JP2015177655A - linear actuator - Google Patents

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裕士 北原
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正 武田
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a linear actuator in which resonance of a movable body can be effectively suppressed even when a magnetic driving mechanism is used for driving the movable body and a spring member is connected to the movable body.SOLUTION: A linear actuator 1 includes a stationary body 2, a movable body 6, a spring member 8 connected to the movable body 6 and the stationary body 2, and a magnetic driving mechanism 5 for driving the movable body 6 in a direction of an axial line L. Between the stationary body 2 and the movable body 6, gelatinous damper members 9 composed of silicone gel or the like are disposed at least at positions on the axial line L or at positions surrounding the axial line L. For example, the gelatinous damper members 9 are disposed at positions held between a base 4 that opposes the movable body 6 in the stationary body 2, and the movable body 6 in the direction of the axial line L. The gelatinous damper member 9 includes a first gelatinous damper member 91 which is positioned on the axial line L and a plurality of second gelatinous damper members 92 which are disposed so as to surround the axial line L.

Description

本発明は、磁気駆動機構を備えたリニアアクチュエータに関するものである。   The present invention relates to a linear actuator provided with a magnetic drive mechanism.

リニアアクチュエータとして、可動体としてのプランジャーを軸線方向に駆動するにあたって、コイルおよび永久磁石を備えた磁気駆動機構を設けるとともに、プランジャーと同軸状のコイルバネをプランジャーに当接させた構成が提案されている(特許文献1参照)。   As a linear actuator, when driving a plunger as a movable body in the axial direction, a magnetic drive mechanism equipped with a coil and a permanent magnet is provided, and a structure in which a plunger and a coaxial coil spring are in contact with the plunger is proposed. (See Patent Document 1).

特開2002−78310号公報JP 2002-78310 A

特許文献1に記載の構成のように、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、コイルバネを可動体に当接させた場合、可動体を往復移動させる周波数によっては、共振が発生し、可動体の動作を制御できなくなるという問題点がある。   As in the configuration described in Patent Document 1, when a magnetic drive mechanism is used to drive the movable body and the coil spring is brought into contact with the movable body, resonance occurs depending on the frequency at which the movable body is reciprocated. There is a problem that it becomes impossible to control the operation of the movable body.

以上の問題点に鑑みて、本発明の課題は、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、バネ部材を可動体に接続した場合でも、可動体の共振を効果的に抑制することのできるリニアアクチュエータを提供することにある。   In view of the above problems, an object of the present invention is to effectively suppress resonance of a movable body even when a magnetic drive mechanism is used to drive the movable body and a spring member is connected to the movable body. It is to provide a linear actuator that can be used.

上記課題を解決するために、本発明に係るリニアアクチュエータは、固定体と、可動体と、前記可動体と前記固定体とに接続され、前記固定体に対して前記可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、前記可動体を前記軸線方向に駆動する磁気駆動機構と、前記可動体の中心軸線上の位置、および前記中心軸線を囲む位置の少なくとも一方において前記固定体と前記可動体との間に配置されたゲル状ダンパー部材と、を有していることを特徴とする。   In order to solve the above problems, a linear actuator according to the present invention is connected to a fixed body, a movable body, the movable body and the fixed body, and moves the movable body in an axial direction relative to the fixed body. A spring member that supports the movable body, a magnetic drive mechanism that drives the movable body in the axial direction, a position on the central axis of the movable body, and a position that surrounds the central axis, and the fixed body and the movable body And a gel-like damper member disposed between the body and the body.

本発明では、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、バネ部材を可動体および固定体との間に接続してあるため、磁気駆動機構による推進力とバネ部材の付勢力とを利用して、可動体を軸線方向に駆動することができる。このような構成でも、本発明では、固定体と可動体との間にゲル状ダンパー部材が設けられているため、可動体の共振を抑制することができる。また、ゲル状ダンパー部材は、軸線上の位置、および軸線を囲む位置の少なくとも一方に設けられているため、可動体の共振を効果的に抑制することができる。   In the present invention, the magnetic drive mechanism is used to drive the movable body, and the spring member is connected between the movable body and the fixed body, so the propulsive force of the magnetic drive mechanism and the biasing force of the spring member are used. Thus, the movable body can be driven in the axial direction. Even with such a configuration, in the present invention, since the gel-like damper member is provided between the fixed body and the movable body, the resonance of the movable body can be suppressed. Moreover, since the gel-like damper member is provided in at least one of the position on the axis and the position surrounding the axis, the resonance of the movable body can be effectively suppressed.

本発明において、前記バネ部材は、前記固定体に連結された固定体側連結部と、前記可動体に連結された可動体側連結部と、前記固定体側連結部と前記可動体側連結部とに接続されたアーム部と、を備えた板状バネ部材であることが好ましい。かかる構成によれば、バネ部材が軸線方向で占める部位が狭く済む。   In the present invention, the spring member is connected to a stationary body side coupling portion coupled to the stationary body, a movable body side coupling portion coupled to the movable body, and the fixed body side coupling portion and the movable body side coupling portion. It is preferable that it is a plate-shaped spring member provided with the arm part. According to such a configuration, a portion occupied by the spring member in the axial direction can be narrowed.

本発明において、前記ゲル状ダンパー部材は、前記可動体および前記固定体の双方に接着固定されていることが好ましい。かかる構成によれば、可動体の移動に伴ってゲル状ダンパー部材が移動することを防止することができる。また、ゲル状ダンパー部材が設けられている部分において、可動体が固定体から離間する方向に移動した場合でも、かかる移
動に追従してゲル状ダンパー部材が変形し、可動体の共振を効果的に抑制することができる。
In the present invention, the gel-like damper member is preferably bonded and fixed to both the movable body and the fixed body. According to this structure, it can prevent that a gel-like damper member moves with the movement of a movable body. In addition, even when the movable body moves in a direction away from the fixed body in the portion where the gel-like damper member is provided, the gel-like damper member is deformed following the movement and effective resonance of the movable body is achieved. Can be suppressed.

本発明において、前記固定体は、前記可動体に対して前記軸線方向で対向する固定体側対向部を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記固定体側対向部と前記可動体との間に配置されている構成を採用することができる。   In the present invention, the fixed body includes a fixed body-side facing portion that faces the movable body in the axial direction, and the gel-like damper member includes a fixed body-side facing portion and the movable body in the axial direction. A configuration arranged in between can be employed.

本発明において、前記ゲル状ダンパー部材は、針入度が90度から110度であることが好ましい。かかる構成によれば、ゲル状ダンパー部材は、ダンパー機能を発揮するのに十分な弾性を有するとともに、ゲル状ダンパー部材が破断して飛散するような事態が発生しにくい。   In the present invention, the gel damper member preferably has a penetration of 90 to 110 degrees. According to this configuration, the gel-like damper member has sufficient elasticity to exhibit a damper function, and it is difficult for the gel-like damper member to break and scatter.

本発明において、前記可動体は、前記中心軸線上で前記固定体側対向部に向かって突出した軸部を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記軸部の前記固定体側対向部側の端面と前記固定体側対向部との間に配置されている構成を採用することができる。   In this invention, the said movable body is provided with the axial part which protruded toward the said stationary body side opposing part on the said center axis line, The said gel-like damper member is the said stationary body side opposing part side of the said axial part in the said axial direction. The structure arrange | positioned between the end surface of this and the said stationary body side opposing part is employable.

本発明において、前記可動体は、前記中心軸線上で前記固定体側対向部に向かって突出した軸部を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸部を囲むように配置されている構成を採用してもよい。   In the present invention, the movable body includes a shaft portion that protrudes toward the fixed body side facing portion on the central axis, and the gel-like damper member is disposed so as to surround the shaft portion. May be.

本発明において、前記可動体は、一方の端部によって前記軸部を構成するシャフトと、前記磁気駆動機構を構成し、前記シャフトが内側に嵌った中央穴が形成された永久磁石と、該永久磁石に前記軸線方向の一方側で当接する端板部および前記永久磁石を径方向外側で覆う筒部を備えたヨークと、該永久磁石の前記軸線方向の他方側で前記中央穴の周りに当接するワッシャと、を有し、前記シャフトは、前記軸線方向の一方側で前記端板部に溶接され、前記軸線方向の他方側で前記ワッシャと溶接されている構成を採用することができる。   In the present invention, the movable body includes a shaft that constitutes the shaft portion by one end portion, a permanent magnet that constitutes the magnetic drive mechanism, and has a central hole in which the shaft is fitted, and the permanent body. A yoke provided with an end plate that abuts on one side of the magnet in the axial direction and a cylindrical portion that covers the permanent magnet on the outer side in the radial direction, and the other side of the permanent magnet around the central hole. The shaft may be welded to the end plate portion on one side in the axial direction and welded to the washer on the other side in the axial direction.

本発明において、前記固定体は、前記中心軸線上で延在する支軸を備え、前記可動体は、前記中心軸線上で延在して前記支軸が内側に位置する軸穴を備え、前記ゲル状ダンパー部材は、前記支軸の外周面と前記軸穴の内周面との間に筒状に配置されている構成を採用してもよい。   In the present invention, the fixed body includes a support shaft that extends on the center axis, and the movable body includes a shaft hole that extends on the center axis and in which the support shaft is positioned inside, The gel-like damper member may adopt a configuration in which the gel-like damper member is arranged in a cylindrical shape between the outer peripheral surface of the support shaft and the inner peripheral surface of the shaft hole.

この場合、前記可動体は、前記軸穴を備えた筒状スリーブと、前記磁気駆動機構を構成し、前記筒状スリーブが内側に嵌った中央穴が形成された永久磁石と、該永久磁石に前記軸線方向の一方側で当接する端板部および前記永久磁石を径方向外側で覆う筒部を備えたヨークと、該永久磁石の前記軸線方向の他方側で前記中央穴の周りに当接するワッシャと、を有し、前記筒状スリーブは、前記軸線方向の一方側で前記端板部に溶接され、前記軸線方向の他方側で前記ワッシャと溶接されている構成を採用することができる。   In this case, the movable body includes a cylindrical sleeve provided with the shaft hole, a permanent magnet that forms the magnetic drive mechanism, and a central hole in which the cylindrical sleeve is fitted, and the permanent magnet. A yoke having an end plate portion that abuts on one side in the axial direction and a cylindrical portion that covers the permanent magnet on the outer side in the radial direction, and a washer that abuts around the central hole on the other side in the axial direction of the permanent magnet The cylindrical sleeve may be welded to the end plate portion on one side in the axial direction and welded to the washer on the other side in the axial direction.

本発明において、前記ゲル状ダンパー部材は、例えば、シリコーンゲルからなる。   In the present invention, the gel damper member is made of, for example, a silicone gel.

本発明では、可動体の駆動に磁気駆動機構を用い、かつ、バネ部材を可動体および固定体との間に接続してあるため、磁気駆動機構による推進力とバネ部材の付勢力とを利用して、可動体を軸線方向に駆動することができる。このような構成でも、本形態では、固定体と可動体との間にゲル状ダンパー部材が設けられているため、可動体の共振を抑制することができる。また、ゲル状ダンパー部材は、軸線上の位置、および軸線を囲む位置の少なくとも一方に設けられているため、可動体の共振を効果的に抑制することができる。   In the present invention, the magnetic drive mechanism is used to drive the movable body, and the spring member is connected between the movable body and the fixed body, so the propulsive force of the magnetic drive mechanism and the biasing force of the spring member are used. Thus, the movable body can be driven in the axial direction. Even with such a configuration, in this embodiment, since the gel-like damper member is provided between the fixed body and the movable body, the resonance of the movable body can be suppressed. Moreover, since the gel-like damper member is provided in at least one of the position on the axis and the position surrounding the axis, the resonance of the movable body can be effectively suppressed.

本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの説明図である。It is explanatory drawing of the linear actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which decomposed | disassembled finely the linear actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the linear actuator which concerns on Embodiment 1 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの説明図である。It is explanatory drawing of the linear actuator which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。It is the disassembled perspective view which decomposed | disassembled finely the linear actuator which concerns on Embodiment 2 of this invention. 本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの断面図である。It is sectional drawing of the linear actuator which concerns on Embodiment 2 of this invention.

図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。なお、以下の説明において、軸線Lとは可動体6の中心軸線であり、軸線Lは可動体6の重心を通っている。また、以下の説明では、軸線Lが延在する方向(軸線方向)において、可動体6が位置する側を一方側L1とし、固定体2のベース4が位置する側を他方側L2として説明する。   Embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings. In the following description, the axis L is the central axis of the movable body 6, and the axis L passes through the center of gravity of the movable body 6. Moreover, in the following description, in the direction (axial direction) in which the axis L extends, the side on which the movable body 6 is positioned is described as one side L1, and the side on which the base 4 of the fixed body 2 is positioned is described as the other side L2. .

[実施の形態1]
(全体構成)
図1は、本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの説明図であり、図1(a)、(b)は、リニアアクチュエータの斜視図、およびリニアアクチュエータの分解斜視図である。図2は、本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。図3は、本発明の実施の形態1に係るリニアアクチュエータの断面図である。
[Embodiment 1]
(overall structure)
FIG. 1 is an explanatory diagram of a linear actuator according to Embodiment 1 of the present invention, and FIGS. 1A and 1B are a perspective view of the linear actuator and an exploded perspective view of the linear actuator. FIG. 2 is an exploded perspective view in which the linear actuator according to Embodiment 1 of the present invention is finely disassembled. FIG. 3 is a cross-sectional view of the linear actuator according to Embodiment 1 of the present invention.

図1、図2および図3に示すように、本形態のリニアアクチュエータ1は、固定体2と、可動体6と、可動体6と固定体2とに接続されたバネ部材8とを有しており、バネ部材8は、固定体2に対して可動体6を軸線L方向に移動可能に支持している。また、リニアアクチュエータ1は、可動体6を軸線L方向に駆動する磁気駆動機構5を有している。   As shown in FIGS. 1, 2, and 3, the linear actuator 1 of this embodiment includes a fixed body 2, a movable body 6, and a spring member 8 connected to the movable body 6 and the fixed body 2. The spring member 8 supports the movable body 6 so as to be movable in the direction of the axis L with respect to the fixed body 2. The linear actuator 1 has a magnetic drive mechanism 5 that drives the movable body 6 in the direction of the axis L.

(固定体2の構成)
固定体2は、磁気駆動機構5を構成するコイル51が巻回されたコイルボビン3と、軸線L方向の他方側L2(図では下側)でコイルボビン3を保持するベース4とを有している。コイルボビン3は、コイル51が巻回された円筒状の胴部31と、胴部31の両側で拡径するフランジ部32、33と、胴部31から連続してフランジ部33よりベース4が位置する側に向けて突出した突出部35とを備えており、コイルボビン3は、突出部35を介してベース4に連結されている。突出部35には、コイル51の端部が絡げられた端子部361、362が形成されており、端子部361、362において、コイル51の端部が配線基板29に接続されている。
(Configuration of fixed body 2)
The fixed body 2 includes a coil bobbin 3 around which a coil 51 constituting the magnetic drive mechanism 5 is wound, and a base 4 that holds the coil bobbin 3 on the other side L2 in the axis L direction (lower side in the drawing). . The coil bobbin 3 includes a cylindrical body portion 31 around which the coil 51 is wound, flange portions 32 and 33 that are enlarged on both sides of the body portion 31, and a base 4 positioned at the flange portion 33 continuously from the body portion 31. The coil bobbin 3 is connected to the base 4 via the protruding portion 35. Terminal portions 361 and 362 in which end portions of the coil 51 are entangled are formed on the protruding portion 35, and the end portions of the coil 51 are connected to the wiring substrate 29 in the terminal portions 361 and 362.

ベース4は、略円盤状であり、配線基板29が配置される切り欠き49が形成されている。ベース4の軸線L方向の一方側L1(図では上側)の面には、軸線L上に位置する中央に円形の第1凹部41が形成されているとともに、軸線Lを囲むように第2凹部42が形成されている。本形態において、第2凹部42は、軸線Lを囲むように周方向の3箇所に等角度間隔に形成されており、3つの第2凹部42は、軸線Lからの距離(第1凹部41からの距離)が等しい。   The base 4 has a substantially disk shape, and has a notch 49 in which the wiring substrate 29 is disposed. A circular first recess 41 is formed in the center of the base 4 on the one side L1 (upper side in the figure) in the direction of the axis L, and the second recess is formed so as to surround the axis L. 42 is formed. In this embodiment, the second recesses 42 are formed at equiangular intervals at three circumferential positions so as to surround the axis L, and the three second recesses 42 are separated from the axis L (from the first recess 41). Are equal).

かかる第1凹部41および第2凹部42は、後述するゲル状ダンパー部材9(第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92)を配置するための凹部である。   The first recess 41 and the second recess 42 are recesses for arranging gel-like damper members 9 (first gel-like damper member 91 and second gel-like damper member 92) described later.

(可動体6の構成)
可動体6は、磁気駆動機構5を構成する永久磁石53の中央穴530に嵌ったシャフト63と、永久磁石53を覆うヨーク67とを有しており、シャフト63は、可動体6の中心軸線(軸線L)上で軸線L方向に延在している。ヨーク67は、軸線L方向の一方側L1で永久磁石53に当接する円板状の端板部671と、端板部671の外縁から軸線L方向の他方側L2に延在する円筒状の筒部672とを有しており、筒部672は、永久磁石53の外周面に所定の間隔をあけて永久磁石53を径方向外側で覆っている。本形態において、可動体6は、筒部672の内周面および端板部671の軸線L方向の他方側L2に接着等の方法で固定された円環状のスペーサ65を有している。
(Configuration of movable body 6)
The movable body 6 includes a shaft 63 fitted in the central hole 530 of the permanent magnet 53 that constitutes the magnetic drive mechanism 5, and a yoke 67 that covers the permanent magnet 53, and the shaft 63 is a central axis of the movable body 6. It extends in the direction of the axis L on (axis L). The yoke 67 has a disk-shaped end plate portion 671 that contacts the permanent magnet 53 on one side L1 in the axis L direction, and a cylindrical tube that extends from the outer edge of the end plate portion 671 to the other side L2 in the axis L direction. The cylindrical portion 672 covers the outer periphery of the permanent magnet 53 at a predetermined interval and covers the permanent magnet 53 on the outer side in the radial direction. In this embodiment, the movable body 6 has an annular spacer 65 fixed to the inner peripheral surface of the cylindrical portion 672 and the other side L2 of the end plate portion 671 in the axis L direction by a method such as adhesion.

ヨーク67の端板部671の中央には、軸線L方向の他方側L2に凹んだ円形の凹部674が形成され、かかる凹部674の中央には穴675が形成されている。   At the center of the end plate portion 671 of the yoke 67, a circular recess 674 is formed that is recessed on the other side L2 in the axis L direction, and a hole 675 is formed at the center of the recess 674.

本形態では、シャフト63の軸線L方向の一方側L1の端部は、穴675に嵌った状態で周方向の複数個所S1で溶接され、かかる溶接によって、シャフト63とヨーク67とが連結されている。   In this embodiment, the end portion on one side L1 in the axis L direction of the shaft 63 is welded at a plurality of circumferential positions S1 while being fitted in the hole 675, and the shaft 63 and the yoke 67 are connected by such welding. Yes.

また、可動体6は、永久磁石53の軸線L方向の他方側L2で中央穴530の周りに当接するワッシャ66を有しており、シャフト63の軸線L方向の他方側L2の端部は、周方向の複数個所S2でワッシャ66の軸線L方向の他方側L2の面と溶接されている。その結果、永久磁石53は、ワッシャ66とヨーク67の端板部671との間に固定されている。   Further, the movable body 6 has a washer 66 that abuts around the central hole 530 on the other side L2 of the permanent magnet 53 in the axis L direction, and an end portion of the other side L2 of the shaft 63 in the axis L direction is The washer 66 is welded to the surface L2 on the other side L2 in the axis L direction at a plurality of circumferential positions S2. As a result, the permanent magnet 53 is fixed between the washer 66 and the end plate portion 671 of the yoke 67.

本形態において、永久磁石53は、軸線L方向において円板状のコア538を両側から挟む2つの磁石片531、532からなる。   In the present embodiment, the permanent magnet 53 includes two magnet pieces 531 and 532 that sandwich the disk-shaped core 538 from both sides in the direction of the axis L.

可動体6は、軸線L方向の他方側L2の端部にカバー61を有している。カバー61は、円形の底板部611と、底板部611の外縁から軸線L方向の一方側L1に突出した側板部612とを有している。底板部611は、コイルボビン3のフランジ部33と、ベース4との間に位置する。このため、底板部611には、コイルボビン3の突出部35を軸線L方向の一方側L1に突出させる開口部613が形成されている。また、底板部611には、ベース4の第2凹部42と重なる3個所に凹部614が形成されている。   The movable body 6 has a cover 61 at the end of the other side L2 in the axis L direction. The cover 61 includes a circular bottom plate portion 611 and a side plate portion 612 protruding from the outer edge of the bottom plate portion 611 to one side L1 in the axis L direction. The bottom plate portion 611 is located between the flange portion 33 of the coil bobbin 3 and the base 4. For this reason, the bottom plate portion 611 is formed with an opening 613 for projecting the projecting portion 35 of the coil bobbin 3 to one side L1 in the axis L direction. In addition, the bottom plate portion 611 has recesses 614 formed at three locations overlapping the second recess 42 of the base 4.

(バネ部材8の構成)
バネ部材8は、固定体2に連結された固定体側連結部81と、可動体6に連結された可動体側連結部82と、固定体側連結部81と可動体側連結部82とに接続された複数本のアーム部83とを備えた板状バネ部材である。本形態において、可動体側連結部82は、円環状であり、固定体側連結部81およびアーム部83より径方向外側に位置する。固定体側連結部81は、周方向で3つに分割されており、3つの固定体側連結部81の各々からアーム部83が延在している。かかる3つの固定体側連結部81はいずれも、コイルボビン3のフランジ部33の軸線L方向の他方側L2の面に接着や溶接等の方法により連結されている。
(Configuration of the spring member 8)
The spring member 8 includes a fixed body side connecting portion 81 connected to the fixed body 2, a movable body side connecting portion 82 connected to the movable body 6, and a plurality of spring members 8 connected to the fixed body side connecting portion 81 and the movable body side connecting portion 82. It is a plate-like spring member provided with an arm portion 83. In the present embodiment, the movable body side connecting portion 82 has an annular shape and is positioned on the radially outer side from the fixed body side connecting portion 81 and the arm portion 83. The fixed body side connecting portion 81 is divided into three in the circumferential direction, and an arm portion 83 extends from each of the three fixed body side connecting portions 81. All of these three fixed body side connecting portions 81 are connected to the surface of the other side L2 of the flange portion 33 of the coil bobbin 3 in the direction of the axis L by a method such as adhesion or welding.

本形態において、可動体側連結部82は、カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672との間に挟まれており、周方向の複数個所S3での溶接により、カバー61およびヨーク67に連結されている。   In this embodiment, the movable body side connecting portion 82 is sandwiched between the side plate portion 612 of the cover 61 and the cylindrical portion 672 of the yoke 67, and is welded to the cover 61 and the yoke 67 by welding at a plurality of circumferential locations S3. It is connected.

カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672とを溶接して結合した状態で、シャフト63の軸線L方向の他方側L2の端部は、可動体6(カバー61)から軸線L方向の他方側L2(ベース4の側)に突出する軸部631を構成し、軸部631の軸線L方向
の他方側L2の端面630(ベース4側の端面630)は、ベース4の第1凹部41に対して軸線L方向の一方側L1で対向する。
In a state in which the side plate portion 612 of the cover 61 and the cylindrical portion 672 of the yoke 67 are joined by welding, the end portion on the other side L2 of the shaft 63 in the axis L direction extends from the movable body 6 (cover 61) in the axis L direction. A shaft portion 631 that protrudes to the other side L2 (base 4 side) is configured, and the end surface 630 on the other side L2 in the axis L direction of the shaft portion 631 (end surface 630 on the base 4 side) is the first recess 41 of the base 4. Is opposed to one side L1 in the axis L direction.

(ゲル状ダンパー部材9の構成)
本形態のリニアアクチュエータ1において、軸線L上の位置、および軸線Lを囲む位置の少なくとも一方において固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。本形態においては、軸線L上の位置、および軸線Lを囲む位置の双方において固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。
(Configuration of Gel Damper Member 9)
In the linear actuator 1 of this embodiment, a gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at least one of a position on the axis L and a position surrounding the axis L. In this embodiment, the gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at both the position on the axis L and the position surrounding the axis L.

より具体的には、固定体2において、ベース4は、可動体6に対して軸線L方向の他方側L2で対向する固定体側対向部になっており、軸線L方向において、ベース4と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。   More specifically, in the fixed body 2, the base 4 is a fixed body side facing portion that faces the movable body 6 on the other side L <b> 2 in the direction of the axis L, and the base 4 and the movable body in the direction of the axis L A gel-like damper member 9 is arranged between the two.

本形態においては、まず、ベース4の第1凹部41には、ゲル状ダンパー部材9として、円柱状の第1ゲル状ダンパー部材91が配置されており、かかる第1ゲル状ダンパー部材91は、軸線L上で可動体6から突出するシャフト63の軸部631の端面630とベース4との間に位置する。第1ゲル状ダンパー部材91は、軸線L方向の一方側L1の面がシャフト63の端面630に接着剤により固定され、他方側L2の面は、ベース4の第1凹部41の底部に接着剤により固定されている。   In this embodiment, first, a columnar first gel-like damper member 91 is arranged as the gel-like damper member 9 in the first recess 41 of the base 4, and the first gel-like damper member 91 is It is located between the end surface 630 of the shaft portion 631 of the shaft 63 protruding from the movable body 6 on the axis L and the base 4. The first gel-like damper member 91 has a surface on one side L1 in the direction of the axis L fixed to the end surface 630 of the shaft 63 with an adhesive, and the surface on the other side L2 is adhesive on the bottom of the first recess 41 of the base 4 It is fixed by.

また、ベース4の3つの第2凹部42には、ゲル状ダンパー部材9として、円柱状の第2ゲル状ダンパー部材92が各々、配置されており、第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L方向において、可動体6のカバー61とベース4との間に位置する。   Further, cylindrical second gel-like damper members 92 are arranged as gel-like damper members 9 in the three second recesses 42 of the base 4, respectively, and the second gel-like damper member 92 has an axis L It is located between the cover 61 and the base 4 of the movable body 6 in the direction.

かかる第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線Lを囲むように配置されている。より具体的には、ベース4の第2凹部42は、軸線L周りの3個所に形成されており、第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L周りの3個所に配置されている。第2ゲル状ダンパー部材92は、軸線L方向の一方側L1の面がカバー61において凹部614が形成されている箇所の裏面側に接着され、他方側L2の面は、ベース4の第2凹部42の底部に接着されている。   The second gel damper member 92 is disposed so as to surround the axis L. More specifically, the second recesses 42 of the base 4 are formed at three places around the axis L, and the second gel-like damper members 92 are arranged at three places around the axis L. The second gel-like damper member 92 is bonded to the back surface of the portion where the concave portion 614 is formed in the cover 61 on the one side L1 in the direction of the axis L, and the surface on the other side L2 is the second concave portion of the base 4 Bonded to the bottom of 42.

本形態において、ゲル状ダンパー部材9は、針入度が90度から110度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されているように、25℃で9.38gの総荷重をかけた1/4コーンの針が5秒間に入り込む深さを1/10mm単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。   In this embodiment, the gel-like damper member 9 is made of a silicone gel having a penetration of 90 to 110 degrees. The penetration is a depth at which a 1/4 cone needle with a total load of 9.38 g at 25 ° C. enters 5 seconds as defined in JIS-K-2207 and JIS-K-2220. Is a value expressed in units of 1/10 mm, and the smaller this value is, the harder it is.

(本形態の動作および主な効果)
本形態のリニアアクチュエータ1において、コイル51への通電を休止している期間、可動体6は、可動体6の質量とバネ部材8の保持力(付勢力)とが釣り合った原点位置にある。この状態で、コイル51に通電すると、可動体6は、磁気駆動機構5によって推進力を受け、バネ部材8の付勢力に抗して、軸線L方向の一方側L1に移動する。その際の移動量は、コイル51に供給される電流値と、バネ部材8の付勢力とによって規定される。そして、コイル51への通電を停止すると、バネ部材8の付勢力によって、原点位置に戻る。従って、コイル51への通電を断続的に行うと、可動体6は、軸線L方向で往復移動を繰り返す。
(Operation and main effect of this form)
In the linear actuator 1 of the present embodiment, the movable body 6 is at the origin position where the mass of the movable body 6 and the holding force (biasing force) of the spring member 8 are balanced while the energization to the coil 51 is suspended. When the coil 51 is energized in this state, the movable body 6 receives a propulsive force from the magnetic drive mechanism 5 and moves to the one side L1 in the direction of the axis L against the urging force of the spring member 8. The amount of movement at that time is defined by the current value supplied to the coil 51 and the biasing force of the spring member 8. Then, when the energization to the coil 51 is stopped, the biasing force of the spring member 8 returns to the origin position. Accordingly, when the coil 51 is energized intermittently, the movable body 6 repeats reciprocation in the direction of the axis L.

また、コイル51に対して一定の電流を供給すると、可動体6は、コイル51に供給された電流値とバネ部材8の付勢力とによって規定された位置で停止する。   When a constant current is supplied to the coil 51, the movable body 6 stops at a position defined by the current value supplied to the coil 51 and the urging force of the spring member 8.

本形態のリニアアクチュエータ1において、可動体6を往復移動させる際の周波数によ
っては、可動体6が、可動体6の質量とバネ部材8のバネ定数に対応する周波数で共振することがあるが、本形態では、固定体2のベース4(固定体側対向部)と可動体6のカバー61との間にゲル状ダンパー部材9(第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92)が設けられており、かかるゲル状ダンパー部材90は、可動体6の移動に追従して変形しながら可動体6の振動を吸収する。このため、可動体6の共振を抑制することができる。
In the linear actuator 1 of the present embodiment, depending on the frequency when the movable body 6 is reciprocated, the movable body 6 may resonate at a frequency corresponding to the mass of the movable body 6 and the spring constant of the spring member 8. In this embodiment, the gel-like damper member 9 (the first gel-like damper member 91 and the second gel-like damper member 92) is provided between the base 4 (fixed-body-side facing portion) of the fixed body 2 and the cover 61 of the movable body 6. The gel-like damper member 90 is provided and absorbs the vibration of the movable body 6 while being deformed following the movement of the movable body 6. For this reason, resonance of the movable body 6 can be suppressed.

また、ゲル状ダンパー部材9のうち、第1ゲル状ダンパー部材91は、可動体6の中心軸線(軸線L)上の位置に設けられ、第2ゲル状ダンパー部材92は、可動体6の中心軸線(軸線L)を囲む3個所に設けられている。このため、ゲル状ダンパー部材9は、可動体6の共振を効果的に抑制することができる。   Of the gel-like damper members 9, the first gel-like damper member 91 is provided at a position on the central axis (axis L) of the movable body 6, and the second gel-like damper member 92 is the center of the movable body 6. It is provided at three places surrounding the axis (axis L). For this reason, the gel-like damper member 9 can effectively suppress the resonance of the movable body 6.

また、ゲル状ダンパー部材9(第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92)は、可動体6および固定体2の双方に接着固定されている。このため、可動体6の移動に伴ってゲル状ダンパー部材9が移動することを防止することができる。また、ゲル状ダンパー部材9が設けられている部分において、可動体6が固定体2から離間する方向に移動した場合でも、かかる移動に追従してゲル状ダンパー部材9が変形し、可動体6の共振を効果的に抑制することができる。   Further, the gel-like damper member 9 (the first gel-like damper member 91 and the second gel-like damper member 92) is bonded and fixed to both the movable body 6 and the fixed body 2. For this reason, it is possible to prevent the gel-like damper member 9 from moving as the movable body 6 moves. Even when the movable body 6 moves away from the fixed body 2 in the portion where the gel-like damper member 9 is provided, the gel-like damper member 9 is deformed following the movement, and the movable body 6 is deformed. Can be effectively suppressed.

また、ゲル状ダンパー部材9は、針入度が90度から110度である。このため、ゲル状ダンパー部材9は、ダンパー機能を発揮するのに十分な弾性を有するとともに、ゲル状ダンパー部材9が破断して飛散するような事態が発生しにくい。   Further, the gel-like damper member 9 has a penetration of 90 degrees to 110 degrees. For this reason, the gel-like damper member 9 has sufficient elasticity to exert a damper function, and it is difficult for the gel-like damper member 9 to break and scatter.

また、本形態において、バネ部材8は板状バネ部材であるため、バネ部材8が軸線L方向で占める部位が狭く済む。   In this embodiment, since the spring member 8 is a plate-like spring member, the portion occupied by the spring member 8 in the direction of the axis L can be narrow.

[実施の形態1の変形例]
上記実施の形態1では、第1ゲル状ダンパー部材91および第2ゲル状ダンパー部材92の双方を設けたが、いずれか一方のみを設けてもよい。
[Modification of Embodiment 1]
In the first embodiment, both the first gel-like damper member 91 and the second gel-like damper member 92 are provided, but only one of them may be provided.

また、上記実施の形態1では、第2ゲル状ダンパー部材92を周方向の3個所に設けたが、4個所以上に設けてもよい。また、第2ゲル状ダンパー部材92を円環状に設けてもよい。   In the first embodiment, the second gel-like damper members 92 are provided at three locations in the circumferential direction, but may be provided at four or more locations. The second gel damper member 92 may be provided in an annular shape.

[実施の形態2]
(全体構成)
図4は、本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの説明図であり、図2(a)、(b)は、リニアアクチュエータの斜視図、およびリニアアクチュエータの分解斜視図である。図5は、本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータを細かく分解した分解斜視図である。図6は、本発明の実施の形態2に係るリニアアクチュエータの断面図である。なお、本形態の基本的な構成は、実施の形態1と同様であるため、共通する部分には同一の符号を付してある。
[Embodiment 2]
(overall structure)
FIG. 4 is an explanatory diagram of the linear actuator according to the second embodiment of the present invention, and FIGS. 2A and 2B are a perspective view of the linear actuator and an exploded perspective view of the linear actuator. FIG. 5 is an exploded perspective view in which the linear actuator according to Embodiment 2 of the present invention is finely disassembled. FIG. 6 is a cross-sectional view of a linear actuator according to Embodiment 2 of the present invention. Since the basic configuration of this embodiment is the same as that of Embodiment 1, the same reference numerals are given to common portions.

図4、図5および図6に示すように、本形態のリニアアクチュエータ1は、固定体2と、可動体6と、可動体6と固定体2とに接続されたバネ部材8とを有しており、バネ部材8は、固定体2に対して可動体6を軸線L方向に移動可能に支持している。また、リニアアクチュエータ1は、可動体6を軸線L方向に駆動する磁気駆動機構5を有している。   As shown in FIGS. 4, 5, and 6, the linear actuator 1 of this embodiment includes a fixed body 2, a movable body 6, and a spring member 8 connected to the movable body 6 and the fixed body 2. The spring member 8 supports the movable body 6 so as to be movable in the direction of the axis L with respect to the fixed body 2. The linear actuator 1 has a magnetic drive mechanism 5 that drives the movable body 6 in the direction of the axis L.

(固定体2の構成)
固定体2は、磁気駆動機構5を構成するコイル51が巻回されたコイルボビン3と、軸
線L方向の他方側L2でコイルボビン3を保持するベース4とを有している。コイルボビン3は、コイル51が巻回された円筒状の胴部31と、胴部31の両側で拡径するフランジ部32、33と、胴部31から連続してフランジ部33よりベース4が位置する側に向けて突出した突出部35とを備えており、コイルボビン3は、突出部35を介してベース4に連結されている。突出部35には、コイル51の端部が絡げられた端子部361、362が形成されており、端子部361、362において、コイル51の端部が配線基板29に接続されている。
(Configuration of fixed body 2)
The fixed body 2 includes a coil bobbin 3 around which a coil 51 constituting the magnetic drive mechanism 5 is wound, and a base 4 that holds the coil bobbin 3 on the other side L2 in the axis L direction. The coil bobbin 3 includes a cylindrical body portion 31 around which the coil 51 is wound, flange portions 32 and 33 that are enlarged on both sides of the body portion 31, and a base 4 positioned at the flange portion 33 continuously from the body portion 31. The coil bobbin 3 is connected to the base 4 via the protruding portion 35. Terminal portions 361 and 362 in which end portions of the coil 51 are entangled are formed on the protruding portion 35, and the end portions of the coil 51 are connected to the wiring substrate 29 in the terminal portions 361 and 362.

ベース4は、略円盤状であり、配線基板29が配置される切り欠き49が形成されている。本形態において、固定体2は、ベース4から軸線L方向の一方側L1に突出して軸線L上で延在する支軸45を備えている。支軸45は、軸線L方向の他方側L2に位置する固定部453と、固定部453の軸線L方向の一方側L1で拡径するフランジ部452と、フランジ部452から軸線L方向の一方側L1に突出した支持部451とを有しており、支持部451は、固定部453より太い。支持部451は、可動体6を支持する部分であり、固定部453は、ベース4に保持される部分である。具体的には、ベース4の中央部には凹部44が形成されており、凹部44の底部の中央には、固定部453が嵌め込み固定された穴46が形成されている。固定部453が穴46に嵌った状態で、フランジ部452は、ベース4の凹部44の底部に当接する。なお、ベース4には凹部44の周りに円環状のリブ状突部43が形成されている。   The base 4 has a substantially disk shape, and has a notch 49 in which the wiring substrate 29 is disposed. In this embodiment, the fixed body 2 includes a support shaft 45 that protrudes from the base 4 to one side L1 in the direction of the axis L and extends on the axis L. The support shaft 45 includes a fixed portion 453 positioned on the other side L2 in the axis L direction, a flange portion 452 that expands on one side L1 in the axis L direction of the fixed portion 453, and one side in the axis L direction from the flange portion 452. And a support portion 451 protruding to L1, and the support portion 451 is thicker than the fixed portion 453. The support portion 451 is a portion that supports the movable body 6, and the fixed portion 453 is a portion that is held by the base 4. Specifically, a recess 44 is formed at the center of the base 4, and a hole 46 in which a fixing portion 453 is fitted and fixed is formed at the center of the bottom of the recess 44. With the fixing portion 453 fitted in the hole 46, the flange portion 452 abuts on the bottom portion of the concave portion 44 of the base 4. The base 4 is formed with an annular rib-shaped protrusion 43 around the recess 44.

(可動体6の構成)
可動体6は、磁気駆動機構5を構成する永久磁石53の中央穴530に嵌った筒状スリーブ68と、永久磁石53を覆うヨーク67とを有している。筒状スリーブ68は、円筒状であり、軸線L方向に貫通する穴によって、可動体6には、支軸45が内側に位置する軸穴69が形成されている。筒状スリーブ68は、可動体6の中心軸線(軸線L)上で軸線L方向に延在している。ヨーク67は、軸線L方向の一方側L1で永久磁石53に当接する円板状の端板部671と、端板部671の外縁から軸線L方向の他方側L2に延在する円筒状の筒部672とを有しており、筒部672は、永久磁石53の外周面に所定の間隔をあけて永久磁石53を径方向外側で覆っている。本形態において、可動体6は、筒部672の内周面および端板部671の軸線L方向の他方側L2に接着等の方法で固定された円環状のスペーサ65を有している。
(Configuration of movable body 6)
The movable body 6 has a cylindrical sleeve 68 fitted in the central hole 530 of the permanent magnet 53 constituting the magnetic drive mechanism 5, and a yoke 67 that covers the permanent magnet 53. The cylindrical sleeve 68 has a cylindrical shape, and a shaft hole 69 in which the support shaft 45 is positioned inside is formed in the movable body 6 by a hole penetrating in the direction of the axis L. The cylindrical sleeve 68 extends in the direction of the axis L on the central axis (axis L) of the movable body 6. The yoke 67 has a disk-shaped end plate portion 671 that contacts the permanent magnet 53 on one side L1 in the axis L direction, and a cylindrical tube that extends from the outer edge of the end plate portion 671 to the other side L2 in the axis L direction. The cylindrical portion 672 covers the outer periphery of the permanent magnet 53 at a predetermined interval and covers the permanent magnet 53 on the outer side in the radial direction. In this embodiment, the movable body 6 has an annular spacer 65 fixed to the inner peripheral surface of the cylindrical portion 672 and the other side L2 of the end plate portion 671 in the axis L direction by a method such as adhesion.

ヨーク67の端板部671の中央には穴675が形成されている。筒状スリーブ68の軸線L方向の一方側L1の端部は、穴675に嵌った状態で周方向の複数個所S1で溶接され、かかる溶接によって、筒状スリーブ68とヨーク67とが連結されている。   A hole 675 is formed in the center of the end plate portion 671 of the yoke 67. The end of one side L1 in the axis L direction of the cylindrical sleeve 68 is welded at a plurality of locations S1 in the circumferential direction while being fitted in the hole 675, and the cylindrical sleeve 68 and the yoke 67 are connected by such welding. Yes.

また、可動体6は、永久磁石53の軸線L方向の他方側L2で中央穴530の周りに当接するワッシャ66を有しており、筒状スリーブ68の軸線L方向の他方側L2の端部は、周方向の複数個所S12でワッシャ66の軸線L方向の他方側L2の面と溶接されている。その結果、永久磁石53は、ワッシャ66とヨーク67の端板部671との間に固定されている。   In addition, the movable body 6 has a washer 66 that abuts around the central hole 530 on the other side L2 of the permanent magnet 53 in the axis L direction, and the end of the cylindrical sleeve 68 on the other side L2 in the axis L direction. Are welded to the surface of the other side L2 of the washer 66 in the axis L direction at a plurality of locations S12 in the circumferential direction. As a result, the permanent magnet 53 is fixed between the washer 66 and the end plate portion 671 of the yoke 67.

本形態において、永久磁石53は、軸線L方向において円板状のコア538を両側から挟む2つの磁石片531、532からなる。   In the present embodiment, the permanent magnet 53 includes two magnet pieces 531 and 532 that sandwich the disk-shaped core 538 from both sides in the direction of the axis L.

また、可動体6は、軸線L方向の他方側L2の端部にカバー61を有している。カバー61は、円形の底板部611と、底板部611の外縁から軸線L方向の一方側L1に突出した側板部612とを有している。ここで、底板部611は、コイルボビン3のフランジ部33と、ベース4との間に位置する。このため、底板部611には、コイルボビン3の突出部35を軸線L方向の一方側L1に突出させる開口部613が形成されている。また
、底板部611には凹部614が2個所に形成されている。
Moreover, the movable body 6 has a cover 61 at the end of the other side L2 in the axis L direction. The cover 61 includes a circular bottom plate portion 611 and a side plate portion 612 protruding from the outer edge of the bottom plate portion 611 to one side L1 in the axis L direction. Here, the bottom plate portion 611 is located between the flange portion 33 of the coil bobbin 3 and the base 4. Therefore, the bottom plate portion 611 is formed with an opening 613 for projecting the projecting portion 35 of the coil bobbin 3 to the one side L1 in the axis L direction. Further, the bottom plate portion 611 has two concave portions 614 formed therein.

(バネ部材8の構成)
バネ部材8は、固定体2に連結された固定体側連結部81と、可動体6に連結された可動体側連結部82と、固定体側連結部81と可動体側連結部82とに接続された複数本のアーム部83とを備えた板状バネ部材である。本形態において、可動体側連結部82は、円環状であり、固定体側連結部81およびアーム部83より径方向外側に位置する。固定体側連結部81は、周方向で3つに分割されており、3つの固定体側連結部81の各々からアーム部83が延在している。かかる3つの固定体側連結部81はいずれも、コイルボビン3のフランジ部33の軸線L方向の他方側L2の面に接着や溶接等の方法により連結されている。
(Configuration of the spring member 8)
The spring member 8 includes a fixed body side connecting portion 81 connected to the fixed body 2, a movable body side connecting portion 82 connected to the movable body 6, and a plurality of spring members 8 connected to the fixed body side connecting portion 81 and the movable body side connecting portion 82. It is a plate-like spring member provided with an arm portion 83. In the present embodiment, the movable body side connecting portion 82 has an annular shape and is positioned on the radially outer side from the fixed body side connecting portion 81 and the arm portion 83. The fixed body side connecting portion 81 is divided into three in the circumferential direction, and an arm portion 83 extends from each of the three fixed body side connecting portions 81. All of these three fixed body side connecting portions 81 are connected to the surface of the other side L2 of the flange portion 33 of the coil bobbin 3 in the direction of the axis L by a method such as adhesion or welding.

本形態において、可動体側連結部82は、カバー61の側板部612とヨーク67の筒部672との間に挟まれており、周方向の複数個所S13での溶接により、カバー61およびヨーク67に連結されている。   In this embodiment, the movable body side connecting portion 82 is sandwiched between the side plate portion 612 of the cover 61 and the cylindrical portion 672 of the yoke 67, and is welded to the cover 61 and the yoke 67 by welding at a plurality of circumferential locations S13. It is connected.

(ゲル状ダンパー部材9の構成)
本形態のリニアアクチュエータ1において、軸線L上の位置、および軸線Lを囲む位置の少なくとも一方において固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。本形態においては、軸線Lを囲む位置において固定体2と可動体6との間にはゲル状ダンパー部材9が配置されている。
(Configuration of Gel Damper Member 9)
In the linear actuator 1 of this embodiment, a gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at least one of a position on the axis L and a position surrounding the axis L. In this embodiment, a gel-like damper member 9 is disposed between the fixed body 2 and the movable body 6 at a position surrounding the axis L.

より具体的には、可動体6の軸穴69の内径は、固定体2の支軸45より大であり、軸穴69の内周面と支軸45の外周面とは、隙間を介して配置されている。すなわち、可動体6の軸穴69に固定体2の支軸45を挿入した状態で、軸穴69の内周面と支軸45の外周面との間には円筒状の空間が形成されており、本形態では、かかる空間を埋めるように、ゲル状ダンパー部材9が配置されている。このため、ゲル状ダンパー部材9は、円筒状のゲル状ダンパー部材90からなり、軸線Lを囲むように配置されている。   More specifically, the inner diameter of the shaft hole 69 of the movable body 6 is larger than the support shaft 45 of the fixed body 2, and the inner peripheral surface of the shaft hole 69 and the outer peripheral surface of the support shaft 45 are interposed via a gap. Has been placed. That is, in the state where the support shaft 45 of the fixed body 2 is inserted into the shaft hole 69 of the movable body 6, a cylindrical space is formed between the inner peripheral surface of the shaft hole 69 and the outer peripheral surface of the support shaft 45. In this embodiment, the gel damper member 9 is disposed so as to fill the space. For this reason, the gel-like damper member 9 is composed of a cylindrical gel-like damper member 90 and is arranged so as to surround the axis L.

本形態において、ゲル状ダンパー部材90は、外周面が軸穴69の内周面に接着剤により固定され、内周面が支軸45の支持部451の外周面に接着剤により固定されている。ここで、ゲル状ダンパー部材90は、軸線L方向の寸法が支軸45の支持部451より短い。このため、ゲル状ダンパー部材90に対して軸線L方向の一方側L1および他方側L2の双方が空き空間になっている。   In this embodiment, the gel-like damper member 90 has an outer peripheral surface fixed to the inner peripheral surface of the shaft hole 69 with an adhesive and an inner peripheral surface fixed to the outer peripheral surface of the support portion 451 of the support shaft 45 with an adhesive. . Here, the gel-like damper member 90 has a dimension in the axis L direction shorter than the support portion 451 of the support shaft 45. For this reason, both the one side L1 and the other side L2 of the axis L direction with respect to the gel-like damper member 90 are vacant spaces.

本形態において、ゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)は、針入度が90度から110度のシリコーンゲルからなる。針入度とは、JIS−K−2207やJIS−K−2220で規定されているように、25℃で9.38gの総荷重をかけた1/4コーンの針が5秒間に入り込む深さを1/10mm単位で表わした値であり、この値が小さいほど硬いことを意味する。   In this embodiment, the gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) is made of a silicone gel having a penetration of 90 to 110 degrees. The penetration is a depth at which a 1/4 cone needle with a total load of 9.38 g at 25 ° C. enters 5 seconds as defined in JIS-K-2207 and JIS-K-2220. Is a value expressed in units of 1/10 mm, and the smaller this value is, the harder it is.

(本形態の動作および主な効果)
本形態のリニアアクチュエータ1においても、実施の形態1と同様、コイル51への通電を休止している期間、可動体6は、可動体6の質量とバネ部材8の保持力(付勢力)とが釣り合った原点位置にある。この状態で、コイル51に通電すると、可動体6は、磁気駆動機構5によって推進力を受け、バネ部材8の付勢力に抗して、軸線L方向の一方側L1に移動する。その際の移動量は、コイル51に供給される電流値と、バネ部材8の付勢力とによって規定される。そして、コイル51への通電を停止すると、バネ部材8の付勢力によって、原点位置に戻る。従って、コイル51への通電を断続的に行うと、可動体6は、軸線L方向で往復移動を繰り返す。
(Operation and main effect of this form)
Also in the linear actuator 1 of the present embodiment, as in the first embodiment, during the period when the energization to the coil 51 is suspended, the movable body 6 has the mass of the movable body 6 and the holding force (biasing force) of the spring member 8. Are in the balanced origin position. When the coil 51 is energized in this state, the movable body 6 receives a propulsive force from the magnetic drive mechanism 5 and moves to the one side L1 in the direction of the axis L against the urging force of the spring member 8. The amount of movement at that time is defined by the current value supplied to the coil 51 and the biasing force of the spring member 8. Then, when the energization to the coil 51 is stopped, the biasing force of the spring member 8 returns to the origin position. Accordingly, when the coil 51 is energized intermittently, the movable body 6 repeats reciprocation in the direction of the axis L.

また、コイル51に対して一定の電流を供給すると、可動体6は、コイル51に供給された電流値とバネ部材8の付勢力とによって規定された位置で停止する。   When a constant current is supplied to the coil 51, the movable body 6 stops at a position defined by the current value supplied to the coil 51 and the urging force of the spring member 8.

本形態のリニアアクチュエータ1において、可動体6を往復移動させる際の周波数によっては、可動体6が、可動体6の質量とバネ部材8のバネ定数に対応する周波数で共振することがあるが、本形態では、固定体2の支軸45と可動体6の筒状スリーブ68との間にゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)が設けられており、かかるゲル状ダンパー部材90は、可動体6の移動に追従して変形しながら可動体6の振動を吸収する。このため、可動体6の共振を抑制することができる。   In the linear actuator 1 of the present embodiment, depending on the frequency when the movable body 6 is reciprocated, the movable body 6 may resonate at a frequency corresponding to the mass of the movable body 6 and the spring constant of the spring member 8. In this embodiment, the gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) is provided between the support shaft 45 of the fixed body 2 and the cylindrical sleeve 68 of the movable body 6, and the gel-like damper member 90 is The vibration of the movable body 6 is absorbed while deforming following the movement of the movable body 6. For this reason, resonance of the movable body 6 can be suppressed.

また、ゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)は、可動体6の中心軸線(軸線L)を囲む円筒状である。このため、ゲル状ダンパー部材9は、可動体6の振動を効果的に吸収し、共振を抑制することができる。   The gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) has a cylindrical shape surrounding the central axis (axis line L) of the movable body 6. For this reason, the gel-like damper member 9 can effectively absorb the vibration of the movable body 6 and suppress the resonance.

また、ゲル状ダンパー部材9(ゲル状ダンパー部材90)は、可動体6および固定体2の双方に接着固定されている。このため、可動体6の移動に伴ってゲル状ダンパー部材9が移動することを防止することができる。   The gel-like damper member 9 (gel-like damper member 90) is bonded and fixed to both the movable body 6 and the fixed body 2. For this reason, it is possible to prevent the gel-like damper member 9 from moving as the movable body 6 moves.

また、本形態において、バネ部材8は板状バネ部材であるため、バネ部材8が軸線L方向で占める部位が狭く済む。   In this embodiment, since the spring member 8 is a plate-like spring member, the portion occupied by the spring member 8 in the direction of the axis L can be narrow.

[その他の実施の形態]
なお、上記実施の形態では、ゲル状ダンパー部材9を接着剤により固定した構造を採用したが、ゲル状ダンパー部材9を形成するための前駆体を設けた後、前駆体をゲル化させ、ゲル状ダンパー部材9自身の接着力によって、ゲル状ダンパー部材9を固定してもよい。例えば、実施の形態2ではゲル状ダンパー部材9を形成するためのUV硬化性の前駆体を設けた後、前駆体にUVを照射してゲル化させ、ゲル状ダンパー部材9自身の接着力によって、ゲル状ダンパー部材9を固定してもよい。
[Other embodiments]
In the above embodiment, the structure in which the gel-like damper member 9 is fixed with an adhesive is adopted. However, after the precursor for forming the gel-like damper member 9 is provided, the precursor is gelled, and the gel The gel-like damper member 9 may be fixed by the adhesive force of the like-shaped damper member 9 itself. For example, in Embodiment 2, after providing a UV curable precursor for forming the gel-like damper member 9, the precursor is irradiated with UV to be gelled, and the adhesive force of the gel-like damper member 9 itself is used. The gel-like damper member 9 may be fixed.

1 リニアアクチュエータ
2 固定体
3 スリーブ(固定体)
4 ベース(固定体、固定体側対向部)
5 磁気駆動機構
6 可動体
8 バネ部材
9、90 ゲル状ダンパー部材
45 支軸(固定体)
61 カバー(可動体)
63 シャフト(可動体)
66 ワッシャ(可動体)
67 ヨーク(可動体)
68 筒状スリーブ(可動体)
69 軸穴
81 固定体側連結部
82 可動体側連結部
83 アーム部
91 第1ゲル状ダンパー部材
92 第2ゲル状ダンパー部材
630 シャフトの端面
631 シャフトの軸部
671 端板部
672 筒部
L 軸線
1 Linear actuator 2 Fixed body 3 Sleeve (fixed body)
4 Base (fixed body, fixed body side facing part)
5 Magnetic drive mechanism 6 Movable body 8 Spring member 9, 90 Gel-like damper member 45 Support shaft (fixed body)
61 Cover (movable body)
63 Shaft (movable body)
66 Washer (movable body)
67 York (movable body)
68 Cylindrical sleeve (movable body)
69 Shaft hole 81 Fixed body side connecting portion 82 Movable body side connecting portion 83 Arm portion 91 First gel-like damper member 92 Second gel-like damper member 630 Shaft end surface 631 Shaft shaft portion 671 End plate portion 672 Tube portion L Axis line

Claims (11)

固定体と、
可動体と、
前記可動体と前記固定体とに接続され、前記固定体に対して前記可動体を軸線方向に移動可能に支持するバネ部材と、
前記可動体を前記軸線方向に駆動する磁気駆動機構と、
前記可動体の中心軸線上の位置、および前記中心軸線を囲む位置の少なくとも一方において前記固定体と前記可動体との間に配置されたゲル状ダンパー部材と、
を有していることを特徴とするリニアアクチュエータ。
A fixed body,
A movable body,
A spring member connected to the movable body and the fixed body and supporting the movable body so as to be movable in the axial direction relative to the fixed body;
A magnetic drive mechanism for driving the movable body in the axial direction;
A gel-like damper member disposed between the fixed body and the movable body at least one of a position on the central axis of the movable body and a position surrounding the central axis;
The linear actuator characterized by having.
前記バネ部材は、前記固定体に連結された固定体側連結部と、前記可動体に連結された可動体側連結部と、前記固定体側連結部と前記可動体側連結部とに接続されたアーム部と、を備えた板状バネ部材であることを特徴とする請求項1に記載のリニアアクチュエータ。   The spring member includes a fixed body side connecting portion connected to the fixed body, a movable body side connecting portion connected to the movable body, and an arm portion connected to the fixed body side connecting portion and the movable body side connecting portion. The linear actuator according to claim 1, wherein the linear actuator is a plate-like spring member. 前記ゲル状ダンパー部材は、前記可動体および前記固定体の双方に接着固定されていることを特徴とする請求項1または2に記載のリニアアクチュエータ。   The linear actuator according to claim 1, wherein the gel damper member is bonded and fixed to both the movable body and the fixed body. 前記固定体は、前記可動体に対して前記軸線方向で対向する固定体側対向部を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記固定体側対向部と前記可動体との間に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。
The fixed body includes a fixed body-side facing portion that faces the movable body in the axial direction,
4. The linear actuator according to claim 1, wherein the gel-like damper member is disposed between the fixed body side facing portion and the movable body in the axial direction. 5.
前記ゲル状ダンパー部材は、針入度が90度から110度であることを特徴とする請求項4に記載のリニアアクチュエータ。   The linear actuator according to claim 4, wherein the gel-like damper member has a penetration of 90 to 110 degrees. 前記可動体は、前記中心軸線上で前記固定体側対向部に向かって突出した軸部を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸線方向において前記軸部の前記固定体側対向部側の端面と前記固定体側対向部との間に配置されていることを特徴とする請求項4または5に記載のリニアアクチュエータ。
The movable body includes a shaft portion that protrudes toward the fixed body-side facing portion on the central axis,
The said gel-like damper member is arrange | positioned between the end surface by the side of the said fixed body side opposing part of the said axial part in the said axial direction, and the said fixed body side opposing part. Linear actuator.
前記可動体は、前記中心軸線上で前記固定体側対向部に向かって突出した軸部を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記軸部を囲むように配置されていることを特徴とする請求項4または5に記載のリニアアクチュエータ。
The movable body includes a shaft portion that protrudes toward the fixed body-side facing portion on the central axis,
The linear actuator according to claim 4, wherein the gel-like damper member is disposed so as to surround the shaft portion.
前記可動体は、一方の端部によって前記軸部を構成するシャフトと、前記磁気駆動機構を構成し、前記シャフトが内側に嵌った中央穴が形成された永久磁石と、該永久磁石に前記軸線方向の一方側で当接する端板部および前記永久磁石を径方向外側で覆う筒部を備えたヨークと、該永久磁石の前記軸線方向の他方側で前記中央穴の周りに当接するワッシャと、を有し、
前記シャフトは、前記軸線方向の一方側で前記端板部に溶接され、前記軸線方向の他方側で前記ワッシャと溶接されていることを特徴とする請求項4乃至7の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。
The movable body includes a shaft constituting the shaft portion by one end portion, a magnetic drive mechanism, a permanent magnet formed with a central hole in which the shaft is fitted, and the axis line on the permanent magnet. A yoke provided with an end plate portion that contacts one side of the direction and a cylindrical portion that covers the permanent magnet radially outward; a washer that contacts the central hole on the other side of the axial direction of the permanent magnet; Have
8. The shaft according to claim 4, wherein the shaft is welded to the end plate portion on one side in the axial direction, and is welded to the washer on the other side in the axial direction. Linear actuator.
前記固定体は、前記中心軸線上で延在する支軸を備え、
前記可動体は、前記中心軸線上で延在して前記支軸が内側に位置する軸穴を備え、
前記ゲル状ダンパー部材は、前記支軸の外周面と前記軸穴の内周面との間に筒状に配置されていることを特徴とする請求項1乃至3の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。
The fixed body includes a support shaft extending on the central axis,
The movable body includes a shaft hole that extends on the central axis and in which the support shaft is located inside;
The said gel-like damper member is arrange | positioned cylindrically between the outer peripheral surface of the said spindle, and the internal peripheral surface of the said shaft hole, The Claim 1 thru | or 3 characterized by the above-mentioned. Linear actuator.
前記可動体は、前記軸穴を備えた筒状スリーブと、前記磁気駆動機構を構成し、前記筒状スリーブが内側に嵌った中央穴が形成された永久磁石と、該永久磁石に前記軸線方向の一方側で当接する端板部および前記永久磁石を径方向外側で覆う筒部を備えたヨークと、該永久磁石の前記軸線方向の他方側で前記中央穴の周りに当接するワッシャと、を有し、
前記筒状スリーブは、前記軸線方向の一方側で前記端板部に溶接され、前記軸線方向の他方側で前記ワッシャと溶接されていることを特徴とする請求項9に記載のリニアアクチュエータ。
The movable body includes a cylindrical sleeve provided with the shaft hole, the magnetic drive mechanism, a permanent magnet formed with a central hole into which the cylindrical sleeve is fitted, and the permanent magnet in the axial direction. A yoke having an end plate portion that contacts one side of the plate and a cylindrical portion that covers the permanent magnet on the radially outer side, and a washer that contacts the central hole on the other side in the axial direction of the permanent magnet. Have
The linear actuator according to claim 9, wherein the cylindrical sleeve is welded to the end plate portion on one side in the axial direction, and is welded to the washer on the other side in the axial direction.
前記ゲル状ダンパー部材は、シリコーンゲルからなることを特徴とする請求項1乃至10の何れか一項に記載のリニアアクチュエータ。   The linear actuator according to claim 1, wherein the gel-like damper member is made of silicone gel.
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