JP2015214023A - ワイヤ放電加工装置、その制御方法とプログラム - Google Patents
ワイヤ放電加工装置、その制御方法とプログラム Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015214023A JP2015214023A JP2015174366A JP2015174366A JP2015214023A JP 2015214023 A JP2015214023 A JP 2015214023A JP 2015174366 A JP2015174366 A JP 2015174366A JP 2015174366 A JP2015174366 A JP 2015174366A JP 2015214023 A JP2015214023 A JP 2015214023A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- machining
- wire
- electric discharge
- discharge machining
- workpiece
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electrical Discharge Machining, Electrochemical Machining, And Combined Machining (AREA)
Abstract
Description
ワイヤ放電加工装置1は、電源ユニット2と電線513を介して接続されており、電源ユニット2から供給される電力により作動する。
図2を説明する。図2は、図1に示す点線16枠内の拡大図である。
ブロック15は、ワーク送り装置3と接合されている。また、ワーク送り装置3は、ワーク105と接着部4により接着(接合)されている。
本実施例では、加工材料(ワーク105)として、シリコンインゴットを例に説明する。
接着部4は、ワーク送り装置3と、ワーク105とを接着(接合)するためのものであれば何でもよく、例えば、電導性の接着剤が用いられる。
給電点から放電点までの距離L 511は給電点(給電子)から放電点(ワーク)までのワイヤの長さである。
図6を説明する。図6は、本発明のワイヤ放電加工装置1におけるワイヤ電極と被加工物間の放電状況を監視するための構成図である。
901aは観察点aに設置される監視カメラであり、放電加工されるワークの加工溝の映像(画像)をリアルタイムで監視する。
901bは観察点bに設置される監視カメラであり、放電加工されるワークの加工溝の映像(画像)をリアルタイムで監視する。
901cは観察点c(水中)に設置される監視カメラであり、放電加工されるワークの加工溝の映像(画像)をリアルタイムで監視する。
図11を説明する。図11は、本発明の加工状況の監視処理の流れを示すメインフローチャートである。
ステップS102では、ワイヤ放電加工装置1は図12の画像解析(画像処理)のフローチャートで変換・解析されて正常/異常の判断を行う。
図12を説明する。
図12は、本発明の画像解析フローチャートであり、図8〜図10は取得画像とその取得画像から正常/異常の解析用に変換されたパルス信号の一例である。
ステップS201では、ワイヤ放電加工装置1はS101で取得した画像の上述の二値化処理を行う。
なおここでパルス電源とは電源装置2内部の加工電源部501、502によるパルス電圧の設定値を制御するためのパルス電圧の制御部(図示しない)である。
なおここでワイヤソーとはワイヤ放電加工装置1内部のメインローラ8、9によるワイヤ走行スピードの設定値を制御するための走行スピードの制御部(図示しない)である。
なおここでワイヤソーとはワイヤ放電加工装置1内部のワーク送り装置3によるサーボ電圧の設定値を制御するためのサーボ電圧の制御部(図示しない)である。
ステップS207では、ワイヤ放電加工装置1は図8のように正常に加工が進んでいると判定し、加工処理をそのまま継続し、さらに監視も継続する。
ステップS208では、ワイヤ放電加工装置1は監視(画像解析)を終了する。
図13を説明する。図13は、ワイヤ放電加工装置1が内蔵する制御コンピュータ1000のハードウエア構成図である。
なお、制御コンピュータ1000をワイヤ放電加工装置1の外部に別体で設けてもよい。
(本発明の他の実施形態)
なお、上述した各実施形態およびその変形例を組み合わせた構成も全て本発明に含まれるものである。
図14を説明する。図14は、従来方式である、ワイヤ毎に個別に加工電圧を給電する個別給電方式での電気回路400とワイヤ放電加工装置4000を示す。
図15を説明する。図15は、本発明の加工遅れ発生時の電源装置2の対応処理を示すフローチャートである。
ステップS301では、ワイヤ放電加工装置1はパルス電源のサーボ制御パラメータを変更する。
ステップS302では、ワイヤ放電加工装置1は図8のように正常に加工が進んでいると判定し、加工処理をそのまま継続し、さらに監視も継続する。
ステップS307では、ワイヤ放電加工装置1は図8のように正常に加工が進んでいると判定し、加工処理をそのまま継続し、さらに監視も継続する。
ステップS309では、ワイヤ放電加工装置1は放電間隙を確保させてから加工を再開する。
ステップS310では、ワイヤ放電加工装置1は所定時間(例えば10分後)経過したかを判断し、所定時間経過したあとのワークの画像を取得する。
ステップS314では、ワイヤ放電加工装置1は放電加工を中止する。
図16を説明する。図16は、本発明の加工ぶれ発生時のワイヤ放電加工装置1の対応処理を示すフローチャートである。
ステップS402では、ワイヤ放電加工装置1は図8のように正常に加工が進んでいると判定し、加工処理をそのまま継続し、さらに監視も継続する。
ステップS407では、ワイヤ放電加工装置1は図8のように正常に加工が進んでいると判定し、加工処理をそのまま継続し、さらに監視も継続する。
ステップS408では、ワイヤ放電加工装置1は警報を通知する。
ステップS409では、ワイヤ放電加工装置1は放電加工を中止する。
2 電源装置
3 ワーク送り装置
10 給電子ユニット
103 ワイヤ電極
104 給電子(一括)
105 ワーク(シリコンインゴット)
204 給電子(個別)
901 監視カメラ
Claims (8)
- 並設されたワイヤの間隔でワークをスライスするワイヤ放電加工装置であって、
放電加工の状況を監視するカメラにより撮影され、並設されたワイヤにより放電加工された複数箇所の加工溝を含むワークの画像を取得する画像取得手段と、
前記取得した画像に含まれる複数箇所の加工溝の並び方に基づいて、前記並設されたワイヤの間隔のまま放電加工が進行しているか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記進行していないと判断される場合には、前記判断手段により前記進行していると判断される場合の放電加工の進行に関連する動作を停止または抑制するように制御する動作制御手段と、
を備えることを特徴とするワイヤ放電加工装置。 - 前記取得されたワークの画像から、前記複数箇所の加工溝毎の加工状況にそれぞれ相当させた波形強度でパルス波形を生成し、前記加工状況の進行度に基づいた強度差を解析する波形強度生成手段と、
前記解析された強度差に基づいて、前記取得した画像に含まれる複数箇所の加工溝の並び方はワークが移動する方向に均一であるか否かを検出する加工遅れ検出手段と、
をさらに備え、
前記判断手段が前記加工遅れ検出手段による結果を用いて判断することを特徴とする請求項1に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記取得されたワークの画像から、前記複数箇所の加工溝毎の加工状況にそれぞれ相当させた波形間隔でパルス波形を生成し、前記加工状況の進行度に基づいた間隔差を解析する波形間隔生成手段と、
前記解析された間隔差に基づいて、前記取得した画像に含まれる複数箇所の加工溝の並び方はワイヤが振動する方向に均一であるか否かを検出する加工ぶれ検出手段と、
をさらに備え、
前記判断手段が前記加工ぶれ検出手段による結果を用いて判断することを特徴とする請求項1または2に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記判断手段が並設されたワイヤの間隔のまま放電加工が進行していないと判断してから所定時間経過したあとの前記ワークの画像を前記画像取得手段が取得し、
前記所定時間経過したあとに取得した画像を用いて、前記並設されたワイヤの間隔のまま放電加工が進行しているか否かを再度解析する再解析手段と、
前記再度解析した結果に基づいて、ワイヤの間隔のまま放電加工が進行していないことによる加工不良が回復しているか否かを判断する回復判断手段と、
前記回復判断手段が回復していると判断した場合には、前記動作制御手段により停止または抑制するように制御した放電加工の進行に関連する動作を正常復帰することを特徴とする請求項1乃至請求項3のいずれか1項に記載のワイヤ放電加工装置。
- 前記回復判断手段が、ワイヤの間隔のまま放電加工が進行していないことによる加工不良が回復しているか否かを判断するための複数の異なる加工不良レベルが管理され、
前記異なる加工不良レベルに応じて前記動作制御手段が放電加工の進行に関連する動作を停止または抑制するように制御する制御種別を切り替えることを特徴とする請求項4に記載のワイヤ放電加工装置。 - 前記回復判断手段が回復していないと判断した場合には、前記動作制御手段により停止または抑制するように制御した放電加工の進行に関連する動作を、異なる制御種別に切り替えることを特徴とする請求項4または請求項5に記載のワイヤ放電加工装置。
- 並設されたワイヤの間隔でワークをスライスするワイヤ放電加工装置による制御方法であって、
前記ワイヤ放電加工装置の画像取得手段が、放電加工の状況を監視するカメラにより撮影され、並設されたワイヤにより放電加工された複数箇所の加工溝を含むワークの画像を取得する画像取得工程と、
前記ワイヤ放電加工装置の判断手段が、前記取得した画像に含まれる複数箇所の加工溝の並び方に基づいて、前記並設されたワイヤの間隔のまま放電加工が進行しているか否かを判断する判断工程と、
前記ワイヤ放電加工装置の動作制御手段が、前記判断工程により前記進行していないと判断される場合には、前記判断工程により前記進行していると判断される場合の放電加工の進行に関連する動作を停止または抑制するように制御する動作制御工程と、
を含むことを特徴とする制御方法。 - 並設されたワイヤの間隔でワークをスライスするワイヤ放電加工装置で読み取り実行可能なプログラムであって、
前記ワイヤ放電加工装置を、
放電加工の状況を監視するカメラにより撮影され、並設されたワイヤにより放電加工された複数箇所の加工溝を含むワークの画像を取得する画像取得手段と、
前記取得した画像に含まれる複数箇所の加工溝の並び方に基づいて、前記並設されたワイヤの間隔のまま放電加工が進行しているか否かを判断する判断手段と、
前記判断手段により前記進行していないと判断される場合には、前記判断手段により前記進行していると判断される場合の放電加工の進行に関連する動作を停止または抑制するように制御する動作制御手段と、
して機能させることを特徴とするプログラム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015174366A JP6172229B2 (ja) | 2013-07-25 | 2015-09-04 | ワイヤ放電加工装置、その制御方法及びプログラム、ウエハの製造方法。 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013155083 | 2013-07-25 | ||
JP2013155083 | 2013-07-25 | ||
JP2015174366A JP6172229B2 (ja) | 2013-07-25 | 2015-09-04 | ワイヤ放電加工装置、その制御方法及びプログラム、ウエハの製造方法。 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014129251A Division JP5839086B2 (ja) | 2013-07-25 | 2014-06-24 | ワイヤ放電加工装置、その制御方法とプログラム |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015214023A true JP2015214023A (ja) | 2015-12-03 |
JP2015214023A5 JP2015214023A5 (ja) | 2016-08-04 |
JP6172229B2 JP6172229B2 (ja) | 2017-08-02 |
Family
ID=52696213
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014129251A Expired - Fee Related JP5839086B2 (ja) | 2013-07-25 | 2014-06-24 | ワイヤ放電加工装置、その制御方法とプログラム |
JP2015174366A Active JP6172229B2 (ja) | 2013-07-25 | 2015-09-04 | ワイヤ放電加工装置、その制御方法及びプログラム、ウエハの製造方法。 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2014129251A Expired - Fee Related JP5839086B2 (ja) | 2013-07-25 | 2014-06-24 | ワイヤ放電加工装置、その制御方法とプログラム |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (2) | JP5839086B2 (ja) |
TW (1) | TWI574765B (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN115780938A (zh) * | 2022-12-05 | 2023-03-14 | 北京天科合达半导体股份有限公司 | 一种线切割机的切割线监测方法及装置 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61111844A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカツト放電加工装置 |
JP2000107941A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ放電加工方法及び放電式ワイヤソー |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
TW226974B (en) * | 1993-10-21 | 1994-07-21 | Ind Tech Res Inst | Electric discharging control and method for wire cutting machine |
JP2002154014A (ja) * | 2000-11-15 | 2002-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | 放電加工装置 |
TWI401128B (zh) * | 2010-04-16 | 2013-07-11 | Accutex Technologies Co Ltd | 線型刀具之加工位置撓曲量測及補償方法 |
-
2014
- 2014-06-24 JP JP2014129251A patent/JP5839086B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2014-07-09 TW TW103123623A patent/TWI574765B/zh active
-
2015
- 2015-09-04 JP JP2015174366A patent/JP6172229B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS61111844A (ja) * | 1984-11-05 | 1986-05-29 | Mitsubishi Electric Corp | ワイヤカツト放電加工装置 |
JP2000107941A (ja) * | 1998-10-01 | 2000-04-18 | Toyo Advanced Technologies Co Ltd | ワイヤ放電加工方法及び放電式ワイヤソー |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6172229B2 (ja) | 2017-08-02 |
TW201518016A (zh) | 2015-05-16 |
JP2015042434A (ja) | 2015-03-05 |
TWI574765B (zh) | 2017-03-21 |
JP5839086B2 (ja) | 2016-01-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104339045B (zh) | 线放电加工装置、其控制方法和程序 | |
JP5825382B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工システム、電源装置、ワイヤ放電加工方法、半導体基板の製造方法。 | |
CN103252846B (zh) | 金刚石线锯装置和方法 | |
Kitamura et al. | High-speed imaging of EDM gap phenomena using transparent electrodes | |
US10207369B2 (en) | Method for forming a laser processed hole | |
CN1765555A (zh) | 用于放电式线切割机的控制器 | |
JP2010052131A (ja) | 放電加工装置及び方法 | |
JP6172229B2 (ja) | ワイヤ放電加工装置、その制御方法及びプログラム、ウエハの製造方法。 | |
EP2985105B1 (en) | Wire electric discharge machine determining whether or not electrical discharge machining of workpiece can be perfomed | |
US8525063B2 (en) | Wire electric discharge machining apparatus | |
CN105269096B (zh) | 在自动接线时调整加工液的液面位置的线放电加工装置 | |
CN107775131B (zh) | 线放电加工机以及测量方法 | |
JP5622977B1 (ja) | ワイヤ放電加工装置、ワイヤ放電加工方法および制御装置 | |
CN1605423A (zh) | 线放电加工机 | |
JP6024711B2 (ja) | ワイヤ放電加工システム、およびその加工方法。 | |
JP6404875B2 (ja) | ワイヤ放電加工機 | |
US20230065726A1 (en) | Multiwire electric discharge machine and multiwire electric discharge machining system | |
JP6613557B2 (ja) | 保持装置とその保持方法、ワイヤ放電加工装置およびその加工方法 | |
JP6127423B2 (ja) | 電源装置、ワイヤ放電加工装置、その制御方法およびプログラム | |
JP6089672B2 (ja) | マルチワイヤ放電加工装置およびその加工方法。 | |
JP2016047568A (ja) | ワイヤ放電加工システム、電源装置、およびその制御方法とプログラム | |
JP2019063943A (ja) | ワイヤ放電加工機および推定方法 | |
JP2009166190A (ja) | ワイヤ放電加工装置 | |
JP2014000661A (ja) | 給電子ユニット、ワイヤ放電加工システム、給電方法。 | |
JP2016068208A (ja) | ワイヤ放電加工装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160614 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160614 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20161101 |
|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20161101 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170316 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170328 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170523 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20170606 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20170619 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6172229 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |