JP2014058147A - はんだ球製造用のモールドの製造方法、及びはんだ球の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】粒子径が均一であって、粒子径が７０μｍ以下であるような微細なはんだ球を製造可能なはんだ球製造用のモールドを、短時間で容易に製造可能な、はんだ球製造用のモールドの製造方法を提供すること。また、前述の方法により製造されたはんだ球製造用のモールドを用いる、はんだ球の製造方法を提供すること。
【解決手段】基板上にフォトリソグラフィー法により所定の径の円形の開口を有する樹脂パターンを形成し、形成された樹脂パターンをマスクとして基板に対してサンドブラストを行って基板上に略半球状の凹部を形成することにより、はんだ球製造用のモールドを製造する。
【選択図】図１

Description

本発明は、はんだ球製造用のモールドの製造方法、及びはんだ球の製造方法に関する。

携帯電話等に代表される電気・電子機器の小型化や高機能化に伴い、ＬＳＩやＬＳＩパッケージを小型化し、これらを基板上に高精度で接続するために、端子間のピッチの狭小化とともに、基板や端子上に設けられるはんだバンプの微小化が望まれている。

微小なはんだバンプを形成するための微小なはんだ球を製造する方法としては、例えば、るつぼ内の溶融はんだに振動を与えることにより、体積の均一なはんだ液滴をるつぼより噴霧し、液滴を固化させてはんだ球を製造する方法（特許文献１）や、ステレンレス鋼板等の基板に、放電加工等の方法により窪みを形成し、はんだペーストを形成された窪みに充填した後、窪みに充填されたはんだを加熱して球形化させることにより、はんだ球を製造する方法（特許文献２）が知られている。

特開２００９−０３４６９２号公報 特許第３３０５１６２号公報

種々の半導体チップ等について、種々の電気・電子機器の小型化や高性能化にともない、端子のさらなる狭ピッチ化が進んでいる。このため、半導体チップの端子上や、基板表面へのはんだバンプの形成に用いられるはんだ球について、例えば、粒子径を７０μｍ以下とするような、さらなる微細化が要求されている。しかし、特許文献１や２に記載の方法では、粒子径が７０μｍ以下であるような微細なはんだ球の製造が容易ではない。

特許文献１に記載の方法では、得られるはんだ球の径は、溶融はんだの粘度や表面張力や、溶融はんだを吐出する吐出口の口径等により決定されるが、はんだ球の径を決定する主要因は吐出口の口径である。このため、はんだ球を微細化するためには、溶融はんだを吐出する吐出口の口径を微細化する必要があるが、溶融はんだを良好に吐出する必要性から、吐出口の口径の微細化には限界がある。それゆえ、特許文献１に記載の方法では、はんだ球のさらなる微細化が困難である。

また、特許文献２に記載の方法では、放電加工等の方法により基板表面に窪みを形成しているため、加工精度の問題から、微細且つ均一な形状の窪みを基板上に多数形成することが難しい。

本発明は、上記の課題に鑑みてなされたものであり、粒子径が均一であって、粒子径が７０μｍ以下であるような微細なはんだ球を製造可能なはんだ球製造用のモールドを、短時間で容易に製造可能な、はんだ球製造用のモールドの製造方法を提供することを目的とする。また、本発明は、前述の方法により製造されたはんだ球製造用のモールドを用いる、はんだ球の製造方法を提供することを目的とする。

本発明者らは、基板上にフォトリソグラフィー法により所定の径の円形の開口を有する樹脂パターンを形成し、形成された樹脂パターンをマスクとして基板に対してサンドブラストを行って基板上に略半球状の凹部を形成することにより、はんだ球製造用のモールドを製造することで上記の課題を解決できることを見出し、本発明を完成するに至った。具体的には、本発明は、以下のものを提供する。

本発明の第一の態様は、
基板表面に感光性樹脂層を形成する、感光性樹脂層形成工程と、
感光性樹脂層を、露光及び現像し、基板上に、１以上の所定の径の円形の開口を有する樹脂パターンを形成する、樹脂パターン形成工程と、
樹脂パターンをマスクとして前記基板をサンドブラスト処理し、基板表面に、１以上の略半球状の凹部を形成する、凹部形成工程と、
樹脂パターンを剥離する、樹脂パターン剥離工程と、
を含むはんだ球製造用のモールドの製造方法である。

本発明の第二の態様は、
第一の態様にかかる方法により製造されたはんだ球製造用のモールド上の凹部に、はんだを充填する、はんだ充填工程と、
凹部に充填されたはんだをはんだの融点以上の温度下に置いて、はんだを球形化させる、はんだ球形化工程と、
を含むはんだ球の製造方法である。

本発明によれば、粒子径が均一であって、粒子径が７０μｍ以下であるような微細なはんだ球を製造可能なはんだ球製造用のモールドを、短時間で容易に製造可能な、はんだ球製造用のモールドの製造方法を提供することができる。また、本発明によれば、前述の方法により製造されたはんだ球製造用のモールドを用いる、はんだ球の製造方法を提供することができる。

本発明の第一の態様に係るはんだ球製造用モールドの製造方法の概略を示す図である。 本発明の第二の態様に係るはんだ球製造用モールドの製造方法の概略を示す図である。

［第一の態様］
本発明の第一の態様は、
基板表面に感光性樹脂層を形成する、感光性樹脂層形成工程と、
感光性樹脂層を、露光及び現像し、基板上に、１以上の所定の径の円形の開口を有する樹脂パターンを形成する、樹脂パターン形成工程と、
樹脂パターンをマスクとして前記基板をサンドブラスト処理し、基板表面に、１以上の略半球状の凹部を形成する、凹部形成工程と、
樹脂パターンを剥離する、樹脂パターン剥離工程と、
を含むはんだ球製造用のモールドの製造方法である。

また、本発明の第一の態様に係る、はんだ球製造用のモールドの製造方法では、基板上に形成される凹部の表面に対してウェットエッチング処理を行うのが好ましい。以下、図１を参照して、第一の態様に係る、はんだ球製造用のモールドの製造方法に含まれる各工程について説明する。

〔感光性樹脂層形成工程〕
図１（ａ）及び図１（ｂ）に示されるように、感光性樹脂層形成工程では、基板１０表面にサンドブラスト処理用のマスクである樹脂パターン１５を形成するために、基板１０表面に感光性樹脂層１１が形成される。感光性樹脂層１１を露光、及び現像することにより、樹脂パターン１５が形成される。感光性樹脂層の材料（以下、感光性樹脂組成物とも記す）は、サンドブラスト処理に耐えうる強度を有する樹脂パターン１５を形成可能であれば特に限定されない。感光性樹脂層１１の材料は、従来からサンドブラスト処理用のマスクの形成に用いられている感光性樹脂組成物から適宜選択して使用することができる。また、感光性樹脂組成物は、所定の樹脂パターン１５を形成可能であれば、ネガ型であってもポジ型であってもよい。

基板１０の材料は、サンドブラスト処理による加工が可能であって、はんだを溶融させる温度下で、熱による劣化や変形が生じない材料であれば特に限定されない。好適な基板の材料としては、ガラス、エポキシ樹脂及びポリイミドが挙げられる。これらの材料の中では、耐熱性に優れるとともに、サンドブラスト処理による加工が容易であることからガラスが好ましい。

感光性樹脂組成物に含まれる感光性樹脂は本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。感光性樹脂組成物を用いて得られる樹脂パターン１５のサンドブラスト耐性の点から、感光性樹脂組成物に含まれる感光性樹脂は、セルロース系樹脂、アクリル系樹脂、及びウレタン結合を有する樹脂が好ましく、ウレタン結合を有する樹脂がより好ましい。

感光性樹脂組成物は、感光性樹脂組成物に含まれる感光性樹脂の種類や、感光性樹脂層１１に対する露光及び現像のプロセスの態様に応じて、光重合開始剤、光重合性化合物、光重合開始剤、増感剤、重合禁止剤、及び可塑剤等の、従来から感光性樹脂組成物に配合されている種々の成分を含んでいてもよい。

感光性樹脂層１１は、基板１０表面に溶剤を含む液状の感光性樹脂組成物を塗布することによって形成してもよい。また、感光性樹脂層１１は、液状の感光性樹脂組成物を離型フィルム上に塗布した後乾燥し、ドライフィルムを形成した後、被処理体表面に貼り付けることにより形成されてもよい。感光性樹脂層１１の膜厚は、形成される樹脂パターン１５の膜厚に応じて、適宜調製される。樹脂パターン１５の膜厚については後述する。

液状の感光性樹脂組成物の調製に使用できる溶剤としては、例えば、クロロホルム、及びテトラクロロエチレン等のハロゲン化炭化水素類；ジブチルエーテル、イソプロピルエーテル、ジオキサン、及びテトラヒドロフラン等のエーテル類；アセトン、ジエチルケトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチルケトン、メチルプロピルケトン、及びシクロヘキサノン等のケトン類；酢酸エチル、酢酸ｎ−プロピル、及び酢酸ｎ−ブチル等のエステル類；ベンゼン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素類のような有機溶剤が挙げられる。

〔樹脂パターン形成工程〕
図１（ｂ）〜図１（ｅ）に示されるように、樹脂パターン形成工程では、感光性樹脂層形成工程で形成された感光性樹脂層１１に対して、所定のパターンのマスク１２を介して光線１３を照射して露光を行った後、露光後の感光性樹脂層１１を現像液１４により現像することにより、所定の径の円形の開口部１６を有する樹脂パターン１５を形成する。樹脂パターン１５は、サンドブラスト処理用のマスクとして使用される。

感光性樹脂層１１に光線１３を照射する露光手段は、特に限定されず、例えば、低圧水銀灯、高圧水銀灯、超高圧水銀灯、メタルハライドランプ、及びアルゴンガスレーザー等を用いることができる。

露光後の現像方法は、所望の形状の樹脂パターン１５を形成可能であれば特に限定されない。樹脂パターンがアルカリに対して不溶であり、現像により除去される個所がアルカリに対して可溶である場合、アルカリ性水溶液を現像液１４として用いることができる。例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、炭酸ナトリウム、ケイ酸ナトリウム、メタケイ酸ナトリウム、アンモニア水、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、トリエチルアミン、メチルジエチルアミン、ジメチルエタノールアミン、トリエタノールアミン、テトラメチルアンモニウムヒドロキシド、テトラエチルアンモニウムヒドロキシド、ピロール、ピペリジン、１，８−ジアザビシクロ［５，４，０］−７−ウンデセン、及び１，５−ジアザビシクロ［４，３，０］−５−ノナン等のアルカリ類の水溶液を使用することができる。また上記アルカリ類の水溶液にメタノール、エタノール等の水溶性有機溶媒や界面活性剤を適当量添加した水溶液を現像液１４として使用することもできる。

また、樹脂パターンが有機溶剤に不溶であり、現像により除去される個所が有機溶剤に対して可溶である場合は、有機溶剤を含む現像液１４を使用することができる。この場合、現像液１４に含まれる有機溶剤は、従来からフォトリソグラフィー法における現像液に使用されている有機溶剤から適宜選択される。

現像時間は、特に限定されず、通常１〜３０分間である。また、現像方法の例としては、液盛り法、ディッピング法、パドル法、及びスプレー現像法等が挙げられる。現像後は、必要に応じて、洗浄やリンスを行った後、ポストベークを行ってもよい。

樹脂パターン１５に形成される円形の開口部１６の径は、後述するサンドブラスト処理によりはんだ球製造用のモールドに形成される凹部１８の開口部の径に応じて決定される。凹部１８の開口部の径については後述する。

樹脂パターン１５の厚さは、樹脂パターン１５がサンドブラスト処理に耐えうる厚さであれば特に限定されない。樹脂パターン１５の厚さは、典型的には、１０〜１００μｍが好ましく、２０〜６０μｍがより好ましい。

〔凹部形成工程〕
図１（ｅ）〜図１（ｇ）に示されるように、凹部形成工程では、樹脂パターン形成工程により基板１０上に形成された樹脂パターン１５を、サンドブラスト処理用のマスクとして使用して、基板１０に対してブラスト材１７を吹き付けるサンドブラスト処理を行い、基板１０表面に、１以上の略半球状の凹部１８を形成する。

サンドブラスト処理の条件は、所定の形状の凹部１８を形成できる限り特に限定されない。サンドブラスト処理に用いるブラスト材１７の種類は、基板の研削が可能であれば特に限定されず、基板の材質に応じて適宜選択される。好適なブラスト材の例としては、ガラスビーズ、アルミナ粒子、シリカ粒子、炭化ケイ素粒子、及び酸化ジルコニウム粒子等が挙げられる。ブラスト材１７の粒子径は、所定の形状の凹部１８を形成できる限り特に限定されない。ブラスト材１７の平均粒子径は、典型的には、５〜９０μｍが好ましく、１５〜６０μｍがより好ましい。また、ブラスト圧は、典型的には、０．３〜１．０ｋｇ／ｃｍ^２（Ｇ）が好ましく、０．４〜０．７ｋｇ／ｃｍ^２（Ｇ）がより好ましい。

サンドブラスト処理により基板１０上に形成される略半球状の凹部１８の開口部の直径は特に限定されず、第一の態様に係る方法により得られるはんだ球製造用モールドを用いて形成されるはんだ球のサイズに応じて適宜決定される。凹部１８の開口部の直径は、１０〜１００μｍが好ましく、２０〜６０μｍがより好ましい。凹部１８の開口部の直径をこのような範囲とすることにより、本発明の第二の態様によりはんだ球を製造する際に、直径７０μｍ以下のはんだ球の製造が容易である。また、凹部１８の深さは、凹部１８の直径の０．３〜０．７倍であるのが好ましく、０．４〜０．６倍であるのがより好ましい。

〔樹脂パターン剥離工程〕
図１（ｇ）〜図１（ｉ）に示されるように、凹部形成工程により基板１０表面に所定の形状の略半球状の凹部１８を形成した後、樹脂パターン剥離工程で、基板１０表面の樹脂パターン１５を剥離させることによりはんだ球製造用のモールド１が得られる。樹脂パターン１５を剥離させる方法は特に限定されないが、剥離作業が容易であることや、剥離後に樹脂パターン１５の残渣が凹部１８内に残りにくいこと等から、剥離液（洗浄液）１９を用いて樹脂パターン１５を剥離する方法が好ましい。

剥離液１９は、樹脂パターン１５を剥離させることができれば特に限定されず、従来、感光性樹脂組成物の剥離用とで使用されている、剥離液から適宜選択される。剥離液１９の例としては、有機溶剤系の剥離液や、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、トリエタノールアミン等のアミン類；テトラメチルアンモニウムヒドロキシド等の四級アンモニウム水酸化物；水酸化ナトリウム、水酸化カリウム、及び炭酸ナトリウム等の塩基性アルカリ金属化合物；アンモニア等の塩基を含む塩基性剥離液が挙げられる。塩基性剥離液に含まれる溶媒は、水、有機溶剤、及び有機溶剤水溶液から適宜選択される。

剥離液１９による樹脂パターン１５の剥離方法は特に限定されない。剥離液による樹脂パターンの剥離は、液盛り法、ディッピング法、パドル法、及びスプレー法等が挙げられる。

〔ウェットエッチング工程〕
第一の態様に係るはんだ球製造用のモールドの製造方法では、サンドブラスト処理により形成される基板上の凹部１８の表面をウェットエッチング処理するのが好ましい。サンドブラストにより形成される凹部１８の表面は、荒れた状態であるため、モールド１を用いてはんだ球を製造する際に、はんだ球が、モールド１からやや離型しにくい場合がある。しかし、凹部１５の表面をウェットエッチングする場合、凹部１５の表面が滑らかになることによって、モールド１を用いてはんだ球を製造する際の、はんだ球の離型性を大きく改善することができる。

ウェットエッチングは、樹脂パターン剥離工程の前後のいずれの段階で行ってもよく、樹脂パターン剥離工程後に行うのが好ましい。ウェットエッチングの方法は、凹部１５の表面を滑らかにできれば特に限定されず、基板の材質に応じて、公知のエッチング方法から適宜選択される。

基板がガラスである場合の、好適なエッチング方法としては、フッ酸によりウェットエッチングする方法が挙げられる。

以上説明した第一の態様に係るはんだ球製造用のモールド１の製造方法によれば、微細且つ均一な形状の凹部を有するモールド１を短時間で、容易に形成することができる。

［第二の態様］
本発明の第二の態様は、
第一の態様に係る方法により製造されたはんだ球製造用のモールド上の凹部に、はんだを充填する、はんだ充填工程と、
凹部に充填されたはんだをはんだの融点以上の温度下に置いて、はんだを球形化させる、はんだ球形化工程と、
を含むはんだ球の製造方法である。
以下、はんだ充填工程と、はんだ球形化工程とについて順に説明する。

〔はんだ充填工程〕
図２（ａ）〜図２（ｄ）に示されるように、はんだ充填工程では、第一の態様に係る方法で製造されたはんだ球製造用のモールド１上の凹部１８に、はんだを充填する。凹部１８に充填されるはんだは特に限定されないが、通常はんだペーストが使用される。

以下、はんだ充填工程で用いるはんだペースト２２について説明する。本発明の第二の態様において使用するはんだペースト２２は、従来からはんだ球の製造用に用いられているはんだペースト２２から適宜選択して使用される。はんだペースト２２に含まれる典型的な成分としては、低融点合金であるはんだと、フラックスとが挙げられる。はんだ及びフラックスについて順に説明する。

（はんだ）
はんだペースト２２に配合される、低融点合金であるはんだは、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。はんだペースト２２に配合されるはんだの好適な例としては、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ系はんだ、Ｓｎ−Ａｇ系はんだ、Ｓｎ−Ｃｕ系はんだ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｃｕ−Ｂｉ系はんだ、Ｓｎ−Ａｇ−Ｂｉ−Ｉｎ系はんだ、Ｓｎ−Ｃｕ−Ｎｉ系はんだ、Ｓｎ−Ｂｉ系はんだ、及びＳｎ−Ｚｎ系はんだ等の鉛を含まない鉛フリーはんだや、Ｓｎ−Ｐｂ共晶はんだ等の鉛含有はんだが挙げられる。はんだペースト２２は、これらのはんだを、複数組み合わせて含んでいてもよい。

これらのはんだの中では、欧州でのＲｏＨＳ指令による鉛を含有するはんだの使用の規制を考慮し、鉛を含まない鉛フリーはんだが好ましい。鉛フリーはんだの中では耐熱疲労特性に優れることからＳｎ−Ａｇ−Ｃｕ系はんだがより好ましい。

（フラックス）
はんだペースト２２に配合されるフラックスの成分としては、例えば、樹脂成分をベースとし、活性剤、有機ハロゲン化合物、チクソトロピー性付与剤、有機溶剤等が使用される。また、上記の成分に加え、酸化防止剤、防錆剤、キレート化剤、レベリング剤、消泡剤、分散剤、つや消し剤、着色剤等を、所望によりフラックスに配合してもよい。

フラックスに使用される樹脂成分の具体例としては、天然ロジン、不均化ロジン、重合ロジン、及び水添ロジン等の天然樹脂や、ポリエステル樹脂、ポリウレタン樹脂、シリコン樹脂、エポキシ樹脂、オキセタン樹脂、及びアクリル樹脂等の合成樹脂が挙げられる。これらの樹脂は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

フラックスに使用される活性剤の具体例としては、メチルアミン、エチルアミン、ｎ−プロピルアミン、イソプロピルアミン、ｎ−ブチルアミン、ジメチルアミン、ジエチルアミン、ジ−ｎ−プロピルアミン、ジイソプロピルアミン、ジ−ｎ−ブチルアミン、トリメチルアミン、トリエチルアミン、トリ−ｎ−プロピルアミン、トリイソプロピルアミン、モノエタノールアミン、ジエタノールアミン、及びトリエタノールアミン等のアミン類の、塩酸塩、臭化水素酸塩等のハロゲン化水素塩；シュウ酸、マロン酸、コハク酸、アジピン酸、グルタル酸、ジエチルグルタル酸、ピメリン酸、アゼライン酸、セバシン酸、マレイン酸、フマル酸、ジグリコール酸、カプリン酸、ラウリン酸、ミリスチン酸、パルミチン酸、リノール酸、オレイン酸、ステアリン酸、アラキン酸、べへニン酸、リノレン酸、安息香酸、ヒドロキシピバリン酸、ジメチロールプロピオン酸、クエン酸、リンゴ酸、グリセリン酸、及び乳酸等のカルボン酸の塩が挙げられる。これらの活性剤は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

これらの活性剤をフラックスに配合する場合、通常、フラックス中３０質量％以下の割合で配合するのがよい。

フラックスに使用される有機ハロゲン化合物中に含まれるハロゲンとしては、塩素、臭素、ヨウ素が挙げられる。フラックスに使用される有機ハロゲン化物の具体例としては、３−ブロモ−１−プロパノール、及び１，４−ジブロモ−２−ブタノール等のハロゲン化アルコール類；ブロモ酢酸エチル、α−ブロモカプリル酸エチル、α−ブロモプロピオン酸エチル、β−ブロモプロピオン酸エチル、及び９，１０，１２，１３，１５，１６−ヘキサブロモステアリン酸メチルエステル等のハロゲン化脂肪族カルボン酸エステル類；２，３−ジブロモコハク酸、及び９，１０，１２，１３，１５，１６−ヘキサブロモステアリン酸等のハロゲン化脂肪族カルボン酸類；４−ステアロイルオキシベンジルブロマイド及び４−ステアロイルアミノベンジルブロマイド等のハロゲン化ベンジル化合物；ビス（２，３−ジブロモプロピル）ｏ−フタルアミド及びＮ，Ｎ，Ｎ’，Ｎ’−テトラ（２，３−ジブロモプロピル）スクシンアミド等のハロゲン化アルキルアミド類；１−ブロモ−３−メチル−１−ブテン、及び２，２−ビス［４−（２，３−ジブロモプロピル）−３，５−ジブロモフェニル］プロパン等のハロゲン化炭化水素；ビス（２，３−ジブロモプロピル）グリセロール、及びトリメチロールプロパンビス（２，３−ジブロモプロピル）エーテル等の含ハロゲンエーテル化合物；２，４−ジブロモアセトフェノン等のハロゲン化ケトン類；Ｎ，Ｎ’−ビス（２，３−ジブロモプロピル）ウレア等のハロゲン化ウレア類；α，α，α−トリブロモメチルスルフォン等のハロゲン化スルフォン類；ビス（２，３−ジブロモプロピル）スクシネート等のスクシネート化合物；トリス（２，３−ジブロモプロピル）イソシアヌレート等のイソシアヌレート化合物が挙げられる。これらの有機ハロゲン化物は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

これらの有機ハロゲン化合物をフラックスに配合する場合、通常、フラックス中、２０質量％以下の割合で配合するのがよい。

フラックスに使用されるチクソトロピー性付与剤の具体例としては、カスターワックス（硬化ひまし油）等のポリオレフィン系ワックス；ｍ−キシリレンビスステアリン酸アミド等の脂肪酸アミド；Ｎ−ブチル−Ｎ’−ステアリル尿素等の置換尿素ワックス；ポリエチレングリコール、ポリエチレンオキサイド、メチルセルロース、エチルセルロース、及びヒドロキシエチルセルロース等の高分子化合物；シリカ粒子及びカオリン粒子等の無機粒子が挙げられる。これらのチクソトロピー性付与剤は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

これらのチクソトロピー性付与剤をフラックスに配合する場合、通常、フラックス中に、３０質量％以下の割合で配合するのがよい。

フラックスに使用される有機溶剤の具体例としては、トリエチレングリコールモノメチルエーテル、トリエチレングリコールジメチルエーテル、テトラエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリコールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、ジエチレングリコールモノへキシルエーテル、エチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノフェニルエーテル、ジエチレングリコールモノブチルアセテート、ジプロピレングリコール、ジエチレングリコール−２−エチルへキシルエーテル、α−テルピネオール、ベンジルアルコール、２−へキシルデカノール、安息香酸ブチル、マレイン酸ジエチル、アジピン酸ジエチル、セバシン酸ジエチル、セバシン酸ジブチル、フタル酸ジエチル、ドデカン、テトラデセン、ドデシルベンゼン、エチレングリコール、ジエチレングリコール、ジプロピレングリコール、トリエチレングリコール、へキシレングリコール、１，５−ペンタンジオール、メチルカルビトール、ブチルカルビトール、プロピレングリコールモノメチルエーテルアセテート、プロピレングリコールモノエチルエーテルアセテート、ブチルカルビトールアセテート、３−メトキシブチルアセテート、トリエチレングリコールブチルメチルエーテル、及びトリアセチン等が挙げられる。これらの有機溶剤は２種以上を組み合わせて用いてもよい。

これらの有機溶剤をフラックスに配合する場合、通常、フラックス中に、５０質量％以下の割合で配合するのがよい。

はんだペースト２２中のフラックスの含有量は、所望の形状のはんだ球を製造できるかぎり特に限定されないが、はんだペースト２２の質量に対して２０質量％以下が好ましく、１５質量％以下がより好ましい。

はんだ充填工程では、図２（ｂ）に示されるように、モールド１の端部にはんだペースト２２を供給した後、スキージ２１を、モールド１の表面上で摺動させて、図２（ｃ）に示されるようにモールド１上の凹部１８にはんだペーストを充填する。スキージ２１の形状及び材質は、凹部１８へはんだを良好に充填できれば特に限定されない。凹部１８へのはんだペースト２２の充填が容易であることから、スキージ２１の材質は、硬質ポリウレタンのような硬質の弾性材料が好ましい。

スキージ２１によりはんだペースト２２をモールド１上の凹部１８に充填した後には、必要に応じて、ナイフエッジ（不図示）のような硬質の板状部材によってモールド１の表面に付着するはんだペーストをそぎ落とすのが好ましい。

〔はんだ球形化工程〕
図２（ｄ）及び図２（ｅ）に示されるように、はんだ球形化工程では、モールド１上の凹部１８に充填されたはんだ（はんだペースト２２）をはんだの融点以上の温度下に置いて、はんだを球形化させて、はんだ球２３を製造する。

モールド１上の凹部１８に充填されたはんだ（はんだペースト２２）が、はんだの融点以上の温度下に置かれることにより溶融して、表面張力の作用によって球形化される。はんだを球形化させる温度は、はんだの融点以上であれば、本発明の目的を阻害しない範囲で特に限定されない。はんだを球形化させる温度は、１００〜３００℃が好ましく、低融点のはんだを用いる場合１３０〜１６０℃がより好ましく、高融点のはんだを用いる場合２３０〜２８０℃がより好ましい。

このように形成されるはんだ球２３のモールド１からの回収方法は特に限定されない。好適なはんだ球２３の回収方法の例としては、はんだ球回収用の基板（不図示）を、モールド１の上方からモールド１に接近させることにより、はんだ球回収用の基板をはんだ球２３に当接させて、はんだ球２３をはんだ球回収用の基板に転写させる方法が挙げられる。

また、凹部１８が半導体素子等の素子の端子の位置に合わせて形成されたモールド１を用いてはんだ球２３を形成し、素子の端子先端を、モールド１上のはんだ球に当接させることで、素子の端子に、直接はんだ球を転写させることもできる。

以上説明した第二の態様に係るはんだ球の製造方法は、第一の態様に係る方法により製造されるはんだ球製造用のモールドを用いるため、粒子径が均一であって、粒子径が７０μｍ以下であるような微細なはんだ球を容易に製造可能である。

以下、本発明を実施例によりさらに詳細に説明するが、本発明はこれらの実施例に限定されるものではない。

［実施例］

３３５ｍｍ×３５４ｍｍの長方形のガラス基板上の所定の位置に、厚さ５０μｍのドライフィルムを貼り付けた後、ドライフィルムを露光及び現像して、直径５０μｍの開口を有する、サンドブラスト用のマスクである樹脂パターンを形成した。次いで、樹脂パターンを備えるガラス基板を、グリーンカーボランダムＧＣ＃６００（粒子径２０μｍ±１．５μｍ）をブラスト材として用いて、噴射圧０．５ｋｇでサンドブラスト処理して、ガラス基板表面に開口部直径６０μｍ深さ２５μｍの凹部を形成した。基板を剥離液（ＢＦハクリ・Ｂ、東京応化工業株式会社製）に３０分間浸漬した後、基板を水洗及び乾燥して、基板より樹脂パターンを剥離させた。次いで、凹部の内表面を、フッ酸にてウェットエッチングして、はんだ球製造用のモールドを得た。ガラス基板上に形成された凹部は、開口部直径６５〜７０μｍであり、開口部深さ２４μｍであった。

得られたモールド上の凹部に、はんだペーストを充填した後、はんだペーストが充填されたモールドを加熱して、モールドに充填されたはんだペーストを溶融させて、はんだペーストを球形化させた。モールド上の球形化された軟化状態のはんだペーストに、モールドの上方より、はんだ球回収用の基板を当接させて、モールドからはんだ球を剥離させて、はんだ球を回収した。以上の方法により、粒子径４３〜４４μｍの、粒子径が均一な微小なはんだ球を製造することができた。

１ モールド
１０ 基板
１１ 感光性樹脂層
１２ マスク
１３ 光線
１４ 現像液
１５ 樹脂パターン
１６ 開口部
１７ ブラスト材
１８ 凹部
１９ 剥離液
２１ スキージ
２２ はんだペースト
２３ はんだ球

Claims (4)

1. 基板表面に感光性樹脂層を形成する、感光性樹脂層形成工程と、
   前記感光性樹脂層を、露光及び現像し、基板上に、１以上の所定の径の円形の開口を有する樹脂パターンを形成する、樹脂パターン形成工程と、
   前記樹脂パターンをマスクとして前記基板をサンドブラスト処理し、基板表面に、１以上の略半球状の凹部を形成する、凹部形成工程と、
   前記樹脂パターンを剥離する、樹脂パターン剥離工程と、
   を含むはんだ球製造用のモールドの製造方法。
2. 前記凹部形成工程に次いで、前記凹部の表面をウェットエッチング処理する、請求項１記載のはんだ球製造用のモールドの製造方法。
3. 前記基板が、ガラス基板である、請求項１又は２記載のはんだ球製造用のモールドの製造方法。
4. 請求項１〜３のいずれか１項記載の方法により製造されたはんだ球製造用のモールド上の前記凹部に、はんだを充填する、はんだ充填工程と、
   前記凹部に充填された前記はんだを前記はんだの融点以上の温度下に置いて、前記はんだを球形化させる、はんだ球形化工程と、
   を含むはんだ球の製造方法。

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