JP2015019153A

JP2015019153A - Combiner

Info

Publication number: JP2015019153A
Application number: JP2013143719A
Authority: JP
Inventors: 中村　学; Manabu Nakamura; 学中村; 太造伊藤; Taizo Ito; 友一郎末永; Tomoichiro Suenaga; 山村　英穂; Hideo Yamamura; 英穂山村; 秀康町井; Hideyasu Machii
Original assignee: Via Mechanics Ltd; Hitachi Kokusai Electric Inc
Current assignee: Via Mechanics Ltd; Hitachi Kokusai Electric Inc
Priority date: 2013-07-09
Filing date: 2013-07-09
Publication date: 2015-01-29
Anticipated expiration: 2033-07-09
Also published as: WO2015005232A1; JP6275404B2

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a combiner that has an improved withstanding voltage of an isolation resistance.SOLUTION: The combiner includes: a first input terminal; a first impedance converter having an input electrically connected to the first input terminal; a second input terminal; a second impedance converter having an input electrically connected to the second input terminal; an output terminal for outputting a combined output of the first and second impedance converters; a first resistor having one terminal electrically connected to the first input terminal; and a second resistor having one terminal electrically connected to the second input terminal and the other terminal electrically connected to the other terminal of the first resistor.

Description

本発明は、高周波電力を合成するための合成器に関するものである。 The present invention relates to a combiner for combining high-frequency power.

大電力を出力する高周波電源は、複数の電力増幅器の出力を合成することによって所望の電力を出力する。電力を合成するのに必要なユニットが合成器である。図４に、２つの同じ大きさの電力を合成するための合成器の等価回路を示す。図４は、背景技術における合成器の等価回路図である。 A high-frequency power source that outputs large power outputs desired power by combining outputs of a plurality of power amplifiers. A unit required for combining electric power is a combiner. FIG. 4 shows an equivalent circuit of a combiner for combining two electric powers having the same magnitude. FIG. 4 is an equivalent circuit diagram of a synthesizer in the background art.

図４の等価回路において、合成器の入力端子１３１ａから入力された高周波電力は、インピーダンス変換器１４０ａを通り、合成点１３２に到達する。もう一つの入力端子１３１ｂから入力された高周波電力は、インピーダンス変換器１４０ｂを通り、合成点１３２に到達する。こうして、入力端子１３１ａ，１３１ｂから入力された高周波電力は、合成点１３２で合成され、出力端子１３３に出力される。 In the equivalent circuit of FIG. 4, the high frequency power input from the input terminal 131a of the combiner passes through the impedance converter 140a and reaches the combining point 132. The high-frequency power input from the other input terminal 131b passes through the impedance converter 140b and reaches the synthesis point 132. Thus, the high frequency power input from the input terminals 131a and 131b is combined at the combining point 132 and output to the output terminal 133.

入力端子１３１ａと入力端子１３１ｂの間に接続された抵抗器１５０は、入力端子１３１ａと入力端子１３１ｂの間のアイソレーションを確保するために接続されるもので、アイソレーション抵抗と呼ばれる。入力端子１３１ａ,１３１ｂと出力端子１３３に接続されるインピーダンスが５０Ωである場合、抵抗器１５０は１００Ωの抵抗で、インピーダンス変換器１４０ａ,１４０ｂは、７０．７Ωの特性インピーダンスを持つλ／４伝送線路である。 The resistor 150 connected between the input terminal 131a and the input terminal 131b is connected in order to ensure isolation between the input terminal 131a and the input terminal 131b, and is called an isolation resistor. When the impedance connected to the input terminals 131a and 131b and the output terminal 133 is 50Ω, the resistor 150 is a 100Ω resistor, and the impedance converters 140a and 140b are λ / 4 transmission lines having a characteristic impedance of 70.7Ω. It is.

インピーダンス変換器１４０ａ,１４０ｂを集中定数回路で実現する場合の回路は、コンデンサとインダクタで実現できる。コンデンサ１４４ａとコンデンサ１４５ａは、２個のコンデンサで構成しているが、コンデンサ容量の合計が同じであれば３個以上のコンデンサに分けてもよく、１個のコンデンサとしてもよい。ただし、高出力の電力合成器では、コンデンサの損失による発熱の熱源を分散するため、複数のコンデンサに分けたほうが熱設計としては有利になる。これは、コンデンサ１４１ａとコンデンサ１４２ａ、コンデンサ１４４ｂとコンデンサ１４５ｂ、コンデンサ１４１ｂとコンデンサ１４２ｂについても同様のことが言える。 A circuit when the impedance converters 140a and 140b are realized by a lumped constant circuit can be realized by a capacitor and an inductor. The capacitor 144a and the capacitor 145a are composed of two capacitors. However, as long as the total capacitance is the same, the capacitors 144a and 145a may be divided into three or more capacitors or one capacitor. However, in a high-power power combiner, the heat source that generates heat due to the loss of the capacitor is dispersed. Therefore, it is advantageous as a thermal design to divide into a plurality of capacitors. The same applies to the capacitors 141a and 142a, the capacitors 144b and 145b, and the capacitors 141b and 142b.

入力端子１３１ａと入力端子１３１ｂに入力される２つの高周波電圧の位相と振幅に差が無く、合成器を構成するインピーダンス変換器１４０ａ,１４０ｂに特性差が無い場合は、抵抗器１５０の両端にかかる電圧は同じであるため、抵抗器１５０に流れる電流は０（ゼロ）であり、電力を消費しない。この状態が理想的であるが、実際に電力合成器を製作すると、部品や製造による特性ばらつきによって、２つの入力端子に入力される高周波電圧の位相と振幅には差が生じ、２つのインピーダンス変換器にも特性差が発生する。これらの差によって、抵抗器１５０の両端には電位差が生じ、電力が消費される。 When there is no difference in the phase and amplitude of the two high-frequency voltages input to the input terminal 131a and the input terminal 131b, and there is no characteristic difference between the impedance converters 140a and 140b constituting the combiner, both ends of the resistor 150 are applied. Since the voltage is the same, the current flowing through the resistor 150 is 0 (zero) and does not consume power. This state is ideal, but when a power combiner is actually manufactured, there is a difference in the phase and amplitude of the high-frequency voltage input to the two input terminals due to variations in characteristics due to parts and manufacturing. Differences in characteristics also occur in the vessel. Due to these differences, a potential difference occurs between both ends of the resistor 150, and power is consumed.

高周波電源では、この特性差が僅かであっても、出力電力が大きいため、抵抗器１５０で電力が消費され発熱する。そのため冷却が必要となるが、抵抗器１５０にはヒートシンクに熱を逃がす為のフランジを有するものを使うのが一般的である。 In the high-frequency power supply, even if this characteristic difference is small, the output power is large, so that power is consumed by the resistor 150 and heat is generated. Therefore, although cooling is required, it is general to use a resistor 150 having a flange for releasing heat to the heat sink.

図５に、背景技術におけるフランジつき抵抗器の外観と等価回路を示す。図５（ａ）はフランジつき抵抗器の外観であり、図５（ｂ）はフランジつき抵抗器の等価回路である。
図５（ａ）に示すように、冷却するためのフランジ１１３の上に抵抗体１１１が置かれ、抵抗体１１１の両側から抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂが接続される構造となっている。フランジ１１３には、ヒートシンク（不図示）にねじ止めで固定するための固定穴１１８があけられている。図５（ｂ）に示すように、このフランジ１１３は、電気的には抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂや抵抗体１１１とは繋がっておらず、浮いている状態である。 FIG. 5 shows an appearance and an equivalent circuit of the flanged resistor in the background art. FIG. 5A is an appearance of a resistor with a flange, and FIG. 5B is an equivalent circuit of the resistor with a flange.
As shown in FIG. 5A, a resistor 111 is placed on a flange 113 for cooling, and resistor terminals 112 a and 112 b are connected from both sides of the resistor 111. The flange 113 has a fixing hole 118 for fixing to a heat sink (not shown) with screws. As shown in FIG. 5B, the flange 113 is not electrically connected to the resistor terminals 112a and 112b and the resistor 111 but is in a floating state.

図５の抵抗体１１１を冷却するためにヒートシンクに取り付けた場合の構成を図６に示す。図６は、背景技術における電力合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造の一例である。図６（ａ）は電力合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造上面図であり、図６（ｂ）は電力合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造側面図である。
抵抗体端子１１２ａは、入力端子配線１１４ａを介して合成器の入力端子１３１ａと接続されている。抵抗体端子１１２ｂは、入力端子配線１１４ｂを介して合成器の入力端子１３１ｂと接続されている。フランジ１１３は、冷却するためヒートシンク１１７に接続される。ヒートシンク１１７は、筐体（不図示）と接続されており、電気的には接地されている。入力端子配線１１４ａ,１１４ｂは銅板などで構成される。 FIG. 6 shows a configuration in the case where the resistor 111 of FIG. 5 is attached to a heat sink for cooling. FIG. 6 is an example of an isolation resistance cooling unit structure of a power combiner in the background art. 6A is a top view of the isolation resistance cooling unit structure of the power combiner, and FIG. 6B is a side view of the isolation resistance cooling unit structure of the power combiner.
The resistor terminal 112a is connected to the input terminal 131a of the combiner via the input terminal wiring 114a. The resistor terminal 112b is connected to the input terminal 131b of the combiner via the input terminal wiring 114b. The flange 113 is connected to a heat sink 117 for cooling. The heat sink 117 is connected to a housing (not shown) and is electrically grounded. The input terminal wirings 114a and 114b are made of a copper plate or the like.

ここで問題となるのは、抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂとフランジ１１３間の耐圧である。フランジ１１３は、ヒートシンク１１７を通して筐体と接続されることによって、電気的には接地となるが、抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂには、入力端子１３１ａ,１３１ｂに入力される高周波電圧とほぼ同じ電圧がかかる。つまり、抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂとフランジ１１３との電位差は、入力端子１３１ａ,１３１ｂに入力される高周波電圧となる。この抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂとフランジ１１３間の距離は数ｍｍと短いため、ここに高電圧がかかると絶縁破壊を起こし放電してしまう。よって、高周波電源のように高出力の電源装置にこのようなアイソレーション抵抗の冷却構造をした合成器を使うと、抵抗体１１１の端子１１２ａ,１１２ｂとフランジ１１３間に放電がおき、電源装置が破損する可能性がある。 The problem here is the withstand voltage between the resistor terminals 112 a and 112 b and the flange 113. The flange 113 is electrically grounded by being connected to the housing through the heat sink 117. However, the resistor terminals 112a and 112b have substantially the same voltage as the high-frequency voltage input to the input terminals 131a and 131b. Take it. That is, the potential difference between the resistor terminals 112a and 112b and the flange 113 becomes a high-frequency voltage input to the input terminals 131a and 131b. Since the distance between the resistor terminals 112a and 112b and the flange 113 is as short as several millimeters, if a high voltage is applied to the resistor terminals 112a and 112b, a dielectric breakdown occurs and discharge occurs. Therefore, when a synthesizer having such an isolation resistance cooling structure is used for a high-output power supply device such as a high-frequency power supply, a discharge occurs between the terminals 112a and 112b of the resistor 111 and the flange 113, and the power supply device is There is a possibility of damage.

この問題を解決するために、フランジ１１３とヒートシンク１１７の間に、窒化アルミニウムのような熱抵抗が小さく電気的に絶縁する絶縁部材１１６を挟むということも考えられ、この場合の構成を図７に示す。図７は、背景技術における電力合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造の他の例である。図７（ａ）は電力合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造上面図であり、図７（ｂ）は電力合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造側面図である。
図７に示すように、絶縁部材１１６によって、ヒートシンク１１７とフランジ１１３間は絶縁されるが、フランジ１１３は電気的に浮いている状態となる。このため、電気的に浮いているフランジ１１３は、帯電することによって高電圧となり、抵抗体端子１１２ａ,１１２ｂなどに放電する危険性がある。結局、図７の構成によっても耐圧の問題は解決されていない。 In order to solve this problem, it is conceivable that an insulating member 116 having a small thermal resistance, such as aluminum nitride, which is electrically insulated is sandwiched between the flange 113 and the heat sink 117. The configuration in this case is shown in FIG. Show. FIG. 7 is another example of the isolation resistance cooling unit structure of the power combiner in the background art. FIG. 7A is a top view of the isolation resistance cooling unit structure of the power combiner, and FIG. 7B is a side view of the isolation resistance cooling unit structure of the power combiner.
As shown in FIG. 7, the heat sink 117 and the flange 113 are insulated by the insulating member 116, but the flange 113 is in an electrically floating state. For this reason, the electrically floating flange 113 becomes a high voltage when charged, and there is a risk of discharging to the resistor terminals 112a and 112b. Eventually, the breakdown voltage problem is not solved even by the configuration of FIG.

下記の特許文献１には、電力損失を低減し電力合成を高効率に行う電力合成器が記載されている。 Patent Literature 1 below describes a power combiner that reduces power loss and performs power combining with high efficiency.

特開２０１１−１３５２３２公報JP 2011-135232 A

本発明の目的は、合成器のアイソレーション抵抗の耐圧を改善することにある。 An object of the present invention is to improve the withstand voltage of the isolation resistance of the combiner.

上記課題を解決するための、本願発明の合成器の代表的な構成は、次のとおりである。すなわち、
第１の入力端子と、
入力が前記第１の入力端子と電気的に接続される第１のインピーダンス変換器と、
第２の入力端子と、
入力が前記第２の入力端子と電気的に接続される第２のインピーダンス変換器と、
前記第１及び第２のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第１の入力端子に電気的に接続される第１の抵抗体と、
一方の端子が前記第２の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第１の抵抗体の他方の端子に電気的に接続される第２の抵抗体と、
前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の入力端子との間に設けられ、前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の入力端子とを電気的に接続する第１の接続部材と、
前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の入力端子との間に、前記第１の接続部材と分離されて設けられ、前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の入力端子とを電気的に接続する第２の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第１の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第２の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第１及び第２の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。 A typical configuration of the synthesizer of the present invention for solving the above-described problems is as follows. That is,
A first input terminal;
A first impedance converter whose input is electrically connected to the first input terminal;
A second input terminal;
A second impedance converter whose input is electrically connected to the second input terminal;
An output terminal for outputting a combined output of the first and second impedance converters;
A first resistor having one terminal electrically connected to the first input terminal;
A second resistor having one terminal electrically connected to the second input terminal and the other terminal electrically connected to the other terminal of the first resistor;
Provided between the one terminal of the first resistor and the first input terminal, and electrically connects the one terminal of the first resistor and the first input terminal. A first connecting member;
The one terminal of the second resistor and the second input terminal are provided separately from the first connecting member, and the one terminal of the second resistor and the first terminal A second connecting member for electrically connecting the two input terminals;
A heat dissipating member that dissipates heat;
Provided between the first connecting member and the heat radiating member, and between the second connecting member and the heat radiating member, heat generated from the first and second resistors to the heat radiating member. An insulating member to convey,
A synthesizer comprising:

上記構成によれば、合成器のアイソレーション抵抗の耐圧を改善することができる。 According to the above configuration, the breakdown voltage of the isolation resistor of the combiner can be improved.

本発明の実施形態に係る合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造図である。It is an isolation resistance cooling part structure figure of the combiner | synthesizer which concerns on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る終端器の外観図と等価回路図である。It is the external view and equivalent circuit schematic of a termination | terminus device which concern on embodiment of this invention. 本発明の実施形態に係る合成器の等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of the combiner | synthesizer which concerns on embodiment of this invention. 背景技術に係る合成器の等価回路図である。It is an equivalent circuit diagram of the combiner | synthesizer which concerns on background art. 背景技術に係るフランジつき抵抗器の外観図と等価回路図である。It is the external view and equivalent circuit schematic of the resistor with a flange which concerns on background art. 背景技術に係る合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造の一例である。It is an example of the isolation resistance cooling part structure of the combiner | synthesizer which concerns on background art. 背景技術に係る合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造の他の例である。It is another example of the isolation resistance cooling part structure of the combiner | synthesizer which concerns on background art.

以下、本発明の実施形態について図１〜図３を用いて説明する。図１は、本発明の実施形態に係る合成器のアイソレーション抵抗冷却部構造図である。
図１に示すように、本実施形態では、アイソレーション抵抗として、互いに直列接続された２つの終端器１１ａ，１１ｂを用いる。そして、一方の終端器１１ａの外殻（導体）を、フランジ１３ａを介して、合成器の入力端子３１ａに繋がる入力端子配線１４ａに連結する。また、他方の終端器１１ｂの外殻（導体）を、フランジ１３ｂを介して、合成器の入力端子３１ｂに繋がる入力端子配線１４ｂに連結する。そして、フランジ１３ａとヒートシンク１７の間、フランジ１３ｂとヒートシンク１７の間を、熱抵抗の小さい絶縁部材１６で絶縁する。 Hereinafter, an embodiment of the present invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a structural diagram of an isolation resistance cooling unit of a combiner according to an embodiment of the present invention.
As shown in FIG. 1, in this embodiment, two terminators 11a and 11b connected in series are used as isolation resistors. And the outer shell (conductor) of one terminator 11a is connected to the input terminal wiring 14a connected to the input terminal 31a of the combiner via the flange 13a. Further, the outer shell (conductor) of the other terminator 11b is connected to the input terminal wiring 14b connected to the input terminal 31b of the combiner via the flange 13b. Then, the flange 13a and the heat sink 17 and the flange 13b and the heat sink 17 are insulated by an insulating member 16 having a low thermal resistance.

フランジ１３ａ，１３ｂは、それぞれ、終端器１１ａ，１１ｂとブロック１９ａ，１９ｂが取り付けられ、互いに分離して設けられている。フランジ１３ａ，１３ｂとブロック１９ａ，１９ｂとヒートシンク１７は、例えば銅等の電気伝導率が高く（つまり導体）、かつ熱伝導率の高い材料で構成され、絶縁部材１６は、例えば窒化アルミニウムのような熱伝導率が高く（つまり熱抵抗が小さく）、電気的に絶縁体である絶縁材料で構成される。
また、絶縁部材１６は、例えば窒化アルミニウムのような熱伝導率が高く硬い絶縁材料と、例えば薄いシリコーンゴムのような耐熱性と電気絶縁性と熱伝導性とを兼ね備えた薄く柔軟な絶縁材料との積層構造でも良い。絶縁部材１６を熱伝導率が高く硬い絶縁材料と薄く柔軟な絶縁材料との積層構造にすれば、熱伝導率が高く硬い絶縁材料の脆性を補うことができる。さらに、絶縁部材１６の難燃性が維持できるように、薄く柔軟な絶縁材料は、難燃性の特性も兼ね備えることが好ましい。
以上のように構成することにより、終端器１１ａの端子１２ａとフランジ１３ａとの間で放電することを防止し、また、終端器１１ｂの端子１２ｂとフランジ１３ｂとの間で放電することを防止する。 The flanges 13a and 13b are provided separately from each other with the terminators 11a and 11b and the blocks 19a and 19b attached thereto. The flanges 13a and 13b, the blocks 19a and 19b, and the heat sink 17 are made of a material having high electrical conductivity (that is, a conductor) and high thermal conductivity such as copper, and the insulating member 16 is made of, for example, aluminum nitride. It is made of an insulating material that has high thermal conductivity (that is, low thermal resistance) and is electrically insulating.
The insulating member 16 includes a hard insulating material having high thermal conductivity such as aluminum nitride, and a thin and flexible insulating material having both heat resistance, electrical insulating properties, and thermal conductivity such as thin silicone rubber. The laminated structure may be used. If the insulating member 16 has a laminated structure of a hard insulating material having a high thermal conductivity and a thin and flexible insulating material, brittleness of the hard insulating material having a high thermal conductivity can be compensated. Furthermore, it is preferable that the thin and flexible insulating material also has a flame-retardant characteristic so that the flame retardance of the insulating member 16 can be maintained.
By configuring as described above, it is possible to prevent discharge between the terminal 12a of the terminator 11a and the flange 13a, and to prevent discharge between the terminal 12b of the terminator 11b and the flange 13b. .

図２は、本発明の実施形態に係る終端器の外観図と等価回路図である。図２（ａ）は、終端器の外観図であり、図２（ｂ）は、終端器の等価回路図である。図２では、図１の終端器１１ａを示す。終端器１１ｂは、終端器１１ａと同様の構造であるので説明を省略する。
終端器とは、抵抗器を導体（例えばステンレス等の金属）のコネクタ内に組み込んだものであり、抵抗器の一方の端子を当該終端器の一方の端子とし、抵抗器の他方の端子を当該終端器の他方の端子であるコネクタ外殻と電気的に接続したものである。一般的に、終端器を使う場合は、その外殻を電気的に接地し、入力端子に高周波を入力する。図２の例では、終端器１１ａの一方の端子が、終端器１１ａを構成する抵抗体５１ａの端子１２ａであり、終端器１１ａの他方の端子が、終端器１１ａのコネクタ外殻である。図２（ｂ）に示すように、終端器１１ａのコネクタ外殻は、導体であるフランジ１３ａと電気的に接続される。１８は、フランジ１３を、ヒートシンク（不図示）にねじ止めで固定するための固定穴である。 FIG. 2 is an external view and an equivalent circuit diagram of the terminator according to the embodiment of the present invention. FIG. 2A is an external view of the terminator, and FIG. 2B is an equivalent circuit diagram of the terminator. FIG. 2 shows the terminator 11a of FIG. Since the terminator 11b has the same structure as the terminator 11a, description thereof is omitted.
A terminator is one in which a resistor is incorporated in a connector of a conductor (for example, a metal such as stainless steel). One terminal of the resistor is used as one terminal of the terminator, and the other terminal of the resistor is used as the terminal. It is electrically connected to the connector outer shell which is the other terminal of the terminator. Generally, when a terminator is used, its outer shell is electrically grounded and a high frequency is input to the input terminal. In the example of FIG. 2, one terminal of the terminator 11a is the terminal 12a of the resistor 51a constituting the terminator 11a, and the other terminal of the terminator 11a is a connector outer shell of the terminator 11a. As shown in FIG. 2B, the connector outer shell of the terminator 11a is electrically connected to a flange 13a that is a conductor. Reference numeral 18 denotes a fixing hole for fixing the flange 13 to a heat sink (not shown) with screws.

このように、本実施形態では、終端器１１ａ（１１ｂ）を構成する抵抗体５１ａ（５１ｂ）の一方の端子が終端器端子１２ａ（１２ｂ）に繋がり、抵抗体５１ａ（５１ｂ）の他方の端子が終端器１１ａ（１１ｂ）の外殻に繋がり、終端器１１ａ（１１ｂ）の外殻が、フランジ１３ａ（１３ｂ）の上に接触するように載置されている。そして、フランジ１３ａ（１３ｂ）は、合成器の入力端子３１ａ（３１ｂ）に繋がる入力端子配線１４ａ（１４ｂ）に、電気的に接続されている。また、フランジ１３ａ（１３ｂ）は、電気的に接地してあるヒートシンク１７とは、絶縁部材１６により絶縁されている。 Thus, in this embodiment, one terminal of the resistor 51a (51b) constituting the terminator 11a (11b) is connected to the terminator terminal 12a (12b), and the other terminal of the resistor 51a (51b) is connected. The outer shell of the terminator 11a (11b) is placed so as to be in contact with the outer shell of the terminator 11a (11b) on the flange 13a (13b). The flange 13a (13b) is electrically connected to the input terminal wiring 14a (14b) connected to the input terminal 31a (31b) of the combiner. Further, the flange 13 a (13 b) is insulated from the heat sink 17 that is electrically grounded by the insulating member 16.

本実施形態の構成を、図１を用いて詳しく説明する。図１の構成では、アイソレーション抵抗として、５０Ωの終端器１１ａ，１１ｂを２個用い、終端器１１ａの終端器端子１２ａと終端器１１ｂの終端器端子１２ｂとを、終端器間配線１５で電気的に接続する。終端器間配線１５は、終端器１１ａの抵抗体５１ａと終端器１１ｂの抵抗体５１ｂとを電気的に接続する抵抗間配線であり、例えば銅等の導体で構成される。アイソレーション抵抗は、２個の５０Ω抵抗器を直列に接続するので、合わせて１００Ωの抵抗器となる。 The configuration of this embodiment will be described in detail with reference to FIG. In the configuration of FIG. 1, two 50Ω terminators 11a and 11b are used as isolation resistors, and the terminator terminal 12a of the terminator 11a and the terminator terminal 12b of the terminator 11b are electrically connected by the inter-terminator wiring 15. Connect. The inter-terminator wiring 15 is an inter-resistance wiring that electrically connects the resistor 51a of the terminator 11a and the resistor 51b of the terminator 11b, and is made of a conductor such as copper. Since the isolation resistor connects two 50Ω resistors in series, a total of 100Ω resistors are obtained.

終端器１１ａが取り付けられるフランジ１３ａは、ブロック１９ａを介して、合成器の入力端子３１ａに繋がる入力端子配線１４ａに電気的に接続される。終端器１１ｂが取り付けられるフランジ１３ｂは、ブロック１９ｂを介して、合成器の入力端子３１ｂに繋がる入力端子配線１４ｂに電気的に接続される。
こうして、入力端子３１ａと終端器１１ａの抵抗体５１ａとが電気的に接続され、入力端子３１ｂと終端器１１ｂの抵抗体５１ｂとが電気的に接続される。つまり、フランジ１３ａと、ブロック１９ａと、入力端子配線１４ａとは、終端器１１ａの抵抗体５１ａの一方の端子と入力端子３１ａとを電気的に接続する第１の接続部材を構成し、フランジ１３ｂと、ブロック１９ｂと、入力端子配線１４ｂとは、終端器１１ｂの抵抗体５１ｂの一方の端子と入力端子３１ｂとを電気的に接続する第２の接続部材を構成する。
換言すると、第１の接続部材は、終端器１１ａを構成する抵抗体５１ａの一方の端子と合成器の入力端子３１ａとの間に設けられ、終端器１１ａの抵抗体５１ａの一方の端子と入力端子３１ａとを電気的に接続する。第２の接続部材は、終端器１１ｂを構成する抵抗体５１ｂの一方の端子と合成器の入力端子３１ｂとの間に、第１の接続部材と分離されて設けられ、終端器１１ｂの抵抗体５１ｂの一方の端子と入力端子３１ｂとを電気的に接続する。 The flange 13a to which the terminator 11a is attached is electrically connected to the input terminal wiring 14a connected to the input terminal 31a of the combiner via the block 19a. The flange 13b to which the terminator 11b is attached is electrically connected to the input terminal wiring 14b connected to the input terminal 31b of the combiner via the block 19b.
Thus, the input terminal 31a and the resistor 51a of the terminator 11a are electrically connected, and the input terminal 31b and the resistor 51b of the terminator 11b are electrically connected. That is, the flange 13a, the block 19a, and the input terminal wiring 14a constitute a first connecting member that electrically connects one terminal of the resistor 51a of the terminator 11a and the input terminal 31a, and the flange 13b. The block 19b and the input terminal wiring 14b constitute a second connecting member that electrically connects one terminal of the resistor 51b of the terminator 11b and the input terminal 31b.
In other words, the first connecting member is provided between one terminal of the resistor 51a constituting the terminator 11a and the input terminal 31a of the combiner, and is input to one terminal of the resistor 51a of the terminator 11a. The terminal 31a is electrically connected. The second connecting member is provided separately from the first connecting member between one terminal of the resistor 51b constituting the terminator 11b and the input terminal 31b of the combiner, and the resistor of the terminator 11b. One terminal of 51b and the input terminal 31b are electrically connected.

ブロック１９ａ,１９ｂは、それぞれ、フランジ１３ａ,１３ｂと入力端子配線１４ａ,１４ｂとが取り付けられ、フランジ１３ａ,１３ｂと入力端子配線１４ａ,１４ｂとを電気的に接続するための接続部材である。入力端子配線１４ａ,１４ｂは、例えば銅等の導体で構成される。また、図１では図示を割愛しているが、例えばねじ止めにより、フランジ１３ａ（１３ｂ）と入力端子配線１４ａ（１４ｂ）が、それぞれブロック１９ａ（１９ｂ）に固定され、ブロック１９ａ（１９ｂ）が、絶縁部材１６を介して、ヒートシンク１７に固定される。ヒートシンク１７は、終端器１１ａ，１１ｂから発生する熱を放熱する放熱部材である。
ヒートシンク１７は、本実施形態では、合成器の含まれる高周波電源装置の筺体（導体、例えばアルミニウム等の金属製）と別に、筺体に密着するように設けられるが、筺体と別に設けず、筺体をヒートシンク１７として構成してもよい。 The blocks 19a and 19b are connecting members for attaching the flanges 13a and 13b and the input terminal wires 14a and 14b, respectively, and electrically connecting the flanges 13a and 13b and the input terminal wires 14a and 14b. The input terminal wirings 14a and 14b are made of a conductor such as copper, for example. Although not shown in FIG. 1, the flange 13a (13b) and the input terminal wiring 14a (14b) are respectively fixed to the block 19a (19b) by, for example, screwing, and the block 19a (19b) It is fixed to the heat sink 17 via the insulating member 16. The heat sink 17 is a heat radiating member that radiates heat generated from the terminators 11a and 11b.
In this embodiment, the heat sink 17 is provided so as to be in close contact with the housing of the high-frequency power supply device (conductor, for example, metal such as aluminum) included in the combiner, but is not provided separately from the housing. The heat sink 17 may be configured.

絶縁部材１６は、直接的には、ブロック１９ａとヒートシンク１７との間、及びブロック１９ｂとヒートシンク１７との間に設けられる。つまり、絶縁部材１６は、第１の接続部材とヒートシンク１７との間、第２の接続部材とヒートシンク１７との間に設けられ、第１の接続部材とヒートシンク１７との間、及び第２の接続部材とヒートシンク１７との間を電気的に絶縁するとともに、抵抗体５１ａ,５１ｂから発生する熱をヒートシンク１７へ伝える。
なお、絶縁部材１６は、ブロック１９ａとヒートシンク１７との間用の絶縁部材と、ブロック１９ｂとヒートシンク１７との間用の絶縁部材とに、分離して設けてもよい。同様に、ヒートシンク１７も、ブロック１９ａに対応するヒートシンクとブロック１９ｂに対応するヒートシンクとに、分離して設けてもよい。 The insulating member 16 is directly provided between the block 19 a and the heat sink 17 and between the block 19 b and the heat sink 17. That is, the insulating member 16 is provided between the first connection member and the heat sink 17, between the second connection member and the heat sink 17, between the first connection member and the heat sink 17, and the second The connection member and the heat sink 17 are electrically insulated from each other, and heat generated from the resistors 51a and 51b is transmitted to the heat sink 17.
The insulating member 16 may be provided separately for the insulating member for the block 19 a and the heat sink 17 and for the insulating member for the block 19 b and the heat sink 17. Similarly, the heat sink 17 may be provided separately in a heat sink corresponding to the block 19a and a heat sink corresponding to the block 19b.

放電防止作用について説明する。
入力端子配線１４ａ,１４ｂは、それぞれ、合成器の入力端子３１ａ,３１ｂに繋がるため、入力される高周波電圧がかかり高電圧となる。フランジ１３ａ,１３ｂは、それぞれ、ブロック１９ａ,１９ｂを介して入力端子配線１４ａ,１４ｂと繋がるため、高周波電圧がかかり高電圧となる。終端器端子１２ａ,１２ｂと終端器間配線１５は、終端器１１ａの抵抗体５１ａを介しフランジ１３ａと繋がり、終端器１１ｂの抵抗体５１ｂを介しフランジ１３ｂと繋がっている。 The discharge preventing action will be described.
Since the input terminal wirings 14a and 14b are connected to the input terminals 31a and 31b of the synthesizer, respectively, the input high frequency voltage is applied and becomes a high voltage. Since the flanges 13a and 13b are connected to the input terminal wirings 14a and 14b via the blocks 19a and 19b, respectively, a high-frequency voltage is applied and becomes a high voltage. The terminator terminals 12a and 12b and the inter-terminator wiring 15 are connected to the flange 13a via the resistor 51a of the terminator 11a, and are connected to the flange 13b via the resistor 51b of the terminator 11b.

フランジ１３ａとフランジ１３ｂとが同じ電圧である場合は、終端器１１ａ,１１ｂに電流が流れないため、終端器１１ａ,１１ｂによる電圧降下は発生しない。よって、終端器端子１２ａ,１２ｂと終端器間配線１５は、高周波電圧がかかり高電圧となる。
フランジ１３ａとフランジ１３ｂとが同じ電圧でない場合は、終端器１１ａ,１１ｂに電流が流れるので、フランジ１３ａとフランジ１３ｂにかかる電圧よりは低い電圧となるが、やはり、終端器端子１２ａ,１２ｂと終端器間配線１５は、高周波電圧がかかり高電圧となる。
つまり、絶縁部材１６の上に実装されているものは全て、合成器に入力される高周波電圧の影響を受けた高電圧となる（厳密には配線による抵抗や寄生容量により若干の電圧降下がある）。 When the flange 13a and the flange 13b have the same voltage, no current flows through the terminators 11a and 11b, so that no voltage drop is caused by the terminators 11a and 11b. Accordingly, the terminator terminals 12a and 12b and the inter-terminator wiring 15 are subjected to a high frequency voltage and become a high voltage.
When the flange 13a and the flange 13b are not at the same voltage, a current flows through the terminators 11a and 11b. Therefore, the voltage is lower than the voltage applied to the flange 13a and the flange 13b, but the terminator terminals 12a and 12b and the terminator are also terminated. The inter-unit wiring 15 is subjected to a high frequency voltage and becomes a high voltage.
That is, everything mounted on the insulating member 16 becomes a high voltage affected by the high-frequency voltage input to the synthesizer (strictly, there is a slight voltage drop due to resistance and parasitic capacitance due to wiring). ).

詳しくは、入力端子３１ａ,３１ｂが互いに同電位である場合は、入力端子配線１４ａ,１４ｂとブロック１９ａ,１９ｂとフランジ１３ａ,１３ｂと終端器１１ａ,１１ｂの外殻と終端器端子１２ａ,１２ｂと終端器間配線１５は、すべて互いに同電位となる。 Specifically, when the input terminals 31a and 31b are at the same potential, the input terminal wires 14a and 14b, the blocks 19a and 19b, the flanges 13a and 13b, the outer shells of the terminators 11a and 11b, and the terminator terminals 12a and 12b. The inter-terminator wires 15 are all at the same potential.

また、入力端子３１ａ,３１ｂが互いに同電位でない場合は、入力端子配線１４ａとブロック１９ａとフランジ１３ａと終端器１１ａの外殻は互いに同電位となり、入力端子配線１４ｂとブロック１９ｂとフランジ１３ｂと終端器１１ｂの外殻は互いに同電位となる。そして、フランジ１３ａ（終端器１１ａの外殻）と終端器端子１２ａとの間の電位差は、終端器１１ａの抵抗体５１ａの電圧降下分となり、フランジ１３ｂ（終端器１１ｂの外殻）と終端器端子１２ｂとの間の電位差は、終端器１１ｂの抵抗体５１ｂの電圧降下分となる。 When the input terminals 31a and 31b are not at the same potential, the input terminal wiring 14a, the block 19a, the flange 13a, and the outer shell of the terminator 11a are at the same potential, and the input terminal wiring 14b, the block 19b, the flange 13b, and the terminal The outer shells of the vessel 11b have the same potential. The potential difference between the flange 13a (outer shell of the terminator 11a) and the terminator terminal 12a becomes a voltage drop of the resistor 51a of the terminator 11a, and the flange 13b (outer shell of the terminator 11b) and the terminator. The potential difference with the terminal 12b is a voltage drop of the resistor 51b of the terminator 11b.

このように、本実施形態では、アイソレーション抵抗が２つに分割されているので、フランジ１３ａ（１３ｂ）と抵抗体端子１２ａ（１２ｂ）との間の電位差は、背景技術におけるフランジと抵抗体端子との間の電位差よりも、小さくなる。したがって、フランジと抵抗体端子との間の放電を、背景技術よりも防止できる。なお、２つに分割されたアイソレーション抵抗の値が同じでなくても、この効果を得ることができる。 Thus, in this embodiment, since the isolation resistance is divided into two, the potential difference between the flange 13a (13b) and the resistor terminal 12a (12b) is the flange and resistor terminal in the background art. It becomes smaller than the potential difference between. Therefore, the discharge between the flange and the resistor terminal can be prevented more than in the background art. This effect can be obtained even if the value of the isolation resistance divided into two is not the same.

また、絶縁部材１６の下のヒートシンク１７は、電気的に接地されているので電圧は零である。つまり、絶縁部材１６の上には高周波電圧がかかる部品があり、絶縁部材１６の下は電圧が零のヒートシンク１７があるが、その間に絶縁部材１６があるため放電することはない。 Further, since the heat sink 17 under the insulating member 16 is electrically grounded, the voltage is zero. That is, there are parts to which a high-frequency voltage is applied on the insulating member 16, and there is a heat sink 17 having a zero voltage under the insulating member 16, but the insulating member 16 is present between them, so that no discharge occurs.

次に、冷却作用について説明する。
合成器の２つの入力端子３１ａ，３１ｂに入力される高周波電圧の位相や振幅に差がある場合は、アイソレーション抵抗の両端に電位差が発生し、電流が流れ、電力を消費する。この消費電力により熱が発生するが、終端器１１ａ,１１ｂの抵抗体５１ａ,５１ｂが発熱すると、フランジ１３ａ,１３ｂ、ブロック１９ａ,１９ｂ、絶縁部材１６を介してヒートシンク１７で放熱する。
このように、絶縁部材１６は、第１の接続部材とヒートシンク１７との間、及び第２の接続部材とヒートシンク１７との間に設けられ、抵抗体５１ａ,５１ｂから発生する熱をヒートシンク１７へ伝える。 Next, the cooling action will be described.
When there is a difference in the phase and amplitude of the high-frequency voltage input to the two input terminals 31a and 31b of the combiner, a potential difference occurs between both ends of the isolation resistor, current flows, and power is consumed. Heat is generated by this power consumption, but when the resistors 51a and 51b of the terminators 11a and 11b generate heat, the heat sink 17 dissipates heat through the flanges 13a and 13b, the blocks 19a and 19b, and the insulating member 16.
As described above, the insulating member 16 is provided between the first connecting member and the heat sink 17 and between the second connecting member and the heat sink 17, and heat generated from the resistors 51 a and 51 b is transmitted to the heat sink 17. Tell.

本例では、絶縁部材１６として、電気的に絶縁され、熱抵抗の低い材料として窒化アルミニウムを用いているが、必ずしも窒化アルミニウムである必要はなく、同等の特性であれば別の材料でもよい。使用する状況によっては、窒化アルミニウム（熱伝導率＝１５０Ｗ／ｍ・Ｋ）よりも熱伝導率の低い絶縁材料で間に合う場合もある。要するに、絶縁部材１６は、終端器１１ａ,１１ｂの温度を所定値以下に抑えることのできる熱伝導性を有するものであればよい。 In this example, aluminum nitride is used as the insulating member 16 as a material that is electrically insulated and has low thermal resistance. However, aluminum nitride is not necessarily required, and another material may be used as long as it has the same characteristics. Depending on the conditions of use, an insulating material having a lower thermal conductivity than aluminum nitride (thermal conductivity = 150 W / m · K) may be sufficient. In short, the insulating member 16 only needs to have thermal conductivity that can suppress the temperature of the terminators 11a and 11b to a predetermined value or less.

図１で示した構成のアイソレーション抵抗を、図４に示す合成器の等価回路に組み込んだときの等価回路を図３に示す。つまり、図３は、本発明の実施形態に係る合成器の等価回路図である。
図３において、合成器は、入力端子３１ａ（第１の入力端子）と、その入力が入力端子３１ａと電気的に接続されるインピーダンス変換器４０ａ（第１のインピーダンス変換器）と、入力端子３１ｂ（第２の入力端子）と、その入力が入力端子３１ｂと電気的に接続されるインピーダンス変換器４０ｂ（第２のインピーダンス変換器）と、一方の端子が入力端子３１ａに電気的に接続される抵抗体５１ａ（第１の抵抗体）と、一方の端子が入力端子３１ｂに電気的に接続され、他方の端子が抵抗体５１ａの他方の端子に電気的に接続される抵抗体５１ｂ（第２の抵抗体）と、を備えている。 FIG. 3 shows an equivalent circuit when the isolation resistor having the configuration shown in FIG. 1 is incorporated in the equivalent circuit of the combiner shown in FIG. That is, FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the combiner according to the embodiment of the present invention.
In FIG. 3, the synthesizer includes an input terminal 31a (first input terminal), an impedance converter 40a (first impedance converter) whose input is electrically connected to the input terminal 31a, and an input terminal 31b. (Second input terminal), an impedance converter 40b (second impedance converter) whose input is electrically connected to the input terminal 31b, and one terminal is electrically connected to the input terminal 31a. Resistor 51a (first resistor) and one terminal electrically connected to input terminal 31b and the other terminal electrically connected to the other terminal of resistor 51a (second resistor 51b) Resistor).

合成器の入力端子３１ａから入力された高周波電力は、インピーダンス変換器４０ａを通り、合成点３２に到達する。合成器の他の入力端子３１ｂから入力された高周波電力は、インピーダンス変換器４０ｂを通り、合成点３２に到達する。インピーダンス変換器４０ａ，４０ｂは、それぞれ、入力端子３１ａ，３１ｂから出力端子３３を見た場合の入力インピーダンスの値を、変換するものである。こうして、入力端子３１ａ，３１ｂから入力された高周波電力は、合成点３２で合成され、出力端子３３に出力される。 The high frequency power input from the input terminal 31a of the combiner passes through the impedance converter 40a and reaches the combining point 32. The high frequency power input from the other input terminal 31b of the combiner passes through the impedance converter 40b and reaches the combining point 32. The impedance converters 40a and 40b convert input impedance values when the output terminal 33 is viewed from the input terminals 31a and 31b, respectively. Thus, the high-frequency power input from the input terminals 31 a and 31 b is combined at the combining point 32 and output to the output terminal 33.

図３において、５０が図１のアイソレーション抵抗の等価回路である。アイソレーション抵抗５０は、入力端子３１ａと入力端子３１ｂの間に接続され、２つの抵抗体、つまり抵抗体５１ａと抵抗体５１ｂで構成される。抵抗体５１ａと抵抗体５１ｂは、それぞれ、図１に示す２つの終端器１１ａ，１１ｂの抵抗体である。抵抗体５１ａの一方の端子は、入力端子３１ａに電気的に接続され、抵抗体５１ｂの一方の端子は、入力端子３１ｂに電気的に接続され、抵抗体５１ａの他方の端子は、抵抗体５１ｂの他方の端子に電気的に接続されている。 In FIG. 3, 50 is an equivalent circuit of the isolation resistor of FIG. The isolation resistor 50 is connected between the input terminal 31a and the input terminal 31b, and includes two resistors, that is, a resistor 51a and a resistor 51b. The resistor 51a and the resistor 51b are resistors of the two terminators 11a and 11b shown in FIG. One terminal of the resistor 51a is electrically connected to the input terminal 31a, one terminal of the resistor 51b is electrically connected to the input terminal 31b, and the other terminal of the resistor 51a is connected to the resistor 51b. Is electrically connected to the other terminal.

コンデンサ５２ａとコンデンサ５２ｂは、ブロック１９ａ,１９ｂとヒートシンク１７間に絶縁部材１６を挟むことで増える寄生容量である。ブロック１９ａ,１９ｂとフランジ１３ａ，１３ｂの間は、電気的に繋がっており、これらの間の抵抗値は極めて小さいため、図３に示すように、直列接続された抵抗体５１ａ,５１ｂの入力端子３１ａ，３１ｂ側に、コンデンサ５２ａ,５２ｂの一端が繋がり、コンデンサ５２ａ,５２ｂの他端が接地される回路となる。なお、図３の等価回路において、その他の配線による抵抗や寄生容量は小さいため記載していない。 The capacitors 52 a and 52 b are parasitic capacitances that increase when the insulating member 16 is sandwiched between the blocks 19 a and 19 b and the heat sink 17. Since the blocks 19a and 19b and the flanges 13a and 13b are electrically connected and the resistance value between them is extremely small, the input terminals of the resistors 51a and 51b connected in series as shown in FIG. One end of the capacitors 52a and 52b is connected to the 31a and 31b sides, and the other end of the capacitors 52a and 52b is grounded. Note that in the equivalent circuit of FIG. 3, resistance and parasitic capacitance due to other wirings are small, and thus are not described.

この寄生容量５２ａ,５２ｂは、図４のコンデンサ１４５ａ,１４５ｂの代わりになり、削除することが可能なので、コスト低減を図ることができる。これは、寄生容量である５２ａ,５２ｂの容量がコンデンサ１４５ａ,１４５ｂと同じであることを前提にしているが、容量が異なったとしてもインダクタンス４３ａ,４３ｂやその他のコンデンサの定数を調整することで、コンデンサの個数を減らし、コスト低減を図ることができる。 The parasitic capacitances 52a and 52b can replace the capacitors 145a and 145b in FIG. 4 and can be eliminated, so that the cost can be reduced. This is based on the premise that the capacitances of the parasitic capacitances 52a and 52b are the same as those of the capacitors 145a and 145b, but by adjusting the constants of the inductances 43a and 43b and other capacitors even if the capacitances are different. Therefore, the number of capacitors can be reduced, and the cost can be reduced.

本実施形態によれば、少なくとも次の効果を奏する。
（ａ）合成器のアイソレーション抵抗を２つの抵抗で構成し、該２つの抵抗の第１の端子間を接続するとともに、該２つの抵抗の第２の端子を、それぞれ合成器の２つの入力端子に接続するように構成したので、合成器において耐圧強化と冷却とを両立することが可能となり、高出力の高周波電源の合成器を実現することができる。
（ｂ）２つの抵抗を、それぞれ、第１及び第２の接続部材（フランジ）に取り付け、２つの抵抗の第２の端子を、それぞれ、第１及び第２の接続部材（フランジ）を介して、合成器の２つの入力端子に接続するように構成したので、２つの抵抗の第２の端子をそれぞれ合成器の２つの入力端子に接続することが容易になるとともに、２つの抵抗の第２の端子と接続部材（フランジ）との間で放電することを防止することができる。
（ｃ）合成器のアイソレーション抵抗を２つの終端器で構成したので、２つの抵抗の第２の端子を、それぞれ、第１及び第２の接続部材（フランジ）に取り付けることが容易になる。 According to the present embodiment, at least the following effects are achieved.
(A) The isolation resistor of the synthesizer is composed of two resistors, the first terminals of the two resistors are connected, and the second terminals of the two resistors are respectively connected to the two inputs of the synthesizer. Since it is configured to be connected to the terminal, the synthesizer can achieve both withstand voltage enhancement and cooling, and a synthesizer of a high-output high-frequency power source can be realized.
(B) The two resistors are respectively attached to the first and second connecting members (flange), and the second terminals of the two resistors are respectively connected via the first and second connecting members (flange). Since it is configured to be connected to the two input terminals of the synthesizer, it is easy to connect the second terminals of the two resistors to the two input terminals of the synthesizer, respectively, and the second of the two resistors. It is possible to prevent discharge between the terminal and the connecting member (flange).
(C) Since the isolation resistor of the synthesizer is composed of two terminators, the second terminals of the two resistors can be easily attached to the first and second connection members (flange), respectively.

なお、本発明は、上記実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々に変更が可能であることはいうまでもない。
上記実施形態では、アイソレーション抵抗を２つの終端器で構成したが、アイソレーション抵抗を終端器以外の抵抗器で構成することも可能である。また、上記実施形態では、２つのアイソレーション抵抗の抵抗値を同じ値にしたが、必ずしも同じ値でなくてもよい。 In addition, this invention is not limited to the said embodiment, It cannot be overemphasized that it can change variously in the range which does not deviate from the summary.
In the above embodiment, the isolation resistor is configured by two terminators, but the isolation resistor may be configured by a resistor other than the terminator. Moreover, in the said embodiment, although resistance value of two isolation resistance was made into the same value, it does not necessarily need to be the same value.

また、アイソレーション抵抗を構成する２つの抵抗器の少なくとも一方を、並列接続した複数の抵抗器で構成することも可能である。例えば、図３において、抵抗体５１ａ,５１ｂの少なくとも一方を、並列接続した複数の抵抗器で構成することも可能である。 Moreover, it is also possible to comprise at least one of the two resistors constituting the isolation resistor by a plurality of resistors connected in parallel. For example, in FIG. 3, at least one of the resistors 51a and 51b can be configured by a plurality of resistors connected in parallel.

また、上記実施形態では、ブロック１９ａ,１９ｂをフランジ１３ａ,１３ｂと別体で構成したが、ブロック１９ａ,１９ｂをフランジ１３ａ,１３ｂと別体で構成するのではなく、ブロック１９ａ,１９ｂをフランジ１３ａ,１３ｂと一体で構成する、つまり、ブロック１９ａ,１９ｂを設けず、ブロック１９ａ,１９ｂを含む形状にフランジ１３ａ,１３ｂを構成するようにしてもよい。 In the above-described embodiment, the blocks 19a and 19b are configured separately from the flanges 13a and 13b. However, the blocks 19a and 19b are not configured separately from the flanges 13a and 13b, but the blocks 19a and 19b are configured separately from the flange 13a. , 13b, that is, the flanges 13a, 13b may be formed in a shape including the blocks 19a, 19b without providing the blocks 19a, 19b.

また、上記実施形態では、フランジ１３ａ,１３ｂを入力端子配線１４ａ,１４ｂと別体で構成したが、フランジ１３ａ,１３ｂを入力端子配線１４ａ,１４ｂと別体で構成するのではなく、フランジ１３ａ,１３ｂを入力端子配線１４ａ,１４ｂと一体で構成する、つまり、フランジ１３ａ,１３ｂを設けず、フランジ１３ａ,１３ｂを含む形状に入力端子配線１４ａ,１４ｂを構成するようにしてもよい。換言すれば、入力端子配線１４ａ,１４ｂをそれぞれフランジ１３ａ,１３ｂとして構成するようにしてもよい。
また、上記実施形態では、入力端子が２つの合成器の構成を示したが、３つ、あるいはそれ以上の入力を合成する合成器でもよい。
また、上記実施形態では、合成器に入力する電力が等しい場合の例を示したが、異なる電力を合成する合成器でもよい。 In the above embodiment, the flanges 13a and 13b are configured separately from the input terminal wires 14a and 14b. However, the flanges 13a and 13b are not configured separately from the input terminal wires 14a and 14b. 13b may be configured integrally with the input terminal wirings 14a and 14b. That is, the input terminal wirings 14a and 14b may be configured to include the flanges 13a and 13b without providing the flanges 13a and 13b. In other words, the input terminal wires 14a and 14b may be configured as flanges 13a and 13b, respectively.
In the above embodiment, the configuration of a synthesizer with two input terminals is shown. However, a synthesizer that synthesizes three or more inputs may be used.
Moreover, although the example in the case where the electric power input into a combiner | synthesizer was equal was shown in the said embodiment, the combiner | synthesizer which synthesize | combines different electric power may be sufficient.

本明細書には、本発明に関する少なくとも次の構成が含まれる。
第１の構成は、
第１の入力端子と、
入力が前記第１の入力端子と電気的に接続される第１のインピーダンス変換器と、
第２の入力端子と、
入力が前記第２の入力端子と電気的に接続される第２のインピーダンス変換器と、
前記第１及び第２のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第１の入力端子に電気的に接続される第１の抵抗体と、
一方の端子が前記第２の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第１の抵抗体の他方の端子に電気的に接続される第２の抵抗体と、
前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の入力端子との間に設けられ、前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の入力端子とを電気的に接続する第１の接続部材と、
前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の入力端子との間に、前記第１の接続部材と分離されて設けられ、前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の入力端子とを電気的に接続する第２の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第１の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第２の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第１及び第２の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。
なお、第１の構成において、第１の抵抗体と第２の抵抗体の少なくとも一方を、並列接続した複数の抵抗器で構成することが可能である。 This specification includes at least the following configurations related to the present invention.
The first configuration is
A first input terminal;
A first impedance converter whose input is electrically connected to the first input terminal;
A second input terminal;
A second impedance converter whose input is electrically connected to the second input terminal;
An output terminal for outputting a combined output of the first and second impedance converters;
A first resistor having one terminal electrically connected to the first input terminal;
A second resistor having one terminal electrically connected to the second input terminal and the other terminal electrically connected to the other terminal of the first resistor;
Provided between the one terminal of the first resistor and the first input terminal, and electrically connects the one terminal of the first resistor and the first input terminal. A first connecting member;
The one terminal of the second resistor and the second input terminal are provided separately from the first connecting member, and the one terminal of the second resistor and the first terminal A second connecting member for electrically connecting the two input terminals;
A heat dissipating member that dissipates heat;
Provided between the first connecting member and the heat radiating member, and between the second connecting member and the heat radiating member, heat generated from the first and second resistors to the heat radiating member. An insulating member to convey,
A synthesizer comprising:
In the first configuration, at least one of the first resistor and the second resistor can be configured by a plurality of resistors connected in parallel.

第２の構成は、第１の構成の合成器であって、
前記第１及び第２の抵抗体は、それぞれ、導体の外殻を有する第１及び第２の終端器であり、前記第１及び第２の抵抗体の前記一方の端子は、それぞれ、前記第１及び第２の抵抗体の前記外殻であることを特徴とする合成器。 The second configuration is a combiner of the first configuration,
The first and second resistors are first and second terminators having outer shells of conductors, respectively, and the one terminals of the first and second resistors are respectively the first and second terminators. A combiner that is the outer shell of the first and second resistors.

第３の構成は、第１の構成又は第２の構成の合成器であって、
前記第１の接続部材と前記絶縁部材との間、及び前記第２の接続部材と前記絶縁部材との間に空間が設けられていることを特徴とする合成器。 The third configuration is a synthesizer of the first configuration or the second configuration,
A synthesizer characterized in that spaces are provided between the first connecting member and the insulating member and between the second connecting member and the insulating member.

第４の構成は、第１の構成ないし第３の構成の合成器であって、
前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の接続部材とが同電位であり、前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の接続部材とが同電位であることを特徴とする合成器。 The fourth configuration is a synthesizer of the first configuration to the third configuration,
The one terminal of the first resistor and the first connecting member have the same potential, and the one terminal of the second resistor and the second connecting member have the same potential. A synthesizer characterized by

第５の構成は、第１の構成ないし第４の構成の合成器であって、
前記絶縁部材は、前記第１及び第２の抵抗体の温度が所定値以下になるように、前記第１及び第２の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝えることを特徴とする合成器。 The fifth configuration is a synthesizer of the first configuration to the fourth configuration,
The insulating member transmits heat generated from the first and second resistors to the heat radiating member so that the temperature of the first and second resistors is equal to or lower than a predetermined value. vessel.

第６の構成は、第１の構成ないし第５の構成の合成器であって、
前記絶縁部材は、窒化アルミニウムを含むように構成されることを特徴とする合成器。 The sixth configuration is a synthesizer of the first configuration to the fifth configuration,
The synthesizer characterized in that the insulating member includes aluminum nitride.

第７の構成は、第１の構成ないし第６の構成の合成器であって、
前記第１の接続部材は、前記第１の入力端子に取り付けられる第１の入力端子配線と、前記第１の抵抗体に取り付けられる第１のフランジを含み、前記第２の接続部材は、前記第２の入力端子に取り付けられる第２の入力端子配線と、前記第２の抵抗体に取り付けられる第２のフランジを含むことを特徴とする合成器。 The seventh configuration is a synthesizer of the first configuration to the sixth configuration,
The first connection member includes a first input terminal wiring attached to the first input terminal and a first flange attached to the first resistor, and the second connection member includes the first connection member A synthesizer comprising: a second input terminal wiring attached to the second input terminal; and a second flange attached to the second resistor.

第８の構成は、
第１の入力端子と、
入力が前記第１の入力端子と電気的に接続される第１のインピーダンス変換器と、
第２の入力端子と、
入力が前記第２の入力端子と電気的に接続される第２のインピーダンス変換器と、
前記第１及び第２のインピーダンス変換器の合成出力を出力する出力端子と、
一方の端子が前記第１の入力端子に電気的に接続される第１の抵抗体と、
一方の端子が前記第２の入力端子に電気的に接続され、他方の端子が前記第１の抵抗体の他方の端子に接続される第２の抵抗体と、
を備えることを特徴とする合成器。 The eighth configuration is
A first input terminal;
A first impedance converter whose input is electrically connected to the first input terminal;
A second input terminal;
A second impedance converter whose input is electrically connected to the second input terminal;
An output terminal for outputting a combined output of the first and second impedance converters;
A first resistor having one terminal electrically connected to the first input terminal;
A second resistor having one terminal electrically connected to the second input terminal and the other terminal connected to the other terminal of the first resistor;
A synthesizer comprising:

第９の構成は、第８の構成の合成器であって、さらに、
前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の入力端子との間に設けられ、前記第１の抵抗体の前記一方の端子と前記第１の入力端子とを電気的に接続する第１の接続部材と、
前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の入力端子との間に、前記第１の接続部材と分離されて設けられ、前記第２の抵抗体の前記一方の端子と前記第２の入力端子とを電気的に接続する第２の接続部材と、
熱を放熱する放熱部材と、
前記第１の接続部材と前記放熱部材との間、及び前記第２の接続部材と前記放熱部材との間に設けられ、前記第１及び第２の抵抗体から発生する熱を前記放熱部材へ伝える絶縁部材と、
を備えることを特徴とする合成器。 The ninth configuration is a synthesizer of the eighth configuration, and further,
Provided between the one terminal of the first resistor and the first input terminal, and electrically connects the one terminal of the first resistor and the first input terminal. A first connecting member;
The one terminal of the second resistor and the second input terminal are provided separately from the first connecting member, and the one terminal of the second resistor and the first terminal A second connecting member for electrically connecting the two input terminals;
A heat dissipating member that dissipates heat;
Provided between the first connecting member and the heat radiating member, and between the second connecting member and the heat radiating member, heat generated from the first and second resistors to the heat radiating member. An insulating member to convey,
A synthesizer comprising:

１１ａ，１１ｂ…抵抗体、１２ａ，１２ｂ…終端器端子、１３ａ，１３ｂ…フランジ、１４ａ，１４ｂ…入力端子配線、１５…終端器間配線、１６…絶縁部材、１７…ヒートシンク（放熱部材）、１８…固定穴、１９ａ，１９ｂ…ブロック、３１ａ，３１ｂ…入力端子、３２…合成点、３３…出力端子、４０ａ，４０ｂ…インピーダンス変換器、４１ａ〜４４ａ，４１ｂ〜４４ｂ…コンデンサ、５０…アイソレーション抵抗等価回路、５１ａ，５１ｂ…抵抗体、５２ａ，５２ｂ…コンデンサ、１１１…抵抗体、１１２ａ，１１２ｂ…抵抗体端子、１１３ａ，１１３ｂ…フランジ、１１４ａ，１１４ｂ…入力端子配線、１１６…絶縁部材、１１７…ヒートシンク、１１８…固定穴、１３１ａ，１３１ｂ…入力端子、１３２…合成点、１３３…出力端子、１４０ａ，１４０ｂ…インピーダンス変換器、１４１ａ〜１４５ａ，１４１ｂ〜１４５ｂ…コンデンサ、１５０…アイソレーション抵抗。 11a, 11b ... resistors, 12a, 12b ... terminator terminals, 13a, 13b ... flange, 14a, 14b ... input terminal wiring, 15 ... inter-terminator wiring, 16 ... insulating member, 17 ... heat sink (heat radiating member), 18 ... Fixing hole, 19a, 19b ... Block, 31a, 31b ... Input terminal, 32 ... Composite point, 33 ... Output terminal, 40a, 40b ... Impedance converter, 41a-44a, 41b-44b ... Capacitor, 50 ... Isolation resistance Equivalent circuit, 51a, 51b ... resistor, 52a, 52b ... capacitor, 111 ... resistor, 112a, 112b ... resistor terminal, 113a, 113b ... flange, 114a, 114b ... input terminal wiring, 116 ... insulating member, 117 ... Heat sink 118 ... fixing hole 131a, 131b ... input terminal 132 ... composite point 133 ... out Terminal, 140a, 140b ... impedance converter, 141a~145a, 141b~145b ... capacitor, 150 ... isolation resistor.

Claims

A first input terminal;
A first impedance converter whose input is electrically connected to the first input terminal;
A second input terminal;
A second impedance converter whose input is electrically connected to the second input terminal;
An output terminal for outputting a combined output of the first and second impedance converters;
A first resistor having one terminal electrically connected to the first input terminal;
A second resistor having one terminal electrically connected to the second input terminal and the other terminal electrically connected to the other terminal of the first resistor;
Provided between the one terminal of the first resistor and the first input terminal, and electrically connects the one terminal of the first resistor and the first input terminal. A first connecting member;
The one terminal of the second resistor and the second input terminal are provided separately from the first connecting member, and the one terminal of the second resistor and the first terminal A second connecting member for electrically connecting the two input terminals;
A heat dissipating member that dissipates heat;
Provided between the first connecting member and the heat radiating member, and between the second connecting member and the heat radiating member, heat generated from the first and second resistors to the heat radiating member. An insulating member to convey,
A synthesizer comprising:

A synthesizer according to claim 1, wherein
The first and second resistors are first and second terminators having outer shells of conductors, respectively, and the one terminals of the first and second resistors are respectively the first and second terminators. A combiner that is the outer shell of the first and second resistors.

A first input terminal;
A first impedance converter whose input is electrically connected to the first input terminal;
A second input terminal;
A second impedance converter whose input is electrically connected to the second input terminal;
An output terminal for outputting a combined output of the first and second impedance converters;
A first resistor having one terminal electrically connected to the first input terminal;
A second resistor having one terminal electrically connected to the second input terminal and the other terminal connected to the other terminal of the first resistor;
A synthesizer comprising: