JP2015071506A - ニオブ酸系強誘電体の配向性薄膜とその作製方法 - Google Patents
ニオブ酸系強誘電体の配向性薄膜とその作製方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2015071506A JP2015071506A JP2013207481A JP2013207481A JP2015071506A JP 2015071506 A JP2015071506 A JP 2015071506A JP 2013207481 A JP2013207481 A JP 2013207481A JP 2013207481 A JP2013207481 A JP 2013207481A JP 2015071506 A JP2015071506 A JP 2015071506A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- niobate
- thin film
- potassium
- nanosheet
- layered
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 239000010409 thin film Substances 0.000 title claims abstract description 89
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims abstract description 29
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims abstract description 12
- 239000002245 particle Substances 0.000 claims abstract description 47
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims abstract description 44
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 30
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N sodium nitrate Chemical compound [Na+].[O-][N+]([O-])=O VWDWKYIASSYTQR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 19
- FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N potassium nitrate Chemical compound [K+].[O-][N+]([O-])=O FGIUAXJPYTZDNR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 15
- 238000004729 solvothermal method Methods 0.000 claims abstract description 12
- 239000004317 sodium nitrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 235000010344 sodium nitrate Nutrition 0.000 claims abstract description 10
- 235000015497 potassium bicarbonate Nutrition 0.000 claims abstract description 7
- 229910000028 potassium bicarbonate Inorganic materials 0.000 claims abstract description 7
- 239000011736 potassium bicarbonate Substances 0.000 claims abstract description 7
- TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogencarbonate Chemical compound [K+].OC([O-])=O TYJJADVDDVDEDZ-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims abstract description 7
- 229940086066 potassium hydrogencarbonate Drugs 0.000 claims abstract description 6
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 24
- UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N potassium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [K+].[O-][Nb](=O)=O UKDIAJWKFXFVFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 21
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 claims description 20
- XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M potassium benzoate Chemical compound [K+].[O-]C(=O)C1=CC=CC=C1 XAEFZNCEHLXOMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 claims description 18
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 15
- UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N sodium;oxido(dioxo)niobium Chemical compound [Na+].[O-][Nb](=O)=O UYLYBEXRJGPQSH-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 239000011734 sodium Substances 0.000 claims description 9
- 159000000000 sodium salts Chemical class 0.000 claims description 8
- BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N potassiosodium Chemical compound [Na].[K] BITYAPCSNKJESK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 239000011521 glass Substances 0.000 abstract description 12
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 abstract description 10
- 235000010333 potassium nitrate Nutrition 0.000 abstract description 3
- 239000004323 potassium nitrate Substances 0.000 abstract description 3
- 239000011268 mixed slurry Substances 0.000 abstract 2
- 239000002002 slurry Substances 0.000 description 27
- 239000010955 niobium Substances 0.000 description 23
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 19
- KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M Potassium hydroxide Chemical compound [OH-].[K+] KWYUFKZDYYNOTN-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 12
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 12
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 9
- 229960003975 potassium Drugs 0.000 description 9
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 9
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 9
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 8
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 239000011230 binding agent Substances 0.000 description 3
- 238000007606 doctor blade method Methods 0.000 description 3
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 3
- 229910001414 potassium ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000004549 pulsed laser deposition Methods 0.000 description 3
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NPYPAHLBTDXSSS-UHFFFAOYSA-N Potassium ion Chemical compound [K+] NPYPAHLBTDXSSS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 2
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 2
- IDGUHHHQCWSQLU-UHFFFAOYSA-N ethanol;hydrate Chemical compound O.CCO IDGUHHHQCWSQLU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N lithium niobate Chemical compound [Li+].[O-][Nb](=O)=O GQYHUHYESMUTHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000002135 nanosheet Substances 0.000 description 2
- SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M potassium acetate Chemical compound [K+].CC([O-])=O SCVFZCLFOSHCOH-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 2
- 239000002244 precipitate Substances 0.000 description 2
- 150000003839 salts Chemical class 0.000 description 2
- 229910001415 sodium ion Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 2
- KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K Citrate Chemical compound [O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O KRKNYBCHXYNGOX-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 229910013641 LiNbO 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N Sodium cation Chemical group [Na+] FKNQFGJONOIPTF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 238000001354 calcination Methods 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- IRXRGVFLQOSHOH-UHFFFAOYSA-L dipotassium;oxalate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)C([O-])=O IRXRGVFLQOSHOH-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- BDRTVPCFKSUHCJ-UHFFFAOYSA-N molecular hydrogen;potassium Chemical compound [K].[H][H] BDRTVPCFKSUHCJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N niobium atom Chemical compound [Nb] GUCVJGMIXFAOAE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L potassium L-tartrate Chemical compound [K+].[K+].[O-]C(=O)[C@H](O)[C@@H](O)C([O-])=O AVTYONGGKAJVTE-OLXYHTOASA-L 0.000 description 1
- 235000011056 potassium acetate Nutrition 0.000 description 1
- 229960004109 potassium acetate Drugs 0.000 description 1
- 235000010235 potassium benzoate Nutrition 0.000 description 1
- 239000004300 potassium benzoate Substances 0.000 description 1
- 229940103091 potassium benzoate Drugs 0.000 description 1
- 239000001508 potassium citrate Substances 0.000 description 1
- 229960002635 potassium citrate Drugs 0.000 description 1
- QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K potassium citrate (anhydrous) Chemical compound [K+].[K+].[K+].[O-]C(=O)CC(O)(CC([O-])=O)C([O-])=O QEEAPRPFLLJWCF-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 235000011082 potassium citrates Nutrition 0.000 description 1
- WFIZEGIEIOHZCP-UHFFFAOYSA-M potassium formate Chemical compound [K+].[O-]C=O WFIZEGIEIOHZCP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- JMTCDHVHZSGGJA-UHFFFAOYSA-M potassium hydrogenoxalate Chemical compound [K+].OC(=O)C([O-])=O JMTCDHVHZSGGJA-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- WWTORYHTBNJMMT-UHFFFAOYSA-N potassium sodium oxygen(2-) Chemical compound [K+].[O-2].[Na+] WWTORYHTBNJMMT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001472 potassium tartrate Substances 0.000 description 1
- 229940111695 potassium tartrate Drugs 0.000 description 1
- 235000011005 potassium tartrates Nutrition 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 239000013074 reference sample Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000523 sample Substances 0.000 description 1
- 235000002639 sodium chloride Nutrition 0.000 description 1
- 239000007790 solid phase Substances 0.000 description 1
- 238000003746 solid phase reaction Methods 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 239000013076 target substance Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Compounds Of Heavy Metals (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
Description
先ず、層状KN水和物のナノシート状粒子からなるテンプレートをソルボサーマル法によって合成した。
目的のニオブ酸カリウム(KNbO3)のNbとKの比が、Nb:K=1:1であるから、K4Nb6O17はKが足りないこととなる。Kを補充するため、層状KN水和物にKNO3を添加し、バインダーとともに有機溶媒に混ぜて、スラリー(ペースト状の混合物)を作製し、ドクターブレード法を用いて、このスラリーをガラス基板に塗布して約3[Y2]μm(薄膜の厚み)に伸ばした。
ガラス基板にスラリーを塗布した後、KN薄膜の配向性に関する温度依存性と時間依存性を検討するために、温度と時間を変えて焼成しKN薄膜を得た。
焼成温度の最適値を決定するために、焼成時間を12時間と固定して、510℃,530℃,550℃,570℃,590℃と焼成温度を変化させてKN薄膜を作製した。図1に得られたKN薄膜のX線回折図形を示す。なお、ここで示される配向度とは、2θ−θ法X線回折(以下、XRDという。)パターンのピーク強度から、以下の式により計算するLotgering配向度Fの%表記である。
F=(p−p0)/(1−p0)
ここで、pは対象試料、すなわちKN薄膜のΣI(00l)/ΣI(hkl)、p0は参照試料、すなわち無配向KN粉末のp値にあたる。単結晶ではF=1、無配向多結晶ではF=0となる。
先ず、層状KN水和物のナノシート状粒子からなるテンプレートをソルボサーマル法によって合成した。
層状KN水和物にKHCO3を添加し、バインダーとともに有機溶媒に混ぜて、スラリー(ペースト状の混合物)を作製し、ドクターブレード法を用いて、このスラリーをガラス基板に塗布して約2.5μm(薄膜の厚み)に伸ばした。
ガラス基板にスラリーを塗布した後、KN薄膜の配向性に関する温度依存性と時間依存性を検討するために、温度と時間を変えて焼成しKN薄膜を得た。
焼成時間の最適値を決定するために、焼成温度を550℃と固定して、3h,6h,9h,12h,15h,18hと焼成時間を変化させてKN薄膜を作製した。図4に得られたKN薄膜のX線回折図形を示す。
先ず、層状KN水和物のナノシート状粒子からなるテンプレートをソルボサーマル法によって合成した。
層状KN水和物にNaNO3[Y4]を添加し、バインダーとともに有機溶媒に混ぜて、スラリー(ペースト状の混合物)を作製し、ドクターブレード法を用いて、このスラリーをガラス基板に塗布して約2.5μm(薄膜の厚み)に伸ばした。
ガラス基板にスラリーを塗布した後、580℃で24時間焼成し、NN薄膜(又はNKN薄膜)を得た。その後、作製したNN薄膜(又はNKN薄膜)のX線回折分析を行った。作製したNKN薄膜の組成は、NaNO3の添加量によって変化した。スラリー中のNaNO3/Nb=1/3の場合、Na1/3K2/3NbO3が生成した。NaNO3/Nb=2/1の場合、Kが殆ど含まれないNaNbO3となった。
以上のように、ソルボサーマル法で合成された層状KN水和物のナノシート状粒子をテンプレートとして用い、有機溶媒によってナノシート状テンプレート粒子と硝酸ナトリウム(NaNO3)(又は硝酸ナトリウム(NaNO3)と硝酸カリウム(KNO3)との混合物でもよい。)との混合物スラリーを形成し、ガラス基板にこの混合物スラリーを塗布した後、熱処理をすることで、結晶方位が[100]に配向したNN薄膜(又はNKN薄膜)を作製できることが明らかとなった。
Claims (11)
- 一定方向に結晶面が配向したナノシート状粒子と、前記ナノシート状粒子と反応してニオブ酸系強誘電体を形成する補完物質とをあらかじめ設定した割合で混合してスラリー状混合物を形成する工程と、
基板上に前記スラリー状混合物を塗布する工程と、
前記スラリー状混合物を熱処理して前記ナノシート状粒子と前記補完物質とを反応させ、前記ナノシート状粒子をテンプレートとして結晶方位が配向制御された薄膜を作製する工程とを含むことを特徴とするニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。 - 前記ナノシート状粒子として層状ニオブ酸塩を用い、前記補完物質としてカリウム塩を用い、
前記ニオブ酸系強誘電体としてニオブ酸カリウム(KNbO3)を作製することを特徴とする請求項1に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。 - 前記ナノシート状粒子の前記層状ニオブ酸塩として層状六ニオブ酸カリウム水和物(K4Nb6O17・4.5H2O)を用い、前記補完物質の前記カリウム塩として硝酸カリウム(KNO3)を用いることにより、前記ニオブ酸系強誘電体である前記ニオブ酸カリウムの結晶方位を[100]に配向制御することを特徴とする請求項2に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。
- 前記ナノシート状粒子の前記層状ニオブ酸塩として層状六ニオブ酸カリウム水和物(K4Nb6O17・4.5H2O)を用い、前記補完物質の前記カリウム塩として炭酸水素カリウム(KHCO3)を用いることにより、前記ニオブ酸系強誘電体である前記ニオブ酸カリウムの結晶方位を[110]に配向制御することを特徴とする請求項2に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。
- 前記ナノシート状粒子として層状ニオブ酸塩を用い、前記補完物質としてナトリウム塩を用い、
前記ニオブ酸系強誘電体としてニオブ酸ナトリウム(NaNbO3)を作製することを特徴とする請求項1に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。 - 前記ナノシート状粒子の前記層状ニオブ酸塩として層状六ニオブ酸カリウム水和物(K4Nb6O17・4.5H2O)を用い、前記補完物質の前記ナトリウム塩として硝酸ナトリウム(NaNO3)を用いることにより、前記ニオブ酸系強誘電体である前記ニオブ酸ナトリウムの結晶方位を[100]に配向制御することを特徴とする請求項5に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。
- 前記ナノシート状粒子として層状ニオブ酸塩を用い、前記補完物質としてナトリウム塩とカリウム塩との混合物を用い、
前記ニオブ酸系強誘電体としてニオブ酸ナトリウムカリウム(Na1-xKxNbO3,0<x<1)を作製することを特徴とする請求項1に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。 - 前記ナノシート状粒子の前記層状ニオブ酸塩として層状六ニオブ酸カリウム水和物(K4Nb6O17・4.5H2O)を用い、前記補完物質の混合物うち、前記ナトリウム塩として硝酸ナトリウム(NaNO3)を用い、前記カリウム塩として硝酸カリウム(KNO3)を用いることにより、前記ニオブ酸系強誘電体である前記ニオブ酸ナトリウムカリウムの結晶方位を[100]に配向制御することを特徴とする請求項7に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。
- 前記ナノシート状粒子は、ソルボサーマル法で合成することを特徴とする請求項1乃至請求項8のうち何れか1つに記載のニオブ酸系強誘電体薄膜の作製方法。
- 少なくとも表面が多結晶又は非晶質からなる基板の前記表面に、ニオブ酸塩が50%以上の配向度で一定の結晶方位に配向していることを特徴とするニオブ酸系強誘電体薄膜。
- 前記ニオブ酸塩が、ニオブ酸ナトリウムカリウム(Na1-xKxNbO3,0≦x≦1、x=0のとき、ニオブ酸ナトリウムであり、x=1のとき、ニオブ酸カリウムである。)であることを特徴とする請求項10に記載のニオブ酸系強誘電体薄膜。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013207481A JP6266291B2 (ja) | 2013-10-02 | 2013-10-02 | ニオブ酸系強誘電体の配向性薄膜とその作製方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013207481A JP6266291B2 (ja) | 2013-10-02 | 2013-10-02 | ニオブ酸系強誘電体の配向性薄膜とその作製方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015071506A true JP2015071506A (ja) | 2015-04-16 |
JP6266291B2 JP6266291B2 (ja) | 2018-01-24 |
Family
ID=53014194
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013207481A Active JP6266291B2 (ja) | 2013-10-02 | 2013-10-02 | ニオブ酸系強誘電体の配向性薄膜とその作製方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6266291B2 (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018180771A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | Tdk株式会社 | 圧電組成物および圧電素子 |
JP2020083694A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | 堺化学工業株式会社 | ニオブ酸アルカリ金属塩粒子の製造方法 |
CN113428899A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-09-24 | 宝鸡文理学院 | 二维板状KNbO3介观晶体的可控制备方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005272266A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 異方形状粉末及びその製造方法、並びに、結晶配向セラミックス及びその製造方法 |
JP2006306678A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 異方形状粉末及びその製造方法、並びに、結晶配向セラミックス及びその製造方法 |
JP2007287918A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ、ならびに圧電体積層体の製造方法 |
JP2009256147A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Denso Corp | 異方形状粉末及び結晶配向セラミックスの製造方法 |
JP2014207429A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-10-30 | 日立金属株式会社 | 圧電薄膜素子、圧電センサ及び振動発電機 |
-
2013
- 2013-10-02 JP JP2013207481A patent/JP6266291B2/ja active Active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2005272266A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 異方形状粉末及びその製造方法、並びに、結晶配向セラミックス及びその製造方法 |
JP2006306678A (ja) * | 2005-04-28 | 2006-11-09 | Toyota Central Res & Dev Lab Inc | 異方形状粉末及びその製造方法、並びに、結晶配向セラミックス及びその製造方法 |
JP2007287918A (ja) * | 2006-04-17 | 2007-11-01 | Seiko Epson Corp | 圧電体積層体、表面弾性波素子、薄膜圧電共振子および圧電アクチュエータ、ならびに圧電体積層体の製造方法 |
JP2009256147A (ja) * | 2008-04-18 | 2009-11-05 | Denso Corp | 異方形状粉末及び結晶配向セラミックスの製造方法 |
JP2014207429A (ja) * | 2013-03-19 | 2014-10-30 | 日立金属株式会社 | 圧電薄膜素子、圧電センサ及び振動発電機 |
Cited By (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2018180771A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2018-10-04 | Tdk株式会社 | 圧電組成物および圧電素子 |
CN110462858A (zh) * | 2017-03-28 | 2019-11-15 | Tdk株式会社 | 压电组合物及压电元件 |
JPWO2018180771A1 (ja) * | 2017-03-28 | 2020-02-06 | Tdk株式会社 | 圧電組成物および圧電素子 |
US11195986B2 (en) | 2017-03-28 | 2021-12-07 | Tdk Corporation | Piezoelectric composition and piezoelectric element |
JP7004183B2 (ja) | 2017-03-28 | 2022-01-21 | Tdk株式会社 | 圧電組成物および圧電素子 |
CN110462858B (zh) * | 2017-03-28 | 2023-12-05 | Tdk株式会社 | 压电组合物及压电元件 |
JP2020083694A (ja) * | 2018-11-22 | 2020-06-04 | 堺化学工業株式会社 | ニオブ酸アルカリ金属塩粒子の製造方法 |
JP7238359B2 (ja) | 2018-11-22 | 2023-03-14 | 堺化学工業株式会社 | ニオブ酸アルカリ金属塩粒子の製造方法 |
CN113428899A (zh) * | 2021-07-28 | 2021-09-24 | 宝鸡文理学院 | 二维板状KNbO3介观晶体的可控制备方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6266291B2 (ja) | 2018-01-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lu et al. | Morphology-controlled synthesis and growth mechanism of lead-free bismuth sodium titanate nanostructures via the hydrothermal route | |
Einarsrud et al. | 1D oxide nanostructures from chemical solutions | |
Zhou et al. | Probing structure− parameter correlations in the molten salt synthesis of BaZrO3 perovskite submicrometer-sized particles | |
Jing et al. | Hydrothermal synthesis of Na0. 5Bi0. 5TiO3 fine powders | |
Razak et al. | Synthesis of (Bi0. 5Na0. 5) TiO3 (BNT) and Pr doped BNT using the soft combustion technique and its properties | |
Hu et al. | Ferroelectric mesocrystalline BaTiO3/SrTiO3 nanocomposites with enhanced dielectric and piezoelectric responses | |
JP4135389B2 (ja) | 結晶配向セラミックスの製造方法、並びに、異方形状粉末及びその製造方法 | |
KR101588509B1 (ko) | 니오브산나트륨 분말, 니오브산나트륨 분말의 제조 방법, 판형상 입자, 판형상 입자의 제조 방법, 및 배향성 세라믹의 제조 방법 | |
JP4943043B2 (ja) | 圧電セラミックスの製造方法 | |
JP2010100515A (ja) | 結晶配向セラミックスの製造方法 | |
Hu et al. | Ferroelectric mesocrystals of bismuth sodium titanate: formation mechanism, nanostructure, and application to piezoelectric materials | |
JP2008143781A (ja) | 結晶配向セラミックス及びその製造方法 | |
Shi et al. | Hydrothermal synthesis of morphology-controlled KNbO3, NaNbO3, and (K, Na) NbO3 powders | |
JP2006306678A (ja) | 異方形状粉末及びその製造方法、並びに、結晶配向セラミックス及びその製造方法 | |
JP6266291B2 (ja) | ニオブ酸系強誘電体の配向性薄膜とその作製方法 | |
Cha et al. | Mechanism of Bi0. 5Na0. 5TiO3 and Bi4. 5Na0. 5Ti4O15 template synthesis during topochemical microcrystal conversion and texturing of Bi0. 5 (Na0. 8K0. 2) 0.5 TiO3 piezoelectric ceramics | |
Kosec et al. | KNN-based piezoelectric ceramics | |
Tan et al. | 0.94 (K0. 5Na0. 5) NbO3–0.06 LiNbO3 piezoelectric ceramics prepared from the solid state reaction modified with polyvinylpyrrolidone (PVP) of different molecular weights | |
Xu et al. | Synthesis of homogeneous (Na1− xKx) NbO3 nanorods using hydrothermal and post-heat treatment processes | |
JP2006137657A (ja) | 異方形状粉末及びその製造方法、並びに、結晶配向セラミックス及びその製造方法 | |
Ng et al. | Properties of praseodymium-doped bismuth potassium titanate (Bi0. 5K0. 5TiO3) synthesised using the soft combustion technique | |
Suchanek et al. | Hydrothermal synthesis of ceramic materials | |
JP2000203935A (ja) | 異方形状粒子の製造方法及び単結晶異方形状粒子 | |
Teixeira et al. | Chemical synthesis and epitaxial growth methods for the preparation of ferroelectric ceramics and thin films | |
Zhao et al. | Synthesis of Ba x (Bi 0.5 Na 0.5) 1− x TiO 3 perovskite mesocrystals via a solvothermal topochemical process |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160930 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20170406 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20170406 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170607 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170613 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170904 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6266291 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |