JP2015136692A

JP2015136692A - Film deposition device

Info

Publication number: JP2015136692A
Application number: JP2014011790A
Authority: JP
Inventors: 衛奥本; Mamoru Okumoto
Original assignee: Daikin Industries Ltd
Current assignee: Daikin Industries Ltd
Priority date: 2014-01-24
Filing date: 2014-01-24
Publication date: 2015-07-30

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a film deposition device capable of forming a uniform coat on a surface of an object without causing increase in size.SOLUTION: A film deposition device (10) includes: a plasma processing mechanism (80) having a plurality of electrodes (81); an electrostatic atomization type spraying mechanism (30) having a plurality of spraying pipes (51); and a belt conveyor (15) for conveying an object (20) from the plasma processing mechanism (80) to the spraying mechanism (30) in this order. The spraying mechanism (30) is arranged in a position in which, in a conveyance direction of the belt conveyor (15), distance between the closest spraying pipe (51) and the electrode (81) becomes longer than the length of the object (20) in the conveyance direction. A voltage application part (45) of the spraying mechanism (30) is provided on the further plasma processing mechanism (80) side than the plurality of spraying pipes (51) in the conveyance direction.

Description

本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置に関するものである。 The present invention relates to a film forming apparatus that forms a film on an object by electrostatic spraying.

従来より、いわゆる静電噴霧法を用いて原料液を霧化し、霧化した原料液を基板等の対象物に付着させることにより被膜を形成する成膜装置が知られている。特許文献１には、広い面に被膜を形成するために、一列に並んだ複数の開口から原料液を噴霧する成膜装置が開示されている。 2. Description of the Related Art Conventionally, a film forming apparatus that forms a film by atomizing a raw material liquid using a so-called electrostatic spraying method and attaching the atomized raw material liquid to an object such as a substrate is known. Patent Document 1 discloses a film forming apparatus that sprays a raw material liquid from a plurality of openings arranged in a row in order to form a film on a wide surface.

ところで、上述のような成膜装置では、通常、対象物の表面に均一に成膜するべく、静電噴霧工程の前に、プラズマを照射して対象物の表面を洗浄する前処理工程を行っている。具体的には、成膜装置は、対象物にプラズマを照射するプラズマ処理機構と、帯電した原料液を霧化状態で対象物に噴霧する静電噴霧機構とを備えている。プラズマ処理機構は、電極と、該電極と対象物との間に高電圧を印加して放電を生起させて対象物にプラズマを照射する電圧印加部とを有している。一方、静電噴霧機構は、噴霧管と、該噴霧管と対象物との間に高電圧を印加して原料液を噴霧管から帯電した霧化状態で噴霧させる電圧印加部とを有している。上記成膜装置は、通常、基板等の対象物を搬送する搬送機構を有し、該搬送機構の搬送方向の後側にプラズマ処理機構が設けられ、搬送方向の前側に静電噴霧機構が設けられている。 By the way, in the film forming apparatus as described above, in order to form a film uniformly on the surface of the object, a pretreatment process for cleaning the surface of the object by irradiating plasma is performed before the electrostatic spraying process. ing. Specifically, the film forming apparatus includes a plasma processing mechanism that irradiates a target with plasma and an electrostatic spray mechanism that sprays a charged raw material liquid onto the target in an atomized state. The plasma processing mechanism includes an electrode and a voltage application unit that applies a high voltage between the electrode and the object to cause discharge to irradiate the object with plasma. On the other hand, the electrostatic spray mechanism has a spray tube and a voltage application unit that applies a high voltage between the spray tube and an object to spray the raw material liquid in an atomized state charged from the spray tube. Yes. The film forming apparatus usually has a transport mechanism for transporting an object such as a substrate, a plasma processing mechanism is provided on the rear side in the transport direction of the transport mechanism, and an electrostatic spray mechanism is provided on the front side in the transport direction. It has been.

特開２０１２−１３５７０４号公報JP 2012-135704 A

しかしながら、上記成膜装置では、基板等の対象物が、プラズマ処理機構、静電噴霧機構の順に通過する。そのため、プラズマ処理機構と静電噴霧機構との間の設置の仕方によっては、同一の対象物に同時にプラズマ処理と静電噴霧とが行われる虞がある。電極と対象物との間に高電圧を印加するプラズマ処理と噴霧管と対象物との間に高電圧を印加する静電噴霧とが同一の対象物に同時に行われると、対象物付近の電界がプラズマ処理及び静電噴霧のいずれか又は両方の動作に適した状態とならず、均一に成膜できなくなる虞がある。そのため、プラズマ処理機構と静電噴霧機構とは互いの処理が同一対象物に同時に行われないように離して配置されることが好ましい。しかしながら、プラズマ処理機構と静電噴霧機構との間隔を大きくすると、成膜装置の大型化を招いてしまうという問題がある。 However, in the film forming apparatus, an object such as a substrate passes through the plasma processing mechanism and the electrostatic spray mechanism in this order. Therefore, depending on the installation method between the plasma processing mechanism and the electrostatic spray mechanism, there is a possibility that the plasma treatment and the electrostatic spray may be simultaneously performed on the same object. When plasma treatment for applying a high voltage between the electrode and the object and electrostatic spraying for applying a high voltage between the spray tube and the object are simultaneously performed on the same object, an electric field in the vicinity of the object is obtained. However, there is a possibility that the film cannot be uniformly formed because it is not in a state suitable for the operation of either or both of plasma treatment and electrostatic spraying. Therefore, it is preferable that the plasma processing mechanism and the electrostatic spray mechanism are arranged apart from each other so that the processes are not simultaneously performed on the same object. However, when the interval between the plasma processing mechanism and the electrostatic spray mechanism is increased, there is a problem that the film forming apparatus is increased in size.

本発明は、かかる点に鑑みてなされたものであり、その目的は、対象物の表面に均一な被膜を形成可能な成膜装置を、大型化を招くことなく提供することにある。 This invention is made | formed in view of this point, The objective is to provide the film-forming apparatus which can form a uniform coating film on the surface of a target object without causing enlargement.

第１の発明は、対象物（20）にプラズマを照射することによって該対象物（20）の表面を洗浄するプラズマ処理機構（80）と、上記対象物（20）に原料液を噴霧することによって該対象物（20）の表面に被膜を形成する静電噴霧型の噴霧機構（30）と、上記対象物（20）を上記プラズマ処理機構（80）、上記噴霧機構（30）の順に搬送する搬送機構（15）とを備えた成膜装置であって、上記プラズマ処理機構（80）は、複数の電極（81）と、該複数の電極（81）と上記対象物（20）との間にプラズマを生成する放電が生起されるように電圧を印加する高電圧印加部（82）とを有し、上記噴霧機構（30）は、導電性材料によって構成されて上記原料液が供給される複数の噴霧管（51）と、上記原料液が帯電した液滴となって上記各噴霧管（51）から上記対象物（20）へ噴霧されるように複数の上記噴霧管（51）と上記対象物（20）との間に電圧を印加する電圧印加部（45）とを有する一方、上記搬送機構（15）の搬送方向において、最も接近した上記噴霧管（51）と上記電極（81）との間の距離が、上記対象物（20）の上記搬送方向の長さよりも長くなる位置に配置され、上記噴霧機構（30）の上記電圧印加部（45）は、上記搬送方向において、複数の上記噴霧管（51）よりも上記プラズマ処理機構（80）側に設けられている。 The first invention is a plasma processing mechanism (80) for cleaning the surface of the object (20) by irradiating the object (20) with plasma, and spraying the raw material liquid onto the object (20). An electrostatic spray type spray mechanism (30) for forming a film on the surface of the object (20) by the above, and the object (20) is conveyed in the order of the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30). And a plasma processing mechanism (80) including a plurality of electrodes (81), a plurality of electrodes (81), and the object (20). And a high voltage application unit (82) for applying a voltage so that a discharge generating plasma is generated between them, and the spray mechanism (30) is made of a conductive material and supplied with the raw material liquid. A plurality of spray tubes (51), and the above-mentioned target from each spray tube (51) becomes a charged droplet of the raw material liquid While having a voltage application part (45) which applies a voltage between the said several spray pipe (51) and the said target object (20) so that it may spray to (20), on the other hand, of the said conveyance mechanism (15) The spray mechanism is disposed at a position where the distance between the spray tube (51) and the electrode (81) that are closest to each other in the transport direction is longer than the length of the object (20) in the transport direction. The voltage application unit (45) of (30) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction.

第１の発明では、搬送機構（15）によって、対象物（20）が、プラズマ処理機構（80）、噴霧機構（30）の順に搬送される。プラズマ処理機構（80）では、電極（81）と対象物（20）との間に生起された放電によってプラズマが生成され、該プラズマによって対象物（20）の表面が洗浄されるプラズマ処理が行われる。一方、噴霧機構（30）では、噴霧管（51）と対象物（20）との間に電圧が印加され、噴霧管（51）に供給された原料液が帯電した液滴となって噴霧管（51）から対象物（20）へ噴霧される静電噴霧が行われる。このようなプラズマ処理及び静電噴霧が行われることにより、対象物（20）の表面に被膜が形成される。 In the first invention, the object (20) is conveyed by the conveying mechanism (15) in the order of the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30). In the plasma processing mechanism (80), plasma is generated by the discharge generated between the electrode (81) and the object (20), and the surface of the object (20) is cleaned by the plasma. Is called. On the other hand, in the spray mechanism (30), a voltage is applied between the spray tube (51) and the object (20), and the raw material liquid supplied to the spray tube (51) becomes charged droplets. Electrostatic spraying is performed from (51) onto the object (20). By performing such plasma treatment and electrostatic spraying, a film is formed on the surface of the object (20).

また、第１の発明では、噴霧機構（30）が、搬送機構（15）の搬送方向において、最も接近した噴霧管（51）と電極（81）との間の距離が、対象物（20）の搬送方向の長さよりも長くなる位置に配置されている。そのため、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同一の対象物（20）に同時に行われることがない。 In the first invention, the distance between the spray tube (51) and the electrode (81) closest to the spray mechanism (30) in the transport direction of the transport mechanism (15) is the object (20). It is arrange | positioned in the position which becomes longer than the length of this conveyance direction. Therefore, the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not simultaneously performed on the same object (20).

さらに、第１の発明では、噴霧機構（30）の電圧印加部（45）を、搬送方向において、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けている。つまり、噴霧機構（30）の内部において噴霧管（51）をプラズマ処理機構（80）から遠ざけることで、プラズマ処理機構（80）と噴霧機構（30）との距離を大きくすることなく、プラズマ処理機構（80）の電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくしている。よって、プラズマ処理機構（80）の電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくしても、成膜装置が大型化しない。 Furthermore, in the first invention, the voltage application unit (45) of the spray mechanism (30) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction. That is, by moving the spray tube (51) away from the plasma processing mechanism (80) inside the spray mechanism (30), the plasma processing without increasing the distance between the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30). The distance between the electrode (81) of the mechanism (80) and the spray pipe (51) of the spray mechanism (30) is increased. Therefore, even if the distance between the electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30) is increased, the film forming apparatus does not increase in size.

第２の発明は、第１の発明において、上記噴霧機構（30）は、上記噴霧管（51）がそれぞれ複数取り付けられ、上記搬送方向に延びて互いに間隔を空けて平行に配列された複数の平板部材（41）を有し、上記電圧印加部（45）は、上記複数の平板部材（41）に１つずつ設けられ、該各平板部材（41）に取り付けられた複数の上記噴霧管（51）と上記対象物（20）との間に電圧を印加するように構成され、上記各平板部材（41）において、上記電圧印加部（45）は、上記搬送方向において複数の上記噴霧管（51）よりも上記プラズマ処理機構（80）側に設けられている。 According to a second aspect, in the first aspect, the spray mechanism (30) includes a plurality of the spray tubes (51), each extending in the transport direction and spaced in parallel to each other. A flat plate member (41), and the voltage application unit (45) is provided one by one on the plurality of flat plate members (41), and the plurality of spray tubes (41) attached to the flat plate members (41) ( 51) and the object (20) are configured to apply a voltage. In each of the flat plate members (41), the voltage application unit (45) includes a plurality of spray tubes ( 51) from the plasma processing mechanism (80) side.

第２の発明では、複数の噴霧管（51）と電圧印加部（45）とがそれぞれ取り付けられた複数の平板部材（41）を、各平板部材（41）が搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列されるように設置することで、複数の噴霧管（51）と複数の電圧印加部（45）とが設置される。また、各電圧印加部（45）は、各平板部材（41）において、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けられるように各平板部材（41）に取り付けられている。そのため、複数の平板部材（41）を上述のように配列するだけで、各電圧印加部（45）が、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設置される。 In the second invention, the plurality of flat plate members (41) to which the plurality of spray tubes (51) and the voltage application section (45) are respectively attached are extended to each other in the conveying direction, and are spaced from each other. A plurality of spray tubes (51) and a plurality of voltage application units (45) are installed by being installed so as to be arranged parallel to each other. In addition, each voltage application unit (45) is attached to each flat plate member (41) so as to be provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in each flat plate member (41). Yes. Therefore, each voltage application part (45) is installed in the plasma processing mechanism (80) side rather than a several spray tube (51) only by arrange | positioning a some flat plate member (41) as mentioned above.

第３の発明は、第２の発明において、上記噴霧機構（30）は、上記複数の平板部材（41）に１つずつ取り付けられ、上記原料液を上記各平板部材（41）に取り付けられた複数の上記噴霧管（51）に供給する複数のポンプ（43）を有し、上記各平板部材（41）において、上記ポンプ（43）は、上記搬送方向において複数の上記噴霧管（51）よりも上記プラズマ処理機構（80）側に設けられている。 In a third aspect based on the second aspect, the spray mechanism (30) is attached to the plurality of flat plate members (41) one by one, and the raw material liquid is attached to the flat plate members (41). It has a plurality of pumps (43) for supplying to the plurality of spray tubes (51), and in each of the flat plate members (41), the pump (43) is more than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction. Is also provided on the plasma processing mechanism (80) side.

第３の発明では、複数の噴霧管（51）と電圧印加部（45）とがそれぞれ取り付けられた複数の平板部材（41）に、各噴霧管（51）に原料液を供給するポンプ（43）がそれぞれ取り付けられている。各ポンプ（43）は、各平板部材（41）において、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けられるように各平板部材（41）に取り付けられている。そのため、複数の平板部材（41）を上述のように配列するだけで、各ポンプ（43）が、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設置される。 In 3rd invention, the pump (43 which supplies raw material liquid to each spray pipe (51) to the several flat plate member (41) to which the several spray pipe (51) and the voltage application part (45) were each attached. ) Are attached. Each pump (43) is attached to each flat plate member (41) in each flat plate member (41) so as to be provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51). Therefore, each pump (43) is installed on the plasma processing mechanism (80) side rather than the plurality of spray tubes (51) only by arranging the plurality of flat plate members (41) as described above.

第４の発明は、第１の発明において、上記噴霧機構（30）は、上記噴霧管（51）がそれぞれ複数取り付けられ、上記搬送方向に延びて互いに間隔を空けて平行に配列された複数の平板部材（41）と、上記搬送方向において上記各平板部材（41）の上記プラズマ処理機構（80）側に該各平板部材（41）に対応するように設けられ、対応する上記平板部材（41）に取り付けられた複数の上記噴霧管（51）と上記対象物（20）との間に電圧を印加するように上記電圧印加部（45）がそれぞれ取り付けられた複数の取付部材（49）とを有している。 In a fourth aspect based on the first aspect, the spray mechanism (30) includes a plurality of spray tubes (51), each extending in the transport direction and spaced in parallel to each other. The flat plate member (41) and the flat plate member (41) are provided on the side of the plasma processing mechanism (80) of the flat plate member (41) in the conveying direction so as to correspond to the flat plate member (41). A plurality of attachment members (49) each having the voltage application part (45) attached thereto so as to apply a voltage between the plurality of spray tubes (51) attached to the object (20) and the object (20). have.

第４の発明では、複数の噴霧管（51）がそれぞれ取り付けられた複数の平板部材（41）を、各平板部材（41）が搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列されるように設置することで、複数の噴霧管（51）が縦横に配列される。また、複数の噴霧管（51）がそれぞれ取り付けられた複数の平板部材（41）と複数の電圧印加部（45）がそれぞれ取り付けられた取付部材（49）とを対応させて設置するだけで、各平板部材（41）に取り付けられた複数の噴霧管（51）と対象物（20）との間に電圧を印加する各電圧印加部（45）が、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設置される。 In the fourth invention, the plurality of flat plate members (41) to which the plurality of spray tubes (51) are respectively attached are arranged so that the respective flat plate members (41) extend in the transport direction and are spaced apart from each other in parallel. As a result, the plurality of spray tubes (51) are arranged vertically and horizontally. In addition, by simply installing a plurality of flat plate members (41) to which a plurality of spray tubes (51) are respectively attached and attachment members (49) to which a plurality of voltage application portions (45) are respectively attached, Each voltage application unit (45) for applying a voltage between a plurality of spray tubes (51) and an object (20) attached to each flat plate member (41) is more plasma than the plurality of spray tubes (51). Installed on the processing mechanism (80) side.

第１の発明によれば、噴霧機構（30）を、搬送機構（15）の搬送方向において、最も接近した噴霧管（51）と電極（81）との間の距離が、対象物（20）の搬送方向の長さよりも長くなる位置に配置することとした。そのため、同一の対象物（20）に対し、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同時に行われることがない。つまり、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが互いに影響し合わず、別個に行われるため、各機構による処理動作が安定する。従って、対象物（20）の表面に均一な被膜を形成することができる。 According to the first invention, the distance between the spray tube (51) and the electrode (81) closest to the spray mechanism (30) in the transport direction of the transport mechanism (15) is the object (20). It was decided to arrange at a position longer than the length in the transport direction. Therefore, the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not simultaneously performed on the same object (20). That is, since the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) do not affect each other and are performed separately, the processing operation by each mechanism is stabilized. Therefore, a uniform film can be formed on the surface of the object (20).

また、第１の発明によれば、噴霧機構（30）の電圧印加部（45）を、搬送方向において、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けることとした。つまり、噴霧機構（30）の内部において噴霧管（51）をプラズマ処理機構（80）から遠ざけることで、プラズマ処理機構（80）と噴霧機構（30）との距離を大きくすることなく、プラズマ処理機構（80）の電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくすることができる。よって、プラズマ処理機構（80）の電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくしても、成膜装置の大型化を抑制することができる。つまり、第１の発明によれば、対象物（20）の表面に均一な被膜を形成可能な成膜装置を、大型化を招くことなく提供することができる。 According to the first invention, the voltage application unit (45) of the spray mechanism (30) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction. That is, by moving the spray tube (51) away from the plasma processing mechanism (80) inside the spray mechanism (30), the plasma processing without increasing the distance between the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30). The distance between the electrode (81) of the mechanism (80) and the spray pipe (51) of the spray mechanism (30) can be increased. Therefore, even if the distance between the electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30) is increased, the enlargement of the film forming apparatus can be suppressed. That is, according to the first invention, a film forming apparatus capable of forming a uniform film on the surface of the object (20) can be provided without causing an increase in size.

また、第２及び第３の発明によれば、搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列される複数の平板部材（41）に、複数の噴霧管（51）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）の他の構成要素とをそれぞれ取り付けることとした。そのため、複数の平板部材（41）を、各平板部材（41）が搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列されるように設置することで、複数の噴霧管（51）と他の構成要素とを容易に設置することができる。また、噴霧管（51）の他の構成要素を、各平板部材（41）において、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けられるように各平板部材（41）に取り付けることとしたため、複数の平板部材（41）を上述のように配列するだけで、噴霧管（51）の他の構成要素を、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に容易に設置することができる。 Further, according to the second and third inventions, the plurality of spray pipes (51) and the spray mechanism (30) are provided on the plurality of flat plate members (41) extending in the transport direction and arranged parallel to each other with a space therebetween. The other components of the spray tube (51) were attached respectively. Therefore, the plurality of flat plate members (41) are installed such that each flat plate member (41) extends in the transport direction and is arranged in parallel with a space between each other. The components can be easily installed. Further, the other components of the spray tube (51) are arranged on each flat plate member (41) so that each flat plate member (41) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51). Since the plurality of flat plate members (41) are arranged as described above, the other components of the spray tube (51) are arranged on the side of the plasma processing mechanism (80) rather than the plurality of spray tubes (51). Can be installed easily.

また、第４の発明によれば、搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列される複数の平板部材（41）に、複数の噴霧管（51）をそれぞれ取り付けることとした。そのため、複数の平板部材（41）を、各平板部材（41）が搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列されるように設置することで、複数の噴霧管（51）を容易に縦横に配列させることができる。また、電圧印加部（45）を、各平板部材（41）のプラズマ処理機構（80）側に各平板部材（41）に対応するように設けられた取付部材（49）に取り付けることとした。そのため、複数の噴霧管（51）がそれぞれ取り付けられた複数の平板部材（41）と複数の電圧印加部（45）がそれぞれ取り付けられた取付部材（49）とを対応させて設置するだけで、各平板部材（41）に取り付けられた複数の噴霧管（51）と対象物（20）との間に電圧を印加する各電圧印加部（45）を、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設置することができる。 Further, according to the fourth invention, the plurality of spray tubes (51) are respectively attached to the plurality of flat plate members (41) extending in the transport direction and arranged in parallel at intervals. Therefore, a plurality of spray pipes (51) can be easily installed by installing a plurality of flat plate members (41) such that each flat plate member (41) extends in the transport direction and is arranged in parallel with a space between each other. Can be arranged vertically and horizontally. Further, the voltage application section (45) is attached to the attachment member (49) provided on the plasma processing mechanism (80) side of each flat plate member (41) so as to correspond to each flat plate member (41). Therefore, only by installing a plurality of flat plate members (41) to which a plurality of spray tubes (51) are respectively attached and a mounting member (49) to which a plurality of voltage application portions (45) are respectively attached, Each voltage application section (45) for applying a voltage between a plurality of spray tubes (51) and an object (20) attached to each flat plate member (41) is more plasma than the plurality of spray tubes (51). It can be installed on the processing mechanism (80) side.

図１は、実施形態１に係る成膜装置の全体構成を示す概略の構成図である。FIG. 1 is a schematic configuration diagram showing the overall configuration of the film forming apparatus according to the first embodiment. 図２は、実施形態１に係る成膜装置の前処理ゾーン及び噴霧ゾーンの概略の構成を示す側面図である。FIG. 2 is a side view illustrating a schematic configuration of a pretreatment zone and a spray zone of the film forming apparatus according to the first embodiment. 図３は、実施形態１に係る噴霧機構の全体構成を示す概略の縦断面図である。FIG. 3 is a schematic longitudinal sectional view showing the overall configuration of the spray mechanism according to the first embodiment. 図４は、図３のIV−IV線断面図である。4 is a cross-sectional view taken along line IV-IV in FIG. 図５は、図４の１つの噴霧ユニットを拡大して示す図である。FIG. 5 is an enlarged view of one spray unit of FIG. 図６は、実施形態１に係る噴霧ユニットの側面図である。FIG. 6 is a side view of the spray unit according to the first embodiment. 図７（Ａ）は、図６のVII（Ａ）−VII（Ａ）線断面図であり、図７（Ｂ）は、図７（Ａ）の噴霧器を側面から視た図である。7A is a sectional view taken along line VII (A) -VII (A) in FIG. 6, and FIG. 7B is a view of the sprayer in FIG. 7A viewed from the side. 図８（Ａ）は、実施形態２に係る成膜装置のプラズマ処理機構及び噴霧機構を模式的に示す側面図であり、図８（Ｂ）は、実施形態２に係る成膜装置のプラズマ処理機構及び噴霧機構を模式的に示す平面図である。FIG. 8A is a side view schematically showing a plasma processing mechanism and a spray mechanism of the film forming apparatus according to the second embodiment, and FIG. 8B is a plasma process of the film forming apparatus according to the second embodiment. It is a top view which shows a mechanism and a spray mechanism typically.

以下、本発明の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、以下の実施形態は、本質的に好ましい例示であって、本発明、その適用物、あるいはその用途の範囲を制限することを意図するものではない。 Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings. The following embodiments are essentially preferable examples, and are not intended to limit the scope of the present invention, its application, or its use.

《発明の実施形態１》
本実施形態の成膜装置（10）は、タッチパネルのガラス基板（対象物）（20）の表面に防汚用の被膜を形成するためのものである。また、本実施形態の成膜装置（10）は、揮発性の溶媒に膜の材料となる成分を溶解させた原料液を、いわゆる静電噴霧法によって噴霧し、ガラス基板（20）の表面に付着させ、原料液中の溶媒が揮発して残留成分がガラス基板（20）の表面上に定着することにより、被膜を形成する静電噴霧型の成膜装置（10）である。 Embodiment 1 of the Invention
The film forming apparatus (10) of the present embodiment is for forming an antifouling film on the surface of a glass substrate (object) (20) of a touch panel. In addition, the film forming apparatus (10) of the present embodiment sprays a raw material liquid in which a component that is a material of the film is dissolved in a volatile solvent by a so-called electrostatic spraying method on the surface of the glass substrate (20). This is an electrostatic spray type film forming apparatus (10) for forming a film by adhering and volatilizing the solvent in the raw material liquid and fixing the remaining components on the surface of the glass substrate (20).

−成膜装置の全体構成−
図１に示すように、成膜装置（10）には、ケーシング（10a）内に、前処理ゾーン（11）と、噴霧ゾーン（12）と、後処理ゾーン（13）とが形成されている。また、成膜装置（10）は、コントローラ（14）を備えている。コントローラ（14）は、成膜装置（10）の運転を制御する。 -Overall configuration of the deposition system-
As shown in FIG. 1, in the film forming apparatus (10), a pretreatment zone (11), a spray zone (12), and a posttreatment zone (13) are formed in a casing (10a). . The film forming apparatus (10) includes a controller (14). The controller (14) controls the operation of the film forming apparatus (10).

成膜装置（10）には、ガラス基板（20）を搬送するためのベルトコンベア（搬送機構）（15）が設けられている。ベルトコンベア（15）は、前処理ゾーン（11）と噴霧ゾーン（12）と後処理ゾーン（13）とに亘って設けられ、導電材料からなる搬送トレイ（25）の上に載せられたガラス基板（20）を、前処理ゾーン（11）、噴霧ゾーン（12）、後処理ゾーン（13）の順に搬送する。つまり、ベルトコンベア（15）は、図１の左から右へ向かって、ガラス基板（20）を真っ直ぐに搬送する。 The film forming apparatus (10) is provided with a belt conveyor (conveying mechanism) (15) for conveying the glass substrate (20). The belt conveyor (15) is provided over the pretreatment zone (11), the spray zone (12), and the posttreatment zone (13), and is placed on a transport tray (25) made of a conductive material. (20) is conveyed in the order of the pretreatment zone (11), the spray zone (12), and the posttreatment zone (13). That is, the belt conveyor (15) conveys the glass substrate (20) straight from left to right in FIG.

図２に示すように、前処理ゾーン（11）には、プラズマ処理機構（80）が設けられ、基板の表面にプラズマを照射して、基板の表面を洗浄する工程が行われる。噴霧ゾーン（12）には、噴霧機構（30）が設けられ、基板の表面に原料液を付着させる工程が行われる。図２では図示を省略しているが、後処理ゾーン（13）には、加熱装置が設けられ、原料液の付着したガラス基板（20）を加熱して、ガラス基板（20）に被膜を定着する工程が行われる。なお、図２に示すように、噴霧ゾーン（12）の噴霧機構（30）の下方には、原料液が貯留された貯留タンク（60）が設けられている。貯留タンク（60）と噴霧機構（30）とは、液供給管（61）で接続され、該液供給管（61）には、脱気タンク（90）が設けられている。また、脱気タンク（90）には、真空ポンプ（91）が接続されている。 As shown in FIG. 2, the pretreatment zone (11) is provided with a plasma processing mechanism (80), and a step of irradiating the surface of the substrate with plasma to clean the surface of the substrate is performed. The spray zone (12) is provided with a spray mechanism (30), and a step of attaching the raw material liquid to the surface of the substrate is performed. Although not shown in FIG. 2, a heating device is provided in the post-processing zone (13), and the glass substrate (20) to which the raw material liquid is adhered is heated to fix the coating on the glass substrate (20). The process to perform is performed. In addition, as shown in FIG. 2, the storage tank (60) in which the raw material liquid was stored is provided below the spray mechanism (30) of the spray zone (12). The storage tank (60) and the spray mechanism (30) are connected by a liquid supply pipe (61), and the liquid supply pipe (61) is provided with a deaeration tank (90). A vacuum pump (91) is connected to the deaeration tank (90).

−プラズマ処理機構−
プラズマ処理機構（80）は、複数（本実施形態では、１０本）の放電電極（81）と、該放電電極（81）に高電圧を印加してコロナ放電を生起する高電圧印加部（82）とを有している。放電電極（81）は、金属製の円筒部材によって構成されている。１０本の放電電極（81）は、ベルトコンベア（15）の搬送方向に直交する水平方向に延び、ベルトコンベア（15）の搬送方向に所定の間隔を置いて等間隔に配列されている。一方、搬送トレイ（25）は、図示を省略するが、プラズマ処理機構（80）のフレームに電気的に接続されることにより、接地されている。 -Plasma processing mechanism-
The plasma processing mechanism (80) includes a plurality (10 in this embodiment) of discharge electrodes (81) and a high voltage application unit (82) that generates a corona discharge by applying a high voltage to the discharge electrodes (81). ). The discharge electrode (81) is made of a metal cylindrical member. The ten discharge electrodes (81) extend in the horizontal direction perpendicular to the conveying direction of the belt conveyor (15), and are arranged at equal intervals with a predetermined interval in the conveying direction of the belt conveyor (15). On the other hand, although not shown, the transport tray (25) is grounded by being electrically connected to the frame of the plasma processing mechanism (80).

このような構成により、プラズマ処理機構（80）では、高電圧印加部（82）が、各放電電極（81）と搬送トレイ（25）に載置されたガラス基板（20）との間に高電圧を印加し、大気中においてコロナ放電を生起する。これにより、大気中において発生したプラズマがガラス基板（20）の表面に照射される。その結果、ガラス基板（20）の表面が洗浄されると共に、親水性が向上する。 With such a configuration, in the plasma processing mechanism (80), the high voltage application unit (82) is placed between each discharge electrode (81) and the glass substrate (20) placed on the transfer tray (25). A voltage is applied to cause corona discharge in the atmosphere. Thereby, the plasma generated in the atmosphere is irradiated on the surface of the glass substrate (20). As a result, the surface of the glass substrate (20) is cleaned and the hydrophilicity is improved.

−噴霧機構−
図３及び図４に示すように、噴霧機構（30）は、フレーム（31）と、該フレーム（31）の内部に支持される一対のユニット支持板（32）と、該一対のユニット支持板（32）の向かい合う端部どうしを連結する一対の側板（33）と、各ユニット支持板（32）及び各側板（33）の上端に固定された天板（34）と、上記一対のユニット支持板（32）に支持される複数の噴霧ユニット（40）と、補助電極（50）とを備えている。 -Spray mechanism-
As shown in FIGS. 3 and 4, the spray mechanism (30) includes a frame (31), a pair of unit support plates (32) supported inside the frame (31), and the pair of unit support plates. (32) a pair of side plates (33) that connect the opposite ends of each other, each unit support plate (32) and the top plate (34) fixed to the upper end of each side plate (33), and the pair of unit supports A plurality of spray units (40) supported by the plate (32) and an auxiliary electrode (50) are provided.

フレーム（31）は、複数本のステーが、直方体形状の枠体を形成するように組み合わされて構成されている。フレーム（31）は、ベルトコンベア（15）を幅方向（搬送方向に直交する方向）に跨ぐように配置され、上述のケーシング（10a）の支柱部材にボルト等の固定具（16）を介して固定されている。フレーム（31）には、噴霧機構（30）の他の構成要素が固定されている。そのため、フレーム（31）とケーシング（10a）の支柱部材との固定状態を解除することにより、噴霧機構（30）がケーシング（10a）から取り外される。 The frame (31) is configured by combining a plurality of stays so as to form a rectangular parallelepiped frame. The frame (31) is arranged so as to straddle the belt conveyor (15) in the width direction (direction orthogonal to the conveying direction), and is attached to the support member of the casing (10a) via a fixing tool (16) such as a bolt. It is fixed. Other components of the spray mechanism (30) are fixed to the frame (31). Therefore, the spray mechanism (30) is removed from the casing (10a) by releasing the fixed state of the frame (31) and the support member of the casing (10a).

一対のユニット支持板（32）は、互いに平行で且つ鉛直な姿勢でフレーム（31）の内部に支持されている。一対のユニット支持板（32）は、ベルトコンベア（15）の搬送方向に所定の間隔を置いて互いに対向して配置される。各ユニット支持板（32）の各内壁面には、複数（本実施形態では１５本）の上下方向に延びる縦溝（35）が形成されている。これらの縦溝（35）は、ベルトコンベア（15）の搬送方向と直交する水平方向（複数の噴霧ユニット（40）の配列方向）に所定の間隔を置いて等間隔に配列されている。各縦溝（35）は、上下に縦長の直方体形状に形成される。各縦溝（35）は、ユニット支持板（32）の上端から該ユニット支持板（32）の下部（ユニット支持板（32）の下端よりもやや上方の部分）まで垂直方向に延びている。つまり、ユニット支持板（32）の上端面には、各縦溝（35）の上端を構成する開口部（36）が形成される。また、各縦溝（35）の下端には、矩形状の底壁部（37）が形成される。 The pair of unit support plates (32) are supported inside the frame (31) in a mutually parallel and vertical posture. The pair of unit support plates (32) are arranged to face each other at a predetermined interval in the conveying direction of the belt conveyor (15). A plurality (15 in the present embodiment) of vertical grooves (35) extending in the vertical direction are formed on each inner wall surface of each unit support plate (32). These vertical grooves (35) are arranged at equal intervals in the horizontal direction (the arrangement direction of the plurality of spray units (40)) orthogonal to the conveying direction of the belt conveyor (15). Each vertical groove (35) is formed in a vertically long rectangular parallelepiped shape. Each vertical groove (35) extends in the vertical direction from the upper end of the unit support plate (32) to the lower portion of the unit support plate (32) (a portion slightly above the lower end of the unit support plate (32)). That is, the opening (36) which comprises the upper end of each vertical groove (35) is formed in the upper end surface of a unit support plate (32). A rectangular bottom wall (37) is formed at the lower end of each vertical groove (35).

天板（34）は、矩形の平板によって構成されている。天板（34）は、一対のユニット支持板（32）の上端に掛け渡され、上端のそれぞれに固定されている。 The top plate (34) is a rectangular flat plate. The top plate (34) spans the upper ends of the pair of unit support plates (32) and is fixed to each of the upper ends.

図４に示すように、本実施形態の噴霧機構（30）は、複数（本実施形態では１５つ）の噴霧ユニット（40）を備えている。噴霧ユニット（40）の数量は単なる例示であり、これに限られるものではない。噴霧ユニット（40）の数量は、ガラス基板（20）の幅（ベルトコンベア（15）の搬送方向と直交する方向の長さ）に応じて決定される。複数の噴霧ユニット（40）は、ベルトコンベア（15）の搬送方向と直交する方向に互いに隣接して配列される。つまり、複数の噴霧ユニット（40）は、一対のユニット支持板（32）の内壁面に沿って配列される。各噴霧ユニット（40）は、一対のユニット支持板（32）に着脱自在に支持される。 As shown in FIG. 4, the spray mechanism (30) of this embodiment includes a plurality (15 in this embodiment) of spray units (40). The quantity of the spray unit (40) is merely an example, and is not limited thereto. The number of spray units (40) is determined according to the width of the glass substrate (20) (the length in the direction perpendicular to the conveying direction of the belt conveyor (15)). The plurality of spray units (40) are arranged adjacent to each other in a direction orthogonal to the conveying direction of the belt conveyor (15). That is, the plurality of spray units (40) are arranged along the inner wall surfaces of the pair of unit support plates (32). Each spray unit (40) is detachably supported by a pair of unit support plates (32).

補助電極（50）は、複数の噴霧ユニット（40）の下方に設けられ、各噴霧ユニット（40）の後述する複数の噴霧器（42）が挿通されるように構成されている。具体的には、補助電極（50）は、金属製の平板を折り曲げることによって形成され、本体部（50a）と２つの側面部（50b）と２つの取付部（50c）とを有している。本体部（50a）は、水平方向に延び、矩形状に構成されている。２つの側面部（50b）は、本体部（50a）の両端に連続し、一対のユニット支持板（32）に平行に上下方向に延びている。２つの取付部（50c）は、２つの側面部（50b）の下端部に連続し、それぞれ本体部（50a）の反対側へ水平方向に延びている。本体部（50a）には、各噴霧ユニット（40）の複数の噴霧器（42）が挿通される複数（本実施形態では、１２０個）の円形状の孔が形成されている。また、２つの側面部（50b）の互いに対向する内面には、それぞれ絶縁シート（70）が貼り付けられている。 The auxiliary electrode (50) is provided below the plurality of spray units (40), and is configured such that a plurality of sprayers (42) to be described later of each spray unit (40) are inserted. Specifically, the auxiliary electrode (50) is formed by bending a metal flat plate, and has a main body (50a), two side surfaces (50b), and two attachment portions (50c). . The main body (50a) extends in the horizontal direction and has a rectangular shape. The two side surfaces (50b) are continuous with both ends of the main body (50a) and extend in the vertical direction in parallel with the pair of unit support plates (32). The two attachment portions (50c) are continuous with the lower end portions of the two side surface portions (50b) and extend in the horizontal direction to the opposite side of the main body portion (50a). A plurality (120 in this embodiment) of circular holes through which the plurality of sprayers (42) of each spray unit (40) are inserted are formed in the main body (50a). Moreover, the insulating sheet (70) is affixed on the mutually opposing inner surface of two side parts (50b), respectively.

−噴霧ユニットの詳細構成−
図４〜図６に示すように、噴霧ユニット（40）は、支持部材（41）と、複数（本実施形態では８本）の噴霧器（42）と、ポンプ（43）と、液圧センサ（44）と、電圧印加部（45）と、ポンプ駆動部（46）と、分流機構（63）とを備えている。噴霧器（42）と、ポンプ（43）と、液圧センサ（44）と、電圧印加部（45）と、ポンプ駆動部（46）とは、支持部材（41）に取り付けられている。 -Detailed configuration of spray unit-
As shown in FIGS. 4 to 6, the spray unit (40) includes a support member (41), a plurality (eight in this embodiment) of sprayers (42), a pump (43), and a hydraulic pressure sensor ( 44), a voltage application part (45), a pump drive part (46), and a flow dividing mechanism (63). The sprayer (42), the pump (43), the hydraulic pressure sensor (44), the voltage application unit (45), and the pump drive unit (46) are attached to the support member (41).

支持部材（41）は、図５及び図６に示すように、本体板部（41a）と、一対の側板部（41b）と、一対のノズル保護部（41c）と、４つのボルト（41d）及びナット（41e）とを有している。本体板部（41a）は、矩形の板状体によって形成され、該本体板部（41a）に、噴霧器（42）と、ポンプ（43）と、液圧センサ（44）と、電圧印加部（45）と、ポンプ駆動部（46）とが取り付けられている。一対の側板部（41b）は、本体板部（41a）と一体に形成され、該本体板部（41a）の幅方向（ベルトコンベア（15）の搬送方向）の一端部と他端部とを、該本体板部（41a）に略垂直な方向に折り曲げることによって形成されている。一対のノズル保護部（41c）は、一対の側板部（41b）の下部に、それぞれ上下に並ぶ２つのボルト（41d）及びナット（41e）によって固定されている。各ノズル保護部（41c）は、下端が後述する噴霧管（51）の先端よりも下方に位置するように取り付けられている。各ボルト（41d）は、頭部が側板部（41b）の外側に位置するように側板部（41b）及びノズル保護部（41c）を貫通し、該ノズル保護部（41c）の内側においてナット（41e）によって固定されている。４つのボルト（41d）は、頭部が上記ユニット支持板（32）の縦溝（35）内において上下にスライド自在な形状に構成されている。具体的には、４つのボルト（41d）は、頭部の外径が、縦溝（35）の幅（ベルトコンベア（15）の幅方向の長さ）よりも僅かに小さくなるように形成されている。支持部材（41）の各ノズル保護部（41c）の各２つのボルト（41d）の頭部を、ユニット支持板（32）の上端の開口部（36）から対向する一対の縦溝（35）に挿入し、下方へ底壁部（37）に当接するまでスライドさせることで、噴霧ユニット（40）が噴霧機構（30）に取り付けられる。具体的な取付動作については後述する。 As shown in FIGS. 5 and 6, the support member (41) includes a main body plate portion (41a), a pair of side plate portions (41b), a pair of nozzle protection portions (41c), and four bolts (41d). And a nut (41e). The main body plate portion (41a) is formed of a rectangular plate-like body, and the main body plate portion (41a) is provided with a sprayer (42), a pump (43), a hydraulic pressure sensor (44), and a voltage application unit ( 45) and a pump drive (46) are attached. The pair of side plate portions (41b) is formed integrally with the main body plate portion (41a), and has one end portion and the other end portion of the main body plate portion (41a) in the width direction (conveying direction of the belt conveyor (15)). The main plate (41a) is bent in a direction substantially perpendicular to the main plate (41a). The pair of nozzle protection parts (41c) is fixed to the lower part of the pair of side plate parts (41b) by two bolts (41d) and nuts (41e) arranged vertically. Each nozzle protection part (41c) is attached such that its lower end is positioned below the tip of a spray pipe (51) described later. Each bolt (41d) passes through the side plate portion (41b) and the nozzle protection portion (41c) so that the head is positioned outside the side plate portion (41b), and a nut ( 41e). The four bolts (41d) are configured such that their heads are slidable in the vertical direction within the vertical groove (35) of the unit support plate (32). Specifically, the four bolts (41d) are formed such that the outer diameter of the head is slightly smaller than the width of the longitudinal groove (35) (the length in the width direction of the belt conveyor (15)). ing. A pair of longitudinal grooves (35) facing the heads of the two bolts (41d) of each nozzle protection part (41c) of the support member (41) from the opening (36) at the upper end of the unit support plate (32) The spray unit (40) is attached to the spray mechanism (30) by inserting it into the bottom and sliding it downward until it contacts the bottom wall (37). A specific mounting operation will be described later.

噴霧器（42）は、支持部材（41）の本体板部（41a）の正面及び背面のそれぞれに４つずつ固定されている。図４に示すように、８つの噴霧器（42）（第１〜第８噴霧器（42a〜42h））は、平面視において、本体板部（41a）の幅方向（ベルトコンベア（15）の搬送方向）に所定の間隔で設けられている。第１〜第８噴霧器（42a〜42h）は、ベルトコンベア（15）の搬送方向の前側から後側に向かって、第１噴霧器（42a）、第３噴霧器（42c）、第６噴霧器（42f）及び第８噴霧器（42h）が、本体板部（41a）の正面（図４における下面）に設けられる一方、第２噴霧器（42b）、第４噴霧器（42d）、第５噴霧器（42e）及び第７噴霧器（42g）が、本体板部（41a）の背面（図４における上面）に設けられている。噴霧器（42）の具体的な構成については後述するが、各噴霧器（42）は、金属製の細径管によって構成された噴霧管（51）を有している。 Four sprayers (42) are fixed to each of the front and back surfaces of the main body plate portion (41a) of the support member (41). As shown in FIG. 4, the eight sprayers (42) (first to eighth sprayers (42a to 42h)) are, in plan view, the width direction of the main body plate portion (41a) (the transport direction of the belt conveyor (15)). ) At predetermined intervals. The first to eighth sprayers (42a to 42h) are a first sprayer (42a), a third sprayer (42c), and a sixth sprayer (42f) from the front side to the rear side in the conveying direction of the belt conveyor (15). The eighth sprayer (42h) is provided on the front surface (lower surface in FIG. 4) of the main body plate portion (41a), while the second sprayer (42b), the fourth sprayer (42d), the fifth sprayer (42e), and the 7 sprayer (42g) is provided on the back surface (upper surface in FIG. 4) of the main body plate portion (41a). Although the specific configuration of the sprayer (42) will be described later, each sprayer (42) has a spray tube (51) formed of a thin metal tube.

ポンプ（43）は、支持部材（41）の本体板部（41a）の正面において、ベルトコンベア（15）の搬送方向の前側から後側に向かって第８噴霧器（42h）の後方に設けられている。ポンプ（43）は、支持部材（41）の本体板部（41a）に支持された液配管（62）に接続されている。液配管（62）は、ポンプ（43）の流入側に接続される流入管（62a）と、ポンプ（43）の流出側に接続される流出管（62b）とで構成されている。流入管（62a）の流入端は、図示しない分流器を介して液供給管（61）（図２を参照）に接続されている。流出管（62b）の流出端は、支持部材（41）の本体板部（41a）に支持された上流側分流部（64a）に接続している。 The pump (43) is provided behind the eighth sprayer (42h) from the front side to the rear side in the conveying direction of the belt conveyor (15), in front of the main body plate portion (41a) of the support member (41). Yes. The pump (43) is connected to the liquid pipe (62) supported by the main body plate (41a) of the support member (41). The liquid pipe (62) includes an inflow pipe (62a) connected to the inflow side of the pump (43) and an outflow pipe (62b) connected to the outflow side of the pump (43). The inflow end of the inflow pipe (62a) is connected to the liquid supply pipe (61) (see FIG. 2) via a flow divider (not shown). The outflow end of the outflow pipe (62b) is connected to the upstream diversion section (64a) supported by the main body plate section (41a) of the support member (41).

電圧印加部（45）には、図示しない電源供給ラインを介して電力が供給される。電圧印加部（45）は、直流式の電源を備えている。本実施形態では、電源の出力電圧は５ｋＶ程度であるが、電源の出力電圧は、２ｋＶ〜７ｋＶの範囲であることが好ましい。電源の正極は、電気配線（48）を介して複数の噴霧器（42）の各噴霧管（51）に電気的に接続されている。電源の負極は、搬送トレイ（25）と共に接地されている。具体的には、電源の負極及び搬送トレイ（25）は、フレーム（31）に電気的に接続されている。なお、搬送トレイ（25）は、フレーム（31）に金属製の固定具を介して固定された金属ブラシ（73）の先端が、搬送トレイ（25）の上面に接触することにより、フレーム（31）に電気的に接続される。このような構成により、電圧印加部（45）は、各噴霧器（42）の噴霧管（51）と搬送トレイ（25）に載置されたガラス基板（20）との間に電圧を印加する。 Power is supplied to the voltage application unit (45) via a power supply line (not shown). The voltage application unit (45) includes a DC power source. In this embodiment, the output voltage of the power supply is about 5 kV, but the output voltage of the power supply is preferably in the range of 2 kV to 7 kV. The positive electrode of the power source is electrically connected to each spray tube (51) of the plurality of sprayers (42) via the electrical wiring (48). The negative electrode of the power supply is grounded together with the transport tray (25). Specifically, the negative electrode of the power source and the transport tray (25) are electrically connected to the frame (31). The transport tray (25) is configured such that the tip of the metal brush (73) fixed to the frame (31) via a metal fixture comes into contact with the upper surface of the transport tray (25). ) Is electrically connected. With such a configuration, the voltage application unit (45) applies a voltage between the spray tube (51) of each sprayer (42) and the glass substrate (20) placed on the transport tray (25).

分流機構（63）は、上流側分流部（64a）と中間分流部（64b）と下流側分流部（64c）と上流側分流管（65a）と中間分流管（65b）と下流側分流管（65c）とを備え、流出管（62b）の流出端に接続されて液配管（62）の原料液を複数の噴霧器（42）に分配する。上流側分流部（64a）は、支持部材（41）の本体板部（41a）の上部且つ中央部に支持されている。各上流側分流管（65a）の流出端には、中間分流部（64b）が１つずつ接続されている。各中間分流部（64b）の流出端には、２本の中間分流管（65b）がそれぞれ接続されている。各中間分流管（65b）の流出端には、下流側分流部（64c）が１つずつ接続されている。各下流側分流部（64c）の流出端には、２本の下流側分流管（65c）がそれぞれ接続されている。各下流側分流管（65c）の流出端は、第１〜第８噴霧器（42a〜42h）の各コネクタ（53）の流入端にそれぞれ接続されている。このようにして、噴霧機構（30）では、分流機構（63）の上流側分流部（64a）から各噴霧器（42）の先端までの間に８本の分流路（C）が形成される。 The diversion mechanism (63) includes an upstream diversion section (64a), an intermediate diversion section (64b), a downstream diversion section (64c), an upstream diversion pipe (65a), an intermediate diversion pipe (65b), and a downstream diversion pipe ( 65c) and connected to the outflow end of the outflow pipe (62b) to distribute the raw material liquid in the liquid pipe (62) to the plurality of sprayers (42). The upstream diversion part (64a) is supported by the upper part and the center part of the main body plate part (41a) of the support member (41). One intermediate diverter (64b) is connected to the outflow end of each upstream diverter pipe (65a). Two intermediate branch pipes (65b) are connected to the outflow end of each intermediate branch section (64b). One downstream side diversion part (64c) is connected to the outflow end of each intermediate diversion pipe (65b). Two downstream branch pipes (65c) are connected to the outflow end of each downstream branch section (64c). The outflow end of each downstream branch pipe (65c) is connected to the inflow end of each connector (53) of the first to eighth sprayers (42a to 42h). In this manner, in the spray mechanism (30), eight branch channels (C) are formed between the upstream branch portion (64a) of the branch mechanism (63) and the tip of each sprayer (42).

〈噴霧器の詳細な構成〉
図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、各噴霧器（42）は、噴霧管（51）と、該噴霧管（51）を保護すると共に支持部材（41）の本体板部（41a）に取り付ける保護部材（52）と、噴霧管（51）を保護部材（52）に取り付けるコネクタ（53）とを備えている。 <Detailed configuration of sprayer>
As shown in FIGS. 7A and 7B, each sprayer (42) protects the spray pipe (51), the spray pipe (51), and the main body plate portion (41a) of the support member (41). And a connector (53) for attaching the spray pipe (51) to the protection member (52).

噴霧管（51）は、内径が０．１ｍｍ程度の金属製の細径管によって構成され、基端がコネクタ（53）を介して対応する下流側分流管（65c）に接続されている。また、噴霧管（51）は、基端側の大部分（本実施形態では、保護部材（52）に覆われた部分）が内部に原料液を減圧するキャピラリー通路を形成する細径管部（54）を構成し、該細径管部（54）に連続する先端側の一部分（露出部分）が原料液を噴霧するノズル部（55）を構成する。ところで、従来、原料液を噴霧するためのノズルと、該ノズルに供給される原料液を減圧するキャピラリー通路を形成する細径管とは、別体に構成されていた。しかしながら、本実施形態では、ノズルとキャピラリー通路を形成する細径管とが１つの金属製の細径管によって一体に構成され、噴霧管（51）を構成している。 The spray pipe (51) is composed of a thin metal pipe having an inner diameter of about 0.1 mm, and the base end is connected to the corresponding downstream branch pipe (65c) via the connector (53). In addition, the spray pipe (51) is a small-diameter pipe part (a part covered with the protective member (52) in this embodiment) that forms a capillary passage for reducing the pressure of the raw material liquid inside (a part covered with the protective member (52) in this embodiment). 54), and a portion (exposed portion) on the tip side continuous with the small diameter pipe portion (54) constitutes a nozzle portion (55) for spraying the raw material liquid. By the way, conventionally, a nozzle for spraying the raw material liquid and a small-diameter tube forming a capillary passage for reducing the pressure of the raw material liquid supplied to the nozzle have been configured separately. However, in the present embodiment, the nozzle and the small diameter tube forming the capillary passage are integrally formed by one metal small diameter tube to constitute the spray tube (51).

上記構成により、各噴霧管（51）の内部には、基端から先端まで、直径が０．１ｍｍ程度のキャピラリー通路が形成され、該キャピラリー通路は、対応する分流路（C）において原料液を減圧する抵抗となる。噴霧管（51）のキャピラリー通路によって分流路（C）に付与される流路抵抗Ｒｃは、対応する分流路（C）の全体の流路抵抗のうち９割以上を占めている。また、各噴霧管（51）の流路抵抗Ｒｃは、概ね同じ値に設定されている。このような構成により、複数の分流路（C）の流路抵抗Ｒｃの合計total-Ｒに対する各分流路（C）の流路抵抗Ｒｃの比率（Ｒｃ／total-Ｒ）が互いに近い値となる。その結果、複数の分流路（C）における原料液の供給量が均一化され、複数の分流路（C）における原料液の偏流が防止される。 With the above configuration, a capillary passage having a diameter of about 0.1 mm is formed in each spray tube (51) from the proximal end to the distal end, and the capillary passage allows the raw material liquid to flow in the corresponding branch passage (C). It becomes resistance to depressurize. The channel resistance Rc imparted to the branch channel (C) by the capillary channel of the spray pipe (51) accounts for 90% or more of the total channel resistance of the corresponding branch channel (C). Moreover, the flow path resistance Rc of each spray pipe | tube (51) is set to the substantially same value. With such a configuration, the ratio (Rc / total-R) of the channel resistance Rc of each branch channel (C) to the total total-R of the channel resistance Rc of the plurality of branch channels (C) is close to each other. . As a result, the supply amount of the raw material liquid in the plurality of branch channels (C) is made uniform, and the drift of the raw material liquid in the plurality of branch channels (C) is prevented.

保護部材（52）は、噴霧管（51）を補強する補強部（56）と、噴霧管（51）を支持部材（41）の本体板部（41a）に取り付けるための２つの取付部（57）と、電圧印加部（45）の電源の正極に接続された電気配線（48）が接続される接続端子（47）を保護する端子保護部（58）とを有している。保護部材（52）は、樹脂材料によって、補強部（56）と取付部（57）と端子保護部（58）とが一体に形成されている。 The protective member (52) includes a reinforcing portion (56) that reinforces the spray tube (51), and two attachment portions (57 for attaching the spray tube (51) to the main body plate portion (41a) of the support member (41). ) And a terminal protection part (58) for protecting the connection terminal (47) to which the electrical wiring (48) connected to the positive electrode of the power supply of the voltage application part (45) is connected. As for the protection member (52), the reinforcement part (56), the attachment part (57), and the terminal protection part (58) are integrally formed with the resin material.

補強部（56）は、上下方向に延びる略円筒形状に形成され、噴霧管（51）の細径管部（54）の外周全体を覆って細径管部（54）を補強する。補強部（56）の上端には、噴霧管（51）のコネクタ（53）が挿入されている。 The reinforcing portion (56) is formed in a substantially cylindrical shape extending in the vertical direction, and covers the entire outer periphery of the small-diameter tube portion (54) of the spray tube (51) to reinforce the small-diameter tube portion (54). The connector (53) of the spray pipe (51) is inserted into the upper end of the reinforcing part (56).

２つの取付部（57）は、それぞれ補強部（56）の外周面から径方向の外側に連続して延びる板状片によって形成されている。２つの取付部（57）は、補強部（56）の上端寄りの位置に形成された上部取付部（57a）と、下端寄りの位置に形成された下部取付部（57b）とによって構成されている。上部取付部（57a）と下部取付部（57b）とは、円筒形状の補強部（56）の軸心に対し、径方向の互いに逆方向に延びている。 The two attachment portions (57) are each formed by a plate-like piece that extends continuously from the outer peripheral surface of the reinforcement portion (56) to the outside in the radial direction. The two attachment portions (57) are constituted by an upper attachment portion (57a) formed at a position near the upper end of the reinforcing portion (56) and a lower attachment portion (57b) formed at a position near the lower end. Yes. The upper mounting portion (57a) and the lower mounting portion (57b) extend in directions opposite to each other in the radial direction with respect to the axial center of the cylindrical reinforcing portion (56).

図５、図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、２つの取付部（57）には、円形の孔（57c）が形成されている。一方、支持部材（41）の本体板部（41a）には、これらの孔（57c）に対応する位置に、円形の孔（41f）が形成されている。噴霧器（42）は、各取付部（57）の孔（57c）と、支持部材（41）の本体板部（41a）に形成された孔（41f）とに、固定ピン（71）を挿通させることにより、保護部材（52）が噴霧管（51）と共に支持部材（41）の本体板部（41a）に固定される。 As shown in FIGS. 5, 7 </ b> A, and 7 </ b> B, the two attachment portions (57) are formed with circular holes (57 c). On the other hand, a circular hole (41f) is formed in a position corresponding to these holes (57c) in the main body plate portion (41a) of the support member (41). The sprayer (42) inserts the fixing pin (71) into the hole (57c) of each mounting portion (57) and the hole (41f) formed in the main body plate portion (41a) of the support member (41). Thus, the protection member (52) is fixed to the main body plate portion (41a) of the support member (41) together with the spray pipe (51).

また、図５に示すように、第２噴霧器（42b），第３噴霧器（42c），第５噴霧器（42e），第６噴霧器（42f），第７噴霧器（42g），第８噴霧器（42h）に対応する固定ピン（71）には、円筒形状のスペーサ（72）が取り付けられている。第２噴霧器（42b）と第３噴霧器（42c）に対する固定ピン（71）には、軸方向長さが同一の第１スペーサ（72a）が取り付けられ、第５噴霧器（42e）と第８噴霧器（42h）に対する固定ピン（71）には、軸方向長さが同一の第２スペーサ（72b）が取り付けられ、第６噴霧器（42f）と第７噴霧器（42g）に対する固定ピン（71）には、軸方向長さが同一の第３スペーサ（72c）が取り付けられている。なお、第１〜第３スペーサ（72a〜72c）の軸方向長さは、第２スペーサ（72b）が最も長く、第１スペーサ（72a）、第３スペーサ（72c）の順に短くなる。このような軸方向長さの異なる第１〜第３スペーサ（72a〜72c）を用いることにより、第１〜第８噴霧器（42a〜42h）は、支持部材（41）の本体板部（41a）に直交する方向に互いにずれた位置に配置されることとなる。 Further, as shown in FIG. 5, the second sprayer (42b), the third sprayer (42c), the fifth sprayer (42e), the sixth sprayer (42f), the seventh sprayer (42g), and the eighth sprayer (42h). A cylindrical spacer (72) is attached to the fixing pin (71) corresponding to. A first spacer (72a) having the same axial length is attached to the fixing pin (71) for the second sprayer (42b) and the third sprayer (42c), and the fifth sprayer (42e) and the eighth sprayer ( The second spacer (72b) having the same axial length is attached to the fixing pin (71) for 42h), and the fixing pin (71) for the sixth sprayer (42f) and the seventh sprayer (42g) A third spacer (72c) having the same axial length is attached. In addition, the axial direction length of the first to third spacers (72a to 72c) is the longest in the second spacer (72b), and becomes shorter in the order of the first spacer (72a) and the third spacer (72c). By using the first to third spacers (72a to 72c) having different axial lengths as described above, the first to eighth sprayers (42a to 42h) are used as the main body plate portion (41a) of the support member (41). It will be arrange | positioned in the position mutually shifted | deviated to the direction orthogonal to.

図７（Ａ）及び（Ｂ）に示すように、端子保護部（58）は、補強部（56）の外周面の上部取付部（57a）と下部取付部（57b）の間から径方向の外側に連続して延びる矩形の板状片によって形成されている。端子保護部（58）の内部には、Ｌ字状の金属板からなる接続端子（47）が設けられている。接続端子（47）は、内端が補強部（56）を貫通し、該補強部（56）の内部に挿通された噴霧管（51）の外周面に当接する一方、上端側の一部が端子保護部（58）から露出するように設けられている。接続端子（47）の露出した上端部には、電圧印加部（45）の電源の正極に接続された電気配線（48）が接続されている（図６を参照）。つまり、各噴霧管（51）は、接続端子（47）及び電気配線（48）を介して電圧印加部（45）の電源の正極に電気的に接続されている。 As shown in FIGS. 7 (A) and (B), the terminal protection part (58) is formed in the radial direction between the upper attachment part (57a) and the lower attachment part (57b) on the outer peripheral surface of the reinforcement part (56). It is formed by a rectangular plate-like piece extending continuously outward. Inside the terminal protection part (58), a connection terminal (47) made of an L-shaped metal plate is provided. The connection terminal (47) has an inner end that penetrates the reinforcing portion (56) and abuts on the outer peripheral surface of the spray pipe (51) inserted into the reinforcing portion (56), while a part of the upper end side thereof It is provided so as to be exposed from the terminal protection part (58). An electrical wiring (48) connected to the positive electrode of the power supply of the voltage application unit (45) is connected to the exposed upper end of the connection terminal (47) (see FIG. 6). That is, each spray tube (51) is electrically connected to the positive electrode of the power source of the voltage application unit (45) via the connection terminal (47) and the electrical wiring (48).

保護部材（52）は、噴霧管（51）及び接続端子（47）を型枠内に挿入した状態で樹脂材料を充填すること（所謂、インサート成型）によって形成されている。言い換えると、各保護部材（52）において、補強部（56）と取付部（57）と端子保護部（58）とは、樹脂材料によって一体に形成されている。このような保護部材（52）の取付部（57）を固定ピン（71）によって支持部材（41）の本体板部（41a）に固定することにより、噴霧管（51）が、ガラス基板（20）及び搬送トレイ（25）と略垂直な（約９０度をなす）姿勢で配置される。噴霧管（51）の先端とガラス基板（20）の間には、所定の間隔（３０ｍｍ〜１００ｍｍが好ましい。）が確保されている。 The protection member (52) is formed by filling a resin material with the spray tube (51) and the connection terminal (47) inserted into the mold (so-called insert molding). In other words, in each protection member (52), the reinforcement part (56), the attachment part (57), and the terminal protection part (58) are integrally formed of a resin material. By fixing the mounting portion (57) of such a protective member (52) to the main body plate portion (41a) of the support member (41) by the fixing pin (71), the spray tube (51) is attached to the glass substrate (20 ) And the transfer tray (25) in a substantially vertical position (about 90 degrees). A predetermined gap (preferably 30 mm to 100 mm) is secured between the tip of the spray tube (51) and the glass substrate (20).

このような構成により、各噴霧ユニット（40）において、複数の噴霧器（42）と、ポンプ（43）と、液圧センサ（44）と、電圧印加部（45）と、ポンプ駆動部（46）とが、支持部材（41）の本体板部（41a）に取り付けられている。また、各本体板部（41a）では、ベルトコンベア（15）の搬送方向の前側に複数の噴霧器（42）及び分流機構（63）が配置され、複数の噴霧器（42）及び分流機構（63）のベルトコンベア（15）の搬送方向の後側（複数の噴霧器（42）及び分流機構（63）のプラズマ処理機構（80）側）に、ポンプ（43）と、液圧センサ（44）と、電圧印加部（45）と、ポンプ駆動部（46）とが配置されている。 With such a configuration, in each spray unit (40), a plurality of sprayers (42), a pump (43), a hydraulic pressure sensor (44), a voltage application unit (45), and a pump drive unit (46) Are attached to the main body plate portion (41a) of the support member (41). Moreover, in each main body plate part (41a), a plurality of sprayers (42) and a flow dividing mechanism (63) are arranged on the front side in the conveying direction of the belt conveyor (15), and a plurality of sprayers (42) and a flow dividing mechanism (63) On the rear side of the belt conveyor (15) in the conveying direction (a plurality of sprayers (42) and a plasma processing mechanism (80) side of the flow dividing mechanism (63)), a pump (43), a hydraulic pressure sensor (44), A voltage application unit (45) and a pump drive unit (46) are arranged.

−噴霧ユニットの取付動作−
各噴霧ユニット（40）は、以下のようにして噴霧機構（30）に取り付けられる。まず、噴霧ユニット（40）を一対のユニット支持板（32）の上方に位置させ、一対の縦溝（35）の内部に噴霧ユニット（40）の各ボルト（41d）の頭部を嵌合させる。そして、各ボルト（41d）を各縦溝（35）に沿って下方に底壁部（37）に当接するまでスライドさせる。その結果、２つのユニット支持板（32）の間において、噴霧ユニット（40）の位置が決定される。 -Mounting operation of spray unit-
Each spray unit (40) is attached to the spray mechanism (30) as follows. First, the spray unit (40) is positioned above the pair of unit support plates (32), and the heads of the bolts (41d) of the spray unit (40) are fitted inside the pair of vertical grooves (35). . Then, each bolt (41d) is slid downward along each vertical groove (35) until it comes into contact with the bottom wall portion (37). As a result, the position of the spray unit (40) is determined between the two unit support plates (32).

このように、本実施形態の噴霧機構（30）では、一対のユニット支持板（32）の間に所望とする数の噴霧ユニット（40）を適宜取り付けることができる。これにより、噴霧機構（30）では、ガラス基板（20）の幅に応じて、噴霧ユニット（40）の数量（即ち、噴霧機構（30）での原料液の噴霧範囲）を適宜調整することができる。 Thus, in the spray mechanism (30) of the present embodiment, a desired number of spray units (40) can be appropriately attached between the pair of unit support plates (32). Thereby, in the spray mechanism (30), according to the width | variety of a glass substrate (20), the quantity (namely, spray range of the raw material liquid in the spray mechanism (30)) of the spray unit (40) can be adjusted suitably. it can.

−噴霧機構の設置位置−
以上のように構成された噴霧機構（30）は、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同一のガラス基板（20）に同時に行われない位置に設置されている。具体的には、ベルトコンベア（15）の搬送方向（以下、単に搬送方向と言う。）において、噴霧機構（30）の複数の噴霧管（51）とプラズマ処理機構（80）の複数の放電電極（81）との間の距離のうち、最も接近した噴霧管（51）と放電電極（81）との間の距離をＬとし、ガラス基板（20）の搬送方向の長さをｌとすると、噴霧機構（30）は、距離Ｌが長さｌよりも長くなる位置に設置されている。このような位置に噴霧機構（30）が設置されることにより、プラズマ処理機構（80）の放電電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）とが、同一のガラス基板（20）に同時に対向しない。そのため、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同一のガラス基板（20）に同時に行われることがない。なお、プラズマ処理機構（80）と噴霧機構（30）における詳細な動作については後述する。 -Installation position of spray mechanism-
The spray mechanism (30) configured as described above is installed at a position where plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not performed simultaneously on the same glass substrate (20). Has been. Specifically, in the transport direction of the belt conveyor (15) (hereinafter simply referred to as the transport direction), a plurality of spray tubes (51) of the spray mechanism (30) and a plurality of discharge electrodes of the plasma processing mechanism (80). (81), the distance between the closest spray tube (51) and the discharge electrode (81) is L, and the length of the glass substrate (20) in the transport direction is l. The spray mechanism (30) is installed at a position where the distance L is longer than the length l. By installing the spray mechanism (30) at such a position, the discharge electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30) are connected to the same glass substrate (20 ) At the same time. Therefore, plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not performed simultaneously on the same glass substrate (20). Detailed operations of the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30) will be described later.

−成膜装置の運転動作−
上述したように、成膜装置（10）は、前処理ゾーン（11）においてガラス基板（20）を洗浄する工程を、噴霧ゾーン（12）においてガラス基板（20）に原料液を付着させる工程を、後処理ゾーン（13）においてガラス基板（20）に被膜を定着させる工程を、それぞれ行う。 -Operation of film deposition system-
As described above, the film forming apparatus (10) includes the step of cleaning the glass substrate (20) in the pretreatment zone (11) and the step of attaching the raw material liquid to the glass substrate (20) in the spray zone (12). Then, the step of fixing the film to the glass substrate (20) in the post-treatment zone (13) is performed.

前処理ゾーン（11）には、ガラス基板（20）を載せた搬送トレイ（25）が、ベルトコンベア（15）によって搬送される。プラズマ処理機構（80）は、高電圧印加部（82）により、１０本の放電電極（81）とガラス基板（20）との間に電圧が印加され、放電電極（81）からガラス基板（20）に向かってコロナ放電が生起される。これにより、大気中において発生したプラズマがガラス基板（20）の表面に照射される。その結果、ガラス基板（20）の表面が洗浄されると共に、親水性が向上する。前処理ゾーン（11）において洗浄処理が行われたガラス基板（20）は、ベルトコンベア（15）によって、噴霧ゾーン（12）に搬送される。 The conveyance tray (25) on which the glass substrate (20) is placed is conveyed to the pretreatment zone (11) by the belt conveyor (15). In the plasma processing mechanism (80), a voltage is applied between the ten discharge electrodes (81) and the glass substrate (20) by the high voltage application unit (82), and the glass substrate (20 Corona discharge is generated toward). Thereby, the plasma generated in the atmosphere is irradiated on the surface of the glass substrate (20). As a result, the surface of the glass substrate (20) is cleaned and the hydrophilicity is improved. The glass substrate (20) subjected to the cleaning process in the pretreatment zone (11) is conveyed to the spray zone (12) by the belt conveyor (15).

噴霧ゾーン（12）では、まず、図示しない窒素供給手段により、貯留タンク（60）に窒素ガスが注入され、貯留タンク（60）の原料液が液供給管（61）を介して脱気タンク（90）に供給される。脱気タンク（90）に所定量の原料液が供給されると、真空ポンプ（91）が運転され、脱気タンク（90）内の空気が真空ポンプ（91）に吸引される。これにより、原料液中に溶け込んだ空気が原料液から除去される。 In the spray zone (12), first, nitrogen gas is injected into the storage tank (60) by a nitrogen supply means (not shown), and the raw material liquid in the storage tank (60) is degassed through the liquid supply pipe (61) ( 90) supplied. When a predetermined amount of the raw material liquid is supplied to the degassing tank (90), the vacuum pump (91) is operated, and the air in the degassing tank (90) is sucked into the vacuum pump (91). Thereby, the air dissolved in the raw material liquid is removed from the raw material liquid.

ところで、空気が混入したままの原料液が各噴霧器（42）に供給されると、原料液の噴霧が断続的になり、均一に成膜できない。そのため、上述のような脱気処理は、貯留タンク（60）から脱気タンク（90）に原料液が補充される毎に行われる。 By the way, when the raw material liquid in which air is mixed is supplied to each sprayer (42), spraying of the raw material liquid becomes intermittent, and a uniform film cannot be formed. Therefore, the deaeration process as described above is performed every time the raw material liquid is replenished from the storage tank (60) to the deaeration tank (90).

次に、コントローラ（14）は、各噴霧ユニット（40）のポンプ（43）を作動させると共に、電圧印加部（45）の電源をＯＮ状態とする。 Next, the controller (14) operates the pump (43) of each spray unit (40) and turns on the power supply of the voltage application unit (45).

ポンプ（43）が作動すると、脱気タンク（90）において空気が除去された原料液が、液供給管（61）の下流側端部において分流されて各噴霧ユニット（40）の液配管（62）に流入する。各噴霧ユニット（40）の液配管（62）に流入した原料液は、ポンプ（43）を通過した後、上流側分流部（64a）へ流出する。上流側分流部（64a）の原料液は、２本の上流側分流管（65a）に分流し、各中間分流部（64b）へ流出する。各中間分流部（64b）の原料液は、それぞれ２本の中間分流管（65b）に分流し、各下流側分流部（64c）へ流出する。各下流側分流部（64c）の原料液は、それぞれ２本の下流側分流管（65c）に分流する。以上のようにして、分流機構（63）では、液配管（62）を流出した原料液が８つの分流路（C）に分配される。 When the pump (43) is actuated, the raw material liquid from which air has been removed in the deaeration tank (90) is diverted at the downstream end of the liquid supply pipe (61), and the liquid pipes (62 ). The raw material liquid that has flowed into the liquid pipe (62) of each spray unit (40) passes through the pump (43) and then flows out to the upstream branching section (64a). The raw material liquid in the upstream branching section (64a) is split into two upstream branching pipes (65a) and flows out to each intermediate branching section (64b). The raw material liquid in each intermediate diversion section (64b) is divided into two intermediate diversion pipes (65b) and flows out to each downstream diversion section (64c). The raw material liquid in each downstream branching section (64c) is split into two downstream branching pipes (65c). As described above, in the diversion mechanism (63), the raw material liquid that has flowed out of the liquid pipe (62) is distributed to the eight diversion channels (C).

各下流側分流管（65c）に流入した各原料液は、各噴霧器（42）へ供給される。これらの噴霧器（42）の各噴霧管（51）の内部通路は、内径が０．１ｍｍのキャピラリー通路に形成されている。各噴霧管（51）のキャピラリー通路によって分流路（C）に付与される流路抵抗Ｒｃは、対応する分流路（C）の全体の流路抵抗のうち９割以上を占め、また、各噴霧管（51）の流路抵抗Ｒｃは、概ね同じ値に設定されている。そのため、各噴霧管（51）における原料液の供給量が均一化される。つまり、各噴霧管（51）における原料液の偏流が防止される。 Each raw material liquid flowing into each downstream branch pipe (65c) is supplied to each sprayer (42). The internal passages of the spray tubes (51) of these sprayers (42) are formed as capillary passages having an inner diameter of 0.1 mm. The channel resistance Rc imparted to the branch channel (C) by the capillary channel of each spray tube (51) accounts for 90% or more of the total channel resistance of the corresponding branch channel (C). The flow path resistance Rc of the pipe (51) is set to substantially the same value. Therefore, the supply amount of the raw material liquid in each spray pipe (51) is made uniform. That is, the drift of the raw material liquid in each spray pipe (51) is prevented.

また、電圧印加部（45）の電源がＯＮ状態となることにより、該電源の正極と導通する各噴霧管（51）と、金属ブラシ（73）を介して接地された搬送トレイ（25）に載せられたガラス基板（20）との間に、電圧（２ｋＶ〜７ｋＶ程度）が印加される。 In addition, when the power supply of the voltage application unit (45) is turned on, each spray tube (51) connected to the positive electrode of the power supply and the transfer tray (25) grounded via the metal brush (73) are connected. A voltage (about 2 kV to 7 kV) is applied to the placed glass substrate (20).

各噴霧管（51）とガラス基板（20）の間に電圧が印加されると、各噴霧管（51）の先端のノズル部（55）付近の空間に電界が形成される。この電界により、各噴霧管（51）のノズル部（55）の先端では、原料液がガラス基板（20）側へ引っ張られ、円錐形状の所謂テイラーコーンが形成される。このテイラーコーンの先端から原料液が引きちぎられることによって概ね数μｍから１００μｍ程度の大きさの液滴が生成される。 When a voltage is applied between each spray tube (51) and the glass substrate (20), an electric field is formed in a space near the nozzle portion (55) at the tip of each spray tube (51). By this electric field, at the tip of the nozzle part (55) of each spray tube (51), the raw material liquid is pulled toward the glass substrate (20), and a so-called Taylor cone having a conical shape is formed. When the raw material liquid is torn off from the tip of the Taylor cone, droplets having a size of about several μm to 100 μm are generated.

各噴霧管（51）は電源の正極に導通しているため、噴霧管（51）のノズル部（55）から噴霧された液滴状の原料液も正の電荷に帯電している。これに対し、ガラス基板（20）は接地されている。そのため、液滴状の原料液は、クーロン力によってガラス基板（20）へ向かって（本実施形態では下へ向かって）飛んでゆき、ガラス基板（20）の表面に付着する。ガラス基板（20）の表面に付着した原料液中の溶媒が揮発して被膜成分がガラス基板（20）の表面上に定着することにより、所定の領域に防汚用の被膜が形成される。 Since each spray tube (51) is electrically connected to the positive electrode of the power source, the liquid material in the form of droplets sprayed from the nozzle portion (55) of the spray tube (51) is also charged with a positive charge. On the other hand, the glass substrate (20) is grounded. Therefore, the droplet-form raw material liquid flies toward the glass substrate (20) (downward in the present embodiment) by Coulomb force and adheres to the surface of the glass substrate (20). The solvent in the raw material liquid adhering to the surface of the glass substrate (20) is volatilized and the coating component is fixed on the surface of the glass substrate (20), whereby an antifouling coating is formed in a predetermined region.

〈噴霧機構の設置位置と処理動作の安定性について〉
上述のように、噴霧機構（30）は、ベルトコンベア（15）の搬送方向（以下、単に搬送方向と言う。）において、最も接近した噴霧管（51）と放電電極（81）との間の距離Ｌが、ガラス基板（20）の搬送方向の長さｌよりも長くなる位置に設置されている。そのため、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同一のガラス基板（20）に同時に行われることがなく、ガラス基板（20）に均一に被膜を形成することができる。 <Installation position of spray mechanism and stability of processing operation>
As described above, the spray mechanism (30) is arranged between the nearest spray tube (51) and the discharge electrode (81) in the transport direction of the belt conveyor (15) (hereinafter simply referred to as the transport direction). The distance L is installed at a position that is longer than the length l of the glass substrate (20) in the transport direction. Therefore, plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not simultaneously performed on the same glass substrate (20), and a film is uniformly formed on the glass substrate (20). be able to.

具体的には、噴霧機構（30）が、距離Ｌが長さｌよりも短くなる位置に設置されていると、プラズマ処理機構（80）の放電電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）とが、同一のガラス基板（20）に同時に対向する状況が生じ得る。このような状況下では、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同一のガラス基板（20）に同時に行われてしまう。放電電極（81）とガラス基板（20）との間に高電圧を印加するプラズマ処理と、噴霧管（51）とガラス基板（20）との間に高電圧を印加する静電噴霧とが同一のガラス基板（20）に同時に行われると、ガラス基板（20）付近の電界がプラズマ処理及び静電噴霧のいずれか又は両方の動作に適した状態とならず、均一に成膜できなくなる虞がある。 Specifically, when the spray mechanism (30) is installed at a position where the distance L is shorter than the length l, the discharge electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray of the spray mechanism (30). A situation may occur in which the tube (51) faces the same glass substrate (20) simultaneously. Under such circumstances, the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are simultaneously performed on the same glass substrate (20). The plasma treatment that applies a high voltage between the discharge electrode (81) and the glass substrate (20) and the electrostatic spray that applies a high voltage between the spray tube (51) and the glass substrate (20) are the same. If it is performed simultaneously on the glass substrate (20), the electric field in the vicinity of the glass substrate (20) will not be in a state suitable for either or both of plasma treatment and electrostatic spraying, and there is a possibility that the film cannot be formed uniformly. is there.

しかしながら、本成膜装置（10）では、上述のように、噴霧機構（30）が、距離Ｌが長さｌよりも長くなる位置に設置されているため、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同一のガラス基板（20）に同時に行われることがない。そのため、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが互いに電気的に干渉することがない。よって、両機構における動作が安定し、ガラス基板（20）に均一に被膜が形成される。 However, in the present film forming apparatus (10), as described above, since the spray mechanism (30) is installed at a position where the distance L is longer than the length l, the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) is performed. And electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not performed simultaneously on the same glass substrate (20). Therefore, the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) do not interfere with each other electrically. Therefore, the operations in both mechanisms are stable, and a film is uniformly formed on the glass substrate (20).

−実施形態１の効果−
本実施形態によれば、噴霧機構（30）を、ベルトコンベア（15）の搬送方向において、最も接近した噴霧管（51）と放電電極（81）との間の距離Ｌが、ガラス基板（20）の搬送方向の長さｌよりも長くなる位置に配置することとした。そのため、同一のガラス基板（20）に対し、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが同時に行われることがない。つまり、プラズマ処理機構（80）によるプラズマ処理と噴霧機構（30）による静電噴霧とが互いに影響し合わず、別個に行われるため、各機構による処理動作が安定する。従って、ガラス基板（20）の表面に均一な被膜を形成することができる。 -Effect of Embodiment 1-
According to this embodiment, the distance L between the spray tube (51) and the discharge electrode (81) closest to the spray mechanism (30) in the transport direction of the belt conveyor (15) is the glass substrate (20 ) In a position longer than the length l in the transport direction. Therefore, the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) are not simultaneously performed on the same glass substrate (20). That is, since the plasma processing by the plasma processing mechanism (80) and the electrostatic spraying by the spray mechanism (30) do not affect each other and are performed separately, the processing operation by each mechanism is stabilized. Therefore, a uniform film can be formed on the surface of the glass substrate (20).

また、本実施形態によれば、噴霧機構（30）のポンプ（43）と液圧センサ（44）と電圧印加部（45）とポンプ駆動部（46）とを、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けることとした。つまり、噴霧機構（30）の内部において噴霧管（51）をプラズマ処理機構（80）から遠ざけることで、プラズマ処理機構（80）と噴霧機構（30）との距離を大きくすることなく、プラズマ処理機構（80）の放電電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくすることができる。よって、プラズマ処理機構（80）の放電電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくしても、成膜装置（10）の大型化を抑制することができる。つまり、本実施形態によれば、ガラス基板（20）の表面に均一な被膜を形成可能な成膜装置（10）を、大型化を招くことなく提供することができる。 Further, according to the present embodiment, the pump (43), the hydraulic pressure sensor (44), the voltage application unit (45), and the pump driving unit (46) of the spray mechanism (30) include a plurality of spray pipes (51). More than the plasma processing mechanism (80) side. That is, by moving the spray tube (51) away from the plasma processing mechanism (80) inside the spray mechanism (30), the plasma processing without increasing the distance between the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30). The distance between the discharge electrode (81) of the mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30) can be increased. Therefore, even if the distance between the discharge electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30) is increased, the film forming apparatus (10) can be prevented from being enlarged. . That is, according to this embodiment, the film forming apparatus (10) capable of forming a uniform film on the surface of the glass substrate (20) can be provided without causing an increase in size.

また、本実施形態によれば、搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列される複数の平板状の支持部材（41）に、複数の噴霧管（51）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）の他の構成要素（ポンプ（43）と液圧センサ（44）と電圧印加部（45）とポンプ駆動部（46））とをそれぞれ取り付けることとした。そのため、複数の支持部材（41）を、各支持部材（41）が搬送方向に延び、互いに間隔を空けて平行に配列されるように設置することで、複数の噴霧管（51）と他の構成要素とを容易に設置することができる。また、噴霧管（51）の他の構成要素を、各支持部材（41）において、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けられるように各支持部材（41）に取り付けることとしたため、複数の支持部材（41）を上述のように配列するだけで、噴霧管（51）の他の構成要素を、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に容易に設置することができる。 Further, according to this embodiment, the plurality of spray pipes (51) and the spray mechanism (30) are provided on the plurality of flat plate-like support members (41) that extend in the transport direction and are arranged in parallel at intervals. The other components (pump (43), hydraulic pressure sensor (44), voltage application unit (45), and pump drive unit (46)) of the spray pipe (51) were attached, respectively. Therefore, a plurality of support members (41) are installed such that each support member (41) extends in the transport direction and is arranged in parallel with a space between each other. The components can be easily installed. Further, the other components of the spray tube (51) are attached to each support member (41) so that each support member (41) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51). Since the plurality of support members (41) are arranged as described above, the other components of the spray tube (51) are arranged on the plasma processing mechanism (80) side of the plurality of spray tubes (51). Can be installed easily.

《発明の実施形態２》
実施形態２は、実施形態１の成膜装置（10）の噴霧ユニット（40）の構成を一部変更したものである。 << Embodiment 2 of the Invention >>
In the second embodiment, the configuration of the spray unit (40) of the film forming apparatus (10) of the first embodiment is partially changed.

具体的には、図８（Ａ）に示すように、実施形態１の噴霧ユニット（40）では、噴霧器（42）と、ポンプ（43）と、液圧センサ（44）と、電圧印加部（45）と、ポンプ駆動部（46）とが、支持部材（41）に取り付けられていた。実施形態２の噴霧ユニット（40）は、実施形態１の構成に加え、支持部材（41）と同数の取付部材（49）を備えている。そして、実施形態１において支持部材（41）に取り付けられていたポンプ（43）と液圧センサ（44）と電圧印加部（45）とポンプ駆動部（46）とが、取付部材（49）に取り付けられている。つまり、実施形態２では、複数の噴霧器（42）は、実施形態１と同様に、支持部材（41）に取り付けられる一方、ポンプ（43）と液圧センサ（44）と電圧印加部（45）とポンプ駆動部（46）とが、支持部材（41）とは別体に構成された取付部材（49）に取り付けられている。 Specifically, as shown in FIG. 8A, in the spray unit (40) of the first embodiment, the sprayer (42), the pump (43), the hydraulic pressure sensor (44), and the voltage application unit ( 45) and the pump drive part (46) were attached to the support member (41). The spray unit (40) of the second embodiment includes the same number of mounting members (49) as the support member (41) in addition to the configuration of the first embodiment. The pump (43), the hydraulic pressure sensor (44), the voltage application unit (45), and the pump drive unit (46) attached to the support member (41) in the first embodiment are attached to the attachment member (49). It is attached. That is, in the second embodiment, the plurality of sprayers (42) are attached to the support member (41) as in the first embodiment, while the pump (43), the hydraulic pressure sensor (44), and the voltage application unit (45). And the pump drive section (46) are attached to an attachment member (49) configured separately from the support member (41).

各取付部材（49）は、本実施形態では、支持部材（41）よりも小さい矩形の平板部材によって構成されている。各取付部材（49）は、図８（Ｂ）に示すように、搬送方向において、各支持部材（41）のプラズマ処理機構（80）側に、各支持部材（41）に対応するように設けられている。 In this embodiment, each attachment member (49) is comprised by the rectangular flat plate member smaller than a support member (41). As shown in FIG. 8 (B), each attachment member (49) is provided on the plasma processing mechanism (80) side of each support member (41) so as to correspond to each support member (41) in the transport direction. It has been.

なお、噴霧機構（30）の設置位置は実施形態１と同様である。つまり、噴霧機構（30）は、搬送方向において、最も接近した噴霧管（51）と放電電極（81）との間の距離Ｌが、ガラス基板（20）の搬送方向の長さｌよりも長くなる位置に配置されている。 The installation position of the spray mechanism (30) is the same as that in the first embodiment. That is, in the spraying mechanism (30), the distance L between the spray tube (51) and the discharge electrode (81) that are closest to each other in the transport direction is longer than the length l of the glass substrate (20) in the transport direction. It is arranged at the position.

このような構成により、実施形態２においても、噴霧機構（30）のポンプ（43）と液圧センサ（44）と電圧印加部（45）とポンプ駆動部（46）とが、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けられる。つまり、噴霧機構（30）の内部において噴霧管（51）がプラズマ処理機構（80）から遠ざけられる。そのため、プラズマ処理機構（80）と噴霧機構（30）との距離を大きくすることなく、プラズマ処理機構（80）の放電電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくすることができる。よって、プラズマ処理機構（80）の放電電極（81）と噴霧機構（30）の噴霧管（51）との距離を大きくしても、成膜装置（10）の大型化を抑制することができる。つまり、実施形態２によっても、ガラス基板（20）の表面に均一な被膜を形成可能な成膜装置（10）を、大型化を招くことなく提供することができる。 With such a configuration, also in the second embodiment, the pump (43), the hydraulic pressure sensor (44), the voltage application unit (45), and the pump driving unit (46) of the spray mechanism (30) include a plurality of spray tubes. It is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than (51). That is, the spray tube (51) is moved away from the plasma processing mechanism (80) inside the spray mechanism (30). Therefore, without increasing the distance between the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30), the distance between the discharge electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30). Can be increased. Therefore, even if the distance between the discharge electrode (81) of the plasma processing mechanism (80) and the spray tube (51) of the spray mechanism (30) is increased, the film forming apparatus (10) can be prevented from being enlarged. . That is, according to the second embodiment, the film forming apparatus (10) capable of forming a uniform film on the surface of the glass substrate (20) can be provided without causing an increase in size.

〈その他の実施形態〉
上記各実施形態では、噴霧機構（30）の噴霧管（51）の他の構成要素の全てを、複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けることとしていたが、噴霧管（51）の他の構成要素の全てではなく一部を複数の噴霧管（51）よりもプラズマ処理機構（80）側に設けることとしてもよい。この場合であっても各実施形態と同様に、ガラス基板（20）の表面に均一な被膜を形成可能な成膜装置（10）を、大型化を招くことなく提供することができる。 <Other embodiments>
In each of the above embodiments, all of the other components of the spray pipe (51) of the spray mechanism (30) are provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray pipes (51). A part, not all of the other components of the tube (51) may be provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51). Even in this case, as in each embodiment, the film forming apparatus (10) capable of forming a uniform film on the surface of the glass substrate (20) can be provided without causing an increase in size.

また、上述した原料液は、オプツール（登録商標）ＤＳＸ−Ｅ（ダイキン工業社製）のパーフルオロブチルエチルエーテル溶液（有効成分１mass％）を用いることができる。 Moreover, the perfluorobutyl ethyl ether solution (active ingredient 1mass%) of OPTOOL (trademark) DSX-E (made by Daikin Industries) can be used for the raw material liquid mentioned above.

また、原料液は、少なくとも１種のパーフルオロ（ポリ）エーテル基含有シラン化合物からなる表面処理剤を含有することができる。 Moreover, the raw material liquid can contain a surface treatment agent comprising at least one perfluoro (poly) ether group-containing silane compound.

この表面処理剤は、具体的には、ＷＯ９７／０７１５５、特表２００８−５３４６９６、ＷＯ２０１３／１４６１１０、特開２０１０−２１７９１５、特開２０１３−１１７０１２、特開２００２−３４８３７０、特開２０１２−７２２７２、特開２００３−２３８５７７、特開２０００−１４３９９１、ＷＯ２０１３／１２１９８４、ＷＯ２０１３／１２１９８５、ＷＯ２０１３／１２１９８６等に記載されている化合物が挙げられる。 Specifically, this surface treatment agent is WO97 / 07155, Special Table 2008-534696, WO2013 / 146110, JP2010-217915, JP2013-1117012, JP2002-348370, JP2012-72272, JP Examples thereof include compounds described in JP-A 2003-238577, JP-A No. 2000-143991, WO2013 / 121984, WO2013 / 121985, WO2013 / 121986, and the like.

また、市販の表面処理剤としては、ＫＹ−１３０（信越化学工業社製）、ＫＹ−１６４（信越化学工業社製）、ＫＹ−１７８（信越化学工業社製）、ＫＹ−１８５（信越化学工業社製）、オプツールＤＳＸ−Ｅ（ダイキン工業社製）、オプツールＡＥＳ−４Ｅ（ダイキン工業社製）、ＤＣ２６３４（ダウ・コーニング社製）が例示される。 Moreover, as a commercially available surface treating agent, KY-130 (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), KY-164 (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), KY-178 (made by Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.), KY-185 (Shin-Etsu Chemical Co., Ltd.) Co., Ltd.), OPTOOL DSX-E (manufactured by Daikin Industries), OPTOOL AES-4E (manufactured by Daikin Industries), and DC2634 (manufactured by Dow Corning).

原料液は、表面処理剤を溶媒で希釈し、基材表面に適用されるものである。原料液の安定性および溶媒の揮発性の観点から、次の溶媒が好ましく使用される。 The raw material liquid is obtained by diluting the surface treatment agent with a solvent and applying it to the substrate surface. From the viewpoint of the stability of the raw material liquid and the volatility of the solvent, the following solvents are preferably used.

炭素数５〜１２のパーフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、パーフルオロヘキサン、パーフルオロメチルシクロヘキサンおよびパーフルオロ−１，３−ジメチルシクロヘキサン）、ポリフルオロ芳香族炭化水素（例えば、ビス（トリフルオロメチル）ベンゼン）、ポリフルオロ脂肪族炭化水素（例えば、Ｃ_６Ｆ_１３ＣＨ_２ＣＨ_３（例えば、旭硝子社製のアサヒクリン（登録商標）ＡＣ−６０００）、１，１，２，２，３，３，４−ヘプタフルオロシクロペンタン（例えば、日本ゼオン社製のゼオローラ（登録商標）Ｈ）、ヒドロフルオロエーテル（ＨＦＥ）（例えばパーフルオロプロピルメチルエーテル（Ｃ_３Ｆ_７ＯＣＨ_３）（例えば、住友スリーエム社製のＮＯＶＥＣ（登録商標）７０００）、パーフルオロブチルメチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣＨ_３）（例えば、住友スリーエム社製のＮＯＶＥＣ７１００）、パーフルオロブチルエチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣ_２Ｈ_５）（例えば、住友スリーエム社製のＮＯＶＥＣ７２００）、パーフルオロヘキシルメチルエーテル（Ｃ_２Ｆ_５ＣＦ（ＯＣＨ_３）Ｃ_３Ｆ_７）（例えば、住友スリーエム社製のＮＯＶＥＣ７３００）などのアルキルパーフルオロアルキルエーテル（パーフルオロアルキル基およびアルキル基は直鎖または分枝状であってよい。）、あるいはＣＦ_３ＣＨ_２ＯＣＦ_２ＣＨＦ_２（例えば、旭硝子社製のアサヒクリンＮＯＶＥＣＡＥ−３０００））など。これらの溶媒は、単独で、または、２種以上の混合物として用いることができる。なかでも、ヒドロフルオロエーテルが好ましく、パーフルオロブチルメチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣＨ_３）および／またはパーフルオロブチルエチルエーテル（Ｃ_４Ｆ_９ＯＣ_２Ｈ_５）が特に好ましい。 Perfluoroaliphatic hydrocarbons having 5 to 12 carbon atoms (for example, perfluorohexane, perfluoromethylcyclohexane and perfluoro-1,3-dimethylcyclohexane), polyfluoroaromatic hydrocarbons (for example, bis (trifluoromethyl)) Benzene), polyfluoroaliphatic hydrocarbons (for example, C ₆ F ₁₃ CH ₂ CH ₃ (for example, Asahi Culin (registered trademark) AC-6000 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), 1,1,2,2,3,3, 4-heptafluorocyclopentane (for example, Zeolora (registered trademark) H manufactured by Nippon Zeon), hydrofluoroether (HFE) (for example, perfluoropropyl methyl ether (C ₃ F ₇ OCH ₃ ) (for example, manufactured by Sumitomo 3M Limited) NOVEC® 7000), perfluorobutyl methyl ether C ₄ F ₉ OCH ₃₎ (e.g., NOVEC7100 of Sumitomo 3M Ltd.), perfluorobutyl ethyl ether _{_{_{_{(C 4 F 9 OC 2 H}}}} 5) ( e.g., NOVEC7200 of Sumitomo 3M Ltd.), perfluorohexyl methyl ether ( Alkyl perfluoroalkyl ethers such as C ₂ F ₅ CF (OCH ₃ ) C ₃ F ₇ ) (for example, NOVEC 7300 manufactured by Sumitomo 3M Limited) (perfluoroalkyl groups and alkyl groups may be linear or branched) ), Or CF ₃ CH ₂ OCF ₂ CHF ₂ (for example, ASAHIKLIN NOVECAE-3000 manufactured by Asahi Glass Co., Ltd.), etc. These solvents can be used alone or as a mixture of two or more. But hydrofluoroethers are preferred and B-butyl methyl ether _(C ₄ F 9 OCH ₃₎ and / or perfluorobutyl ethyl ether _{_{_{_{(C 4 F 9 OC 2 H}}}} 5) is especially preferred.

また、上記後処理ゾーン（13）で行われる後処理工程は、例えば、水分供給および乾燥加熱を逐次的に実施するものであってよい。水分供給および乾燥加熱は、過熱水蒸気
を用いることにより連続的に実施してもよい。 Moreover, the post-processing process performed in the said post-processing zone (13) may implement a water supply and drying heating sequentially, for example. Moisture supply and drying heating may be carried out continuously by using superheated steam.

以上説明したように、本発明は、静電噴霧によって対象物に被膜を形成する成膜装置について有用である。 As described above, the present invention is useful for a film forming apparatus that forms a film on an object by electrostatic spraying.

１０成膜装置
１５ベルトコンベア（搬送機構）
２０ガラス基板（対象物）
３０噴霧機構
４１支持部材（平板部材）
４３ポンプ
４５電圧印加部
４９取付部材
５１噴霧管
８０プラズマ処理機構
８１放電電極（電極）
８２高電圧印加部 10 Deposition equipment
15 Belt conveyor (conveyance mechanism)
20 Glass substrate (object)
30 Spraying mechanism
41 Support member (flat plate member)
43 Pump
45 Voltage application section
49 Mounting member
51 spray tube
80 Plasma processing mechanism
81 Discharge electrode (electrode)
82 High voltage application section

Claims

A plasma processing mechanism (80) for cleaning the surface of the object (20) by irradiating the object (20) with plasma, and the object (20) by spraying a raw material liquid onto the object (20). ) An electrostatic spray type spray mechanism (30) for forming a film on the surface, and a transport mechanism (15) for transporting the object (20) in the order of the plasma processing mechanism (80) and the spray mechanism (30). A film forming apparatus comprising:
The plasma processing mechanism (80) applies a voltage so that a plurality of electrodes (81) and a discharge generating plasma are generated between the plurality of electrodes (81) and the object (20). A high voltage application unit (82),
The spray mechanism (30)
A plurality of spray tubes (51) that are made of a conductive material and supplied with the raw material liquid, and the raw material liquid is charged into droplets and sprayed from the spray tubes (51) onto the object (20). While having a voltage application section (45) for applying a voltage between the plurality of spray tubes (51) and the object (20) as described above,
Position where the distance between the spray tube (51) and the electrode (81) that are closest to each other in the transport direction of the transport mechanism (15) is longer than the length of the object (20) in the transport direction Placed in
The voltage application unit (45) of the spray mechanism (30) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction. Membrane device.

In claim 1,
The spray mechanism (30) includes a plurality of the spray tubes (51), and includes a plurality of flat plate members (41) that extend in the transport direction and are arranged in parallel at intervals.
The voltage application section (45) is provided on each of the plurality of flat plate members (41), and the plurality of spray tubes (51) attached to the respective flat plate members (41) and the object (20). And is configured to apply a voltage between
In each of the flat plate members (41), the voltage application unit (45) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction. Deposition device.

In claim 2,
The spray mechanism (30) is attached to the plurality of flat plate members (41) one by one, and supplies the raw material liquid to the spray tubes (51) attached to the flat plate members (41). Having a pump (43)
In each flat plate member (41), the pump (43) is provided closer to the plasma processing mechanism (80) than the plurality of spray tubes (51) in the transport direction. apparatus.

In claim 1,
The spray mechanism (30)
A plurality of the spray tubes (51) are respectively attached, a plurality of flat plate members (41) extending in the transport direction and arranged in parallel at intervals from each other;
A plurality of flat plate members (41) are provided on the side of the plasma processing mechanism (80) of the flat plate members (41) in the conveying direction so as to correspond to the flat plate members (41) and attached to the corresponding flat plate members (41). A plurality of attachment members (49) each having the voltage application part (45) attached thereto so as to apply a voltage between the spray tube (51) and the object (20); A characteristic film forming apparatus.