔性樹脂膜 FA…未焼成膜 FB…焼成膜 TR…搬送領域 10…塗布ユニット 20、20A、20B、20C…焼成ユニット 21c…雰囲気調整部 22…加熱部 22a…ヒータ 22C…ベルト加熱部 23…搬送部 23a、23g…搬送ベルト 23b…駆動ローラ 23c…従動ローラ 23f…載置面 24…ベルト冷却部 25…排気部 26…除去部 28、29…押さえ部材 30…除去ユニット 100…セパレータ 200…リチウムイオン電池 SYS, SYS2 ... manufacturing system F ... porous resin film FA ... unfired film FB ... fired film TR ... transport area 10 ... coating unit 20, 20A, 20B, 20C ... fired unit 21c ... atmosphere adjusting part 22 ... heating part 22a ... Heater 22C ... Belt heating unit 23 ... Conveying unit 23a, 23g ... Conveying belt 23b ... Drive roller 23c ... Driven roller 23f ... Placement surface 24 ... Belt cooling unit 25 ... Exhaust unit 26 ... Removing unit 28, 29 ... Holding member 30 ... Removal unit 100 ... Separator 200 ... Lithium ion battery

Claims (20)

ポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド、又はポリアミド、及び微粒子を含む液体から形成された未焼成膜を載置して移動可能な帯状の搬送部材と、
前記搬送部材により前記未焼成膜を搬送しながら焼成する焼成部と、を備える焼成装置。
A belt-shaped transport member that can move by placing an unfired film formed from a liquid containing polyamic acid, polyimide, polyamideimide, or polyamide, and fine particles;
And a firing unit that fires the unfired film while being transported by the transport member.
前記搬送部材は、前記未焼成膜を載置する載置面が平坦に形成される請求項1記載の焼成装置。   The firing apparatus according to claim 1, wherein the conveying member has a flat surface on which the unfired film is placed. 前記搬送部材は、PBO繊維、ステンレスまたはポリイミドにより形成される請求項1または請求項2記載の焼成装置。   The firing apparatus according to claim 1, wherein the conveying member is formed of PBO fiber, stainless steel, or polyimide. 前記搬送部材は、環状に形成され、かつ、前記未焼成膜の搬送領域を含んで循環するように移動する請求項1〜請求項3のいずれか1項に記載の焼成装置。   The firing apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the transport member is formed in an annular shape and moves so as to circulate including a transport region of the unfired film. 前記焼成部は、前記未焼成膜の表面側から、または前記搬送部材を介して前記未焼成膜の裏面側から、前記未焼成膜を加熱する加熱部を有する請求項1〜請求項4のいずれか1項に記載の焼成装置。   The said baking part has a heating part which heats the said unbaking film | membrane from the surface side of the said unbaking film | membrane, or the back surface side of the said unbaking film | membrane via the said conveyance member. The baking apparatus of Claim 1. 前記加熱部は、前記搬送部材を加熱する搬送部材加熱部を有する請求項5記載の焼成装置。   The firing apparatus according to claim 5, wherein the heating unit includes a conveyance member heating unit that heats the conveyance member. 前記焼成部は、前記搬送部材を冷却する冷却部を有する請求項1〜請求項6のいずれか1項に記載の焼成装置。   The said baking part is a baking apparatus of any one of Claims 1-6 which has a cooling part which cools the said conveyance member. 前記焼成部は、前記未焼成膜の周囲の雰囲気を調整する雰囲気調整部を有する請求項1〜請求項7のいずれか1項に記載の焼成装置。   The firing apparatus according to claim 1, wherein the firing section includes an atmosphere adjustment section that adjusts an atmosphere around the unfired film. 前記焼成部は、前記未焼成膜のうち移動方向に交差する方向の両端辺の少なくとも一方を前記搬送部材側に押さえる押さえ部材を有する請求項1〜請求項8のいずれか1項に記載の焼成装置。   The firing according to any one of claims 1 to 8, wherein the firing part includes a pressing member that presses at least one of both end sides of the unfired film in a direction intersecting the moving direction toward the conveying member. apparatus. 前記未焼成膜は、所定の溶剤を含んだ前記液体により形成され、
前記フィルムの焼成に先立って、前記未焼成膜から前記溶剤を除去する除去部を備える請求項1または請求項2記載の焼成装置。
The unsintered film is formed of the liquid containing a predetermined solvent,
The baking apparatus of Claim 1 or Claim 2 provided with the removal part which removes the said solvent from the said unbaked film | membrane before baking of the said film.
ポリアミド酸、ポリイミド、ポリアミドイミド、又はポリアミド、及び微粒子を含む液体から形成された未焼成膜を、帯状の搬送部材に載置して搬送することと、
前記搬送部材により前記未焼成膜を搬送しながら焼成することと、を含む焼成方法。
An unfired film formed from a liquid containing polyamic acid, polyimide, polyamideimide, or polyamide and fine particles is placed on a belt-shaped transport member and transported;
Firing while transporting the unsintered film by the transport member.
前記未焼成膜は、環状に形成された前記搬送部材が、前記未焼成膜の搬送領域を含んで循環するように移動することにより搬送される請求項11記載の焼成方法。   The firing method according to claim 11, wherein the unsintered film is transported by moving the transport member formed in an annular shape so as to circulate including a transport region of the unsintered film. 前記未焼成膜は、前記未焼成膜の表面側から、または前記搬送部材を介して前記未焼成膜の裏面側から、前記未焼成膜を加熱して焼成される請求項11または請求項12記載の焼成方法。   The said unsintered film is baked by heating the said unsintered film from the surface side of the said unsintered film, or from the back surface side of the said unsintered film through the said conveyance member. Firing method. 前記未焼成膜は、前記搬送部材を加熱し、加熱された前記搬送部材により加熱して焼成される請求項13記載の焼成方法。   The firing method according to claim 13, wherein the unsintered film is fired by heating the transport member and heating by the heated transport member. 前記未焼成膜の焼成後に、前記搬送部材を冷却することを含む請求項11〜請求項14のいずれか1項に記載の焼成方法。   The firing method according to claim 11, further comprising cooling the conveying member after firing the unfired film. 前記未焼成膜の周囲の雰囲気を調整した状態で前記未焼成膜を焼成する請求項11〜請求項15のいずれか1項に記載の焼成方法。   The firing method according to any one of claims 11 to 15, wherein the unfired film is fired in a state in which an atmosphere around the unfired film is adjusted. 前記未焼成膜は、前記未焼成膜のうち移動方向に交差する方向の両端辺の少なくとも一方が前記搬送部材側に押さえられた状態で搬送される請求項11〜請求項16のいずれか1項に記載の焼成方法。   The said unbaked film is conveyed in the state in which at least one of the both ends of the direction which cross | intersects a moving direction among the said unbaked films was hold | suppressed by the said conveyance member side. The firing method described in 1. 前記未焼成膜は、所定の溶剤を含んだ前記液体により形成され、
前記未焼成膜の焼成に先立って、前記未焼成膜から前記溶剤を除去することを含む請求項11〜請求項17のいずれか1項に記載の焼成方法。
The unsintered film is formed of the liquid containing a predetermined solvent,
The firing method according to any one of claims 11 to 17, comprising removing the solvent from the unfired film prior to firing of the unfired film.
多孔性のイミド系樹脂膜を製造する製造システムであって、
請求項1〜請求項10のいずれか1項に記載の焼成装置を含む製造システム。
A production system for producing a porous imide resin film,
The manufacturing system containing the baking apparatus of any one of Claims 1-10.
多孔性のイミド系樹脂膜を製造する方法であって、
請求項11〜請求項18のいずれか1項に記載の焼成方法を含む製造方法。
A method for producing a porous imide resin film,
The manufacturing method containing the baking method of any one of Claims 11-18.
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