JP2014052305A - Fluid material feeding device, and fluid material inspection device - Google Patents
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Abstract
Description
本発明は、流動物質供給装置及び流動物質検査装置に関する。 The present invention relates to a fluid substance supply apparatus and a fluid substance inspection apparatus.
粒状体又は粉体、例えば顆粒薬剤や食用粉末等の薬品や食品等の流動物質内に混入しているゴミ、金属片その他の異物の検査を行うとともに、その異物を除去するための流動物質検査処理装置が様々開発されている。 Inspecting particulates or powders such as dust, metal fragments and other foreign substances in fluids such as drugs and foods such as granular drugs and edible powders, and fluid substance inspection to remove the foreign substances Various processing devices have been developed.
特許文献1に記載の粒状体検査処理装置は、対象となる粒状体を撮像し、撮像された画像を基に、異物の有無を判別し空気の吐出によって対象の異物を取り除く構成を有する。この粒状体検査装置は検査精度をあげるために対象となる粒状体を均す必要があり、ホッパーから供給された粒状体を略均一に排出する粒状体供給装置を備えている。
The granular material inspection processing device described in
特許文献1に記載の粒状体供給装置900を、図10(a)に平面図、図10(b)に正面図、図10(c)に側面図として示す。ホッパーから排出された粒状体は筒体911より下方に供給され、ローラー921を通り、矢印Aに示す様に下方に排出される。
ローラー921の外周回りには、粒状体を一定量入れるための収容部となる溝921aが一定間隔で並設されている。又、図10(b)において、ローラー921は、駆動部923によって反時計回りに回転するが、ブラケット922内のローラー921の上部右側には、ローラー921の外周に沿ってローラー921と適宜の間隙を介して配置された案内部925が設けられている。案内部925は、筒体911の周囲部を囲むように設けられる。この案内部925の底部は、図10(a)に示すように、ローラー921の溝921aの形状に対応させた開口部925aを有している。これにより、筒体911から排出された粒状体は、一旦案内部925に入り込み、開口部925aからローラー921の溝921aに入り込む。従って、ホッパーの下端部に設けた筒体911の断面が円形状であっても、溝921aの形状に合わせて粒状体を溝921a側に送ることができるので、粒状体を均一に分散させて排出できる構造を有する。
The granular
Around the outer periphery of the
しかし、図10に示す特許文献1に記載の粒状体供給装置900は、溝921a内に入り込んだ粒状体をすり切る構造であるために、案内部925の開口部925aとローラー921の外周との隙間を数分の1mm単位で微調整する必要がある。又、対象とする粒状体の形状や、粒径によって、当該の隙間の調整がそれぞれ必要となる。更に、ローラー921の外周に溝921aを形成するために、複雑な切削加工を行う必要があり、製作に時間を要し、高価となる。
However, since the granular
本発明は、このような従来の実情に鑑みなされたもので、一定量の粒状体を安定して供給することができる供給装置と、それを備えた検査装置を提供するものである。 The present invention has been made in view of such a conventional situation, and provides a supply device that can stably supply a certain amount of granular material and an inspection device including the supply device.
本発明は、上記の課題を解決するためになされたものであり、粒状体又は粉体等の流動物質の供給装置であって、流れ落ちる流動物質の流路として、上下に保持された可撓性チューブと、この可撓性チューブの左右両側に、可撓性チューブを挟むように配置されたロッド状の一対の押圧体と、前記可撓性チューブの側方に設けられて、前記一対の押圧体の端部を接続した取付体と、この取付体を鉛直面に沿って、回動自在に支持するメインアクチュエーターと、を備え、前記メインアクチュエーターの動作により、前記取付体の中心を水平な回転軸として、軸回りに前記取付体を回転させ、前記一対の押圧体の水平方向距離を変更し、前記可撓性チューブを変形させて、前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置である。 The present invention has been made in order to solve the above-described problems, and is a supply device for a fluid substance such as a granular material or a powder, and is a flexible material that is held up and down as a flow path of the fluid substance that flows down. A tube, a pair of rod-shaped pressing bodies disposed on both the left and right sides of the flexible tube so as to sandwich the flexible tube, and the pair of pressing members provided on the sides of the flexible tube. And a main actuator that rotatably supports the attachment body along a vertical plane, and the center of the attachment body is rotated horizontally by the operation of the main actuator. As an axis, the mounting body is rotated around the axis, the horizontal distance between the pair of pressing bodies is changed, the flexible tube is deformed, and the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube is adjusted. Features with features A flow material supply device for.
又、前記の流動物質供給装置であって、前記可撓性チューブの上部入り口側が固定され、下部出口側が、その水平方向の移動を抑制され、上下方向の移動を自在とされたことを特徴とする流動物質供給装置である。 Further, in the fluid substance supply device, the upper entrance side of the flexible tube is fixed, and the lower exit side is restrained from moving in the horizontal direction, and can move in the vertical direction. This is a fluid substance supply device.
又、前記の流動物質供給装置であって、前記押圧体の横断面形状が楕円であり、前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、前記サブアクチュエーターの動作により、楕円状の前記押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置である。 Further, in the fluid substance supply device, the pressing body has an elliptical cross-sectional shape, and the pressing body includes a subactuator that independently rotates the pressing body. A fluid substance supply apparatus comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the pressing body.
又、前記の流動物質供給装置であって、前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、
前記押圧体の横断面形状が円であり、前記サブアクチュエーターの回転軸から偏心して取り付けられ、
前記サブアクチュエーターの動作により、前記偏心して取り付けられる円形状の押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置である。
Further, in the fluid substance supply device, the pressing body includes a sub-actuator that independently rotates the pressing body,
The cross-sectional shape of the pressing body is a circle, attached eccentrically from the rotation axis of the subactuator,
A fluid substance supply apparatus comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the eccentric pressing body attached eccentrically by the operation of the sub-actuator. .
又、前記の流動物質供給装置であって、前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を測定する測定手段と、前記測定手段による測定値を基に、前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記測定手段による測定値が目標値に対して過小の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を増大せしめ、前記測定手段による測定値が目標値に対して過多の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を減少せしめるために、前記メインアクチュエーター又は前記サブアクチュエーターをフィードバック制御することを特徴とする流動物質供給装置である。 Further, in the fluid substance supply device, a measuring unit that measures an amount of the fluid substance flowing down the flow path of the flexible tube, and a measurement value of the flexible tube based on a measurement value by the measuring unit. Control means for controlling the amount of the fluid substance flowing down the flow path, and the control means is configured to flow the flexible tube when the measurement value by the measurement means is too small with respect to a target value. In order to increase the cross-sectional area of the path and to reduce the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube when the measured value by the measuring means is excessive with respect to the target value, the main actuator or the sub-actuator Is a fluid substance supply device characterized by performing feedback control.
粒状体又は粉体等の流動物質の検査装置であって、流れ落ちる流動物質の流路として、上下に保持された可撓性チューブと、この可撓性チューブの左右両側に、可撓性チューブを挟むように配置されたロッド状の一対の押圧体と、前記可撓性チューブの側方に設けられて、前記一対の押圧体の端部を接続した取付体と、この取付体を鉛直面に沿って、回動自在に支持するメインアクチュエーターと、を備え、前記メインアクチュエーターの動作により、前記取付体の中心を水平な回転軸として、軸回りに前記取付体を回転させ、前記一対の押圧体の水平方向距離を変更し、前記可撓性チューブを変形させて、前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置と、振動部と、搬送部と、該搬送部に設けられた撮像部とを有する流動物質検査装置である。 An apparatus for inspecting a fluid substance such as a granular material or a powder, wherein a flexible tube held up and down is provided as a flow path for a fluid substance that flows down, and flexible tubes are provided on both left and right sides of the flexible tube. A pair of rod-shaped pressing bodies arranged so as to be sandwiched, a mounting body provided on the side of the flexible tube and connecting the ends of the pair of pressing bodies, and the mounting body on a vertical surface And a pair of pressing bodies that rotate around the axis with the center of the mounting body as a horizontal rotation axis by the operation of the main actuator. A fluid substance supply device characterized by having a function of adjusting a cross-sectional area of a flow path of the flexible tube by changing a horizontal distance of the flexible tube and deforming the flexible tube; A transport unit and a transport unit Vignetting was a fluid substance inspection apparatus having an imaging unit.
又、前記の流動物質検査装置であって、前記可撓性チューブの上部入り口側が固定され、下部出口側が、その水平方向の移動を抑制され、上下方向の移動を自在とされたことを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置である。 Further, in the fluid substance inspection apparatus, the upper inlet side of the flexible tube is fixed, and the lower outlet side is restrained from moving in the horizontal direction and can be moved in the vertical direction. It is a fluid substance inspection apparatus which has a fluid substance supply apparatus which performs.
又、前記の流動物質検査装置であって、前記押圧体の横断面形状が楕円であり、前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、前記サブアクチュエーターの動作により、楕円状の前記押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置である。 Further, in the fluid substance inspection device, the pressing body has an elliptical cross-sectional shape, and the pressing body includes a subactuator that independently rotates the pressing body. A fluid substance inspection device having a fluid substance supply device having a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the pressing body.
又、前記の流動物質検査装置であって、前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、前記押圧体の横断面形状が、前記サブアクチュエーターの回転軸から偏心して取り付けられる円であり、前記サブアクチュエーターの動作により、前記偏心して取り付けられる円形状の押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置である。 Further, in the fluid substance inspection apparatus, a circular actuator, wherein the pressing body includes a subactuator that independently rotates the pressing body, and a cross-sectional shape of the pressing body is attached eccentrically from a rotation axis of the subactuator. A fluid substance supply comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the eccentric pressing body attached eccentrically by the operation of the sub-actuator. It is a fluid substance inspection apparatus which has an apparatus.
又、前記の流動物質検査装置であって、前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を測定する測定手段と、前記測定手段による測定値を基に、前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を制御する制御手段と、を有し、前記制御手段は、前記測定手段による測定値が目標値に対して過小の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を増大せしめ、前記測定手段による測定値が目標値に対して過多の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を減少せしめるために、前記メインアクチュエーター又は前記サブアクチュエーターをフィードバック制御することを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置である。 Further, in the fluid substance inspection apparatus, a measuring means for measuring the amount of the fluid substance flowing down the flow path of the flexible tube, and a measurement value of the flexible tube based on a measurement value by the measurement means. Control means for controlling the amount of the fluid substance flowing down the flow path, and the control means is configured to flow the flexible tube when the measurement value by the measurement means is too small with respect to a target value. In order to increase the cross-sectional area of the path and to reduce the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube when the measured value by the measuring means is excessive with respect to the target value, the main actuator or the sub-actuator Is a fluid substance inspection device having a fluid substance supply device.
本発明によれば、シンプルな構造を有することによって、安価に製作可能であり、又、流動体の流動経路を制限する機構部は、シリコンチューブを介した流動経路の制限であるため、分解洗浄が容易な、流動物質供給装置及び流動物質検査装置の提供が可能となる。又、流路を完全に遮断し、流動物質の供給を遮断する場合においては、可撓性チューブによる緊迫によって、流路を塞いでおり、流動物質を強く圧迫することがないため、流動物質が顆粒や錠剤の粒状体であっても、粒状体にストレスがかかることがなく、粒状体の割れや欠けが発生しにくい。
加えて、サブアクチュエーターを備え、押圧体の横断面形状が楕円、又は偏心円である場合においては、サブアクチュエーターよって押圧体を自転させることで、流路の細やかな調整が可能となる。更に、流動物質を偏平させた可撓性チューブの隙間において、詰まりを起こした場合においては、サブアクチュエーターの動作によって押圧体を回転させ、その流路の断面積を変更することにより、流動物質供給装置を分解することなく詰まりを解消することができる。
更に、押圧体を着脱可能とした場合においては、対象の流動物質の形態に合わせて最適な押圧体を適宜選択することが可能となる。
According to the present invention, since it has a simple structure, it can be manufactured at a low cost, and the mechanism that restricts the flow path of the fluid is a restriction of the flow path through the silicon tube, so that it can be disassembled and cleaned. It is possible to provide a fluid substance supply apparatus and a fluid substance inspection apparatus that are easy to implement. In addition, when the flow channel is completely shut off and the supply of the fluid substance is shut off, the fluid substance is not strongly pressed because the fluid channel is blocked by the tightness of the flexible tube. Even in the case of granules of granules or tablets, no stress is applied to the granules, and cracks and chipping of the granules are unlikely to occur.
In addition, when the sub-actuator is provided and the cross-sectional shape of the pressing body is an ellipse or an eccentric circle, the flow path can be finely adjusted by rotating the pressing body by the sub-actuator. Furthermore, in the case where clogging occurs in the gap between the flexible tubes in which the fluid substance is flattened, the fluid is supplied by rotating the pressing body by the operation of the sub-actuator and changing the cross-sectional area of the flow path. Clogging can be eliminated without disassembling the device.
Furthermore, when the pressing body is detachable, an optimal pressing body can be appropriately selected according to the form of the target fluid substance.
(第一実施形態)
以下、本発明の流動物質供給装置の第一実施形態について図面に基づいて説明する。
図1(a)、(b)に本発明の流動物質供給装置100の第一実施形態の全体構成を示す。流動物質供給装置100は、顆粒や錠剤等の粒状体又は粉体等の流動物質1を連続的に又は間欠的に供給する装置である。
流動物質供給装置100の上方部には、中空円錐状に形成されたホッパー150が備わり、流動物質1を下方に供給する。ホッパー150の下端部には、鍔が形成され、同形状の鍔が形成された上部側筒体180とヘルール継手190によって容易に着脱可能に接続されている。従って、供給路となる筒体180及び筒体180に取り付けられる後述する可撓性チューブ160を洗浄又は交換の目的で着脱するにあたって、細やかな調整は必要がない。
(First embodiment)
Hereinafter, a first embodiment of a fluid substance supply device of the present invention will be described with reference to the drawings.
1A and 1B show the overall configuration of a first embodiment of a fluid
A
筒体180には、ホッパー150から流れ落ちる流動物質1の供給路としての、可撓性チューブ160が取り付けられている。可撓性チューブ160は、シリコンからなるものを使用することができる。この場合は、容易に洗浄が可能で、安価である。しかも透明度の高いシリコンを用いる場合は、供給路内の流動物質1の様子を作業者が目視で確認することができるため、詰まりの検知が容易となる。
可撓性チューブ160として、その他に、ろ布、ウレタン製チューブ、各種エラストマ―からなる物を用いる事ができる。また、可撓性チューブ160は、断面が円筒形の物に限らず、断面が多角形の物であっても良い。
A
In addition, as the
可撓性チューブ160の下部には下部側の筒体181が取り付けられている。可撓性チューブ160の内径とその上下に備えられる筒体180、181の外径は、略同径となっており、筒体180、181を可撓性チューブ160にはめ込み、可撓性チューブ160の緊迫力で保持する構造となっている。又、その外側を結束バンド等で締め付けることによって、強固に保持しても良い。
A lower
上部側筒体180は天板170の中央に形成された孔170aを貫通して設置されている。同様に、下部側の筒体181は下板171の中央に形成された孔171aを貫通して設置されている。ただし、筒体180、181と孔170a、171aとの間には十分な隙間が設けられており、これらは固定されておらず、可撓性チューブ160は、筒体180を介してホッパー150と接続され、垂下した構成となっている。従って可撓性チューブ160は、特にその下端部において、水平方向には、孔171aとそれを貫く筒体181によって緩やかに移動が抑制されており、上下方向には自在に移動可能である。
The upper
天板170と下板171の間には、水平方向にそれぞれが平行に延在する一対のロッド状の押圧体110、111が設置されている。本実施形態において押圧体110、111は同形状の円柱形であり、垂下した可撓性チューブ160の両側に配置されている。
押圧体110、111は様々な材質で製作することができるが、樹脂材料で形成されることで、重量が軽くなるため着脱性が高まり、加えて、保持部分の強度を上げる必要がなく、構造を簡素化できるため好ましい。特にポリアセタール樹脂を用いることで、ポリアセタール樹脂の自己潤滑性により可撓性チューブ160との接触部分でスムーズに動作することができる。
Between the
The
一対の押圧体110、111は、それらの一端側に配置された円盤板(取付板)130から、軸120a、121aを介して水平かつ平行に延びている。軸120a、121aは、円盤板130に備えられた軸受120b、121bにより、回転自在に保持されている。従って、押圧体110、111は自在に自転可能である。
The pair of
円盤板130は、支持板142から水平に延びる軸140aによって鉛直面に沿って保持されている。軸140aは軸受140b、140cを介して支持板142の後方に位置するメインアクチュエーター140に接続されている。従って、円盤板130は、メインアクチュエーター140の動作よって回転し、それによって、一対の押圧体110、111は軸140aを中心に、ピッチ円131に沿って公転する。
The
押圧体110、111は軸120a、121aに対し容易に着脱自在に取り付けられ、様々な形状の押圧体110、111に取り換えることができる。例えば、それぞれ異なった外径の円柱形の押圧体を用いたり、楕円形の押圧体を用いたりなどと、対象の流動物質1に従って、最適な押圧体110、111を選択することができる。これらを用いた場合の動作に関しては後述の変形例、及び第二実施形態において説明する。
The
メインアクチュエーター140はその動作によって、一対の押圧体110、111を軸140a中心に公転させる。それによって、押圧体110、111の水平方向の距離が縮まり、押圧体110、111はその円周面110a、111aの一部によって、可撓性チューブ160を押し付けて、可撓性チューブ160を偏平状に変形させる。偏平状に変形された可撓性チューブ160は、その内部に形成されている流路の断面積を狭める。
The
押圧体110、111が可撓性チューブ160を変形させ、その内部の流路の断面積を狭める動作について、図2(a)、(b)、(c)、(d)、(e)、(f)を基に具体的に説明する。
図2(a)に押圧体110、111の水平方向距離が比較的広い状態を表す。この状態においては、図2(d)に示す様に、可撓性チューブ160の内部に形成される流路の断面積160aは広く、流動物質は勢いよく流れ落ちる。
2 (a), (b), (c), (d), (e), and FIG. A specific description will be given based on (f).
FIG. 2A shows a state in which the horizontal distance between the
図2(a)に示す状態からメインアクチュエーター140を一定角度右回転させて図2(b)に示す状態にすると、押圧体110、111の水平方向距離は狭まり、円周面110a、111aの一部で可撓性チューブ160を更に押し付けて、図2(e)に示す様に、その流路の断面積160aを狭める。
When the
図2(b)に示す状態から、更にメインアクチュエーター140を右回転させて、押圧体110、111の水平方向距離を近接させて、図2(c)に示す状態にすると、可撓性チューブ160は更にその流路を狭め、図2(f)に示す様に、流路を閉じることができる。従って、この状態においては、流動物質は可撓性チューブ160の内部で遮断され、下方に供給が行われない。
When the
以上に説明したように、メインアクチュエーター140の動作によって、可撓性チューブ160の流路の断面積160aを調節することが可能となり、流動物質1の供給量を調整することができる。
又、流路を完全に遮断し、流動物質の供給を遮断する場合においては、可撓性チューブ160による緊迫によって、流路を塞いでおり、流動物質を強く圧迫することはない。従って、流動物質が顆粒や錠剤の粒状体であっても、粒状体にストレスがかかることがなく、粒状体が割れたり欠けたりすることがない。
加えて、以上のような構造を有することにより、流動物質供給装置100は、少ない部品点数で安価に製作可能である。又、洗浄や交換の際の脱着後の微調整が不要であり、メンテナンスが容易となる。
As described above, the
Further, when the flow path is completely blocked and the supply of the fluid substance is blocked, the flow path is blocked by the tightness of the
In addition, by having the above structure, the
上記の実施形態では、押圧体110、111が同形状の円柱形である場合について説明した。しかしながら、これに限られるものではなく、それぞれが異なった形状を有していても良い。加えて上記の実施形態では、天板170及び下板171に形成された孔170a、171aは、いずれも天板170及び171の中央に設けられていたが、図1において、左右にシフトして形成されていても良い。これらの形態に関して、より具体的に以下に説明する。
In the above-described embodiment, the case where the
(変形例)
図3(a)、(b)、(c)、図4(a)、(b)、(c)、及び図5(a)、(b)、(c)は、本実施形態の変形例における流動物質供給装置101、102の正面図であって、図2(a)、(b)、(c)に対応している。尚、上記の実施形態と同一態様については、同一符号を付して説明する。
(Modification)
3 (a), (b), (c), FIGS. 4 (a), (b), (c), and FIGS. 5 (a), (b), (c) are modified examples of this embodiment. FIG. 2 is a front view of the fluid
図3(a)、(b)、(c)、図4(a)、(b)、(c)に、それぞれ大きさの異なる横断面が円柱形の押圧体112、113を用いた場合の、流動物質供給装置101の動作を示す。流動物質供給装置101は、図3及び図4中左側に備えられた押圧体112の外径は大きく、それに対して、右側に備えられた押圧体113の外径は小さく形成されている。
3 (a), (b), (c), and FIGS. 4 (a), (b), and (c), when the
又、図3(a)、(b)、(c)においては、外径の大きな押圧体112を上方に、外径の小さな押圧体113を下方に配置して、可撓性チューブ160の供給路の断面積を調整している。
一方、図4(a)、(b)、(c)においては、外径の小さな押圧体113を上方に、外径の大きな押圧体112を上方に配置して、可撓性チューブ160の供給路の断面積を調整している。
3 (a), 3 (b), and 3 (c), the
On the other hand, in FIGS. 4A, 4 </ b> B, and 4 </ b> C, the
図3(a)に示す状態においては、可撓性チューブ160の供給路の断面積を広く、図3(b)に示す状態においては、断面積を狭く形成する様子を示す。又、図3(c)には可撓性チューブ160の供給を遮断し供給を止めた状態を示す。
このように、可撓性チューブ160の流路の断面積を調整するうえで、外径の大きな押圧体112を上側に配置することで、可撓性チューブ160の内部の流路は、外径の大きな押圧体112が可撓性チューブ160と接触する接触部112bの付近において最少断面積となり、そこから下方に向かってその断面積は徐々に大きくなる。このため下部側の筒体181を通過する際には、流動物質がその流路中に十分に分散して排出されることとなり、分散して排出したい場合などに効果が高まる。
In the state shown to Fig.3 (a), the cross-sectional area of the supply path of the
Thus, in adjusting the cross-sectional area of the flow path of the
図4(a)に示す状態においては、可撓性チューブ160の供給路の断面積を広く、図4(b)に示す状態においては、断面積を狭く形成する様子を示す。このように、可撓性チューブ160の流路の断面積を調整するうえで、外径の小さな押圧体113を上側に配置することで、可撓性チューブ160の内部の流路は、外径の小さな押圧体113が接触する接触部113bから、外径の大きな押圧体112が接触する接触部112bにかけてその断面積は徐々に小さくなる。
In the state shown to Fig.4 (a), a mode that the cross-sectional area of the supply path of the
これによって、可撓性チューブ160の流路の断面積の調整を繊細に行うことが可能となり、可撓性チューブ160の流路を流れ落ちる流動物質の量を繊細にコントロールしたい場合などに効果が高まる。
This makes it possible to finely adjust the cross-sectional area of the flow path of the
又、図4(c)に示す様に、可撓性チューブ160の流路の断面を遮断した場合においては、外径の小さな押圧体113を上方に配置することで、その流路は、押圧体113に押し付けられた接触部113bの付近より下方に進むにつれ徐々に狭められ、押圧体112に押し付けられた接触部112bによって完全に遮断される。供給路が徐々に遮断されることによって、より確実に遮断することが可能となる。又、流動物質に加わるストレスも一部分に集中することがなく、流動物質が顆粒や錠剤など粒状物質である場合においても、その粒形状が破損されにくい。加えて、可撓性チューブ160の加わる応力が分散され、可撓性チューブ160の耐用時間が長くなる。
In addition, as shown in FIG. 4C, when the cross section of the flow path of the
図3(a)、(b)、(c)及び図4(a)、(b)、(c)に示すように、押圧体112、113の外径が異なったものを用いることで、単に可撓性チューブ160の流路の断面積を遮断するのみならず、流動物質の流動方向に対して、その断面の状態を様々に変化させることができる。即ち、流動物質の形態が様々変更しても、各流動物質に最適な流動経路の形状を作り出すことが可能となり、流動物質供給装置101の汎用性が高まる。
3 (a), (b), (c) and FIGS. 4 (a), (b), (c), simply by using different
図5(a)、(b)、(c)に、天板172及び下板173として、これらに形成される孔172a、173aを左右にシフトして形成されている場合の、流動物質供給装置102の動作を示す。
流動物質供給装置102は、図5に示す様に天板172に形成される孔172aは左方に、下板173に形成される孔173aは右方にシフトして形成されている。
図5(a)に示す状態においては、可撓性チューブ160の供給路の断面積を広く、図5(b)に示す状態においては、狭く形成する様子を示し、図5(c)に示す状態においては、遮断する場合を示す。
5 (a), 5 (b), and 5 (c), the fluidized substance supply device in the case where the
As shown in FIG. 5, the
In the state shown in FIG. 5 (a), the cross-sectional area of the supply path of the
このように、孔172a、173aを左右にシフトして形成することにより、可撓性チューブ160の内部の流路は、左右に蛇行するように形成され、より効果的に流路を遮断することが可能となる。
加えて、円盤板130をわずかに回転するのみで、可撓性チューブ160の供給路を狭くすることが可能となり、応答性の良い、流動物質供給装置102を実現することができる。
As described above, by forming the
In addition, the supply path of the
(第二実施形態)
以下、本発明の流動物質供給装置の第二実施形態について図面に基づいて説明する。
第二実施形態に示す流動物質供給装置103は、第一実施形態の流動物質供給装置100に設けられていた押圧体の横断面形状を楕円形に形成した例と、円形ではあるが偏心して取り付けた例を含んでいる。又、押圧体を自転させるようなサブアクチュエーター120、121を備え、サブアクチュエーター120、121の動作により、より細やかに可撓性チューブ160の流路の断面積を調整し、供給量を制御する構成になっている。
(Second embodiment)
Hereinafter, a second embodiment of the fluid substance supply device of the present invention will be described with reference to the drawings.
The fluid
図6(a)(b)に本発明の流動物質供給装置103の第二実施形態の全体図を示す。尚、第一実施形態と同一態様については、同一符号を付して説明する。
第一実施形態と同様に、流動物質供給装置103は、その上方にホッパー150が備わり流動物質1を下方に供給する。流動物質1は筒体180を介して、可撓性チューブ160の内部を流れ落ちる。可撓性チューブ160の下部には下部側の筒体181が上下方向に移動自在に保持されている。
FIGS. 6A and 6B are general views of a second embodiment of the fluid
Similar to the first embodiment, the fluid
本実施形態において一対の押圧体114、115は同形状の楕円形であり、垂下した可撓性チューブ160の両側に配置されている。一対の押圧体114、115は、円盤板130の面上から、軸120a、121aを介して水平かつ平行に延在されている。軸120a、121aは、円盤板130に備えられた軸受120b、121bにより保持されており、更にその後方に配置されたサブアクチュエーター120、121に接続されている。従って、押圧体114、115は、サブアクチュエーター120、121の動作によって軸120a、121aを中心に自転する。
In the present embodiment, the pair of
円盤板130は、支持板142から水平に延びる軸140aによって支持されている。軸140aは軸受140b、140cを介して支持板142の後方に位置するメインアクチュエーター140に接続されている。従って、円盤板130は、メインアクチュエーター140の動作よって回転し、それによって、一対の押圧体114、115は軸140aを中心に、ピッチ円131に沿って公転する。
The
メインアクチュエーター140はその動作によって、一対の押圧体114、115を軸140a中心に公転させ、押圧体114、115の水平方向の距離を縮める。押圧体114、115はその周面114a、115aによって、可撓性チューブ160を押し付けて、可撓性チューブ160を偏平状に変形させる。
The
又、サブアクチュエーター120、121は、その動作によって、押圧体114、115を軸120a、121a中心に自転させる。それによって、軸120a、121aを介し押圧体114、115の周面114a、115aと可撓性チューブ160接触部との距離を変化させて、可撓性チューブ160を変形させる。
Moreover, the
第二実施形態の流動物質供給装置103は、メインアクチュエーター140の動作によって、可撓性チューブ160の流路を大きく変形させ、サブアクチュエーター120、121の動作によって、細やかな調整をすることができる。
押圧体114、115が可撓性チューブ160を変形させ、その流路の断面積を狭める動作について、図7(a)、(b)、(c)を基に具体的に説明する。
The fluid
The operation in which the
図7(a)に押圧体114、115の水平方向距離が比較的広い状態を表す。この状態においては、可撓性チューブ160の内部に形成される流路の断面積は広く、流動物質は勢いよく流れ落ちる。
FIG. 7A shows a state in which the horizontal distance between the
図7(a)に示す状態からメインアクチュエーター140を一定角度右回転させて図7(b)に示す状態にすると、押圧体114、115の水平方向距離は狭まり、周面114a、115aの一部で可撓性チューブ160を更に押し付けて、その流路の断面積を狭める。
When the
図7(b)に示す状態から、更にサブアクチュエーター120を右回転させて、サブアクチュエーター121を左回転させて、押圧体114、115の長径を水平にすると、図7(c)に示す状態となり、可撓性チューブ160は更にその流路を狭め、流路を閉じる。従って、この状態においては、流動物質は可撓性チューブ160の内部で遮断され、供給が行われない。図7(b)に示す状態から図7(c)に示す状態に移行する段階で、サブアクチュエーター120、121の回転角度調整を細やかに行うことで、流動路の断面積を調整することが可能となり、供給量の精密な制御ができる。
When the
又、流動物質が偏平させた可撓性チューブ160の隙間において、詰まりを起こした場合においては、サブアクチュエーター120、121の動作によって押圧体114、115を回転させ、その流路の断面積を変更することにより、流動物質供給装置103を分解することなく詰まりを解消することができる。
Also, in the case where clogging occurs in the gap between the
加えて、サブアクチュエーター120、121を別々に動作させることによって、上方から下方に向かって、徐々に流動経路の断面積を増大又は減少させることもできる。即ち流動物質の流動方向に対して、その断面の状態を様々に変化させることができ、流動物質の形態が様々変更しても、各流動物質に最適な流動経路の形状を作り出すことが可能となり、流動物質供給装置103の汎用性が高まる。
In addition, by separately operating the
以上の様に、第二実施形態の流動物質供給装置103は、第一実施形態の様々な効果を得ることができるのみならず、サブアクチュエーター120、121を備え、押圧体114、115を楕円形とすることで、より精密な供給量の制御が可能となる。
ただし、押圧体114、115の横断面形状は、必ずしも楕円である必要はなく、例えば円であっても、軸120a、121aを円の中心から偏心した位置に設けた構成であれば、上記の楕円である場合と同様の効果を得ることができる。以下により具体的に説明する。
(変形例)
図8(a)、(b)、(c)は、本実施形態の変形例における流動物質供給装置104の正面図であって、図7(a)、(b)、(c)に対応している。尚、上記の実施形態と同一態様については、同一符号を付して説明する。
図8(a)、(b)、(c)に、押圧体116、117としてその断面形状が、軸120a、121aと中心をずらした偏心円である物を用いた場合の、流動物質供給装置101の動作を示す。
As described above, the fluid
However, the cross-sectional shape of the
(Modification)
FIGS. 8A, 8B, and 8C are front views of the fluid
8 (a), 8 (b), and 8 (c), the fluid substance supply device in the case where the
図8(a)に押圧体116、117の水平方向距離が比較的広い状態を表す。この状態においては、可撓性チューブ160の内部に形成される流路の断面積は広く、流動物質は勢いよく流れ落ちる。
FIG. 8A shows a state in which the horizontal distances of the
図8(a)に示す状態からメインアクチュエーター140を一定角度右回転させて図8(b)に示す状態にすると、押圧体116、117の水平方向距離は狭まり、円周面116a、117aの一部で可撓性チューブ160を更に押し付けて、その流路の断面積を狭める。
When the
図8(b)に示す状態から、更にサブアクチュエーター120を右回転させ、サブアクチュエーター121を左回転させることで、軸120a、121aと、押圧体116、117の円周面116a、117aの可撓性チューブ160との接触部を離間させると、図8(c)に示す状態となり、可撓性チューブ160は更にその流路を狭め、流路を閉じる。従って、この状態においては、流動物質は可撓性チューブ160の内部で遮断され、供給が行われない。図8(b)に示す状態から図8(c)に示す状態に移行する段階で、サブアクチュエーター120、121の回転角度調整を細やかに行うことで、流動路の断面積を調整することが可能となり、供給量の精密な制御ができる。
From the state shown in FIG. 8B, the
次に第一実施形態における流動物質供給装置100を、流動物質への異物混入を検査し異物を除去する検査装置に備え付けた例を図9として示す。
ただし、図9における流動物質供給装置100は、流動物質供給装置101〜104、又はこれらの各構成を組み合わせた装置に置き換えることが可能である。
Next, FIG. 9 shows an example in which the fluid
However, the fluid
流動物質供給装置100から供給される流動物質1は、振動部30に備わる受板31上に排出される。
振動部30は、受板31と、この受板31の下側に配置されて受板31に振動を与えるための駆動部32とを備える。受板31は、流動物質供給装置100の下側の位置からコンベア部40(搬送部)の一端部までの間に延在して配置され、断面凹状をなしている。受板31は、流動物質供給装置100から排出された流動物質1を受けるとともに、流動物質1に振動を与えて均し、これをコンベア部40に供給する。本実施形態では、受板31を水平に配置するとともに、進行方向に対して斜め前の方向に振動させることにより流動物質1をコンベア部40側に移動させる。尚、受板31をコンベア部40側に傾斜するように配置しても良い。
The
The
受板31上には、櫛ゲート91が設置されている。櫛ゲート91は、受板31上を流れる流動物質を均すととともに、過剰に供給された流動物質1をせき止めている。櫛ゲート91の上流には、櫛ゲート91によってせき止められた流動物質1の量を検知する溢れ検知センサー(測定手段)90が備えられている。
A
溢れ検知センサー90は静電式近接センサー、超音波式センサー、レーザー変位センサー等であり、せき止められた流動物質1の受板31からの高さを検知している。
The
即ち、溢れ検知センサー90は、流動物質供給装置100から供給される流動物質1の量を測定する測定手段としての役割を果たす。また、流動物質供給装置100は、当該測定手段による測定値を基に、流動物質1の供給量を一定とするフィードバック制御を行う制御手段を有する。
That is, the
従って、流動物質供給装置100からの流動物質1の供給量が目標値に対して過多となり、櫛ゲート91にせき止められた流動物質1の高さが一定以上となった場合に、その供給量を絞るための信号をシーケンサーを介して流動物質供給装置100に発する。又、反対に流動物質1の供給量が目標値に対して過小となり、櫛ゲート91にせき止められた流動物質1の高さが一定以下となった場合には、その供給量を増大させるための信号をシーケンサーを介して流動物質供給装置100に発する。
Therefore, when the supply amount of the
より具体的には、溢れ検知センサー90による測定値を基に、前記溢れ検知センサー90による測定値が目標値に対して過小の場合には、メインアクチュエーター140(又はサブアクチュエーター120、121)を動作させ、可撓性チューブ160の流路の断面積を増大させる。同様に、前記溢れ検知センサー90による測定値が目標値に対して過多の場合には、可撓性チューブ160の流路の断面積を減少させ、一定量の供給を実現する。
More specifically, based on the measurement value by the
流動物質供給装置100から供給される流動物質1の量を測定する測定手段として、その他に、受板31に重量センサーを設け供給される流動物質1の重量を測定する方法、光を透過する可撓性チューブ160内を流動する流動物質1の影を光センサーで検知する方法、押圧体110、111に加わる荷重により測定する方法等があり、これらを適宜組み合わせて用いる事もできる。
In addition, as a measuring means for measuring the amount of the
コンベア部40は、無端ベルト41とこれを回転駆動させるための駆動部42とを備え、振動部30から搬出される流動物質1を搬送するものである。コンベア部40により流動物質1が搬送されている間に流動物質1内の異物の混入を検査する。コンベア部40の上方には撮像部50が設けられている。撮像部50は、コンベア部40上を搬送される流動物質1の一定領域の二次元画像を撮影する。
The
撮像部50は、撮像した画像データをCPU等からなる画像検査部(図示せず)に伝送する。画像検査部は、撮像部50から伝送された流動物質1の画像データを画像処理し、流動物質1内に異物が混入しているか否かを判別する。例えば予め基準となる流動物質1の画像データを記憶しておき、伝送されてきた流動物質1の画像データと対比し、その画像データが設定値以上であるときは異物があると判別する。
The
コンベア部40上の流動物質1は、終端部に到達すると、この位置から落下し、その落下位置に設けられた排出口61を通って排出される。又、コンベア部40の終端部近傍には、異物除去部70が配置されている。異物除去部70は、支点71を中心として回動し、吸引ノズル部72の先端72aをコンベア部40上に接近・離反可能に形成されている。この異物除去部70は、通常は吸引ノズル部72の先端72aがコンベア部40上から離反した位置に待機しているが、上記の画像検査部により流動物質内に異物があると判別されたとき、すなわちその信号を受信したときは、異物除去部70の駆動部(エアシリンダーやモータ等)を駆動し、吸引ノズル部72の先端72aをコンベア部40上の近傍位置まで下降する。
When the
そして、異物除去部70は、吸引ノズル部72の先端72aからコンベア部40上の一定領域の流動物質1を吸引すると同時に、エアーブロー部73により瞬間的に空気を送出(吐出)する。これにより、異物があると判別されたコンベア部40上の一定領域の流動物質1は、異物除去部70により吸引されるので排出口61には送られない。更に、異物除去部70は、単に吸引を行うのではなく、例えば0.1〜0.5秒程度、瞬間的な空気の送出を行う。このような瞬間的な空気の送出及び吸引の一連の動作を行うことにより、コンベア部40上に異物が粘着等していても、異物を浮き上がらせた後に吸引できるので、異物を確実に除去することができる。
The foreign
以上に、本発明の様々な実施形態を説明したが、各実施形態における各構成及びそれらの組み合わせ等は一例であり、本発明の趣旨から逸脱しない範囲内で、構成の付加、省略、置換、及びその他の変更が可能である。又、本発明は実施形態によって限定されることはなく、クレームの範囲によってのみ限定される。 Although various embodiments of the present invention have been described above, each configuration in each embodiment and combinations thereof are examples, and addition, omission, replacement, and configuration of configurations are within the scope not departing from the spirit of the present invention. And other changes are possible. Further, the present invention is not limited by the embodiments, and is limited only by the scope of the claims.
1・・・流動物質
30・・・振動部
31・・・受板
32・・・駆動部
40・・・搬送部(コンベア部)
41・・・無端ベルト
42・・・駆動部
50・・・撮像部
61・・・排出口
70・・・異物除去部
72・・・吸引ノズル部
72a・・・吸引ノズル部先端
73・・・エアーブロー部
90・・・溢れ検知センサー
91・・・櫛ゲート
100、101、102、103、104・・・流動物質供給装置
110、111、112、113、114、115、116、117・・・押圧体
110a、111a、112a、113a、114a、115a、116a、117a・・・押圧体円周面
120、121・・・サブアクチュエーター
120a、121a、140a・・・軸
120b、121b、140b、140c・・・軸受
130・・・円盤板(取付体)
140・・・メインアクチュエーター
142・・・支持板
150・・・ホッパー
160・・・可撓性チューブ
160a・・・流路の断面積
170、172・・・天板
170a、171a、172a、173a・・・孔
171、173・・・下板
180・・・筒体(上部)
181・・・筒体(下部)
190・・・ヘルール継手
900・・・粒状体供給装置
910・・・ホッパー
911・・・筒体
920・・・ローラー部
921・・・ローラー
921a・・・溝(収容部)
922・・・ブラケット
923・・・駆動部
925・・・案内部
925a・・・開口部
DESCRIPTION OF
41 ...
140 ...
181 ... Cylinder (lower part)
190 ... Ferrule joint 900 ... Granule supply device 910 ...
922...
Claims (10)
流れ落ちる流動物質の流路として、上下に保持された可撓性チューブと、
この可撓性チューブの左右両側に、可撓性チューブを挟むように配置されたロッド状の一対の押圧体と、
前記可撓性チューブの側方に設けられて、前記一対の押圧体の端部を接続した取付体と、
この取付体を鉛直面に沿って、回動自在に支持するメインアクチュエーターと、を備え、
前記メインアクチュエーターの動作により、前記取付体の中心を水平な回転軸として、軸回りに前記取付体を回転させ、前記一対の押圧体の水平方向距離を変更し、前記可撓性チューブを変形させて、前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置。 A device for supplying a fluid substance such as granule or powder,
A flexible tube held up and down as a flow path of the flowing material,
A pair of rod-shaped pressing bodies arranged to sandwich the flexible tube on both the left and right sides of the flexible tube;
An attachment body provided on a side of the flexible tube and connecting ends of the pair of pressing bodies;
A main actuator that rotatably supports the mounting body along a vertical plane;
The operation of the main actuator causes the center of the mounting body to be a horizontal rotation axis, rotates the mounting body around the axis, changes the horizontal distance between the pair of pressing bodies, and deforms the flexible tube. A fluid substance supply device having a function of adjusting a cross-sectional area of the flow path of the flexible tube.
前記押圧体の横断面形状が楕円であり、前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、
前記サブアクチュエーターの動作により、楕円状の前記押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置。 The fluid substance supply device according to claim 1 or 2,
The pressing body has an elliptical cross-sectional shape, and includes a sub-actuator that independently rotates the pressing body.
A fluid substance supply device comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the elliptical pressing body by the operation of the sub-actuator.
前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、
前記押圧体の横断面形状が円であり、前記サブアクチュエーターの回転軸から偏心して取り付けられ、
前記サブアクチュエーターの動作により、前記偏心して取り付けられる円形状の押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置。 The fluid substance supply device according to claim 1 or 2,
A sub-actuator that independently rotates the pressing body in the pressing body;
The cross-sectional shape of the pressing body is a circle, attached eccentrically from the rotation axis of the subactuator,
A fluid substance supply apparatus comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the circular pressing body attached eccentrically by the operation of the sub-actuator.
前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を測定する測定手段と、
前記測定手段による測定値を基に、前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記測定手段による測定値が目標値に対して過小の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を増大せしめ、前記測定手段による測定値が目標値に対して過多の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を減少せしめるために、前記メインアクチュエーター又は前記サブアクチュエーターをフィードバック制御することを特徴とする流動物質供給装置。 The fluid substance supply device according to any one of claims 1 to 4,
Measuring means for measuring the amount of the fluid substance flowing down the flow path of the flexible tube;
Control means for controlling the amount of the fluid substance flowing down the flow path of the flexible tube based on the measurement value by the measurement means,
The control means increases the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube when the measurement value by the measurement means is too small with respect to the target value, and the measurement value by the measurement means is smaller than the target value. In the case of excess, the fluid substance supply device is characterized in that the main actuator or the sub-actuator is feedback-controlled in order to reduce the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube.
流れ落ちる流動物質の流路として、上下に保持された可撓性チューブと、
この可撓性チューブの左右両側に、可撓性チューブを挟むように配置されたロッド状の一対の押圧体と、
前記可撓性チューブの側方に設けられて、前記一対の押圧体の端部を接続した取付体と、
この取付体を鉛直面に沿って、回動自在に支持するメインアクチュエーターと、を備え、
前記メインアクチュエーターの動作により、前記取付体の中心を水平な回転軸として、軸回りに前記取付体を回転させ、前記一対の押圧体の水平方向距離を変更し、前記可撓性チューブを変形させて、前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置と、
振動部と、搬送部と、該搬送部に設けられた撮像部とを有する流動物質検査装置。 An inspection device for fluid substances such as granular materials or powders,
A flexible tube held up and down as a flow path of the flowing material,
A pair of rod-shaped pressing bodies arranged to sandwich the flexible tube on both the left and right sides of the flexible tube;
An attachment body provided on a side of the flexible tube and connecting ends of the pair of pressing bodies;
A main actuator that rotatably supports the mounting body along a vertical plane;
The operation of the main actuator causes the center of the mounting body to be a horizontal rotation axis, rotates the mounting body around the axis, changes the horizontal distance between the pair of pressing bodies, and deforms the flexible tube. A fluid substance supply device comprising a function of adjusting a cross-sectional area of the flow path of the flexible tube;
A fluid substance inspection apparatus having a vibration unit, a transport unit, and an imaging unit provided in the transport unit.
前記押圧体の横断面形状が楕円であり、前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、
前記サブアクチュエーターの動作により、楕円状の前記押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置。 It is a fluid substance inspection device according to claim 6 or 7,
The pressing body has an elliptical cross-sectional shape, and includes a sub-actuator that independently rotates the pressing body.
A fluid substance inspection device having a fluid substance supply device comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the elliptical pressing body by the operation of the sub-actuator. .
前記押圧体に該押圧体を独自に回転させるサブアクチュエーターを備え、
前記押圧体の横断面形状が、前記サブアクチュエーターの回転軸から偏心して取り付けられる円であり、
前記サブアクチュエーターの動作により、前記偏心して取り付けられる円形状の押圧体を回転させて前記可撓性チューブの流路の断面積を調節する機能を備えたことを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置。 It is a fluid substance inspection device according to claim 6 or 7,
A sub-actuator that independently rotates the pressing body in the pressing body;
The cross-sectional shape of the pressing body is a circle attached eccentrically from the rotation axis of the subactuator,
A fluid substance supply device comprising a function of adjusting the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube by rotating the eccentric pressing body attached eccentrically by the operation of the sub-actuator. Fluid substance inspection device.
前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を測定する測定手段と、
前記測定手段による測定値を基に、前記可撓性チューブの流路を流れ落ちる前記流動物質の量を制御する制御手段と、を有し、
前記制御手段は、前記測定手段による測定値が目標値に対して過小の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を増大せしめ、前記測定手段による測定値が目標値に対して過多の場合には、前記可撓性チューブの流路の断面積を減少せしめるために、前記メインアクチュエーター又は前記サブアクチュエーターをフィードバック制御することを特徴とする流動物質供給装置を有する流動物質検査装置。 It is a fluid substance inspection apparatus in any one of Claims 6 thru | or 9, Comprising:
Measuring means for measuring the amount of the fluid substance flowing down the flow path of the flexible tube;
Control means for controlling the amount of the fluid substance flowing down the flow path of the flexible tube based on the measurement value by the measurement means,
The control means increases the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube when the measurement value by the measurement means is too small with respect to the target value, and the measurement value by the measurement means is smaller than the target value. In the case of excess, the fluid substance inspection device having a fluid substance supply device that feedback-controls the main actuator or the sub-actuator in order to reduce the cross-sectional area of the flow path of the flexible tube.
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