JP2016018076A - 走査ミラー駆動装置、光走査装置およびレーザレーダ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】走査ミラーの反射面の面精度を維持しつつ反射面の面倒れや駆動ムラを低減することのできる走査ミラー駆動装置を提供する。【解決手段】光（Ｌ）を反射する走査ミラー１６と、走査ミラー１６の位置決め面３１ｃを有し、回転軸線Ａ回りに回転可能なミラー固定台３１と、ミラー固定台３１に固定され、押当箇所５４を押し当てることで走査ミラー１６を位置決め面３１ｃに押し付けるミラー固定部材５１と、を備える走査ミラー駆動装置３０である。押当箇所５４は、走査ミラー１６と接触する箇所を線状とする。【選択図】図２

Description

本発明は、光を用いて走査する走査ミラーが固定されて設けられる走査ミラー駆動装置、それを用いた光走査装置、およびそれを搭載するレーザレーダ装置に関する。

レーザレーダ、測距装置、レーザカッター、レーザ穴開け装置、複写機、プリンターあるいはその他類似のものでは、走査ミラーを用いてレーザ光を走査する光走査装置（レーザ走査システム）を用いることが知られている。その光走査装置（レーザ走査システム）では、反射面でレーザ光を反射する走査ミラーを走査ミラー駆動装置に固定して、その走査ミラー駆動装置により走査ミラーを回転や往復等させることで走査を行う。そのような走査ミラー駆動装置として、楔形リングを締め付けて出力軸に固定したミラーマウントの溝部に走査ミラーを嵌め込み、エキシポ系接着剤により走査ミラーをミラーマウント（溝部）に固定するものがある（例えば、特許文献１参照）。

また、走査ミラー駆動装置では、支持部材の溝に走査ミラーを挿入した状態で、その走査ミラーを止めねじで挟みつけることで支持部材に固定するものがある（例えば、特許文献２参照）。さらに、走査ミラー駆動装置としては、走査ミラーをミラーマウントに接着により取り付ける様子を開示するものがある（例えば、特許文献３参照）。

ついで、ミラー部材を覆うミラー固定具を用いて、ミラー固定基板の取付台にミラー部材を固定することが開示されている（例えば、特許文献４参照）。さらに、走査ミラー駆動装置として、金属製のシャフトの上端部に熱可塑性プラスチック部材を接着により結合し、その熱可塑性プラスチック部材をプレス装置により走査ミラーへと成形することが開示されている（例えば、特許文献５参照）。

ところで、光走査装置では、走査の精度を高めるために走査ミラーの反射面に高い面精度が必要となる。このため、走査ミラー駆動装置では、走査ミラーの回転や往復などの走査時であっても反射面の面精度を維持することや、その反射面（走査ミラー）の面倒れを低減することや、ジッター等の駆動ムラを低減することが要求される。

しかしながら、上記した特許文献１および特許文献３のように走査ミラーを接着により固定した場合、走査ミラーと位置決め面との間に接着剤が入り込み、走査ミラーの位置ずれが生じてしまう可能性がある。また、走査ミラーを位置決め面とは異なる箇所に接着すると、接着剤の硬化収縮に起因して走査ミラー（その反射面）の位置ずれが生じてしまう可能性がある。さらに、上記した特許文献２のように走査ミラーを止めねじで挟みつけると、走査ミラーの１点もしくは数点に応力が集中してしまうので、反射面の面精度の低下を招いてしまう可能性がある。

加えて、上記した特許文献４のようにミラー固定具により固定されたミラー部材を走査ミラーとして用いると、走査のために回転や往復動作されるとミラー固定具に慣性や遠心力が作用したりミラー固定具が風圧の影響を受ける可能性がある。すなわち、特許文献４は走査ミラーとして用いることを考慮しておらず、仮に、この構成のミラー部材を走査ミラーとして用いると、走査のための駆動箇所のバランスが崩れ、ミラー部材（走査ミラー）の回転や往復などの走査時にジッター等の駆動ムラが発生する可能性がある。

ついで、上記した特許文献５のように熱可塑性プラスチック部材をプレス装置により走査ミラーに成形する場合、反射面の面精度を高いものとすることや、反射面（走査ミラー）の大型化を図ることが容易ではない。

本発明は、上記の事情に鑑みて為されたもので、走査ミラーの反射面の面精度を維持しつつ反射面の面倒れや駆動ムラを低減することのできる走査ミラー駆動装置を提供することを目的とする。

請求項１に記載の走査ミラー駆動装置は、光を反射する走査ミラーと、前記走査ミラーの位置決め面を有し、回転軸線回りに回転可能なミラー固定台と、前記ミラー固定台に固定され、押当箇所を押し当てることで前記走査ミラーを前記位置決め面に押し付けるミラー固定部材と、を備え、前記押当箇所は、前記走査ミラーと接触する箇所を線状とすることを特徴とする。

本発明に係る走査ミラー駆動装置では、走査ミラーの反射面の面精度を維持しつつ反射面の面倒れや駆動ムラを低減することができる。

走査ミラー駆動装置３０を用いる光走査装置２５を搭載するレーザレーダ装置１０の構成を概略的に示す説明図である。 レーザレーダ装置１０におけるレーザ光Ｌを出射する光路を概略的に示す説明図である。 レーザレーダ装置１０における反射光Ｒを受光する光路を概略的に示す説明図である。 レーザレーダ装置１０における走査ミラー駆動装置３０の構成を概略的に示す説明図である。 走査ミラー駆動装置３０のミラー固定台３１の構成を概略的に示す説明図である。 図５のＩ−Ｉ線に沿って得られた断面で示す説明図である。 走査ミラー駆動装置３０のミラー固定部材５１の構成を概略的に示す説明図である。 ミラー固定台３１の台座面３１ａにミラー固定部材５１が配置された様子を示す説明図である。 走査ミラー１６がミラー固定台３１に固定されて構成された走査ミラー駆動装置３０をＺ軸方向に直交する方向で見た様子を示す説明図である。 ミラー固定部材５１による押当方向Ｄｐを説明するための説明図である。 走査ミラー１６とミラー固定台３１とを接着固定する様子を説明するための説明図である。 ミラー固定台３１に重量バランス調整部３１ｋを設けた様子を示す説明図である。 ミラー固定枠６１を用いてミラー固定台３１をミラー固定部材５１に固定した走査ミラー駆動装置３０を示す説明図である。 加圧ネジ６３を用いてミラー固定台３１をミラー固定部材５１に固定した走査ミラー駆動装置３０を示す説明図である。 実施例２の走査ミラー駆動装置３０２の構成を示す説明図である。 走査ミラー駆動装置３０２に用いられる走査ミラー１６２を示す説明図である。 実施例３の走査ミラー駆動装置３０３の構成を示す説明図である。 走査ミラー駆動装置３０３に用いられる走査ミラー１６３を示す説明図である。 実施例４の走査ミラー駆動装置３０４の構成を示す説明図である。 走査ミラー駆動装置３０４に用いられる走査ミラー１６４を示す説明図である。 実施例５の走査ミラー駆動装置３０５におけるミラー固定台３１５の構成を示す説明図である。

以下に、本発明に係る走査ミラー駆動装置、光走査装置およびレーザレーダ装置の各実施例について図面を参照しつつ説明する。

本発明に係る走査ミラー駆動装置の一例としての実施例１の走査ミラー駆動装置３０を、図１から図１４を用いて説明する。併せて、その一例としての走査ミラー駆動装置３０を備える光走査装置の一例としての光走査装置２５、その光走査装置２５を搭載するレーザレーダ装置の一例としてのレーザレーダ装置１０について説明する。なお、図１から図３では、レーザレーダ装置１０の構成の理解を容易なものとするために、各部の構成を模式的に示している。その図１では、走査ミラー１６と折返ミラー１５との位置関係の把握を容易なものとするために、走査ミラー１６に対して折返ミラー１５を小さなものとして示している。このため、図１から図３に示すレーザレーダ装置１０は、必ずしも実際の構成と一致するものではない。その図１から図３では、レーザレーダ装置１０におけるレーザ光Ｌの走査範囲の中心が示す方向をＸ軸方向とし、レーザレーダ装置１０における鉛直方向をＺ軸方向とし、そのＸ軸方向およびＺ軸方向（Ｘ−Ｚ平面）に直交する方向をＹ軸方向とする。

本発明に係る実施例１のレーザレーダ装置１０は、図１から図３に示すように、対象物１１にレーザ光Ｌを照射し、そのレーザ光Ｌが対象物１１により反射（散乱）された反射光Ｒを受光することにより、対象物１１までの距離を短時間で測定する。すなわち、レーザレーダ装置１０は、電波を用いて対象物１１までの距離を測定するレーダーの電波を光に置き換えたものである。このレーザレーダ装置１０は、実施例１では車両に搭載されており、対象物１１としての他の車両に光を照射することで、当該他の車両との距離を測定する。このため、実施例１では、レーザレーダ装置１０におけるＸ軸方向が搭載された車両における進行方向となる。なお、本発明のレーザレーダ装置１０は、車両以外の移動物体や静止物体に搭載されて用いられてもよく、特に何らの物体に搭載されることなく単体で用いられるものであってもよい。また、対象物１１は、レーザレーダ装置１０が用いられる場面に応じて変化するものであり、上記した車両以外にも種々の移動物体や静止物体が含まれる。

このレーザレーダ装置１０は、図１に示すように、測定処理機構１２と投光機構１３と受光機構１４と折返ミラー１５と走査ミラー１６と走査ミラー駆動装置３０とを備える。測定処理機構１２は、レーザレーダ装置１０の動作を統括的に制御する。その測定処理機構１２は、投光機構１３（その後述する光源２１）を制御することで、レーザ光Ｌを対象物１１へ向けて出射させる。また、測定処理機構１２は、受光機構１４（その後述する光検出器２３）を制御することで、対象物１１からの反射光Ｒを受光（取得）させる。そして、測定処理機構１２は、走査ミラー駆動装置３０を制御することで、レーザ光Ｌを所定の方向に向けて出射させるとともに所定の範囲を走査する。ついで、測定処理機構１２は、その走査により、投光機構１３（その後述する光源２１）からレーザ光Ｌを出射した時間と、受光機構１４（その後述する光検出器２３）で反射光Ｒを受光（取得）した時間と、を用いて、対象物１１までの距離を算出する。

投光機構１３は、図１および図２に示すように、対象物１１を照射するレーザ光Ｌを出射するものであり、光源２１とカップリングレンズ２２とを有する。光源２１は、測定処理機構１２の制御下でレーザ光Ｌを出射するものであり、実施例１ではレーザーダイオード（Ｌａｓｅｒ Ｄｉｏｄｅ）が用いられている。カップリングレンズ２２は、光源２１（ＬＤ）から出射されたレーザ光Ｌを所定の形状に成形する光学部材であり、実施例１ではレーザ光Ｌを平行光束とする。このため、投光機構１３は、測定処理機構１２の制御下で、平行光束としてのレーザ光Ｌを出射することができる。

受光機構１４は、図１および図３に示すように、対象物１１で反射（散乱）された反射光Ｒを受光するものであり、光検出器２３と結像光学系２４とを有する。光検出器２３は、測定処理機構１２の制御下で、反射光Ｒを受光し、その受光量に応じた受光信号を測定処理機構１２に出力する。この光検出器２３は、受光素子を用いて構成することができ、実施例１ではＡＰＤ（Ａｖａｌａｎｃｈｅ ＰｈｏｔｏＤｉｏｄｅ）が用いられている。これは、反射光Ｒが微弱であることから、高感度な受光素子を用いることが望ましいことによる。結像光学系２４は、対象物１１からの反射光Ｒを光検出器２３（その受光面）に集光する光学部材であり、実施例１では複数（図１および図３には２つ示す）のレンズが組み合わされて構成されている。このため、受光機構１４は、対象物１１で反射（散乱）され結像光学系２４で受けた反射光Ｒを光検出器２３で受光し、その受光量に応じた受光信号を光検出器２３から測定処理機構１２へと出力することができる。この受光機構１４は、実施例１では、投光機構１３の下側に設けられている（図１参照）。

折返ミラー１５は、投光機構１３からのレーザ光Ｌの出射方向（投光機構１３の出射光軸）と、受光機構１４における反射光Ｒの入射方向（受光機構１４の入射光軸）と、を網羅して設けられている。すなわち、折返ミラー１５は、投光機構１３から出射されるレーザ光Ｌを受けることと、受光機構１４へと向かう反射光Ｒを受けることと、が可能とされている。この折返ミラー１５は、反射面１５ａに向かう光を反射するものであり、実施例１では、ガラス表面にアルミの反射膜が蒸着されて反射面１５ａが形成され、その反射面１５ａに透明保護膜が設けられて構成されている。折返ミラー１５は、レーザ光Ｌの波長をλとして、反射面１５ａの平面度を（λ／４）以上としている。この折返ミラー１５は、投光機構１３からのレーザ光Ｌを反射面１５ａで反射するとともに、対象物１１からの反射光Ｒを反射面１５ａで反射することが可能とすべく、位置および姿勢が固定される。このため、折返ミラー１５は、投光機構１３からレーザ光Ｌを投光（照射）するための光路を形成する機能と、受光機構１４へと反射光Ｒを導光するための光路を形成する機能と、兼用することとなる。

なお、折返ミラー１５は、投光機構１３からのレーザ光Ｌと対象物１１からの反射光Ｒとを反射するものであれば、他の構成であってもよく、実施例１の構成に限定されるものではない。その他の構成の一例として、アルミニウム合金を基材として超精密切削加工により反射面（１５ａ）を形成し、その反射面に透明保護膜を設けることがあげられる。

走査ミラー１６は、投光機構１３から出射されて折返ミラー１５で反射されたレーザ光Ｌの進行方向と、対象物１１からの反射光Ｒを折返ミラー１５で反射した後に受光機構１４へと向かわせる進行方向と、を網羅して設けられている。すなわち、走査ミラー１６は、投光機構１３から出射され折返ミラー１５を経たレーザ光Ｌを受けることと、折返ミラー１５を経て受光機構１４へと向かう反射光Ｒを受けることと、が可能とされている。この走査ミラー１６は、反射面１６ａに向かう光を反射するものであり、実施例１では、ガラス表面にアルミの反射膜が蒸着されて反射面１６ａが形成され、その反射面１６ａに透明保護膜が設けられて構成されている。その走査ミラー１６は、レーザ光Ｌの波長をλとして、反射面１６ａの平面度を（λ／４）以上としている。加えて、走査ミラー１６は、高さ寸法が４０ｍｍ、幅寸法が４８ｍｍ、厚さ寸法が５ｍｍ（４０ｍｍ×４８ｍｍ×５ｍｍ）の大きさ寸法とされている。この走査ミラー１６は、実施例１では、一方の面のみが反射面１６ａとされ、折返ミラー１５で反射された投光機構１３からのレーザ光Ｌを反射面１６ａで反射するとともに、対象物１１からの反射光Ｒを反射面１６ａで反射する。走査ミラー１６は、投光機構１３からのレーザ光Ｌを対象物１１へ向けて反射するとともにその対象物１１からの反射光Ｒを折返ミラー１５へ向けて反射するように、位置が設定されている。このため、走査ミラー１６は、折返ミラー１５とともに、投光機構１３からレーザ光Ｌを投光（照射）するための光路を形成する機能と、受光機構１４へと反射光Ｒを導光するための光路を形成する機能と、兼用することとなる。

走査ミラー１６は、後述するように走査ミラー駆動装置３０のミラー固定台３１に固定されて設けられており、その走査ミラー駆動装置３０により回転軸線Ａを回転中心として回転（以下では、回転軸線Ａ回りの回転ともいう）可能とされている。この走査ミラー１６は、実施例１では、走査ミラー駆動装置３０により回転軸線Ａ回りに回転される（図２および図３に矢印で示す回転方向Ｄｒ参照）。これにより、走査ミラー１６（走査ミラー駆動装置３０）は、投光機構１３からのレーザ光Ｌを用いて所定の範囲を走査方向Ｄｓ（図２および図３参照）に走査することが可能とされている。すなわち、走査ミラー１６は、走査ミラー駆動装置３０により回転軸線Ａ回りに回転されることで、反射面１６ａで反射したレーザ光Ｌの進行方向を変化させる偏向器として機能し、その反射面１６ａが偏向面として機能する。

なお、走査ミラー１６は、折返ミラー１５で反射された投光機構１３からのレーザ光Ｌと対象物１１からの反射光Ｒとを反射するものであれば、他の構成であってもよく、実施例１の構成に限定されるものではない。その他の構成の一例として、アルミニウム合金を基材として超精密切削加工により反射面（１６ａ）を形成し、その反射面に透明保護膜を設けることがあげられる。

走査ミラー駆動装置３０は、図４および図５等に示すように、走査ミラー１６を固定するためのミラー固定台３１を有する。そのミラー固定台３１への走査ミラー１６の固定構造については後述する。その走査ミラー駆動装置３０では、固定された走査ミラー１６を回転軸線Ａ回りに回転させるべく、ミラー固定台３１が回転軸線Ａ回りに回転可能とされている。この走査ミラー駆動装置３０では、図６に示すように、ミラー固定台３１に設けられた回転軸３２を回転可能に支持する支持機構３３と、ミラー固定台３１を回転させるモータ３４と、そのモータ３４を駆動させる駆動機構３５と、を備える。

そのミラー固定台３１は、全体に円柱形状を呈し、そのＺ軸方向正側の端部がＸ−Ｙ平面と平行な平坦面とされて台座面３１ａを形成している。ミラー固定台３１では、台座面３１ａからＺ軸方向正側に突出して位置決め突起部３１ｂが設けられており、その位置決め突起部３１ｂがＺ軸方向（回転軸線Ａ）と平行な位置決め面３１ｃを規定している。このため、位置決め面３１ｃは、台座面３１ａからＺ軸方向に沿いつつＺ軸方向正側へと起立しており、台座面３１ａと直交している。この位置決め面３１ｃは、Ｚ軸方向（回転軸線Ａ）と平行であって高い平面度の平坦面とされている。位置決め面３１ｃは、実施例１では、走査ミラー１６の裏面１６ｃ（反射面１６ａとは反対側の面）が押し付けられると、その走査ミラー１６を台座面３１ａ上における適切な位置とすべく設定されている（図９等参照）。

そのミラー固定台３１では、台座面３１ａを開口しつつＺ軸方向負側に伸びる一対のネジ穴３１ｄが設けられている。この両ネジ穴３１ｄは、内周面にネジ溝が形成されており、後述するようにミラー固定部材５１をミラー固定台３１に固定するための取付ネジ部材５５の軸部５５ｂ（そのネジ山）の噛み合せによる固定が可能とされている（図９等参照）。このミラー固定台３１では、台座面３１ａと間隔を置いて当該台座面３１ａを取り囲むように、周縁突起部３１ｅが設けられている。その周縁突起部３１ｅは、Ｚ軸方向正側の端部が、台座面３１ａと同一平面上であって平坦面となる周縁突起面３１ｆとされている。

また、ミラー固定台３１では、内方に支持機構３３および駆動機構３５（そのモータ３４）を収容可能な収容空間３１ｇが設けられている。ミラー固定台３１では、Ｚ軸方向負側の端部で収容空間３１ｇを取り囲んでフランジ部３１ｈが設けられている。また、ミラー固定台３１では、収容空間３１ｇの中心からＺ軸方向正側に伸びる貫通孔３１ｊが設けられている。このため、貫通孔３１ｊは、位置決め突起部３１ｂが設けられた箇所も含む台座面３１ａの中心位置を開口しており、中心軸線が回転軸線Ａと一致される。

このミラー固定台３１は、実施例１では、アルミニウム合金を切削加工して形成している。そして、ミラー固定台３１では、貫通孔３１ｊに回転軸３２を焼きばめにより設けている。その回転軸３２の素材として好適なものとしては、例えば、焼入れが可能で表面硬度を高くすることができ、耐磨耗性が良好なマルテンサイト系のステンレス鋼（例えばＳＵＳ４２０Ｊ２）があげられる。また、回転軸３２では、高速回転での安定性を確保するために、図示は略すが外周に動圧発生溝を設ける構成としてもよい。

支持機構３３は、軸受ハウジング３６とスラスト軸受部材３７と軸受部材３８とシール部材３９とを有する。その軸受ハウジング３６は、フランジ部３１ｈの内方に配置されている。軸受ハウジング３６は、外形がＺ軸方向を高さ方向とする略円柱状を呈し、Ｚ軸方向正側の端部からＺ軸方向に伸びる穴３６ａが設けられている。その穴３６ａには、底面にスラスト軸受部材３７が配置されるとともに、周壁面に軸受部材３８が配置されている。また、穴３６ａの開口位置近傍にシール部材３９が配置されている。

そのスラスト軸受部材３７は、例えば、マルテンサイト系ステンレス鋼、セラミックス、表面にＤＬＣ（ダイヤモンドライクカーボン）処理等の硬化処理を施した金属部材、および樹脂材料等が用いられて形成される。このため、スラスト軸受部材３７は、良好な潤滑性を有し、磨耗粉の発生を抑えることができる。

軸受部材３８は、焼結材料からなる含油動圧軸受であり、実施例１では軸受隙間を直径で１０μｍ以下に設定している。なお、上述した動圧発生溝を設ける場合には、焼結材料からなり加工性が良好な軸受部材３８の内周面に設けることができる。その軸受部材３８に支えられる回転軸３２のＺ軸方向負側の端部には、凸曲面が設けられている。そして、回転軸３２の凸曲面とスラスト軸受部材３７とが接触されており、回転軸３２のスラスト方向の軸受が所謂ピボット軸受とされている。シール部材３９は、軸受ハウジング３６における穴３６ａからの油の流出を防止する。この支持機構３３を取り巻いてモータ３４が設けられている。

そのモータ３４は、ロータ磁石３４ａとステータコア３４ｂと巻線コイル３４ｃとを有する。モータ３４は、ステータコア３４ｂの外周部近傍にロータ磁石３４ａが配置されたアウターロータ型の直流ブラシレスモータである。ロータ磁石３４ａは、ステータコア３４ｂの外周部との間で回転トルクを発生し回転する。そのロータ磁石３４ａは、実施例１では、樹脂をバインダーに使用したボンド磁石であって径方向に着磁されており、フランジ部３１ｈの内周面に取り付けられている。ロータ磁石３４ａは、Ｚ軸方向における磁路を開放している。このため、モータ３４では、ミラー固定台３１が高速回転しても、ロータ磁石３４ａが遠心力によって破壊されることを防止することができる。ステータコア３４ｂは、実施例１では、軸受ハウジング３６に取り付けられている。

駆動機構３５は、回路基板４１にホール素子４２と図示を略す駆動ＩＣとコネクタとが実装されて構成されている。その回路基板４１には、巻線コイル３４ｃと駆動ＩＣとを電気的に接続する配線パターン、ホール素子４２と駆動ＩＣとを電気的に接続する配線パターン、コネクタと駆動ＩＣとを電気的に接続する配線パターン等が形成されている。また、回路基板４１には、軸受ハウジング３６が取り付けられている。ホール素子４２は、Ｚ軸方向における磁路を開放されたロータ磁石３４ａの開放磁路内に配置されている。駆動機構３５では、ホール素子４２からの出力信号をミラー固定台３１の位置信号として駆動ＩＣが参照することで巻線コイル３４ｃの励磁切り替えを行うことにより、モータ３４によるミラー固定台３１の回転を継続する。この駆動機構３５は、回路基板４１に設けられた図示を略すコネクタに接続されたハーネスを介して測定処理機構１２（図１参照）に接続される。駆動機構３５では、その測定処理機構１２から電力供給されるとともに、駆動ＩＣにモータ３４の起動・停止、回転数等の制御信号が入出力される。このため、駆動機構３５は、測定処理機構１２の制御下で、走査ミラー駆動装置３０におけるミラー固定台３１を回転駆動させることができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定台３１に固定された走査ミラー１６を、回転軸線Ａ回りに回転駆動することができる。

レーザレーダ装置１０では、図１に示すように、測定処理機構１２の制御下で、投光機構１３の光源２１が所定の発光時間かつ所定の発光周期でパルス発光されることにより、その光源２１からレーザ光Ｌが出射される。このとき、レーザレーダ装置１０では、測定処理機構１２の制御下で、走査ミラー駆動装置３０が駆動されることにより走査ミラー１６が回転軸線Ａ回りに回転駆動される（図２、図３等参照）。この走査ミラー１６の回転数は、数１００ｒｐｍ〜数１０００ｒｐｍの範囲で一定の回転数に設定される。これにより、レーザレーダ装置１０では、図１および図２に示すように、投光機構１３（その光源２１）から出射されたレーザ光Ｌを、折返ミラー１５を経て回転駆動される走査ミラー１６（反射面１６ａ）で反射することで出射する。そのレーザ光Ｌは、走査ミラー１６（反射面１６ａ）の回転角度に応じて所定の方向に向けて出射されることで所定の範囲を走査する。このため、レーザレーダ装置１０では、投光機構１３と折返ミラー１５と走査ミラー１６と走査ミラー駆動装置３０とが、レーザ光Ｌで所定の範囲を走査する光走査装置２５として機能する。

これにより、レーザレーダ装置１０（光走査装置２５）では、対象物１１としての他の車両へ向けてレーザ光Ｌを投光（照射）する。ここで、そのレーザ光Ｌが、発散光速であると、走査ミラー１６（反射面１６ａ）で反射された後に徐々に拡散して他の車両（対象物１１）に投光（照射）されることとなる。このため、照射領域におけるＺ軸方向の長さは、走査ミラー１６における回転軸線Ａと照射領域との距離に依存するものとなり、この距離が長いほど大きなものと（長く）なる。

そのレーザ光Ｌは、図１および図３に示すように、他の車両等の対象物１１に投光（照射）されると、その対象物１１で拡散反射され、その一部が反射光Ｒとして元の光路を辿ってレーザレーダ装置１０へと戻ることとなる。すなわち、対象物１１からの反射光Ｒは、拡散しつつその一部が走査ミラー１６（反射面１６ａ）へと戻り、その走査ミラー１６および折返ミラー１５を経て受光機構１４へと進行し、その受光機構１４における光検出器２３で受光される。その光検出器２３は、受光した反射光Ｒの受光量に応じた受光信号を測定処理機構１２に出力する。その測定処理機構１２は、レーザ光Ｌ（光パルス）を出射したタイミングと、そのレーザ光Ｌ（光パルス）に対応する反射光Ｒを受光したタイミングと、の時間差に基づいて、対象物１１（それが存在する照射領域）までの距離を算出する。

レーザレーダ装置１０は、実施例１では、投光機構１３における光源２１の１パルス当たりの発光時間を数ｎ秒〜１００ｎ秒程度とし、かつ発光周期を３μ秒以上としている。この発光周期は、互いに距離が異なる２つの対象物１１にレーザ光Ｌを投光（照射）した場合に、各対象物１１からの２つの反射光Ｒの互いの干渉に起因して当該２つの反射光Ｒ（それに応じた受光信号）の分離が出来なくなることを防止する観点で設定する。これについて以下で説明する。

先ず、レーザ光Ｌ（光パルス）を出射したタイミングと、そのレーザ光Ｌ（光パルス）に対応する反射光Ｒを受光したタイミングと、の時間差をΔｔとし、光速をＣとすると、対象物１１までの距離Ｌは、Ｌ＝Δｔ×Ｃ÷２で表すことができる。このため、時間差Δｔが３μ秒であるとすると、対象物１１までの距離Ｌは４５０ｍとなる。ここで、一般的な距離測定装置では、検出（測定）可能な距離が最大で２００ｍ程度である。また、４５０ｍ先に存在する対象物１１からの反射光Ｒは、極めて光強度が弱い（光量が小さい）ため、連続して出射されたレーザ光Ｌによる近距離にある他の対象物１１からの反射光Ｒと干渉したとしても、殆ど影響を及ぼすことはない。加えて、一般的な距離測定装置では、対象物１１に投光（照射）する光パルス（レーザ光Ｌ）の発光周波数は１０ｋＨｚ〜１００ｋＨｚ程度に設定されており、それを発光周期に換算すると１０μ秒〜１００μ秒となる。これらのことから、実施例１のレーザレーダ装置１０では、投光機構１３における光源２１の発光周期を３μ秒以上としている。

なお、レーザレーダ装置１０では、検出（測定）可能な距離を近距離とするとともに、出射するレーザ光Ｌ（光パルス）の光量を適切なものとすべく投光機構１３の光源２１における光出力を適宜設定することにより、発光周期をさらに短くすることができる。これは、このように設定すると、遠距離にある対象物１１からの反射光Ｒと、近距離にある対象物１１からの反射光Ｒと、の干渉の影響を防止することができることによる。

また、レーザレーダ装置１０は、実施例１では、投光機構１３における光源２１の発光周期を、走査ミラー駆動装置３０による走査ミラー１６の回転数と、投光角度分解能と、に応じて設定する。その投光角度分解能とは、レーザ光Ｌ（光パルス）を出射するタイミングを走査ミラー１６の回転方向で見た角度で示すものであり、測定可能な角度範囲（測定角度分解能）に結びつくものとなる。その光源２１では、走査ミラー駆動装置３０による走査ミラー１６の回転数を高くするほど、あるいは、投光角度分解能を高くする（測定可能な角度範囲を小さくする）ほど、発光周期を短くする必要がある。

その一例として、走査ミラー駆動装置３０による走査ミラー１６の回転数を５００ｒｐｍとし、投光角度分解能を１°とすると、発光間隔を３３３μ秒とする必要があり、発光周波数が３ｋＨｚとなる。このように設定したレーザレーダ装置１０では、Ｘ軸方向を中心として−８０°〜＋８０°の範囲を走査するものとすると、３３３μ秒毎に光源２１を発光させることで、１°毎の測定データを１６１個得ることができる。

また、その他の例として、走査ミラー駆動装置３０による走査ミラー１６の回転数を６０００ｒｐｍとし、投光角度分解能を０．２５°とすると、発光間隔を６．９μ秒とする必要があり、発光周波数が１４４ｋＨｚとなる。このように設定したレーザレーダ装置１０では、Ｘ軸方向を中心として−８０°〜＋８０°の範囲を走査するものとすると、６．９μ秒毎に光源２１を発光させることで、０．２５°毎の測定データを６４１個得ることができる。ここで示した各数値は、あくまで一例であり、走査ミラー駆動装置３０による走査ミラー１６の回転数および投光角度分解能は、レーザレーダ装置１０（光走査装置２５）の用途に応じて適宜設定することができる。

ここで、実施例１のレーザレーダ装置１０では、好適な例として、走査ミラー駆動装置３０による走査ミラー１６の回転数を２０００ｒｐｍ以上に設定する。これは以下のことによる。上述した他の例のように、Ｘ軸方向を中心として−８０°〜＋８０°の範囲を０．２５°の投光角度分解能で物体（対象物１１）の検出、およびその物体（対象物１１）までの距離の測定を行うものとする。すると、０．２５°は、走査する全範囲（１６０°）に対して０．１５６％｛（０．２５／１６０）×１００＝０．１５６｝に相当する。ここで、レーザレーダ装置１０では、角度位置の誤差が走査ミラー１６における回転ムラに起因して生じる。このため、レーザレーダ装置１０では、角度位置の誤差を位置分解能の半分程度に抑える場合、走査ミラー１６における回転ムラを少なくとも０．０７８％以下にする必要がある。

ここで、走査ミラー１６では、回転数が低すぎると回転ムラが大きくなる傾向がある。このため、走査ミラー１６では、ある程度回転数を高くしてイナーシャ効果を得やすくすることで、回転ムラを小さく抑えることができる。また、レーザレーダ装置１０では、走査ミラー１６の回転数が高い方が単位時間当たりの検出回数が多くできるので、検出精度を上げることができる。これらのことから、実施例１のレーザレーダ装置１０では、好適な例として、走査ミラー１６の回転数を２０００ｒｐｍ以上に設定する。

ところで、レーザレーダ装置１０では、走査ミラー１６の回転数を高くすると、その走査ミラー１６が周辺の乱流や遠心力の影響を受けやすくなって回転ムラ（駆動ムラ）が大きくなることが考えられる。このレーザレーダ装置１０では、走査ミラー１６における回転ムラ（駆動ムラ）が増加すると、物体（対象物１１）の検出およびその物体（対象物１１）までの距離の測定の精度を低下させてしまう。加えて、レーザレーダ装置１０では、走査ミラー１６における反射面１６ａの面精度が低下すると、物体（対象物１１）の検出およびその物体（対象物１１）までの距離の測定の精度を低下させてしまう。これらのことを鑑みて、本発明に係る実施例の走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定台３１に対する走査ミラー１６の固定構造を特徴的な構成としている。このことについて、主に図４から図１４を用いて説明する。

走査ミラー駆動装置３０では、周辺の乱流や遠心力の発生を抑制することができるとともに、走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定することに起因して反射面１６ａの面精度が低下することを防止することが可能とされている。この走査ミラー駆動装置３０では、図４等に示すように、基本的に、ミラー固定部材５１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定する。

そのミラー固定部材５１は、実施例１では、図７に示すように、平坦な矩形状を呈する板状部材が折り曲げられて構成されており、走査ミラー１６よりも小さな幅寸法とされている（図４等参照）。ミラー固定部材５１は、平坦な設置部５２と、その設置部５２に対して傾斜されつつ連続する加圧部５３と、を有する。このミラー固定部材５１は、外力を加えることにより設置部５２に対する加圧部５３の角度関係を変化させることが可能であり、かつ当該外力が無くなって無負荷状態とされると元の角度関係に戻ることが可能とされている。すなわち、ミラー固定部材５１は、設置部５２と加圧部５３との間でバネ力を作用させる板バネのように機能する。ミラー固定部材５１は、このような板バネの機能を有するものとすることができるものとする材料で形成されており、実施例１では金属材料から為る板状部材が折り曲げられて形成されている。

その設置部５２は、ミラー固定台３１の台座面３１ａに設置される箇所を構成し、２つの取付穴５２ａ、５２ｂが設けられている。この２つの取付穴５２ａ、５２ｂは、それぞれが後述するようにミラー固定部材５１をミラー固定台３１に取り付けるための取付ネジ部材５５の軸部５５ｂを通すことが可能とされ、その頭部５５ａ（図９参照）を通すことを阻む内径寸法とされている。また、２つの取付穴５２ａ、５２ｂは、ミラー固定台３１に設けられた一対のネジ穴３１ｄに対応する位置関係とされている（図８参照）。

この２つの取付穴５２ａ、５２ｂは、実施例１では、それぞれが対応する取付ネジ部材５５の軸部５５ｂ（図９参照）の直径寸法、すなわちミラー固定台３１の両ネジ穴３１ｄの内径寸法よりも大きな内径寸法とされている（図８参照）。このため、両取付穴５２ａ、５２ｂは、遊びを持って取付ネジ部材５５の軸部５５ｂを受け入れることが可能とされている。この遊びは、コンマ数ミリ程度に設定している。また、実施例１では、一方の取付穴５２ｂが、取付穴５２ａとの並列方向に長尺な内径形状の長穴とされている。このため、２つの取付穴５２ａ、５２ｂは、ミラー固定台３１の一対のネジ穴３１ｄに対する位置関係が完全には一致しない場合であっても、取付ネジ部材５５によるミラー固定部材５１のミラー固定台３１への取り付けを可能とする。

その設置部５２に連続する加圧部５３は、設置部５２との間での板バネの機能を利用して、走査ミラー１６の反射面１６ａに押し当てられる箇所としての押当箇所５４を有する。この加圧部５３は、板形状を呈し、中間位置で屈曲されることで押当箇所５４が形成されている。このため、押当箇所５４は、走査ミラー１６（その反射面１６ａ）へと接触する箇所を線状とすることができる。この押当箇所５４は、実施例１では、後述するようにミラー固定部材５１がミラー固定台３１に取り付けられた状態において、ミラー固定台３１の回転軸線Ａが伸びる方向（Ｚ軸方向）に対して直交する位置関係とされている。

この加圧部５３は、図１０に示すように、後述するようにミラー固定部材５１がミラー固定台３１に取り付けられた状態において、少なくとも押当箇所５４が走査ミラー１６（その反射面１６ａ）と干渉する位置関係となるように設置部５２に対する傾斜角度が設定されている。このため、ミラー固定部材５１は、後述するようにミラー固定台３１に取り付けられた状態において、加圧部５３の押当箇所５４が走査ミラー１６に、当該走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を位置決め面３１ｃへと押し付けるための押付力を、付与することが可能とされている。そして、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１（押当箇所５４）による加圧力のベクトル方向（押当方向Ｄｐ）を、走査ミラー１６の反射面１６ａに直交する方向を基準（０°）として、０°からＺ軸方向負側で十数°程度の範囲内とする。この加圧力のベクトル方向（押当方向Ｄｐ）は、ミラー固定部材５１の大きさ寸法および台座面３１ａ（ミラー固定台３１）への取付位置や押当箇所５４を形成する位置を適宜設定することにより、設定することができる。

ここで、図９に示すように、このように構成されたミラー固定部材５１が、後述するように走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定すべく当該ミラー固定台３１に取り付けられた状態における高さ寸法をＨｆとする。また、その走査ミラー１６における高さ寸法をＨｍとする。すると、ミラー固定部材５１は、高さ寸法Ｈｆが（４×Ｈｆ≦Ｈｍ）となるように大きさ寸法が設定されている。

次に、この走査ミラー駆動装置３０における走査ミラー１６のミラー固定台３１の固定方法の一例について説明する。先ず、図９等に示すように、走査ミラー１６の底面１６ｂ（図９を正面視して下側の面）をミラー固定台３１の台座面３１ａに載せ、その走査ミラー１６の裏面１６ｃをミラー固定台３１の位置決め面３１ｃに宛がう。この状態において、設置部５２の２つの取付穴５２ａ、５２ｂの位置をミラー固定台３１の一対のネジ穴３１ｄの位置に合致させつつ加圧部５３の押当箇所５４を走査ミラー１６の反射面１６ａに押し当てて、ミラー固定部材５１を台座面３１ａに載せる（図８参照）。そして、実施例１では、ミラー固定部材５１（その設置部５２）を台座面３１ａに取り付けるために、取付ネジ部材５５を用いる。その取付ネジ部材５５は、頭部５５ａと、それよりも小さな外径寸法とされてネジ山が形成された軸部５５ｂとを有する。その取付ネジ部材５５の軸部５５ｂを、ミラー固定部材５１の設置部５２の２つの取付穴５２ａ、５２ｂを通して、ミラー固定台３１の台座面３１ａの一対のネジ穴３１ｄに噛み合わせる。

その後、両取付ネジ部材５５の対応するネジ穴３１ｄへの噛み合わせ量を増していき、ミラー固定部材５１をミラー固定台３１（その台座面３１ａ）に仮止めする。この状態において、両取付穴５２ａ、５２ｂと両取付ネジ部材５５の軸部５５ｂとの間に設けられた遊びを利用して、押当箇所５４が全長に渡って走査ミラー１６の反射面１６ａに押し当たるように走査ミラー１６に対するミラー固定部材５１の姿勢を調整する。その後、両取付ネジ部材５５を対応するネジ穴３１ｄに完全に噛み合わせて固定することで、ミラー固定部材５１をミラー固定台３１（その台座面３１ａ）に取り付ける。このため、取付ネジ部材５５は、ミラー固定部材５１（その設置部５２）をミラー固定台３１の台座面３１ａへと取り付けるための取付部材として機能する。

すると、走査ミラー１６では、ミラー固定部材５１の加圧部５３の押当箇所５４が反射面１６ａに押し当てられることで当該ミラー固定部材５１により加圧され、裏面１６ｃがミラー固定台３１の位置決め面３１ｃに押し付けられる。このため、走査ミラー１６は、ミラー固定部材５１によりミラー固定台３１に固定される。このとき、押当箇所５４は、自らの形状と、上記したミラー固定部材５１の姿勢の調整と、により、反射面１６ａ（走査ミラー１６）への接触箇所が線状とされる。

その後、走査ミラー１６における当該走査ミラー１６（裏面１６ｃ）が位置決め面３１ｃに押し付けられることに影響を与えない箇所を、接着剤５６（図１１参照）を用いてミラー固定部材５１に接着固定する。この影響を与えない箇所とは、少なくとも走査ミラー１６と位置決め面３１ｃとの接触箇所を除くものであって、より好適には走査ミラー１６を位置決め面３１ｃに押し付けることの妨げとなることのない箇所をいう。その走査ミラー１６を位置決め面３１ｃに押し付けることの妨げとなることのない箇所としては、一例として、走査ミラー１６を位置決め面３１ｃに押し付ける方向と直交する方向で、ミラー固定部材５１と走査ミラー１６とが接触する箇所があげられる。実施例１では、その具体例として、図１１に示すように、走査ミラー１６の底面１６ｂと、ミラー固定部材５１の周縁突起部３１ｅの周縁突起面３１ｆと、の間に接着剤５６を塗布することにより、底面１６ｂと周縁突起面３１ｆとを接着固定する。この接着固定は、上述したミラー固定部材５１による走査ミラー１６のミラー固定台３１への固定が終了した後に行う。このような接着固定は、例えば、紫外線硬化型の接着剤５６を予め塗布し、ミラー固定部材５１による固定の後に接着剤５６に紫外線を照射することにより行うことができる。なお、このような接着固定は、単にミラー固定部材５１による固定の後に接着剤（５６）を塗布することにより行うものであってもよく、他の方法であってもよく、実施例１の方法に限定されるものではない。

これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１（その押当箇所５４）の加圧により裏面１６ｃが位置決め面３１ｃに押し付けられつつ接着剤５６により接着固定されて、走査ミラー１６がミラー固定台３１に固定される。

加えて、走査ミラー駆動装置３０では、上述したようにミラー固定部材５１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定した状態（図４等参照）において、重心位置が回転軸線Ａ上に位置しないことが考えられる。このような場合、ミラー固定台３１では、図１２に示すように、重量バランス調整部３１ｋを設ける。この重量バランス調整部３１ｋは、ミラー固定部材５１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定した状態のミラー固定台３１（走査ミラー駆動装置３０）における重心位置を回転軸線Ａ上に調整するための部材である。すなわち、ミラー固定台３１（走査ミラー駆動装置３０）では、重量バランス調整部３１ｋにより回転軸線Ａ回りの回転時における重量バランスが微調整の範囲内（実施例１では数グラム程度）となるように設定する。この重量バランス調整部３１ｋは、ミラー固定台３１と一体のものであってもよく、別に形成したものを固定するものであってもよい。重量バランス調整部３１ｋは、図１２に示す例では、ミラー固定台３１の台座面３１ａに位置決め突起部３１ｂを設けたことによるバランス調整のために、回転軸線Ａから見て位置決め突起部３１ｂとは反対側に設けている。なお、重量バランス調整部３１ｋは、ミラー固定部材５１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定した状態のミラー固定台３１（走査ミラー駆動装置３０）における重心位置を回転軸線Ａ上に調整するものであれば、形状および位置は適宜設定することができる。

次に、このような走査ミラー駆動装置３０における走査ミラー１６のミラー固定台３１への固定に関する技術の課題について、図１３および図１４を用いて説明する。なお、この技術の課題は、実施例１の走査ミラー駆動装置３０であっても、ミラー固定部材５１を用いることなく走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定すれば同様であることから、実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様の符号を用いて説明する。

図１３に示す走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定枠６１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定している。そのミラー固定枠６１は、基本的にミラー固定部材５１と同様の構成であって、そのミラー固定部材５１における設置部５２の上方に支持板部６１ａが設けられて構成されている。ミラー固定枠６１は、走査ミラー１６を裏面１６ｃ側から支持板部６１ａで支える。その支持板部６１ａは、走査ミラー１６の裏面１６ｃを略全体に渡って覆う大きさ寸法とされ、ミラー固定枠６１の両側面１６ｄを挟みつつ支える側方支持部６１ｂと、ミラー固定枠６１の上面１６ｅを押さえる上方支持部６１ｃと、を有する。このミラー固定枠６１は、ミラー固定部材５１と同様に２つの取付ネジ部材５５の軸部５５ｂを両ネジ穴３１ｄに噛み合わせることにより、反射面１６ａを位置決め面３１ｃに押し付けて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定する（図９等参照）。ここで、走査ミラー１６は、高さ寸法が４０ｍｍ、幅寸法が４８ｍｍ、厚さ寸法が５ｍｍ（４０ｍｍ×４８ｍｍ×５ｍｍ）の大きさ寸法とされている。このため、走査ミラー１６は、例えば、複写機、プリンター、イメージスキャナ、ファクシミリ等の機能を併せ持つ複合機に用いられる回転多面鏡と比較して、特に高さ寸法や幅寸法が大きなものとされている。このことから、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定枠６１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定して上記したように回転駆動すると、ミラー固定枠６１に変形が生じてしまい、重心位置のズレが生じて駆動ムラが発生してしまった。このミラー固定枠６１の変形は、遠心力が作用したり回転駆動に伴う風の影響を受けたりしたことが原因と考えられる。

図１４に示す走査ミラー駆動装置３０では、加圧ネジ台６２に設けた一対の加圧ネジ６３を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定している。その加圧ネジ台６２は、一対の加圧ネジ６３を支持すための支持部材であり、２つの取付ネジ部材６４（その軸部）を両ネジ穴３１ｄ（図９等参照）に噛み合わせることにより、底面１６ｂを台座面３１ａに固定される。加圧ネジ台６２には、内周面にネジ溝が設けられて貫通する一対のネジ穴６２ａが設けられており、それぞれが加圧ネジ６３（その軸部の外周面に設けられたネジ山）との噛み合わせが可能とされている。両加圧ネジ６３は、台座面３１ａに固定された加圧ネジ台６２の対応するネジ穴６２ａに噛み合わせて設けられており、噛み合わせ量を増していくと先端箇所で走査ミラー１６の裏面１６ｃを押す（加圧する）ことが可能とされている。この構成では、その各加圧ネジ６３の先端箇所で走査ミラー１６の裏面１６ｃを押す（加圧する）ことで、反射面１６ａを位置決め面３１ｃに押し付けて走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定する。このように構成した走査ミラー駆動装置３０では、上記したように回転駆動しても、ミラー固定枠６１（図１３参照）とは異なり、加圧ネジ台６２や両加圧ネジ６３に変形が生じることはない。ところが、この構成の走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の反射面１６ａにおける平面度が低下してしまった。これは、両加圧ネジ６３の先端箇所で走査ミラー１６の裏面１６ｃを押す（加圧する）ものであることから、応力集中が生じてしまうことで走査ミラー１６延いてはその反射面１６ａに変形を生じさせてしまったことが原因と考えられる。

これに対して、本願発明に係る走査ミラー駆動装置の実施例１の走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の弾性力により加圧部５３を線状の押当箇所５４を走査ミラー１６（その反射面１６ａ）に押し当てている。走査ミラー駆動装置３０では、その線状の押当箇所５４が走査ミラー１６（その反射面１６ａ）に押し当てられることで、その走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定する。このため、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１による固定に起因して走査ミラー１６に応力集中が生じることを防止することができるので、反射面１６ａの平面度の低下を防止することができる。

また、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の弾性力により線状の押当箇所５４を押し当てる（加圧する）ことで、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を回転軸線Ａと平行な位置決め面３１ｃに押し付けている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を位置決め面３１ｃに沿う状態すなわち回転軸線Ａと平行な状態とすることができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の反射面１６ａを回転軸線Ａと平行に伸びるものとすることができ、その反射面１６ａに面倒れが生じることを防止することができる。

さらに、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の弾性力により線状の押当箇所５４を押し当てる（加圧する）ことで、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を回転軸線Ａと平行な位置決め面３１ｃに押し付けている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、他の部材等を介在させることなく走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を位置決め面３１ｃに押し付けることができるので、適切に位置を決めつつ走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定することができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の固定に起因して、走査ミラー１６の反射面１６ａに面倒れが生じることやジッター等の駆動ムラが生じることを防止することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１をミラー固定台３１に取り付けた状態において、少なくとも押当箇所５４が走査ミラー１６（その反射面１６ａ）と干渉する位置関係となるように、設置部５２に対する加圧部５３の傾斜角度を設定している。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６（その反射面１６ａ）に対してミラー固定部材５１が押当箇所５４を押し当てる方向（押当方向Ｄｐ）を、走査ミラー１６の反射面１６ａに直交する方向よりもＺ軸方向負側とすることができる。実施例１の走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１（押当箇所５４）による加圧力のベクトル方向（押当方向Ｄｐ）を、走査ミラー１６の反射面１６ａに直交する方向（０°）からＺ軸方向負側で十数°程度の範囲内としている。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１によるミラー固定台３１への固定により、走査ミラー１６が上方（Ｚ軸方向正側）へと抜け難くすることができる。

走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１に取り付けるものであることから、走査ミラー１６の形成方法の自由度を確保することができる。これは、走査ミラー１６では、位置決め面３１ｃに押し付けられる面（実施例１では裏面１６ｃ）とは反対側の面（実施例１では反射面１６ａ）において、ミラー固定部材５１の押当箇所５４が押し付けられる箇所を有するものであればよいことによる。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の反射面１６ａの面精度を高いものとすることや、反射面１６ａ（走査ミラー１６）の大型化を図ることを容易なものとすることができる。

走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の設置部５２の両取付穴５２ａ、５２ｂが、遊びを持って対応する取付ネジ部材５５（その軸部５５ｂ）を受け入れることが可能な内径寸法とされている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、両取付ネジ部材５５を用いてミラー固定部材５１をミラー固定台３１に仮止めした状態において、走査ミラー１６に対するミラー固定部材５１の姿勢を調整することができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の加圧部５３の押当箇所５４を全長に渡って走査ミラー１６（その反射面１６ａ）に確実に押し当てた状態とすることができる。このため、走査ミラー駆動装置３０では、より確実に反射面１６ａの平面度の低下を防止しつつ走査ミラー１６を適切に位置決めした状態で、ミラー固定台３１に固定することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定台３１に重量バランス調整部３１ｋを設けることで、ミラー固定台３１における重心位置を回転軸線Ａ上に位置させることができる。このため、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定台３１の回転軸線Ａ回りの回転時における重量バランスを確実に微調整の範囲内（実施例１では数グラム程度）とすることができるので、駆動ムラが発生することを防止することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１が走査ミラー１６をミラー固定台３１に固定した状態において、そのミラー固定部材５１の高さ寸法Ｈｆを、走査ミラー１６における高さ寸法をＨｍの１／４以下としている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６を回転駆動した際に、遠心力が作用したり回転駆動に伴う風の影響を受けたりすることに起因して、ミラー固定部材５１が変形してしまうことを防止することができる。これは、ミラー固定部材５１では、高さ寸法Ｈｆが小さなものとされていることから、高さ寸法Ｈｆが大きい場合（例えばミラー固定枠６１）と比較して、剛性を向上させることができることに起因するものと考えられる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の変形に起因する重心位置のズレが生じることを防止することができ、駆動ムラが発生することを防止することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の幅寸法と比較して、ミラー固定部材５１の幅寸法を短いものとしている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６を回転駆動した際に、ミラー固定部材５１に作用する遠心力を小さなものとすることができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の変形に起因する重心位置のズレが生じることをより確実に防止することができ、駆動ムラが発生することをより確実に防止することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の反射面１６ａを正面視した状態において、ミラー固定部材５１を走査ミラー１６（反射面１６ａ）よりも外側に突出する箇所がないものとしている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６を回転駆動した際に、ミラー固定部材５１が風の影響を受けることをより確実に防止することができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１の変形に起因する重心位置のズレが生じることをより確実に防止することができ、駆動ムラが発生することをより確実に防止することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６における位置決め面３１ｃに押し付けられることに影響を与えない箇所を、ミラー固定部材５１をミラー固定台３１に接着剤５６で接着固定している。このため、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６もしくはミラー固定台３１に予期せぬ外力が加わった場合であっても、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を位置決め面３１ｃに押し付けた状態を維持することができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、位置を適切に決めた状態で走査ミラー１６をミラー固定台３１により確実に固定することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、ミラー固定部材５１による走査ミラー１６のミラー固定台３１への固定が終了した後に、接着剤５６によるミラー固定部材５１のミラー固定台３１への接着固定を行っている。このため、走査ミラー駆動装置３０では、接着剤５６に硬化収縮が生じた場合であっても、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を位置決め面３１ｃに押し付けた状態を維持することができる。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、位置を適切に決めた状態で走査ミラー１６をミラー固定台３１により確実に固定することができる。

走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の底面１６ｂと、ミラー固定部材５１の周縁突起部３１ｅの周縁突起面３１ｆと、の間に接着剤５６を塗布することにより、底面１６ｂと周縁突起面３１ｆとを接着固定している。このため、走査ミラー駆動装置３０では、接着剤５６に硬化収縮が生じた場合であっても、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）が位置決め面３１ｃから離れる方向への変位を生じさせることが防止されている。これにより、走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６（その裏面１６ｃ）を位置決め面３１ｃに押し付けた状態を、簡易な構成でより確実に維持することができる。このため、走査ミラー駆動装置３０では、簡易な構成で走査ミラー１６における位置決め面３１ｃに押し付けられることに影響を与えることなく、ミラー固定部材５１をミラー固定台３１に接着剤５６で接着固定することができる。

光走査装置２５では、走査ミラー駆動装置３０を用いるものであることから、上記した各効果を得ることができるとともに、レーザ光Ｌ（光パルス）をより適切に対象物１１に投光（照射）することができる。

レーザレーダ装置１０では、走査ミラー駆動装置３０を搭載するものであることから、上記した各効果を得ることができるとともに、対象物１１の検出および対象物１１までの距離の測定をより適切なものとすることができる。

したがって、本発明に係る実施例１の走査ミラー駆動装置３０では、走査ミラー１６の反射面１６ａの面精度を維持しつつ反射面１６ａの面倒れや駆動ムラを低減することができる。

次に、本発明の実施例２の走査ミラー駆動装置３０２、それを用いる実施例２の光走査装置２５およびそれを搭載する実施例２のレーザレーダ装置１０について、図１５および図１６を用いて説明する。この実施例２の走査ミラー駆動装置３０２は、走査ミラー１６２およびミラー固定部材５１２の構成が、実施例１の走査ミラー１６およびミラー固定部材５１とは異なる例である。この実施例２の走査ミラー駆動装置３０２は、基本的な概念および構成は上記した実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。同様に、実施例２の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０は、走査ミラー駆動装置３０に替えて走査ミラー駆動装置３０２を用いることを除くと、実施例１の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０（図１等参照）と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。

実施例２の走査ミラー駆動装置３０２では、図１５に示すように、ミラー固定部材５１２を用いて走査ミラー１６２をミラー固定台３１に固定する。その走査ミラー１６２は、図１６に示すように、両側部（側面１６ｄ）の下端に傾斜突起部１６２ａが設けられるとともに、両側部（側面１６ｄ）の上端に傾斜切欠部１６２ｂが設けられている。その各傾斜突起部１６２ａは、走査ミラー１６２の各側面１６ｄから離れるに連れて高さ位置を低くするように傾斜する被押当面１６２ｃを形成しており、その先端部が走査ミラー１６の底面１６ｂに至る間で伸びるものとされている。傾斜切欠部１６２ｂは、傾斜突起部１６２ａと等しい形状および大きさ寸法とされており、走査ミラー１６２の両側部の上端が切り欠かれて形成されている。

ミラー固定部材５１２は、図１５に示すように、走査ミラー１６２と略等しい幅寸法とされており、設置部５２２における両側端部に接触辺部５１２ａが設けられている。その接触辺部５１２ａは、走査ミラー１６２における両傾斜突起部１６２ａに対応して設けられており、設置部５２２からＺ軸方向に立ち上がった後に走査ミラー１６２の裏面１６ｃ側へ向けてＸ−Ｙ平面に沿って突出するＬ字形状とされている。接触辺部５１２ａは、裏面１６ｃ側へ向けて突出する箇所を対応する傾斜突起部１６２ａの被押当面１６２ｃにＺ軸方向正側から宛がうことが可能とされている。

この実施例２の走査ミラー駆動装置３０２は、基本的に実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様に、ミラー固定部材５１２により走査ミラー１６２をミラー固定台３１に固定することができる。この走査ミラー駆動装置３０２では、ミラー固定部材５１２による固定状態において、その両接触辺部５１２ａがＺ軸方向正側から、走査ミラー１６２の傾斜突起部１６２ａの被押当面１６２ｃに宛がわれる。

実施例２の走査ミラー駆動装置３０２では、基本的に実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

それに加えて、実施例２の走査ミラー駆動装置３０２では、ミラー固定部材５１２による固定状態において、その両接触辺部５１２ａがＺ軸方向正側から、走査ミラー１６２の傾斜突起部１６２ａの被押当面１６２ｃに宛がわれる。このため、走査ミラー駆動装置３０２では、走査ミラー１６２が上方（Ｚ軸方向正側）へと抜けることをより確実に防止することができる。

また、走査ミラー駆動装置３０２では、接着剤５６によるミラー固定部材５１２のミラー固定台３１への接着固定を無くすものとすることができる。これは、走査ミラー駆動装置３０２では、ミラー固定部材５１２の両接触辺部５１２ａと走査ミラー１６２の傾斜突起部１６２ａの被押当面１６２ｃとの協働により、走査ミラー１６２が上方（Ｚ軸方向正側）へと抜けることを防止することができることによる。このため、走査ミラー駆動装置３０２では、より簡易に走査ミラー１６２をミラー固定台３１に固定することができる。

さらに、走査ミラー駆動装置３０２では、両傾斜突起部１６２ａが設けられた走査ミラー１６２に、その両傾斜突起部１６２ａと等しい形状および大きさ寸法の両傾斜切欠部１６２ｂを設けている。このため、走査ミラー駆動装置３０２では、両傾斜突起部１６２ａを設けるものとしつつ、材料（実施例１ではガラス）を効率良く利用して走査ミラー１６２を形成すること（板取りの無駄をなくすこと）ができる。

走査ミラー駆動装置３０２では、走査ミラー１６２の各側面１６ｄから離れるに連れて高さ位置を低くするように傾斜する被押当面１６２ｃ（傾斜突起部１６２ａ）に、Ｚ軸方向正側から両接触辺部５１２ａを宛がうことができる。このため、走査ミラー駆動装置３０２では、走査ミラー１６２が幅方向に位置ズレすることを防止することができ、その位置ズレに起因する重心位置のズレが生じることを防止することができ、駆動ムラが発生することを防止することができる。

したがって、本発明に係る実施例２の走査ミラー駆動装置３０２では、走査ミラー１６２の反射面１６ａの面精度を維持しつつ反射面１６ａの面倒れや駆動ムラを低減することができる。

次に、本発明の実施例３の走査ミラー駆動装置３０３、それを用いる実施例３の光走査装置２５およびそれを搭載する実施例３のレーザレーダ装置１０について、図１７および図１８を用いて説明する。この実施例３の走査ミラー駆動装置３０３は、走査ミラー１６３の構成が、実施例２の走査ミラー１６２とは異なる例である。この実施例３の走査ミラー駆動装置３０３は、基本的な概念および構成は上記した実施例２の走査ミラー駆動装置３０２と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。同様に、実施例３の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０は、走査ミラー駆動装置３０に替えて走査ミラー駆動装置３０３を用いることを除くと、実施例１の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０（図１等参照）と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。

実施例３の走査ミラー駆動装置３０３では、図１７に示すように、ミラー固定部材５１２を用いて走査ミラー１６３をミラー固定台３１に固定する。その走査ミラー１６３は、図１８に示すように、両側部（側面１６ｄ）の下端に角型突起部１６３ａが設けられるとともに、両側部（側面１６ｄ）の上端に角型切欠部１６３ｂが設けられている。その角型突起部１６３ａは、走査ミラー１６３の各側面１６ｄから突出する直方体形状を呈し、その下端部が走査ミラー１６の底面１６ｂと連続するものとされている。この角型突起部１６３ａは、上端にＺ軸方向に直交する平坦な被押当面１６３ｃを規定している。角型切欠部１６３ｂは、角型突起部１６３ａと等しい形状および大きさ寸法とされており、走査ミラー１６３の両側部の上端が切り欠かれて形成されている。

ミラー固定部材５１２では、図１７に示すように、走査ミラー１６３における両角型突起部１６３ａに対応してＬ字形状の接触辺部５１２ａが設けられている。接触辺部５１２ａは、裏面１６ｃ側へ向けて突出する箇所を対応する角型突起部１６３ａの被押当面１６３ｃにＺ軸方向正側から宛がうことが可能とされている。

この実施例３の走査ミラー駆動装置３０３は、基本的に実施例２の走査ミラー駆動装置３０と同様に、ミラー固定部材５１２により走査ミラー１６３をミラー固定台３１に固定することができる。この走査ミラー駆動装置３０３では、ミラー固定部材５１２による固定状態において、その両接触辺部５１２ａがＺ軸方向正側から、走査ミラー１６３の角型突起部１６３ａの被押当面１６３ｃに宛がわれる。

実施例３の走査ミラー駆動装置３０３では、基本的に実施例２の走査ミラー駆動装置３０２（すなわち実施例１の走査ミラー駆動装置３０）と同様の構成であることから、基本的に実施例２と同様の効果を得ることができる。

それに加えて、実施例３の走査ミラー駆動装置３０３では、直方体形状を呈する両角型突起部１６３ａの被押当面１６３ｃに、Ｚ軸方向正側から両接触辺部５１２ａを宛がうことができる。このため、走査ミラー駆動装置３０３では、走査ミラー１６３が上方（Ｚ軸方向正側）へと抜けることをより確実に防止することができる。

また、走査ミラー駆動装置３０３では、両接触辺部５１２ａの内側の側縁部を走査ミラー１６３の両側面１６ｄに当てることで、走査ミラー１６３が幅方向に位置ズレすることを防止することができる。このため、走査ミラー駆動装置３０３では、その位置ズレに起因する重心位置のズレが生じることを防止することができ、駆動ムラが発生することを防止することができる。

したがって、本発明に係る実施例３の走査ミラー駆動装置３０３では、走査ミラー１６３の反射面１６ａの面精度を維持しつつ反射面１６ａの面倒れや駆動ムラを低減することができる。

次に、本発明の実施例４の走査ミラー駆動装置３０４、それを用いる実施例４の光走査装置２５およびそれを搭載する実施例４のレーザレーダ装置１０について、図１９および図２０を用いて説明する。この実施例４の走査ミラー駆動装置３０４は、走査ミラー１６４およびミラー固定部材５１４の構成が、実施例１の走査ミラー１６およびミラー固定部材５１とは異なる例である。この実施例４の走査ミラー駆動装置３０４は、基本的な概念および構成は上記した実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。同様に、実施例４の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０は、走査ミラー駆動装置３０に替えて走査ミラー駆動装置３０４を用いることを除くと、実施例１の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０（図１等参照）と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。

実施例４の走査ミラー駆動装置３０４では、図１９に示すように、ミラー固定部材５１４を用いて走査ミラー１６４をミラー固定台３１に固定する。その走査ミラー１６４は、図２０に示すように、走査ミラー１６４の下端から下方（Ｚ軸方向負側）へ向けて突出して位置決め固定部１６４ａが設けられている。その位置決め固定部１６４ａは、突出基部１６４ｂと、その下端に連続する固定突起部１６４ｃと、を有する。その突出基部１６４ｂは、走査ミラー１６４よりも小さな幅寸法で直方体形状を呈する。固定突起部１６４ｃは、走査ミラー１６４よりも小さな幅寸法でかつ突出基部１６４ｂよりも大きな幅寸法で直方体形状を呈する。このため、固定突起部１６４ｃでは、突出基部１６４ｂとの幅寸法の差分によって被押当面１６４ｄが形成されている。このため、位置決め固定部１６４ａは、走査ミラー１６４の下部を適宜切り欠いて形成された形状とされている。

ミラー固定部材５１４は、図１９に示すように、走査ミラー１６４よりも小さな幅寸法とされており、設置部５２４における両側端部に接触辺部５１４ａが設けられている。その接触辺部５１４ａは、走査ミラー１６４における位置決め固定部１６４ａの両被押当面１６４ｄに対応して設けられており、設置部５２４からＺ軸方向に立ち上がった後に走査ミラー１６４の裏面１６ｃ側へ向けてＸ−Ｙ平面に沿って突出するＬ字形状とされている。接触辺部５１４ａは、裏面１６ｃ側へ向けて突出する箇所を対応する被押当面１６４ｄにＺ軸方向正側から宛がうことが可能とされている。

この実施例４の走査ミラー駆動装置３０４は、基本的に実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様に、ミラー固定部材５１４により走査ミラー１６４をミラー固定台３１に固定することができる。この走査ミラー駆動装置３０４では、ミラー固定部材５１４による固定状態において、その両接触辺部５１４ａがＺ軸方向正側から、走査ミラー１６４の位置決め固定部１６４ａの対応する被押当面１６４ｄに宛がわれる。

実施例４の走査ミラー駆動装置３０４では、基本的に実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

それに加えて、実施例４の走査ミラー駆動装置３０４では、ミラー固定部材５１４による固定状態において、その両接触辺部５１４ａがＺ軸方向正側から、走査ミラー１６４の位置決め固定部１６４ａの対応する被押当面１６４ｄに宛がわれる。このため、走査ミラー駆動装置３０４では、走査ミラー１６４が上方（Ｚ軸方向正側）へと抜けることをより確実に防止することができる。

また、走査ミラー駆動装置３０４では、接着剤５６によるミラー固定部材５１４のミラー固定台３１への接着固定を無くすものとすることができる。これは、走査ミラー駆動装置３０４では、ミラー固定部材５１４の両接触辺部５１４ａと走査ミラー１６４の位置決め固定部１６４ａの両被押当面１６４ｄとの協働により、走査ミラー１６４が上方（Ｚ軸方向正側）へと抜けることを防止することができることによる。このため、走査ミラー駆動装置３０４では、より簡易に走査ミラー１６４をミラー固定台３１に固定することができる。

さらに、走査ミラー駆動装置３０４では、両接触辺部５１４ａの内側の側縁部を走査ミラー１６４の位置決め固定部１６４ａの突出基部１６４ｂの両側面に当てることで、走査ミラー１６４が幅方向に位置ズレすることを防止することができる。このため、走査ミラー駆動装置３０４では、その位置ズレに起因する重心位置のズレが生じることを防止することができ、駆動ムラが発生することを防止することができる。

走査ミラー駆動装置３０４では、実施例２および実施例３のミラー固定部材５１２と比較して、幅方向の大きさ寸法を低減することができるので、遠心力が作用したり回転駆動に伴う風の影響を受けたりすることを低減することができる。このため、走査ミラー駆動装置３０４では、実施例２および実施例３のミラー固定部材５１２と比較して、重心位置のズレが生じることをより効果的に防止することができ、駆動ムラが発生することをより効果的に防止することができる。

したがって、本発明に係る実施例４の走査ミラー駆動装置３０４では、走査ミラー１６４の反射面１６ａの面精度を維持しつつ反射面１６ａの面倒れや駆動ムラを低減することができる。

次に、本発明の実施例５の走査ミラー駆動装置３０５、それを用いる実施例５の光走査装置２５およびそれを搭載する実施例５のレーザレーダ装置１０について、図２１を用いて説明する。この実施例５の走査ミラー駆動装置３０５は、ミラー固定台３１５の構成が、実施例１のミラー固定台３１とは異なる例である。この実施例５の走査ミラー駆動装置３０５は、基本的な概念および構成は上記した実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。同様に、実施例５の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０は、走査ミラー駆動装置３０に替えて走査ミラー駆動装置３０５を用いることを除くと、実施例１の光走査装置２５およびレーザレーダ装置１０（図１等参照）と同様であることから、等しい概念および構成の個所には同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。

実施例５の走査ミラー駆動装置３０５では、図２１に示すように、ミラー固定台３１５において、位置決め突起部３１５ｂが他の箇所とは別個に形成されて台座面３１ａに取り付けられるものとされている。この位置決め突起部３１５ｂは、実施例１の位置決め突起部３１ｂと同様に、Ｚ軸方向（回転軸線Ａ）と平行であって高い平面度の平坦面の位置決め面３１ｃが設けられている。位置決め突起部３１５ｂでは、２つの固定穴３１５ｍが設けられている。その各固定穴３１５ｍは、それぞれが対応する固定ネジ部材４３の軸部４３ｂを通すことを可能としつつ当該固定ネジ部材４３の頭部４３ａを通すことを阻む内径寸法とされている。その両固定ネジ部材４３は、頭部４３ａと、それよりも小さな径寸法の軸部４３ｂと、を有し、その軸部４３ｂ（そのネジ山）を台座面３１ａに設けられた図示を略す固定ネジ穴（そのネジ溝）に噛み合わせることが可能とされている。

この位置決め突起部３１５ｂは、台座面３１ａに載せられて、２つの固定穴３１５ｍを通した２つの固定ネジ部材４３の軸部４３ｂが台座面３１ａの固定ネジ穴（図示せず）に噛み合わされることにより、台座面３１ａに固定される。位置決め突起部３１５ｂは、このように固定されると、高い平面度の平坦面の位置決め面３１ｃを、Ｚ軸方向（回転軸線Ａ）と平行であって台座面３１ａと直交させて、その台座面３１ａ上に形成する。

この実施例５の走査ミラー駆動装置３０５は、基本的に実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様に、ミラー固定部材５１により走査ミラー１６をミラー固定台３１５に固定することができる（図９参照）。この走査ミラー駆動装置３０５では、ミラー固定部材５１による固定状態において、走査ミラー１６の裏面１６ｃを位置決め突起部３１５ｂの位置決め面３１ｃに押し付けることで、その走査ミラー１６を適切な位置とすることができる（図９参照）。

実施例５の走査ミラー駆動装置３０５では、基本的に実施例１の走査ミラー駆動装置３０と同様の構成であることから、基本的に実施例１と同様の効果を得ることができる。

それに加えて、実施例５の走査ミラー駆動装置３０５では、位置決め面３１ｃが設けられた位置決め突起部３１５ｂを、ミラー固定台３１５における他の箇所とは別個に形成している。このため、走査ミラー駆動装置３０５では、位置決め面３１ｃの加工を容易なものとすることを可能としつつ、要求される高い平面度を満たすものとすることができる。これは、以下のことによる。他の実施例のミラー固定部材５１のように位置決め突起部３１ｂを一体的な構造で設けるものとすると、例えば切削加工および研磨加工により位置決め面３１ｃを形成することが考えられる。ところが、このような方法では、ミラー固定部材５１の位置決め突起部３１ｂにおいて、要求される高い平面度を満たしつつ位置決め面３１ｃを形成することが容易ではない。このため、走査ミラー駆動装置３０５では、他の実施例のミラー固定部材５１と比較して、位置決め面３１ｃの加工を容易なものとすることを可能としつつ、要求される高い平面度を満たすものとすることができる。

また、走査ミラー駆動装置３０５では、位置決め面３１ｃの加工を容易なものとすることを可能としつつ要求される高い平面度を満たすものとすることができることから、加工コストを低減することができる。

したがって、本発明に係る実施例５の走査ミラー駆動装置３０５では、走査ミラー１６の反射面１６ａの面精度を維持しつつ反射面１６ａの面倒れや駆動ムラを低減することができる。

なお、実施例５の走査ミラー駆動装置３０５では、実施例１と同様のミラー固定部材５１を用いて走査ミラー１６をミラー固定台３１５に固定している。しかしながら、位置決め突起部３１５ｂをミラー固定台３１５における他の箇所とは別個に形成して台座面３１ａに固定するものであれば、他の実施例（２から４）の構成と組み合わせるものであってもよく、実施例５の構成に限定されるものではない。

実施例５の走査ミラー駆動装置３０５では、２つの固定ネジ部材４３を用いて位置決め突起部３１５ｂを台座面３１ａに固定している。しかしながら、位置決め突起部３１５ｂをミラー固定台３１５における他の箇所とは別個に形成して台座面３１ａに固定するものであれば、例えば接着により固定することのように固定方法は適宜設定すればよく、実施例５の構成に限定されるものではない。

なお、上記した各実施例では、本発明に係る走査ミラー駆動装置の一例としての走査ミラー駆動装置３０、３０２、３０３、３０４、３０５について説明したが、光を反射する走査ミラーと、前記走査ミラーの位置決め面を有し、回転軸線回りに回転可能なミラー固定台と、前記ミラー固定台に固定され、押当箇所を押し当てることで前記走査ミラーを前記位置決め面に押し付けるミラー固定部材と、を備え、前記押当箇所は、前記走査ミラーと接触する箇所を線状とする走査ミラー駆動装置であればよく、上記した各実施例に限定されるものではない。

また、上記した各実施例では、走査ミラー駆動装置（３０、３０２、３０３、３０４、３０５）を示している。しかしながら、本発明に係る走査ミラー駆動装置は、ミラー固定部材（５１等）を用いて走査ミラー（１６等）をミラー固定台（３１等）に固定するものであって、ミラー固定部材の押当箇所（５４等）と走査ミラーとが接触する箇所を線状とするものであれば、走査ミラー（１６等）の大きさ寸法および形状や、ミラー固定部材（５１等）の形状および台座面３１ａへと取り付け方法や、ミラー固定台（３１等）の形状および構造等は適宜設定すればよく、上記した各実施例の構成に限定されるものではない。

さらに、上記した各実施例では、走査ミラー駆動装置（３０、３０２、３０３、３０４、３０５）に用いるミラー固定部材（５１、５１２、５１４）を示している。しかしながら、本発明に係る走査ミラー駆動装置では、走査ミラー（１６等）と接触する箇所を線状としつつその走査ミラーに押当箇所（５４等）を押し当てることで、当該走査ミラーを位置決め面（３１ｃ）に押し付けてミラー固定台（３１等）に固定するものであれば、押当箇所（５４等）の構成（形状および形成方法等）は適宜設定すればよく、上記した各実施例の構成に限定されるものではない。

上記した各実施例では、走査ミラー駆動装置（３０、３０２、３０３、３０４、３０５）を光走査装置２５としてレーザレーダ装置１０に搭載した例を示している。しかしながら、本発明に係る走査ミラー駆動装置は、ミラー固定部材（５１等）を用いて走査ミラー（１６等）をミラー固定台（３１等）に固定するものであって、ミラー固定部材の押当箇所（５４等）と走査ミラーとが接触する箇所を線状とするものであれば、他の装置に用いるものであってもよく、上記した各実施例に限定されるものではない。その他の装置としては、例えば、異なる構成のレーザレーダ装置、測距装置、レーザカッター装置、レーザ穴開け装置、複写機、プリンター、あるいはその他類似のレーザ走査システム等があげられる。

上記した各実施例では、一例として光走査装置２５をレーザレーダ装置１０に搭載した例を示している。しかしながら、本発明に係る光走査装置は、本発明に係る走査ミラー駆動装置を用いるものであって、光（レーザ光Ｌ）を用いて走査するものであれば、他の装置に用いるものであってもよく、上記した各実施例の構成に限定されるものではない。その他の装置としては、例えば、異なる構成のレーザレーダ装置、測距装置、レーザカッター装置、レーザ穴開け装置、複写機、プリンター、あるいはその他類似のレーザ走査システム等があげられる。

上記した各実施例では、一例としてレーザレーダ装置１０を示している。しかしながら、本発明に係るレーザレーダ装置は、本発明に係る走査ミラー駆動装置を用いた光走査装置を搭載するものであって、レーザ光（Ｌ）を用いて測定物（１１）の検出および当該測定物（１１）までの距離を測定するものであればよく、上記した各実施例の構成に限定されるものではない。

以上、本発明の走査ミラー駆動装置、それを用いる光走査装置およびそれを搭載するレーザレーダ装置を各実施例に基づき説明してきたが、具体的な構成については各実施例に限られるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない限り、設計の変更や追加等は許容される。

１０ レーザレーダ装置
１６、１６２、１６３、１６４ 走査ミラー
１６ｂ 底面
１６２ｃ、１６３ｃ、１６４ｄ 被押当面
２５ 光走査装置
３０、３０２、３０３、３０４、３０５ 走査ミラー駆動装置
３１、３１５ ミラー固定台
３１ａ 台座面
３１ｂ、３１５ｂ 位置決め突起部
３１ｃ 位置決め面
３１ｋ 重量バランス調整部
５１、５１２、５１４ ミラー固定部材
５１２ａ、５１４ａ 接触辺部
５２、５２２、５２４ 設置部
５２ａ、５２ｂ 取付穴
５３ 加圧部
５４ 押当箇所
５５ （取付部材の一例としての）取付ネジ部材
Ａ 回転軸線
Ｄｐ 押当方向
Ｌ （光の一例としての）レーザ光

特開２０１２−０７８４３７号公報 特開平０８−３３４７２４号公報 特表２００２−５３０６９４号公報 特開平０８−０２９６６２号公報 特開平０５−０７２４９３号公報

Claims (12)

1. 光を反射する走査ミラーと、
   前記走査ミラーの位置決め面を有し、回転軸線回りに回転可能なミラー固定台と、
   前記ミラー固定台に固定され、押当箇所を押し当てることで前記走査ミラーを前記位置決め面に押し付けるミラー固定部材と、を備え、
   前記押当箇所は、前記走査ミラーと接触する箇所を線状とすることを特徴とする走査ミラー駆動装置。
2. 前記位置決め面は、前記回転軸線に対して平行な面であることを特徴とする請求項１に記載の走査ミラー駆動装置。
3. 前記ミラー固定台は、前記位置決め面と直交し、前記走査ミラーの底面を位置決めする台座面を有し、
   前記ミラー固定部材では、前記押当箇所による前記走査ミラーへの押当方向を、前記走査ミラーに対して直交する方向から、その直交する方向よりも前記台座面側に傾斜させた方向までの間とすることを特徴とする請求項１または請求項２に記載の走査ミラー駆動装置。
4. 前記ミラー固定台は、前記位置決め面と直交し、前記走査ミラーの底面を位置決めする台座面を有し、
   前記ミラー固定部材は、前記押当箇所が設けられた加圧部と、前記加圧部との間でバネ力を作用させるべく前記加圧部と連続し前記台座面に取り付けられる設置部と、を有し、
   前記設置部では、前記台座面へと取り付けるための取付部材を通すことを可能とする取付穴が設けられ、
   前記取付穴は、遊びを持って前記取付部材を受け入れることが可能な内径寸法とであることを特徴とする請求項１から請求項３のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置。
5. 前記ミラー固定台では、前記ミラー固定部材を用いて前記走査ミラーが固定された状態において、前記回転軸線回りに回転時の重量バランスを整える重量バランス調整部が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項４のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置。
6. 前記ミラー固定部材は、前記走査ミラーを前記ミラー固定台に固定した状態において、前記回転軸線と平行する高さ寸法が、前記走査ミラーにおける高さ寸法の１／４以下であることを特徴とする請求項１から請求項５のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置。
7. 前記走査ミラーと前記ミラー固定台とは、前記位置決め面との接触箇所以外の箇所で、互いに接着固定されていることを特徴とする請求項１から請求項６のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置。
8. 前記走査ミラーでは、前記回転軸線と平行する方向であって上側から押し当てることを可能とする被押当面が設けられていることを特徴とする請求項１から請求項７のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置。
9. 前記ミラー固定部材には、前記ミラー固定台に前記走査ミラーを固定した状態で、前記回転軸線と平行する方向であって上側から前記被押当面に宛がうことのできる接触辺部が設けられていることを特徴とする請求項８に記載の走査ミラー駆動装置。
10. 前記ミラー固定台は、前記位置決め面が設けられた位置決め突起部を有し、
    前記位置決め突起部は、前記ミラー固定台とは別に形成されて、前記ミラー固定台に固定されることを特徴とする請求項１から請求項９のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置。
11. 請求項１から請求項１０のいずれか１項に記載の走査ミラー駆動装置を用いることを特徴とする光走査装置。
12. 請求項１１に記載の光走査装置を搭載することを特徴とするレーザレーダ装置。