JP2015227845A - プローブユニットおよびコンタクトプローブ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明にかかるコンタクトプローブは、互いに異なる2つの被接触体とそれぞれ接触する導電性の第1および第2接触部材と、第1および第2接触部材の被接触体と接触する側の端部とは異なる側の端部を接触しつつ収容可能な導電性の孔部を有するパイプ体と、第1接触部材およびパイプ体を連結し、該連結方向に伸縮自在な第1コイルばねと、第2接触部材およびパイプ体を連結し、該連結方向に伸縮自在な第2コイルばねと、を備えた。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態1にかかるプローブユニットの構成を示す斜視図である。図1に示すプローブユニット1は、検査対象物である半導体集積回路100の電気特性検査を行う際に使用する装置であって、半導体集積回路100と半導体集積回路100へ検査用信号を出力する回路基板200との間を電気的に接続する装置である。
図7は、本実施の形態1の変形例にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図であって、プローブホルダ3に収容されるプローブ2の詳細な構成を示す図である。上述した実施の形態1では、回路基板200が取り付けられていない状態において、第2プランジャ22の収容部22dの一部がパイプ体23に収容されているものとして説明したが、本変形例では、回路基板200が取り付けられていない状態において、第2プランジャ22の収容部22eがパイプ体23に収容されずに、離間している。
図8は、本発明の実施の形態2にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。なお、図1等で上述した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してある。上述した実施の形態1では、プローブホルダ3が第1プランジャ21および第2プランジャ22と接触して抜け止め機能を有するものとして説明したが、本実施の形態2にかかるプローブホルダ5は、プローブ2aのパイプ体26も保持する。
ここで、本体部26aの外周の径は、大径部53bの径よりも小さく、かつ中径部54bの径よりも大きい。
図11は、本発明の実施の形態2の変形例にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図であって、プローブホルダ3に収容されるプローブ2の詳細な構成を示す図である。上述した実施の形態2では、パイプ体26の本体部26aを、大径部53bと中径部54bとがなす段部に当接させるものとして説明したが、本体部26aは第1および第2部材のいずれか一方の部材に形成された段部に当接するものであってもよく、本変形例では、一例として突出部26dが第2部材に形成された大径部と中径部とがなす段部に当接する。
図12は、本発明の実施の形態3にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。なお、図1等で上述した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してある。上述した実施の形態2では、第1コイルばね24aおよび第2コイルばね25aは、内周の径が同一であり、互いにばね定数が異なるものとして説明したが、本実施の形態3にかかる第1コイルばね24bおよび第2コイルばね25は、内周の径が異なる。
図15は、本発明の実施の形態4にかかるプローブユニットの要部の構成を示す部分断面図である。なお、図1等で上述した構成要素と同じ構成要素には同じ符号を付してある。上述した実施の形態1〜3では、第1プランジャおよび第2プランジャの形状が異なるものや、第1および第2コイルばねの形状(径)やばね定数が異なるものとして説明したが、本実施の形態4にかかるプローブ2dは、第1プランジャおよび第2プランジャの形状、ならびに第1および第2コイルばねの形状(ばね定数)が同一である。
2,2a,2b,2c,2d コンタクトプローブ(プローブ)
3,5,5a プローブホルダ
4 ホルダ部材
21,28,61 第1プランジャ
21a,22a,28a,61a,62a 先端部
21b,22b,28b,61b,62b フランジ部
21c,22c,28c,61c,62c ボス部
21d,21e,21f,21g,22d,28d,61d,62d 収容部
22,62 第2プランジャ
23,26,27,29,63 パイプ体
23a,26a,27a,29a,63a 本体部
23b,26b,27b,29b,63b 第1連結部
23c,26c,27c,29c,63c 第2連結部
23d,26d,27e,29d,63d 孔部
27d 突出部
24,24a,24b,64 第1コイルばね
25,25a,65 第2コイルばね
31,51,51a 第1部材
32,52,52a 第2部材
33,34,53,54,55,56 ホルダ孔
33a,34a,53a,54a,55a,56a 小径部
33b,34b,53b,55b,56c 大径部
54b 中径部
100 半導体集積回路
101 接続用電極
200 回路基板
201 電極
211 延在部
212,213 基端部
Claims (7)
- 互いに異なる2つの被接触体とそれぞれ接触する導電性の第1および第2接触部材と、前記第1および第2接触部材の前記被接触体と接触する側の端部とは異なる側の端部を接触しつつ収容可能な導電性の孔部を有するパイプ体と、前記第1接触部材および前記パイプ体を連結し、該連結方向に伸縮自在な第1コイルばねと、前記第2接触部材および前記パイプ体を連結し、該連結方向に伸縮自在な第2コイルばねと、を有する複数のコンタクトプローブと、
前記コンタクトプローブを保持するプローブホルダと、
を備えたことを特徴とするプローブユニット。 - 前記第1接触部材は、
先細な先端形状をなし、一方の被接触体と接触する第1先端部と、
該第1先端部の基端側から延び、前記第1先端部の径と比して大きい径を有する第1フランジ部と、
該第1フランジ部の前記第1先端部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記第1フランジ部の径と比して小さい径を有し、前記第1コイルばねと連結する第1ボス部と、
該第1ボス部の前記第1フランジ部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記孔部に収容可能な第1収容部と、
を同軸上に有し、
前記第2接触部材は、
先細な先端形状をなし、他方の被接触体と接触する第2先端部と、
該第2先端部の基端側から延び、前記第2先端部の径と比して大きい径を有する第2フランジ部と、
該第2フランジ部の前記第2先端部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記第2フランジ部の径と比して小さい径を有し、前記第2コイルばねと連結する第2ボス部と、
該第2ボス部の前記第2フランジ部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記孔部に収容可能な第2収容部と、
を同軸上に有し、
前記プローブホルダは、
前記第1および第2先端部をそれぞれ挿通可能な第1および第2小径部と、
一端で前記第1小径部と連結するとともに、他端で前記第2小径部と連結し、該第1および第2小径部の径よりも大きい径を有する大径部と、
を有し、
前記第1フランジ部は、前記第1小径部と前記大径部とがなす段部に当接し、
前記第2フランジ部は、前記第2小径部と前記大径部とがなす段部に当接することを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 前記第1接触部材は、
先細な先端形状をなし、一方の被接触体と接触する第1先端部と、
該第1先端部の基端側から延び、前記第1先端部の径と比して大きい径を有する第1フランジ部と、
該第1フランジ部の前記第1先端部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記第1フランジ部の径と比して小さい径を有し、前記第1コイルばねと連結する第1ボス部と、
該第1ボス部の前記第1フランジ部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記孔部に収容可能な第1収容部と、
を同軸上に有し、
前記第2接触部材は、
先細な先端形状をなし、他方の被接触体と接触する第2先端部と、
該第2先端部の基端側から延び、前記第2先端部の径と比して大きい径を有する第2フランジ部と、
該第2フランジ部の前記第2先端部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記第2フランジ部の径と比して小さい径を有し、前記第2コイルばねと連結する第2ボス部と、
該第2ボス部の前記第2フランジ部に連なる側と異なる側の端部から延び、前記孔部に収容可能な第2収容部と、
を同軸上に有し、
前記パイプ体は、
本体部と、
前記本体部の一端に連なり、外周の径が前記第1ボス部の径と同等であって前記第1コイルばねと連結する第1連結部と、
前記本体部の他端に連なり、外周の径が前記第2ボス部の径と同等であって前記第2コイルばねと連結する第2連結部と、
を有し、
前記プローブホルダは、
前記第1および第2先端部をそれぞれ挿通可能な第1および第2小径部と、
一端で第1小径部と連結し、該第1および第2小径部の径よりも大きい径を有する大径部と、
前記第2小径部と前記大径部との間に設けられ、該第2小径部の径より大きく、該大径部の径より小さい中径部と、
を有し、
前記第1フランジ部は、前記第1小径部と前記大径部とがなす段部に当接し、
前記第2フランジ部は、前記第2小径部と前記中径部とがなす段部に当接し、
前記本体部は、前記大径部と前記中径部とがなす段部に当接することを特徴とする請求項1に記載のプローブユニット。 - 第1および第2収容部は、前記連結方向の長さが互いに異なることを特徴とする請求項2または3に記載のプローブユニット。
- 前記第1および第2コイルばねは、ばね定数が互いに異なることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載のプローブユニット。
- 第1および第2収容部のうち前記第1収容部の前記連結方向の長さが、前記第2収容部の前記連結方向の長さより大きい場合、前記第1コイルばねのばね定数が前記第2コイルばねのばね定数よりも大きく、前記第2収容部の前記連結方向の長さが、前記第1収容部の前記連結方向の長さより大きい場合、前記第2コイルばねのばね定数が前記第1コイルばねのばね定数よりも大きいことを特徴とする請求項5に記載のプローブユニット。
- 互いに異なる2つの被接触体とそれぞれ接触する導電性の第1および第2接触部材と、
前記第1および第2接触部材の前記被接触体と接触する側の端部とは異なる側の端部を接触しつつ収容可能な導電性の孔部を有するパイプ体と、
前記第1接触部材および前記パイプ体を連結し、該連結方向に伸縮自在な第1コイルばねと、
前記第2接触部材および前記パイプ体を連結し、該連結方向に伸縮自在な第2コイルばねと、
を備えたことを特徴とするコンタクトプローブ。
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