JP2015090927A - 化合物半導体装置及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
Description
先ず、第1の実施形態について説明する。第1の実施形態はGaN系HEMTの一例である。図1は、第1の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す断面図である。
次に、第2の実施形態について説明する。第2の実施形態はGaN系HEMTの一例である。図4は、第2の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す図である。
次に、第3の実施形態について説明する。第3の実施形態はGaN系HEMTの一例である。図6は、第3の実施形態に係る化合物半導体装置の構造を示す図である。
第4の実施形態は、GaN系HEMTのディスクリートパッケージに関する。図8は、第4の実施形態に係るディスクリートパッケージを示す図である。
次に、第5の実施形態について説明する。第5の実施形態は、GaN系HEMTを備えたPFC(Power Factor Correction)回路に関する。図9は、第5の実施形態に係るPFC回路を示す結線図である。
次に、第6の実施形態について説明する。第6の実施形態は、GaN系HEMTを備えた電源装置に関する。図10は、第6の実施形態に係る電源装置を示す結線図である。
次に、第7の実施形態について説明する。第7の実施形態は、GaN系HEMTを備えた増幅器に関する。図11は、第7の実施形態に係る増幅器を示す結線図である。
チャネル層と、
前記チャネル層上方に形成されたキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上方に形成されたゲート電極、ソース電極及びドレイン電極と、
前記ドレイン電極に電気的に接続され、平面視で前記ドレイン電極を前記ゲート電極との間に挟む位置に形成され、前記チャネル層及び前記キャリア供給層と非導通の金属膜と、
を有し、
前記金属膜の下面は、前記ゲート電極の直下における前記チャネル層の上面よりも下方に位置することを特徴とする化合物半導体装置。
前記金属膜の下面は前記チャネル層の下面まで到達していることを特徴とする付記1に記載の化合物半導体装置。
前記チャネル層及び前記キャリア供給層はGaN系化合物半導体を含有し、
前記金属膜はAlを含有することを特徴とする付記1又は2に記載の化合物半導体装置。
前記チャネル層及び前記キャリア供給層と前記金属膜とが互いに直接接していることを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
前記金属膜は、前記チャネル層及び前記キャリア供給層とオーミック接触及びショットキー接触していないことを特徴とする付記4に記載の化合物半導体装置。
前記チャネル層及び前記キャリア供給層と前記金属膜との間の絶縁膜を有することを特徴とする付記1乃至3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
前記金属膜に対する熱処理が行われていないことを特徴とする付記1乃至6のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
前記チャネル層下方に形成された化合物半導体層を有することを特徴とする付記1乃至7のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
前記ソース電極に電気的に接続され、平面視で前記ソース電極を前記ゲート電極との間に挟む位置に形成され、前記チャネル層及び前記キャリア供給層と非導通の第2の金属膜を有することを特徴とする付記8に記載の化合物半導体装置。
付記1乃至9のいずれか1項に記載の化合物半導体装置を有することを特徴とする電源装置。
付記1乃至9のいずれか1項に記載の化合物半導体装置を有することを特徴とする増幅器。
チャネル層上方にキャリア供給層を形成する工程と、
前記キャリア供給層上方にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
平面視で前記ドレイン電極を前記ゲート電極との間に挟む位置に、前記ドレイン電極に電気的に接続され、前記チャネル層及び前記キャリア供給層と非導通の金属膜を形成する工程と、
を有し、
前記金属膜の下面を、前記ゲート電極の直下における前記チャネル層の上面よりも下方に位置させることを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。
前記金属膜の下面を前記チャネル層の下面まで到達させることを特徴とする付記12に記載の化合物半導体装置の製造方法。
前記チャネル層及び前記キャリア供給層はGaN系化合物半導体を含有し、
前記金属膜はAlを含有することを特徴とする付記12又は13に記載の化合物半導体装置の製造方法。
前記金属膜を前記チャネル層及び前記キャリア供給層と直接接するように形成することを特徴とする付記12乃至14のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
102、202:キャリア供給層
103、203:ゲート電極
104、204:ソース電極
105、205:ドレイン電極
106、206、306:金属膜
Claims (8)
- チャネル層と、
前記チャネル層上方に形成されたキャリア供給層と、
前記キャリア供給層上方に形成されたゲート電極、ソース電極及びドレイン電極と、
前記ドレイン電極に電気的に接続され、平面視で前記ドレイン電極を前記ゲート電極との間に挟む位置に形成され、前記チャネル層及び前記キャリア供給層と非導通の金属膜と、
を有し、
前記金属膜の下面は、前記ゲート電極の直下における前記チャネル層の上面よりも下方に位置することを特徴とする化合物半導体装置。 - 前記金属膜の下面は前記チャネル層の下面まで到達していることを特徴とする請求項1に記載の化合物半導体装置。
- 前記チャネル層及び前記キャリア供給層はGaN系化合物半導体を含有し、
前記金属膜はAlを含有することを特徴とする請求項1又は2に記載の化合物半導体装置。 - 前記チャネル層及び前記キャリア供給層と前記金属膜とが互いに直接接していることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか1項に記載の化合物半導体装置。
- チャネル層上方にキャリア供給層を形成する工程と、
前記キャリア供給層上方にゲート電極、ソース電極及びドレイン電極を形成する工程と、
平面視で前記ドレイン電極を前記ゲート電極との間に挟む位置に、前記ドレイン電極に電気的に接続され、前記チャネル層及び前記キャリア供給層と非導通の金属膜を形成する工程と、
を有し、
前記金属膜の下面を、前記ゲート電極の直下における前記チャネル層の上面よりも下方に位置させることを特徴とする化合物半導体装置の製造方法。 - 前記金属膜の下面を前記チャネル層の下面まで到達させることを特徴とする請求項5に記載の化合物半導体装置の製造方法。
- 前記チャネル層及び前記キャリア供給層はGaN系化合物半導体を含有し、
前記金属膜はAlを含有することを特徴とする請求項5又は6に記載の化合物半導体装置の製造方法。 - 前記金属膜を前記チャネル層及び前記キャリア供給層と直接接するように形成することを特徴とする請求項5乃至7のいずれか1項に記載の化合物半導体装置の製造方法。
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- 2013-11-06 JP JP2013230334A patent/JP6187167B2/ja not_active Expired - Fee Related
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