JP2014110415A - 積層セラミックキャパシタ及びその実装基板 - Google Patents

積層セラミックキャパシタ及びその実装基板 Download PDF

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Abstract

【課題】積層セラミックキャパシタ及びその実装基板に関する。
【解決手段】平均厚さが0.2〜2.0μmである複数の誘電体層が積層されたセラミック本体と、誘電体層を挟んでセラミック本体の両端面から交互に露出されるように形成された複数の第1及び第2内部電極を含んで容量が形成される活性層と、活性層の上部に形成された上部カバー層と、活性層の下部に形成され、上部カバー層より厚い厚さを有する下部カバー層と、セラミック本体の両端面を覆うように形成された第1及び第2外部電極と、を含み、誘電体層は誘電体グレインで構成されており、誘電体層の平均厚さをtd(μm)、第1及び第2内部電極の平均厚さをte(μm)、誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たす積層セラミックキャパシタが提供される。
【選択図】図3

Description

本発明は、積層セラミックキャパシタ及びその実装基板に関する。
積層チップ電子部品の一つである積層セラミックキャパシタは、液晶ディスプレイ(LCD:Liquid Crystal Display)及びプラズマディスプレイパネル(PDP:Plasma Display Panel)などの映像機器、コンピュータ、個人向け携帯情報端末(PDA:Personal Digital Assistants)及び携帯電話などの様々な電子製品の印刷回路基板に装着され、電気を充電または放電させる役割をするチップ形態のコンデンサである。
このような積層セラミックキャパシタ(MLCC:Multi‐Layered Ceramic Capacitor)は、小型でありながらも高容量が保障され、実装が容易であるという長所により、様々な電子装置の部品として用いられることができる。
上記積層セラミックキャパシタは、複数の誘電体層と、上記誘電体層の間に互いに異なる極性の内部電極が交互に積層された構造を有する。
このような誘電体層は圧電性及び電歪性を有するため、積層セラミックキャパシタに直流または交流電圧が印加されると、上記内部電極の間で圧電現象が発生して振動が生じる。
このような振動は、積層セラミックキャパシタの外部電極を介して上記積層セラミックキャパシタが実装された印刷回路基板に伝達され、上記印刷回路基板全体が音響反射面となり、雑音となる振動音を発生させる。
上記振動音は、人に不快感を与える20〜20000Hz領域の可聴周波数に該当し、このように人に不快感を与える振動音をアコースティックノイズ(acoustic noise)という。
上記アコースティックノイズを減少させるために、積層セラミックキャパシタの下部カバー層を増加させた形態の製品に関する研究が行われている。
また、このような下部カバー層が増加された積層セラミックキャパシタは、印刷回路基板に実装される際に、アコースティックノイズの減少に有利になるように厚い下部カバー層が下側に位置されて水平実装タイプで実装されることができる。
一方、上記アコースティックノイズを減少させるために積層セラミックキャパシタの下部カバー層を増加させた形態の製品の場合、高容量を実現するために積層数が増加するか誘電体が薄層化することにより、焼成過程でクラックまたはデラミネーション(Delamination)不良が発生したり絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)が低下したりするという問題がある。
特開2006‐203165
本発明は、積層セラミックキャパシタ及び積層セラミックキャパシタの実装基板に関する。
本発明の一側面によると、平均厚さが0.2〜2.0μmである複数の誘電体層が積層されたセラミック本体と、上記誘電体層を挟んで上記セラミック本体の両端面から交互に露出されるように形成された複数の第1及び第2内部電極を含んで容量が形成される活性層と、上記活性層の上部に形成された上部カバー層と、上記活性層の下部に形成され、上記上部カバー層より厚い厚さを有する下部カバー層と、上記セラミック本体の両端面を覆うように形成された第1及び第2外部電極と、を含み、上記誘電体層は誘電体グレインで構成されており、上記誘電体層の平均厚さをtd(μm)、上記第1及び第2内部電極の平均厚さをte(μm)、上記誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たす積層セラミックキャパシタが提供される。
本発明の一実施形態において、上記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、上記下部カバー層の厚さをB、上記活性層の全体厚さの1/2をC、上記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、上記活性層の中心部が上記セラミック本体の中心部から外れた比率、(B+C)/Aは1.063≦(B+C)/A≦1.745の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、上記下部カバー層の厚さをB、上記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、上記上部カバー層の厚さ(D)と上記下部カバー層の厚さ(B)との比率、D/Bは0.021≦D/B≦0.422の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、上記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、上記下部カバー層の厚さをBと規定したときに、上記セラミック本体の厚さの1/2(A)に対する上記下部カバー層の厚さ(B)の比率、B/Aは0.329≦B/A≦1.522の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、上記下部カバー層の厚さをB、上記活性層の全体厚さの1/2をCと規定したときに、上記下部カバー層の厚さ(B)に対する上記活性層の厚さの1/2(C)の比率、C/Bは0.146≦C/B≦2.458の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、電圧印加時に上記活性層の中心部で発生する変形率と上記下部カバー層で発生する変形率との差により、上記セラミック本体の両端面に形成された変曲点が上記セラミック本体の厚さの中心部以下で形成されることができる。
本発明の一実施形態において、上記誘電体層の積層数は150層以上であることができる。
本発明の他の側面によると、上部に第1及び第2電極パッドを有する印刷回路基板と、上記印刷回路基板上に設けられた積層セラミックキャパシタと、を含んでおり、上記積層セラミックキャパシタは、平均厚さが0.2〜2.0μmである複数の誘電体層が積層されたセラミック本体と、上記誘電体層を挟んで上記セラミック本体の両端面から交互に露出されるように形成された複数の第1及び第2内部電極を含んで容量が形成される活性層と、上記活性層の上部に形成された上部カバー層と、上記活性層の下部に上記上部カバー層より厚く形成された下部カバー層と、上記セラミック本体の両端面に形成され、上記第1及び第2電極パッドと半田付けにより連結された第1及び第2外部電極と、を含み、上記誘電体層は誘電体グレインで構成されており、上記誘電体層の平均厚さをtd(μm)、上記第1及び第2内部電極の平均厚さをte(μm)、上記誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たす積層セラミックキャパシタの実装基板が提供される。
本発明の一実施形態において、上記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、上記下部カバー層の厚さをB、上記活性層の全体厚さの1/2をC、上記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、上記活性層の中心部が上記セラミック本体の中心部から外れた比率、(B+C)/Aは1.063≦(B+C)/A≦1.745の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、上記下部カバー層の厚さをB、上記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、上記上部カバー層の厚さ(D)と上記下部カバー層の厚さ(B)との比率、D/Bは0.021≦D/B≦0.422の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、上記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、上記下部カバー層の厚さをBと規定したときに、上記セラミック本体の厚さの1/2(A)に対する上記下部カバー層の厚さ(B)の比率、B/Aは0.329≦B/A≦1.522の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、上記下部カバー層の厚さをB、上記活性層の全体厚さの1/2をCと規定したときに、上記下部カバー層の厚さ(B)に対する上記活性層の厚さの1/2(C)の比率、C/Bは0.146≦C/B≦2.458の範囲を満たすことができる。
本発明の一実施形態において、電圧印加時に上記活性層の中心部で発生する変形率と上記下部カバー層で発生する変形率との差により、上記セラミック本体の両端面に形成された変曲点が上記セラミック本体の厚さの中心部以下で形成されることができる。
本発明の一実施形態において、上記誘電体層の積層数は150層以上であることができる。
本発明の一実施形態によると、積層セラミックキャパシタで発生する振動を減少させることにより、印刷回路基板の実装時に生じるアコースティックノイズを減少させるとともに、実装基板の組立性を向上させ、実装基板の不良率を低減することができる効果がある。
また、本発明の一実施形態によると、積層セラミックキャパシタの内部電極の平均厚さを調節することにより、信頼性に優れた積層セラミックキャパシタを実現することができる。
また、誘電体内部の誘電体グレインの平均粒径を調節することにより、絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)特性を向上させることができる。
本発明の一実施形態による積層セラミックキャパシタの一部を切開して概略的に図示した斜視図である。 図1の積層セラミックキャパシタを長さ方向に切断して図示した断面図である。 図2のS領域を拡大した拡大図である。 積層セラミックキャパシタに含まれる構成要素の寸法関係を説明するために、図1の積層セラミックキャパシタを長さ方向に切断して概略的に図示した断面図である。 図1の積層セラミックキャパシタが印刷回路基板に実装されたことを図示した斜視図である。 図4の積層セラミックキャパシタ及び印刷回路基板を長さ方向に切断して図示した断面図である。 図4の積層セラミックキャパシタが印刷回路基板に実装された状態で、電圧が印加されて積層セラミックキャパシタが変形されることを概略的に図示した断面図である。
以下、添付の図面を参照して本発明の好ましい実施形態を説明する。
但し、本発明の実施形態は様々な他の形態に変形することができ、本発明の範囲は以下で説明する実施形態に限定されるものではない。
また、本発明の実施形態は当業界で平均的な知識を有する者に本発明をより完全に説明するために提供されるものである。
図面における要素の形状及び大きさ等はより明確な説明のために誇張されることがある。
また、各実施形態の図面に示す同一の思想の範囲内における機能が同一の構成要素は、同一の参照符号を用いて説明する。
本発明の実施形態を明確に説明するために六面体の方向を定義すると、図面上に表示されたL、W及びTはそれぞれ、長さ方向、幅方向及び厚さ方向を示す。ここで、厚さ方向は誘電体層が積層された積層方向と同一の概念で用いられることができる。
また、本実施形態では、説明の便宜のために、セラミック本体の長さ方向に第1及び第2外部電極が形成される面を左右の両端面と設定し、これと垂直に交差される面を左右側面と設定してともに説明する。
また、セラミック本体の上部カバー層が形成された上面をS、下部カバー層が形成された下面をSで示す。
以下、添付図面を参照して本発明の好ましい実施形態について説明する。
図1は本発明の一実施形態による積層セラミックキャパシタの一部を切開して概略的に図示した斜視図である。
図2は図1の積層セラミックキャパシタを長さ方向に切断して図示した断面図である。
図3は図2のS領域を拡大した拡大図である。
図4は積層セラミックキャパシタに含まれる構成要素の寸法関係を説明するために、図1の積層セラミックキャパシタを長さ方向に切断して概略的に図示した断面図である。
図1から図3を参照すると、本発明の一実施形態による積層セラミックキャパシタ100は、セラミック本体110と、第1及び第2内部電極121、122を有する活性層115と、上部及び下部カバー層112、113と、セラミック本体110の両端面を覆うように形成された第1及び第2外部電極131、132と、を含むことができる。
上記セラミック本体110は、複数の誘電体層111を積層した後焼成することにより形成され、このようなセラミック本体110の形状、寸法及び誘電体層111の積層数が本実施形態に図示されたものに限定されるものではない。
また、上記セラミック本体110を形成する複数の誘電体層111は焼結された状態で、隣接する誘電体層111同士の境界は走査型電子顕微鏡(SEM:Scanning Electron Microscope)を用いなくては確認できない程度に一体化されていることができる。
このようなセラミック本体110は、キャパシタの容量形成に寄与する部分としての活性層115と、上下マージン部として活性層115の上下部にそれぞれ形成された上部及び下部カバー層112、113と、で構成されることができる。
上記活性層115は、誘電体層111を挟んで複数の第1及び第2内部電極121、122を繰り返して積層することにより形成されることができる。
本発明の一実施形態によると、上記誘電体層111の平均厚さは、積層セラミックキャパシタ100の容量設計に応じて任意に変更することができ、焼成後の1層の平均厚さは0.2〜2.0μmであることができる。
上記誘電体層111の平均厚さは、図2のように、セラミック本体110の長さ方向の断面を走査型電子顕微鏡(SEM、Scanning Eletron Microscope)でスキャンしたイメージで測定することができる。
例えば、図2のようにセラミック本体110の幅方向(W)の中央部で切断した長さ及び厚さ方向(L‐T)の断面を走査型電子顕微鏡(SEM、Scanning Eletron Microscope)でスキャンしたイメージから抽出された任意の誘電体層に対して、長さ方向に等間隔の30個の地点でその厚さを測定することにより、平均値を測定することができる。
上記等間隔の30個の地点は、第1及び第2内部電極121、122が重なり合う領域を意味する容量形成部で測定されることができる。
また、このような平均値の測定を10個以上の誘電体層に拡張して行うことで、誘電体層の平均厚さをより一般化することができる。
上記誘電体層111の平均厚さが0.2〜2.0μmの範囲を満たすことにより、信頼性に優れた積層セラミックキャパシタを実現することができる。
上記誘電体層111の平均厚さが0.2μm未満である場合には、内部電極間の距離が近いためショート不良が発生する恐れがあり、2.0μmを超過する場合には、高容量の積層セラミックキャパシタを実現することが困難である。
また、上記誘電体層111は、高誘電率を有するセラミック粉末、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO)系またはチタン酸ストロンチウム(SrTiO)系粉末を含むことができるが、本発明がこれに限定されるものではない。
上記上部及び下部カバー層112、113は、内部電極を含んでいないことを除き、誘電体層111と同一の材質及び構成を有することができる。
上記上部及び下部カバー層112、113は、単一誘電体層または二つ以上の誘電体層を活性層115の上下面にそれぞれ上下方向に積層することにより形成されることができる。上記上部及び下部カバー層112、113は、基本的に物理的または化学的ストレスによる第1及び第2内部電極121、122の損傷を防止する役割をすることができる。
また、上記下部カバー層113は、上記上部カバー層112より誘電体層の積層数を増やすことにより、上記上部カバー層より厚い厚さを有することができる。
一方、上記第1及び第2内部電極121、122は、互いに異なる極性を有する一対の電極であり、導電性金属を含む導電性ペーストを誘電体層111上に所定の厚さに印刷することにより形成されることができる。
また、上記第1及び第2内部電極121、122は、誘電体層111の積層方向に沿って両端面から交互に露出されるように形成されることができ、その中間に配置された誘電体層111によって互いに電気的に絶縁されることができる。
即ち、第1及び第2内部電極121、122は、セラミック本体110の両端面から交互に露出される部分が、第1及び第2外部電極131、132とそれぞれ電気的に連結されることができる。
従って、第1及び第2外部電極131、132に電圧を印加すると、互いに対向する第1及び第2内部電極121、122の間に電荷が蓄積され、この際の積層セラミックキャパシタ100の静電容量は、第1及び第2内部電極121、122が互いに重なり合う領域の面積と比例する。
また、上記第1及び第2内部電極121、122を形成する導電性ペーストに含まれる導電性金属は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、またはこれらの合金であることができるが、本発明がこれに限定されるものではない。
また、上記導電性ペーストの印刷方法としては、スクリーン印刷法またはグラビア印刷法などを用いることができるが、本発明がこれに限定されるものではない。
一方、上記第1及び第2外部電極131、132は、導電性金属を含む導電性ペーストで形成されることができ、上記導電性金属は、ニッケル(Ni)、銅(Cu)、パラジウム(Pd)、金(Au)またはこれらの合金であることができるが、本発明がこれに限定されるものではない。
本発明の一実施形態によると、上記誘電体層111は誘電体グレインで構成されており、上記誘電体層111の平均厚さをtd、上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さをte、上記誘電体グレインの平均粒径をDaと規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たすことができる。
通常、アコースティックノイズを減少させるために積層セラミックキャパシタの下部カバー層を増加させた形態の製品の場合、高容量を実現するために積層数が増加するか誘電体が薄層化することにより、焼成過程でクラックまたはデラミネーション(Delamination)不良が発生したり絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)が低下したりするという問題があった。
しかし、本発明の一実施形態によると、上記誘電体層111は誘電体グレインで構成されており、上記誘電体層111の平均厚さをtd(μm)、上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さをte(μm)、上記誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たすように調節することにより、信頼性に優れた高容量の積層セラミックキャパシタを実現することができる。
上記誘電体層111の平均厚さをtd(μm)、上記誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3を満たすことができる。
上記のようにDa≦td/3を満たすことにより、積層セラミックキャパシタの絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)特性が向上し、優れた信頼性を実現することができる。
上記誘電体グレインの平均粒径(Da)が上記誘電体層111の平均厚さ(td)の1/3を超過する場合には、絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)が低下する問題が発生する恐れがある。
一方、上記誘電体層111の平均厚さをtd(μm)、上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さをte(μm)と規定したときに、0.2μm<te<(td)1/2を満たすことができる。
上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さは、図2のように、セラミック本体110の長さ方向の断面を走査型電子顕微鏡(SEM、Scanning Eletron Microscope)でスキャンしたイメージで測定することができる。
例えば、図2のように、セラミック本体110の幅方向(W)の中央部で切断した長さ及び厚さ方向(L‐T)の断面を走査型電子顕微鏡(SEM、Scanning Eletron Microscope)でスキャンしたイメージから抽出された任意の内部電極に対して、長さ方向に等間隔の30個の地点でその厚さを測定することにより、平均値を測定することができる。
上記等間隔の30個の地点は、第1及び第2内部電極121、122が重なり合う領域を意味する容量形成部で測定されることができる。
また、このような平均値の測定を10個以上の内部電極に拡張して行うことで、第1及び第2内部電極121、122の平均厚さをより一般化することができる。
上記誘電体層111の平均厚さをtd、上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さをteと規定したときに、0.2μm<te<(td)1/2を満たすように調節することにより、信頼性に優れた高容量の積層セラミックキャパシタを実現することができる。
上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さ(te)が0.2μm以下である場合には、高容量の積層セラミックキャパシタを実現することが困難である。
上記第1及び第2内部電極121、122の平均厚さ(te)が(td)1/2以上である場合には、クラックまたはデラミネーション(Delamination)不良が発生して、信頼性において問題が生じる恐れがある。
以下、本実施形態による積層セラミックキャパシタに含まれる構成要素の寸法とアコースティクスノイズの関係について説明する。
図4を参照して、セラミック本体110の全体厚さの1/2をA、下部カバー層113の厚さをB、活性層115の全体厚さの1/2をC、上部カバー層112の厚さをD、上部カバー層112においてダミー電極123が形成されていない部分の厚さをEと規定する。
ここで、セラミック本体110の全体厚さは、セラミック本体110の上面(S)から下面(S)までの距離を意味し、活性層115の全体厚さは、活性層115の最上部に形成された第1内部電極121の上面から活性層115の最下部に形成された第2内部電極122の下面までの距離を意味する。
また、下部カバー層113の厚さ(B)は、活性層115の厚さ方向の最下部に形成された第2内部電極122の下面からセラミック本体110の下面(S)までの距離を意味し、上部カバー層112の厚さ(D)は、活性層115の厚さ方向の最上部に形成された第1内部電極121の上面からセラミック本体110の上面(S)までの距離を意味する。
積層セラミックキャパシタ100の両端部に形成された第1及び第2外部電極131、132に異なる極性の電圧が印加されると、誘電体層111の逆圧電効果(Inverse piezoelectric effect)によってセラミック本体110が厚さ方向に膨張及び収縮し、第1及び第2外部電極131、132の両端部は、ポアソン効果(Poisson effect)によってセラミック本体110の厚さ方向への膨張及び収縮とは反対に収縮及び膨張する。
ここで、活性層115の中心部は、第1及び第2外部電極131、132の長さ方向の両端部で最も大きく膨張及び収縮される部分であり、アコースティックノイズを発生させる原因となる。
即ち、本実施形態では、アコースティックノイズを減少させるために、電圧が印加されて活性層115の中心部(CL)で発生する変形率と、下部カバー層113で発生する変形率との差により、セラミック本体110の両端面に形成された変曲点(PI:point of inflection)がセラミック本体110の厚さの中心部(CL)以下で形成されることができる。
この際、アコースティックノイズをさらに減少させるために、活性層115の中心部(CL)がセラミック本体110の中心部(CL)から外れた比率、(B+C)/Aは1.063≦(B+C)/A≦1.745の範囲を満たすことが好ましい。
また、上部カバー層112の厚さ(D)と下部カバー層113の厚さ(B)との比率、D/Bは0.021≦D/B≦0.422の範囲を満たすことができる。
また、セラミック本体110の厚さの1/2(A)に対する下部カバー層113の厚さ(B)の比率、B/Aは0.329≦B/A≦1.522の範囲を満たすことができる。
また、下部カバー層113の厚さ(B)に対する活性層115の厚さの1/2(C)の比率、C/Bは0.146≦C/B≦2.458の範囲を満たすことができる。
実験例
本発明の実施例と比較例による積層セラミックキャパシタは、下記のように製作された。
まず、チタン酸バリウム(BaTiO)などの粉末を含んで形成されたスラリーをキャリアフィルム(carrier film)上に塗布及び乾燥して、1.8μmの厚さに製造された複数個のセラミックグリーンシートを準備する。
次に、上記セラミックグリーンシート上に、スクリーンを利用してニッケル内部電極用の導電性ペーストを塗布することにより、内部電極を形成する。
上記セラミックグリーンシートを約370層に積層する。この際、内部電極が形成されていないセラミックグリーンシートを、内部電極が形成されているセラミックグリーンシートの下部に、上部より多く積層した。この積層体を85℃及び1000kgf/cm圧力条件で等方圧縮(isostatic pressing)成形した。
圧着が完了したセラミック積層体を個別チップの形態に切断し、切断されたチップは大気雰囲気で230℃、60時間維持して脱バインダを行った。
その後、1200℃で内部電極が酸化されないようにNi/NiO平衡酸素分圧より低い10−11atm〜10−10atmの酸素分圧下の還元雰囲気で焼成した。焼成後の積層チップキャパシタのチップサイズは、長さ×幅(L×W)が約1.64mm×0.88mm(L×W、1608サイズ)であった。ここで、製作公差は長さ×幅(L×W)が±0.1mm内の範囲となるように決め、これを満たすと実験を行ってアコースティックノイズを測定した。
次に、外部電極の形成及びメッキなどの工程を経て、積層セラミックキャパシタを製作した。
Figure 2014110415
*:比較例、AN:アコースティクスノイズ(acoustic noise)
上記表1のデータは、図3のように、積層セラミックキャパシタ100のセラミック本体110の幅方向(W)の中心部で長さ方向(L)及び厚さ方向(T)に切開した断面を走査型電子顕微鏡(SEM、Scanning Electron Microscope)で撮った写真を基準として、それぞれの寸法を測定した。
ここで、A、B、C及びDは、上記で説明したように、セラミック本体110の全体厚さの1/2をA、下部カバー層113の厚さをB、活性層115の全体厚さの1/2をC、上部カバー層112の厚さをDと規定した。
アコースティックノイズを測定するために、アコースティックノイズ測定用基板当り1個の試料(積層チップキャパシタ)を上下方向に区分して印刷回路基板に実装した後、その基板を測定用治具(Jig)に装着した。
また、DCパワーサプライ(Power supply)及び信号発生器(Function generator)を用いて、測定治具に装着された試料の両端子にDC電圧及び電圧変動を印加した。上記印刷回路基板の真上に設けられたマイクを用いて、アコースティックノイズを測定した。
上記表1において、試料1〜3は、下部カバー層113の厚さ(B)と上部カバー層112の厚さ(D)がほぼ類似するカバー対称構造を有する比較例であり、試料4〜13は、上部カバー層112の厚さ(D)が下部カバー層の厚さ(B)より厚い構造を有する比較例である。
また、試料14、15及び35〜37は、下部カバー層113の厚さ(B)が上部カバー層112の厚さ(D)より厚い構造を有する比較例であり、試料16〜34は本発明の実施形態による実施例である。
ここで、(B+C)/A値がほぼ1である場合は、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から大きく外れていないことを意味する。下部カバー層113の厚さ(B)と上部カバー層112の厚さ(D)がほぼ類似するカバー対称構造を有する試料1〜3の(B+C)/A値は、ほぼ1である。
(B+C)/A値が1より大きい場合は、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から上部方向に外れていることを意味し、(B+C)/A値が1より小さい場合は、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から下部方向に外れていることを意味する。
上記表1を参照すると、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から外れた比率(B+C)/Aが1.063≦(B+C)/A≦1.745の範囲を満たす実施例である試料16〜34は、アコースティックノイズが20dB未満に著しく減少することを確認することができる。
また、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から外れた比率(B+C)/Aが1.063未満である試料1〜15は、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から殆ど外れていないか、または活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から下部方向に外れている構造を有する。
上記(B+C)/Aが1.063未満である試料1〜15は、アコースティックノイズが25〜32.5dBであり、本発明による実施例に比べアコースティックノイズの減少効果がないことが分かる。
また、活性層115の中心部がセラミック本体110の中心部から外れた比率(B+C)/Aが1.745を超過する試料35〜37の場合は、目標容量に対する静電容量が低いため容量不良が発生した。
上記表1において、容量具現率(即ち、目標容量に対する静電容量の比率)が「NG」と表示されたものは、目標容量値を100%としたときに、目標容量に対する静電容量値が80%未満である場合を意味する。
また、上部カバー層112の厚さ(D)と下部カバー層113の厚さ(B)の比率(D/B)が0.021≦D/B≦0.422の範囲を満たす実施例は、アコースティックノイズが著しく減少することが分かる。
その反面、上部カバー層112の厚さ(D)と下部カバー層113の厚さ(B)の比率(D/B)が0.422を超過する比較例は、アコースティックノイズの減少効果がないことが分かる。
上部カバー層112の厚さ(D)と下部カバー層113の厚さ(B)の比率(D/B)が0.021未満である場合には、上部カバー層112の厚さ(D)に比べ下部カバー層113の厚さ(B)が大きすぎるためクラックまたはデラミネーションが発生する恐れがあり、目標容量に対する静電容量が低いため容量不良が発生する恐れがある。
実施例のうち、セラミック本体110の厚さ(A)に対する下部カバー層113の厚さ(B)の比率(B/A)及び下部カバー層113の厚さ(B)に対する活性層115の厚さ(C)の比率(C/B)それぞれが0.329≦B/A≦1.522及び0.146≦C/B≦2.458の範囲を満たす実施例である試料19〜34は、アコースティックノイズが18dB未満にさらに減少することが分かる。
その反面、セラミック本体110の厚さ(A)に対する下部カバー層113の厚さ(B)の比率(B/A)が1.522を超過するか下部カバー層113の厚さ(B)に対する活性層115の厚さ(C)の比率(C/B)が0.146未満である試料35〜37の場合には、目標容量に対する静電容量が低いため容量不良が発生するという問題点があった。
下記表2は、誘電体層111の平均厚さ(td)、第1及び第2内部電極121、122の平均厚さ(te)及び誘電体グレインの平均粒径(Da)による積層セラミックキャパシタ試料のデラミネーション、クラック発生率、静電容量及び絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)を比較したものである。
Figure 2014110415
*:比較例
上記表2を参照すると、試料1、8、9、15、16、22、24、26、28、30、32、34及び36は、本発明の数値範囲を外れるものであり、デラミネーション及びクラック発生率が高く、信頼性において問題があることが分かる。
また、試料6、7、13、14、20及び21は、本発明の数値範囲を外れるものであり、静電容量が低くて問題があることが分かる。
また、試料17〜19、23、29、33及び35は、本発明の数値範囲を外れるものであり、絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)が低くて問題があることが分かる。
一方、試料2〜5、10〜12、25、27、31及び37は、本発明の数値範囲を満たすものであり、デラミネーション及びクラック発生率が低くて信頼性に優れており、絶縁破壊電圧(Breakdown Voltage、BDV)も高いため、高容量の積層セラミックキャパシタを実現することができることが分かる。
積層セラミックキャパシタの実装基板
図5及び図6を参照すると、本発明の実施形態による積層セラミックキャパシタ100の実装基板200は、積層セラミックキャパシタ100が水平に実装される印刷回路基板210と、印刷回路基板210の上面に互いに離隔されるように形成された第1及び第2電極パッド221、222と、を含む。
この際、積層セラミックキャパシタ100は、下部カバー層113が下側に配置され、第1及び第2外部電極131、132がそれぞれ第1及び第2電極パッド221、222上に接触されるように位置された状態で、半田付け230により印刷回路基板210と電気的に連結されることができる。
上記のように積層セラミックキャパシタ100が印刷回路基板210に実装された状態で電圧を印加すると、アコースティックノイズが発生する恐れがある。
この際、第1及び第2電極パッド221、222のサイズは、積層セラミックキャパシタ100の第1及び第2外部電極131、132と第1及び第2電極パッド221、222を連結する半田付け230の量を決定する指標となる。このような半田付け230の量によってアコースティックノイズの大きさが調節されることができる。
図7を参照すると、積層セラミックキャパシタ100が印刷回路基板210に実装された状態で、積層セラミックキャパシタ100の両端部に形成された第1及び第2外部電極131、132に異なる極性の電圧が印加されると、誘電体層111の逆圧電効果(Inverse piezoelectric effect)によってセラミック本体110が厚さ方向に膨張及び収縮し、第1及び第2外部電極131、132の両端部は、ポアソン効果(Poisson effect)によってセラミック本体110の厚さ方向の膨張及び収縮とは反対に収縮及び膨張する。
ここで、活性層115の中心部は、第1及び第2外部電極131、132の長さ方向の両端部で最も大きく膨張及び収縮される部分であり、アコースティックノイズを発生させる原因となる。
積層セラミックキャパシタ100の長さ方向の両端面が最大に膨張されると、 半田付け230の上部は膨張によって外部に押し出される力(1)が生じ、外部に押し出される力により、半田付け230の下部は外部電極の方に押し出される収縮される力(2)が生じる。
従って、本実施形態のように、電圧が印加されて活性層115の中心部(CL)で発生する変形率と下部カバー層113で発生する変形率との差により、セラミック本体110の両端面に形成された変曲点が半田付け230の高さ以下で形成されると、アコースティックノイズがさらに減少する。
以上、本発明の実施形態について詳細に説明したが、本発明の権利範囲はこれに限定されるものではなく、特許請求の範囲に記載の本発明の技術的事項を外れない範囲内で多様な修正及び変形が可能であるということは、当技術分野の通常の知識を有する者において自明である。
100 積層セラミックキャパシタ
110 セラミック本体
111 誘電体層
112 上部カバー層
113 下部カバー層
115 活性層
121、122 第1及び第2内部電極
123、124、125a、125b、126、127 ダミー電極
131、132 第1及び第2外部電極
200 実装基板
210 印刷回路基板
221、222 第1及び第2電極パッド
230 半田付け

Claims (14)

  1. 平均厚さが0.2〜2.0μmである複数の誘電体層が積層されたセラミック本体と、
    前記誘電体層を挟んで前記セラミック本体の両端面から交互に露出されるように形成された複数の第1及び第2内部電極を含んで容量が形成される活性層と、
    前記活性層の上部に形成された上部カバー層と、
    前記活性層の下部に形成され、前記上部カバー層より厚い厚さを有する下部カバー層と、
    前記セラミック本体の両端面を覆うように形成された第1及び第2外部電極と、を含み、
    前記誘電体層は誘電体グレインで構成されており、前記誘電体層の平均厚さをtd(μm)、前記第1及び第2内部電極の平均厚さをte(μm)、前記誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たす積層セラミックキャパシタ。
  2. 前記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、前記下部カバー層の厚さをB、前記活性層の全体厚さの1/2をC、前記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、前記活性層の中心部が前記セラミック本体の中心部から外れた比率、(B+C)/Aは1.063≦(B+C)/A≦1.745の範囲を満たすことを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタ。
  3. 前記下部カバー層の厚さをB、前記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、前記上部カバー層の厚さ(D)と前記下部カバー層の厚さ(B)との比率、D/Bは0.021≦D/B≦0.422の範囲を満たすことを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタ。
  4. 前記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、前記下部カバー層の厚さをBと規定したときに、前記セラミック本体の厚さの1/2(A)に対する前記下部カバー層の厚さ(B)の比率、B/Aは0.329≦B/A≦1.522の範囲を満たすことを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタ。
  5. 前記下部カバー層の厚さをB、前記活性層の全体厚さの1/2をCと規定したときに、前記下部カバー層の厚さ(B)に対する前記活性層の厚さの1/2(C)の比率、C/Bは0.146≦C/B≦2.458の範囲を満たすことを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタ。
  6. 電圧印加時に前記活性層の中心部で発生する変形率と前記下部カバー層で発生する変形率との差により、前記セラミック本体の両端面に形成された変曲点が前記セラミック本体の厚さの中心部以下で形成されることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタ。
  7. 前記誘電体層の積層数は150層以上であることを特徴とする請求項1に記載の積層セラミックキャパシタ。
  8. 上部に第1及び第2電極パッドを有する印刷回路基板と、
    前記印刷回路基板上に設けられた積層セラミックキャパシタと、を含んでおり、
    前記積層セラミックキャパシタは、平均厚さが0.2〜2.0μmである複数の誘電体層が積層されたセラミック本体と、前記誘電体層を挟んで前記セラミック本体の両端面から交互に露出されるように形成された複数の第1及び第2内部電極を含んで容量が形成される活性層と、前記活性層の上部に形成された上部カバー層と、前記活性層の下部に前記上部カバー層より厚く形成された下部カバー層と、前記セラミック本体の両端面に形成され、前記第1及び第2電極パッドと半田付けにより連結された第1及び第2外部電極と、を含み、
    前記誘電体層は誘電体グレインで構成されており、前記誘電体層の平均厚さをtd(μm)、前記第1及び第2内部電極の平均厚さをte(μm)、前記誘電体グレインの平均粒径をDa(μm)と規定したときに、Da≦td/3及び0.2μm<te<(td)1/2を満たす積層セラミックキャパシタの実装基板。
  9. 前記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、前記下部カバー層の厚さをB、前記活性層の全体厚さの1/2をC、前記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、前記活性層の中心部が前記セラミック本体の中心部から外れた比率、(B+C)/Aは1.063≦(B+C)/A≦1.745の範囲を満たすことを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの実装基板。
  10. 前記下部カバー層の厚さをB、前記上部カバー層の厚さをDと規定したときに、前記上部カバー層の厚さ(D)と前記下部カバー層の厚さ(B)との比率、D/Bは0.021≦D/B≦0.422の範囲を満たすことを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの実装基板。
  11. 前記セラミック本体の全体厚さの1/2をA、前記下部カバー層の厚さをBと規定したときに、前記セラミック本体の厚さの1/2(A)に対する前記下部カバー層の厚さ(B)の比率、B/Aは0.329≦B/A≦1.522の範囲を満たすことを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの実装基板。
  12. 前記下部カバー層の厚さをB、前記活性層の全体厚さの1/2をCと規定したときに、前記下部カバー層の厚さ(B)に対する前記活性層の厚さの1/2(C)の比率、C/Bは0.146≦C/B≦2.458の範囲を満たすことを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの実装基板。
  13. 電圧印加時に前記活性層の中心部で発生する変形率と前記下部カバー層で発生する変形率との差により、前記セラミック本体の両端面に形成された変曲点が前記半田付けの高さ以下で形成されることを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの実装基板。
  14. 前記誘電体層の積層数は150層以上であることを特徴とする請求項8に記載の積層セラミックキャパシタの実装基板。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020096148A (ja) * 2018-12-12 2020-06-18 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 積層セラミック電子部品

Families Citing this family (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101452054B1 (ko) * 2012-12-03 2014-10-22 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터 및 그 실장 기판
JP6578703B2 (ja) * 2015-03-31 2019-09-25 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品
CN106571229B (zh) * 2015-10-09 2018-11-09 株式会社村田制作所 电子部件
KR102191251B1 (ko) * 2018-08-30 2020-12-15 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품
KR102133392B1 (ko) * 2018-09-28 2020-07-14 삼성전기주식회사 적층형 커패시터
KR20190121213A (ko) * 2018-10-24 2019-10-25 삼성전기주식회사 세라믹 전자 부품
KR20190121222A (ko) 2018-11-16 2019-10-25 삼성전기주식회사 유전체 조성물 및 이를 이용한 커패시터 부품
KR20190116119A (ko) * 2019-07-01 2019-10-14 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터 및 그 제조 방법
KR20210074678A (ko) * 2019-12-12 2021-06-22 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품
KR20220084603A (ko) * 2020-12-14 2022-06-21 삼성전기주식회사 적층형 커패시터 및 그 실장 기판

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06215978A (ja) * 1993-01-21 1994-08-05 Murata Mfg Co Ltd 積層型コンデンサ
JPH0745469A (ja) * 1993-07-27 1995-02-14 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品
JP2006203165A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Samsung Electro Mech Co Ltd 積層型チップキャパシタ
WO2011024582A1 (ja) * 2009-08-27 2011-03-03 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサの製造方法および積層セラミックコンデンサ

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4483237B2 (ja) * 2003-09-02 2010-06-16 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の製造方法
KR100674841B1 (ko) * 2005-01-20 2007-01-26 삼성전기주식회사 적층형 칩 커패시터
JP4788960B2 (ja) * 2006-03-10 2011-10-05 Tdk株式会社 セラミック粉末及びこれを用いた誘電体ペースト、積層セラミック電子部品、その製造方法
KR101309326B1 (ko) * 2012-05-30 2013-09-16 삼성전기주식회사 적층 칩 전자부품, 그 실장 기판 및 포장체

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06215978A (ja) * 1993-01-21 1994-08-05 Murata Mfg Co Ltd 積層型コンデンサ
JPH0745469A (ja) * 1993-07-27 1995-02-14 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品
JP2006203165A (ja) * 2005-01-20 2006-08-03 Samsung Electro Mech Co Ltd 積層型チップキャパシタ
WO2011024582A1 (ja) * 2009-08-27 2011-03-03 株式会社村田製作所 積層セラミックコンデンサの製造方法および積層セラミックコンデンサ

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2020096148A (ja) * 2018-12-12 2020-06-18 サムソン エレクトロ−メカニックス カンパニーリミテッド. 積層セラミック電子部品
JP7315285B2 (ja) 2018-12-12 2023-07-26 サムソン エレクトロ-メカニックス カンパニーリミテッド. 積層セラミック電子部品
US11817259B2 (en) 2018-12-12 2023-11-14 Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. Multi-layered ceramic electronic component

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