JP2015122452A - Light-emitting device - Google Patents

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加藤 隆志
Takashi Kato
隆志 加藤
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サンケン電気株式会社
Sanken Electric Co Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a light-emitting device which has a light-emitting element and is easily miniaturized.SOLUTION: The light-emitting device comprises: a supporting resin provided with a recess at an upper part thereof; the light-emitting element which has a laminated structure including a first semiconductor layer as the lowermost layer and a second semiconductor layer as the uppermost layer and is embedded in the recess so that a side surface of the light-emitting element faces an inner wall surface of the recess, and the first semiconductor layer faces a bottom surface of the recess; and a translucent resin arranged above the second semiconductor layer of the light-emitting element.

Description

本発明は、フリップチップ実装された発光素子を有する発光装置に関する。 The present invention relates to a light emitting device having a light emitting element that is flip-chip mounted.

発光ダイオード(LED)などの発光素子を光源に用いた発光装置が実用化されている。 Light-emitting device using a light emitting element such as a light emitting diode (LED) as a light source have been put into practical use. 例えば、マウントリードのカップの内部に発光素子が搭載され、透光性樹脂でカップを充填した発光装置が提案されている(例えば特許文献1参照。)。 For example, the light emitting element is mounted inside of the mount lead cup, the light emitting device filled with cups a translucent resin has been proposed (e.g. see Patent Document 1.).

特開2009−135545号公報 JP 2009-135545 JP

しかしながら、カップなどのフレーム内に発光素子を搭載した構造の発光装置は、小型化することが困難である。 However, the light emitting device mounting structure of the light-emitting element in the frame, such as a cup, it is difficult to miniaturize. 本発明は、発光素子を有し、小型化が容易な発光装置を提供することを目的とする。 The present invention includes a light emitting element, and an object thereof is miniaturized to provide an easy-emitting device.

本発明の一態様によれば、(ア)上部に凹部が設けられた支持樹脂と、(イ)第1の半導体層を最下層とし第2の半導体層を最上層とする積層構造体を有し、側面が凹部の内壁面と対向し且つ第1の半導体層が凹部の底面と対向して、凹部内に埋め込まれた発光素子と、(ウ)発光素子の第2の半導体層の上方に配置された透光性樹脂とを備える発光装置が提供される。 According to one aspect of the present invention, chromatic and support resin (A) recesses at the top is provided, the laminated structure according to (i) the uppermost layer of the second semiconductor layer a first semiconductor layer and the lowermost layer and, side surfaces and a bottom surface facing the inner wall surface opposite to and the first semiconductor layer is concave recess, a light emitting element embedded in the recess, above the second semiconductor layer (c) the light emitting element emitting device is provided and a deployed translucent resin.

本発明によれば、発光素子を有し、小型化が容易な発光装置を提供できる。 According to the present invention, a light-emitting element, miniaturization can be provided an easy-emitting device.

本発明の第1の実施形態に係る発光装置の構造を示す模式的な断面図である。 It is a schematic sectional view showing a structure of a light emitting device according to a first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態の透光性樹脂の構造例を示す模式的な断面図である。 It is a schematic sectional view showing a structural example of a light-transmissive resin of the first embodiment of the present invention. 比較例の発光装置の構造を示す模式的な断面図である。 It is a schematic sectional view showing a structure of a light-emitting device of the comparative example. 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その1)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 1). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その2)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 2). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その3)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 3). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その4)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 4). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その5)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 5). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その6)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 6). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その7)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 7). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その8)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 8). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その9)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 9). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その10)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 10). 本発明の第1の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その11)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing a light emitting device according to a first embodiment of the present invention (Part 11). 本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る発光装置の構造を示す模式的な断面図である。 It is a schematic sectional view showing a structure of a light emitting device according to a first modification of the first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る発光装置の構造を示す模式的な断面図である。 It is a schematic sectional view showing a structure of a light emitting device according to a second modification of the first embodiment of the present invention. 本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the light emitting device according to a second modification of the first embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施形態に係る発光装置の構造を示す模式的な断面図である。 It is a schematic sectional view showing a structure of a light emitting device according to a second embodiment of the present invention. 本発明の第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その1)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the light emitting device according to a second embodiment of the present invention (Part 1). 本発明の第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その2)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the light emitting device according to a second embodiment of the present invention (Part 2). 本発明の第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その3)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the light emitting device according to a second embodiment of the present invention (Part 3). 本発明の第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その4)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the light emitting device according to a second embodiment of the present invention (Part 4). 本発明の第2の実施形態に係る発光装置の製造方法を説明するための模式的な断面図である(その5)。 It is a schematic cross-sectional view for explaining a method of manufacturing the light emitting device according to a second embodiment of the present invention (Part 5).

次に、図面を参照して、本発明の実施形態を説明する。 Next, with reference to the drawings, an embodiment of the present invention. 以下の図面の記載において、同一又は類似の部分には同一又は類似の符号を付している。 In the drawings, the same or similar parts are denoted by the same or similar reference numerals. 又、以下に示す実施形態は、この発明の技術的思想を具体化するための装置や方法を例示するものであって、この発明の技術的思想は、構成部品の形状、構造、配置等を下記のものに特定するものでない。 Further, the embodiments described below are intended to illustrate the devices and methods for embodying the technical idea of ​​the present invention, the technical idea of ​​the present invention, the shape of the components, structure, arrangement, etc. not to those described below. この発明の実施形態は、特許請求の範囲において、種々の変更を加えることができる。 Embodiments of the invention may be added in the claims, various changes.

(第1の実施形態) (First Embodiment)
本発明の第1の実施形態に係る発光装置1は、図1に示すように、上部に凹部が設けられた支持樹脂10と、支持樹脂10の凹部内に埋め込まれた発光素子20と、発光素子20の上方に配置された透光性樹脂30とを備える。 The light emitting device 1 according to a first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the support resin 10 with a recess provided in the upper, the light emitting element 20 that is embedded in a recess in the support resin 10, the light emitting and a translucent resin 30 disposed above the element 20.

発光素子20は、第1導電型の第1の半導体層21を最下層とし、第2導電型の第2の半導体層23を最上層とする積層構造体を有する。 Emitting element 20, the first semiconductor layer 21 of the first conductivity type is a bottom layer has a stacked structure of the second semiconductor layer 23 of the second conductivity type is the uppermost layer. 即ち、発光素子20の側面は支持樹脂10の凹部の内壁面と対向し、且つ第1の半導体層21が凹部の底面と対向して、発光素子20が凹部内に埋め込まれている。 That is, the side surfaces of the light emitting element 20 is an inner wall surface facing the recess of the support resin 10, and the first semiconductor layer 21 is opposed to the bottom surface of the recess, the light emitting element 20 is embedded in the recess. 第2の半導体層23の上方に、支持樹脂10の凹部の開口部を蓋するように透光性樹脂30が配置されている。 Above the second semiconductor layer 23, translucent resin 30 so as to cover the opening of the recess of the support resin 10 is arranged.

第1導電型と第2導電型とは互いに反対導電型である。 The first conductivity type and the second conductivity type is a conductivity type opposite to each other. 即ち、第1導電型がp型であれば、第2導電型はn型であり、第1導電型がn型であれば、第2導電型はp型である。 That is, if the first p-type conductivity, the second conductivity type is n-type, if the first conductivity type is n-type, the second conductivity type is p-type. 以下では、第1導電型がp型であり、第2導電型がn型である場合を例示的に説明する。 Hereinafter, the first conductivity type is p-type, exemplarily illustrating a case where the second conductivity type is n-type. つまり、第1の半導体層21がp型半導体層であり、第2の半導体層23がn型半導体層である。 In other words, the first semiconductor layer 21 is a p-type semiconductor layer, the second semiconductor layer 23 is an n-type semiconductor layer.

発光素子20は、例えば、第1の半導体層21をp型クラッド層、第2の半導体層23をn型クラッド層とするLED素子である。 Emitting element 20 is, for example, p-type cladding layer of the first semiconductor layer 21, an LED element and the second semiconductor layer 23 and n-type cladding layer. 図1に示した例では、第1の半導体層21、発光層22、第2の半導体層23が積層されたダブルへテロ構造を発光素子20に採用している。 In the example shown in FIG. 1, the first semiconductor layer 21, the light emitting layer 22 employs a heterostructure in light emitting device 20 to the double of the second semiconductor layer 23 are stacked. 例えば、薄いGaAs層からなる発光層22を、発光層22よりもバンドギャップエネルギーの大きなAlGaAs層からなる第1の半導体層21と第2の半導体層23とで挟んだ構造などを採用可能である。 For example, a thin light-emitting layer 22 made of GaAs layer and sandwiched between the first semiconductor layer 21 consisting of large AlGaAs layer and the second semiconductor layer 23 can adoption is the band gap energy than the light emitting layer 22 .

発光装置1は、第1の半導体層21と接続する第1の電極41と、第2の半導体層23と接続する第2の電極42を備える。 The light emitting device 1 includes a first electrode 41 connected to the first semiconductor layer 21, the second electrode 42 to be connected to the second semiconductor layer 23. 図1に示した例では、第1の電極41と第2の電極42は、支持樹脂10の下部側から支持樹脂10を貫通し、支持樹脂10の凹部内で第1の半導体層21と第2の半導体層23とそれぞれ接続する。 In the example shown in FIG. 1, a first electrode 41 second electrode 42, a support resin 10 from the lower side through the support resin 10, the first semiconductor layer 21 in the recess of the support resin 10 and the and second semiconductor layer 23 is connected.

より具体的には、第2の半導体層23が、平面視で第1の半導体層21及び発光層22の配置されていない領域まで凹部内を水平方向に延伸した延伸領域231を有する。 More specifically, the second semiconductor layer 23 has a drawing area 231 that has been stretched in the recess in the horizontal direction to a region which is not disposed in the first semiconductor layer 21 and the light emitting layer 22 in a plan view. そして、第2の電極42が、第1の電極41が支持樹脂10を貫通する位置と離間した位置で支持樹脂10の下部側から支持樹脂10を貫通して、凹部内で第2の半導体層23の延伸領域231と接続している。 Then, the second electrode 42, through the support resin 10 from the lower side of the supporting resin 10 at a position apart from the position where the first electrode 41 penetrates the support resin 10, the second semiconductor layer in the recess It is connected to the drawing area 231 of 23. 凹部内部では、絶縁膜50によって、第2の電極42と、発光層22、第1の半導体層21及び第1の電極41とが絶縁分離されている。 Inside the recess, the insulating film 50, and the second electrode 42, luminescent layer 22, a first semiconductor layer 21 and first electrode 41 are insulated and separated. 絶縁膜50には、例えば酸化シリコン(SiOx)膜などを採用可能である。 The insulating film 50, for example, can be adopted such as silicon oxide (SiOx) film.

第1の電極41から第1の半導体層21に正孔が供給され、第2の電極42から第2の半導体層23に電子が供給される。 Holes are supplied from the first electrode 41 to the first semiconductor layer 21, electrons are supplied from the second electrode 42 to the second semiconductor layer 23. そして、発光層22に、第1の半導体層21から正孔が注入され、第2の半導体層23から電子が注入される。 Then, the light-emitting layer 22, holes are injected from the first semiconductor layer 21, electrons are injected from the second semiconductor layer 23. 注入された正孔と電子が発光層22で再結合することにより、発光層22で光が発生する。 By injected holes and electrons are recombined in the light emitting layer 22, light is generated in the light emitting layer 22.

発光層22で発生した光は、第2の半導体層23の主面を光取り出し面200として外部に出射される。 Light generated in the light emitting layer 22 is emitted outside the main surface of the second semiconductor layer 23 as a light extraction surface 200. この発光素子20の出射光は透光性樹脂30を透過して、発光装置1から出力光Lとして出力される。 Emitted light of the light emitting element 20 is transmitted through the translucent resin 30, is output as the output light L from the light-emitting device 1. このように、発光装置1は面実装型発光装置である。 Thus, the light emitting device 1 is a surface mounted light emitting device.

上記のように第1の電極41及び第2の電極42が共に支持樹脂10の下部側に配置され、光取り出し面200が定義された第2の半導体層23側には電極が配置されていない。 First and second electrodes 41 and 42 are both arranged on the lower side of the supporting resin 10 as described above, the second semiconductor layer 23 on the side electrode light extraction surface 200 is defined is not located . このため、図1に示した発光装置1では、光取り出し面200の面積を広く確保できる。 Thus, in light emitting device 1 shown in FIG. 1, the area of ​​the light extraction surface 200 can be widely ensured.

発光素子20の底面及び側面は、支持樹脂10によって囲まれている。 The bottom and side surfaces of the light emitting element 20 is surrounded by the support resin 10. このように支持樹脂10によって発光素子20の光取り出し面200以外を覆うことにより、発光素子20から出射された光は、発光素子20の上方に配置された一定の厚みの透光性樹脂30を通過する。 By thus covering the support resin 10 other than the light extraction surface 200 of the light emitting element 20, light emitted from the light emitting element 20, the translucent resin 30 of constant thickness which is disposed above the light emitting element 20 pass. このため、出力光Lの色安定性が向上する。 Therefore, the color stability of the output light L is improved. 更に、支持樹脂10には、白色樹脂を使用することが好ましい。 Further, the support resin 10, it is preferable to use a white resin. 白色の支持樹脂10によれば、支持樹脂10での反射効率を向上させることができる。 According to a white support resin 10, thereby improving the reflection efficiency of the support resin 10.

支持樹脂10には、フィラー入りのエポキシ系樹脂やシリコン系樹脂を採用可能である。 The support resin 10, it is possible to employ epoxy resins and silicone resins containing a filler. また、白色顔料を加えることにより、白色の支持樹脂10を実現できる。 Further, by adding a white pigment, it can be realized white support resin 10.

なお、第2の半導体層23の光取り出し面200を粗面化することにより、発光素子20の出射光が散乱され、出力光Lの輝度を向上させることができる。 Incidentally, by roughening the light extraction surface 200 of the second semiconductor layer 23, the light emitted from the light emitting element 20 is scattered, thereby improving the brightness of the output light L. ただし、色安定性のために、光取り出し面200の粗面化を実施しなくてもよい。 However, for color stability, a roughening of the light extraction surface 200 may not be performed.

また、発光素子20と支持樹脂10との間に、発光素子20の出射光を反射する反射膜を配置することが好ましい。 Further, between the light emitting element 20 and the supporting resin 10, it is preferable to dispose a reflective film which reflects light emitted from the light emitting element 20. 図1に示した発光装置1では、反射膜60が、第1の半導体層21と支持樹脂10との間で、支持樹脂10の凹部内に配置された絶縁膜50の内部に配置されている。 In the light emitting device 1 shown in FIG. 1, the reflective film 60, between the support resin 10 and the first semiconductor layer 21 is disposed inside the insulating film 50 located in a recess in the support resin 10 . 反射膜60によって、発光素子20から第2の半導体層23側に出射された光が第1の半導体層21側に反射される。 The reflective film 60, light from the light emitting element 20 is emitted to the second semiconductor layer 23 side is reflected on the first semiconductor layer 21 side. これにより、発光装置1からの出力光Lの輝度を高めることができる。 This can increase the brightness of the output light L from the light emitting device 1. 反射膜60には、例えば、アルミニウム(Al)膜、Al合金膜、銀(Ag)膜、Ag合金膜などを採用可能である。 The reflective film 60, for example, aluminum (Al) film, Al alloy film, a silver (Ag) film, is such possible adoption Ag alloy film. また、凹部の内壁面にも反射膜を配置してもよい。 It is also possible to place a reflective film to the inner wall surface of the recess.

透光性樹脂30は、発光素子20の封止材及び発光装置1のレンズとして機能する。 Translucent resin 30 functions as a sealing material and a light-emitting device 1 of the lens of the light emitting element 20. 発光素子20の出射光を透過する樹脂であれば、透光性樹脂30に熱可塑性樹脂や熱硬化性樹脂を採用可能である。 If the resin which transmits light emitted from the light emitting element 20, a thermoplastic resin or a thermosetting resin can be employed in the light-transmissive resin 30. 透光性樹脂30に透明樹脂を使用することによって、発光素子20の出射光と同色の出力光Lを発光装置1から出力できる。 By using a transparent resin on the transparent resin 30, can output the outgoing light and the same color of the output light L of the light emitting element 20 from the light-emitting device 1.

或いは、発光素子20の出射光によって励起されて励起光を放射する蛍光体を含有する蛍光体樹脂を透光性樹脂30に採用してもよい。 Alternatively, it may be employed phosphor resin containing phosphors that emit excitation light excited by the light emitted from the light emitting element 20 to the light-transmissive resin 30. 透光性樹脂30に蛍光体樹脂を採用することにより、所望の色の出力光Lを発光装置1から出力できる。 By employing a phosphor resin translucent resin 30 can output the output light L of a desired color from the light emitting device 1. また、発光装置1から、発光素子20の出射光と励起光とが混色された出力光Lを出力させることも可能である。 Further, the light emitting device 1, it is also possible to output the output light L emitted from the light emitting element 20 and the excitation light are mixed. なお、図2に示すように、蛍光体樹脂31と透明樹脂32とを積層して透光性樹脂30を構成してもよい。 Incidentally, as shown in FIG. 2, it may be configured translucent resin 30 by laminating the phosphor resin 31 and the transparent resin 32.

上記のように、発光装置1の出力光Lに対する所望の色に応じて、透光性樹脂30の構造、材料を任意に選択可能である。 As described above, according to the desired color for the output light L of the light emitting device 1, the structure of the translucent resin 30, can be arbitrarily selecting the material.

例えば、出射光が青色光の発光素子20を使用した場合に、青色光に励起されて黄色光を放射するイットリウム・アルミニウム・ガーネット(YAG)などを透光性樹脂30に含まれる蛍光体として用いる。 For example, when the emitted light has a light emitting device 20 of the blue light, it is used as the phosphor included the yttrium aluminum garnet is excited to blue light to emit yellow light (YAG) to the translucent resin 30 . このとき、発光素子20から出射された青色光の一部が蛍光体を励起することにより、黄色光に波長変換される。 At this time, part of the blue light emitted from the light emitting element 20 is by exciting the phosphor, is wavelength-converted into yellow light. 蛍光体から放射された黄色光と発光素子20から出射された青色光とが混合されることにより、白色の出力光Lが発光装置1から出力される。 By the yellow light emitted from the phosphor and the blue light emitted from the light emitting element 20 are mixed, white output light L is outputted from the light-emitting device 1.

なお、白色の出力光Lを得るための発光素子20の出射光と蛍光体との組み合わせはこれに限られるものではない。 Incidentally, the combination of the outgoing light and the phosphor of the light emitting element 20 for obtaining a white output light L is not limited thereto. 例えば、近紫外光を出射する発光素子20と、近紫外光によって励起されて赤色光、緑色光、及び青色光を放射する蛍光体を透光性樹脂30に含有させてもよい。 For example, a light-emitting element 20 that emits near ultraviolet light, may be contained by being excited by near ultraviolet light red light, green light, and a phosphor that emits blue light in the translucent resin 30. もちろん、発光装置1の出力光Lが白色光以外の場合にも、発光素子20の出射光と蛍光体との種々の組み合わせを採用可能である。 Of course, when the output light L of the light emitting device 1 is other than white light it is also possible to employ various combinations of the emitted light and phosphor of the light emitting element 20. 透明樹脂として、例えば、エポキシ樹脂、変性エポキシ樹脂、シリコーン樹脂、変性シリコーン樹脂などを採用可能である。 As the transparent resin, for example, it is possible to employ epoxy resins, modified epoxy resins, silicone resins, and modified silicone resin. また、蛍光体樹脂として前記の透明樹脂に蛍光材料を混合したものなどを採用可能である。 Also including a possible adoption of a mixture of the transparent resin to the fluorescent material as a phosphor resin.

なお、透光性樹脂30の各層に散乱剤を混入させてもよい。 It may be mixed scattering agent in each layer of the translucent resin 30. これにより透光性樹脂30内で光が散乱され、出力光Lの輝度が向上する。 Thereby light is scattered in the translucent resin 30, thereby improving the brightness of the output light L. また、透光性樹脂30に蛍光体が含有される場合に、透光性樹脂30に散乱剤を混入することによって効率よく蛍光体を励起させることができる。 Further, when the phosphor on the transparent resin 30 is contained, it can be excited efficiently phosphor by incorporating scattering agent to the translucent resin 30.

本発明の第1の実施形態に係る発光装置1では、図1に示すように、側面及び底面を覆う支持樹脂10によって、発光素子20を構成する半導体層からなる積層構造体が支持されている。 In the light emitting device 1 according to a first embodiment of the present invention, as shown in FIG. 1, the support resin 10 covering the side and bottom surfaces, the laminated structure consisting of a semiconductor layer constituting the light emitting element 20 is supported . このため、例えば図3に示す比較例のように、支持基板24によって発光素子20aの半導体層25を支持する必要がない。 Thus, for example, as in the comparative example shown in FIG. 3, there is no need to support the semiconductor layer 25 of the light emitting element 20a by the support substrate 24. なお、図3に示した比較例の発光装置は、発光素子20aがフレーム10aに形成された凹部内に配置され、発光素子20aの半導体層側がフレーム10aに接してフリップチップ実装された例である。 The light-emitting device of the comparative example shown in FIG. 3, the light emitting element 20a is arranged in a recess formed in the frame 10a, is an example that is flip-chip mounted in contact with the semiconductor layer side of the light emitting element 20a within the frame 10a . 半導体層25から出射された光は、支持基板24を透過してフレーム10aの凹部に充填された透光性樹脂30aに入射する。 The light emitted from the semiconductor layer 25 is incident to the filling in the recess of the frame 10a passes through the supporting substrate 24 translucent resin 30a.

支持基板24にはシリコン基板などが採用され、半導体層25から出射された光の一部は支持基板24に吸収される。 Such as a silicon substrate is employed to support the substrate 24, part of the light emitted from the semiconductor layer 25 is absorbed by the supporting substrate 24. このため、支持基板を備えない発光装置1の出力光Lの輝度は、支持基板24を有する比較例の発光装置と比べて高い。 Therefore, the luminance of the output light L of the light emitting device 1 without the support substrate is higher than the light-emitting device of the comparative example having a supporting substrate 24.

また、発光装置1では、支持基板を介さずに第1の電極41と第1の半導体層21とを接続することにより、第1の電極41と第1の半導体層21間の抵抗を低減することができる。 Further, in the light-emitting device 1, by connecting the first electrode 41 and the first semiconductor layer 21 without passing through the supporting substrate, to reduce the first electrode 41 and resistance between the first semiconductor layer 21 be able to. 更に、第1の電極41の面積を広くすることが可能である。 Furthermore, it is possible to enlarge the area of ​​the first electrode 41. このため、発光素子20の順方向電圧Vfの低減が可能である。 Therefore, it is possible to reduce the forward voltage Vf of the light emitting element 20.

更に、発光装置1では、半導体層で発生した熱を支持基板を介さずに効率よく実装基板に放熱できる。 Further, the light emitting device 1, can be radiated efficiently mounting substrate the heat generated by the semiconductor layer without passing through the supporting substrate. これにより、発光装置1の特性の劣化が抑制され、信頼性が向上する。 Thereby, deterioration of the characteristics of the light emitting device 1 can be suppressed, and the reliability is improved.

発光装置1を実装基板に搭載する例としては、例えば図1に示したように、第1の電極41と第2の電極42にそれぞれ第1のプリント基板71と第2のプリント基板72を接続する方法などが採用可能である。 As an example of mounting the light emitting device 1 on the mounting board, for example, as shown in FIG. 1, respectively connected to the first printed board 71 to second printed board 72 and the first electrode 41 to the second electrode 42 and a method in which it is possible to employ. 発光装置1で発生した熱は、第1の電極41及び第2の電極42を介して、第1のプリント基板71及び第2のプリント基板に放熱される。 Heat generated in the light emitting device 1 through the first and second electrodes 41 and 42, is radiated to the first printed board 71 and second printed board. 第1の電極41と第1のプリント基板71との接続、及び第2の電極42と第2のプリント基板72との接続には、例えば半田80を使用する。 A first electrode 41 connected to the first printed board 71, and the second electrode 42 to connect the second printed circuit board 72, for example using solder 80. 第1のプリント基板71及び第2のプリント基板72には、金属プレートなどを採用可能である。 The first printed board 71 and second printed board 72, it is possible to employ a metal plate.

以上に説明したように、本発明の第1の実施形態に係る発光装置1では、樹脂によって発光素子20が支持される。 As described above, the light emitting device 1 according to a first embodiment of the present invention, the light emitting element 20 is supported by the resin. 発光装置1には、支持基板のない発光素子20を使用可能であり、更に、発光素子20が搭載されるフレームがない。 The light emitting device 1, may be used without a support substrate the light emitting element 20, further, there is no frame which the light emitting element 20 is mounted. このように、支持樹脂10によって発光素子20が支持される発光装置1は、小型化が容易である。 Thus, the light emitting device 1 where the light emitting element 20 is supported by the support resin 10 is easy to miniaturize.

また、図1に示した発光装置1では、すべての電極が第1の半導体層21の側に配置されており、第2の半導体層23の光取り出し面200には電極が配置されていない。 Further, the light emitting device 1 shown in FIG. 1, all the electrodes are arranged on the side of the first semiconductor layer 21, the electrode is not disposed on the light extraction surface 200 of the second semiconductor layer 23. このため、第1の半導体層21側に反射膜60を配置したり、光取り出し面200を粗面化したりできる。 Therefore, you can place the reflective film 60 on the first semiconductor layer 21 side, it or the light extraction surface 200 is roughened. これにより、出力光Lの輝度を向上できる。 Thus, it is possible to improve the brightness of the output light L.

以下に、図4〜図14を参照して、本発明の第1の実施形態に係る発光装置1の製造方法を説明する。 Hereinafter, with reference to FIGS. 4 to 14, a method for manufacturing a light emitting device 1 according to a first embodiment of the present invention. なお、以下に述べる発光装置1の製造方法は一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により実現可能であることはもちろんである。 Incidentally, the method of manufacturing the light emitting device 1 described below is only an example, and including modifications, can of course be implemented by various manufacturing methods other than this.

まず、図4に示すように、犠牲基板100上に発光素子20を構成する各層をエピタキシャル成長法などによって形成する。 First, as shown in FIG. 4, the layers constituting the light-emitting element 20 on the sacrificial substrate 100 is formed by a an epitaxial growth method. 具体的には、第2の半導体層23、発光層22及び第1の半導体層21を順次積層する。 Specifically, the second semiconductor layer 23 are sequentially stacked light-emitting layer 22 and the first semiconductor layer 21.

次に、図5に示すように、第2の半導体層23、発光層22及び第1の半導体層21を貫通し、先端が犠牲基板100に達する分離溝110を形成する。 Next, as shown in FIG. 5, the second semiconductor layer 23, through the light-emitting layer 22 and the first semiconductor layer 21, to form a separation groove 110 of the tip reaches the sacrificial substrate 100. この分離溝110は、後述するように発光装置1の素子分離に使用される。 This separation groove 110 is used in the isolation of the light emitting device 1 as described below. 次いで、図6に示すように、第1の半導体層21及び発光層22の一部を除去して、第2の半導体層23の一部を露出させる。 Then, as shown in FIG. 6, by removing a portion of the first semiconductor layer 21 and the light-emitting layer 22 to expose a portion of the second semiconductor layer 23. この露出された部分が延伸領域231である。 The exposed portion is a stretch zone 231. そして、第1の半導体層21上に第1の電極41の接続部411を形成し、延伸領域231上に第2の電極42の接続部421を形成する。 Then, the connection portion 411 of the first electrode 41 is formed on the first semiconductor layer 21, to form the connection portion 421 of the second electrode 42 on the drawing area 231.

その後、図7に示すように、第2の半導体層23の延伸領域231上及び第1の半導体層21上に、接続部411及び接続部421を覆って絶縁膜50を形成する。 Thereafter, as shown in FIG. 7, on the second semiconductor layer 23 of the stretching region 231 and on the first semiconductor layer 21, an insulating film 50 to cover the connecting portion 411 and the connecting portion 421. このとき、発光装置1に反射膜60が必要であれば、絶縁膜50の形成を中断して、接続部411の上方の領域を除いて第1の半導体層21上に反射膜60を形成する。 At this time, if necessary reflective film 60 in the light emitting device 1, to interrupt the formation of the insulating film 50, forming the reflective film 60 on the first semiconductor layer 21 except for a region above the connection portion 411 .

そして、図8に示すように、絶縁膜50の一部を選択的に除去して、接続部411が底部に露出したコンタクト孔501と、接続部421が底部に露出したコンタクト孔502を形成する。 Then, as shown in FIG. 8, and selectively removing portions of the insulating film 50 is formed a contact hole 501 which the connection portion 411 is exposed at the bottom, a contact hole 502 which the connection portion 421 is exposed at the bottom . そして、図9に示すように、コンタクト孔501及びコンタクト孔502を埋め込むようにして、第1の電極41と第2の電極42それぞれの絶縁膜50を貫通する部分である貫通部412と貫通部422を形成する。 Then, as shown in FIG. 9, so as to fill the contact hole 501 and the contact hole 502, the through part 412 is a portion that penetrates the first electrode 41 and second electrode 42 respectively of the insulating film 50 through portions 422 to the formation.

次いで、図10に示すように、分離溝110を埋め込むようにして、絶縁膜50や貫通部412、貫通部422を覆って支持樹脂10を形成する。 Then, as shown in FIG. 10, so as to fill the isolation trench 110, the insulating film 50 and the penetration portion 412, forming the support resin 10 covers the through portion 422. 支持樹脂10の形成には、例えばトランスファーモールド(TRM)法などを採用可能である。 The formation of support resin 10, it is possible to employ, for example transfer molding (TRM) technique. その後、図11に示すように、支持樹脂10の膜厚方向(図中の垂直方向)の厚みが所定値になるまで、支持樹脂10の表面をバックグラインド工程によってエッチングする。 Thereafter, as shown in FIG. 11, the thickness of the film thickness direction of the support resin 10 (the vertical direction in the drawing) to a predetermined value, etching the surface of the support resin 10 by the back-grinding step.

更に、支持樹脂10の表面の一部を選択的にエッチング除去して、貫通部412と貫通部422の上面を露出させる。 Further, a part of the surface of the support resin 10 is selectively etched away to expose the upper surface of the penetrating part 412 and the through part 422. そして、図12に示すように、貫通部412と接続する露出部413と、貫通部422に接続する露出部423を形成する。 Then, as shown in FIG. 12, the exposed portion 413 to be connected to the penetrating portion 412, to form the exposed portion 423 to be connected to the penetrating portion 422.

その後、図13に示すように、犠牲基板100を除去する。 Thereafter, as shown in FIG. 13, removing the sacrificial substrate 100. なお、図13〜図14では、図12までとは図面の向きを上下反転している。 In FIGS. 13 14, and vertically reversing the direction of the drawing up Figure 12. 例えばバックグラインド工程によって、犠牲基板100を除去する。 For example by back-grinding step, removing the sacrificial substrate 100. これにより、第2の半導体層23の表面が露出する。 Thus, the surface of the second semiconductor layer 23 is exposed. この後、露出した第2の半導体層23の表面を粗面化してもよい。 Thereafter, the exposed surface of the second semiconductor layer 23 may be roughened.

次いで、図14に示すように、第2の半導体層23上に透光性樹脂30を形成する。 Then, as shown in FIG. 14, to form a translucent resin 30 over the second semiconductor layer 23. 透光性樹脂30の形成には、TRM法などを採用可能である。 The formation of the translucent resin 30, it is possible to employ such TRM method. その後、図14に破線で示したように、ダイス分離工程において分離溝110に形成された支持樹脂10を垂直方向に切断する。 Thereafter, as indicated by a broken line in FIG. 14, to cut the support resin 10 formed in the isolation trench 110 in the die separation process in the vertical direction. 以上により、図1に示す発光装置1が完成する。 Thus, the light emitting device 1 is completed as shown in FIG.

なお、第1の電極41と第2の電極42に高反射材料を使用してもよい。 It is also possible to use a highly reflective material to the first electrode 41 second electrode 42. これにより、反射膜60と共に第1の電極41及び第2の電極42を発光素子20の出射光の反射に利用して、出力光Lの輝度を向上できる。 Thus, the first and second electrodes 41 and 42 together with the reflective film 60 by utilizing the reflection of the light emitted from the light emitting element 20, thereby improving the brightness of the output light L.

上記のような本発明の第1の実施形態に係る発光装置1の製造方法によれば、発光素子20が支持樹脂10によって支持された発光装置1が製造される。 According to the manufacturing method of the light emitting device 1 according to a first embodiment of the present invention as described above, the light emitting element 20 is emitting device 1 supported by the support resin 10 is manufactured. これにより、支持基板やフレームのない、小型化が容易な発光装置1を提供することができる。 Thus, no supporting substrate and the frame can be miniaturized to provide easy-emitting device 1.

<第1の変形例> <First Modification>
図15に、本発明の第1の実施形態の第1の変形例に係る発光装置1を示す。 15 shows a light emitting device 1 according to a first modification of the first embodiment of the present invention. 図15に示した発光装置1では、支持樹脂10の凹部の内壁面に側壁反射膜60Aが配置されている。 In the light emitting device 1 shown in FIG. 15, the side wall reflective film 60A on the inner wall surface of the recess of the support resin 10 is arranged. これにより、発光素子20から出射された光が支持樹脂10の凹部の内壁面においても反射する。 Thus, light emitted from the light emitting element 20 is also reflected at the inner wall surface of the concave portion of the supporting resin 10. その結果、発光装置1の出力光Lを更に明るくすることができる。 As a result, it is possible to further brighten the output light L of the light emitting device 1.

支持樹脂10の凹部の内壁面に側壁反射膜60Aを配置するためには、例えば図10に示した分離溝110を支持樹脂10で埋め込む工程の前に、分離溝110の側面に露出した発光素子20及び絶縁膜50の側面に側壁反射膜60Aを形成する工程を追加する。 To place the sidewall reflective film 60A on the inner wall surface of the recess of the support resin 10, a separation groove 110 shown in FIG. 10 prior to the step of embedding in the support resin 10, for example, light-emitting elements exposed on a side surface of the isolation trench 110 Add a step of forming a sidewall reflective film 60A on the side surfaces 20 and the insulating film 50. 側壁反射膜60Aには、例えばAl膜、Al合金膜、Ag膜、Ag合金膜などを採用可能である。 The sidewall reflective film 60A, for example, Al film, Al alloy film, Ag film, is such possible adoption Ag alloy film.

<第2の変形例> <Second Modification>
図16に、本発明の第1の実施形態の第2の変形例に係る発光装置1を示す。 16 shows a light emitting device 1 according to a second modification of the first embodiment of the present invention. 図16に示した発光装置1では、支持樹脂10の凹部の内壁面が底面に対して傾斜している。 In the light emitting device 1 shown in FIG. 16, the inner wall surface of the recess of the support resin 10 is inclined with respect to the bottom surface. つまり、支持樹脂10の凹部が、底部で狭く開口部で広いテーパ形状である。 That is, the recess of the support resin 10 is a wide tapered shape narrowed opening at the bottom. これにより、発光素子20から凹部の内壁面方向に出射された光が、光取り出し面に向けて効率的に反射される。 Thus, light emitted from the light emitting element 20 on the inner wall surface direction of the recess is effectively reflected toward the light extraction surface. なお、凹部の内壁面に側壁反射膜60Aを配置してもよい。 It is also possible to place the sidewall reflective film 60A on the inner wall surface of the recess.

支持樹脂10の凹部の内壁面を傾斜させるためには、例えば図5に示した分離溝110の形成工程において、図17に示すように開口部で広く底部で狭いように分離溝110を台形状に形成する。 In order to incline the inner wall surface of the recess of the support resin 10, for example in the step of forming the isolation trenches 110 shown in FIG. 5, the separation groove 110 trapezoidal as narrow widely bottom at the opening as shown in FIG. 17 form to.

(第2の実施形態) (Second Embodiment)
本発明の第2の実施形態に係る発光装置1は、図18に示すように、第1の電極41と第2の電極42とが発光装置1の上下に分かれて配置されている。 The light emitting device 1 according to the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 18, the first electrode 41 and second electrode 42 are arranged separately above and below the light emitting device 1. 即ち、第2の電極42が発光装置1の光取り出し面側に配置されていることが第1の実施形態と異なる点である。 That is, that the second electrode 42 is arranged on the light extraction surface side of the light emitting device 1 is different from the first embodiment.

具体的には、図18に示した発光装置1では、支持樹脂10の上部に設けられた凹部に、第1の半導体層21、発光層22及び第2の半導体層23が順に積層されている。 Specifically, the light emitting device 1 shown in FIG. 18, in a recess provided in the upper portion of the support resin 10, the first semiconductor layer 21, the light emitting layer 22 and the second semiconductor layer 23 are sequentially stacked . そして、第1の電極41が支持樹脂10の凹部の下部に埋め込まれて、第1の半導体層21に接続している。 The first electrode 41 is embedded in the bottom of the recess of the support resin 10, is connected to the first semiconductor layer 21. 第2の半導体層23上に、支持樹脂10の凹部に蓋をするように透光性樹脂30が配置されている。 On the second semiconductor layer 23, translucent resin 30 is disposed so as to cover the recess of the support resin 10. そして、透光性樹脂30に設けられた開口部において、透光性樹脂30上に配置された第2の電極42と第2の半導体層23とが接続されている。 Then, the opening provided in the translucent resin 30, the second electrode 42 disposed on the transparent resin 30 and the second semiconductor layer 23 are connected.

図18に示した発光装置1では、支持樹脂10の凹部内に第2の電極42が配置されていない。 In the light emitting device 1 shown in FIG. 18, the second electrode 42 is not disposed in the recess of the support resin 10. このため、図1に示した発光装置1とは異なり、第2の電極42と発光層22、第1の半導体層21及び第1の電極41とを絶縁分離するための絶縁膜50が凹部内に配置されていない。 Therefore, unlike the light emitting device 1 shown in FIG. 1, the second electrode 42 and the light emitting layer 22, an insulating film 50 for the first semiconductor layer 21 and the first electrode 41 to the insulating isolation recess It has not been placed in. また、反射膜60が凹部内に配置されていない。 The reflection film 60 is not disposed in the recess.

図19〜図23を参照して、図18に示した発光装置1の製造方法を説明する。 Referring to FIGS. 19 23, a method for manufacturing a light emitting apparatus 1 shown in FIG. 18. なお、以下に述べる発光装置1の製造方法は一例であり、この変形例を含めて、これ以外の種々の製造方法により実現可能であることはもちろんである。 Incidentally, the method of manufacturing the light emitting device 1 described below is only an example, and including modifications, can of course be implemented by various manufacturing methods other than this.

図4〜図6を参照して説明した方法と同様にして、犠牲基板100上に第2の半導体層23、発光層22及び第1の半導体層21を順次積層した後、分離溝110を形成する。 Referring to the same manner as in the method described with to FIGS. 4 to 6, the second semiconductor layer 23 on the sacrificial substrate 100, were sequentially laminated luminescent layer 22 and the first semiconductor layer 21, forming a separation groove 110 to. その後、図19に示すように、第1の半導体層21上に第1の電極41を形成する。 Thereafter, as shown in FIG. 19, a first electrode 41 on the first semiconductor layer 21.

次いで、図20に示すように、分離溝110を埋め込むようにして、第1の電極41を覆って支持樹脂10を形成する。 Then, as shown in FIG. 20, so as to fill the isolation trenches 110, to form the support resin 10 covers the first electrode 41. そして、図21に示すように、第1の電極41の表面が露出するまで、支持樹脂10の表面をバックグラインド工程によってエッチングする。 Then, as shown in FIG. 21, to the surface of the first electrode 41 is exposed, etching the surface of the support resin 10 by the back-grinding step.

その後、図22に示すように、犠牲基板100を除去する。 Thereafter, as shown in FIG. 22, removing the sacrificial substrate 100. なお、図22〜図23では、図21までとは図面の向きを上下反転している。 In FIGS. 22 23, and vertically reversing the direction of the drawing up Figure 21. 例えばバックグラインド工程によって犠牲基板100を除去して、第2の半導体層23の表面を露出させる。 For example by removing the sacrificial substrate 100 by a back grinding step, to expose the surface of the second semiconductor layer 23. この後、露出した第2の半導体層23の表面を粗面化してもよい。 Thereafter, the exposed surface of the second semiconductor layer 23 may be roughened.

次に、第2の半導体層23上に透光性樹脂30を形成する。 Next, a translucent resin 30 over the second semiconductor layer 23. そして、図23に示すように、透光性樹脂30の一部を選択的に除去して開口部300を設け、第2の半導体層23の表面の一部を露出させる。 Then, as shown in FIG. 23, an opening 300 is provided by selectively removing a portion of the translucent resin 30 to expose a portion of the surface of the second semiconductor layer 23. そして、透光性樹脂30の開口部300を埋め込んで第2の電極42を形成する。 Then, a second electrode 42 by embedding the opening portion 300 of the translucent resin 30. 次いで、図23に破線で示したように、ダイス分離工程において分離溝110に形成された支持樹脂10を垂直方向に切断する。 Then, as indicated by a broken line in FIG. 23, to cut the support resin 10 formed in the isolation trench 110 in the die separation process in the vertical direction.

以上により、第2の電極42が第2の半導体層23上に配置され、第1の電極41と第2の電極42とが発光素子20を挟んで配置された、図18に示した発光装置1が完成する。 By the above, the second electrode 42 is disposed on the second semiconductor layer 23, the first electrode 41 and second electrode 42 are arranged to sandwich the light emitting element 20, the light emitting device shown in FIG. 18 1 is completed.

なお、第1の電極41に高反射材料を使用してもよい。 It is also possible to use a highly reflective material to the first electrode 41. これにより、第1の電極41を発光素子20の出射光の反射に利用して、出力光Lの輝度向上に利用できる。 Thus, by using the first electrode 41 to the reflection of the light emitted from the light emitting element 20 can be utilized in the brightness enhancement of the output light L.

本発明の第2の実施形態に係る発光装置1によれば、第1の実施形態に係る発光装置1よりも製造工程を削減することができる。 According to the light emitting device 1 according to the second embodiment of the present invention, it is possible than the light emitting device 1 according to the first embodiment to reduce the manufacturing steps. つまり、支持基板やフレームのない小型化が容易な発光装置1を容易に製造することができる。 That is, it is possible without size reduction supporting substrate and the frame is easily manufactured easy-emitting device 1.

他は、第1の実施形態と実質的に同様であり、重複した記載を省略する。 Others are substantially similar to the first embodiment, a duplicate description will be omitted. 例えば、図15に示した発光装置1と同様に、支持樹脂10の凹部の内壁面に側壁反射膜60Aを配置してもよい。 For example, similarly to the light emitting device 1 shown in FIG. 15, the side wall reflective film 60A on the inner wall surface of the concave portion may be disposed in the support resin 10. また、図16に示した発光装置1と同様に、支持樹脂10の凹部をテーパ形状にしてもよい。 Similar to the light emitting device 1 shown in FIG. 16, the concave portion of the supporting resin 10 may be tapered.

(その他の実施形態) (Other embodiments)
上記のように、本発明は実施形態によって記載したが、この開示の一部をなす論述及び図面はこの発明を限定するものであると理解すべきではない。 As described above, the present invention has been described by the embodiments, the description and drawings which constitute part of this disclosure should not be understood as limiting the invention. この開示から当業者には様々な代替実施形態、実施例及び運用技術が明らかとなろう。 Those skilled Various alternative embodiments, implementation examples, and application techniques will be apparent.

例えば、支持樹脂10の凹部に埋め込まれた発光素子20が1つである例を示したが、発光装置1が複数の発光素子20を備えてもよい。 For example, although the light emitting element 20 embedded in the recess of the support resin 10 is an example, which is one, the light emitting device 1 may comprise a plurality of light-emitting elements 20.

このように、本発明はここでは記載していない様々な実施形態等を含むことは勿論である。 Thus, the present invention naturally includes various embodiments which are not described here. したがって、本発明の技術的範囲は上記の説明から妥当な特許請求の範囲に係る発明特定事項によってのみ定められるものである。 Accordingly, the technical scope of the present invention is defined only by the invention specifying matters according to the scope of claims reasonable from the above description.

1…発光装置 10…支持樹脂 20…発光素子 21…第1の半導体層 22…発光層 23…第2の半導体層 30…透光性樹脂 31…蛍光体樹脂 32…透明樹脂 41…第1の電極 42…第2の電極 50…絶縁膜 60…反射膜 60A…側壁反射膜 100…犠牲基板 110…分離溝 200…光取り出し面 1 ... light emitting device 10 ... support resin 20 ... light-emitting element 21 ... first semiconductor layer 22 ... light-emitting layer 23: second semiconductor layer 30 ... translucent resin 31 ... phosphor resin 32 ... transparent resin 41 ... first electrode 42: second electrode 50: insulating film 60 ... reflecting film 60A ... sidewall reflective films 100 ... sacrificial substrate 110 ... separation groove 200 ... light extraction surface

Claims (12)

  1. 上部に凹部が設けられた支持樹脂と、 A support resin having a recess provided in the upper portion,
    第1の半導体層を最下層とし第2の半導体層を最上層とする積層構造体を有し、側面が前記凹部の内壁面と対向し且つ前記第1の半導体層が前記凹部の底面と対向して、前記凹部内に埋め込まれた発光素子と、 Has a laminated structure of the second semiconductor layer a top layer and the first semiconductor layer and the bottom layer, the side surface of the inner wall surface opposite to and the first semiconductor layer is the concave portion of the bottom surface of the recess facing and a light emitting element embedded in the recess,
    前記発光素子の前記第2の半導体層の上方に配置された透光性樹脂と を備えることを特徴とする発光装置。 The light emitting device characterized in that it comprises a translucent resin which is disposed above the second semiconductor layer of the light emitting element.
  2. 前記支持樹脂が白色樹脂であることを特徴とする請求項1に記載の発光装置。 The light emitting device according to claim 1, wherein said support resin is a white resin.
  3. 前記支持樹脂の下部側から前記支持樹脂を貫通して、前記凹部内で前記第1の半導体層と接続する第1の電極と、 Through said support resin from the lower side of the support resin, a first electrode connected to said first semiconductor layer in the recess,
    前記第2の半導体層と接続する第2の電極と を更に備えることを特徴とする請求項1又は2に記載の発光装置。 The light emitting device according to claim 1 or 2, further comprising a second electrode connected to the second semiconductor layer.
  4. 前記第2の電極が、前記支持樹脂の下部側から前記支持樹脂を貫通し、前記凹部内で前記第2の半導体層と接続することを特徴とする請求項3に記載の発光装置。 Wherein the second electrode, the said support resin penetrates from the lower side of the support resin, the light emitting device according to claim 3, characterized in that connected to said second semiconductor layer in the recess.
  5. 前記第2の電極が前記第2の半導体層上に配置され、前記第1の電極と前記第2の電極とが前記発光素子を挟んで配置されていることを特徴とする請求項3に記載の発光装置。 Wherein the second electrode is disposed on the second semiconductor layer, according to claim 3, the first electrode and the second electrode is characterized in that it is arranged to sandwich the light emitting element of the light-emitting device.
  6. 前記凹部の内壁面が前記凹部の底面に対して傾斜し、前記凹部が底部で狭く開口部で広く形成されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の発光装置。 Inclined with respect to the inner wall surface for the bottom of the concave portion of the concave portion, the light emitting device according to any one of claims 1 to 5, characterized in that the recess is formed wider at the narrow opening at the bottom .
  7. 前記発光素子と前記支持樹脂との間で前記凹部内に配置された、前記発光素子からの出射光を反射する反射膜を更に備えることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載の発光装置。 Wherein disposed in the recess between the light emitting element and the support resin, in any one of claims 1 to 6, further comprising a reflective film which reflects light emitted from the light emitting element the light emitting device according.
  8. 前記反射膜が、前記凹部の底面と平行に配置されていることを特徴とする請求項7に記載の発光装置。 The reflection film, the light-emitting device according to claim 7, characterized in that arranged parallel to the bottom surface of the recess.
  9. 前記凹部の内壁面に前記反射膜が配置されていることを特徴とする請求項7又は8に記載の発光装置。 The light emitting device according to claim 7 or 8, wherein the reflective film is disposed on the inner wall surface of the recess.
  10. 前記透光性樹脂が透明樹脂であることを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の発光装置。 The light emitting device according to any one of claims 1 to 9, characterized in that the transparent resin is a transparent resin.
  11. 前記透光性樹脂が、前記発光素子の出射光によって励起されて励起光を放射する蛍光体を含有する蛍光体樹脂からなる層を有することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載の発光装置。 The translucent resin is any one of claims 1 to 9, characterized by having a layer made of a phosphor resin containing a phosphor which emits when excited excitation light by the light emitted from the light emitting element the light emitting device according to.
  12. 前記透光性樹脂が、前記蛍光体樹脂からなる層と透明樹脂からなる層を重ねた積層構造を有することを特徴とする請求項11に記載の発光装置。 The translucent resin, the light emitting device according to claim 11, characterized in that it comprises a laminated structure in which superimposed layers consisting of a layer and a transparent resin formed of the phosphor resin.
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