JP2014082427A - 半導体装置 - Google Patents
半導体装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014082427A JP2014082427A JP2012231191A JP2012231191A JP2014082427A JP 2014082427 A JP2014082427 A JP 2014082427A JP 2012231191 A JP2012231191 A JP 2012231191A JP 2012231191 A JP2012231191 A JP 2012231191A JP 2014082427 A JP2014082427 A JP 2014082427A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- containing metal
- layer
- insulating film
- plating layer
- region
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Abstract
【解決手段】半導体層18と、前記半導体層上に形成されたNi含有金属33と、前記Ni含有金属上にめっきにより形成されたAuを含有するめっき層34と、前記めっき層と、前記Ni含有金属とが直接接する接触領域37と、前記めっき層上に形成された第1絶縁膜26と、前記第1絶縁膜に設けられ前記めっき層が露出する第1開口と、を具備し、前記めっき層の表面において前記接触領域とオーバーラップする領域のすべてが、前記第1開口の内側に位置してなる半導体装置。
【選択図】図3
Description
18 窒化物半導体層
23 絶縁膜
28 ゲート電極
30 絶縁膜
32 ゲートバスバー
33 Ni含有金属
34 Auめっき層
37 接触領域
40 ゲートパッド
44 ソースパッド
45 ドレインパッド
Claims (9)
- 半導体層と、
前記半導体層上に形成されたNi含有金属と、
前記Ni含有金属上にめっきにより形成されたAuを含有するめっき層と、
前記めっき層と、前記Ni含有金属とが直接接する接触領域と、
前記めっき層上に形成された第1絶縁膜と、
前記第1絶縁膜に設けられ前記めっき層が露出する第1開口と、
を具備し、
前記めっき層の表面において前記接触領域とオーバーラップする領域のすべてが、前記第1開口の内側に位置してなることを特徴とする半導体装置。 - 前記オーバーラップする領域のすべてが、前記第1開口の内縁よりも2μm以上離間してなることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記Ni含有金属は、前記半導体層と接してなることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体層は窒化物半導体からなり、前記Ni含有金属は、FETのゲート電極を構成するNi含有電極と同じ成膜工程で設けられた層によって構成されてなることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体層は活性領域と不活性領域とを備え、前記Ni含有金属および前記めっき層は、前記不活性領域上に位置するゲートパッドあるいはソースパッドの領域に設けられてなることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記半導体層は活性領域と不活性領域とを備え、前記Ni含有金属は前記不活性領域上において、前記FETにおける複数のゲート電極を接続するゲートバスバーのパターンを備えてなり、前記めっき層が前記Ni含有金属の前記ゲートバスバーのパターン上に設けられてなることを特徴とする請求項4記載の半導体装置。
- 前記Ni含有金属に対向する前記半導体層には、前記Ni含有金属に到達するビアホールが設けられてなることを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記半導体層上には、前記Ni含有金属のパターンから離間して前記Ni含有金属のパターンを包囲するパターンからなる第2開口を備えた第2絶縁膜が設けられてなり、前記第1開口の内縁は、前記Ni含有金属のパターンを包囲するパターンにオーバーラップして位置することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
- 前記Ni含有金属上には、前記Ni含有金属のパターンの上面を覆う第2絶縁膜が設けられてなり、前記第2絶縁膜には前記Ni含有金属のパターンの一部を露出する第2開口が設けられてなり、前記第1開口の内縁は、前記第2絶縁膜によって覆われた前記Ni含有金属のパターンの上面にオーバーラップして位置することを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012231191A JP6029060B2 (ja) | 2012-10-18 | 2012-10-18 | 半導体装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012231191A JP6029060B2 (ja) | 2012-10-18 | 2012-10-18 | 半導体装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014082427A true JP2014082427A (ja) | 2014-05-08 |
JP6029060B2 JP6029060B2 (ja) | 2016-11-24 |
Family
ID=50786331
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012231191A Active JP6029060B2 (ja) | 2012-10-18 | 2012-10-18 | 半導体装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6029060B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016046306A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 株式会社東芝 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
JP2017063129A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004119791A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Nec Kansai Ltd | GaAs電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2005159244A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007142164A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Toshiba Corp | 電界効果型半導体装置 |
JP2009182069A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2010003796A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2011003652A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
-
2012
- 2012-10-18 JP JP2012231191A patent/JP6029060B2/ja active Active
Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2004119791A (ja) * | 2002-09-27 | 2004-04-15 | Nec Kansai Ltd | GaAs電界効果トランジスタ及びその製造方法 |
JP2005159244A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体装置 |
JP2007142164A (ja) * | 2005-11-18 | 2007-06-07 | Toshiba Corp | 電界効果型半導体装置 |
JP2009182069A (ja) * | 2008-01-30 | 2009-08-13 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2010003796A (ja) * | 2008-06-19 | 2010-01-07 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
JP2011003652A (ja) * | 2009-06-17 | 2011-01-06 | Fujitsu Ltd | 半導体装置及びその製造方法 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016046306A (ja) * | 2014-08-20 | 2016-04-04 | 株式会社東芝 | 半導体装置および半導体装置の製造方法 |
US9991349B2 (en) | 2014-08-20 | 2018-06-05 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
JP2017063129A (ja) * | 2015-09-25 | 2017-03-30 | サンケン電気株式会社 | 半導体装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6029060B2 (ja) | 2016-11-24 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9653592B2 (en) | Method for fabricating semiconductor device and semiconductor device | |
JP5970736B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US10804361B2 (en) | Nitride semiconductor device | |
US20080088020A1 (en) | Semiconductor device and manufacturing method of the same | |
US20130256755A1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
JP7095982B2 (ja) | 半導体装置 | |
US8586996B2 (en) | Semiconductor device and method of manufacturing the same | |
JP2018037497A (ja) | 半導体装置 | |
CN109698236B (zh) | 半导体装置 | |
US20240136423A1 (en) | High electron mobility transistor and method for fabricating the same | |
JP6171250B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6029060B2 (ja) | 半導体装置 | |
US9305788B2 (en) | Method of fabricating semiconductor device | |
JP2014220463A (ja) | 半導体装置 | |
US20110291203A1 (en) | Semiconductor device and method for manufacturing the same | |
US11735644B2 (en) | High electron mobility transistor and method for fabricating the same | |
KR20170047147A (ko) | 고전자이동도 트랜지스터 및 그의 제조방법 | |
JP6052977B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6048732B2 (ja) | 半導体装置およびその製造方法 | |
JP6699867B2 (ja) | 半導体装置 | |
JP6776501B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
US20140217416A1 (en) | Nitrides based semiconductor device | |
JP2014060439A (ja) | 化合物半導体装置及びその製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20151016 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160909 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160920 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161007 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6029060 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |