JP2014051008A - Liquid jet device and piezoelectric actuator - Google Patents

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周平 鶸田
Hiroshi Kondo
宏史 近藤
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一輝 小島
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ブラザー工業株式会社
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To materialize moisture proof of a piezoelectric device without adding a dedicated member specially.SOLUTION: A plurality of connection terminals 50 are arranged in a peripheral region of a plurality of piezoelectric devices 41 on one surface of a channel unit 20. A driver IC 46 is arranged facing to the one surface of the channel unit 20 so as to cover a plurality of the piezoelectric devices 41. The driver IC 46 is connected with a plurality of the connection terminals 50 via a plurality of bumps 51, thus a plurality of the piezoelectric devices 41 are surrounded by a plurality of the bumps 51. In addition, an insulating sealing member 52 is filled between a plurality of the bumps 51. Thus, a plurality of the piezoelectric devices 41 are sealed by the driver IC 46, a plurality of the bumps 51, and the sealing member 52 between a plurality of the bumps 51, and a plurality of the piezoelectric devices 41 are insulated from an atmosphere.

Description

本発明は、液体噴射装置及び圧電アクチュエータに関する。 The present invention relates to a liquid ejecting apparatus and a piezoelectric actuator.

従来から、液体噴射装置において、液体に噴射エネルギーを付与する圧電アクチュエータを有するものが知られている。 Conventionally, in a liquid ejecting apparatus, having a piezoelectric actuator which applies a jetting energy to the liquid is known. 例えば、特許文献1には、複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室が形成された流路形成基板と、この流路形成基板に設けられた圧電アクチュエータとを有する、インクジェットヘッドが開示されている。 For example, Patent Document 1, a plurality of pressure chambers channel forming substrate which is formed to respectively communicate with the plurality of nozzles, and a piezoelectric actuator provided in the passage forming substrate, the inkjet head is disclosed there.

圧電アクチュエータは、複数の圧力室を覆う弾性膜の表面に、複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子を有する。 The piezoelectric actuator has a surface of the elastic membrane covering the plurality of pressure chambers, a plurality of piezoelectric elements arranged in respective plurality of pressure chambers facing. 圧電素子は、圧電体層と、上電極膜及び下電極膜を有する。 The piezoelectric element includes a piezoelectric layer, an upper electrode film and the lower electrode film. 圧電体層は、二酸化シリコンからなる弾性膜の表面に、ゾルゲル法やMOD法等の成膜技術で形成される。 Piezoelectric layer, on the surface of the elastic film made of silicon dioxide, is formed by film formation technique such as a sol-gel method or MOD method.

ところで、上述した圧電アクチュエータにおいて、圧電素子の一層の駆動効率向上や高速駆動の実現等の観点からは、圧電体層は薄いことが好ましい。 Incidentally, in the piezoelectric actuator mentioned above, in view of realizing such a further drive efficiency and high-speed driving of the piezoelectric element, the piezoelectric layer is preferably thin. しかし、圧電体層が薄くなるほど圧電体層に印加される電界が強くなり、圧電体層が大気中の湿気を吸収した場合には、電極膜の間に大きなリーク電流が発生して絶縁破壊に至る虞がある。 However, the stronger the electric field applied to more piezoelectric layer piezoelectric layer becomes thin, when the piezoelectric layer has absorbed moisture in the atmosphere, the dielectric breakdown large leakage current is generated between the electrode films there is a possibility to reach. そのため、圧電素子を大気から遮断して防湿することが求められる。 Therefore, it is required to moisture blocking the piezoelectric element from the atmosphere. 特許文献1のインクジェットヘッドでは、流路形成基板に、複数の圧電素子をそれぞれ個別に覆う耐湿保護膜が形成されることで、圧電素子が大気と接触することが防止されている。 In the ink jet head of Patent Document 1, the flow path forming substrate, by moisture-resistant protective film covering the plurality of piezoelectric elements each individually is formed, which prevents the piezoelectric element is in contact with the atmosphere.

特開2001−138511号公報 JP 2001-138511 JP

前記特許文献1の圧電アクチュエータにおいては、複数の圧電素子を形成した後に、これら複数の圧電素子をそれぞれ覆うように防湿保護膜を別に形成する必要がある。 Wherein in the piezoelectric actuator disclosed in Patent Document 1, after forming a plurality of piezoelectric elements, it is necessary to form a moisture-proof protective film to cover the plurality of piezoelectric elements each separately. その分、圧電アクチュエータを構成する部材の数が増え、また、余計な工程が増えるため、製造コストが増加することになる。 Correspondingly, increases the number of members constituting the piezoelectric actuator, also, because the extra step increases, so that the manufacturing cost increases.

本発明の目的は、専用の部材を特別に追加することなく、圧電素子の防湿を実現することである。 An object of the present invention, without specially adding a dedicated member, is to achieve a moisture of the piezoelectric element.

第1の発明の液体噴射装置は、複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、 A liquid ejecting apparatus according to the first invention, a liquid flow path including a plurality of pressure chambers respectively communicating with the plurality of nozzles and the plurality of nozzles are formed, and the channel structure, one surface of the flow channel structure in comprising a plurality of piezoelectric elements disposed to face each with the plurality of pressure chambers, and a driver IC for driving the plurality of piezoelectric elements,
前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。 On the one surface of the flow path structure, a plurality of connection terminals including a plurality of drive terminals respectively connected to said plurality of piezoelectric elements are disposed in the peripheral region of said plurality of piezoelectric elements, the driver IC , the said plurality of the channel so as to cover the piezoelectric element structure disposed opposite to the one surface, on one of the channel structure and the driver IC, a plurality of bumps projecting into their other side is provided by a plurality of first bump included in the plurality of bumps, by said plurality of connection terminals arranged in the peripheral region of the driver IC of the plurality of piezoelectric elements are connected, said plurality surrounded by the piezoelectric element of the plurality of first bumps, the insulating sealing member between the plurality of first bump is characterized in that it is filled.

本発明では、流路構造体の一表面に、複数の圧電素子を覆うようにドライバICが配置される。 In the present invention, on one surface of the flow path structure, the driver IC is arranged to cover a plurality of piezoelectric elements. そして、ドライバICと、流路構造体の一表面において圧電素子の周囲領域に形成された複数の接続端子とが、複数の第1バンプで接続されたときには、これら複数の第1バンプによって複数の圧電素子が取り囲まれることになる。 Then, a driver IC, and a plurality of connection terminals formed on the peripheral region of the piezoelectric element in one surface of the flow channel structure, when connected by a plurality of first bumps, the plurality by plurality of first bumps so that the piezoelectric element is surrounded. さらに、複数の第1バンプの間には絶縁性の封止材が充填される。 Further, between the plurality of first bump sealant insulation it is filled. これにより、ドライバIC、複数の第1バンプ、及び、複数の第1バンプ間の封止材によって複数の圧電素子が密閉されて、複数の圧電素子は大気から遮断される。 Thus, the driver IC, a plurality of first bumps, and, a plurality of piezoelectric elements are sealed by a sealing member between the plurality of first bumps, a plurality of piezoelectric elements is cut off from the atmosphere. このように、ドライバICと、このドライバICを流路構造体側の複数の接続端子に接続するためのバンプを利用して、複数の圧電素子をカバーすることから、専用の部材を追加して部品点数を増やすことなく、圧電素子を大気から遮断して防湿することができる。 Thus, a driver IC, by using a bump for connecting the driver IC to the plurality of connection terminals of the flow channel structure side, because it covers a plurality of piezoelectric elements, and adding a dedicated member parts without increasing the number can be moisture-proof blocking the piezoelectric element from the atmosphere.

第2の発明の液体噴射装置は、前記第1の発明において、前記接続端子は、前記流路構造体の前記一表面の、前記圧力室と対向する領域よりも外側に配置されていることを特徴とするものである。 Liquid ejecting apparatus of the second invention, in the first invention, the connection terminal of the one surface of the flow path structure, that is located outside the area facing the pressure chamber it is an feature.

ドライバICを流路構造体に押し付けて複数の接続端子と接続する際に、押し付けられる流路構造体側の部分が圧力室と対向していないために、押し付け力に耐えることができる。 For when connecting a plurality of connection terminals by pressing the driver IC in the flow path structure, portions of the pressing are channel structure side does not face the pressure chamber, can withstand the pressing force. また、接合時に流路構造体に撓みが生じにくく、流路構造体の撓みによって圧電素子が破損することが防止される。 Further, the deflection in the flow path structure is less likely to occur at the time of joining, the piezoelectric element may be damaged by the deflection of the flow channel structure is prevented.

第3の発明の液体噴射装置は、前記第2の発明において、前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧力室を隔てる隔壁部と対向する領域にも、前記バンプが接合されていることを特徴とするものである。 A liquid ejecting apparatus of the third invention, in the second invention, of the one surface of the flow path structure, the even more partition walls facing the area separating the pressure chamber, the bump is bonded it is characterized in that there.

複数の圧力室が配置されている領域内においてもバンプを介してドライバICが押し付けられるため、ドライバICを流路構造体に強く押し付けて確実に接合できる。 The driver IC is pressed through the bumps even in the region where the plurality of pressure chambers are arranged, it can be reliably bonded strongly pressed against the driver IC to the flow channel structure. また、ドライバICが複数の圧電素子の周囲領域にのみ押し付けられると、逆に、その内側領域(圧電素子の配置領域)において、流路構造体がドライバIC側に反ってしまう虞がある。 Further, the driver IC is pressed against only the peripheral region of the plurality of piezoelectric elements, conversely, in its inner region (arrangement area of ​​the piezoelectric element), there is a possibility that the flow channel structure is warped to the driver IC side. 本発明では、流路構造体の一表面の、前記内側領域にも押し付け力が作用するため、反りが防止される。 In the present invention, one surface of the flow path structure, even pressing force to the inner region to act, warping is prevented.

第4の発明の液体噴射装置は、前記第1〜第3の何れかの発明において、前記複数の圧力室は、前記流路構造体の前記一表面に沿った所定方向に配列され、前記ドライバICは、矩形の平面形状を有し、その長辺が前記所定方向に沿った状態で前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧電素子の周囲領域のうちの、前記ドライバICの長辺に沿う領域には、前記複数の前記駆動用端子が配置され、前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧電素子の周囲領域のうちの、前記ドライバICの短辺に沿う領域には、前記駆動用端子以外の前記接続端子が配置されていることを特徴とするものである。 A liquid ejecting apparatus of the fourth invention, in the first to third any one of the said plurality of pressure chambers are arranged in a predetermined direction along the one surface of the flow path structure, said driver IC has a rectangular planar shape, its long side is arranged opposite to the one surface of the flow path structure in a state along the predetermined direction, of the one surface of the flow path structure, of the peripheral region of the plurality of piezoelectric elements, in a region along the long side of the driver IC, the plurality of the drive terminals are arranged, of the one surface of the flow path structure, the plurality of piezoelectric of the peripheral region of the element, the region along the short side of the driver IC are those wherein the connecting terminals other than the drive terminals are arranged.

ドライバICの平面形状が矩形である場合に、その長辺に沿って、複数の圧力室(複数の圧電素子)にそれぞれ対応した複数の駆動用端子が配置されることで、封止すべき長さが大きい長辺側を確実に封止することができる。 When the planar shape of the driver IC is rectangular, along its long side, that a plurality of pressure chambers (plurality of piezoelectric elements) a plurality of drive terminals respectively corresponding to the arrangement, the length to be sealed it is possible to reliably seal the larger long side of. 一方、ドライバICの短辺側は、長辺側よりも少ない数のバンプで封止できることから、この短辺側には駆動用端子以外の接続端子を配置する。 On the other hand, the short side of the driver IC, since it can be sealed by the number of bumps smaller than the long sides, this short side arranged connection terminals other than the drive pin.

第5の発明の液体噴射装置は、前記第1〜第4の何れかの発明において、前記複数のバンプには、前記複数の第1バンプの間に配置された第2バンプがさらに含まれ、前記第2バンプは、前記流路構造体の前記一表面の、前記接続端子が配置されていない領域に接合され、前記第1バンプと前記第2バンプの間に、前記封止材が充填されていることを特徴とするものである。 Fifth liquid ejecting apparatus of the present invention is directed to the first to fourth any one of the, wherein the plurality of bumps, the second bump disposed between the plurality of first bump is further included, the second bump, of the one surface of the flow path structure, the connection terminal is joined to the region not arranged between the first bump and the second bump, the sealing material is filled and it is characterized in that is.

第1バンプは、ドライバICと流路構造体側の接続端子とを電気的に接続して圧電素子の駆動に寄与するものであり、それ故、第1バンプの数や間隔は、圧電素子の大きさや個数等の制約を受け、自由に設定できないこともあり得る。 The first bump is intended to contribute to the driving of the piezoelectric element and electrically connects the connection terminal of the driver IC and the channel structure side, therefore, the number and spacing of the first bump, the piezoelectric element size restricted by the sheath number, etc., it may not be able to freely set. しかし、第1バンプの間隔が大きいと、隣接する第1バンプの間に封止材が保持されにくくなり、封止が困難となる。 However, when the distance between the first bump is large, it becomes difficult sealing material is held between the first bump adjacent, sealing is difficult. この点、本発明では、複数の第1バンプの間に、接続端子が配置されていない領域に接合される、いわゆるダミーの第2バンプが配置される。 In this regard, in the present invention, during a plurality of first bump connecting terminal is joined to the region not arranged, the second bump called dummy is placed. これにより、隣接する第1バンプの間隔が広い場合であっても、それらの間に第2バンプを配置することでバンプの間隔を狭めることができるため、バンプの間を封止材で確実に封止することができる。 Accordingly, even when the distance between the first bump adjacent wide, it is possible to reduce the distance of the bump by placing second bump therebetween, certainly between the bump with a sealing material it can be sealed.

第6の発明の圧電アクチュエータは、基板の一表面に配置された複数の圧電素子と、前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、 The piezoelectric actuator of the sixth aspect of the present invention includes a plurality of piezoelectric elements disposed on one surface of the substrate, and a driver IC for driving the plurality of piezoelectric elements,
前記基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記基板の前記一表面と対向して配置され、前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記ドライバICと前記複数の第1バンプによって囲まれ、前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とするものである。 On the one surface of said substrate, a plurality of connection terminals including a plurality of drive terminals respectively connected to said plurality of piezoelectric elements are disposed in the peripheral region of said plurality of piezoelectric elements, the driver IC, the wherein said substrate so as to cover a plurality of piezoelectric elements disposed opposite to the one surface, on one of the channel structure and the driver IC, a plurality of bumps projecting into their other side are provided, said plurality a plurality of first bump included in the bump, the by said plurality of connection terminals arranged in the peripheral region is connected, the plurality of piezoelectric elements are the drivers of the driver IC of the plurality of piezoelectric elements It surrounded IC and by said plurality of first bumps, sealant insulation between the plurality of first bump is characterized in that it is filled.

本発明の圧電アクチュエータでは、ドライバIC、複数の第1バンプ、及び、複数の第1バンプ間の封止材によって、複数の圧電素子が密閉される。 In the piezoelectric actuator of the present invention, a driver IC, a plurality of first bumps, and, by a sealing member between the plurality of first bumps, a plurality of piezoelectric elements are sealed. これにより、専用の部材を追加して部品点数を増やすことなく、圧電素子を大気から遮断して防湿することができる。 Thus, without increasing the number of parts by adding a dedicated member can be moisture-proof blocking the piezoelectric element from the atmosphere.

本発明によれば、ドライバIC、複数の第1バンプ、及び、複数の第1バンプ間の封止材によって、複数の圧電素子が密閉される。 According to the present invention, a driver IC, a plurality of first bumps, and, by a sealing member between the plurality of first bumps, a plurality of piezoelectric elements are sealed. このように、ドライバICと、このドライバICを流路構造体側の複数の接続端子に接続するためのバンプを利用して、複数の圧電素子をカバーすることができるため、専用の部材を追加して部品点数を増やすことなく、圧電素子を大気から遮断して防湿することができる。 Thus, using a driver IC, the bumps for connecting the driver IC to the plurality of connection terminals of the flow channel structure side, it is possible to cover a plurality of piezoelectric elements, and adding a dedicated member without increasing the number of components Te, it can be moisture-proof blocking the piezoelectric element from the atmosphere.

本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。 It is a schematic plan view of an ink-jet printer of this embodiment. インクジェットヘッドの平面図である。 It is a plan view of the ink jet head. インクジェットヘッド(ドライバICが取り付けられていない状態)の平面図である。 It is a plan view of the ink jet head (when no driver IC is mounted). 図2のIV-IV線断面図である。 It is a sectional view taken along line IV-IV of Figure 2. 図2のVV線断面図である。 A VV line sectional view of FIG. 変更形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 It is a plan view of an inkjet head according to a modified embodiment. 図6のVII-VII線断面図である。 Is a sectional view taken along line VII-VII of Figure 6. 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 It is a plan view of an inkjet head according to another variation. 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 It is a plan view of an inkjet head according to another variation. 図9のXX線断面図である。 It is a cross-sectional view taken along line XX of FIG. 別の変更形態に係るインクジェットヘッドの平面図である。 It is a plan view of an inkjet head according to another variation. 別の変更形態に係るインクジェットヘッド(ドライバICが取り付けられていない状態)の平面図である。 It is a plan view of the ink jet head (when no driver IC is mounted) according to another modified embodiment.

次に、本発明の実施の形態について説明する。 It will now be described embodiments of the present invention. 図1は、本実施形態のインクジェットプリンタの概略平面図である。 Figure 1 is a schematic plan view of an ink-jet printer of this embodiment. まず、図1を参照してインクジェットプリンタ1の概略構成について説明する。 First, it will be described a schematic configuration of the inkjet printer 1 with reference to FIG. 尚、以下では、図1の紙面手前側を上方、紙面向こう側を下方と定義して、適宜、「上」「下」の方向語を使用して説明する。 In the following, the front side of FIG. 1 above, to define the paper across the lower, suitably, be described with reference to the direction word "top," "bottom,". 図1に示すように、インクジェットプリンタ1は、プラテン2と、キャリッジ3と、インクジェットヘッド4と、搬送機構5等を備えている。 As shown in FIG. 1, the inkjet printer 1, a platen 2, a carriage 3, the inkjet head 4, and a conveying mechanism 5 and the like.

プラテン2の上面には、被記録媒体である記録用紙100が載置される。 The upper surface of the platen 2, the recording paper 100 as a recording medium is placed. また、プラテン2の上方には、図1の左右方向(走査方向)に平行に延びる2本のガイドレール10,11が設けられる。 Above the platen 2, two guide rails 10, 11 are provided extending in parallel in the lateral direction in FIG. 1 (scanning direction). キャリッジ3は、プラテン2と対向する領域において2本のガイドレール10,11に沿って走査方向に往復移動可能に構成されている。 The carriage 3 is configured to reciprocate in the scanning direction along two guide rails 10, 11 in the area facing the platen 2. また、キャリッジ3には、2つのプーリ12,13間に巻き掛けられた無端ベルト14が連結されており、キャリッジ駆動モータ15によって無端ベルト14が走行駆動されたときに、キャリッジ3は、無端ベルト14の走行に伴って走査方向に移動する。 Further, the carriage 3, the two are the endless belt 14 wound around between the pulleys 12 and 13 are connected, when the endless belt 14 is driven travel by a carriage driving motor 15, the carriage 3, the endless belt It moves in the scanning direction with the 14 running of.

インクジェットヘッド4(液体噴射装置)は、キャリッジ3に取り付けられており、キャリッジ3とともに走査方向に移動する。 The inkjet head 4 (liquid ejecting apparatus) is mounted on the carriage 3 is moved in the scanning direction together with the carriage 3. インクジェットヘッド4は、プリンタ1に装着されたインクカートリッジ(図示省略)と、チューブによって接続されている。 The inkjet head 4 includes a mounted ink cartridge in the printer 1 (not shown), are connected by a tube. また、インクジェットヘッド4の下面(図1の紙面向こう側の面)には、複数のノズル16が形成されている。 Further, on the lower surface of the inkjet head 4 (the plane across the plane of FIG. 1), a plurality of nozzles 16 are formed. そして、このインクジェットヘッド4は、インクカートリッジから供給されたインクを、複数のノズル16からプラテン2に載置された記録用紙100に対して噴射する。 Then, the inkjet head 4, the ink supplied from the ink cartridge to eject the recording sheet 100 placed from a plurality of nozzles 16 to the platen 2.

搬送機構5は、搬送方向にプラテン2を挟むように配置された2つの搬送ローラ18,19を有し、これら2つの搬送ローラ18,19は、図示しないモータによって回転駆動される。 Conveying mechanism 5 has two transport rollers 18, 19 which are arranged so as to sandwich the platen 2 in the transport direction, two transport rollers 18, 19 are rotated by a motor (not shown). 搬送機構5は、2つの搬送ローラ18,19によって、プラテン2に載置された記録用紙100を搬送方向に搬送する。 Conveying mechanism 5, the two transport rollers 18 and 19, to convey the recording sheet 100 placed on the platen 2 in the transport direction.

インクジェットプリンタ1は、プラテン2上に載置された記録用紙100に対して、キャリッジ3とともに走査方向(図1の左右方向)に往復移動するインクジェットヘッド4からインクを噴射させる。 Inkjet printer 1, the recording sheet 100 placed on the platen 2, thereby ejecting ink from the ink jet head 4 to reciprocate in the scanning direction together with the carriage 3 (the horizontal direction in FIG. 1). これとともに、2つの搬送ローラ18,19によって記録用紙100を搬送方向(図1の下方)に搬送する。 Simultaneously, the two transport rollers 18, 19 to convey the recording sheet 100 in the conveying direction (downward in FIG. 1). 以上の動作によって記録用紙100に画像や文字等が記録される。 Images and characters are recorded on the recording paper 100 by the above operation.

次に、インクジェットヘッド4について説明する。 It will now be described an inkjet head 4. 図2はインクジェットヘッドの平面図である。 Figure 2 is a plan view of the ink jet head. また、図3は、図2に示されるドライバICが取り付けられていない状態でのインクジェットヘッドの平面図である。 3 is a plan view of the ink jet head in a state not attached a driver IC shown in FIG. 図4は、図2のIV-IV線断面図である。 Figure 4 is a sectional view taken along line IV-IV of Figure 2. 尚、図4では、インク流路内に充填されているインクを符号“I”で示している。 Incidentally, it shows in FIG. 4, the ink filled in the ink flow path by the symbol "I". 図2〜図4に示すように、インクジェットヘッド4は、流路ユニット20(流路構造体)と、圧電アクチュエータ21と、ドライバIC46等を備えている。 2 to 4, the inkjet head 4 includes a channel unit 20 (flow channel structure), and a piezoelectric actuator 21, and a driver IC46 and the like.

図4に示すように、流路ユニット20は、それぞれ多数の流路形成孔が形成された5枚のプレート30〜34が積層された構造を有する。 As shown in FIG. 4, the channel unit 20, five plates 30 to 34 each are a number of flow path forming holes are formed are laminated. これら5枚のプレート30〜34が積層されたときに多数の流路形成孔が連通することによって、流路ユニット20には、以下に述べるようなインク流路が形成されている。 By a number of flow path forming hole communicates when these five plates 30-34 are stacked, the channel unit 20, the ink flow path as described below is formed. 尚、5枚のプレート30〜34の材質は特に限定はされないが、例えば、ステンレス鋼やニッケル合金鋼等の金属プレートであってもよい。 Although five is the material of the plates 30 to 34 are not particularly limited, for example, it may be a metal plate such as stainless steel or nickel alloy steel. あるいは、シリコン単結晶基板であってもよい。 Alternatively, it may be a silicon single crystal substrate.

図2に示すように、流路ユニット20の上面には、図示しないインクカートリッジと接続されるインク供給孔26が形成されている。 As shown in FIG. 2, the upper surface of the channel unit 20, ink supply hole 26 to be connected with an ink cartridge (not shown) is formed. 流路ユニット20の内部には、それぞれ搬送方向に延在する2本のマニホールド25が形成されている。 Inside the channel unit 20, two manifolds 25, each extending in the conveyance direction is formed. 2本のマニホールド25は1つのインク供給孔26に共通に接続されており、インクカートリッジから供給されたインクが2本のマニホールド25にそれぞれ供給される。 The two manifolds 25 are connected in common to one ink supply holes 26, ink supplied from the ink cartridge is supplied to the two manifolds 25.

また、図2〜図4に示すように、流路ユニット20は、最下層のノズルプレート34に形成されて流路ユニット20の下面に開口する複数のノズル16と、複数のノズル16にそれぞれ連通した複数の圧力室24を有する。 Further, as shown in FIGS. 2 to 4, the channel unit 20 includes a plurality of nozzles 16 which open to the lower surface of the lowermost nozzle plate 34 is formed in the channel unit 20, respectively communicating with the plurality of nozzles 16 having a plurality of pressure chambers 24 that. 図2、図3に示すように、流路ユニット20の下面(図2、図3の紙面向こう側の面)において、複数のノズル16は搬送方向に沿って2列に配列されている。 Figure 2, as shown in FIG. 3, the lower surface of the channel unit 20 (FIG. 2, the surface of the paper across the FIG. 3), a plurality of nozzles 16 are arranged in two rows along the conveying direction. 尚、複数のノズル16の配置は、左右2列のノズル列の間でノズル16の位置が搬送方向に互いにずれた、いわゆる、千鳥状の配置となっている。 The arrangement of the plurality of nozzles 16, the position of the nozzle 16 is shifted from one another in the conveying direction between the nozzle rows of the right and left two rows, so-called, it has a staggered arrangement.

複数の圧力室24は、それぞれ、走査方向に長い略楕円形の平面形状を有する。 A plurality of pressure chambers 24, respectively, has a long substantially elliptical planar shape with the scanning direction. 複数の圧力室24は平面的に配置され、これら複数の圧力室24は振動板30によって上方から覆われている。 A plurality of pressure chambers 24 are arranged in a plane, the plurality of pressure chambers 24 are covered from above by the vibration plate 30. また、複数の圧力室24は、複数のノズル16にそれぞれ対応して、搬送方向に沿って千鳥状に2列に配列されている。 The plurality of pressure chambers 24, respectively corresponding to the plurality of nozzles 16 are arranged in two rows in a staggered manner along the conveying direction. 各圧力室24は、その長手方向一端部において対応するノズル16と連通している。 Each pressure chamber 24 is communicated with a nozzle 16 which corresponds in the longitudinal direction end portion. 尚、左右2列の圧力室列の間で、圧力室24とノズル16との配置関係が逆になっている。 In between the pressure chamber rows of the right and left two rows, the arrangement relationship between the pressure chamber 24 and the nozzle 16 are reversed. 即ち、図2〜図4に示すように、左側の圧力室列においては、各圧力室24の長手方向右端部に対応するノズル16が連通している。 That is, as shown in FIGS. 2 to 4, in the left side of the pressure chamber rows, the nozzles 16 corresponding to the longitudinal right end of each of the pressure chambers 24 are communicated. 一方、右側の圧力室列においては、各圧力室24の長手方向左端部に対応するノズル16が連通している。 On the other hand, in the right side of the pressure chamber rows, the nozzles 16 corresponding to the longitudinal direction left end of each of the pressure chambers 24 are communicated. これにより、図2、図3に示すように、2列の圧力室列の内側に、それぞれに対応した2列のノズル列が配置されている。 Thus, FIG. 2, as shown in FIG. 3, the two inner pressure chamber rows of two nozzle arrays corresponding to each are arranged.

2列の圧力室列は、2本のマニホールド25とそれぞれ重なる位置に配置され、各圧力室24は、その直下に位置するマニホールド25に連通している。 2 pressure chamber rows of the arranged overlapping each and two manifolds 25 positions, each of the pressure chambers 24 communicates with the manifold 25 located immediately below. これにより、図4に示すように、流路ユニット20には、マニホールド25から分岐して、圧力室24を経てノズル16に至る、個別インク流路27が複数形成されている。 Thus, as shown in FIG. 4, the channel unit 20 is branched from the manifold 25, to the nozzle 16 via the pressure chambers 24, individual ink flow paths 27 are formed.

次に、圧電アクチュエータ21について説明する。 It will now be described piezoelectric actuator 21. 圧電アクチュエータ21は、流路ユニット20の振動板30の上面に配置されている。 The piezoelectric actuator 21 is disposed on the upper surface of the vibration plate 30 of the channel unit 20. 図2〜図4に示すように、圧電アクチュエータ21は、圧電体40と、複数の駆動電極42と、共通電極43とを有する。 2 to 4, the piezoelectric actuator 21 includes a piezoelectric body 40, a plurality of drive electrodes 42 and a common electrode 43.

図4に示すように、振動板30の上面には、合成樹脂材料等の絶縁材料からなる絶縁膜44がほぼ全面に形成されている。 As shown in FIG. 4, on the upper surface of the vibration plate 30, an insulating film 44 made of an insulating material such as synthetic resin material is formed on substantially the entire surface. この絶縁膜44で覆われた振動板30の上面に、矩形状に形成された2つの圧電体40が配置されている。 On the upper surface of the vibration plate 30 covered with the insulating film 44, two piezoelectric bodies 40 formed in a rectangular shape is arranged. 2つの圧電体40は、2列の圧力室列をそれぞれ覆うように、それらの長手方向が圧力室24の配列方向(搬送方向)と平行となるように配置されている。 Two piezoelectric body 40, two rows of the pressure chambers columns so as to cover each their longitudinal direction are arranged so as to be parallel to the arrangement direction of the pressure chamber 24 (the conveying direction). 圧電体40は、チタン酸鉛とジルコン酸鉛との固溶体である、強誘電性のチタン酸ジルコン酸鉛(PZT)を主成分とする圧電材料からなる。 The piezoelectric body 40 is a solid solution of lead titanate and lead zirconate, comprising the ferroelectric lead zirconate titanate (PZT) piezoelectric material whose main component. 圧電体40は、スパッタ法やゾルゲル法等の公知の成膜技術によって、絶縁膜44で覆われた振動板30の上面に直接形成することができる。 The piezoelectric body 40, by known deposition techniques such as sputtering and sol-gel method, can be formed directly on the upper surface of the vibration plate 30 covered with the insulating film 44. あるいは、未焼成の薄いグリーンシートを焼成してから振動板30に貼り付けることによって形成することもできる。 Or it may be formed by pasting after firing the thin green sheet of unbaked the diaphragm 30.

複数の駆動電極42は、圧電体40の下面の、複数の圧力室24とそれぞれ対向する領域に形成されている。 A plurality of drive electrodes 42, the lower surface of the piezoelectric body 40, is formed in a region respectively facing the plurality of pressure chambers 24. 各駆動電極42は、圧力室24よりも一回り小さい略楕円の平面形状を有し、対応する圧力室24の略中央部と対向するように配置されている。 Each drive electrode 42 has a planar shape of a small substantially elliptical slightly larger than the pressure chamber 24 is disposed so as to face the substantially central portion of the corresponding pressure chamber 24. 駆動電極42は、絶縁膜44によって振動板30とは電気的に絶縁されている。 Drive electrodes 42 are electrically insulated from the vibration plate 30 by the insulating film 44.

複数の駆動電極42には複数の駆動用端子45がそれぞれ接続されている。 The plurality of drive electrodes 42 a plurality of drive terminals 45 are respectively connected. 各駆動用端子45は、絶縁膜44上において、対応する駆動電極42からその長手方向であってノズル16とは反対側(外側)へ向けて、圧力室24と対向しない領域まで引き出され、図3、図4に示すように圧電体40から露出している。 Each drive terminal 45, on the insulating film 44, from the corresponding drive electrode 42 and the nozzle 16 a longitudinal direction thereof toward the opposite side (outside) is drawn to the area not facing the pressure chamber 24, FIG. 3, are exposed from the piezoelectric member 40 as shown in FIG. そして、複数の駆動用端子45は、2つの圧電体40の走査方向における両側において、搬送方向に沿って配列されている。 Then, a plurality of drive terminals 45, on both sides in the scanning direction of the two piezoelectric bodies 40 are arranged along the conveying direction. 複数の駆動用端子45には後述のドライバIC46が接続され、ドライバIC46から複数の駆動電極42のそれぞれに対して所定の駆動電圧が印加される。 The plurality of drive terminals 45 is connected below the driver IC46, the predetermined drive voltage is applied to each of the driver IC46 of plurality of drive electrodes 42.

共通電極43は、2つの圧電体40に跨ってそれら圧電体40の上面全域を覆うように形成されている。 The common electrode 43 is formed so as to cover the entire upper surface thereof the piezoelectric member 40 over two piezoelectric member 40. 尚、図3では、2つの圧電体40を覆う共通電極43にハッチングを施してある。 In FIG. 3, it is hatched to the common electrode 43 which covers the two piezoelectric bodies 40. 詳細には、共通電極43は、2つの圧電体40の上面全域にそれぞれ形成された2つの電極部43aと、2つの電極部43aから圧力室24の配列方向一方側(搬送方向上流側)に引き出されて、振動板30の上面に形成された第1接続部43bと、振動板30の上面の2つの圧電体40の間の領域に形成された第2接続部43cとを有する。 Specifically, the common electrode 43 includes two electrode portions 43a formed respectively on the entire upper surface of the two piezoelectric bodies 40, the arrangement direction one side of the pressure chamber 24 from the two electrode portions 43a (upstream side) drawn by, it has a first connecting portion 43b formed on the upper surface of the vibration plate 30, and a second connecting portion 43c which is formed in a region between two piezoelectric member 40 of the upper surface of the vibration plate 30.

第1接続部43bは、矩形状の2つの圧電体40の短辺に沿って走査方向に延在している。 The first connecting portion 43b extends in the scanning direction along the short sides of the rectangular two piezoelectric member 40. また、第2接続部43cは、矩形状の2つの圧電体40の長辺に沿って搬送方向に延在している。 The second connection portion 43c extends in the transport direction along the two long sides of the piezoelectric body 40 of a rectangular shape. 第1接続部43b及び第2接続部43cは、絶縁膜44によって振動板30とは電気的に絶縁されている。 The first connection portion 43b and the second connection portion 43c is electrically insulated from the vibration plate 30 by the insulating film 44. また、第1接続部43b及び第2接続部43cは、共に振動板30の上面に形成されているために、圧電体40の上面に形成された2つの電極部43aよりも低い位置にある。 The first connection portion 43b and the second connection portion 43c, in order formed on the upper surface of the vibration plate 30 are both in a position lower than the two electrode portions 43a formed on the upper surface of the piezoelectric member 40. 図4の断面で示されるように、共通電極43は、第2接続部43cにおいて局所的に窪んだ形状となっている。 As shown in cross section in FIG. 4, the common electrode 43 has a locally recessed in the second connection portion 43c. 尚、第1接続部43bは、振動板30の上面の、複数の圧力室24が形成された領域よりも搬送方向上流側にある。 The first connection portion 43b is the upper surface of the vibration plate 30, than a plurality of regions in which the pressure chambers 24 are formed in the conveying direction upstream side. また、第2接続部43cは、流路ユニット20の、2列の圧力室24の列を隔てる隔壁部20aと対向している。 The second connecting section 43c is, the channel unit 20, faces the partition wall 20a which separates the rows of pressure chambers 24 of the two rows. つまり、第1接続部43bと第2接続部43cは、共に、振動板30の上面の、圧力室24と対向しない領域に配置されている。 In other words, the first connection portion 43b and the second connection portion 43c are both of the upper surface of the vibration plate 30, it is disposed in a region not facing the pressure chamber 24.

2つの圧電体40に対して搬送方向上流側に位置する第1接続部43bと、2つの圧電体40の間に位置する第2接続部43cは、共に、後述するドライバIC46と接続されてそのグランド配線と導通する。 A first connection portion 43b positioned on the conveying direction upstream of the two piezoelectric bodies 40, the second connecting portions 43c located between the two piezoelectric bodies 40 are both connected to a later-described driver IC46 that It is electrically connected to the ground wiring. これにより、共通電極43は、常にグランド電位に保持される。 Thus, the common electrode 43 is kept at the ground potential.

図4に示すように、圧電体40の、1つの駆動電極42と共通電極43の電極部43aとに挟まれる部分(以下、「圧電素子41」ともいう)は、次に説明するように、駆動電極42に駆動電圧が印加されたときに変形して、1つの圧力室24内のインクに噴射エネルギーを付与する部分となる。 As shown in FIG. 4, the piezoelectric body 40, the portion sandwiched by the one driving electrode 42 and the electrode portions 43a of the common electrode 43 (hereinafter, also referred to as "piezoelectric elements 41"), as described below, deformed when a drive voltage is applied to the drive electrodes 42, a portion which applies a jetting energy to one ink in the pressure chamber 24. 本実施形態では、1つの圧電体40が1列の圧力室列に属する複数の圧力室24に跨って配置されることで、1列の圧力室列に対応する複数の圧電素子41が一体化された構成となっている。 In the present embodiment, since one of the piezoelectric body 40 is disposed over the pressure chambers 24 belonging to the pressure chamber row in one column, a plurality of piezoelectric elements 41 corresponding to the pressure chamber rows in one column are integrated and it has a configuration. また、複数の圧電素子41の各々は、その厚み方向に分極されている。 Further, each of the plurality of piezoelectric elements 41 is polarized in its thickness direction.

ドライバIC46から駆動電極42に駆動電圧が印加されると、この駆動電極42と、グランド電位の共通電極43の間に電位差が生じて、これら2つの電極42,43の間の圧電体40の部分(圧電素子41)に厚み方向の電界が作用する。 When the drive voltage from the driver IC46 to the driving electrode 42 is applied, a drive electrode 42, and a potential difference occurs between the common electrode 43 of the ground potential, the portion of the piezoelectric member 40 between the two electrodes 42 and 43 electric field in the thickness direction (piezoelectric element 41) is applied. この電界の方向は、圧電素子41の分極方向と平行であるから、圧電素子41は厚み方向に伸長するとともに面方向に収縮する。 The direction of the electric field, because it is parallel to the polarization direction of the piezoelectric element 41, the piezoelectric element 41 contracts in the planar direction while extending in the thickness direction. この圧電素子41の収縮によって、圧力室24を覆っている振動板30が圧力室24側に凸となるように撓み、圧力室24の容積が減少する。 By contraction of the piezoelectric element 41, the vibration plate 30 that covers the pressure chamber 24 is deflected so as to project toward the pressure chamber 24 side, it decreases the volume of the pressure chamber 24. その際に圧力室24内のインクに圧力(噴射エネルギー)が付与され、ノズル16からインクの液滴が噴射される。 Pressure (injection energy) is applied to the ink in the pressure chamber 24 when the droplets of ink is ejected from the nozzle 16.

次に、ドライバIC46について説明する。 Next, a description will be given of the driver IC46. ドライバIC46の内部には、圧電アクチュエータを駆動するための各種回路が組み込まれている。 Inside the driver IC 46, various circuits for driving a piezoelectric actuator is incorporated. 図2に示すように、ドライバIC46は矩形の平面形状を有する。 As shown in FIG. 2, the driver IC46 having a rectangular planar shape. このドライバIC46は、その長辺が圧力室24の配列方向に沿った状態で、流路ユニット20の振動板30の上面と対向して配置されて、2つの圧電体40を上方から覆う形で振動板30に接合される。 The driver IC46 is in the state that the long sides along the arrangement direction of the pressure chamber 24, are arranged to the upper surface facing the diaphragm 30 of the channel unit 20, so as to cover the two piezoelectric body 40 from above It is joined to the diaphragm 30.

先にも述べたが、振動板30の上面の、2つの圧電体40の走査方向における両側の領域には、複数の駆動電極42からそれぞれ引き出された複数の駆動用端子45が配置されている。 Although described earlier, the upper surface of the vibration plate 30, on both sides of the region in the scanning direction of the two piezoelectric bodies 40, a plurality of drive terminals 45 drawn out from each of the plurality of drive electrodes 42 are arranged . また、振動板30の上面の、2つの圧電体40よりも搬送方向上流側の領域には共通電極43の第1接続部43bが配置されている。 Further, the upper surface of the vibration plate 30, the two conveyance direction upstream side of the piezoelectric member 40 region first connection portion 43b of the common electrode 43 is disposed. さらに、図2、図3に示すように、2つの圧電体40よりも搬送方向下流側の領域には、複数の入力端子47(電源入力端子47a、グランド入力端子47b、信号入力端子47c)が並べて配置されている。 Furthermore, FIG. 2, as shown in FIG. 3, the two in the conveying direction downstream side of the piezoelectric body 40 regions, a plurality of input terminals 47 (power supply input terminal 47a, a ground input terminal 47b, the signal input terminal 47c) is side by side are arranged. 尚、複数の入力端子47は、インクジェットヘッド4の動作を制御する制御基板(図示省略)と接続されている。 The plurality of input terminals 47 is connected to a control board for controlling the operation of the inkjet head 4 (not shown).

つまり、振動板30の上面の、2つの圧電体40の周囲領域に、複数の駆動用端子45、共通電極43の第1接続部43b、及び、複数の入力端子47が形成されている。 That is, the upper surface of the vibration plate 30, the peripheral region of the two piezoelectric bodies 40, a plurality of drive terminals 45, the first connection portion 43b of the common electrode 43, and a plurality of input terminals 47 are formed. その他、振動板30の上面の、2つの圧電体40の間の領域には共通電極43の第2接続部43cが配置されている。 Other, of the upper surface of the vibration plate 30, in the region between the two piezoelectric body 40 second connecting portion 43c of the common electrode 43 is disposed. 以下、説明の便宜上、複数の駆動用端子45、共通電極43の第1接続部43b、第2接続部43c、及び、複数の入力端子47をまとめて、「複数の接続端子50」と呼ぶ。 For convenience of explanation, a plurality of drive terminals 45, the first connection portion 43b of the common electrode 43, the second connecting portion 43c, and are collectively a plurality of input terminals 47, referred to as "a plurality of connection terminals 50".

一方で、ドライバIC46の、振動板30と対向する下面(接続面)には、上述した複数の接続端子50と接続される、導電性材料からなる複数のバンプ51が、下方(図2の紙面向こう側)に突出して設けられている。 On the other hand, the driver IC 46, the lower surface facing the vibrating plate 30 (connection surface), is connected to a plurality of connection terminals 50 described above, a plurality of bumps 51 made of a conductive material, the lower (the plane of FIG. 2 It is provided to protrude on the other side). まず、図2に示すように、矩形状のドライバIC46の2つの長辺46a,46bにそれぞれ沿う2つの縁部には、複数の駆動用端子45に接続される複数の駆動バンプ51aが設けられている。 First, as shown in FIG. 2, two long sides 46a of the rectangular driver IC 46, the two edges along each 46b, a plurality of driving bumps 51a are connected to a plurality of drive terminals 45 are provided ing. ドライバIC46の一方の短辺46cに沿う縁部には、共通電極43の第1接続部43bと接続される複数の第1共通電極バンプ51bが設けられている。 The edges along one short side 46c of the driver IC 46, a plurality of first common electrode bump 51b connected to the first connection portion 43b of the common electrode 43 is provided. ドライバIC46の他方の短辺46dに沿う縁部には、複数の入力端子47とそれぞれ接続される複数の入力バンプ51cが設けられている。 The edges along the other short side 46d of the driver IC 46, a plurality of input bumps 51c which are respectively connected to the plurality of input terminals 47 are provided. また、ドライバIC46の中央部には、共通電極43の第2接続部43cと接続される複数の第2共通電極バンプ51dも設けられている。 At the center portion of the driver IC 46, it is also provided a plurality of second common electrode bump 51d is connected to the second connecting portion 43c of the common electrode 43.

そして、ドライバIC46は、その長辺46a,46bが搬送方向と平行な状態で振動板30の上面に配置されて、前述した複数のバンプ51が、振動板30の上面に形成された複数の接続端子50とそれぞれ接続される。 The driver IC46, the long sides 46a, 46b is arranged on the upper surface of the vibration plate 30 in parallel to the conveying direction, a plurality of connecting a plurality of bumps 51 described above, which is formed on the upper surface of the vibration plate 30 They are respectively connected to the terminals 50. ドライバIC46が、複数の入力端子47(電源入力端子47a、グランド入力端子47b、信号入力端子47c)を介して制御基板と接続されることで、制御基板側からの電力供給、グランド接続、及び、制御信号の入力等が行われる。 Driver IC46 is, a plurality of input terminals 47 (power supply input terminal 47a, a ground input terminal 47b, the signal input terminal 47c) that is connected to the control board through the power supply from the control board side, ground connection, and, input of the control signal. また、ドライバIC46は、複数の駆動用端子45を介して複数の駆動電極42と接続されるとともに、共通電極43とも接続される。 The driver IC46 is connected to a plurality of driving electrodes 42 through a plurality of drive terminals 45 are also connected to the common electrode 43. これにより、ドライバIC46は、共通電極43をグランド電位に保持しつつ、複数の駆動電極42に対して個別に駆動電圧を印加する。 Accordingly, the driver IC46, while retaining the common electrode 43 to the ground potential, is applied individually driving voltage to the plurality of driving electrodes 42.

ここで、図2、図3に示すように、ドライバIC46に設けられた複数のバンプ51のうちの、ドライバIC46の縁部全周に沿って設けられているバンプ51a,51b,51c(本発明の第1バンプ)によって、2つの圧電体40(複数の圧電素子41)が取り囲まれる。 Here, FIG. 2, as shown in FIG. 3, the bumps 51a of the provided along the entire circumference edge of the driver IC46 of the plurality of bumps 51 provided on the driver IC46, 51b, 51c (the present invention the first bump) of the two piezoelectric bodies 40 (plurality of piezoelectric elements 41) is surrounded. 図5は、図2のVV線断面図である。 Figure 5 is a VV line sectional view of FIG. 図4、図5に示すように、ドライバIC46と複数の接続端子50とを接続する複数のバンプ51の間には、合成樹脂等の絶縁性材料からなる封止材52が充填される。 4, as shown in FIG. 5, between the plurality of bumps 51 for connecting the driver IC46 and a plurality of connection terminals 50, sealing material 52 is filled made of an insulating material such as synthetic resin. これにより、隣接するバンプ51の間が絶縁されるとともにバンプ51の間の隙間が完全に封止されている。 Thus, the gap between the bumps 51 with between adjacent bumps 51 is insulated is completely sealed. 従って、ドライバIC46、複数のバンプ51a,51b,51c(第1バンプ)、及び、これら複数のバンプ51a,51b,51c間の封止材52によって、複数の圧電素子41が密閉されて大気から遮断される。 Therefore, the driver IC 46, a plurality of bumps 51a, 51b, 51c (first bump), and, cut off the plurality of bumps 51a, 51b, by a sealing material 52 between 51c, a plurality of piezoelectric elements 41 is sealed from the atmosphere It is.

