JP2014225535A - 被加工物の切削方法 - Google Patents
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Abstract
Description
図1は、実施形態に係る切削装置の構成例を示す概略構成図である。本実施形態は、被加工物の切削方法に関する。本実施形態に係る被加工物の切削方法は、図1に示すように、切削装置1を用いて矩形状の板状の被加工物W(図3参照)を切削するものである。
粘着テープ貼着ステップは、図2および図3に示すように、粘着テープTの粘着面Taに被加工物Wの裏面Wbを貼着するステップである。粘着テープTは、基材Tc(図6参照)の片面に粘着材を有する粘着面Taが設けられており、いわゆるダイシングテープと呼ばれるものである。
保持ステップは、上記粘着テープ貼着ステップの後に、粘着テープTを介して被加工物Wをチャックテーブル10で吸引保持するステップである。保持ステップは、図5に示すように、切削装置1のチャックテーブル10により実施される。
切削ステップは、上記保持ステップの後に、切削ブレード21に切削液Lを供給しながら、切削ブレード21と被加工物Wを保持したチャックテーブル10とを切削送り方向に相対移動させ、切削ブレード21で被加工物Wに切削溝を形成するステップである。切削ステップは、図6に示すように、切削装置1の切削手段20により実施される。
次に、図8を参照して、実施形態に係る被加工物の切削方法の変形例について説明する。図8は、実施形態に係る被加工物の切削方法の変形例を示す説明図である。本実施形態に係る被加工物の切削方法の変形例は、切削装置1を用いて円形状の板状の被加工物Wを切削するものである。
10 チャックテーブル
11 保持面
20 切削手段
21 切削ブレード
L 切削液
T 粘着テープ
Ta 粘着面
Tb 自由端
W 被加工物
Wb 裏面
X 切削送り方向
Claims (2)
- 保持面で被加工物を吸引保持するチャックテーブルと、前記チャックテーブルに保持された前記被加工物を切削する切削ブレードを含む切削手段と、を備えた切削装置を用いて板状の被加工物を切削する被加工物の切削方法であって、
外周が自由端である粘着テープの粘着面に前記被加工物の裏面を貼着する粘着テープ貼着ステップと、
前記粘着テープ貼着ステップの後に、前記粘着テープを介して前記被加工物を前記チャックテーブルで吸引保持する保持ステップと、
前記保持ステップの後に、前記切削ブレードに切削液を供給しながら、前記切削ブレードと前記被加工物を保持した前記チャックテーブルとを切削送り方向に相対移動させ、前記切削ブレードで前記被加工物に切削溝を形成する切削ステップと、を含み、
前記保持ステップでは、前記粘着テープの自由端が前記チャックテーブルの保持面からはみ出して位置付けられることを特徴とする被加工物の切削方法。 - 前記粘着テープは前記保持面を覆う面積を有し、
前記保持ステップでは、前記粘着テープの全周が前記保持面からはみ出していることを特徴とする請求項1記載の被加工物の切削方法。
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