JP2014175483A - 基板処理装置、及び半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板を処理するための処理室であって、分割構造体により、処理ガス導入領域と不活性ガス導入領域とに分割される処理室と、処理室内に設けられた基板載置台であって、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台と、基板載置台を前記載置面と平行な方向に回転させる回転駆動部と、処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するガス導入部と、前記載置面と対向する第1の面に第1の排気孔を有し、処理ガス導入領域において基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管と、前記第1の面と対向する第2の面に第2の排気孔を有し、処理ガス導入領域において基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、を有するように基板処理装置を構成する。
【選択図】図5
Description
本発明の目的は、処理ガスが他の処理領域に移動することを抑制することのできる基板処理装置および半導体装置の製造方法を提供することにある。
基板を処理するための処理室であって、分割構造体により、処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割される処理室と、
前記処理室内に設けられた基板載置台であって、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台と、
前記基板載置台を前記載置面と平行な方向に回転させる回転駆動部と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するガス導入部と、
前記載置面と対向する第1の面に第1の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管と、
前記第1の面と対向する第2の面に第2の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、
を有する基板処理装置。
処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割された処理室へ基板を搬入し、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台に基板を載置する基板載置工程と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するとともに、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管に前記載置面と対向するように設けられた第1の排気孔と、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管に前記載置面と同じ向きになるように設けられた第2の排気孔とから前記導入した処理ガスを排気し、前記基板載置台に載置された基板を処理する基板処理工程と、
前記基板処理工程の後、前記処理室から基板を搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
(1)基板処理装置の構成
まずは、本発明の第1実施形態に係る基板処理装置の構成について、図1と図2を参照しながら説明する。図1は、第1実施形態に係る多枚葉式の基板処理装置10の概略上面図である。図2は、第1実施形態に係る基板処理装置の概略縦断面図である。
続いて、第1実施形態に係る処理室202の構成について、主に図3〜図8を用いて説明する。この処理室202は、例えば上述した第一の処理室202bである。図3は、第1実施形態に係る処理室の概略横断面図である。図4は、第1実施形態に係る処理室の概略縦断面図であり、図3に示す処理室のA−A’線断面図である。図5は、第1実施形態に係る排気配管の説明図(上面図)である。図6は、第1実施形態に係る排気配管の説明図(縦断面図)である。図7は、第1実施形態に係る排気配管の説明図(斜視図)である。図8は、第1実施形態に係る排気の説明図である。
図3〜図4に示すように、処理室202は、筒状の気密容器である反応容器203を備えている。反応容器203内には、基板200の処理空間207が形成されている。反応容器203内の処理空間207の上側には、中心部から放射状に延びる4枚の仕切板205が設けられている。仕切板205は、反応容器天井203aに取り付けられている。4枚の仕切板205は、処理空間207を4つの領域、すなわち、第一の処理領域201a、第一のパージ領域204a、第二の処理領域201b、第二のパージ領域204bに仕切るように構成されている。言い換えれば、処理領域とパージ領域が隣接した状態で配置されている。なお、第一の処理領域201a、第一のパージ領域204a、第二の処理領域201b、第二のパージ領域204bは、後述するサセプタ(基板載置台)217の回転方向(図3の矢印B)に沿って、この順番に配列するように構成されている。
このように、仕切板205は、処理室202内を、処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割する分割構造体である。仕切板205は、例えばアルミニウムや石英等の材料で形成される。
また、反応容器203内には、反応容器203内を排気する第1の排気配管51や第2の排気配管53や第3の排気配管54等が配設されているが、図が解りにくくなるため、図3と図4では示していない。第1の排気配管51や第2の排気配管53や第3の排気配管54等については後述する。
図3〜図4に示すように、仕切板205の下側、すなわち反応容器203内の底側中央には、反応容器203の中心に回転軸の中心を有し、回転自在に構成された基板載置台としてのサセプタ217が設けられている。サセプタ217は、基板200の金属汚染を低減することができるように、例えば、カーボン(C)、窒化アルミニウム(AlN)、セラミックス、石英等の非金属材料で形成されている。金属汚染を考慮しない基板処理である場合は、アルミニウム(Al)で形成しても良い。なお、サセプタ217は、反応容器203とは電気的に絶縁されている。
サセプタ217の内部には、加熱部としてのヒータ218が一体的に埋め込まれている。ヒータ218に電力が供給されると、基板載置部217bに載置された基板200を加熱する。例えば、基板200の表面が所定温度(例えば室温〜1000℃程度)にまで加熱されるようになっている。なお、ヒータ218は、サセプタ217に載置されたそれぞれの基板200を個別に加熱するように、同一面上に複数(例えば5つ)設けてもよい。
反応容器203の上側には、第一の処理ガス導入部251と、第二の処理ガス導入部252と、不活性ガス導入部253と、を備えるガス導入部250が設けられている。ガス導入部250は、サセプタ217の中心部の上方であって、反応容器203の上側に開設された開口に気密に設けられている。第一の処理ガス導入部251の側壁には、第一のガス噴出口254が設けられている。第二の処理ガス導入部252の側壁には、第二のガス噴出口255が設けられている。不活性ガス導入部253の側壁には、第一の不活性ガス噴出口256及び第二の不活性ガス噴出口257がそれぞれ対向するように設けられている。
第一の処理ガス導入部251の上流側には、第一のガス供給管232aが接続されている。第一のガス供給管232aには、上流方向から順に、原料ガス供給源232b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)232c、及び開閉弁であるバルブ232dが設けられている。
これら、第一のガスは、後述する第二のガスより粘着度の高い材料が用いられる。
これら第二のガスは、第一のガスより粘着度の低い材料が用いられる。
不活性ガス導入部253の上流側には、第一の不活性ガス供給管234aが接続されている。第一の不活性ガス供給管234aには、上流方向から順に、不活性ガス供給源234b、流量制御器(流量制御部)であるマスフローコントローラ(MFC)234c、及び開閉弁であるバルブ234dが設けられている。
処理ガス供給部と不活性ガス供給部により、ガス供給部が構成される。
図5に示すように、第一の処理領域201aと第二の処理領域201bとに、それぞれ、第1の排気配管51,52と第2の排気配管53とを含む扇形ダクト(扇形排気配管)が設置されている。第1の排気配管51は、処理ガス導入領域である扇形の第一の処理領域201aの周方向における一方の端部において、基板載置台217の径方向に延びるように設けられる。第1の排気配管52は、第一の処理領域201aの周方向における他方の端部において、基板載置台217の径方向に延びるように設けられる。周方向とは、基板載置台217の外周に沿った方向であり、基板載置台217の回転方向である。径方向とは、基板載置台217の中心から外周へ向かう方向である。図5の例では、第1の排気配管51,52は、仕切板205に沿って、仕切板205と略同じ長さで設けられている。
なお、仕切板205の長さは、基板処理の内容により、図5の例のように基板載置台217の外側まで延びるように設ける場合もあるし、あるいは、図3の例のように基板載置台217の外周の手前まで延びるように設ける場合もある。
図5と図6に示すように、第一の処理ガスは、第一の処理領域201aから、第1の排気孔51hを介して第1の排気配管51の水平部51aへ流れ、また、第2の排気孔53hを介して第2の排気配管53へ流れる。そして、第1の排気配管51の水平部51aから垂直部51bを介して第2の排気配管53へ流れる。そして、第2の排気配管53から第2の排気穴53aを介して排気管231へ流れ、排気管231から処理室202外へ排出される。
また、第一の処理ガスは、第1の排気配管51と同様に、第1の排気配管52を介して排気管231へ流れ、排気管231から処理室202外へ排出される。
不活性ガスは、それぞれ、第一のパージ領域204aと第二のパージ領域204bから、第3の排気孔54hを介して第3の排気配管54へ流れる。そして、第3の排気配管54から第3の排気穴54aを介して排気管231へ流れ、排気管231から処理室202外へ排出される。
こうして、第一、第二の処理ガスが互いに混ざることを効果的に抑制できる。
第1の排気配管51は、水平部51aと垂直部51bとを含む。水平部51aは、水平方向に延びた部分を有する。垂直部51bは、水平部51aの一端において、水平部51aの下側に接して垂直方向に延びる形状である。ここで、水平方向とは、図6のZ軸に垂直な方向、つまりサセプタ217と平行な方向であり、図1のXY面と平行な方向である。垂直方向とは、図6のZ軸の方向である。下方は、図6のZ軸のZ2方向である。第1の排気配管52も、第1の排気配管51と同様の形状である。
こうして、第一の処理領域201aへ噴出された第一の処理ガスは、扇形ダクトにより、第一の処理領域201aから排出される。したがって、第一の処理ガスが第一の処理領域201aから他の領域に流れることを抑制できる。また、第一の処理領域201aにおいて、第一の処理ガスを基板200上に均一に供給することが容易となる。
図4に示すように、反応容器203には、処理領域201a,201b内及びパージ領域204a,204b内の雰囲気を排気する排気管231が設けられている。排気管231には、ガス流量を制御する流量制御器(流量制御部)としての流量制御バルブ245、及び圧力調整器(圧力調整部)としてのAPC(Auto Pressure Controller)バルブ243を介して、真空排気装置としての真空ポンプ246が接続されており、反応容器203内の圧力が所定の圧力(真空度)となるよう真空排気し得るように構成されている。なお、APCバルブ243は、弁を開閉して反応容器203内の真空排気や真空排気停止ができ、更に弁開度を調節して圧力調整可能となっている開閉弁である。主に、排気管231、APCバルブ243及び流量制御バルブ245により排気部が構成される。なお、排気部には、真空ポンプ246を含めても良い。
図3に示すように、反応容器203には、第一の搬送室筐体101がゲートバルブ150から153のいずれかを介して隣接するように設けられている。例えば、ゲートバルブ151が開かれることで、反応容器203内と第一の搬送室筐体101とが連通するようになっている。第一の基板移載機112はポッドから第二の基板移載機124を介して、サセプタ217の載置部217bとの間で、基板200を搬送する。
前述したように、サセプタ217には、基板200を載置する載置部217bが複数、形成されている。第1実施形態においては、載置部217bはそれぞれが順時計方向に対して等間隔(例えば72度の間隔)となるように、五つ設けられ、サセプタ217が回転することで、五つの載置部217bが一括して回転される。
制御部(制御手段)である制御部300は、以上説明した各構成の制御を行うものである。すなわち、制御部300は、ゲートバルブの開閉、基板移載機による基板搬送、サセプタ上への基板載置、サセプタの回転動作、サセプタ上の基板加熱、処理室内のガス供給及び排出制御、プラズマ生成の開始及び停止等を制御する。
続いて、本実施形態にかかる半導体製造工程の一工程として、上述した反応容器203を備える処理室202bを用いて実施される基板処理工程について、図9及び図10を用いて説明する。図9は、本実施形態に係る基板処理工程を示すフロー図であり、図10は、本実施形態に係る基板処理工程における成膜工程での基板への処理を示すフロー図である。なお、以下の説明において、基板処理装置10の構成各部の動作は、制御部300により制御される。
基板200を反応容器203内へ搬入し、基板載置部217b上に載置する基板搬入・載置工程について説明する。
まず、基板200の搬送位置まで基板突き上げピン266を上昇させ、サセプタ217の貫通孔217aに基板突き上げピン266を貫通させる。その結果、基板突き上げピン266が、サセプタ217表面よりも所定の高さ分だけ突出した状態となる。続いて、ゲートバルブ151を開き、第一の基板移載機112を用いて、反応容器203内に所定枚数(例えば5枚)の基板200(処理基板)を搬入する。そして、サセプタ217の図示しない回転軸を中心として、各基板200が重ならないように、サセプタ217の同一面上に載置する。これにより、基板200は、サセプタ217の表面から突出した基板突き上げピン266上に水平姿勢で支持される。
所定枚数(例えば5枚)の基板200を基板載置部217b上に載置した後、回転駆動部267を作動して、サセプタ217の回転を開始させる。この際、サセプタ217の回転速度は制御部300によって、所定の速度に制御される。所定の速度は、例えば1回転/秒である。サセプタ217を回転させることにより、基板200は、第一の処理領域201a、第一のパージ領域204a、第二の処理領域201b、第二のパージ領域204bの順に移動を開始し、各領域を基板200が通過する。
処理ガス及び不活性ガスを供給し、反応容器203内を所望の圧力に調整するガス供給・圧力調整工程について説明する。
サセプタ217が所定の回転速度に到達した後、少なくともバルブ232d,233d及び234dを同時に開け、処理ガス及び不活性ガスの処理領域201及びパージ領域204への供給を開始する。すなわち、バルブ232dを開けて第一の処理領域201a内にTSAガスを供給し、バルブ233dを開けて第二の処理領域201b内に酸素ガスを供給することで、処理ガス供給部から処理ガスを供給する。さらにバルブ234dを開けて第一のパージ領域204a及び第二のパージ領域204b内に不活性ガスであるN2ガスを供給することで、不活性ガス供給部から不活性ガスを供給する。このとき、TSAガス、酸素ガス、不活性ガスは、併行して、それぞれの領域に供給される。
次に、サセプタ217が回転中に、プラズマ生成部206でプラズマ生成を開始する。つまり、プラズマ生成部206を構成する電極に、高周波電源206b(不図示)から電力の供給を開始する。電力を供給すると、第二の処理領域201bにプラズマが生成され。
第二の処理領域201b内に供給され、プラズマ生成部206の下方を通過した酸素ガスは、第二の処理領域201b内でプラズマ状態となり、これに含まれる活性種により、第二の処理領域201b内に回転して運ばれてくる基板200をプラズマ処理する。
成膜工程においても、第一の処理領域201a内のガスは、第一の処理領域201a内の第1の排気配管51,52と第2の排気配管53とを介して排気される。また、第二の処理領域201b内のガスは、第二の処理領域201b内の第1の排気配管51,52と第2の排気配管53とを介して排気される。こうして、第一の処理領域201a内、及び第二の処理領域201b内から他の領域への処理ガスの漏れを抑制することができる。
まず、第一の処理領域201aを通過した基板200表面にTSAガスが供給され、基板200上にシリコン含有層が形成される。
第一の処理領域201aには、第一の処理ガス導入部251から第一のガス噴出口254を通して、水平方向にガスが噴出される。該噴出されたガスは、第一の処理領域201a内の第1の排気配管51,52と第2の排気配管53とを介して排気される。
次に、シリコン含有層が形成された基板200が第一のパージ領域204aを通過する。このとき、第一のパージ領域204aを通過する基板200に対して不活性ガスであるN2ガスが供給される。該供給されたガスは、第一のパージ領域204a内の第3の排気配管54を介して排気される。
次に、第二の処理領域201bを通過する基板200に、プラズマ状態となった酸素ガスが供給される。こうして、基板200上にはシリコン酸化層(SiO層)が形成される。すなわち、プラズマ状態となった酸素ガスは、第一の処理領域201aで基板200上に形成されたシリコン含有層の少なくとも一部と反応する。これにより、シリコン含有層は酸化されて、シリコン及び酸素を含むSiO層へと改質される。
第二の処理領域201bには、第二の処理ガス導入部252から第二のガス噴出口255を通して、水平方向にガスが噴出される。該噴出されたガスは、第二の処理領域201b内の第1の排気配管51,52と第2の排気配管53とを介して排気される。
そして、第二の処理領域201bでSiO層が形成された基板200が第二のパージ領域204bを通過する。このとき、第二のパージ領域204bを通過する基板200に対して不活性ガスであるN2ガスが供給される。該供給されたガスは、第二のパージ領域204b内の第3の排気配管54を介して排気される。
このように、サセプタ217の1回転を1サイクルとし、すなわち第一の処理領域201a、第一のパージ領域204a、第二の処理領域201b及び第二のパージ領域204bの基板200の通過を1サイクルとし、このサイクルを少なくとも1回以上行うことにより、基板200上に所定膜厚のSiO膜を成膜することができる。
ここでは、前述のサイクルを所定回数実施したか否かを確認する。
サイクルを所定の回数実施した場合、所望の膜厚に到達できたと判断し、成膜処理を終了する。サイクルを所定の回数実施しなかった場合、即ち所望の膜厚に到達できなかったと判断し、S202に戻りサイクル処理を継続する。
S210にて、前述のサイクルを所定回数実施し、基板200上に所望の膜厚のSiO膜が形成されたと判断した後、プラズマ生成部206におけるプラズマ生成を停止する(S107)。つまり、プラズマ生成部206を構成する電極に対する、高周波電源206bからの電力供給を停止する。このとき、TSAガス及び酸素ガスの第一の処理領域201a及び第二の処理領域201bへの供給も停止する(S108)さらに、サセプタ217の回転を停止する(S109)。
上記プラズマ生成等の停止(S107〜S109)が終了した後、次のように基板を搬出する。
まず、基板突き上げピン266を上昇させ、サセプタ217の表面から突出させた基板突き上げピン266上に基板200を支持させる。そして、ゲートバルブ151を開き、第一の基板移載機112を用いて、反応容器203内の5枚の基板200を、反応容器203の外へ搬出する。そして、5枚単位の多枚葉処理を所定回数実施した場合は(S111でYes)、本実施形態に係る基板処理工程を終了する。5枚単位の多枚葉処理を所定回数実施していない場合は(S111でNo)、S101に戻る。
なお、上記において、基板200の温度、反応容器203内の圧力、各ガスの流量、プラズマ生成部206に印加する電力、処理時間等の条件等は、改質対象の膜の材料や膜厚等によって任意に調整する。
第1実施形態によれば、少なくとも以下に示す効果を奏する。
(a)処理ガス導入領域において、第1の排気孔を有し、基板載置台の径方向に延びる第1の排気配管と、第2の排気孔を有し、基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、を有するように構成したので、反応ガスが混在することを抑制することができ、その結果、安定した膜質、及び膜厚均一性が得ることが可能となる。
(b)第1の排気配管を、処理ガス導入領域の周方向における両端部に設けるように構成したので、さらに、反応ガスが混在することを抑制することができる。
(c)第2の排気孔を、基板載置方向に、基板載置面から所定の距離を有するように構成したので、基板載置面へ載置された基板表面に、十分な処理ガスを供給することが容易になる。
(d)不活性ガス導入領域において、第3の排気孔を有し、基板載置台の外周部に設けられた第3の排気配管を有するように構成したので、不活性ガス導入領域における不活性ガスの流れを、基板載置台の中心から外周へ向かう方向とすることができる。その結果、不活性ガス導入領域における不活性ガスが、処理領域における処理ガスの流れを乱すことを抑制することができる。
第1実施形態に係る基板処理装置においては、処理ガスをサセプタ217の中央から処理領域の外周部に向けて導入したが、第2実施形態の基板処理装置においては、処理ガスを処理領域の外周部に設けた端部ガス導入部からサセプタ217の中央に向けて導入することも可能とし、サセプタ217の中央からの処理ガス導入と、処理領域の外周部からの処理ガス導入とを、基板処理中に切り換える。
以上、本発明の実施形態を具体的に説明したが、本発明は上述の実施形態に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可能である。
<付記1>
基板を処理するための処理室であって、分割構造体により、処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割される処理室と、
前記処理室内に設けられた基板載置台であって、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台と、
前記基板載置台を前記載置面と平行な方向に回転させる回転駆動部と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するガス導入部と、
前記載置面と対向する第1の面に第1の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管と、
前記第1の面と対向する第2の面に第2の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、
を有する基板処理装置。
前記第1の排気配管は、前記処理ガス導入領域の周方向における両端部に設けられた付記1記載の基板処理装置。
前記第2の排気孔は、前記載置面への基板載置方向に、前記載置面から所定の距離を有する付記1又は付記2記載の基板処理装置。
前記第2の排気孔と同方向の第3の排気孔を有し、前記不活性ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第3の排気配管を有する付記1ないし付記3記載の基板処理装置。
前記処理ガス導入領域に導入された処理ガスは、前記第1の排気孔と前記第2の排気孔から排気され、前記不活性ガス導入領域に導入された不活性ガスは、前記第3の排気孔から排気される付記4記載の基板処理装置。
前記ガス導入部は、前記基板載置台の中央に設けられた中央ガス導入部と、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた端部ガス導入部とを有する付記1ないし付記5記載の基板処理装置。
前記基板載置台が回転中において、前記中央ガス導入部と前記端部ガス導入部は、交互にガスを導入する付記6記載の基板処理装置。
基板を処理するための処理室であって、処理ガスが導入される複数の処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される複数の不活性ガス導入領域とが交互に配置される処理室と、
前記処理室内に設けられた基板載置台であって、複数の基板を載置する載置面を有する基板載置台と、
前記基板載置台を前記載置面と平行な方向に回転させる回転駆動部と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するガス導入部と、
前記載置面と対向する第1の面に複数の第1の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域における周方向の両端部において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管と、
前記第1の面と対向する第2の面に複数の第2の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、
を有する基板処理装置。
前記ガス導入部は、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の中央に設けられた中央ガス導入部と、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた端部ガス導入部とを有し、
前記中央ガス導入部からの処理ガス導入と、前記端部ガス導入部からの処理ガス導入とが交互に行われる基板処理装置。
基板を処理するための処理室であって、分割構造体により、処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割される処理室と、
前記処理室内に設けられた基板載置台であって、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台と、
前記載置面と対向する第1の面に第1の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管と、
前記第1の面と対向する第2の面に第2の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、
を有する基板処理装置における半導体装置の製造方法であって、
前記処理室へ基板を搬入し、前記基板載置台に基板を載置する基板載置工程と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するとともに、前記第1の排気孔と前記第2の排気孔とから前記導入した処理ガスを排気し、前記基板載置台に載置された基板を処理する基板処理工程と、
前記基板処理工程の後、前記処理室から基板を搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割された処理室へ基板を搬入し、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台に基板を載置する基板載置工程と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するとともに、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管に前記載置面と対向するように設けられた第1の排気孔と、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管に前記載置面と同じ向きになるように設けられた第2の排気孔とから前記導入した処理ガスを排気し、前記基板載置台に載置された基板を処理する基板処理工程と、
前記基板処理工程の後、前記処理室から基板を搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
基板を載置する基板載置台の基板載置面と対向する第1の面に第1の排気孔を有し、前記基板載置台の径方向に延びるように構成される第1の排気配管と、
前記第1の面と対向する第2の面に第2の排気孔を有し、前記第2の面と対向する第3の面に排気穴を有し、前記基板載置台の外周部に配置されるように構成され、前記第1の排気配管と連通する第2の排気配管と、
を有する排気配管。
Claims (5)
- 基板を処理するための処理室であって、分割構造体により、処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割される処理室と、
前記処理室内に設けられた基板載置台であって、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台と、
前記基板載置台を前記載置面と平行な方向に回転させる回転駆動部と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するガス導入部と、
前記載置面と対向する第1の面に第1の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管と、
前記第1の面と対向する第2の面に第2の排気孔を有し、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管と、
を有する基板処理装置。 - 前記第1の排気配管は、前記処理ガス導入領域の周方向における両端部に設けられた請求項1記載の基板処理装置。
- 前記第2の排気孔と同方向の第3の排気孔を有し、前記不活性ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第3の排気配管を有する請求項1又は請求項3記載の基板処理装置。
- 前記処理ガス導入領域に導入された処理ガスは、前記第1の排気孔と前記第2の排気孔から排気され、前記不活性ガス導入領域に導入された不活性ガスは、前記第3の排気孔から排気される請求項3記載の基板処理装置。
- 処理ガスが導入される処理ガス導入領域と不活性ガスが導入される不活性ガス導入領域とに分割された処理室へ基板を搬入し、複数の基板を同心円状に載置する載置面を有する基板載置台に基板を載置する基板載置工程と、
前記処理ガス導入領域に処理ガスを導入し、前記不活性ガス導入領域に不活性ガスを導入するとともに、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の径方向に延びるように設けられた第1の排気配管に前記載置面と対向するように設けられた第1の排気孔と、前記処理ガス導入領域において前記基板載置台の外周部に設けられた第2の排気配管に前記載置面と同じ向きになるように設けられた第2の排気孔とから前記導入した処理ガスを排気し、前記基板載置台に載置された基板を処理する基板処理工程と、
前記基板処理工程の後、前記処理室から基板を搬出する工程と、
を有する半導体装置の製造方法。
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