JP2014237086A - 超臨界処理装置 - Google Patents
超臨界処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014237086A JP2014237086A JP2013120561A JP2013120561A JP2014237086A JP 2014237086 A JP2014237086 A JP 2014237086A JP 2013120561 A JP2013120561 A JP 2013120561A JP 2013120561 A JP2013120561 A JP 2013120561A JP 2014237086 A JP2014237086 A JP 2014237086A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carbon dioxide
- dioxide gas
- supercritical
- supercritical carbon
- reverse
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000011282 treatment Methods 0.000 title claims abstract description 14
- CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N Carbon dioxide Chemical compound O=C=O CURLTUGMZLYLDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 140
- 229910002092 carbon dioxide Inorganic materials 0.000 claims abstract description 70
- 239000001569 carbon dioxide Substances 0.000 claims abstract description 70
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims abstract description 9
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims abstract description 8
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 7
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 238000011276 addition treatment Methods 0.000 claims description 5
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 claims description 3
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 claims description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 abstract description 7
- 230000002950 deficient Effects 0.000 abstract description 3
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 abstract 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 abstract 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000835 fiber Substances 0.000 description 4
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N n-Hexane Chemical compound CCCCCC VLKZOEOYAKHREP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 2
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 2
- 239000012071 phase Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 1
- 230000001174 ascending effect Effects 0.000 description 1
- 238000004043 dyeing Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 1
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 239000007791 liquid phase Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 1
- 239000002861 polymer material Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 239000000047 product Substances 0.000 description 1
- 230000001105 regulatory effect Effects 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Cleaning In General (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Abstract
【解決手段】 超臨界炭酸ガスを用いて洗浄、乾燥、反応、機能性付加処理、浸透処理のいずれかを行なう処理容器と、この処理容器へ1〜7MPaの低圧炭酸ガス貯槽からの低圧炭酸ガスを超臨界発生部で超臨界炭酸ガスにして充填する超臨界炭酸ガス供給装置と、前記処理容器から超臨界炭酸ガスを排出させる排出装置と、前記処理容器に充填された超臨界状態の炭酸ガスを循環させるキャンドモーターポンプが介装された循環ラインと、この循環ラインのキャンドモーターポンプに設けた超臨界状態でない状態で大気開放あるいは、前記超臨界炭酸ガス供給装置の低圧炭酸ガス貯槽へリバースするリバースラインとで超臨界処理装置を構成している。
【選択図】 図1
Description
また、ヘキサン等の有機溶媒に代わる反応場として、超臨界炭酸ガス中で反応を行なうことが知られている。
これらは超臨界炭酸ガスの溶媒性と浸透性、拡散性を利用して得られる加工技術である。
一般にキャンドモーターポンプは液体である流体に用いられ、キャビテーション等、気体を巻き込むと早期に破損する。
ただし、図面はもっぱら解説のためのものであって、本発明の技術的範囲を限定するものではない。
(1)請求項1により、超臨界状態ではない状態で大気開放あるいは、超臨界炭酸ガス供給装置の低圧炭酸ガス貯槽へリバースするリバースラインによって、キャンドモーターポンプより超臨界炭酸ガスを常時確実に安定してリバースさせることができる。
したがって、除熱不良や潤滑不良を阻止して、ポンプの破損を効率よく防止することができる。
(2)前記(1)によって、従来のように処理容器内へリバースすると、リバースされる超臨界炭酸ガスの圧力だけでの循環となり、循環されなくなる不具合が生じるが、このような不具合を確実に防止できる。
循環ラインのキャンドモーターポンプの2次側に熱交換器を介装しているので、循環ラインの温度変化を処理容器へ伝えることなく超臨界炭酸ガスを処理容器へ戻すことができる。
(3)請求項2も前記(1)、(2)と同様な効果が得られるとともに、リバースラインに設けた流量調節器によって、リバース量を安定して測定し、流量調節を行なうことができる。
(4)請求項3も前記(1)、(2)と同様な効果が得られるとともに、リバースされる超臨界炭酸ガスを有効に使用することができる。
したがって、除熱不良や潤滑不良を引き起こすのを阻止し、ポンプの破損を防止することができる。
次に、図2ないし図4に示す本発明を実施するための異なる形態につき説明する。なお、これらの本発明を実施するための異なる形態の説明に当って、前記本発明を実施するための第1の形態と同一構成部分には同一符号を付して重複する説明を省略する。
2:処理容器、 3:液化炭酸ガス貯槽、
4:超臨界発生部 5:流量調節弁、
6:超臨界炭酸ガス供給装置、 7:流量調節弁、
8、8A:超臨界炭酸ガス排出装置、
9:キャンドモーターポンプ、
10:循環ライン、 11:流量計、
12:流量調節弁、 13:流量調節部、
14、14A:リバースライン。
Claims (3)
- 超臨界炭酸ガスを用いて洗浄、乾燥、反応、機能性付加処理、浸透処理のいずれかを行なう処理容器と、この処理容器へ1〜7MPaの低圧炭酸ガス貯槽からの低圧炭酸ガスを超臨界発生部で超臨界炭酸ガスにして充填する超臨界炭酸ガス供給装置と、前記処理容器から超臨界炭酸ガスを排出させる排出装置と、前記処理容器に充填された超臨界状態の炭酸ガスを循環させるキャンドモーターポンプが介装された循環ラインと、この循環ラインのキャンドモーターポンプに設けた超臨界状態でない状態で大気開放あるいは、前記超臨界炭酸ガス供給装置の低圧炭酸ガス貯槽へリバースするリバースラインとからなることを特徴とする超臨界処理装置。
- 低圧炭酸ガス貯槽へリバースする、あるいは大気開放するリバースラインに流量調節部を介装したことを特徴とする請求項1記載の超臨界処理装置。
- 排出装置は低圧炭酸ガス貯槽へリバースするリバースラインへ1〜7MPaの低圧炭酸ガスにして排出できるように構成されていることを特徴とする請求項1、2いずれかに記載の超臨界処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013120561A JP6259589B2 (ja) | 2013-06-07 | 2013-06-07 | 超臨界処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013120561A JP6259589B2 (ja) | 2013-06-07 | 2013-06-07 | 超臨界処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014237086A true JP2014237086A (ja) | 2014-12-18 |
JP6259589B2 JP6259589B2 (ja) | 2018-01-10 |
Family
ID=52134749
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013120561A Active JP6259589B2 (ja) | 2013-06-07 | 2013-06-07 | 超臨界処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6259589B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106737737A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-05-31 | 国网山东省电力公司鄄城县供电公司 | 架空输电线清洗机器人和系统 |
CN115559916A (zh) * | 2022-10-19 | 2023-01-03 | 中国核动力研究设计院 | 屏蔽式一体化超临界二氧化碳压气机 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09206044A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-12 | Nippon Tansan Kk | 超臨界流体による連続処理装置 |
JP2004249220A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Seiko Epson Corp | 超臨界反応装置、超臨界流体の回収方法、およびこれを用いた電気光学パネルの製造方法 |
JP2010148632A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Sharp Corp | 洗浄装置 |
JP2012243776A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-10 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
-
2013
- 2013-06-07 JP JP2013120561A patent/JP6259589B2/ja active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH09206044A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-12 | Nippon Tansan Kk | 超臨界流体による連続処理装置 |
JP2004249220A (ja) * | 2003-02-20 | 2004-09-09 | Seiko Epson Corp | 超臨界反応装置、超臨界流体の回収方法、およびこれを用いた電気光学パネルの製造方法 |
JP2010148632A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Sharp Corp | 洗浄装置 |
JP2012243776A (ja) * | 2011-05-13 | 2012-12-10 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN106737737A (zh) * | 2016-12-22 | 2017-05-31 | 国网山东省电力公司鄄城县供电公司 | 架空输电线清洗机器人和系统 |
CN115559916A (zh) * | 2022-10-19 | 2023-01-03 | 中国核动力研究设计院 | 屏蔽式一体化超临界二氧化碳压气机 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6259589B2 (ja) | 2018-01-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4764411B2 (ja) | pH調整システムおよびpH調整方法 | |
KR101267110B1 (ko) | Lng 연료 공급 시스템 | |
JP6259589B2 (ja) | 超臨界処理装置 | |
US20090056645A1 (en) | Rotational vessel heating | |
Sohaib et al. | Post-combustion CO2 capture by coupling [emim] cation based ionic liquids with a membrane contactor; Pseudo-steady-state approach | |
WO2018117272A1 (ja) | 水素生成装置および水素生成方法 | |
KR20120127203A (ko) | 기판 처리 장치, 기판 처리 방법, 및 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체 | |
CN104879264A (zh) | 循环型渗透压发电系统和方法、工作介质及其相控制方法 | |
WO2009157094A1 (ja) | 断続的に真空を作る方法及び装置 | |
JP4764412B2 (ja) | pH調整装置 | |
JP6189650B2 (ja) | 超臨界処理装置 | |
KR102227882B1 (ko) | Ess 기반의 선박용 원자로 비상냉각 장치 | |
JP2009168377A (ja) | 発電設備及び発電設備の水質管理方法 | |
KR101444315B1 (ko) | 재기화 설비를 이용한 에너지 회수장치 및 그의 운용방법 | |
CN202516527U (zh) | 密封液加注装置和卧式加压浸出反应系统 | |
CN111638036A (zh) | 高温高压含气透平实验装置 | |
CN206408297U (zh) | 应用于次氯酸钠发生器中的自动补水型饱和盐水生成装置 | |
JP2006160835A (ja) | ガスハイドレート生成装置および生成方法 | |
JP2015218784A (ja) | 貯留槽内低温液体の混合方法及び装置 | |
CN104110274A (zh) | 低温热发电膨胀机的润滑及冷却系统 | |
WO2015160075A1 (ko) | 스컴 제거 및 소화가스 생성량 증가용 내부순환 장치를 구비한 혐기소화 설비 | |
Shuhua et al. | Cryogenic liquid slug and Taylor bubble length distributions in an inclined tube | |
US20230234111A1 (en) | System and method for the selective extraction of viscous hydrocarbons from tanks and other containers | |
JP5377010B2 (ja) | 液体処理装置 | |
CN207899264U (zh) | 一种超滤蒸汽渗透溶剂纯化设备 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20160406 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20170222 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170307 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170425 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20170602 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20170727 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20171204 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20171211 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6259589 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |