JP2015013413A - 液滴吐出ヘッド及び画像形成装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】液体供給部111cは、その液体供給部111cから流体抵抗部111bを介して個別液室111aに向かう液体供給方向に直交する流路断面における断面積が個別液室111aの流路断面における断面積よりも小さく且つ流体抵抗部111bの流路断面における断面積よりも大きい断面積低減領域111eを有する。
【選択図】図15
Description
ピエゾ方式の記録ヘッドは、個別液室の壁の一部を薄い振動板とし、この振動板に対応して電気機械変換素子としての圧電素子を配置したものである(例えば特許文献1参照)。このピエゾ方式では、電圧印加に伴って発生する圧電素子の変形により振動板を変形させることで個別液室内の圧力を変化させ、ノズルからインク滴を吐出させる。
静電方式の記録ヘッドは、個別液室の壁面を形成する振動板と、この振動板に対向して配置された個別液室外の個別電極とを備えている(例えば、特許文献2参照)。この静電方式では、振動板と電極との間に電界を印加することで発生する静電力により振動板を変形させることで個別液室内の圧力/体積を変化させ、ノズルからインク滴を吐出させる。
バブルジェット方式の記録ヘッドは、個別液室の内部に発熱体素子を配置し、通電による発熱体の加熱によって気泡を発生させ、気泡の圧力によってインク滴を吐出させるものである。
例えば、特許文献3には、振動板の一部に複数の孔を設けてフィルタ部とし、そのフィルタ部を共通インク室(共通液室)とインク供給路(液体供給部)との間に設置した記録ヘッドが開示されている。
また、特許文献4には、共通液室と圧力室(個別液室)との間の振動板に形成された液体供給口に、ノズルよりも小さい開口面積を有する複数の供給孔を有するフィルタ部を配置した液滴吐出ヘッドが開示されている。
まず、本発明の実施形態に係る液滴吐出装置としての画像形成装置の一例について説明する。
図1は、本発明の実施形態に係る画像形成装置の全体の概略構成の一例を示す透視斜視図である。また、図2は同画像形成装置の機構部を側面からみた説明図である。
本実施形態の画像形成装置は、インクジェット記録装置の例であり、画像形成機構部(画像形成機構部)82等を収納するように構成されている。画像形成機構部82は、装置本体81の内部に主走査方向に移動可能なキャリッジ93と、そのキャリッジ93に搭載した液滴吐出ヘッド94と、液滴吐出ヘッド94へ画像形成用の液体(インク)を供給する液体カートリッジ95等を備える。画像形成装置において、液滴吐出ヘッドは記録ヘッドやインクジェットヘッドとも呼ばれる。
図3(a)は、本実施形態に係る液滴吐出ヘッド94の内部構造を示す部分平面図である。図3(b)は、図3(a)の液滴吐出ヘッド94の切断面A−A’から見た部分断面図である。図3(c)は、図3(a)の液滴吐出ヘッドの切断面B−B’から見た部分断面図である。本実施形態の液滴吐出ヘッド94は、液滴を基板の面部に設けたノズルから吐出させるサイドシューター方式の一例である。
図4〜図14は、本実施例の液滴吐出ヘッド94の作製工程の一例を示す説明図である。
本実施例においては、シリコン基板に振動板材料及び圧電素子材料を成膜していくことでアクチュエータ部を作成していく。
図4の振動板成膜の工程では、まず、厚み400[μm]のシリコン基板の表面にシリコン酸化膜を0.2[μm]及びシリコン層を2.0[μm]を形成したSOI基板を用いる。このSOI基板の表面にパイロ(Wet)酸化法によりシリコン酸化膜を0.3[μm]形成し、これを振動板113の層とする。
本実施形態の液滴吐出ヘッド94のように液体供給部111cと共通液室112bとを区画する液体フィルタ部113aを設けた構成について、本発明者らが実験等を行ったところ、次のように液滴の吐出速度が低下する場合があることがわかった。供給孔113bが形成されている液体フィルタ部113aの近辺では、液体の通過時に流体抵抗を受けるため、液体フィルタ部113aが振動を起こしてしまう。そして、異物が供給孔113bに詰まって供給孔113bを閉塞することにより、さらに流体抵抗が増大し、液体フィルタ部113aの振動を増幅してしまう。この液体フィルタ部113aの振動により、液体フィルタ部113aが設けられた液体供給部111cに流体抵抗部116bを介して連通している個別液室111a内の液滴吐出時の圧力が低下するおそれがある。つまり、ノズル110aから液滴を吐出させるべく圧電素子114で振動板113を変形させて個別液室111a内の圧力を高めているタイミングに、液体フィルタ部113aが振動によって共通液室112b側に変形する場合がある。この液体フィルタ部113aの変形により、個別液室111a内の液体を引き込むように液体供給部111cの圧力が変化するため、個別液室111a内の液滴吐出時の圧力が低下する。このように個別液室111a内の液滴吐出時の圧力が低下すると、個別液室111aに連通しているノズル110aから吐出する液滴の吐出速度が低下してしまう。
図15は、実施例1に係る個別液室基板111の構成例を示す部分断面図である。なお、実施例1の液滴吐出ヘッドの全体構成は、前述の図1〜図14を用いて説明したものと同等である。また、図中の軸Zは、個別液室基板111に構成されている吐出チャンネルの長手方向に沿った中心軸である(以下の図面においても同様)。
図18は、実施例2に係る個別液室基板111の構成例を示す部分断面図である。なお、実施例2の液滴吐出ヘッドの全体構成は、前述の図1〜図14を用いて説明したものと同等である。実施例2は、液体供給部111cの形状だけが実施例1とは異なる。
図19、図20及び図21はそれぞれ、実施例3に係る個別液室基板111の構成例を示す部分断面図である。なお、実施例3の液滴吐出ヘッドの全体構成は、前述の図1〜図14を用いて説明したものと同等である。実施例3は、液体供給部111cの形状だけが実施例1とは異なる。
図19の構成例では、液体供給部111cの内壁面の形状が長手方向に延在する中心軸Zに関して非対称の形状になるように、液体供給部111cを形成している。このように液体供給部111cを形成することにより、液体フィルタ部113aの各張り出し部111gに面している部分は互いに同じ剛性であるが、その部分の振動の中心位置が異なる。そして、液体フィルタ部113aの液体供給部111cに面している部分は、振動の固有周波数(固有周期)が互いに異なる複数の区画VM1〜VM3に区画される。これにより、液体フィルタ部113aの液体供給部111cに面している部分の振動モード(固有周波数)を複数の区画VM1〜VM3にそれぞれにおける複数種類の振動モード(固有周波数)に分散させ、液体フィルタ部113aの振動をより確実に抑制することができる。更に、上記振動モードの分散により、液体フィルタ部113aの振動周波数(振動周期)が変化し、個別液室111aの圧力を下げようとする液体フィルタ部113aの動きが複数の区画VM1〜VM3の振動モード間でずれる。従って、個別液室111aの圧力低下を最小限に抑えることができる。
図22、図23及び図24はそれぞれ、実施例4に係る個別液室基板111の構成例を示す部分断面図である。なお、実施例4の液滴吐出ヘッドの全体構成は、前述の図1〜図14を用いて説明したものと同等である。また、実施例4は、液体供給部111cの形状だけが実施例1とは異なる。
図25及び図26はそれぞれ、実施例5に係る個別液室基板111の構成例を示す部分断面図である。なお、実施例5の液滴吐出ヘッドの全体構成は、前述の図1〜図14を用いて説明したものと同等である。また、実施例5は、液体供給部111cの形状だけが実施例1とは異なる。
(態様A)
液滴を吐出するノズル110aと、ノズル110aに連通する個別液室111aと、個別液室111aに圧力を発生させる圧電素子114などの圧力発生手段と、個別液室111aに流体抵抗部111bを介して連通する液体供給部111cと、液体供給部111cと共通液室112bとの間に設けられた液体フィルタ部113aと、を備え、液体供給部111cと共通液室112bとは、液体フィルタ部113aの供給孔113bを介して連通している液滴吐出ヘッド94であって、液体供給部111cは、その液体供給部111cから流体抵抗部111bを介して個別液室111aに向かう液体供給方向に直交する流路断面における断面積が個別液室111aの流路断面における断面積よりも小さく且つ流体抵抗部111bの流路断面における断面積よりも大きい断面積低減領域111eを有する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、共通液室112bとの間が液体フィルタ部113aで区画された液体供給部111cが、流路断面における断面積が個別液室111aの流路断面における断面積よりも小さい断面積低減領域111eを有する。この断面積低減領域111eにおいて、液体フィルタ部113aの液体供給部111cに露出している部分の面積を低減し、液体フィルタ部113aが支持されている面積を向上させることができることにより、液体フィルタ部113aの剛性すなわち機械的強度を高めることができる。従って、液体フィルタ部113aに設けた供給孔113bに異物が詰まったときの液体フィルタ部113aの振動を抑制でき、その液体フィルタ部113aの固有振動による個別液室111a内の圧力低下に起因した液滴の吐出速度の低下を防止できる。
更に、上記液体供給部111cが断面積低減領域111eを有することによって液体フィルタ部113aの剛性を高めることができるので、液体フィルタ部113aの剛性を高めるために液体フィルタ部113aを厚くする必要がない。
また、上記液体供給部111cの断面積低減領域111eの流路断面における断面積は、その液体供給部111cと個別液室111aとの間に介在する流体抵抗部111bの流路断面における断面積よりも大きい。従って、流体抵抗部111bを介した個別液室111aへの液体供給機能を維持することができる。
よって、個別液室111aへの液体供給機能を維持しつつ、個別液室側の空間と共通液室112bとを区画する液体フィルタ部113aを厚くすることなく、その液体フィルタ部113aに設けた供給孔113bに異物が詰まったときの液滴の吐出速度の低下を防止できる。
(態様B)
上記態様Aにおいて、液体供給部111cの断面積低減領域111eは、前記液体供給方向において前記流路断面の断面積が略一定である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体フィルタ部113aの液体供給部111cに露出している部分の面積をより確実に低減することができるので、液体フィルタ部113aの剛性すなわち機械的強度をより確実に高めることができる。
(態様C)
上記態様A又は態様Bにおいて、液体フィルタ部113aは、前記液体供給方向に1列に並ぶように複数の供給孔113bが形成されている。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体供給部111cの断面積低減領域が、液体フィルタ部113aに形成される複数の供給孔113bと干渉しにくくなるので、断面積低減領域111eによる液体フィルタ部113aの高剛性化が容易になる。
(態様D)
上記態様A乃至Cのいずれかにおいて、液体供給部111cの断面積低減領域111eは、前記液体供給方向と直交する方向における流路幅が、供給孔113bの直径より大きい。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体供給部111cの断面積低減領域111eにおける流路幅と供給孔113bのとの間に高いアライメント精度が要求されないため、低コスト化を図ることができる。また、液体供給部111cの断面積低減領域111eと液体フィルタ部113aに形成される複数の供給孔113bとの干渉も発生しにくくなる。
(態様E)
上記態様A乃至Dのいずれかにおいて、液体供給部111cは、前記液体供給方向と直交する方向における流路幅が部分的に広くなった張り出し部111gを有する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、張り出し部111gにおいて、複数の供給孔113bを形成できることにより、供給孔113bの数を増やすことができるので、液体供給部111cへの液体の供給能力を確保できる。更に、張り出し部111gにおいて、液体が通過可能な開口面積の低下を抑制し、液体供給部111cにおける流体抵抗の増大を抑制できる。従って、液体供給部111cから個別液室111aへの液体の供給不足を回避できる。
(態様F)
上記態様Eにおいて、液体供給部111cの断面積低減領域111eは、前記液体供給方向における複数箇所それぞれに張り出し部111gを有し、複数の張り出し部111gそれぞれの前記液体供給方向における長さは、2種類以上である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体フィルタ部113aの振動における境界条件を複数有することになるため、液体フィルタ部113aの振動モードを複数種類の振動モードに分散させることができる。この振動モードの分散により、液体フィルタ部113aに設けた供給孔113bに異物が詰まったときの液体フィルタ部113aの振動をより確実に抑制できる。更に、上記振動モードの分散により、液体フィルタ部113aの振動周波数(振動周期)が変化し、個別液室111aの圧力を下げようとする液体フィルタ部113aの動きが複数種類の振動モード間でずれる。従って、個別液室111aの圧力低下を最小限に抑えることができる。
(態様G)
上記態様A乃至Fのいずれかにおいて、液体供給部111cの前記液体供給方向の中心軸を挟んで互いに対向している複数の内側面の形状は、その液体供給方向の中心軸に関して非対称性である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体フィルタ部113aの振動モードを複数種類の振動モードに分散させることができる。この振動モードの分散により、液体フィルタ部113aに設けた供給孔113bに異物が詰まったときの液体フィルタ部113aの振動をより確実に抑制できる。更に、上記振動モードの分散により、液体フィルタ部113aの振動周波数(振動周期)が変化し、個別液室111aの圧力を下げようとする液体フィルタ部113aの動きが複数種類の振動モード間でずれる。従って、個別液室111aの圧力低下を最小限に抑えることができる。
(態様H)
上記態様A乃至Gのいずれかにおいて、前記液体供給方向に断面積低減領域111eを複数備え、複数の断面積低減領域111eそれぞれの、前記液体供給方向と直交する方向における流路幅は、2種類以上である。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体フィルタ部113aの振動モードを複数種類の振動モードに分散させることができる。この振動モードの分散により、液体フィルタ部113aに設けた供給孔113bに異物が詰まったときの液体フィルタ部113aの振動をより確実に抑制できる。更に、上記振動モードの分散により、液体フィルタ部113aの振動周波数(振動周期)が変化し、個別液室111aの圧力を下げようとする液体フィルタ部113aの動きが複数種類の振動モード間でずれる。従って、個別液室111aの圧力低下を最小限に抑えることができる。
(態様I)
上記態様A乃至Hのいずれかにおいて、液体供給部111cは、供給孔113bから流体抵抗部111bに至る経路が互いに異なる複数の液体供給路を有する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体フィルタ部113aの液体供給方向と直交する方向における中央部分を支持できるようになるため、液体フィルタ部113aの剛性すなわち機械的強度をより確実に高めることができる。
(態様J)
上記態様A乃至Iのいずれかにおいて、液体供給部111cは、その液体供給部111cの内壁から離間した位置で液体フィルタ部113aに接触して液体フィルタ部113aを支持する柱状の支持部111hを有する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体供給部111cの内壁から離間した位置で液体フィルタ部113aの中央部分を支持できるため、液体フィルタ部113aの剛性すなわち機械的強度をより確実に高めることができるともに、供給孔113bの数を増やすことができる。
(態様K)
上記態様Jにおいて、前記支持部111i,111jを複数有する。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体フィルタ部113aの中央部分の複数位置で液体フィルタ部113aを支持できるようになるため、液体フィルタ部113aの剛性すなわち機械的強度をより確実に高めることができる。
(態様L)
上記態様A乃至Kのいずれかにおいて、液体供給部111cは、その内壁面の一部を液体供給方向に対して傾けたテーパー形状及び内壁面の角部を丸めた形状の少なくとも一方を有している。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体供給部111cにおける気泡を排出する機能を向上させることができる。
(態様M)
上記態様A乃至Lのいずれかにおいて、液体供給部111c及び個別液室111aそれぞれの内壁の一部を構成するように延在する振動板113を備え、前記圧力発生手段は、振動板113を駆動して振動させることにより個別液室111aに圧力を発生させ、液体フィルタ部113aは、振動板113の液体供給部111c側に延在している部分で構成されている。
これによれば、上記実施形態について説明したように、個別液室111aに圧力を発生させるときに駆動される振動板113を、液体供給部111cと共通液室112bとを区画する液体フィルタ部113aに兼用できるため、低コスト化を図ることができる。
(態様N)
上記態様A乃至Mのいずれかにおいて、供給孔113bは、ノズル110aよりも開口面積が小さい。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液体に混入する異物によるノズル110aの詰まりをより確実に防止できる。
(態様O)
画像形成装置であって、上記態様A乃至Nのいずれかの液滴吐出ヘッド94を備える。
これによれば、上記実施形態について説明したように、液滴吐出ヘッド94から吐出される液滴の吐出速度の低下を防止できるので、高品質の画像を安定して形成することができる。
82 画像形成機構部
94 液滴吐出ヘッド
110 ノズル基板
110a ノズル
111 個別液室基板
111a 個別液室
111b 流体抵抗部
111c 液体供給部
111d 流路隔壁
111e 断面積低減領域
111f テーパー部
111g 張り出し部
111h 柱状の支持部
111i 柱状の支持部
111j 柱状の支持部
111k テーパー部
112 保護基板
112a 凹部
112b 共通液室
112d 開口
113 振動板
113a 液体フィルタ部
113b 供給孔
114 圧電素子
114a 上部電極(個別電極)
114b 圧電層(圧電膜)
114c 下部電極(共通電極)
Claims (15)
- 液滴を吐出するノズルと、
前記ノズルに連通する個別液室と、
前記個別液室に圧力を発生させる圧力発生手段と、
前記個別液室に流体抵抗部を介して連通する液体供給部と、
前記液体供給部と共通液室との間に設けられた液体フィルタ部と、を備え、
前記液体供給部と前記共通液室とは、前記液体フィルタ部の供給孔を介して連通している液滴吐出ヘッドであって、
前記液体供給部は、該液体供給部から前記流体抵抗部を介して前記個別液室に向かう液体供給方向に直交する流路断面における断面積が前記個別液室の該流路断面における断面積よりも小さく且つ該流体抵抗部の該流路断面における断面積よりも大きい断面積低減領域を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部の断面積低減領域は、前記液体供給方向において前記流路断面の断面積が略一定であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1又は2の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体フィルタ部は、前記液体供給方向に1列に並ぶように複数の供給孔が形成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至3のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部の断面積低減領域は、前記液体供給方向と直交する方向における流路幅が、前記供給孔の直径より大きいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至4のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部は、前記液体供給方向と直交する方向における流路幅が部分的に広くなった張り出し部を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項5の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部の断面積低減領域は、前記液体供給方向における複数箇所それぞれに前記張り出し部を有し、
前記複数の張り出し部それぞれの前記液体供給方向における長さは、2種類以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至6のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部の前記液体供給方向の中心軸を挟んで互いに対向している複数の内側面の形状は、該液体供給方向の中心軸に関して非対称性であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至7のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給方向に前記断面積低減領域を複数備え、
前記複数の断面積低減領域それぞれの、前記液体供給方向と直交する方向における流路幅は、2種類以上であることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至8のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部は、前記供給孔から前記流体抵抗部に至る経路が互いに異なる複数の液体供給路を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至9のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部は、その液体供給部の内壁から離間した位置で前記液体フィルタ部に接触して該液体フィルタ部を支持する柱状の支持部を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項10の液滴吐出ヘッドにおいて、
前記支持部を複数有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至11のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部は、その内壁面の一部を液体供給方向に対して傾けたテーパー形状及び該内壁面の角部を丸めた形状の少なくとも一方を有することを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至12のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記液体供給部及び前記個別液室それぞれの内壁の一部を構成するように延在する振動板を備え、
前記圧力発生手段は、前記振動板を駆動して振動させることにより前記個別液室に圧力を発生させ、
前記液体フィルタ部は、前記振動板の前記液体供給部側に延在している部分で構成されていることを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至13のいずれかの液滴吐出ヘッドにおいて、
前記供給孔は、前記ノズルよりも開口面積が小さいことを特徴とする液滴吐出ヘッド。 - 請求項1乃至14のいずれかの液滴吐出ヘッドを備えたことを特徴とする画像形成装置。
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JP6241713B2 (ja) | 2017-12-06 |
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