JP2016006388A - 測定装置 - Google Patents
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Abstract
Description
光学素子の対向する第1面及び第2面の形状を測定する測定装置において、
前記第1面の形状を測定する第1の光学測定手段と、
前記第2面の形状を測定する第2の光学測定手段と、
前記第1の光学測定手段を支持する第1支持部材と、前記第2の光学測定手段を支持する第2支持部材と、前記第1支持部材と第2支持部材を連結する連結部材を備えたホルダとを有し、
前記連結部材は、前記第1の光学測定手段の光軸及び前記第2の光学測定手段の光軸に略一致する基準軸を挟んで、前記第1支持部材と前記第2支持部材とを複数個所で連結し、前記ホルダは前記基準軸に対して直交する方向から見たときに閉じた形状を有することを特徴とする。
2 可動ステージ
3 フレーム
3a 台板
3b アーム部
3c 端部
4、4’、4” ホルダ
4a 上壁
4b 下壁
4c、4d 側壁
4a’ 上板
4b’ 下板
4c’、4d’ 側板
4e、4f ねじ孔
4e” 溝
5 支持部
10 干渉計
11 光源
12 フィルター
13 ビームスプリッタ
14 対物レンズ
15 ビームスプリッタ
16 ミラー
17 カメラ
18 アクチュエータ
AX 軸線(基準軸)
BX,CX ホルダの対称軸
LS レンズ
Claims (9)
- 光学素子の対向する第1面及び第2面の形状を測定する測定装置において、
前記第1面の形状を測定する第1の光学測定手段と、
前記第2面の形状を測定する第2の光学測定手段と、
前記第1の光学測定手段を支持する第1支持部材と、前記第2の光学測定手段を支持する第2支持部材と、前記第1支持部材と第2支持部材を連結する連結部材を備えたホルダとを有し、
前記連結部材は、前記第1の光学測定手段の光軸及び前記第2の光学測定手段の光軸に略一致する基準軸を挟んで、前記第1支持部材と前記第2支持部材とを複数個所で連結し、前記ホルダは前記基準軸に対して直交する方向から見たときに閉じた形状を有することを特徴とする測定装置。 - 前記ホルダは、前記基準軸に対して直交する方向から見たときに線対称の形状を有することを特徴とする請求項1に記載の測定装置。
- 前記ホルダは、前記基準軸の方向から見たときに,少なくとも2本の対称軸に対して線対称となる形状を有することを特徴とする請求項1又は2に記載の測定装置。
- 前記ホルダを支持するために2カ所で連結されたフレームを有し、前記ホルダと前記フレームとの連結部を結んだ線上に、前記第1の光学測定手段及び前記第2の光学測定手段を保持したホルダの重心が位置することを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の測定装置。
- 前記ホルダと前記フレームとの連結部を結んだ線は、前記基準軸に直交することを特徴とする請求項4に記載の測定装置。
- 前記フレームは可動ステージ上に載置されていることを特徴とする請求項4又は5に記載の測定装置。
- 前記ホルダは、矩形枠状であることを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の測定装置。
- 前記第1の光学測定手段と前記第2の光学測定手段は白色干渉計であることを特徴とする請求項1〜7のいずれかに記載の測定装置。
- 前記第1の光学測定手段の光軸と前記第2の光学測定手段の光軸とを位置決めする位置決め手段を有することを特徴とする請求項1〜8のいずれかに記載の測定装置。
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