JP2015140709A - vane type vacuum pump - Google Patents

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雅也 大塚
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vane type vacuum pump that can suitably restrain resonance of reed valves that causes unusual noise.SOLUTION: A vane type vacuum pump comprises a discharge port 10 for discharging sucked air and a reed valve part 11 for opening and closing the discharge port 10. The reed valve part 11 comprises a first reed valve 12 installed so as to cover an opening of the discharge port 10 and a second reed valve 13 installed so as to be stacked on the first reed valve 12. The first reed valve 12 and the second reed valve 13 are formed so as to have different resonance frequencies by making plate thicknesses different.

Description

本発明は、気体を吸入して吐出口から吐出する、ベーン式バキュームポンプに関する。   The present invention relates to a vane type vacuum pump that sucks gas and discharges it from a discharge port.
従来、上記のようなベーン式バキュームポンプとして、特許文献1に記載のものが知られている。同文献に記載のベーン式バキュームポンプの吐出口には、リードバルブが設置され、気体の吐出圧でそのリードバルブが撓むことで、吐出口の開閉が行われている。なお、同文献には、リードバルブを、単板、あるいは積層板からなるリーフスプリングによって形成することが記載されている。   Conventionally, as the vane type vacuum pump as described above, the one described in Patent Document 1 is known. A reed valve is installed at the discharge port of the vane type vacuum pump described in the same document, and the reed valve is bent by the discharge pressure of the gas, so that the discharge port is opened and closed. In this document, it is described that the reed valve is formed by a leaf spring made of a single plate or a laminated plate.
特開2012−057622号公報JP 2012-057622 A
上記のようなリードバルブを備えるベーン式バキュームポンプでは、吐出口から吐出される気体の流れの乱れにより、リードバルブが共振することがある。リードバルブの共振は、吐出口から吐出される気体に脈動を発生させ、その脈動は、ベーン式バキュームポンプの設置空間に圧力変動を生じさせる。そして、その圧力変動により、上記設置空間の壁面が振動して、その振動エネルギーが外部に音として放射されて、異音が発生する。   In the vane type vacuum pump including the reed valve as described above, the reed valve may resonate due to disturbance of the flow of gas discharged from the discharge port. The resonance of the reed valve causes pulsation in the gas discharged from the discharge port, and the pulsation causes pressure fluctuation in the installation space of the vane type vacuum pump. And the wall surface of the said installation space vibrates by the pressure fluctuation, The vibration energy is radiated | emitted as a sound outside, and an abnormal noise generate | occur | produces.
本発明は、こうした実情に鑑みてなされたものであり、その解決しようとする課題は、異音の原因となるリードバルブの共振を好適に抑制することのできるベーン式バキュームポンプを提供することにある。   The present invention has been made in view of such circumstances, and the problem to be solved is to provide a vane type vacuum pump capable of suitably suppressing resonance of a reed valve that causes abnormal noise. is there.
上記課題を解決するベーン式バキュームポンプは、気体を吸入して吐出口から吐出する、ベーン式バキュームポンプにおいて、その吐出口に設置された第1リードバルブと、その第1リードバルブに重ねて設置された、第1リードバルブとは異なる共振周波数を有した第2リードバルブとを有する。   A vane type vacuum pump that solves the above problems is a vane type vacuum pump that sucks gas and discharges it from a discharge port. The first reed valve installed at the discharge port and the first reed valve are stacked on the first reed valve. And a second reed valve having a resonance frequency different from that of the first reed valve.
こうしたベーン式バキュームポンプでは、気体の吐出圧により、第1リードバルブおよび第2リードバルブが撓むことで、吐出口が開閉される。これら第1リードバルブおよび第2リードバルブは、それらの開閉周期の逆数が自身の共振周波数に近づくと、共振するようになる。ただし、第1リードバルブと第2リードバルブとでは、共振周波数が違うため、それらが同時に共振することはない。そのため、2つのリードバルブのいずれかに共振が生じても、共振していないもう一方のリードバルブによってその振動が規制されるようになる。したがって、異音の原因となるリードバルブの共振を好適に抑制することができる。なお、両リードバルブの異なった共振周波数の設定は、例えばそれらの板厚、形状、材質を異ならせることで行うことができる。   In such a vane type vacuum pump, the first reed valve and the second reed valve are bent by the discharge pressure of the gas, so that the discharge port is opened and closed. The first reed valve and the second reed valve resonate when the reciprocal of their opening / closing cycle approaches its resonance frequency. However, since the resonance frequency is different between the first reed valve and the second reed valve, they do not resonate at the same time. Therefore, even if resonance occurs in one of the two reed valves, the vibration is regulated by the other reed valve that is not resonating. Therefore, the resonance of the reed valve that causes abnormal noise can be suitably suppressed. It should be noted that the different resonance frequencies of the two reed valves can be set, for example, by changing their plate thickness, shape, and material.
また、第1リードバルブおよび第2リードバルブの外側に、それらの開弁量を制限するストッパー部材を設けるようにしてもよい。このようにすれば、共振時などにおける第1リードバルブおよび第2リードバルブの過剰変形を抑制することができる。   Moreover, you may make it provide the stopper member which restrict | limits those valve opening amounts on the outer side of a 1st reed valve and a 2nd reed valve. In this way, excessive deformation of the first reed valve and the second reed valve during resonance or the like can be suppressed.
第1実施形態のベーン式バキュームポンプの正面図。The front view of the vane type vacuum pump of 1st Embodiment. 同ポンプに設けられたリードバルブ部の斜視図。The perspective view of the reed valve part provided in the pump. 同リードバルブ部の分解斜視図。The exploded perspective view of the reed valve part. (a)は閉弁時におけるリードバルブ部の状態を、(b)は開弁時におけるリードバルブ部の状態をそれぞれ示す断面図。(A) is sectional drawing which shows the state of the reed valve part at the time of valve closing, (b) is the sectional view which respectively shows the state of the reed valve part at the time of valve opening. 第2実施形態のベーン式バキュームポンプについて、(a)はそのリードバルブ部が備える第1リードバルブの平面図であり、(b)は同リードバルブ部が備える第2リードバルブの平面図である。About the vane type vacuum pump of 2nd Embodiment, (a) is a top view of the 1st reed valve with which the reed valve part is provided, (b) is a top view of the 2nd reed valve with which the reed valve part is provided. . 第2実施形態のベーン式バキュームポンプの変形例について、(a)はそのリードバルブ部が備える第1リードバルブの平面図であり、(b)は同リードバルブ部が備える第2リードバルブの平面図である。(A) is a top view of the 1st reed valve with which the reed valve part is provided, and (b) is a plane of the 2nd reed valve with which the reed valve part is provided about the modification of the vane type vacuum pump of a 2nd embodiment. FIG. 第2実施形態のベーン式バキュームポンプの更なる変形例について、(a)はそのリードバルブ部が備える第1リードバルブの平面図であり、(b)は同リードバルブ部が備える第2リードバルブの平面図である。About the further modification of the vane type vacuum pump of 2nd Embodiment, (a) is a top view of the 1st reed valve with which the reed valve part is provided, (b) is the 2nd reed valve with which the reed valve part is provided. FIG. 第3実施形態のベーン式バキュームポンプについて、(a)はそのリードバルブ部が備える第1リードバルブの平面図であり、(b)は同リードバルブ部が備える第2リードバルブの平面図である。About the vane type vacuum pump of 3rd Embodiment, (a) is a top view of the 1st reed valve with which the reed valve part is provided, (b) is a top view of the 2nd reed valve with which the reed valve part is provided. .
(第1実施形態)
以下、ベーン式バキュームポンプの第1実施形態を、図1〜図4を参照して詳細に説明する。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of a vane type vacuum pump will be described in detail with reference to FIGS.
図1に示されるベーン式バキュームポンプは、その下側の部分がオイルに浸された状態で、エンジンのシリンダーヘッドの内部に設置される。ベーン式バキュームポンプは、カムシャフトに連結され、その回転より動作して、例えばブレーキブースターなどの負圧アクチュエーターから空気を吸引して、シリンダーヘッド内に吐出する。   The vane type vacuum pump shown in FIG. 1 is installed inside a cylinder head of an engine with its lower part immersed in oil. The vane type vacuum pump is connected to a camshaft and operates by its rotation to suck air from a negative pressure actuator such as a brake booster and discharge it into the cylinder head.
ベーン式バキュームポンプは、上記吸引した空気を吐出するための吐出口10を有する。吐出口10は、ベーン式バキュームポンプがシリンダーヘッドカバー内に設置されたときに、上記オイルの液面よりも少し上側の位置に位置される。また、ベーン式バキュームポンプは、吐出口10を開閉するリードバルブ部11を有する。   The vane type vacuum pump has a discharge port 10 for discharging the sucked air. The discharge port 10 is located at a position slightly above the oil level when the vane vacuum pump is installed in the cylinder head cover. The vane vacuum pump has a reed valve portion 11 that opens and closes the discharge port 10.
図2に、リードバルブ部11の斜視構造を示す。同図に示すように、リードバルブ部11は、第1リードバルブ12、第2リードバルブ13、ストッパー部材14を備える。
図3に、リードバルブ部11の分解斜視構造を示す。同図に示すように、第1リードバルブ12、第2リードバルブ13、ストッパー部材14の図中右側の端部にはそれぞれ、通孔12c,13c,14cが空けられている。そしてそれらは、吐出口10側から第1リードバルブ12、第2リードバルブ13、ストッパー部材14の順に重ね置き、吐出口10側方のネジ穴15に、それらの通孔12c,13c,14cを通してボルト16を締結することで、ポンプ本体17に一括して取り付けられる。
FIG. 2 shows a perspective structure of the reed valve unit 11. As shown in the figure, the reed valve unit 11 includes a first reed valve 12, a second reed valve 13, and a stopper member 14.
FIG. 3 shows an exploded perspective structure of the reed valve unit 11. As shown in the figure, through holes 12c, 13c, and 14c are opened at the right end portions of the first reed valve 12, the second reed valve 13, and the stopper member 14, respectively. Then, they are stacked in the order of the first reed valve 12, the second reed valve 13, and the stopper member 14 from the discharge port 10 side, and the screw holes 15 on the side of the discharge port 10 are passed through the through holes 12c, 13c, and 14c. The bolts 16 are fastened to be attached to the pump body 17 at a time.
第1リードバルブ12および第2リードバルブ13は、材質および平面形状は同じであるが、板厚が異なっている。同図では、第2リードバルブ22の板厚が第1リードバルブ21の板厚よりも大となっているが、第1リードバルブ21の板厚を第2リードバルブ22の板厚よりも大としてもよい。   The first reed valve 12 and the second reed valve 13 are the same in material and plan shape, but have different plate thicknesses. In the drawing, the plate thickness of the second reed valve 22 is larger than the plate thickness of the first reed valve 21, but the plate thickness of the first reed valve 21 is larger than the plate thickness of the second reed valve 22. It is good.
これら第1リードバルブ12および第2リードバルブ13は、ボルト16によりポンプ本体17に固定される固定部分12a,13aと、弾性変形が許容された弁体部分12b,13bとからなり、それらの弁体部分12b,13bは、吐出口10の開口全体を覆う形状、大きさに形成されている。そして、第1リードバルブ12は、その弁体部分12bが吐出口10の開口周縁に設けられた弁座18に当接するように設置され、第2リードバルブ13は、弁体部分12b,13bが互いに摺接した状態で、第1リードバルブ12の上に重ね合わされるように設置される。   The first reed valve 12 and the second reed valve 13 are composed of fixed portions 12a and 13a fixed to the pump body 17 by bolts 16 and valve body portions 12b and 13b which are allowed to be elastically deformed. The body parts 12 b and 13 b are formed in a shape and size that cover the entire opening of the discharge port 10. The first reed valve 12 is installed so that the valve body portion 12b abuts on a valve seat 18 provided at the opening periphery of the discharge port 10, and the second reed valve 13 has valve body portions 12b and 13b. It is installed so as to be superimposed on the first reed valve 12 while being in sliding contact with each other.
ストッパー部材14は、第1リードバルブ12および第2リードバルブ13よりも板厚の大きい金属板からなる。そして、ストッパー部材14は、ボルト16による固定される側の端からその反対側の端に向かうほど、吐出口10から離れるように湾曲形成されている。   The stopper member 14 is made of a metal plate that is thicker than the first reed valve 12 and the second reed valve 13. The stopper member 14 is curved so as to move away from the discharge port 10 from the end fixed to the bolt 16 toward the opposite end.
続いて、こうしたベーン式バキュームポンプのリードバルブ部11によりもたらされる作用を説明する。
ベーン式バキュームポンプの動作中、吐出口10からは間欠的に空気が吐出される。リードバルブ部11は、空気の吐出時には、吐出口10を開き、非吐出時には、吐出口10を閉じるように動作する。
Then, the effect | action brought about by the reed valve part 11 of such a vane type vacuum pump is demonstrated.
During the operation of the vane type vacuum pump, air is intermittently discharged from the discharge port 10. The reed valve unit 11 operates so as to open the discharge port 10 when discharging air and close the discharge port 10 when not discharging.
図4(a)は、吐出口10が閉じられたときのリードバルブ部11の状態を示している。同図に示すように、このときの第1リードバルブ12の弁体部分12bは、弁座18に接触し、吐出口10の開口を閉塞している。   FIG. 4A shows the state of the reed valve portion 11 when the discharge port 10 is closed. As shown in the figure, the valve body portion 12 b of the first reed valve 12 at this time is in contact with the valve seat 18 and closes the opening of the discharge port 10.
図4(b)は、吐出口10を開かれたときのリードバルブ部11の状態を示している。吐出口10からの空気の吐出が開始されると、その圧力により、第1リードバルブ12の弁体部分12bが、さらにはそれに当接された第2リードバルブ13の弁体部分13bが湾曲するように撓む。そして、これにより、第1リードバルブ12の弁体部分12bが弁座18から離れ、吐出口10が開かれる。   FIG. 4B shows a state of the reed valve portion 11 when the discharge port 10 is opened. When discharge of air from the discharge port 10 is started, the valve body portion 12b of the first reed valve 12 and further the valve body portion 13b of the second reed valve 13 in contact therewith are bent by the pressure. Bend. As a result, the valve body portion 12b of the first reed valve 12 is separated from the valve seat 18, and the discharge port 10 is opened.
第1リードバルブ12、第2リードバルブ13は、吐出口10の開閉の周期の逆数が自身の固有振動数に近づくと、共振するようになる。仮に、第1リードバルブ12および第2リードバルブ13が同時に共振することがあると、吐出口10から吐出される空気に脈動が発生し、ベーン式バキュームポンプが設置されたシリンダーヘッドカバー内の空間に圧力変動が生じる。そして、その圧力変動により、シリンダーヘッドカバーの壁面が振動し、その振動エネルギーが外部に音として放射されることで、異音が発生してしまう。   The first reed valve 12 and the second reed valve 13 resonate when the reciprocal of the opening / closing cycle of the discharge port 10 approaches its own natural frequency. If the first reed valve 12 and the second reed valve 13 resonate at the same time, pulsation occurs in the air discharged from the discharge port 10, and the space in the cylinder head cover where the vane type vacuum pump is installed is formed. Pressure fluctuation occurs. Then, due to the pressure fluctuation, the wall surface of the cylinder head cover vibrates, and the vibration energy is radiated as sound to the outside, so that abnormal noise is generated.
その点、本実施形態のベーン式バキュームポンプでは、板厚の異なった第1リードバルブ21および第2リードバルブ22は、異なった共振周波数を有するため、同時には共振しない。そのため、それらの一方が共振しても、その振動が、共振していないもう一方により抑えられようになり、共振時の振動振幅がより小さくなる。   In that respect, in the vane type vacuum pump of this embodiment, the first reed valve 21 and the second reed valve 22 having different plate thicknesses have different resonance frequencies, and therefore do not resonate at the same time. Therefore, even if one of them resonates, the vibration is suppressed by the other not resonating, and the vibration amplitude at the time of resonance becomes smaller.
また、重ねて設置された第1リードバルブ12および第2リードバルブ13の接触面間には、吐出口10の開閉時に相対摺動が生じる。そのため、本実施形態のベーン式バキュームポンプでは、その相対摺動による接触面間の摩擦により、第1リードバルブ12および第2リードバルブ13の振動が減衰されるようにもなる。   In addition, relative sliding occurs between the contact surfaces of the first reed valve 12 and the second reed valve 13 installed in an overlapping manner when the discharge port 10 is opened and closed. Therefore, in the vane type vacuum pump of this embodiment, the vibrations of the first reed valve 12 and the second reed valve 13 are also attenuated by the friction between the contact surfaces due to the relative sliding.
なお、本実施形態のベーン式バキュームポンプでは、ストッパー部材14によって、一定量を超えた第1リードバルブ12および第2リードバルブ13の開弁は禁止される。そのため、吐出口10からの空気の吐出圧が過大となったときにも、第1リードバルブ12および第2リードバルブ13が開き過ぎないようになる。   In the vane type vacuum pump of this embodiment, the stopper member 14 prohibits the opening of the first reed valve 12 and the second reed valve 13 exceeding a certain amount. For this reason, even when the discharge pressure of air from the discharge port 10 becomes excessive, the first reed valve 12 and the second reed valve 13 do not open too much.
以上説明した本実施形態のベーン式バキュームポンプによれば、次の効果を奏することができる。
(1)本実施形態のベーン式バキュームポンプでは、その吐出口10を開閉するリードバルブを、重ねて設置され、異なる共振周波数を有した第1リードバルブ21、第2リードバルブ22により構成している。そのため、異音の原因となるリードバルブの共振を好適に抑制することができる。
According to the vane type vacuum pump of this embodiment demonstrated above, there can exist the following effects.
(1) In the vane type vacuum pump of the present embodiment, the reed valve that opens and closes the discharge port 10 is configured by being overlapped and configured by the first reed valve 21 and the second reed valve 22 having different resonance frequencies. Yes. Therefore, resonance of the reed valve that causes abnormal noise can be suitably suppressed.
(2)重ねて設置された第1リードバルブ21および第2リードバルブ22の接触面間の摩擦により、それらの振動が減衰されるため、それによっても、リードバルブの共振が抑えられる。   (2) Since the vibration between the contact surfaces of the first reed valve 21 and the second reed valve 22 installed in an overlapping manner is damped, the resonance of the reed valve is also suppressed.
(3)第1リードバルブ12および第2リードバルブ13の外側に、それらの開弁量を制限するストッパー部材14が設けられているため、恒久的に変形が残るような第1リードバルブ12および第2リードバルブ13の過剰変形を好適に抑制することができる。   (3) Since the stopper member 14 for restricting the valve opening amount is provided outside the first reed valve 12 and the second reed valve 13, the first reed valve 12 and the first reed valve 12 which are permanently deformed and Excessive deformation of the second reed valve 13 can be suitably suppressed.
(4)異なる板厚とするだけで、第1リードバルブ12、第2リードバルブ13の共振周波数を容易に異ならせることができる。例えば、第1リードバルブ12、第2リードバルブ13をプレス加工で製造する場合、素材となる板金の板厚を変えることで、同じプレス型を使ってそれらを製造可能である。   (4) The resonance frequency of the first reed valve 12 and the second reed valve 13 can be easily made different simply by setting different plate thicknesses. For example, when manufacturing the 1st reed valve 12 and the 2nd reed valve 13 by press processing, they can be manufactured using the same press type by changing the sheet thickness of the sheet metal used as a material.
(第2実施形態)
次に、ベーン式バキュームポンプの第2実施形態を、図5〜図7を併せ参照して詳細に説明する。なお本実施形態にあって、上記実施形態と共通する構成については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
(Second Embodiment)
Next, a second embodiment of the vane type vacuum pump will be described in detail with reference to FIGS. In addition, in this embodiment, about the structure which is common in the said embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the detailed description is abbreviate | omitted.
図5(a)、(b)に、本実施形態のベーン式バキュームポンプに使用する、2枚のリードバルブを示す。同図(a)に示される第1リードバルブ21は、吐出口10周囲の弁座18に接するように設置され、同図(b)に示される第2リードバルブ22は、弁体部分が互いに摺接した状態で第1リードバルブ21に重ねて設置される。第1リードバルブ21、第2リードバルブ22は、材質および板厚は同じであるが、平面形状が異なっている。例えば同図の場合、第2リードバルブ22は、第1リードバルブ21よりもその弁体部分が小さくされている。   FIGS. 5A and 5B show two reed valves used in the vane type vacuum pump of this embodiment. The first reed valve 21 shown in FIG. 5A is installed in contact with the valve seat 18 around the discharge port 10, and the second reed valve 22 shown in FIG. It is installed so as to overlap the first reed valve 21 in a slidable contact state. The first reed valve 21 and the second reed valve 22 are the same in material and plate thickness, but have different planar shapes. For example, in the case of the figure, the second reed valve 22 has a smaller valve body portion than the first reed valve 21.
こうした本実施形態でも、平面形状の異なる第1リードバルブ21および第2リードバルブ22は、異なった共振周波数を有する。そのため、第1リードバルブ21および第2リードバルブ22が同時に共振しなくなり、共振異音の原因となるリードバルブの共振が好適に抑制される。したがって、以上説明した本実施形態のベーン式バキュームポンプによっても、上記(1)〜(3)に記載の効果を奏することができる。   Also in this embodiment, the first reed valve 21 and the second reed valve 22 having different planar shapes have different resonance frequencies. Therefore, the first reed valve 21 and the second reed valve 22 do not resonate at the same time, and the reed valve resonance that causes resonance noise is suitably suppressed. Therefore, the effects described in (1) to (3) can be achieved also by the vane type vacuum pump of the present embodiment described above.
なお、図5の例では、第1リードバルブ21よりも弁体部分が小さくなるように第2リードバルブ22を形成することで、両者を異なった形状としていたが、例えば以下のような他の態様で両者の形状を異ならせるようにしてもよい。   In the example of FIG. 5, the second reed valve 22 is formed so that the valve body portion is smaller than the first reed valve 21, so that the two have different shapes. You may make it make both shapes differ in an aspect.
・図6(a)、(b)に示されるように、第1リードバルブ23よりも弁体部分が大きくなるように第2リードバルブ24を形成することでも、両者の共振周波数を異ならせることができる。   As shown in FIGS. 6A and 6B, the resonance frequency of the second reed valve 24 can be made different by forming the second reed valve 24 so that the valve body portion is larger than the first reed valve 23. Can do.
・図7(a)、(b)に示されるように、第1リードバルブ25および第2リードバルブ26のいずれか(同図では第2リードバルブ26)の弁体部分に穴27を空けることで、両者の共振周波数を異ならせるようにしてもよい。また、第1および第2リードバルブの双方に穴を空けるとともに、その穴の形状や大きさ、数を異ならせることで、両者を異なった共振周波数とすることも可能である。   As shown in FIGS. 7A and 7B, a hole 27 is formed in the valve body portion of either the first reed valve 25 or the second reed valve 26 (the second reed valve 26 in the figure). Thus, the resonance frequencies of the two may be different. Further, by making holes in both the first and second reed valves and making the shapes, sizes, and numbers of the holes different, it is possible to set both to different resonance frequencies.
(第3実施形態)
次に、ベーン式バキュームポンプの第3実施形態を、図8を併せ参照して詳細に説明する。なお本実施形態にあって、上述の実施形態と共通する構成については、同一の符号を付してその詳細な説明は省略する。
(Third embodiment)
Next, a third embodiment of the vane type vacuum pump will be described in detail with reference to FIG. In addition, in this embodiment, about the structure which is common in the above-mentioned embodiment, the same code | symbol is attached | subjected and the detailed description is abbreviate | omitted.
図8(a)、(b)に、本実施形態のベーン式バキュームポンプに使用する、2枚のリードバルブを示す。同図(a)に示される第1リードバルブ28は、吐出口10周囲の弁座18に接するように設置され、同図(b)に示される第2リードバルブ29は、弁体部分が互いに摺接した状態で第1リードバルブ28に重ねて設置される。第1リードバルブ28、第2リードバルブ29は、寸法形状は同じであるが、材質が異なっている。   FIGS. 8A and 8B show two reed valves used in the vane type vacuum pump of this embodiment. The first reed valve 28 shown in FIG. 10A is installed so as to contact the valve seat 18 around the discharge port 10, and the second reed valve 29 shown in FIG. It is installed so as to overlap the first reed valve 28 in a slidable contact state. The first reed valve 28 and the second reed valve 29 have the same dimensional shape but different materials.
こうした本実施形態でも、材質の異なる第1リードバルブ28および第2リードバルブ29は、異なった共振周波数を有する。そのため、第1リードバルブ28および第2リードバルブ29が同時に共振しなくなり、共振異音の原因となるリードバルブの共振が好適に抑制される。したがって、以上説明した本実施形態のベーン式バキュームポンプによっても、上記(1)〜(3)に記載の効果を奏することができる。   Also in this embodiment, the first reed valve 28 and the second reed valve 29 made of different materials have different resonance frequencies. Therefore, the first reed valve 28 and the second reed valve 29 do not resonate at the same time, and the reed valve resonance that causes resonance noise is suitably suppressed. Therefore, the effects described in (1) to (3) can be achieved also by the vane type vacuum pump of the present embodiment described above.
なお、上記実施形態は以下のように変更して実施することもできる。
・第1,第2リードバルブ、ストッパー部材の形状は、適用されるベーン式バキュームポンプの吐出口の形状に合わせて適宜変更することができる。
In addition, the said embodiment can also be changed and implemented as follows.
The shapes of the first and second reed valves and the stopper member can be appropriately changed according to the shape of the discharge port of the applied vane type vacuum pump.
・ストッパー部材14は、省略してもよい。
・第1、第2リードバルブの板厚、形状、材質のうちの2つ、またはすべてを異ならせることで、両リードバルブの共振周波数を異ならせるようにしてもよい。
The stopper member 14 may be omitted.
The resonance frequency of both the reed valves may be made different by changing two or all of the plate thickness, shape, and material of the first and second reed valves.
・上記実施形態では、第1、第2リードバルブを別部材としていたが、弁体部分が互いに摺接しただけの状態となっているのであれば、それらを一体形成するようにしてもよい。例えば、一枚の板材を2つ折にすることで、弁体部分が互いに摺接した状態となるように2枚重ねられたリードバルブを形成することができる。   In the above embodiment, the first and second reed valves are separate members. However, as long as the valve body portions are in sliding contact with each other, they may be integrally formed. For example, by folding a single plate material into two, a reed valve can be formed in which two valve elements are stacked so that the valve body portions are in sliding contact with each other.
10…吐出口、11…リードバルブ部、12…第1リードバルブ(12a…固定部分、12b…弁体部分、12c…通孔)、13…第2リードバルブ(13a…固定部分、13b…弁体部分、13c…通孔)、14…ストッパー部材(14c…通孔)、15…ネジ穴、16…ボルト、17…ポンプ本体、18…弁座、21,23,25,28…第1リードバルブ、22,24,26,29…第2リードバルブ。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 10 ... Discharge port, 11 ... Reed valve part, 12 ... 1st reed valve (12a ... fixed part, 12b ... Valve body part, 12c ... through-hole), 13 ... 2nd reed valve (13a ... fixed part, 13b ... valve Body part, 13c ... through hole), 14 ... stopper member (14c ... through hole), 15 ... screw hole, 16 ... bolt, 17 ... pump body, 18 ... valve seat, 21,23,25,28 ... first lead Valve, 22, 24, 26, 29 ... second reed valve.

Claims (5)

  1. 気体を吸入して吐出口から吐出する、ベーン式バキュームポンプにおいて、
    前記吐出口に設置された第1リードバルブと、
    前記第1リードバルブに重ねて設置され、同第1リードバルブとは異なる共振周波数を有した第2リードバルブと、
    を備えることを特徴とするベーン式バキュームポンプ。
    In a vane type vacuum pump that sucks gas and discharges it from the discharge port.
    A first reed valve installed at the discharge port;
    A second reed valve that is installed over the first reed valve and has a resonance frequency different from that of the first reed valve;
    A vane type vacuum pump comprising:
  2. 前記第1リードバルブおよび前記第2リードバルブは、板厚が異ならされている、
    ことを特徴とする請求項1に記載のベーン式バキュームポンプ。
    The first reed valve and the second reed valve have different plate thicknesses,
    The vane type vacuum pump according to claim 1 characterized by things.
  3. 前記第1リードバルブおよび前記第2リードバルブは、形状が異ならされている、
    ことを特徴とする請求項1または2に記載のベーン式バキュームポンプ。
    The first reed valve and the second reed valve have different shapes,
    The vane type vacuum pump according to claim 1 or 2.
  4. 前記第1リードバルブおよび前記第2リードバルブは、材質が異ならされている、
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1項に記載のベーン式バキュームポンプ。
    The first reed valve and the second reed valve are made of different materials.
    The vane type vacuum pump according to any one of claims 1 to 3.
  5. 前記第1リードバルブおよび前記第2リードバルブの外側に設けられて、それらの開弁量を制限するストッパー部材を備える、
    ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか1項に記載のベーン式バキュームポンプ。
    A stopper member that is provided outside the first reed valve and the second reed valve and limits the amount of valve opening;
    The vane type vacuum pump according to any one of claims 1 to 4, wherein:
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