JP2015023078A - ウエーハの加工方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】 高精度なアライメントが可能なWL−CSPウエーハの加工方法を提供することである。
【解決手段】 交差して形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域に形成されたそれぞれ電極を有する複数のデバイスと、該デバイスの該電極に接続する複数の金属ポストとが樹脂で封止され、該樹脂上に金属ポストに接続された複数の電極バンプが突出して形成されたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、該樹脂で封止された表面側を露出させて該ウエーハをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、赤外線カメラで該ウエーハを表面側から該樹脂を透過して撮像して、該分割予定ラインの位置を検出する分割予定ライン検出ステップと、該分割予定ライン検出ステップで検出した該分割予定ラインに沿って該ウエーハを切削して、該ウエーハを個々のパッケージに分割する切削ステップと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図6
【解決手段】 交差して形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域に形成されたそれぞれ電極を有する複数のデバイスと、該デバイスの該電極に接続する複数の金属ポストとが樹脂で封止され、該樹脂上に金属ポストに接続された複数の電極バンプが突出して形成されたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、該樹脂で封止された表面側を露出させて該ウエーハをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、赤外線カメラで該ウエーハを表面側から該樹脂を透過して撮像して、該分割予定ラインの位置を検出する分割予定ライン検出ステップと、該分割予定ライン検出ステップで検出した該分割予定ラインに沿って該ウエーハを切削して、該ウエーハを個々のパッケージに分割する切削ステップと、を備えたことを特徴とする。
【選択図】図6
Description
本発明は、WL−CSPウエーハの加工方法に関する。
WL−CSP(Wafer−level Chip Size Package)とは、ウエーハの状態で再配線層や電極(金属ポスト)を形成後、表面側を樹脂封止し、切削ブレード等で各パッケージに分割する技術であり、ウエーハを個片化したパッケージの大きさが半導体デバイスチップの大きさになるため、小型化及び軽量化の観点からも広く採用されている。
WL−CSPの製造プロセスでは、複数のデバイスが形成された半導体ウエーハのデバイス面側に再配線層を形成し、更に再配線層を介してデバイス中の電極に接続する金属ポストを形成した後、金属ポスト及びデバイスを樹脂で封止する。
次いで、封止剤を薄化するとともに金属ポストを封止剤表面に露出させた後、金属ポストの端面に電極バンプと呼ばれる外部端子を形成する。その後、切削装置等で切削して個々のCSPへと分割する。
半導体デバイスを衝撃や湿気等から保護するために、封止剤で封止することが重要である。通常、封止剤として、エポキシ樹脂中にSiCからなるフィラーを混入した封止剤を使用することで、封止剤の熱膨張率を半導体デバイスチップの熱膨張率に近づけ、熱膨張率の差によって生じる加熱時のパッケージの破損を防止している。
WL−CSPウエーハは、一般的に切削装置を使用して個々のCSPに分割される。この場合、WL−CSPウエーハは、分割予定ラインを検出するために利用するデバイスが樹脂で覆われているため、表面側からデバイスのターゲットパターンを検出することができない。
その為、WL−CSPウエーハの樹脂上に形成された電極バンプをターゲットにして分割予定ラインを割り出したり、樹脂の上面にアライメント用のターゲットを印刷する等して分割予定ラインと切削ブレードとのアライメントをおこなっていた。
しかし、電極バンプや樹脂上に印刷されたターゲットはデバイスのように高精度には形成されていないため、アライメント用のターゲットとしては精度が低いという問題がある。従って、電極バンプや印刷されたターゲットに基づいて分割予定ラインを割り出した場合、分割予定ラインから外れてデバイス部分を切削してしまうという恐れがあった。
本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、高精度なアライメントが可能なWL−CSPウエーハの加工方法を提供することである。
本発明によると、交差して形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域に形成されたそれぞれ電極を有する複数のデバイスと、該デバイスの該電極に接続する複数の金属ポストとは樹脂で封止され、該樹脂上に金属ポストに接続された複数の電極バンプは突出して形成されたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、該樹脂で封止された表面側を露出させて該ウエーハをチャックテーブルで保持する保持ステップと、該保持ステップを実施した後、赤外線カメラで該ウエーハを表面側から該樹脂を透過して撮像して、該分割予定ラインの位置を検出する分割予定ライン検出ステップと、該分割予定ライン検出ステップで検出した該分割予定ラインに沿って該ウエーハを切削して、該ウエーハを個々のパッケージに分割する切削ステップと、を備えたことを特徴とするウエーハの加工方法が提供される。
本発明によると、赤外線カメラを用いて樹脂を透過させてデバイスのターゲットパターンを撮像することにより、分割予定ラインと切削ブレードとの高精度のアライメントが可能となった。
以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図1(A)を参照すると、WL−CSPウエーハ27の分解斜視図が示されている。図1(B)はWL−CSPウエーハ27の斜視図である。
図1(A)に示されているように、半導体ウエーハ11の表面11aには格子状に形成された複数の分割予定ライン(ストリート)13によって区画された各領域にLSI等のデバイス15が形成されている。
半導体ウエーハ(以下、単にウエーハと略称することがある)11は予め裏面11bが研削されて所定の厚さ(100μm程度)に薄化された後、図2に示すように、表面11a上に再配線層19が形成される。
さらに、再配線層19上にデバイス15中の電極17に電気的に接続された複数の金属ポスト21を形成した後、ウエーハ11の表面11a側を金属ポスト21が埋設するように封止剤23で封止する。
封止剤23としては、封止剤23の熱膨張率を半導体ウエーハ11の熱膨張率に近づけるために、SiCからなるフィラーが混入されたエポキシ樹脂等の樹脂を使用するのが好ましい。
次いで、ダイアモンドをガラスや樹脂等で固めた切削工具を有する平面切削装置(サーフェースプレナー)又はグラインダーと呼ばれる研削装置を使用して、樹脂封止剤23を薄化して金属ポスト21の高さを揃えるとともに封止剤表面に金属ポスト21を露出させる。
次いで、露出した金属ポスト21の端面によく知られた方法によりハンダ等の金属バンプ25を形成して、WL−CSPウエーハ27が完成する。本実施形態のWL−CSPウエーハ27では、樹脂封止剤23の厚さは10〜30μm程度である。
WL−CSPウエーハ27を切削装置で切削するのに当たり、図3及び図4に示すように、好ましくは、WL−CSPウエーハ27を外周部が環状フレームFに貼着された粘着テープとしてのダイシングテープTに貼着する。これにより、WL−CSPウエーハ27はダイシングテープTを介して環状フレームFに支持された状態となる。
しかし、WL−CSPウエーハ27を切削装置で切削するのに当たり、環状フレームFを使用せずに、WL−CSPウエーハ27の裏面に粘着テープを貼着する形態でもよい。
図5を参照すると、WL−CSPウエーハ27を切削するのに適した切削装置2の斜視図が示されている。4は切削装置2のベースであり、ベース4上にはチャックテーブル6は回転可能且つ図示しない切削送り機構によりX軸方向に往復動可能に配設されている。チャックテーブル6には、環状フレームFをクランプする複数のクランプ8が取り付けられている。10は切削送り機構を保護するための蛇腹である。
ベース4上には門形状のコラム12が立設されている。コラム12にはY軸方向に伸長する一対のガイドレール14が固定されている。コラム12上には、Y軸移動ブロック16がボールねじ18と図示しないパルスモーターとからなる割り出し送り機構20により、ガイドレール14に沿ってY軸方向に移動可能に搭載されている。
Y軸移動ブロック16にはZ軸方向に伸長する一対のガイドレール22が固定されている。Y軸移動ブロック16上には、Z軸移動ブロック24がボールねじ26とパルスモーター28とからなるZ軸移動機構30により、ガイドレール22に案内されてZ軸方向に移動可能に搭載されている。
Z軸移動ブロック24には、切削ユニット32とアライメントユニット36が取り付けられている。切削ユニット32のスピンドルハウジング中には図示しないスピンドルが回転可能に収容されており、スピンドルの先端には切削ブレード34が装着されている。
アライメントユニット36には、マクロ顕微鏡及び可視光線で撮像する標準カメラを備えた第1撮像ユニット38と、ミクロ顕微鏡及び赤外線カメラを備えた第2撮像ユニット40が搭載されている。
次に、切削装置2を使用したWL−CSPウエーハ27の加工方法について説明する。まず、ダイシングテープTを介して環状フレームFに支持されたWL−CSPウエーハ27をチャックテーブル6の保持面上に載置してチャックテーブル6で吸引保持し、図6(A)に示すように、クランプ8で環状フレームFをクランプして固定する保持ステップを実施する。
このようにWL−CSPウエーハ27をチャックテーブル6の保持面で保持した状態で、図6(B)に最もよく示されるように、第2撮像ユニット40の赤外線カメラでWL−CSPウエーハ27の封止樹脂23を透過してウエーハ11の表面11aを撮像し、分割予定ライン13の位置を検出する分割予定ライン検出ステップを実施する。
本実施形態のWL−CSPウエーハ27では封止樹脂23の厚さが10〜30μm程度であるので、赤外線カメラで封止樹脂23を透過してウエーハ11の表面11aを撮像し、デバイス15に形成されているターゲットパターンを検出可能である。
このようなターゲットパターンの検出は、X軸方向に離れたA点及びB点で行い、2つのターゲットパターンを結んだ直線がX軸方向と平行となるようにチャックテーブル6を回転する。これにより、ターゲットパターンに隣接する分割予定ライン13が検出されたことになる。
分割予定ライン13の検出後、ターゲットパターンと分割予定ライン13の中心線との距離分だけ切削ユニット32をY軸方向に移動させることにより、切削しようとする分割予定ライン13と切削ブレード34との位置合わせを行うアライメントを実施する。このアライメントは、第1の方向に伸長する分割予定ライン13に加えて、第1の方向に直交する分割予定ライン13についても同様に実施する。
アライメント実施後、図7に示すように、矢印A方向に高速回転する切削ブレード34を切削しようとする分割予定ライン13に沿ってダイシングテープTまで切り込ませた状態で、チャックテーブル6をX軸方向に切削送りすることにより、位置合わせされた分割予定ライン13が切削される。
切削装置2のメモリに記憶された分割予定ライン13のピッヂづつ切削ユニット32をY軸方向にインデックス送りしながら切削を行うことにより、第1の方向に伸長する分割予定ライン13が全て切削される。
さらに、チャックテーブル6を90度回転させてから、第1の方向に直交する第2の方向に伸長する分割予定ライン13を切削することにより、WL−CSPウエーハ27が個々のCPSに分割される。
2 切削装置
10 チャックテーブル
11 半導体ウエーハ
13 分割予定ライン
15 デバイス
21 金属ポスト
23 封止樹脂
25 電極バンプ
27 WL−CSPウエーハ
32 切削ユニット
34 切削ブレード
38 第1撮像ユニット
40 第2撮像ユニット
10 チャックテーブル
11 半導体ウエーハ
13 分割予定ライン
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25 電極バンプ
27 WL−CSPウエーハ
32 切削ユニット
34 切削ブレード
38 第1撮像ユニット
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Claims (1)
- 交差して形成された複数の分割予定ラインによって区画された各領域に形成されたそれぞれ電極を有する複数のデバイスと、該デバイスの該電極に接続する複数の金属ポストとが樹脂で封止され、該樹脂上に金属ポストに接続された複数の電極バンプが突出して形成されたウエーハを加工するウエーハの加工方法であって、
該樹脂で封止された表面側を露出させて該ウエーハをチャックテーブルで保持する保持ステップと、
該保持ステップを実施した後、赤外線カメラで該ウエーハを表面側から該樹脂を透過して撮像して、該分割予定ラインの位置を検出する分割予定ライン検出ステップと、
該分割予定ライン検出ステップで検出した該分割予定ラインに沿って該ウエーハを切削して、該ウエーハを個々のパッケージに分割する切削ステップと、
を備えたことを特徴とするウエーハの加工方法。
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Cited By (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN109473393A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473396A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473360A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473392A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473349A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
KR20190028301A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028312A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109524354A (zh) * | 2017-09-19 | 2019-03-26 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109524352A (zh) * | 2017-09-19 | 2019-03-26 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109524353A (zh) * | 2017-09-19 | 2019-03-26 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
JP2019054187A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019054186A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000260734A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2005085973A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2008130818A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2012138449A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Teramikros Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP2013074021A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメント方法 |
-
2013
- 2013-07-17 JP JP2013148268A patent/JP2015023078A/ja active Pending
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000260734A (ja) * | 1999-03-11 | 2000-09-22 | Oki Electric Ind Co Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JP2005085973A (ja) * | 2003-09-09 | 2005-03-31 | Disco Abrasive Syst Ltd | 切削装置 |
JP2008130818A (ja) * | 2006-11-21 | 2008-06-05 | Disco Abrasive Syst Ltd | レーザー加工装置 |
JP2012138449A (ja) * | 2010-12-27 | 2012-07-19 | Teramikros Inc | 半導体装置の製造方法 |
JP2013074021A (ja) * | 2011-09-27 | 2013-04-22 | Disco Abrasive Syst Ltd | アライメント方法 |
Cited By (58)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102627412B1 (ko) * | 2017-09-08 | 2024-01-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109473396B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-06-23 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473360A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
TWI788410B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-01-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 晶圓之加工方法 |
CN109473349A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
KR20190028301A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028321A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028300A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028312A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028302A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028323A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190028322A (ko) * | 2017-09-08 | 2019-03-18 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109494189A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-19 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
KR102631711B1 (ko) * | 2017-09-08 | 2024-01-30 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109473393A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
KR102631710B1 (ko) * | 2017-09-08 | 2024-01-30 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR102631706B1 (ko) * | 2017-09-08 | 2024-01-30 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR102627958B1 (ko) * | 2017-09-08 | 2024-01-19 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109473392A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473396A (zh) * | 2017-09-08 | 2019-03-15 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
JP2019050260A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019050262A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019050248A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019050247A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019050249A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
CN109473349B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-10-31 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109494189B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-10-13 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
KR102581128B1 (ko) | 2017-09-08 | 2023-09-20 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR102581129B1 (ko) * | 2017-09-08 | 2023-09-20 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109473393B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-07-21 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
JP7009027B2 (ja) | 2017-09-08 | 2022-01-25 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7013083B2 (ja) | 2017-09-08 | 2022-01-31 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
CN109473360B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-07-14 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109473392B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-07-07 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
JP7098221B2 (ja) | 2017-09-08 | 2022-07-11 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019050261A (ja) * | 2017-09-08 | 2019-03-28 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
TWI797156B (zh) * | 2017-09-08 | 2023-04-01 | 日商迪思科股份有限公司 | 晶圓之加工方法 |
CN109524352A (zh) * | 2017-09-19 | 2019-03-26 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
JP7118522B2 (ja) | 2017-09-19 | 2022-08-16 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7118521B2 (ja) | 2017-09-19 | 2022-08-16 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
TWI798264B (zh) * | 2017-09-19 | 2023-04-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 晶圓加工方法 |
TWI798259B (zh) * | 2017-09-19 | 2023-04-11 | 日商迪思科股份有限公司 | 晶圓加工方法 |
JP7098223B2 (ja) | 2017-09-19 | 2022-07-11 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7098222B2 (ja) | 2017-09-19 | 2022-07-11 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP7098224B2 (ja) | 2017-09-19 | 2022-07-11 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019054183A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
KR102569620B1 (ko) | 2017-09-19 | 2023-08-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR102569621B1 (ko) | 2017-09-19 | 2023-08-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR102569619B1 (ko) | 2017-09-19 | 2023-08-22 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
JP2019054186A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019054187A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019054184A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
JP2019054185A (ja) * | 2017-09-19 | 2019-04-04 | 株式会社ディスコ | ウェーハの加工方法 |
KR20190032189A (ko) * | 2017-09-19 | 2019-03-27 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190032188A (ko) * | 2017-09-19 | 2019-03-27 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
KR20190032190A (ko) * | 2017-09-19 | 2019-03-27 | 가부시기가이샤 디스코 | 웨이퍼의 가공 방법 |
CN109524353A (zh) * | 2017-09-19 | 2019-03-26 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
CN109524354A (zh) * | 2017-09-19 | 2019-03-26 | 株式会社迪思科 | 晶片的加工方法 |
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