JP2015199130A - Brazing vent tool - Google Patents

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浩一 坂田
Koichi Sakata
浩一 坂田
公夫 瀧澤
Kimio Takizawa
公夫 瀧澤
雅嗣 近藤
Masatsugu Kondo
雅嗣 近藤
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OMICHI SANGYO KK
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OMICHI SANGYO KK
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To perform vacuum drawing of a vacuum double container for sealing, without using a large scale appliance.SOLUTION: A brazing material is disposed on a recess part 155 and a brazing vent tool 301 is attached to a port 156, with respect to a vacuum double container 151 comprising the recess part 155 which becomes dent toward an inner bottle 153 side, and the port 156 disposed in the recess part 155 and having a female screw part 157 on its inner peripheral face, and vacuum drawing of the vacuum double container 151 is performed via a gas injection and vent tool, and the brazing material is heated through a glass body 308 of the gas injection and vent tool for sealing the port 156.

Description

本発明は、大掛かりな設備を用いずに真空二重容器の真空引きを行なう真空引き兼封止方法、並びに、これに用いられる不活性なガスを注入するためのガス注入兼排気工具、及び、ろう付け排気工具に関する。   The present invention is a vacuuming and sealing method for evacuating a vacuum double container without using a large facility, a gas injection and exhaust tool for injecting an inert gas used in this, and The present invention relates to a brazing exhaust tool.

特許文献1には、魔法瓶の外瓶の外側面と内瓶の内側面とを不活性なガスに晒し、加熱しながら閉空間を真空にし、魔法瓶底面から突出するチップ管を封止することが記載されている。   In Patent Document 1, the outer surface of the outer bottle of the thermos bottle and the inner surface of the inner bottle are exposed to an inert gas, the closed space is evacuated while heating, and the tip tube protruding from the bottom of the thermos is sealed. Have been described.

特許文献2には、魔法瓶の内部空間を、加熱して真空にし、魔法瓶底面の凹箇所に設けられた排気孔を、金属板を用いて封止することが記載されている。魔法瓶底面の凹箇所に排気孔を設けることは、特許文献3にも記載されている。   Patent Document 2 describes that the inner space of the thermos is heated to be evacuated, and the exhaust holes provided in the concave portions on the bottom of the thermos are sealed using a metal plate. Providing an exhaust hole in the concave portion on the bottom of the thermos is also described in Patent Document 3.

特許文献4には、[加熱による吸着ガスの追い出し]→[不活性なガスの封入]→[不活性なガスの追い出し]という工程が記載されている。   Patent Document 4 describes a process of [purge of adsorbed gas by heating] → [enclosure of inert gas] → [purge of inert gas].

特開2004−065393号公報JP 2004-065393 A 特開2004−057675号公報Japanese Patent Laid-Open No. 2004-057675 特開平11−137451号公報JP-A-11-137451 特開2004−060852号公報Japanese Patent Application Laid-Open No. 2004-060852

発明者は、巨大な真空部屋の中に真空二重容器を配置して行われる一般的な真空引きの作業工程(特許文献1参照)に疑問を抱き、真空二重容器での真空引きを大掛かりな設備を用いずに手軽に実現したいと考えた。そして、以下のような新たな真空二重容器の真空引き兼封止の作業工程を想定した。
(1)真空二重容器(いわゆる魔法瓶)の容器外側底面に、内側にくぼむような凹みを設け、この凹みに真空引きのポートを設ける。
(2)真空二重容器の外瓶と内瓶との間の空間(閉空間)に水素等が入り込むと、真空二重容器の劣化の要因となる。そこで、アルゴン等の不活性なガスを注入し、閉空間内の水素等の気体分子を追い出すようにし、その後に、閉空間の真空引きを行なってポートを封止する。
The inventor has doubts about a general vacuuming operation process (see Patent Document 1) performed by arranging a vacuum double container in a huge vacuum chamber, and has a large vacuuming with a vacuum double container. We wanted to realize it easily without using any equipment. Then, a new vacuum double container evacuation and sealing operation process as described below was assumed.
(1) A hollow that is recessed inside is provided on the bottom surface of the outer side of the vacuum double container (so-called thermos), and a port for vacuuming is provided in this recess.
(2) When hydrogen or the like enters the space (closed space) between the outer bottle and the inner bottle of the vacuum double container, it causes deterioration of the vacuum double container. Therefore, an inert gas such as argon is injected to drive out gas molecules such as hydrogen in the closed space, and then the closed space is evacuated to seal the port.

ここで、大掛かりな設備を用いずに上記のような作業工程を進めるにあたり、ポートに対して、[1]不活性なガスを注入するための工具(ガス注入兼排気工具)、[2]真空引きのための工具(ろう付け排気工具)を手作業で着脱できるようにできるようなことが重要である。   Here, when proceeding with the above-described operation process without using a large-scale facility, [1] a tool for injecting an inert gas into the port (gas injection and exhaust tool), [2] vacuum It is important that the pulling tool (brazing exhaust tool) can be attached and detached manually.

本発明の目的は、大掛かりな設備を用いずに真空二重容器を真空引きし封止することである。   The object of the present invention is to evacuate and seal the vacuum double container without using large-scale equipment.

本発明の真空引き兼封止方法は、外瓶と内瓶とからなり、外瓶に設けられ内瓶側に凹んでいる凹部と、内瓶から離反する方向に凹部から突出する第1部分と内瓶から近づく方向に凹部から突出する第2部分との少なくともいずれかを有するポートと、ポートの内周面に形成される雌ネジ部とを有する真空二重容器に対して行なう真空引き兼封止方法であって、(a)ガス源が着脱自在に取り付けられる取付部と、前記ガス源からのガスが通過するガス流路とを含むガス噴出部と、(b)前記ポートの雌ネジ部に螺合自在の連結用雄ネジ部と、前記連結用雄ネジ部の端部から延びる通気路とを含むコネクタ部と、(c)前記ガス流路と前記通気路とが連通するように前記ガス噴出部と前記コネクタ部とを連結する操作部とを備えるガス注入兼排気工具を、前記ポートに取り付ける第1取付工程と、前記第1取付工程に続いて、前記ガス注入兼排気工具を介して前記真空二重容器を真空引きするとともに加熱するベーキング工程と、前記ベーキング工程に続いて、前記ガス注入兼排気工具を介して前記真空二重容器に不活性なガスを注入する注入工程と、前記注入工程に続いて、前記ガス注入兼排気工具を前記真空二重容器から取り外し、前記ポートにキャップ栓をするキャップ工程と、前記キャップ工程に続いて、前記凹部にろう材を配置し、(p)真空ポンプにより吸引するための吸引路と、(q)前記吸引路と前記ポートとを繋ぐ連絡路と、(r)前記連絡路と前記ポートとの連通する際の漏れを防ぐシール部と、(s)前記連絡路の外壁の一部を構成し、連絡路内に配置されたろう材を溶融させるための光を透過させる透光部とを備えるろう付け排気工具を、前記ポートに取り付ける第2取付工程と、前記第2取付工程に続いて、前記ガス注入兼排気工具を介して前記真空二重容器を真空引きする真空引き工程と、前記真空引き工程に続いて、前記ガス注入兼排気工具の透光部を通して前記ろう材を加熱し、前記ポートを封止するろう付け工程と、を備える。   The vacuum drawing and sealing method of the present invention comprises an outer bottle and an inner bottle, a recess provided on the outer bottle and recessed toward the inner bottle, and a first portion protruding from the recess in a direction away from the inner bottle. Vacuum evacuation and sealing for a vacuum double container having a port having at least one of a second portion protruding from the recess in a direction approaching the inner bottle and a female screw portion formed on the inner peripheral surface of the port (A) a gas ejecting portion including a mounting portion to which a gas source is detachably mounted, a gas flow passage through which gas from the gas source passes, and (b) a female screw portion of the port A connector part including a connecting male screw part that can be screwed to the connecting part, and a vent path extending from an end of the connecting male screw part, and (c) the gas flow path and the vent path communicate with each other. A gas injection / exhaust unit comprising a gas ejection part and an operation part for connecting the connector part. A first attachment step of attaching a tool to the port; a baking step of evacuating and heating the vacuum double container via the gas injection and exhaust tool following the first attachment step; and the baking step. Subsequently, an injecting step of injecting an inert gas into the vacuum double vessel through the gas injection / exhaust tool, and following the injection step, the gas injection / exhaust tool is removed from the vacuum double vessel. Removing and capping the port, and following the cap step, a brazing material is disposed in the recess, and (p) a suction path for suction by a vacuum pump; and (q) the suction path A communication path connecting the ports; (r) a seal portion that prevents leakage when the communication path communicates with the port; and (s) a part of an outer wall of the communication path, Arranged A brazing exhaust tool having a light transmitting portion for transmitting light for melting the brazing material, and a second mounting step for mounting the brazing exhaust tool on the port; and, following the second mounting step, via the gas injection and exhaust tool. A vacuuming step of evacuating the vacuum double container, and a brazing step of sealing the port by heating the brazing material through the light-transmitting part of the gas injection / exhaust tool following the vacuuming step. And comprising.

本発明のガス注入兼排気工具は、外瓶と内瓶とからなり、外瓶に設けられ内瓶側に凹んでいる凹部と、内瓶から離反する方向に凹部から突出する第1部分と内瓶から近づく方向に凹部から突出する第2部分との少なくともいずれかを有するポートと、ポートの内周面に形成される雌ネジ部とを有する真空二重容器に対して用いられるガス注入兼排気工具であって、ガス源が着脱自在に取り付けられる取付部と、前記ガス源からのガスが通過するガス流路とを含むガス噴出部と、前記ポートの雌ネジ部に螺合自在の連結用雄ネジ部と、前記連結用雄ネジ部の端部から延びる通気路とを含むコネクタ部と、前記ガス流路と前記通気路とが連通するように前記ガス噴出部と前記コネクタ部とを連結する操作部と、を備える。   The gas injection / exhaust tool of the present invention comprises an outer bottle and an inner bottle, a recess provided in the outer bottle and recessed toward the inner bottle, a first portion protruding from the recess in a direction away from the inner bottle, and an inner part Gas injection / exhaust gas used for a vacuum double container having a port having at least one of a second portion protruding from the recess in a direction approaching the bottle and a female screw portion formed on the inner peripheral surface of the port A tool for connecting a gas source to a detachable mounting portion, a gas ejection portion including a gas flow path through which gas from the gas source passes, and a threaded connection to the female thread portion of the port A connector part including a male screw part, a vent path extending from an end of the connecting male screw part, and the gas ejection part and the connector part are connected so that the gas flow path and the vent path communicate with each other. And an operation unit.

本発明のろう付け排気工具は、外瓶と内瓶とからなり、外瓶に設けられ内瓶側に凹んでいる凹部と、内瓶から離反する方向に凹部から突出する第1部分と内瓶から近づく方向に凹部から突出する第2部分との少なくともいずれかを有するポートと、ポートの内周面に形成される雌ネジ部とを有する真空二重容器に対して用いられるろう付け排気工具であって、真空ポンプにより吸引するための吸引路と、前記吸引路と前記ポートとを繋ぐ連絡路と、前記連絡路と前記ポートとの連通する際の漏れを防ぐシール部と、前記連絡路の外壁の一部を構成し、連絡路内に配置されたろう材を溶融させるための光を透過させる透光部と、を備える。   The brazing exhaust tool of the present invention comprises an outer bottle and an inner bottle, a recess provided in the outer bottle and recessed toward the inner bottle, a first portion protruding from the recess in a direction away from the inner bottle, and the inner bottle A brazing exhaust tool used for a vacuum double container having a port having at least one of a second portion protruding from a recess in a direction approaching from a concave portion and a female screw portion formed on an inner peripheral surface of the port A suction path for suction by a vacuum pump; a communication path connecting the suction path and the port; a seal portion for preventing leakage when the communication path and the port communicate with each other; and A translucent part that constitutes a part of the outer wall and transmits light for melting the brazing material disposed in the communication path.

本発明によれば、大掛かりな設備を用いずに真空二重容器を真空引きし封止することができる。   According to the present invention, the vacuum double container can be evacuated and sealed without using large-scale equipment.

ガス注入兼排気工具の正面図である。It is a front view of a gas injection and exhaust tool. ガス注入兼排気工具及び真空二重容器の断面図である。It is sectional drawing of a gas injection and exhaust tool and a vacuum double container. ガス噴出治具及び可動治具の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a gas ejection jig and a movable jig. コネクタ治具の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a connector jig. コネクタ治具を真空二重容器に取り付けた状態での断面図である。It is sectional drawing in the state which attached the connector jig to the vacuum double container. ガス噴出治具を真空二重容器に取り付けた状態での断面図である。It is sectional drawing in the state which attached the gas ejection jig to the vacuum double container. 真空引き工具の平面図である。It is a top view of a vacuum drawing tool. 図7のC−C線断面図である。It is CC sectional view taken on the line of FIG. ろう付け排気工具の分解斜視図である。It is a disassembled perspective view of a brazing exhaust tool. フランジ材の平面図である。It is a top view of a flange material. フランジ材を示す、図7のK矢視図である。It is a K arrow line view of FIG. 7 which shows a flange material. 蓋材の底面図である。It is a bottom view of a lid material. 真空引き兼封止システムの配管図である。It is a piping diagram of a vacuum drawing and sealing system. 真空引き兼封止方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the vacuum drawing and sealing method. 図14に続く、真空引き兼封止方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the vacuum drawing and sealing method following FIG. 図15に続く、真空引き兼封止方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the vacuum drawing and sealing method following FIG. 図16に続く、真空引き兼封止方法の流れを示すフローチャートである。It is a flowchart which shows the flow of the vacuum drawing and sealing method following FIG.

発明者が考えた、真空二重容器の真空引き兼封止の作業工程の概要は、以下のとおりである。
(1)真空二重容器(いわゆる魔法瓶)の容器外側底面に、内側にくぼむような凹みを設け、この凹みに真空引きのポートを設ける。
(2)真空二重容器の外瓶と内瓶との間の空間(閉空間)に水素等が入り込むと、真空二重容器の劣化の要因となる。そこで、アルゴン等の不活性なガスを注入し、閉空間内の水素等の気体分子を追い出すようにし、その後に、閉空間の真空引きを行なってポートを封止する。
The outline of the work process of the vacuum double container evacuation and sealing, which the inventor considered, is as follows.
(1) A hollow that is recessed inside is provided on the bottom surface of the outer side of the vacuum double container (so-called thermos), and a port for vacuuming is provided in this recess.
(2) When hydrogen or the like enters the space (closed space) between the outer bottle and the inner bottle of the vacuum double container, it causes deterioration of the vacuum double container. Therefore, an inert gas such as argon is injected to drive out gas molecules such as hydrogen in the closed space, and then the closed space is evacuated to seal the port.

発明者が考えた上記の作業工程では、ポートに対して、[1]不活性なガスを注入するための工具(ガス注入兼排気工具)、[2]真空引きのための工具(ろう付け排気工具)を手作業で着脱することになる。本実施の形態では、まず、概要を述べ、ガス注入兼排気工具101について述べ、次に、ろう付け排気工具301について述べ、最後に、ガス注入兼排気工具101及びろう付け排気工具301を用いた真空引き兼封止方法について述べる。   In the above-described work process considered by the inventor, [1] a tool for injecting an inert gas into the port (gas injection / exhaust tool), [2] a tool for vacuuming (brazing exhaust) Tool) is manually attached and detached. In this embodiment, first, the outline is described, the gas injection / exhaust tool 101 is described, the brazing exhaust tool 301 is described, and finally, the gas injection / exhaust tool 101 and the brazing exhaust tool 301 are used. A vacuuming and sealing method will be described.

実施の一形態を、図1ないし図17に基づいて説明する。   One embodiment will be described with reference to FIGS.

[概要]
まず、図1及び図2に基づいて、本実施の形態の概要を述べる。ここでは、真空二重容器151についても述べる。図1は、ガス注入兼排気工具101の正面図である。図2は、ガス注入兼排気工具101及び真空二重容器151の断面図である。真空二重容器151は、外瓶152と、この外瓶152内に収容された内瓶153とからなる。外瓶152や内瓶153は、一例として、SUS304のようなステンレス鋼から構成される。外瓶152と内瓶153とはそれぞれの口部(いずれも図示せず)が互いに接合されており、外瓶152と内瓶153との間に内部空間154が形成される。また、内瓶153の外周には、輻射防止用の銅箔(図示せず)が巻きつけられる。なお、内部空間154に、ゲッター材(図示せず)が配置される。
[Overview]
First, an outline of the present embodiment will be described based on FIG. 1 and FIG. Here, the vacuum double container 151 is also described. FIG. 1 is a front view of a gas injection / exhaust tool 101. FIG. 2 is a cross-sectional view of the gas injection / exhaust tool 101 and the vacuum double container 151. The vacuum double container 151 includes an outer bottle 152 and an inner bottle 153 accommodated in the outer bottle 152. For example, the outer bottle 152 and the inner bottle 153 are made of stainless steel such as SUS304. The outer bottle 152 and the inner bottle 153 are joined to each other (both not shown), and an internal space 154 is formed between the outer bottle 152 and the inner bottle 153. Further, a copper foil (not shown) for preventing radiation is wound around the outer periphery of the inner bottle 153. A getter material (not shown) is disposed in the internal space 154.

本実施の形態では、真空二重容器151は、その開口側(図示せず)を下側に向けて作業台等に載置され、真空二重容器151の底面154Aを上方に向けられる。外瓶152には、底面154Aから内瓶153側に凹んだ凹部155が設けられる。凹部155からは、真空二重容器151の外側に向けて、ポート156が突出する。ポート156の先端は、底面154Aのなす面よりも外側に突出していない。ポート156の内周面には、雌ネジ部157が設けられる。   In the present embodiment, the vacuum double container 151 is placed on a work table or the like with its opening side (not shown) facing downward, and the bottom surface 154A of the vacuum double container 151 is directed upward. The outer bottle 152 is provided with a recess 155 that is recessed from the bottom surface 154A toward the inner bottle 153 side. A port 156 protrudes from the recess 155 toward the outside of the vacuum double container 151. The tip of the port 156 does not protrude outward from the surface formed by the bottom surface 154A. A female screw portion 157 is provided on the inner peripheral surface of the port 156.

なお、別の実施の形態として、ポート156が、凹部155から真空二重容器151の内瓶153側に向けて内部空間154内に突出するようにしてもよい。   As another embodiment, the port 156 may protrude from the recess 155 into the internal space 154 toward the inner bottle 153 side of the vacuum double container 151.

さらに別の実施の形態として、ポート156が、凹部155から真空二重容器151の外側に向かう部分と、凹部155から真空二重容器151の内瓶153側に向けて内部空間154内に突出する部分とを有していても良い。   As yet another embodiment, the port 156 protrudes into the internal space 154 from the recess 155 toward the outside of the vacuum double container 151 and from the recess 155 toward the inner bottle 153 of the vacuum double container 151. And may have a portion.

本実施の形態では、このような真空二重容器151に対して、ガス注入兼排気工具101をポート156に取り付け、ガス注入兼排気工具101を介して真空二重容器151を真空引きするとともに加熱し(ベーキング工程)、ガス注入兼排気工具101を介して真空二重容器151に不活性なガスを注入し、ガス注入兼排気工具101を真空二重容器151から取り外してポート156にキャップ栓をし、凹部155にろう材を配置してろう付け排気工具301(図7等参照)をポート156に取り付け、ガス注入兼排気工具101を介して真空二重容器151を断熱効果を得るための所定の真空度となるまで真空引きし、ガス注入兼排気工具101のガラス体308を通してろう材を加熱しポート156を封止することにより、大掛かりな設備を用いずに真空二重容器を真空引きし封止する。このような工程の概要は、図13〜図17に基づいて後述する。   In this embodiment, the gas injection / exhaust tool 101 is attached to the port 156 for such a vacuum double container 151, and the vacuum double container 151 is evacuated and heated via the gas injection / exhaust tool 101. (Baking step), an inert gas is injected into the vacuum double container 151 via the gas injection / exhaust tool 101, the gas injection / exhaust tool 101 is removed from the vacuum double container 151, and a cap plug is attached to the port 156. Then, a brazing material is disposed in the recess 155 and a brazing exhaust tool 301 (see FIG. 7 and the like) is attached to the port 156, and a predetermined heat insulating effect is obtained for the vacuum double container 151 via the gas injection and exhaust tool 101. A vacuum is drawn until the degree of vacuum is reached, the brazing material is heated through the glass body 308 of the gas injection / exhaust tool 101, and the port 156 is sealed. Sealing Shi pulling vacuum of the vacuum double container without using equipment. The outline of such a process will be described later with reference to FIGS.

[ガス注入兼排気工具]
以下、図1〜図6に基づいて、ガス注入兼排気工具101について述べる。まず、図1及び図2を参照する。ガス注入兼排気工具101は、ベーキング工程(後述)に耐えうることができる程度に耐熱性を有した鉄、ニッケル、ステンレス鋼等の金属素材で形成される。ガス注入兼排気工具101は、ガス噴出部としてのガス噴出治具102と、コネクタ部としてのコネクタ治具103と、操作部としての可動治具104とを有する。また、ガス注入兼排気工具101を真空二重容器151のポートに連結するために、第1ガスケット105と、第2ガスケット106とが用いられる。第1ガスケット105及び第2ガスケット106は、いずれも、リング形状の平板である。第1ガスケット105及び第2ガスケット106は、無酸素銅で形成されることが好ましい。
[Gas injection and exhaust tool]
Hereinafter, the gas injection / exhaust tool 101 will be described with reference to FIGS. First, FIG. 1 and FIG. 2 will be referred to. The gas injection / exhaust tool 101 is formed of a metal material such as iron, nickel, and stainless steel having heat resistance to the extent that it can withstand a baking process (described later). The gas injection / exhaust tool 101 includes a gas ejection jig 102 as a gas ejection part, a connector jig 103 as a connector part, and a movable jig 104 as an operation part. Further, a first gasket 105 and a second gasket 106 are used to connect the gas injection / exhaust tool 101 to the port of the vacuum double container 151. The first gasket 105 and the second gasket 106 are both ring-shaped flat plates. The first gasket 105 and the second gasket 106 are preferably formed of oxygen-free copper.

図3は、ガス噴出治具102及び可動治具104の分解斜視図である。図1、図2及び図3を参照する。ガス噴出治具102は、治具本体111に封止部材112を溶接等により固定取付して構成される。   FIG. 3 is an exploded perspective view of the gas ejection jig 102 and the movable jig 104. Please refer to FIG. 1, FIG. 2 and FIG. The gas ejection jig 102 is configured by fixing and attaching a sealing member 112 to a jig body 111 by welding or the like.

治具本体111は、金属素材で形成される部材である。治具本体111は、長尺の円筒部113を有する。円筒部113の一方の端面からは、先細部114が突出する。円筒部113の他方の端面には、アルゴンガスや窒素、二酸化炭素等の不活性なガスのガス源(図13参照)を取り付けたり取り外したりすることができる取付部115が設けられる。
治具本体111には、取付部115と円筒部113と先細部114とのいずれをも貫通するように治具本体111の長さ方向に延びるガス流路116が形成される。ガス流路116の内径は、ボルト体121のボルト頭129(図4等参照)よりも大きいことが望ましい。また、封止部材112は、金属素材で形成され短筒形状をなす。封止部材112の内径は、円筒部113の外径と同じである。
The jig body 111 is a member formed of a metal material. The jig body 111 has a long cylindrical portion 113. A tapered portion 114 protrudes from one end surface of the cylindrical portion 113. The other end face of the cylindrical portion 113 is provided with a mounting portion 115 to which a gas source (see FIG. 13) of an inert gas such as argon gas, nitrogen or carbon dioxide can be attached or detached.
A gas flow path 116 extending in the length direction of the jig main body 111 is formed in the jig main body 111 so as to penetrate all of the attachment portion 115, the cylindrical portion 113, and the tapered portion 114. The inner diameter of the gas flow path 116 is preferably larger than the bolt head 129 (see FIG. 4 and the like) of the bolt body 121. Further, the sealing member 112 is formed of a metal material and has a short cylindrical shape. The inner diameter of the sealing member 112 is the same as the outer diameter of the cylindrical portion 113.

可動治具104は、金属の部材で形成され、短筒形状をなす。可動治具104の一方の端面には、円筒部113の外周に嵌り込む嵌合孔117を有してそれより外側を閉じる封止部118が形成される。可動治具104の他方の端面は嵌合孔117よりも大きく開口しており、可動治具104の内周には、円柱治具122の雄ネジ部123(図4も参照)に螺合する雌ネジ部119が形成される。円筒部113の外周には、円筒部113の長さ方向に延びる平面部120が、円筒部113を断面視で見たときに対称なる二箇所に設けられる。   The movable jig 104 is formed of a metal member and has a short cylindrical shape. On one end face of the movable jig 104, a sealing portion 118 having a fitting hole 117 that fits into the outer periphery of the cylindrical portion 113 and closing the outer side thereof is formed. The other end surface of the movable jig 104 is opened larger than the fitting hole 117, and the inner periphery of the movable jig 104 is screwed into the male screw portion 123 (see also FIG. 4) of the cylindrical jig 122. A female screw portion 119 is formed. On the outer periphery of the cylindrical portion 113, flat portions 120 extending in the length direction of the cylindrical portion 113 are provided at two symmetrical positions when the cylindrical portion 113 is viewed in a cross-sectional view.

ガス噴出治具102は、以下のようにして形成される。まず、可動治具104を嵌合孔117に円筒部113を嵌め込むことで、円筒部113の外周に位置付ける。続いて、封止部材112を、円筒部113の外周で先細部114側の端部に位置揃えされるように嵌挿させる。続いて、封止部材112と円筒部113とを溶接等により固定する。これにより、可動治具104は、円筒部113の長さ方向にスライド自在となり、さらに、円筒部113の周回り方向に回転自在となりつつも、取付部115と封止部材112とによって可動治具104から脱落しないようになる。ここに、封止部材112は、抜止部としての役割を果たす。   The gas ejection jig 102 is formed as follows. First, the movable jig 104 is positioned on the outer periphery of the cylindrical portion 113 by fitting the cylindrical portion 113 into the fitting hole 117. Subsequently, the sealing member 112 is fitted and inserted so as to be aligned with the end portion on the tapered portion 114 side on the outer periphery of the cylindrical portion 113. Subsequently, the sealing member 112 and the cylindrical portion 113 are fixed by welding or the like. As a result, the movable jig 104 is slidable in the length direction of the cylindrical portion 113, and is further rotatable in the circumferential direction of the cylindrical portion 113, but is movable by the mounting portion 115 and the sealing member 112. It will not fall out of 104. Here, the sealing member 112 serves as a retaining portion.

図4は、コネクタ治具103の分解斜視図である。図1、図2及び図4を参照する。コネクタ治具103は、ボルト体121を円柱治具122に組み付けて構成される。   FIG. 4 is an exploded perspective view of the connector jig 103. Please refer to FIG. 1, FIG. 2 and FIG. The connector jig 103 is configured by assembling a bolt body 121 to a cylindrical jig 122.

円柱治具122は、金属素材で形成され、円柱状をなし、縁部分が面取りされている。円柱治具122の外周には、可動治具104の雌ネジ部119が螺合する雄ネジ部123と、円柱治具122の長さ方向に延びる平面部124とが形成される。平面部124は、円柱治具122を断面視で見たときに対称なる二箇所に設けられる。円柱治具122の一方の端部には、ガス噴出治具102の先細部114(図3も参照)が入り込む第1挿入孔
125が形成される。第1挿入孔125には、第2ガスケット106(図2、図5、図6参照)やボルト体121も挿入される。また、円柱治具122の他方の端部には、真空二重容器151のポート156が入り込む第2挿入孔126が形成される。また、円柱治具122には、その軸芯に沿って、第1挿入孔125と第2挿入孔126とを貫通する雌ネジ孔127が設けられる。
The cylindrical jig 122 is made of a metal material, has a cylindrical shape, and has a chamfered edge portion. On the outer periphery of the cylindrical jig 122, a male screw part 123 into which the female screw part 119 of the movable jig 104 is screwed and a flat part 124 extending in the length direction of the cylindrical jig 122 are formed. The planar portion 124 is provided at two locations that are symmetrical when the cylindrical jig 122 is viewed in cross-section. A first insertion hole 125 into which the tapered portion 114 (see also FIG. 3) of the gas ejection jig 102 enters is formed at one end of the cylindrical jig 122. The second gasket 106 (see FIGS. 2, 5, and 6) and the bolt body 121 are also inserted into the first insertion hole 125. Further, a second insertion hole 126 into which the port 156 of the vacuum double container 151 enters is formed at the other end of the cylindrical jig 122. Further, the cylindrical jig 122 is provided with a female screw hole 127 that penetrates the first insertion hole 125 and the second insertion hole 126 along the axis.

ボルト体121は、円柱治具122の雌ネジ孔127に螺合するボルト軸128と、ボルト軸128の端部に位置するボルト頭129とを有する。ボルト頭129は、図4に示すように、短い円柱状をなしていてもよいが、短い角柱状(例えば、六角柱状)をなしていてもよい。ボルト頭129の端面には、六角レンチ(図示せず)を挿入させてボルト体121を雌ネジ孔127に螺合させるためのレンチ孔130が形成される。ボルト体121では、レンチ孔130からボルト軸128の軸芯に沿って延びボルト軸128の先端に開口する通気路131が設けられる。   The bolt body 121 includes a bolt shaft 128 that is screwed into the female screw hole 127 of the cylindrical jig 122, and a bolt head 129 that is positioned at the end of the bolt shaft 128. As shown in FIG. 4, the bolt head 129 may have a short column shape, but may have a short prismatic shape (for example, a hexagonal column shape). A wrench hole 130 for inserting a hexagon wrench (not shown) and screwing the bolt body 121 into the female screw hole 127 is formed on the end face of the bolt head 129. In the bolt body 121, an air passage 131 that extends from the wrench hole 130 along the axis of the bolt shaft 128 and opens at the tip of the bolt shaft 128 is provided.

コネクタ治具103は、平面部124の第1挿入孔125に、ボルト体121をボルト軸128側から挿入し、ボルト軸128を雌ネジ孔127に螺合させ、雌ネジ孔127の先端を円柱治具122の第2挿入孔126側の端面よりも外側に突出させる。ボルト体121を雌ネジ孔127に螺合させる際には、六角レンチ(図示せず)を第1挿入孔125から導入し、六角レンチの先端(図示せず)をレンチ孔130に嵌め込んで、六角レンチの把持部分(図示せず)を旋回させるようにする。この際、必ずしも、ボルト頭129を第1挿入孔125の内底面に接触させるまでボルト体121を締め込む必要はない。   In the connector jig 103, the bolt body 121 is inserted into the first insertion hole 125 of the flat surface portion 124 from the bolt shaft 128 side, the bolt shaft 128 is screwed into the female screw hole 127, and the tip of the female screw hole 127 is a cylinder. The jig 122 protrudes outward from the end surface on the second insertion hole 126 side. When screwing the bolt body 121 into the female screw hole 127, a hexagon wrench (not shown) is introduced from the first insertion hole 125, and the tip of the hexagon wrench (not shown) is fitted into the wrench hole 130. Rotate the gripping part (not shown) of the hexagon wrench. At this time, it is not always necessary to tighten the bolt body 121 until the bolt head 129 is brought into contact with the inner bottom surface of the first insertion hole 125.

以下、図5、図6及び図2に基づいて、ガス注入兼排気工具101を真空二重容器151に取り付ける手順を述べる。図5は、コネクタ治具103を真空二重容器151に取り付けた状態での断面図である。まず、作業者は、真空二重容器151を、その開口側(図示せず)を下側に向けて作業台等に載置し、凹部155を上方に位置付け、ポート156が上方に突出するようにする。続いて、作業者は、第1ガスケット105を凹部155に載置して、第1ガスケット105の内側にポート156が位置付けられるようにする。続いて、作業者は、円柱治具122から突出するボルト軸128の先端を、ポート156内の雌ネジ部157に螺合させる。ここに、ボルト軸128は、連結用雄ネジ部としての役割を果たす。このとき、作業者は、円柱治具122に設けられた二つの平面部124を手で挟み込むことにより、容易に円柱治具122を回転させることができる。   The procedure for attaching the gas injection / exhaust tool 101 to the vacuum double container 151 will be described below with reference to FIGS. FIG. 5 is a cross-sectional view of the connector jig 103 attached to the vacuum double container 151. First, the operator places the vacuum double container 151 on a work table or the like with the opening side (not shown) facing downward, positions the recess 155 upward, and the port 156 protrudes upward. To. Subsequently, the operator places the first gasket 105 in the recess 155 so that the port 156 is positioned inside the first gasket 105. Subsequently, the operator screws the tip of the bolt shaft 128 protruding from the cylindrical jig 122 into the female screw portion 157 in the port 156. Here, the bolt shaft 128 serves as a connecting male screw portion. At this time, the operator can easily rotate the cylindrical jig 122 by sandwiching the two flat portions 124 provided on the cylindrical jig 122 by hand.

図6は、ガス噴出治具102を真空二重容器151に取り付けた状態での断面図である。図5に示した状態に続いて、作業者は、第1挿入孔125の内周面とボルト頭129の外周面との間に形成された隙間S(図5参照)に、第2ガスケット106を配置する。第1挿入孔125は上方に開口しており、作業者は、第2ガスケット106を第1挿入孔125に投げ込めばよい。続いて、作業者は、可動治具104を手に持って先細部114と封止部材112とが露出するように可動治具104を上方に持ち上げ、円筒部113から突出する先細部114の先端を第1挿入孔125から挿入し、先細部114の端面を第2
ガスケット106に接触させる。これにより、第1ガスケット105は、凹部155の内
底面と円柱治具122の端面とに強固に挟まれる。
FIG. 6 is a cross-sectional view of the gas ejection jig 102 attached to the vacuum double container 151. Following the state shown in FIG. 5, the operator inserts the second gasket 106 into the gap S (see FIG. 5) formed between the inner peripheral surface of the first insertion hole 125 and the outer peripheral surface of the bolt head 129. Place. The first insertion hole 125 is opened upward, and the operator only has to throw the second gasket 106 into the first insertion hole 125. Subsequently, the operator holds the movable jig 104 in his hand and lifts the movable jig 104 upward so that the detail 114 and the sealing member 112 are exposed, and the tip of the detail 114 protrudes from the cylindrical portion 113. Is inserted from the first insertion hole 125, and the end surface of the tapered portion 114 is
Contact the gasket 106. Thereby, the first gasket 105 is firmly sandwiched between the inner bottom surface of the recess 155 and the end surface of the cylindrical jig 122.

再び、図2を参照する。図5に示した状態に続いて、作業者は、可動治具104を下方に動かして、雌ネジ部119を円柱治具122の雄ネジ部123に螺合させる。このとき、作業者は、可動治具104に設けられた二つの平面部120を手で挟み込むことにより、容易に可動治具104を回転させることができる。可動治具104が下方に動くと、可動治具104の内底面が封止部材112の上面を下方に押す。これに伴って、円筒部113は下方に動き、第2ガスケット106が第1挿入孔125の内底面と先細部114の端面との間に強固に挟まれる。   Reference is again made to FIG. Following the state shown in FIG. 5, the operator moves the movable jig 104 downward to screw the female screw part 119 into the male screw part 123 of the cylindrical jig 122. At this time, the operator can easily rotate the movable jig 104 by sandwiching the two flat portions 120 provided on the movable jig 104 by hand. When the movable jig 104 moves downward, the inner bottom surface of the movable jig 104 pushes the upper surface of the sealing member 112 downward. Along with this, the cylindrical portion 113 moves downward, and the second gasket 106 is firmly sandwiched between the inner bottom surface of the first insertion hole 125 and the end surface of the tapered detail 114.

以上に述べた手順を踏むことにより、ガス注入兼排気工具101は真空二重容器151に取り付けられ、ガス流路116と通気路131とポート156と真空二重容器151の内部空間154とがエア漏れすることなく連通する。   By following the procedure described above, the gas injection / exhaust tool 101 is attached to the vacuum double container 151, and the gas flow path 116, the vent path 131, the port 156, and the internal space 154 of the vacuum double container 151 are in the air. Communicate without leaking.

ガス注入兼排気工具101を真空二重容器151に取り付けた状態で、作業者が、真空二重容器151とガス注入兼排気工具101の一部分(例えば、コネクタ治具103、可動治具104、及び、円筒部113におけるコネクタ治具103側の部分)を加熱炉に入れ、真空ポンプ(図13参照)を駆動するとともに、真空二重容器151を加熱する(ベーキング工程)ことで、真空二重容器151の内部空間154の内部や、外瓶152や内瓶153での内部空間154側の内周面に含まれている水分や油分が、ポート156、通気路131、ガス流路116の順に通過して排出され、結果として、外瓶152や内瓶153での外側表面及び内部空間154側の内周面の酸化被膜形成を防止することができる
。その後、バルブ(図13参照)を切り替えて、ガス源(図13参照)からの不活性なガ
ス(例えば、アルゴンガス)を真空二重容器151の内部空間154内に送り込むことができる。
With the gas injection / exhaust tool 101 attached to the vacuum double container 151, the operator can use the vacuum double container 151 and a part of the gas injection / exhaust tool 101 (for example, the connector jig 103, the movable jig 104 The portion of the cylindrical portion 113 on the connector jig 103 side) is placed in a heating furnace, the vacuum pump (see FIG. 13) is driven, and the vacuum double container 151 is heated (baking process), thereby obtaining a vacuum double container. Moisture and oil contained in the inner space 154 of 151 and the inner peripheral surface of the outer bottle 152 and the inner bottle 153 on the inner space 154 side pass through the port 156, the air passage 131, and the gas passage 116 in this order. As a result, the formation of an oxide film on the outer surface of the outer bottle 152 and the inner bottle 153 and the inner peripheral surface on the inner space 154 side can be prevented. Thereafter, the valve (see FIG. 13) is switched, and an inert gas (for example, argon gas) from the gas source (see FIG. 13) can be sent into the internal space 154 of the vacuum double container 151.

このように、真空二重容器151のポート156の内周面に形成される雌ネジ部157に対してボルト体121のボルト軸128を螺合させることで、真空二重容器151での内部空間154の真空引きを行ったり、内部空間154に不活性なガスを送り込んだりすることが可能になる。   Thus, the internal space in the vacuum double container 151 is obtained by screwing the bolt shaft 128 of the bolt body 121 to the female screw portion 157 formed on the inner peripheral surface of the port 156 of the vacuum double container 151. It becomes possible to perform evacuation of 154 or to send an inert gas into the internal space 154.

なお、コネクタ治具103を真空二重容器151のポート156から取り外す際、作業者は、上記とは逆の手順で作業を進めることになる。即ち、可動治具104を回してコネクタ治具103から外し、可動治具104を上方に持ち上げ、その状態でコネクタ治具103を回してコネクタ治具103でのボルト軸128の先端をポート156の雌ネジ部157から外す。   In addition, when removing the connector jig | tool 103 from the port 156 of the vacuum double container 151, an operator will work by the procedure reverse to the above. That is, the movable jig 104 is turned to remove it from the connector jig 103, the movable jig 104 is lifted upward, and in this state, the connector jig 103 is turned so that the tip of the bolt shaft 128 in the connector jig 103 is connected to the port 156. Remove from the female screw portion 157.

[ろう付け排気工具]
以下、図7〜図12に基づいて、ろう付け排気工具301について述べる。図7は、ろう付け排気工具301の平面図である。図8は、図7のC−C線断面図である。図9は、ろう付け排気工具301の分解斜視図である。図10は、フランジ材303の平面図である。図11は、フランジ材303を示す、図7のK矢視図である。図12は、蓋材302の底面図である。
[Brazing exhaust tool]
Hereinafter, the brazing exhaust tool 301 will be described with reference to FIGS. FIG. 7 is a plan view of the brazing exhaust tool 301. 8 is a cross-sectional view taken along line CC in FIG. FIG. 9 is an exploded perspective view of the brazing exhaust tool 301. FIG. 10 is a plan view of the flange material 303. FIG. 11 is a view taken along the arrow K in FIG. FIG. 12 is a bottom view of the lid member 302.

ろう付け排気工具301は、蓋材302と、フランジ材303と、真空ノズル304と、第1冷却水ノズル305と、第2冷却水ノズル306と、シール部としての封止用Oリング307と、透光部としてのガラス体308と、シール材309とを有する。一例として、蓋材302とフランジ材303と、真空ノズル304と、第1冷却水ノズル305と、第2冷却水ノズル306とは、SUS304のステンレス鋼により形成される。   The brazing exhaust tool 301 includes a lid member 302, a flange member 303, a vacuum nozzle 304, a first cooling water nozzle 305, a second cooling water nozzle 306, a sealing O-ring 307 as a seal portion, A glass body 308 as a light transmitting portion and a sealing material 309 are included. As an example, the lid member 302, the flange member 303, the vacuum nozzle 304, the first cooling water nozzle 305, and the second cooling water nozzle 306 are made of stainless steel of SUS304.

図8、図9、図10及び図11を参照し、フランジ材303について説明する。フランジ材303は、円板状をなしている。フランジ材303の中心には、その上面311から下面312に向かうにつれて窄まるテーパ孔部313と、このテーパ孔部313の下端部から下面312に向けて円柱状に開口する円柱孔部314とが開口している。   The flange material 303 will be described with reference to FIGS. 8, 9, 10, and 11. The flange material 303 has a disk shape. At the center of the flange member 303, there are a tapered hole portion 313 that narrows from the upper surface 311 toward the lower surface 312 and a cylindrical hole portion 314 that opens in a cylindrical shape from the lower end portion of the tapered hole portion 313 toward the lower surface 312. It is open.

フランジ材303において、円柱孔部314の下縁からは、真空二重容器151の凹部155に嵌り込むリング状の係合部315が突出している。フランジ材303の下面312には、係合部315と同心円状に設けられるOリング溝316が設けられる。Oリング溝316には、封止用Oリング307が嵌め込まれる。封止用Oリング307は、一例として、フッ素化ゴムから形成される。   In the flange member 303, a ring-shaped engaging portion 315 that fits into the concave portion 155 of the vacuum double container 151 protrudes from the lower edge of the cylindrical hole portion 314. An O-ring groove 316 provided concentrically with the engaging portion 315 is provided on the lower surface 312 of the flange member 303. A sealing O-ring 307 is fitted into the O-ring groove 316. As an example, the sealing O-ring 307 is made of fluorinated rubber.

フランジ材303において、テーパ孔部313の中腹からは、吸引路317が、フランジ材303の側面に向かって上面311や下面312と平行に放射状に延びている。ここで、テーパ孔部313と円柱孔部314とは、特許請求の範囲で言うところの「連絡路」を構成する。そして、ガラス体308は、この連絡路の外壁の一部を構成することになる。   In the flange member 303, the suction path 317 extends radially from the middle of the tapered hole portion 313 toward the side surface of the flange member 303 in parallel with the upper surface 311 and the lower surface 312. Here, the tapered hole portion 313 and the cylindrical hole portion 314 constitute a “communication path” in the scope of claims. And the glass body 308 comprises a part of outer wall of this connection path.

フランジ材303の上面311には、段部318が形成されている。この段部318は、テーパ孔部313の上縁から円形の外側方向に少々の余白をリング状に残し、このリング状部分を下面312に段状に下がった形状をなしている。段部318には、平面視にてテーパ孔部313や円柱孔部314と同心円状に延びる、平面視「C」字状の流水溝319が設けられる。流水溝319は、吸引路317に連通していない。流水溝319の両端部のそれぞれからは、第1流水路320と第2流水路とが、フランジ材303の側面に向かって上面311や下面312と平行に放射状に延びている。   A step portion 318 is formed on the upper surface 311 of the flange member 303. The step portion 318 has a shape in which a small margin is left in a ring shape from the upper edge of the tapered hole portion 313 in a circular outer direction, and the ring-shaped portion is stepped down on the lower surface 312. The step portion 318 is provided with a “C” -shaped flowing water groove 319 extending concentrically with the tapered hole portion 313 and the cylindrical hole portion 314 in a plan view. The flowing water groove 319 does not communicate with the suction path 317. From both ends of the water flow groove 319, the first water flow channel 320 and the second water flow channel extend radially in parallel with the upper surface 311 and the lower surface 312 toward the side surface of the flange member 303.

図7、図8、図9、図10及び図11を参照し、真空ノズル304、第1冷却水ノズル305及び第2冷却水ノズル306について述べる。真空ノズル304は、筒状の部材である。真空ノズル304の一端側は先細となって、フランジ材303の側面に開口する吸引路317に連通するように溶接取付される。真空ノズル304の他端側には、雌ネジ部321が形成される。この雌ネジ部321には、真空引用パイプ(図示せず)が螺合取付される。第1冷却水ノズル305は、真空ノズル304と同様の構造を有し、筒状の部材であって、その一端側は先細となって、フランジ材303の側面に開口する第1流水路320に連通するように溶接取付され、他端側には雌ネジ部が形成される。第2冷却水ノズル306は、真空ノズル304や第1冷却水ノズル305と同様の構造を有し、筒状の部材であって、その一端側は先細となって、フランジ材303の側面に開口する雌ネジ部321に連通するように溶接取付され、他端側には雌ネジ部が形成される。   The vacuum nozzle 304, the first cooling water nozzle 305, and the second cooling water nozzle 306 will be described with reference to FIGS. 7, 8, 9, 10, and 11. FIG. The vacuum nozzle 304 is a cylindrical member. One end side of the vacuum nozzle 304 is tapered and welded so as to communicate with a suction path 317 opened on the side surface of the flange member 303. A female screw portion 321 is formed on the other end side of the vacuum nozzle 304. A vacuum quotation pipe (not shown) is screwed to the female thread portion 321. The first cooling water nozzle 305 has a structure similar to that of the vacuum nozzle 304, and is a cylindrical member. It is welded and attached so as to communicate, and a female screw portion is formed on the other end side. The second cooling water nozzle 306 has a structure similar to that of the vacuum nozzle 304 and the first cooling water nozzle 305 and is a cylindrical member having one end tapered and opened on the side surface of the flange member 303. A female screw portion 321 is welded and attached so as to communicate with the female screw portion 321, and a female screw portion is formed on the other end side.

図7、図8、図9及び図12を参照し、蓋材302について述べる。蓋材302は、リング状の平板である。蓋材302の下面322は、図8に示すように、フランジ材303の段部318に嵌り込む。蓋材302の下面322には、逃がし溝323が、フランジ材303の流水溝319の外周縁に沿うように延びている。逃がし溝323は、流水溝319を水が流れる際の空気の逃げ道等になる。   The lid member 302 will be described with reference to FIGS. 7, 8, 9, and 12. The lid member 302 is a ring-shaped flat plate. As shown in FIG. 8, the lower surface 322 of the lid member 302 is fitted into the step portion 318 of the flange member 303. On the lower surface 322 of the lid member 302, a relief groove 323 extends along the outer peripheral edge of the flowing water groove 319 of the flange member 303. The escape groove 323 serves as an air escape path when water flows through the water flow groove 319.

蓋材302の中心には、その上面324から下面322にかけて、円柱状に開口する中心孔部325が開口している。蓋材302の上面324には、円盤状のガラス体308が嵌り込むガラス嵌込部326が形成される。ガラス嵌込部326は、蓋材302の上面324よりも下面322側に落ち込んでおり、平面視において中心孔部325と同心円状に広がる。ガラス嵌込部326の外周には、下面322側に凹んで形成されるシール材溝327が設けられる。シール材溝327には、シール材309が嵌めこまれる。シール材309は、蓋材302とガラス嵌込部326に嵌挿されたガラス体308との間に挟まれる。シール材309は、一例として、フッ素化ゴムから形成される。   In the center of the lid member 302, a central hole 325 that opens in a columnar shape opens from the upper surface 324 to the lower surface 322 thereof. A glass fitting portion 326 into which the disk-shaped glass body 308 is fitted is formed on the upper surface 324 of the lid member 302. The glass fitting portion 326 falls to the lower surface 322 side from the upper surface 324 of the lid member 302 and expands concentrically with the center hole portion 325 in plan view. On the outer periphery of the glass fitting portion 326, a sealing material groove 327 formed to be recessed toward the lower surface 322 is provided. A sealing material 309 is fitted in the sealing material groove 327. The sealing material 309 is sandwiched between the lid member 302 and the glass body 308 inserted into the glass fitting portion 326. As an example, the sealing material 309 is made of fluorinated rubber.

ろう付け排気工具301は、フランジ材303の段部318と、蓋材302の下面322とを接しさせた状態で、蓋材302とフランジ材303とを溶接して結合することにより構成される。   The brazing exhaust tool 301 is configured by welding and joining the lid member 302 and the flange member 303 in a state where the step portion 318 of the flange member 303 and the lower surface 322 of the lid member 302 are in contact with each other.

以下、図8に基づいて、ろう付け排気工具301を用いて真空二重容器151のポート156をろう付けする手順を述べる。ろう付け作業の前提として、真空二重容器151では、図14〜図17に示される工程によって、真空二重容器151のポート156にキャップ栓(図15参照)が嵌められて不活性なガスがポート156から漏れ出さないようになっているものとする。また、ろう付け排気工具301の真空ノズル304の雌ネジ部321には、真空ポンプ(図示せず)に繋がるパイプ(図示せず)が、Oリング(図示せず)を介して螺合されているものとする。また、ろう付け排気工具301の第1冷却水ノズル305及び第2冷却水ノズル306のそれぞれには、流水ポンプ(図示せず)に繋がるパイプ(図示せず)が、シール材(図示せず)を介して螺合されているものとする。   The procedure for brazing the port 156 of the vacuum double container 151 using the brazing exhaust tool 301 will be described below with reference to FIG. As a premise of the brazing operation, in the vacuum double container 151, the cap plug (see FIG. 15) is fitted to the port 156 of the vacuum double container 151 by the process shown in FIGS. Assume that the port 156 does not leak. Further, a pipe (not shown) connected to a vacuum pump (not shown) is screwed to the female thread portion 321 of the vacuum nozzle 304 of the brazing exhaust tool 301 via an O-ring (not shown). It shall be. Each of the first cooling water nozzle 305 and the second cooling water nozzle 306 of the brazing exhaust tool 301 is provided with a pipe (not shown) connected to a running water pump (not shown) as a sealing material (not shown). It shall be screwed through.

作業者は、まず、真空二重容器151の凹部155にろう材(図16参照)を載置する。続いて、作業者は、真空二重容器151のポート156に嵌められているキャップ栓を取り外し、その直後に、ろう付け排気工具301の係合部315を真空二重容器151の凹部155に嵌め込み、封止用Oリング307を真空二重容器151の底面154Aに押しあてて、この状態で真空ポンプを駆動する。これにより、真空二重容器151の内部空間154内の不活性なガスが、ポート156、円柱孔部314、テーパ孔部313、吸引路317を通り、真空ノズル304を経て、真空ポンプに吸引される。ここで、封止用Oリング307は、円柱孔部314とポート156とを連通する際の漏れを防ぐ。吸引圧による負圧により、このとき、ガラス体308は、真空二重容器151側に強く吸い寄せられ、シール材309によるろう付け排気工具301の内外の密閉が確実になる。   The operator first places a brazing material (see FIG. 16) in the recess 155 of the vacuum double container 151. Subsequently, the operator removes the cap stopper fitted to the port 156 of the vacuum double container 151, and immediately after that, the engaging portion 315 of the brazing exhaust tool 301 is fitted into the recess 155 of the vacuum double container 151. Then, the sealing O-ring 307 is pressed against the bottom surface 154A of the vacuum double container 151, and the vacuum pump is driven in this state. As a result, the inert gas in the internal space 154 of the vacuum double container 151 passes through the port 156, the cylindrical hole 314, the tapered hole 313, and the suction path 317, and is sucked by the vacuum pump through the vacuum nozzle 304. The Here, the sealing O-ring 307 prevents leakage when the cylindrical hole portion 314 and the port 156 communicate with each other. At this time, due to the negative pressure due to the suction pressure, the glass body 308 is strongly sucked toward the vacuum double container 151 side, and the sealing inside and outside of the brazing exhaust tool 301 by the sealing material 309 is ensured.

続いて、作業者は、光源を用いて、光源からの光を、ガラス体308を通して、凹部155に載置されたろう材に当てる。光源には、近赤外線ヒーターの点集光タイプのものを用い、光源をろう材に照射することにより、ろう材が溶融し、ポートが封止される。このとき、作業者は、水流ポンプを駆動させて流水溝319内に流水を通過させる。これにより、蓋材302やフランジ材303、封止用Oリング307、ガラス体308、シール材309等の熔解や破損、さらには、ろう付け排気工具301が接する真空二重容器151(特にその外瓶152で凹部155の近傍)の熱による歪曲を防ぐことができる。   Subsequently, the worker uses the light source to apply light from the light source through the glass body 308 to the brazing material placed in the recess 155. A near-infrared heater point condensing type light source is used as the light source. By irradiating the brazing material with the light source, the brazing material is melted and the port is sealed. At this time, the operator drives the water flow pump to pass the running water through the water flow groove 319. As a result, the lid member 302, the flange member 303, the sealing O-ring 307, the glass body 308, the sealing material 309, etc. are melted or damaged, and further, the vacuum double container 151 (especially the outside thereof) to which the brazing exhaust tool 301 is in contact. The bottle 152 can prevent the heat distortion in the vicinity of the recess 155).

続いて、作業者は、ろう付け排気工具301を持ち上げてろう付け排気工具301を真空二重容器151から離反させる。   Subsequently, the operator lifts the brazing exhaust tool 301 and separates the brazing exhaust tool 301 from the vacuum double container 151.

真空二重容器151の内部空間154が不活性なガスで満たされた後では、作業者は、加熱炉(図13参照)の外でも、不活性なガスの真空引きの作業とポート156の封止の作業とを行なうことができ、しかもこれらを一度に行なうことができる。即ち、ベーキング工程を終え、ポート156がキャップ栓で閉じられている状態の真空二重容器151をろう付け排気工具301に取り付け、そこで真空ポンプ(図13参照)を駆動して真空二重容器151の内部空間154内の不活性なガス(例えば、アルゴンガス)を真空引きし、その後、真空ポンプを停止したりバルブ(図13参照)を閉じたりして、光源でろう材を溶融にすることで、ポート156を封止できる。その後、作業者は、真空二重容器151からろう付け排気工具301を取り外すことになる。   After the internal space 154 of the vacuum double container 151 is filled with the inert gas, the operator can perform the evacuation of the inert gas and seal the port 156 even outside the heating furnace (see FIG. 13). Can be performed at the same time, and these can be performed at once. That is, after the baking process is finished, the vacuum double container 151 with the port 156 closed by the cap stopper is attached to the brazing exhaust tool 301, and the vacuum pump (see FIG. 13) is driven there to drive the vacuum double container 151. An inert gas (for example, argon gas) in the internal space 154 is evacuated, and then the vacuum pump is stopped or the valve (see FIG. 13) is closed to melt the brazing material with the light source. Thus, the port 156 can be sealed. Thereafter, the operator removes the brazing exhaust tool 301 from the vacuum double container 151.

[真空引き兼封止方法]
これまでに述べたガス注入兼排気工具101及びろう付け排気工具301を用いて行なう真空二重容器151の真空引き兼封止方法について述べる。図13は、真空引き兼封止システムの配管図である。図14〜図17は、真空引き兼封止方法の流れを示すフローチャートである。図13において、ガス注入兼排気工具101は「ベーキング用真空排気工具」として示されることがあり、ろう付け排気工具301は「ろう付け用真空排気工具」として示されることがあり、真空二重容器151は「ワーク」として示されることがあり、光源は「集光ヒーター」として示されることがある。これらの表記は、図14〜図17でも用いられることがある。
[Vacuum and sealing method]
A method for evacuating and sealing the vacuum double container 151 using the gas injection / exhaust tool 101 and the brazing exhaust tool 301 described so far will be described. FIG. 13 is a piping diagram of the vacuuming and sealing system. 14 to 17 are flowcharts showing the flow of the vacuuming and sealing method. In FIG. 13, the gas injection and exhaust tool 101 may be shown as “baking vacuum exhaust tool”, and the brazing exhaust tool 301 may be shown as “brazing vacuum exhaust tool”. 151 may be indicated as “work” and the light source may be indicated as “collecting heater”. These notations may also be used in FIGS.

本実施の形態で述べる真空引き兼封止方法は、上述したような、外瓶152と内瓶15
3とからなり、外瓶152に設けられ内瓶153側に凹んでいる凹部155と、内瓶15
3から離反する方向に凹部155から突出するポート156と、ポート156の内周面に
形成される雌ネジ部157とを有する真空二重容器151に対して行なうものであり、
(A)ガス注入兼排気工具101を、ポート156に取り付ける工程(第1取付工程)と、
(B)第1取付工程に続いて、ガス注入兼排気工具101を介して真空二重容器151を真空引きするとともに加熱する工程(ベーキング工程)と、
(C)ベーキング工程に続いて、ガス注入兼排気工具101を介して真空二重容器151にアルゴンガス等の不活性なガスを注入する工程(注入工程)と、
(D)注入工程に続いて、ガス注入兼排気工具101を真空二重容器151から取り外し、ポート156にキャップ栓をする工程(キャップ工程)と、
(E)キャップ工程に続いて、凹部155にろう材を配置し、ろう付け排気工具301をポート156に取り付ける工程(第2取付工程)と、
(F)第2取付工程に続いて、ガス注入兼排気工具101を介して真空二重容器151を真空引きする工程(真空引き工程)と、
(G)真空引き工程に続いて、ガス注入兼排気工具101のガラス体308を通してろう材を加熱し、ポート156を封止する工程(ろう付け工程)と、
を含んでいる。真空引き兼封止方法の詳細は、図14〜図17に沿って示す。このような真空引き兼封止方法によれば、大掛かりな設備を用いずに真空二重容器を真空引きし封止することができる。
The vacuuming and sealing method described in the present embodiment is the same as described above for the outer bottle 152 and the inner bottle 15.
3, a recess 155 provided in the outer bottle 152 and recessed toward the inner bottle 153, and the inner bottle 15
3 is performed on the vacuum double container 151 having a port 156 protruding from the recess 155 in a direction away from 3, and a female screw portion 157 formed on the inner peripheral surface of the port 156.
(A) A step of attaching the gas injection / exhaust tool 101 to the port 156 (first attachment step);
(B) Subsequent to the first attachment step, the vacuum double vessel 151 is evacuated and heated via the gas injection and exhaust tool 101 (baking step);
(C) Subsequent to the baking step, a step of injecting an inert gas such as argon gas into the vacuum double container 151 via the gas injection and exhaust tool 101 (injection step);
(D) Following the injection step, the step of removing the gas injection and exhaust tool 101 from the vacuum double container 151 and plugging the port 156 with a cap (cap step);
(E) Subsequent to the cap step, a brazing material is disposed in the recess 155, and the brazing exhaust tool 301 is attached to the port 156 (second attaching step);
(F) Subsequent to the second attachment step, a step of evacuating the vacuum double container 151 via the gas injection and exhaust tool 101 (evacuation step);
(G) Following the evacuation step, the brazing material is heated through the glass body 308 of the gas injection and exhaust tool 101 to seal the port 156 (a brazing step);
Is included. Details of the vacuuming and sealing method are shown in FIGS. According to such a vacuuming and sealing method, the vacuum double container can be vacuumed and sealed without using a large-scale facility.

上記のような真空引き兼封止方法を想到するに至るまでの発明者の考え、及び、発明者が重視した考えを以下に述べる。   The idea of the inventor up to the idea of the vacuuming and sealing method as described above and the idea emphasized by the inventor will be described below.

発明者は、真空断熱の2重容器を作成するに当たり、構想の段階で目指したものが5つあった。一つ目は、封止ポートを再利用可能なものにすることであった。これは、小規模な会社・製造現場で完成する手前で不良品が多く出た場合に、修正対応可能な手段がないとコスト増や後処理増等の問題が生じる可能性がある為である。この点、本実施の形態では、ポートがネジ式になっているために、もし失敗しても同じかそれ以上大きいサイズのネジをろう材もろとも開けてしまえば不適合製品を修正することができる。   The inventor had five things aimed at the conception stage in creating a vacuum insulated double container. The first was to make the sealing port reusable. This is because if there are many defective products before completion at a small company / manufacturing site, there is a possibility that problems such as increased cost and increased post-processing may occur if there is no means that can handle corrections. . In this respect, in this embodiment, since the port is a screw type, even if it fails, if the same or larger size screw is opened together with the brazing material, the nonconforming product can be corrected. .

二つ目は、真空二重容器を多品種少量でも生産可能にすることであった。即ち、短時間で工具の脱着を行うことができ、且つワークの大きさや形状を問わずにベーキングしたり、封止したりできることが必要であった。通常は、炉の中に製品を入れてベーキング処理を行うが、もし製品の大きさが自由の女神のように巨大な大きさであっても、ラバーヒーターと断熱材さえ周囲に巻いてしまえば、真空断熱容器は作成可能となる。しかも、プロセスは全く同じままに作業が可能である。   The second was to make it possible to produce vacuum double containers even in small quantities of many varieties. That is, it was necessary to be able to attach and detach the tool in a short time and to be baked or sealed regardless of the size and shape of the workpiece. Normally, the product is placed in a furnace and baked, but even if the size of the product is enormous, like the Statue of Liberty, even if a rubber heater and insulation are wrapped around it A vacuum insulation container can be created. Moreover, it is possible to work while the process is exactly the same.

三つ目は、真空二重容器を、確実に高真空状態を維持した状態で封止できたかどうかを確認できるかということであった。通常、低真空で真空引きしたのちにゲッター材(内部に入れて加熱すると真空ポンプと同等の働きをするもので、例えば、気体を吸着するチタン、ジルコニウムなどの酸化化合物である)を入れ、内部の真空状態を維持することが行われる。この場合、真空断熱の性能を上げるためには封止段階での高真空状態を確認する必要がある。本実施の形態でも、ゲッターを使用するが、ゲッターの吸着する気体の量には限りがあるという実情から、本実施の形態では、封止段階での高真空状態を確認し、断熱性能・品質の向上を確認するようにしている。   The third was whether it could be confirmed whether or not the vacuum double container could be sealed in a state where the high vacuum state was reliably maintained. Usually, after vacuuming under a low vacuum, put the getter material (which works like a vacuum pump when heated in the interior, for example, an oxide compound such as titanium or zirconium that adsorbs gas) The vacuum state is maintained. In this case, in order to improve the performance of vacuum insulation, it is necessary to confirm a high vacuum state at the sealing stage. Even in this embodiment, a getter is used, but from the actual situation that the amount of gas adsorbed by the getter is limited, in this embodiment, a high vacuum state at the sealing stage is confirmed, and the heat insulation performance / quality is confirmed. We are trying to confirm the improvement.

四つ目は、高温環境下で、真空二重容器の性能を維持できるようにすることであり、その為の、封止するろう材の溶融温度が極力高温のものでも使用できる封止工具と、ろう付け時の高温で歪まない封止ポートとの検討であった。周知の通り、18−8ステンレスは、一度熱による歪が発生した場合、元の状態に修正することが非常に困難である。本実施の形態において、真空二重容器の封止ポートが凹凸構造になっていることの理由の1つは、封止ポート周辺がろう付け排気工具によってきちんと水冷され、歪みが発生しないようにするためである。理由の2つ目は、ろう付け排気工具と真空二重容器の真空を維持している封止用Oリング(フッ素化ゴム)に熱損傷を与えないためである。その為、ろう付け排気工具と真空二重容器の封止ポートはインローになっている。   The fourth is to make it possible to maintain the performance of the vacuum double container in a high-temperature environment. For this purpose, a sealing tool that can be used even when the melting temperature of the brazing filler metal is as high as possible. It was a study of a sealing port that does not distort at high temperatures during brazing. As is well known, 18-8 stainless steel is very difficult to correct to its original state once strain due to heat has occurred. In this embodiment, one of the reasons that the sealing port of the vacuum double container has an uneven structure is that the periphery of the sealing port is properly cooled with water by a brazing exhaust tool so that no distortion occurs. Because. The second reason is to prevent thermal damage to the brazing exhaust tool and the sealing O-ring (fluorinated rubber) that maintains the vacuum of the vacuum double container. Therefore, the sealing port of the brazing exhaust tool and the vacuum double container is inlay.

ろう付け排気工具に関しては、特開平10−295561号公報に記載の真空構造体の排気装置の有する、封止の際のシールパッキンが高温に耐えられずに、低い温度で溶融するろう材を選択する必要があるという課題を、本実施の形態のろう付け排気工具では、水冷により工具の温度を下げることができること、光の入射角に沿った形状をしていること(図16参照)で、高温で溶融するロウ材を使用できるように解決している。このことにより、本実施の形態の真空二重容器は、その所定温度以下の使用環境であれば、封止しているろう材が溶融することがなく、内部の温度を保温することができる。この点、将来、高温環境下に設置するデバイスを高温から保護するのに役に立つことが考えられる。   For the brazing exhaust tool, select the brazing material that melts at a low temperature because the seal packing of the vacuum structure exhaust device described in JP-A-10-295561 cannot withstand high temperatures. In the brazed exhaust tool of the present embodiment, it is necessary to reduce the temperature of the tool by water cooling, and the shape along the incident angle of light (see FIG. 16). The solution is to be able to use brazing material that melts at high temperatures. As a result, the vacuum double container according to the present embodiment can keep the internal temperature without melting the brazing material being sealed, if the use environment is below the predetermined temperature. In this regard, it may be useful to protect devices installed in high temperature environments from high temperatures in the future.

本実施の形態のろう付け排気工具は、水冷箇所が2重容器の外板と接触する構造になっており、熱による歪みを最小限に抑え、高温で溶融するろう材を使用できる。   The brazing exhaust tool according to the present embodiment has a structure in which the water-cooled portion is in contact with the outer plate of the double container, and a brazing material that melts at a high temperature can be used while minimizing distortion due to heat.

五つ目は、真空二重容器の封止ポートが、外側に出っ張らないようにすることであった。封止ポートは、真空二重容器の底面に位置するために、もし出っ張ってしまうと底面に全体を覆うカバーのようなものが必要になってしまう。というのも、出っ張り部分がコマの足、ヤジロベエの足のようになって、真空二重容器を安定して載置することができなくなってしまうからである。本実施の形態のように、ベーキング用排気工具(ガス注入兼排気工具)に中空のネジを使用することで、封止ポートにネジを作ることが出来れば容易に真空引きできる構造になっているが、その時は必ず封止ポートの上端が底面よりも凹でなければならない。本実施の形態では、ネジ部分が外側に凸になっているが、もちろん内側に凸にすることも可能である。   The fifth was to prevent the sealing port of the vacuum double container from protruding outward. Since the sealing port is located on the bottom surface of the vacuum double container, if it protrudes, a thing like a cover covering the entire bottom surface becomes necessary. This is because the protruding portion becomes like a leg of a frame or a leg of a heroine, and the vacuum double container cannot be stably placed. As in the present embodiment, by using a hollow screw for the baking exhaust tool (gas injection and exhaust tool), if the screw can be made in the sealing port, it can be easily evacuated. However, at that time, the upper end of the sealing port must be more concave than the bottom surface. In the present embodiment, the screw portion is convex outward, but of course, it can be convex inward.

発明者は、さらに、以下の点を主張する。本実施の形態では、真空二重容器の封止する手段として、ろう付けを採用している。ろう付けは、真空二重容器を封止する上で有利である。真空二重容器の封止方法としては、ろう付けの他に、溶接、ガスケットによる封止が考えられる。溶接では、封止ポートの構造が重要だが、コストが安く大量生産にも対応できる。真空炉の中で封止するのに最適といえる。ただし、多額の設備投資を要する。他方、ガスケットによる封止では、コストは安いが、真空漏れが頻発し信頼性に欠けるといえる。例えば、研究室などで使われる測定器などでは多く使われており、数年に一度は再度真空引きをする必要が出てくるという実情がある。この点、ろう付けによる封止では、封止ポートの構造が重要だが、コストが安く大量生産にも対応でき、真空炉の外で封止するのにも最適といえ、コストは高くならない。   The inventor further claims the following points. In the present embodiment, brazing is adopted as means for sealing the vacuum double container. Brazing is advantageous for sealing the vacuum double container. As a method for sealing the vacuum double container, in addition to brazing, sealing by welding or gasket is conceivable. In welding, the structure of the sealing port is important, but the cost is low and it can be used for mass production. It can be said that it is optimal for sealing in a vacuum furnace. However, a large amount of capital investment is required. On the other hand, sealing with a gasket is low in cost, but it can be said that vacuum leaks occur frequently and lacks reliability. For example, it is often used in measuring instruments used in laboratories and the like, and there is a situation that it is necessary to evacuate again once in several years. In this regard, the structure of the sealing port is important for sealing by brazing, but the cost is low, it can be used for mass production, and it is optimal for sealing outside the vacuum furnace, but the cost does not increase.

101 ガス注入兼排気工具
102 ガス噴出治具(ガス噴出部)
103 コネクタ治具(コネクタ部)
104 可動治具(操作部)
105 第1ガスケット
106 第2ガスケット
112 封止部材(抜止部)
115 取付部
116 ガス流路
119 雌ネジ部
123 雄ネジ部
128 ボルト軸(連結用雄ネジ部)
131 通気路
151 真空二重容器
152 外瓶
153 内瓶
154 内部空間
155 凹部
156 ポート
157 雌ネジ部
301 ろう付け排気工具
307 封止用Oリング(シール部)
308 ガラス体(透光部)
313 テーパ孔部(連絡路)
314 円柱孔部(連絡路)
317 吸引路
319 流水溝
101 Gas injection and exhaust tool 102 Gas injection jig (gas injection part)
103 Connector jig (connector part)
104 Movable jig (operation part)
105 1st gasket 106 2nd gasket 112 Sealing member (prevention part)
115 Attached part 116 Gas flow path 119 Female thread part 123 Male thread part 128 Bolt shaft (male thread part for connection)
131 Ventilation path 151 Vacuum double container 152 Outer bottle 153 Inner bottle 154 Internal space 155 Recess 156 Port 157 Female thread part 301 Brazing exhaust tool 307 O-ring for sealing (seal part)
308 Glass body (translucent part)
313 Tapered hole (communication path)
314 Cylindrical hole (communication path)
317 Suction channel 319 Flowing groove

Claims (2)

外瓶と内瓶とからなり、外瓶に設けられ内瓶側に凹んでいる凹部と、内瓶から離反する方向に凹部から突出する第1部分と内瓶から近づく方向に凹部から突出する第2部分との少なくともいずれかを有するポートと、ポートの内周面に形成される雌ネジ部とを有する真空二重容器に対して用いられるろう付け排気工具であって、
真空ポンプにより吸引するための吸引路と、
前記吸引路と前記ポートとを繋ぐ連絡路と、
前記連絡路と前記ポートとの連通する際の漏れを防ぐシール部と、
前記連絡路の外壁の一部を構成し、連絡路内に配置されたろう材を溶融させるための光を透過させる透光部と、
を備える、ろう付け排気工具。
The outer bottle and the inner bottle comprise a concave portion provided on the outer bottle and recessed toward the inner bottle, a first portion protruding from the concave portion in a direction away from the inner bottle, and a first portion protruding from the concave portion in a direction approaching the inner bottle. A brazing exhaust tool used for a vacuum double container having a port having at least one of two parts and a female screw part formed on an inner peripheral surface of the port,
A suction path for suction by a vacuum pump;
A communication path connecting the suction path and the port;
A seal portion for preventing leakage when communicating between the communication path and the port;
A part of the outer wall of the connecting path, and a light transmitting part that transmits light for melting the brazing material disposed in the connecting path;
A brazed exhaust tool.
前記連絡路の周囲に流水溝が形成される、
請求項1記載のろう付け排気工具。
A running water groove is formed around the communication path,
The brazed exhaust tool according to claim 1.
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