JP2016025257A - 導電パターン作製装置 - Google Patents
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Abstract
Description
まず、第1実施形態について説明する。図1は、第1実施形態に係る導電パターン作製装置1の概略的な構成図である。本図に示すように導電パターン作製装置1は、搬送手段11、パターニング手段12、および焼成手段13を備えている。導電パターン作製装置1は、基材上に複合インクのパターンを形成し、高周波加熱によって導電パターンを作製する装置である。
上述した導電パターン作製装置1に関する評価を実施するため、以下に示す実施例1と実施例2の条件設定にて、焼成時間(一定の抵抗率とするために要する高周波加熱時間)を計測した。また、以下に示す比較例1の条件設定の場合についても焼成時間を計測し、この結果を用いて比較評価を実施した。
・導電性ナノインクX:Agナノインク(ハリマ化成 NPS-JL)
・粒子材料Y:Feナノインク(立山マシン 金属粒子分散液)
・パターニング手段:インクジェット
(インクジェットヘッド コニカミノルタKM512)
・基材:PETシート(LMS)
・焼成手段:マイクロ波加熱装置(富士電波工機 FDU-102VP-02)
・粒子材料Yの混在率:4、7、10v%
・複合インクのパターン:幅500μm、長さ5cmの直線
次に第2実施形態について説明する。なお、第2実施形態は、パターニング手段の形態に関する点を除き、基本的には第1実施形態と同様である。以下の説明では、第1実施形態と異なる点の説明に重点をおき、共通する点については説明を省略することがある。
第2実施形態の導電パターン作製装置1に関する評価を実施するため、以下に示す実施例3の条件設定にて、焼成時間(一定の抵抗率とするために要する高周波加熱時間)を計測した。また、以下に示す比較例2と比較例3の条件設定の場合についても焼成時間を計測し、この結果を用いて比較評価を実施した。
・導電性ナノインクX:Agナノインク(ハリマ化成 NPS-JL)
・粒子材料Y:Feナノインク(立山マシン 金属粒子分散液)
・第1のパターニング手段 <粒子材料Yの塗布手段>
:インクジェット(インクジェットヘッド コニカミノルタKM512)
・第2のパターニング手段 <導電性ナノインクXの塗布手段>
:インクジェット(インクジェットヘッド コニカミノルタKM512)
・基材:PETシート(LMS)
・焼成手段:マイクロ波加熱装置(富士電波工機 FDU-102VP-02)
・粒子材料Yの混在率:10v%
・粒子材料Yおよび導電性ナノインクXのパターン:幅500μm、長さ5cmの直線
以上に説明した通り、各実施形態の導電パターン作製装置は、基材上に複合インクのパターンを形成するパターニング手段と、前記パターンを高周波加熱によって焼成する焼成手段とを備えている。そして前記複合インクは、比透磁率が200以上の材料又はカーボンマイクロコイルである粒子材料Yと、焼成後の抵抗率が1〜2000μΩ・cmである導電性ナノインクXとを混在させたものである。
11 搬送手段
12 パターニング手段
12a 第1のパターニング手段
12b 第2のパターニング手段
13 焼成手段
Claims (5)
- 基材上に複合インクのパターンを形成するパターニング手段と、
前記パターンを高周波加熱によって焼成する焼成手段とを備え、
前記複合インクは、
比透磁率が200以上の材料又はカーボンマイクロコイルである粒子材料と、
焼成後の抵抗率が1〜2000μΩ・cmである導電性インクとを混在させたものである導電パターン作製装置。 - 前記パターニング手段は、
前記複合インクのパターンとして、前記粒子材料と前記導電性インクが層状に重なったパターンを形成する請求項1に記載の導電パターン作製装置。 - 前記パターニング手段は、
前記粒子材料を前記基材上に塗布する第1のパターニング手段と、
前記塗布された粒子材料上に前記導電性インクを塗布する第2のパターニング手段とを有する請求項2に記載の導電パターン作製装置。 - 前記粒子材料は、カーボンマイクロコイルである請求項1に記載の導電パターン作製装置。
- 前記粒子材料は、Ni、Co、Fe、およびGdの何れかである請求項1から請求項3の何れかに記載の導電パターン作製装置。
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