JP2016053181A - Resin composition for electronic circuit board material, prepreg, laminate sheet and metal clad laminate sheet - Google Patents

Resin composition for electronic circuit board material, prepreg, laminate sheet and metal clad laminate sheet Download PDF

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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a resin composition for electronic circuit board material excellent in moldability, high in glass transition temperature (Tg) of a cured article, and capable of reducing warpage when manufacturing a semiconductor package.SOLUTION: There is provided a resin composition containing (A) a novolak phenol resin of the formula (1) having two or more hydroxyl groups in a molecule and a naphthalene skeleton having at least one or more hydroxyl groups of the hydroxyl groups, (B) an epoxy resin having two or more epoxy groups in a molecule, and (C) an inorganic filler with a content of 130 to 250 pts.mass based on 100 pts.mass of the (A) and (B) components. The composition has a glass transition temperature (Tg) after curing of 220°C or more.SELECTED DRAWING: None

Description

本発明は、電子・通信機器、特に半導体パッケージ等に用いられる電子回路基板材料用樹脂組成物、プリプレグ、積層板及び金属張積層板に関するものである。   The present invention relates to a resin composition for electronic circuit board materials, prepregs, laminates and metal-clad laminates used in electronic / communication equipment, particularly semiconductor packages and the like.

近年の電子・通信機器の小型化、軽量化、高性能化の市場動向において、半導体パッケージの反りを低減するため、特に半導体パッケージの製造に用いられる電子回路基板材料には、高いガラス転移温度(Tg)、低い熱膨張率、高い弾性率が強く求められている。   In order to reduce the warpage of semiconductor packages in the recent trend of downsizing, weight reduction, and high performance of electronic / communication equipment, electronic circuit board materials used in the manufacture of semiconductor packages have high glass transition temperatures ( Tg), a low thermal expansion coefficient and a high elastic modulus are strongly demanded.

一般的には電子回路基板材料としてエポキシ樹脂及びフェノール樹脂を含有する樹脂組成物が用いられている。このような樹脂組成物では、樹脂の架橋密度を上げることで高Tg化は容易に達成することができる。しかし、硬化反応後の冷却時に分子網目内に自由体積が生じやすく、この自由体積により熱膨張率が増加したり、反応時に発生する水酸基により吸水率が増加したりするという問題がある。   Generally, a resin composition containing an epoxy resin and a phenol resin is used as an electronic circuit board material. In such a resin composition, a high Tg can be easily achieved by increasing the crosslink density of the resin. However, there is a problem that a free volume tends to be generated in the molecular network during cooling after the curing reaction, and the thermal expansion coefficient increases due to this free volume, and the water absorption rate increases due to the hydroxyl group generated during the reaction.

また、上記の樹脂組成物にさらに無機充填材を添加すると熱膨張率を低減することは可能である。しかし、この場合には無機充填材を多量に添加する必要がある。そのため、樹脂組成物の流動性が低下し、これはプリプレグの回路埋め込み性を悪化させる原因となる。   Further, when an inorganic filler is further added to the above resin composition, the coefficient of thermal expansion can be reduced. However, in this case, it is necessary to add a large amount of inorganic filler. Therefore, the fluidity of the resin composition is lowered, which causes the circuit embeddability of the prepreg to deteriorate.

また、上記の樹脂組成物をガラス基材に含浸させてプリプレグを製造する場合に、エポキシ樹脂及びフェノール樹脂として柔軟な骨格を持つ樹脂を用いると、この樹脂の熱膨張率よりも無機充填材及びガラス基材の熱膨張率が優位となる。そのため、このようなプリプレグを用いて形成された積層板では、熱膨張率は低くなるが、ガラス転移温度(Tg)及び弾性率が低下するという問題がある。   Further, when a prepreg is produced by impregnating a glass substrate with the above resin composition, if a resin having a flexible skeleton is used as an epoxy resin and a phenol resin, the inorganic filler and the thermal expansion coefficient of this resin and The thermal expansion coefficient of the glass substrate is dominant. Therefore, in the laminated board formed using such a prepreg, although a thermal expansion coefficient becomes low, there exists a problem that a glass transition temperature (Tg) and an elasticity modulus fall.

そこで、ガラス転移温度(Tg)が高く、熱膨張率が低い樹脂組成物として、ビフェニル型エポキシ樹脂を含有する樹脂組成物が開発されている(例えば、特許文献1参照)。   Therefore, a resin composition containing a biphenyl type epoxy resin has been developed as a resin composition having a high glass transition temperature (Tg) and a low coefficient of thermal expansion (see, for example, Patent Document 1).

特開2001−151991号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2001-151991

しかし、従来の樹脂組成物については成形性に問題があり、またこのような樹脂組成物を用いて形成された半導体パッケージについてはガラス転移温度(Tg)及び反りについてなお改良の余地がある。   However, conventional resin compositions have problems in moldability, and semiconductor packages formed using such resin compositions still have room for improvement in terms of glass transition temperature (Tg) and warpage.

本発明は上記の点に鑑みてなされたものであり、成形性に優れ、硬化物のガラス転移温度(Tg)が高く、半導体パッケージを製造した場合にその反りを低減することができる電子回路基板材料用樹脂組成物、プリプレグ、積層板及び金属張積層板を提供することを目的とするものである。   The present invention has been made in view of the above points, and is an electronic circuit board that is excellent in moldability, has a high glass transition temperature (Tg) of a cured product, and can reduce warpage when a semiconductor package is manufactured. It aims at providing the resin composition for materials, a prepreg, a laminated board, and a metal-clad laminated board.

本発明に係る電子回路基板材料用樹脂組成物は、
(A)フェノール樹脂と、
(B)エポキシ樹脂と、
(C)無機充填材と
を含有する電子回路基板材料用樹脂組成物であって、
前記(A)成分が、分子内に2つ以上の水酸基を有し、かつ前記水酸基のうち少なくとも1つ以上の水酸基を有するナフタレン骨格を持つノボラックフェノール樹脂を含有し、
前記ノボラックフェノール樹脂が下記の式(1)で示されるものであり、
前記(B)成分が、分子内に2つ以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂を含有し、
前記(A)及び(B)成分100質量部に対する前記(C)成分の含有量が130〜250質量部であり、
硬化後のガラス転移温度(Tg)が220℃以上であることを特徴とするものである。
Resin composition for electronic circuit board material according to the present invention,
(A) a phenolic resin;
(B) an epoxy resin;
(C) a resin composition for an electronic circuit board material containing an inorganic filler,
The component (A) contains a novolak phenol resin having a naphthalene skeleton having two or more hydroxyl groups in the molecule and having at least one hydroxyl group among the hydroxyl groups,
The novolak phenol resin is represented by the following formula (1):
The component (B) contains a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in the molecule,
Content of the said (C) component with respect to 100 mass parts of said (A) and (B) component is 130-250 mass parts,
The glass transition temperature (Tg) after curing is 220 ° C. or higher.

Figure 2016053181
Figure 2016053181

前記(A)成分の全量に対する前記ノボラックフェノール樹脂の含有量が50質量%以上であることが好ましい。   It is preferable that content of the novolak phenol resin with respect to the total amount of the component (A) is 50% by mass or more.

前記(C)成分の70質量%以上が溶融シリカであることが好ましい。   It is preferable that 70% by mass or more of the component (C) is fused silica.

前記(C)成分の表面がカップリング剤で処理されていることが好ましい。   The surface of the component (C) is preferably treated with a coupling agent.

本発明に係るプリプレグは、
強化繊維の基材と、
前記強化繊維の基材に含浸された前記電子回路基板材料用樹脂組成物の半硬化物と
を備えていることを特徴とするものである。
The prepreg according to the present invention is
A reinforcing fiber substrate;
And a semi-cured product of the resin composition for an electronic circuit board material impregnated in the base material of the reinforcing fiber.

前記強化繊維がガラス繊維であることが好ましい。   The reinforcing fibers are preferably glass fibers.

本発明に係る積層板は、
前記プリプレグの1枚の硬化物又は複数枚の積層物の硬化物で形成されていることを特徴とするものである。
The laminate according to the present invention is
The prepreg is formed of one cured product or a cured product of a plurality of laminates.

本発明に係る金属張積層板は、
前記プリプレグの1枚の硬化物又は複数枚の積層物の硬化物と、
前記硬化物の片面又は両面に接着された金属箔と
を備えていることを特徴とするものである。
The metal-clad laminate according to the present invention is
One cured product of the prepreg or a cured product of a plurality of laminates,
And a metal foil bonded to one or both sides of the cured product.

本発明によれば、成形性に優れ、硬化物のガラス転移温度(Tg)が高く、半導体パッケージを製造した場合にその反りを低減することができるものである。   According to the present invention, the moldability is excellent, the glass transition temperature (Tg) of the cured product is high, and the warpage can be reduced when a semiconductor package is manufactured.

半導体パッケージの一例を示す断面図である。It is sectional drawing which shows an example of a semiconductor package.

以下、本発明の実施の形態を説明する。   Embodiments of the present invention will be described below.

本発明に係る電子回路基板材料用樹脂組成物(以下、単に「樹脂組成物」ともいう。)は、(A)フェノール樹脂と、(B)エポキシ樹脂と、(C)無機充填材とを含有するものである。この樹脂組成物は、プリプレグや積層板等の電子回路基板材料を製造する際に用いられる。   The resin composition for electronic circuit board materials according to the present invention (hereinafter also simply referred to as “resin composition”) contains (A) a phenol resin, (B) an epoxy resin, and (C) an inorganic filler. To do. This resin composition is used when manufacturing electronic circuit board materials such as prepregs and laminates.

(A)成分は、分子内に2つ以上の水酸基を有し、かつ、これらの水酸基のうち少なくとも1つ以上の水酸基を有するナフタレン骨格を持つノボラックフェノール樹脂(以下、このノボラックフェノール樹脂を「(a1)ノボラックフェノール樹脂」という。)を含有する。(A)成分には(a1)ノボラックフェノール樹脂以外のフェノール樹脂が含有されていてもよい。(A)成分の水酸基は(B)成分のエポキシ基と結合して架橋する。   The component (A) is a novolak phenol resin having two or more hydroxyl groups in the molecule and having a naphthalene skeleton having at least one of these hydroxyl groups (hereinafter referred to as “( a1) a novolac phenolic resin ”). The component (A) may contain a phenol resin other than the (a1) novolak phenol resin. The hydroxyl group of component (A) binds to and crosslinks with the epoxy group of component (B).

(A)成分の全量に対する(a1)ノボラックフェノール樹脂の含有量は50質量%以上(上限は100質量%)であることが好ましい。これにより、(a1)ノボラックフェノール樹脂の含有量が50質量%未満である場合に比べて、樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)を高い状態に維持したまま、熱膨張率を効果的に低減することができるものである。   The content of the (a1) novolak phenol resin relative to the total amount of the component (A) is preferably 50% by mass or more (the upper limit is 100% by mass). Thereby, compared with the case where the content of the (a1) novolak phenol resin is less than 50% by mass, the coefficient of thermal expansion is effective while maintaining the glass transition temperature (Tg) of the cured product of the resin composition at a high level. Can be reduced.

(a1)ノボラックフェノール樹脂は上記の式(1)で示されるものである。これにより、他のノボラックフェノール樹脂を用いる場合に比べて、樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)を高めることができると共に、熱膨張率を低減することができるものである。   (A1) The novolak phenol resin is represented by the above formula (1). Thereby, compared with the case where other novolak phenol resin is used, while being able to raise the glass transition temperature (Tg) of the hardened | cured material of a resin composition, a thermal expansion coefficient can be reduced.

(B)成分は、分子内に2つ以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂(以下、この多官能エポキシ樹脂を「(b1)多官能エポキシ樹脂」という。)を含有する。(B)成分には(b1)多官能エポキシ樹脂以外のエポキシ樹脂が含有されていてもよい。   The component (B) contains a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in the molecule (hereinafter, this polyfunctional epoxy resin is referred to as “(b1) polyfunctional epoxy resin”). The component (B) may contain an epoxy resin other than the (b1) polyfunctional epoxy resin.

樹脂組成物には(A)及び(B)成分以外の樹脂成分が含有されていてもよい。このような樹脂成分としては、例えば、シアネート樹脂、ベンゾオキサジン系樹脂、不飽和ポリエステル樹脂、ポリアミド樹脂、ポリイミド樹脂、ポリブタジエン樹脂、熱硬化性ポリフェニレンオキサイド樹脂、フッ素樹脂、これらの変性物、これらが臭素化された難燃性樹脂等から選ばれるものを用いることができる。   The resin composition may contain a resin component other than the components (A) and (B). Examples of such resin components include cyanate resins, benzoxazine resins, unsaturated polyester resins, polyamide resins, polyimide resins, polybutadiene resins, thermosetting polyphenylene oxide resins, fluororesins, modified products thereof, and bromine What was chosen from the made flame-retardant resin etc. can be used.

(C)成分としては、例えば、溶融シリカ、水酸化アルミニウム、水酸化マグネシウム、Eガラス粉末、アルミナ、酸化マグネシウム、二酸化チタン、チタン酸カリウム、ケイ酸カルシウム、炭酸カルシウム、クレイ、タルク等から選ばれるものを用いることができる。   The component (C) is selected from, for example, fused silica, aluminum hydroxide, magnesium hydroxide, E glass powder, alumina, magnesium oxide, titanium dioxide, potassium titanate, calcium silicate, calcium carbonate, clay, talc and the like. Things can be used.

特に(C)成分の70質量%以上(上限は100%)は溶融シリカであることが好ましい。溶融シリカは球状であることが好ましい。溶融シリカは他の無機充填材に比べて線膨張率が低い。例えば、結晶シリカの線膨張率は7.0ppm/℃、水酸化アルミニウムの線膨張率は10〜15ppm/℃であるのに対して、溶融シリカの線膨張率は0.5ppm/℃である。そのため(C)成分の70質量%以上が溶融シリカであると、樹脂組成物の流動性つまり成形性が高まり、回路埋め込み性が向上し、硬化物にボイドが発生することを抑制することができる。しかも(C)成分の70質量%以上が溶融シリカであると、樹脂組成物の硬化物の高弾性率化及び低熱膨張率化を効果的に達成することができ、半導体パッケージの反りを低減することもできる。   In particular, 70% by mass or more (the upper limit is 100%) of the component (C) is preferably fused silica. The fused silica is preferably spherical. Fused silica has a lower coefficient of linear expansion than other inorganic fillers. For example, the linear expansion coefficient of crystalline silica is 7.0 ppm / ° C., and the linear expansion coefficient of aluminum hydroxide is 10 to 15 ppm / ° C., whereas the linear expansion coefficient of fused silica is 0.5 ppm / ° C. Therefore, when 70 mass% or more of the component (C) is fused silica, the fluidity of the resin composition, that is, the moldability is improved, the circuit embedding property is improved, and generation of voids in the cured product can be suppressed. . In addition, when 70% by mass or more of the component (C) is fused silica, it is possible to effectively achieve a high elastic modulus and a low thermal expansion coefficient of the cured product of the resin composition, and reduce the warpage of the semiconductor package. You can also.

(A)成分と(B)成分の質量比は30:70〜60:40であることが好ましい。(A)及び(B)成分100質量部に対する(C)成分の含有量は130〜250質量部である。これにより、樹脂組成物の硬化物のガラス転移温度(Tg)及び弾性率をいずれも高い状態に維持したまま、熱膨張率を大幅に低減することができ、半導体パッケージの反りも大幅に低減することができるものである。しかし、(C)成分の含有量が130質量部未満であると、高弾性率化及び低熱膨張率化を図ることができず、半導体パッケージの反りを低減することができない。逆に(C)成分の含有量が250質量部を超えると、樹脂組成物の流動性つまり成形性が低下し、回路埋め込み性が悪化して硬化物にボイドが発生する。   It is preferable that mass ratio of (A) component and (B) component is 30: 70-60: 40. The content of the component (C) with respect to 100 parts by mass of the components (A) and (B) is 130 to 250 parts by mass. As a result, the thermal expansion coefficient can be greatly reduced while maintaining the glass transition temperature (Tg) and the elastic modulus of the cured product of the resin composition in a high state, and the warpage of the semiconductor package is also greatly reduced. It is something that can be done. However, when the content of the component (C) is less than 130 parts by mass, it is impossible to achieve a high elastic modulus and a low thermal expansion coefficient, and it is not possible to reduce the warpage of the semiconductor package. On the other hand, when the content of the component (C) exceeds 250 parts by mass, the fluidity, that is, the moldability of the resin composition is lowered, the circuit embedding property is deteriorated, and a void is generated in the cured product.

(C)成分の表面はカップリング剤で処理されていることが好ましい。カップリング剤としては、例えば、γ−グリシドキシプロピルトリメトキシシラン、γ−アミノプロピルトリエトキシシラン、N−フェニル−γ−アミノプロピルトリメトキシシラン等から選ばれるものを用いることができる。このようなカップリング剤で(C)成分の表面を処理すると、カップリング剤によって、有機成分である(A)及び(B)成分と、無機成分である(C)成分とが接着されて馴染みが良くなる。そうすると、(C)成分の熱膨張率の低さを(A)及び(B)成分の熱膨張率にも効果的に反映させることができ、樹脂組成物の硬化物の熱膨張率をさらに低下させることができるものである。   The surface of the component (C) is preferably treated with a coupling agent. As the coupling agent, for example, those selected from γ-glycidoxypropyltrimethoxysilane, γ-aminopropyltriethoxysilane, N-phenyl-γ-aminopropyltrimethoxysilane and the like can be used. When the surface of the component (C) is treated with such a coupling agent, the components (A) and (B), which are organic components, and the component (C), which is an inorganic component, are adhered and become familiar by the coupling agent. Will be better. Then, the low thermal expansion coefficient of the component (C) can be effectively reflected in the thermal expansion coefficient of the components (A) and (B), and the thermal expansion coefficient of the cured product of the resin composition is further reduced. It can be made to.

樹脂組成物には必要に応じて硬化触媒(硬化促進剤)を含有することができる。硬化触媒としては、例えば、2−エチル−4−メチルイミダゾール、2−メチルイミダゾール、2−フェニル−4−メチルイミダゾール等のイミダゾール類、ジメチルベンジルアミン、トリエチレンジアミン、ベンジルジメチルアミン、トリエタノールアミン等のアミン類、トリフェニルホスフィン、ジフェニルホスフィン、フェニルホスフィン等の有機ホスフィン類、テトラフェニルホスホニウム・エチルトリフェニルボレート等のテトラ置換ホスホニウム・テトラ置換ボレート、2−エチル−4−メチルイミダゾール・テトラフェニルボレート等のテトラフェニルボロン塩等から選ばれるものを用いることができる。硬化触媒を用いる場合にはその含有量は、(A)及び(B)成分100質量部に対して、0.01〜0.1質量部であることが好ましい。   The resin composition can contain a curing catalyst (curing accelerator) as necessary. Examples of the curing catalyst include imidazoles such as 2-ethyl-4-methylimidazole, 2-methylimidazole, 2-phenyl-4-methylimidazole, dimethylbenzylamine, triethylenediamine, benzyldimethylamine, and triethanolamine. Amines, organic phosphines such as triphenylphosphine, diphenylphosphine, phenylphosphine, tetrasubstituted phosphonium / tetrasubstituted borates such as tetraphenylphosphonium / ethyltriphenylborate, 2-ethyl-4-methylimidazole / tetraphenylborate, etc. Those selected from tetraphenyl boron salts and the like can be used. When using a curing catalyst, the content is preferably 0.01 to 0.1 parts by mass with respect to 100 parts by mass of the components (A) and (B).

(A)成分は硬化剤であるが、樹脂組成物には必要に応じてその他の硬化剤を含有することができる。その他の硬化剤としては、例えば、ジシアンジアミド、酸無水物、脂肪族アミン等から選ばれるものを用いることができる。   The component (A) is a curing agent, but the resin composition can contain other curing agents as necessary. Examples of other curing agents include those selected from dicyandiamide, acid anhydrides, aliphatic amines, and the like.

樹脂組成物には必要に応じて難燃剤を含有することができる。難燃剤としては、特に限定されるものではないが、下記の式(2)、式(3)、式(4)、式(5)及び式(6)で示されるリン酸エステル系化合物及びその誘導体等のリン系難燃剤から選ばれるものを用いることが好ましい。このようなリン系難燃剤は、ハロゲンフリーであるため、人体へのハロゲンによる悪影響を抑えることができ、良好な難燃性や耐熱性を長期にわたって確保することができる。   The resin composition can contain a flame retardant as necessary. Although it does not specifically limit as a flame retardant, The phosphate ester type compound shown by following formula (2), Formula (3), Formula (4), Formula (5), and Formula (6) and its It is preferable to use those selected from phosphorus-based flame retardants such as derivatives. Since such a phosphorus flame retardant is halogen-free, the adverse effects of halogen on the human body can be suppressed, and good flame retardancy and heat resistance can be ensured over a long period of time.

Figure 2016053181
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そして、樹脂組成物は、(A)フェノール樹脂、(B)エポキシ樹脂及び(C)無機充填材を配合し、必要に応じて硬化触媒等のその他の成分も配合し、この配合物をミキサーやブレンダー等で均一に混合することによってワニスとして調製することができる。樹脂組成物を調製する際には、溶媒として、メチルエチルケトン(MEK)、メトキシプロパノール(MP)、ジメチルホルムアミド(DMF)、アセトン等から選ばれるものを必要に応じて配合することによって樹脂組成物を希釈してもよい。   And a resin composition mix | blends (A) phenol resin, (B) epoxy resin, and (C) inorganic filler, and also mix | blends other components, such as a curing catalyst, as needed. It can be prepared as a varnish by mixing uniformly with a blender or the like. When preparing the resin composition, the resin composition is diluted by blending a solvent selected from methyl ethyl ketone (MEK), methoxypropanol (MP), dimethylformamide (DMF), acetone and the like as necessary. May be.

上記のようにして得られた樹脂組成物の硬化後のガラス転移温度(Tg)は220℃以上(上限は300℃)となる。このように、(a1)ノボラックフェノール樹脂を含有する(A)成分と、(b1)多官能エポキシ樹脂を含有する(B)成分と、所定量の(C)成分とを用いて調製された樹脂組成物にあっては、その硬化物のガラス転移温度(Tg)を220℃以上に高めることができるものである。しかも特に(a1)ノボラックフェノール樹脂は低応力かつ剛直な骨格を持っているので、有機成分である(A)及び(B)成分と無機成分である(C)成分との間の熱膨張率の差(△CTE)から生じる応力が緩和され、高いガラス転移温度(Tg)を維持したまま、樹脂組成物の硬化物の熱膨張率を大幅に低減することができるものである。なお、ガラス転移温度(Tg)はDMA法(動的粘弾性分析)により測定することができる。   The glass transition temperature (Tg) after curing of the resin composition obtained as described above is 220 ° C. or higher (the upper limit is 300 ° C.). Thus, resin prepared using (a1) component (A) containing novolak phenol resin, (b1) component (B) containing polyfunctional epoxy resin, and a predetermined amount of component (C) In the composition, the glass transition temperature (Tg) of the cured product can be increased to 220 ° C. or higher. Moreover, since (a1) novolak phenol resin has a low stress and rigid skeleton, the coefficient of thermal expansion between components (A) and (B), which are organic components, and component (C), which is an inorganic component. The stress resulting from the difference (ΔCTE) is relaxed, and the coefficient of thermal expansion of the cured product of the resin composition can be greatly reduced while maintaining a high glass transition temperature (Tg). The glass transition temperature (Tg) can be measured by the DMA method (dynamic viscoelastic analysis).

電子回路基板材料は、上記の樹脂組成物を用いて製造することができる。電子回路基板材料としては、例えば、プリプレグや積層板等を例示することができる。積層板にはCCL等の金属張積層板が含まれる。   The electronic circuit board material can be manufactured using the above resin composition. Examples of the electronic circuit board material include a prepreg and a laminated board. The laminate includes a metal-clad laminate such as CCL.

プリプレグは、樹脂組成物を強化繊維の基材に含浸し、これを加熱乾燥して半硬化させることによって製造することができる。強化繊維としては、例えば、ガラス繊維、芳香族ポリアミド、液晶ポリエステル、ポリ(パラフェニレンベンゾビスオキサゾール)(PBO)、ポリフェニレンサルファイド樹脂(PPS)等から選ばれるものを用いることができる。特に強化繊維がガラス繊維であることが好ましい。すなわち、強化繊維の基材がガラス繊維の基材(例えばガラスクロス)であることが好ましい。これにより、ドリル加工性及び吸湿特性に優れたプリプレグを得ることができる。また、強化繊維の表面はカップリング剤で処理されていることが好ましい。カップリング剤としては、上述の(C)成分の表面処理に用いられるものと同様のものを用いることができる。このようなカップリング剤で強化繊維の表面を処理すると、カップリング剤によって、樹脂組成物と強化繊維の基材とが接着されて馴染みが良くなる。そうすると、強化繊維の基材の熱膨張率の低さを樹脂組成物の熱膨張率にも効果的に反映させることができ、半導体パッケージの熱膨張率をさらに低下させることができるものである。   The prepreg can be produced by impregnating a base material of a reinforcing fiber with a resin composition, and drying and semi-curing it by heating. As the reinforcing fiber, for example, those selected from glass fiber, aromatic polyamide, liquid crystal polyester, poly (paraphenylenebenzobisoxazole) (PBO), polyphenylene sulfide resin (PPS) and the like can be used. In particular, the reinforcing fiber is preferably glass fiber. That is, it is preferable that the reinforcing fiber base material is a glass fiber base material (for example, glass cloth). Thereby, the prepreg excellent in drill workability and moisture absorption characteristics can be obtained. The surface of the reinforcing fiber is preferably treated with a coupling agent. As a coupling agent, the thing similar to what is used for the surface treatment of the above-mentioned (C) component can be used. When the surface of the reinforcing fiber is treated with such a coupling agent, the resin composition and the base material of the reinforcing fiber are bonded to each other by the coupling agent, so that the familiarity is improved. If it does so, the low thermal expansion coefficient of the base material of a reinforced fiber can be effectively reflected also in the thermal expansion coefficient of a resin composition, and the thermal expansion coefficient of a semiconductor package can further be reduced.

積層板は、上記のようにして得られたプリプレグを1枚又は複数枚重ねて加熱加圧成形することによって製造することができる。1枚のプリプレグ又は複数枚のプリプレグを重ねた積層物の片面又は両面に銅箔等の金属箔を重ねて加熱加圧成形すると、CCL等の金属張積層板を製造することができる。プリプレグの樹脂組成物は再溶融しても流動性つまり成形性に優れているので、硬化物である積層板にボイドが発生することを抑制することができるものである。さらに積層板は樹脂組成物と強化繊維の基材とを組み合わせて形成されているので、ガラス転移温度(Tg)を高い状態に維持したまま、熱膨張率、特にXY方向(面方向)の熱膨張率を大幅に低減することができるものである。この効果は積層板をプリント配線板に加工しても維持される。   A laminated board can be manufactured by heat-press-molding one or more prepregs obtained as described above. A metal-clad laminate such as CCL can be produced by stacking a metal foil such as a copper foil on one or both sides of a single prepreg or a laminate of a plurality of prepregs and heating and pressing them. Since the resin composition of the prepreg is excellent in fluidity, that is, moldability even when remelted, it is possible to suppress the generation of voids in the laminated sheet that is a cured product. Further, since the laminate is formed by combining the resin composition and the base material of the reinforcing fiber, the thermal expansion coefficient, particularly heat in the XY direction (plane direction) is maintained while maintaining a high glass transition temperature (Tg). The expansion coefficient can be greatly reduced. This effect is maintained even if the laminated board is processed into a printed wiring board.

上記のようにして得られた金属張積層板に回路パターンを形成するとプリント配線板(多層プリント配線板も含む)を製造することができる。そして、図1に示すようにこのプリント配線板1にダイアタッチフィルム2によって半導体チップ3(ICチップ等)を接着固定し、この半導体チップ3にダイアタッチフィルム4によって半導体チップ5を接着固定した後、半導体チップ3、5を樹脂材料6によって封止することによって、半導体パッケージ7(PKG)を製造することができる。   When a circuit pattern is formed on the metal-clad laminate obtained as described above, a printed wiring board (including a multilayer printed wiring board) can be manufactured. Then, after the semiconductor chip 3 (IC chip or the like) is bonded and fixed to the printed wiring board 1 with the die attach film 2 and the semiconductor chip 5 is bonded and fixed to the semiconductor chip 3 with the die attach film 4 as shown in FIG. The semiconductor package 7 (PKG) can be manufactured by sealing the semiconductor chips 3 and 5 with the resin material 6.

上記のようにして得られた半導体パッケージ7にあっては、半導体チップ3とプリント配線板1との間の熱膨張率の差(△CTE)が小さくなるので、反りを低減することができるものである。   In the semiconductor package 7 obtained as described above, since the difference in coefficient of thermal expansion (ΔCTE) between the semiconductor chip 3 and the printed wiring board 1 is reduced, the warpage can be reduced. It is.

以下、本発明を実施例によって具体的に説明する。   Hereinafter, the present invention will be specifically described by way of examples.

[A]使用材料
樹脂組成物を調製する際に使用した材料を以下に示す。
[A] Materials Used The materials used in preparing the resin composition are shown below.

(1)(A)フェノール樹脂
フェノール樹脂1:式(1)で示されるノボラックフェノール樹脂(平均水酸基当量155)
フェノール樹脂2:DIC株式会社製「TD−2090」(平均水酸基当量105)
フェノール樹脂3:明和化成株式会社製「MEH−7600」(平均水酸基当量100)
フェノール樹脂4:明和化成株式会社製「MEH−7500」(平均水酸基当量110)
フェノール樹脂5:日本化薬株式会社製「GPH−103」(平均水酸基当量230)
なお、フェノール樹脂1のみが(a1)ノボラックフェノール樹脂である。
(1) (A) phenol resin phenol resin 1: novolak phenol resin represented by formula (1) (average hydroxyl group equivalent 155)
Phenol resin 2: “TD-2090” manufactured by DIC Corporation (average hydroxyl group equivalent of 105)
Phenol resin 3: “MEH-7600” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. (average hydroxyl group equivalent: 100)
Phenol resin 4: “MEH-7500” manufactured by Meiwa Kasei Co., Ltd. (average hydroxyl equivalent weight 110)
Phenol resin 5: “GPH-103” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (average hydroxyl group equivalent 230)
Only phenol resin 1 is (a1) novolak phenol resin.

(2)(B)エポキシ樹脂
エポキシ樹脂1:日本化薬株式会社製「EPPN−502H」(平均エポキシ当量170)
エポキシ樹脂2:日本化薬株式会社製「NC−3000」(平均エポキシ当量275)
エポキシ樹脂3:日本化薬株式会社製「NC−7000L」(平均エポキシ当量230)
エポキシ樹脂4:DIC株式会社製「N−690」(平均エポキシ当量215)
なお、エポキシ樹脂1〜4は全て(b1)多官能エポキシ樹脂である。
(2) (B) Epoxy resin Epoxy resin 1: Nippon Kayaku Co., Ltd. "EPPN-502H" (average epoxy equivalent 170)
Epoxy resin 2: “NC-3000” manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd. (average epoxy equivalent 275)
Epoxy resin 3: “NC-7000L” (average epoxy equivalent 230) manufactured by Nippon Kayaku Co., Ltd.
Epoxy resin 4: DIC Corporation “N-690” (average epoxy equivalent 215)
The epoxy resins 1 to 4 are all (b1) polyfunctional epoxy resins.

(3)(C)無機充填材
無機充填材1:株式会社アドマテックス製溶融シリカ「SC−2500SEJ」
無機充填材2:住友化学株式会社製水酸化アルミニウム「CL−303」
無機充填材3:富士タルク工業株式会社製焼成タルク「ST100」
なお、無機充填材1のみがカップリング剤で処理されている。
(3) (C) Inorganic filler Inorganic filler 1: Fused silica "SC-2500SEJ" manufactured by Admatex Co., Ltd.
Inorganic filler 2: Aluminum hydroxide “CL-303” manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.
Inorganic filler 3: Firing talc “ST100” manufactured by Fuji Talc Kogyo Co., Ltd.
Only the inorganic filler 1 is treated with the coupling agent.

(4)硬化触媒
2−エチル−4−メチルイミダゾール
(5)溶媒
メチルエチルケトン(MEK)
[B]樹脂組成物の調製
実施例1〜7及び比較例1〜3の樹脂組成物を以下のようにして調製した(表1参照)。
(4) Curing catalyst 2-ethyl-4-methylimidazole (5) Solvent methyl ethyl ketone (MEK)
[B] Preparation of Resin Composition The resin compositions of Examples 1 to 7 and Comparative Examples 1 to 3 were prepared as follows (see Table 1).

(実施例1)
フェノール樹脂1(25質量部)、フェノール樹脂3(15質量部)、エポキシ樹脂1(40質量部)及びエポキシ樹脂3(20質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤で表面処理した無機充填材1(110質量部)、無機充填材2(25質量部)及び無機充填材3(5質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Example 1)
A mixture of phenol resin 1 (25 parts by mass), phenol resin 3 (15 parts by mass), epoxy resin 1 (40 parts by mass), and epoxy resin 3 (20 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, the inorganic filler 1 (110 parts by mass), the inorganic filler 2 (25 parts by mass) and the inorganic filler 3 (5 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to the resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(実施例2)
フェノール樹脂1(25質量部)、フェノール樹脂4(15質量部)、エポキシ樹脂1(40質量部)及びエポキシ樹脂3(20質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤で表面処理した無機充填材1(140質量部)、無機充填材2(30質量部)及び無機充填材3(10質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Example 2)
A mixture of phenol resin 1 (25 parts by mass), phenol resin 4 (15 parts by mass), epoxy resin 1 (40 parts by mass), and epoxy resin 3 (20 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (140 parts by mass), inorganic filler 2 (30 parts by mass) and inorganic filler 3 (10 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(実施例3)
フェノール樹脂1(25質量部)、フェノール樹脂3(15質量部)、エポキシ樹脂1(45質量部)及びエポキシ樹脂2(15質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(180質量部)、無機充填材2(40質量部)及び無機充填材3(10質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Example 3)
A mixture of phenol resin 1 (25 parts by mass), phenol resin 3 (15 parts by mass), epoxy resin 1 (45 parts by mass), and epoxy resin 2 (15 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (180 parts by mass), inorganic filler 2 (40 parts by mass) and inorganic filler 3 (10 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(実施例4)
フェノール樹脂1(35質量部)、フェノール樹脂5(15質量部)、エポキシ樹脂1(40質量部)及びエポキシ樹脂4(10質量部)の混合物を溶媒中で攪拌したの後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(200質量部)、無機充填材2(35質量部)及び無機充填材3(5質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
Example 4
A mixture of phenolic resin 1 (35 parts by mass), phenolic resin 5 (15 parts by mass), epoxy resin 1 (40 parts by mass) and epoxy resin 4 (10 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0 (.05 parts by mass) was added and stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (200 parts by mass), inorganic filler 2 (35 parts by mass) and inorganic filler 3 (5 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(実施例5)
フェノール樹脂1(35質量部)、フェノール樹脂2(10質量部)、エポキシ樹脂1(55質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(150質量部)、無機充填材2(40質量部)及び無機充填材3(10質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Example 5)
After stirring a mixture of phenolic resin 1 (35 parts by mass), phenolic resin 2 (10 parts by mass), and epoxy resin 1 (55 parts by mass) in a solvent, a curing catalyst (0.05 parts by mass) is added, and A uniform resin solution was obtained by stirring. Thereafter, inorganic filler 1 (150 parts by mass), inorganic filler 2 (40 parts by mass) and inorganic filler 3 (10 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(実施例6)
フェノール樹脂1(30質量部)、フェノール樹脂3(15質量部)、エポキシ樹脂1(55質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(150質量部)、無機充填材2(40質量部)及び無機充填材3(10質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Example 6)
After stirring a mixture of phenolic resin 1 (30 parts by mass), phenolic resin 3 (15 parts by mass), and epoxy resin 1 (55 parts by mass) in a solvent, a curing catalyst (0.05 parts by mass) is added, and A uniform resin solution was obtained by stirring. Thereafter, inorganic filler 1 (150 parts by mass), inorganic filler 2 (40 parts by mass) and inorganic filler 3 (10 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(実施例7)
フェノール樹脂1(15質量部)、フェノール樹脂2(25質量部)、エポキシ樹脂1(30質量部)及びエポキシ樹脂2(30質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(150質量部)、無機充填材2(40質量部)及び無機充填材3(10質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Example 7)
A mixture of phenol resin 1 (15 parts by mass), phenol resin 2 (25 parts by mass), epoxy resin 1 (30 parts by mass), and epoxy resin 2 (30 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (150 parts by mass), inorganic filler 2 (40 parts by mass) and inorganic filler 3 (10 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(比較例1)
フェノール樹脂1(30質量部)、フェノール樹脂2(10質量部)、エポキシ樹脂1(30質量部)及びエポキシ樹脂2(30質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(85質量部)、無機充填材2(30質量部)及び無機充填材3(5質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Comparative Example 1)
A mixture of phenol resin 1 (30 parts by mass), phenol resin 2 (10 parts by mass), epoxy resin 1 (30 parts by mass), and epoxy resin 2 (30 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (85 parts by mass), inorganic filler 2 (30 parts by mass) and inorganic filler 3 (5 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(比較例2)
フェノール樹脂1(30質量部)、フェノール樹脂2(10質量部)、エポキシ樹脂1(30質量部)及びエポキシ樹脂2(30質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(240質量部)、無機充填材2(40質量部)及び無機充填材3(5質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Comparative Example 2)
A mixture of phenol resin 1 (30 parts by mass), phenol resin 2 (10 parts by mass), epoxy resin 1 (30 parts by mass), and epoxy resin 2 (30 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (240 parts by mass), inorganic filler 2 (40 parts by mass) and inorganic filler 3 (5 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

(比較例3)
フェノール樹脂1(30質量部)、フェノール樹脂2(10質量部)、エポキシ樹脂1(20質量部)及びエポキシ樹脂2(40質量部)の混合物を溶媒中で攪拌した後、硬化触媒(0.05質量部)を添加し、さらに攪拌することによって均一な樹脂溶液を得た。その後、この樹脂溶液にカップリング剤によって表面処理した無機充填材1(150質量部)、無機充填材2(40質量部)及び無機充填材3(10質量部)を添加し、再び攪拌することによって樹脂組成物を得た。
(Comparative Example 3)
A mixture of phenol resin 1 (30 parts by mass), phenol resin 2 (10 parts by mass), epoxy resin 1 (20 parts by mass), and epoxy resin 2 (40 parts by mass) was stirred in a solvent, and then a curing catalyst (0. (05 parts by mass) was added and further stirred to obtain a uniform resin solution. Thereafter, inorganic filler 1 (150 parts by mass), inorganic filler 2 (40 parts by mass) and inorganic filler 3 (10 parts by mass) surface-treated with a coupling agent are added to this resin solution and stirred again. Thus, a resin composition was obtained.

[C]プリプレグの製造
(実施例1〜7)
強化繊維の基材として、カップリング剤で処理されたガラス繊維の基材であるガラスクロス(日東紡績株式会社製「1280 S199」、厚さ60μm)を用いた。
[C] Production of prepreg (Examples 1 to 7)
A glass cloth (“1280 S199” manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd., thickness 60 μm), which is a glass fiber substrate treated with a coupling agent, was used as the reinforcing fiber substrate.

この基材(100質量部)に樹脂組成物(110質量部)を含浸し、150℃で加熱乾燥して半硬化させることによってプリプレグを製造した。   A prepreg was produced by impregnating the base material (100 parts by mass) with a resin composition (110 parts by mass), followed by drying at 150 ° C. and semi-curing.

(比較例1)
カップリング剤で処理されていない強化繊維の基材(日東紡績株式会社製「1280」)を用いるようにした以外は、実施例1〜7と同様にしてプリプレグを製造した。
(Comparative Example 1)
A prepreg was produced in the same manner as in Examples 1 to 7, except that a reinforcing fiber base material (“1280” manufactured by Nitto Boseki Co., Ltd.) that was not treated with a coupling agent was used.

(比較例2、3)
実施例1〜7と同様にしてプリプレグを製造した。
(Comparative Examples 2 and 3)
Prepregs were produced in the same manner as in Examples 1-7.

[D]積層板の製造
(実施例1〜7及び比較例1〜3)
プリプレグの両面に厚さ12μmの銅箔を重ね、これを200℃、4.0MPa、90分間の条件で加熱加圧成形することによって、厚さ0.06mmの積層板(銅張積層板)を製造した。
[D] Manufacture of laminated board (Examples 1-7 and Comparative Examples 1-3)
A 12 μm thick copper foil is laminated on both sides of the prepreg, and this is heated and pressed under the conditions of 200 ° C., 4.0 MPa, 90 minutes to form a 0.06 mm thick laminate (copper clad laminate). Manufactured.

[E]測定
各積層板について以下のような測定を行った。
[E] Measurement The following measurements were performed for each laminate.

(1)ガラス転移温度(Tg)
ガラス転移温度(Tg)は、プリプレグを加熱加圧成形して硬化させたものをサンプルとして用いてDMA法により測定した。(損失弾性率/貯蔵弾性率)の最大値をガラス転移温度(Tg)とした。
(1) Glass transition temperature (Tg)
The glass transition temperature (Tg) was measured by the DMA method using a sample obtained by heating and press-molding and curing a prepreg as a sample. The maximum value of (loss elastic modulus / storage elastic modulus) was defined as the glass transition temperature (Tg).

(2)成形性
積層板の両面の銅箔をエッチングにより除去した後、目視により表面を観察すると共にSEMにより断面を観察した。そして、ボイドの有無により成形性の良否を判断した。すなわち、ボイドのないものを「○」、ボイドのあるものを「×」と判定した。
(2) Formability After removing the copper foils on both sides of the laminate by etching, the surface was observed visually and the cross section was observed by SEM. And the quality of the moldability was judged by the presence or absence of a void. That is, “◯” indicates that there is no void, and “X” indicates that there is a void.

(3)半導体パッケージ(PKG)の反り
積層板に回路パターンを形成することによってプリント配線板1を製造し、このプリント配線板1にダイアタッチフィルム2(日立化成工業株式会社製「FH900」、厚さ0.03mm)によって半導体チップ3(10mm×10mm×厚さ0.15mm)を接着固定し、この半導体チップ3を樹脂材料6(パナソニック電工株式会社製「CV8710MLE」)によって封止することによって、図1に示すようなFBGAタイプの半導体パッケージ7(14mm×14mm×厚さ430μm)を製造した。なお、比較例2については、樹脂組成物の成形性が悪かったため、半導体パッケージを製造しなかった。そして、シャドウモアレを用いた3次元形状測定による30〜260℃での半導体パッケージの反り変位量を測定した。30〜260℃での反り変位量が±150μmである半導体パッケージは一般的な実装工程で使用可能といえる。
(3) Warpage of semiconductor package (PKG) A printed wiring board 1 is manufactured by forming a circuit pattern on a laminated board, and a die attach film 2 ("FH900" manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd., thickness) The semiconductor chip 3 (10 mm × 10 mm × thickness 0.15 mm) is adhered and fixed by a thickness of 0.03 mm), and the semiconductor chip 3 is sealed with a resin material 6 (“CV8710MLE” manufactured by Panasonic Electric Works Co., Ltd.) An FBGA type semiconductor package 7 (14 mm × 14 mm × thickness 430 μm) as shown in FIG. 1 was manufactured. In Comparative Example 2, the semiconductor package was not manufactured because the moldability of the resin composition was poor. And the curvature displacement amount of the semiconductor package in 30-260 degreeC by the three-dimensional shape measurement using a shadow moire was measured. It can be said that a semiconductor package having a warp displacement amount of ± 150 μm at 30 to 260 ° C. can be used in a general mounting process.

(1)〜(3)の結果を表1に示す。   Table 1 shows the results of (1) to (3).

Figure 2016053181
Figure 2016053181

実施例1〜7の半導体パッケージの30〜260℃での反り変位量は150μm以下(特に実施例1〜6は100μm以下)であり良好な値を示している。   The warp displacement amount of the semiconductor packages of Examples 1 to 7 at 30 to 260 ° C. is 150 μm or less (particularly, Examples 1 to 6 are 100 μm or less), which are good values.

比較例1、3の半導体パッケージの30〜260℃での反り変位量は150〜200μmと大きな値を示している。   The warp displacement amount of the semiconductor packages of Comparative Examples 1 and 3 at 30 to 260 ° C. is as large as 150 to 200 μm.

Claims (8)

(A)フェノール樹脂と、
(B)エポキシ樹脂と、
(C)無機充填材と
を含有する電子回路基板材料用樹脂組成物であって、
前記(A)成分が、分子内に2つ以上の水酸基を有し、かつ前記水酸基のうち少なくとも1つ以上の水酸基を有するナフタレン骨格を持つノボラックフェノール樹脂を含有し、
前記ノボラックフェノール樹脂が下記の式(1)で示されるものであり、
前記(B)成分が、分子内に2つ以上のエポキシ基を有する多官能エポキシ樹脂を含有し、
前記(A)及び(B)成分100質量部に対する前記(C)成分の含有量が130〜250質量部であり、
硬化後のガラス転移温度(Tg)が220℃以上であることを特徴とする
電子回路基板材料用樹脂組成物。
Figure 2016053181
(A) a phenolic resin;
(B) an epoxy resin;
(C) a resin composition for an electronic circuit board material containing an inorganic filler,
The component (A) contains a novolak phenol resin having a naphthalene skeleton having two or more hydroxyl groups in the molecule and having at least one hydroxyl group among the hydroxyl groups,
The novolak phenol resin is represented by the following formula (1):
The component (B) contains a polyfunctional epoxy resin having two or more epoxy groups in the molecule,
Content of the said (C) component with respect to 100 mass parts of said (A) and (B) component is 130-250 mass parts,
A resin composition for an electronic circuit board material, wherein a glass transition temperature (Tg) after curing is 220 ° C. or higher.
Figure 2016053181
前記(A)成分の全量に対する前記ノボラックフェノール樹脂の含有量が50質量%以上であることを特徴とする
請求項1に記載の電子回路基板材料用樹脂組成物。
The resin composition for an electronic circuit board material according to claim 1, wherein the content of the novolak phenol resin with respect to the total amount of the component (A) is 50% by mass or more.
前記(C)成分の70質量%以上が溶融シリカであることを特徴とする
請求項1又は2に記載の電子回路基板材料用樹脂組成物。
The resin composition for an electronic circuit board material according to claim 1, wherein 70% by mass or more of the component (C) is fused silica.
前記(C)成分の表面がカップリング剤で処理されていることを特徴とする
請求項1乃至3のいずれか一項に記載の電子回路基板材料用樹脂組成物。
The surface of said (C) component is processed with the coupling agent, The resin composition for electronic circuit board | substrate materials as described in any one of Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned.
強化繊維の基材と、
前記強化繊維の基材に含浸された請求項1乃至4のいずれか一項に記載の電子回路基板材料用樹脂組成物の半硬化物と
を備えていることを特徴とする
プリプレグ。
A reinforcing fiber substrate;
A prepreg comprising: the resin composition for an electronic circuit board material according to any one of claims 1 to 4, which is impregnated in a base material of the reinforcing fiber.
前記強化繊維がガラス繊維であることを特徴とする
請求項5に記載のプリプレグ。
The prepreg according to claim 5, wherein the reinforcing fiber is a glass fiber.
請求項5又は6に記載のプリプレグの1枚の硬化物又は複数枚の積層物の硬化物で形成されていることを特徴とする
積層板。
It forms with the hardened | cured material of 1 sheet | seat of the prepreg of Claim 5 or 6, or several laminated body, The laminated board characterized by the above-mentioned.
請求項5又は6に記載のプリプレグの1枚の硬化物又は複数枚の積層物の硬化物と、
前記硬化物の片面又は両面に接着された金属箔と
を備えていることを特徴とする
金属張積層板。
One cured product of the prepreg according to claim 5 or 6, or a cured product of a plurality of laminates;
A metal-clad laminate, comprising: a metal foil bonded to one or both sides of the cured product.
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