JP2015192141A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2015192141A5
JP2015192141A5 JP2014070942A JP2014070942A JP2015192141A5 JP 2015192141 A5 JP2015192141 A5 JP 2015192141A5 JP 2014070942 A JP2014070942 A JP 2014070942A JP 2014070942 A JP2014070942 A JP 2014070942A JP 2015192141 A5 JP2015192141 A5 JP 2015192141A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
gas
drying
injecting
air knife
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2014070942A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2015192141A (ja
JP6336801B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2014070942A priority Critical patent/JP6336801B2/ja
Priority claimed from JP2014070942A external-priority patent/JP6336801B2/ja
Publication of JP2015192141A publication Critical patent/JP2015192141A/ja
Publication of JP2015192141A5 publication Critical patent/JP2015192141A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6336801B2 publication Critical patent/JP6336801B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Description

本発明に係る基板乾燥装置は、洗浄後の搬送される基板にエアーナイフから気体を、当該基板の面に対して垂直方向から該基板の搬送方向下流側に傾斜された角度で噴射して、前記基板を乾燥させる基板乾燥装置であって、前記基板は、孔部が形成された基板であり、前記エアーナイフが配置された位置よりも前記基板の搬送方向下流側に、前記基板の少なくとも一方の面に向けて気体を噴射する気体噴射手段を有し、前記気体噴射手段は、前記エアーナイフとは異なる角度で気体を前記基板の前記孔部向けて噴射する構成となる。
本発明に係る基板乾燥方法は、洗浄後の搬送される基板にエアーナイフから気体を、当該基板の面に対して垂直方向から該基板の搬送方向下流側に傾斜された角度で噴射して、前記基板を乾燥させる基板乾燥方法であって、前記基板は、孔部が形成された基板であり、前記エアーナイフが配置された位置よりも前記基板の搬送方向の前方に設けた、前記基板の少なくとも一方の面に向けて気体を噴射する気体噴射手段により、前記エアーナイフとは異なる角度で気体を前記基板の前記孔部に噴射する気体噴射ステップを有する構成とすることができる。
次に、第の実施形態の変形例について図5を参照して説明する。図5に示すように、本変形例の基板乾燥装置61では、第2の実施形態に示すエアーナイフ33(34)が、さらに基板11の搬送方向(矢印14の示す方向)と直交する方向に対して、エアーナイフ33(34)の一端を中心に傾斜(傾斜角B度)した位置に配置されている(図示されないエアーナイフ34も同様)。なお、エアーナイフ33(34)の上記配置以外は第2の実施形態と同様の内容である。

Claims (7)

  1. 洗浄後の搬送される基板にエアーナイフから気体を、当該基板の面に対して垂直方向から該基板の搬送方向下流側に傾斜された角度で噴射して、前記基板を乾燥させる基板乾燥装置であって、
    前記基板は、孔部が形成された基板であり、
    前記エアーナイフが配置された位置よりも前記基板の搬送方向下流側に、前記基板の少なくとも一方の面に向けて気体を噴射する気体噴射手段を有し、
    前記気体噴射手段は、前記エアーナイフとは異なる角度で気体を前記基板の前記孔部向けて噴射することを特徴とする基板乾燥装置。
  2. 前記エアーナイフは平面上において前記基板の前記孔部に近い側の一端を中心に搬送方向下流側に傾斜するように設けられることを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
  3. 前記気体噴射手段は、前記基板の面の垂直方向から前記気体を噴射する請求項1または2に記載の基板乾燥装置。
  4. 前記気体噴射手段は、前記気体を前記基板に噴射するエアーブローノズルを有する請求項1乃至3のいずれかに記載の基板乾燥装置。
  5. 前記気体噴射手段は、前記基板の両面側にそれぞれ設けられる請求項1乃至のいずれかに記載の基板乾燥装置。
  6. 洗浄後の搬送される基板にエアーナイフから気体を、当該基板の面に対して垂直方向から該基板の搬送方向下流側に傾斜された角度で噴射して、前記基板を乾燥させる基板乾燥方法であって、
    前記基板は、孔部が形成された基板であり、
    前記エアーナイフが配置された位置よりも前記基板の搬送方向の前方に設けた、前記基板の少なくとも一方の面に向けて気体を噴射する気体噴射手段により、前記エアーナイフとは異なる角度で気体を前記基板の前記孔部に噴射する気体噴射ステップを有することを特徴とする基板乾燥方法。
  7. 前記気体噴射ステップは、前記基板の面に対して垂直方向から前記気体を噴射する請求項に記載の基板乾燥方法。
JP2014070942A 2014-03-31 2014-03-31 基板乾燥装置 Active JP6336801B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014070942A JP6336801B2 (ja) 2014-03-31 2014-03-31 基板乾燥装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014070942A JP6336801B2 (ja) 2014-03-31 2014-03-31 基板乾燥装置

Related Child Applications (2)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2015072055A Division JP2015198254A (ja) 2015-03-31 2015-03-31 基板処理装置
JP2018031759A Division JP6580177B2 (ja) 2018-02-26 2018-02-26 基板乾燥装置

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2015192141A JP2015192141A (ja) 2015-11-02
JP2015192141A5 true JP2015192141A5 (ja) 2017-03-09
JP6336801B2 JP6336801B2 (ja) 2018-06-06

Family

ID=54426378

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2014070942A Active JP6336801B2 (ja) 2014-03-31 2014-03-31 基板乾燥装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP6336801B2 (ja)

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN105605909B (zh) * 2016-01-15 2018-01-30 武汉华星光电技术有限公司 基板清洗方法
CN108339769A (zh) * 2018-01-16 2018-07-31 滁州佳宏光电有限公司 一种导光板除尘设备及其使用方法
CN108499955A (zh) * 2018-04-27 2018-09-07 江山海维科技有限公司 一种基于喷淋清洗技术的中草药用清洗装置
CN109396080B (zh) * 2018-12-24 2021-07-13 上海特雷通智能家居有限公司 一种家具板材干燥除尘装置
CN110976388A (zh) * 2019-12-27 2020-04-10 天津彗途环保科技有限公司 一种具有双层清洗结构的高压清洗机
CN111141129A (zh) * 2019-12-28 2020-05-12 天长市正牧铝业科技有限公司 一种棒球杆快速烘干装置
CN112207077A (zh) * 2020-09-22 2021-01-12 江西城桥复合材料有限公司 一种铜板的干燥清洁装置
CN112222079A (zh) * 2020-09-24 2021-01-15 合肥维信诺科技有限公司 一种清洗干燥系统及清洗干燥方法
CN112207070A (zh) * 2020-11-03 2021-01-12 韩静 一种建筑工程领域的建筑板材快速清污装置
CN112742798A (zh) * 2020-12-30 2021-05-04 泰州市博泰电子有限公司 一种线路板清洁装置

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3851370B2 (ja) * 1996-03-01 2006-11-29 大日本スクリーン製造株式会社 基板の液切り装置
JP3918401B2 (ja) * 1999-05-31 2007-05-23 株式会社日立ハイテクノロジーズ 基板乾燥装置及び乾燥方法、並びに基板の製造方法
JP3765568B2 (ja) * 2002-04-12 2006-04-12 株式会社都ローラー工業 基板の水分除去方法と水分除去装置
JP2005147621A (ja) * 2003-11-19 2005-06-09 Tokyo Kakoki Kk 基板材の乾燥装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2015192141A5 (ja)
JP6336801B2 (ja) 基板乾燥装置
JP2001050660A5 (ja)
JP2007141933A (ja) 基板乾燥装置及び基板処理方法
JP2018107466A (ja) 基板乾燥装置
JP2018509289A5 (ja)
KR101187882B1 (ko) 기판의 건조장치
JP2017154111A (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
JP2015231617A5 (ja) 基板処理装置及び基板処理方法
KR200443051Y1 (ko) 기판 건조용 에어 나이프
KR101996433B1 (ko) 박막 형성 장치 및 그것을 이용한 박막 형성 방법
JP2011054790A5 (ja)
JP5806702B2 (ja) クリーン機能を備えた板材切断装置
CN103552377A (zh) 喷墨印刷装置及涂覆配向膜的方法
JP6260187B2 (ja) 箱方向転換装置
JP2014207438A5 (ja)
JP2010100188A (ja) エアブロー装置
JP2019025386A (ja) 除水または除塵装置
JP2015085216A (ja) スチーム洗浄装置
JP2019136922A (ja) バリ除去装置およびバリ除去方法
KR101606132B1 (ko) 멀티홀 노즐 타입의 에어나이프 유닛
JP2019027620A (ja) 除水または除塵機
KR101647310B1 (ko) 슬릿 노즐 타입의 에어나이프 유닛
JP2019027780A (ja) 除水または除塵機
WO2018088520A1 (ja) フラックス塗布装置およびフラックス塗布方法