ドライバIC46と振動板30側の複数の接続端子50の電気的接続は、例えば、以下のようにして行う。 Electrical connection of a plurality of connection terminals 50 of the driver IC46 and the vibration plate 30 side, for example, performed as follows. まず、振動板30の上面に、熱硬化性樹脂に導電性粒子が分散されてなる、異方性導電フィルム(ACF)や異方性導電ペースト(ACP)などの異方性導電材を、複数の接続端子50を覆うように配する。 First, on the upper surface of the vibration plate 30, the conductive particles in a thermosetting resin is dispersed, the anisotropic conductive material, such as anisotropic conductive film (ACF) or an anisotropic conductive paste (ACP), a plurality to distribution so as to cover the connection terminal 50. 次に、流路ユニット20を加熱しながら、ドライバIC46を振動板30に押しつける。 Next, while heating the flow path unit 20 presses the driver IC46 the diaphragm 30. このとき、ドライバIC46側のバンプ51と接続端子50との間において、異方性導電材に局所的に大きな圧力が作用して熱硬化性樹脂が横へ押し出され、残存する導電粒子によってバンプ51と接続端子50が導通する。 At this time, between the bump 51 and the connecting terminal 50 of the driver IC46 side, a thermosetting resin is extruded sideways locally large pressure to the anisotropic conductive material acts, bump 51 by the conductive particles remaining connection terminal 50 is electrically connected to the. また、同時に、加熱によって熱硬化性樹脂が硬化し、ドライバIC46と流路ユニット20とが機械的に接合される。 At the same time, the thermosetting resin is cured by heating, and the driver IC46 and the flow path unit 20 are mechanically joined. 尚、異方性導電材の、バンプ51が押し付けられない部分にはほとんど圧力が作用せず、絶縁性が維持される。 Incidentally, the anisotropic conductive material, most pressure does not act on the portion where the bumps 51 are not pressed, the insulating property is maintained. 本実施形態では、ドライバIC46の押圧時に、隣接するバンプ51間に入り込んだ異方性導電材が、これらのバンプ51の間を絶縁するとともに隙間を封止する、上述の封止材52として機能する。 In the present embodiment, when the pressing of the driver IC 46, the anisotropic conductive material that enters between adjacent bumps 51, to seal the gap with insulation between these bumps 51, functions as a sealing member 52 described above to.

また、ドライバIC46側のバンプ51と流路ユニット20側の接続端子50とを、ハンダで接合してもよい。 Further, the bumps 51 and the channel unit 20 side of the connecting terminal 50 of the driver IC46 side, may be joined by soldering. この場合には、ハンダ接合の後に、エポキシ樹脂等の液状の硬化性樹脂からなる封止材52をバンプ51の間に注入して硬化させる。 In this case, after the solder joint to cure the sealing material 52 made of a curable liquid resin such as epoxy resin is injected between the bump 51.

このように、本実施形態では、圧電アクチュエータ21を駆動するドライバIC46と、このドライバIC46を流路ユニット20側の複数の接続端子50に接続するためのバンプ51を利用して、複数の圧電素子41をカバーして大気から遮断している。 Thus, in the present embodiment, the driver IC46 for driving the piezoelectric actuator 21, by using a bump 51 for connecting the driver IC46 in the plurality of connection terminals 50 of the channel unit 20, a plurality of piezoelectric elements 41 covers have been cut off from the atmosphere. そのため、専用の部材を追加して部品点数を増やすことなく、複数の圧電素子41を確実に防湿することができる。 Therefore, without increasing the number of parts by adding a dedicated member can be reliably moisture a plurality of piezoelectric elements 41.

また、図2〜図4に示すように、振動板30側の複数の接続端子50(複数の駆動用端子45、共通電極43の第1接続部43b、第2接続部43c、及び、複数の入力端子47)は、振動板30の、圧力室24と対向する領域よりも外側に形成されている。 Further, as shown in FIGS. 2 to 4, the vibration plate 30 side of the plurality of connection terminals 50 (a plurality of drive terminals 45, the first connection portion 43b of the common electrode 43, the second connecting portion 43c, and a plurality of input terminal 47), the vibration plate 30, and is formed outside the area facing the pressure chamber 24. 従って、ドライバIC46を流路ユニット20に押し付けて複数の接続端子50と接合する際に、複数のバンプが押し付けられる振動板30の部分がその押し付け力に耐えることができる。 Therefore, when bonding a plurality of connection terminals 50 by pressing the driver IC46 in the channel unit 20, the portion of the vibration plate 30 in which a plurality of bumps are pressed can withstand the pressing force. また、それ故、ドライバIC46の接合時に振動板30に撓みが生じにくく、振動板30の撓みによって圧電体40(圧電素子41)が破損することが防止される。 Also, therefore, it is less likely to occur deflection vibration plate 30 at the time of joining the driver IC 46, the piezoelectric body 40 (piezoelectric elements 41) can be prevented from being damaged by the deflection of the diaphragm 30.

また、振動板30の、2列の圧力室24を隔てる隔壁部20aと対向する領域に、共通電極43の第2接続部43cが形成され、この第2接続部43cに第2共通電極バンプ51dが接合されている。 Further, the vibration plate 30, the area facing the partition wall 20a which separates the pressure chamber 24 of the second column, the second connecting portion 43c of the common electrode 43 is formed, the second common electrode bumps 51d to the second connection portion 43c There has been joined. つまり、複数の圧力室24が配置されている領域内においてもバンプ51dを介してドライバIC46が押し付けられるため、ドライバIC46を流路ユニット20に強く押し付けて確実に接合できる。 That is, because the driver IC46 is pressed through the bumps 51d even in the region where the plurality of pressure chambers 24 are arranged, can be reliably bonded strongly pressed against the driver IC46 in the channel unit 20. また、ドライバIC46が圧電体40の周囲領域にのみ押し付けられる場合には、逆に、その内側領域(圧電体40が配置されている領域)において振動板30が上方(ドライバIC46側)に反ってしまう虞がある。 Also, if the driver IC46 is pressed against only the peripheral region of the piezoelectric body 40, on the contrary, the vibration plate 30 is warped upward (driver IC46 side) in its inner region (region where the piezoelectric element 40 is disposed) there is a possibility that put away. これに対して、本実施形態では、振動板30の前記内側領域にも押し付け力が作用するため、反りが防止される。 In contrast, in the present embodiment, since the acts pressing force to the inner area of ​​the vibrating plate 30, the warp is prevented.

尚、圧電体40を大気から確実に遮断するためには、圧電体40を取り囲むバンプ51a,51b,51c(第1バンプ)間の隙間を封止材52で完全に封止する必要があるが、これらのバンプ間の隙間が大きいと封止材52を保持するのが難しく、封止が不十分になる虞がある。 In order to reliably cut off the piezoelectric body 40 from the atmosphere, it bumps 51a surrounding the piezoelectric member 40, 51b, 51c and completely it is necessary to seal in (first bump) sealing material 52 the gap between , is to hold the gap between these bumps is greater the sealing material 52 harder, sealing is likely to become insufficient. この点、本実施形態では、2つの圧電体40の周囲領域のうち、ドライバIC46の長辺46a,46bに沿った領域に、複数の圧力室24(複数の駆動電極42)にそれぞれ対応した、数の多い駆動用端子45が配置されている。 In this regard, in the present embodiment, among the peripheral region of the two piezoelectric bodies 40, the long side 46a of the driver IC 46, the region along the 46b, respectively corresponding to the plurality of pressure chambers 24 (a plurality of drive electrodes 42), the large number of drive terminals 45 are arranged. これにより、封止すべき長さが大きい長辺側を確実に封止することができる。 Thus, it is possible to reliably seal the larger long side length to be sealed. 一方、ドライバIC46の短辺側は、長辺側よりも少ない数のバンプで封止できる。 On the other hand, the short side of the driver IC46 can be sealed by the number of bumps smaller than the long side. 従って、駆動用端子45よりも数の少ない入力端子47は、圧電体40の周囲領域のうちの、ドライバIC46の一方の短辺46dに沿った領域に配置されている。 Therefore, the input terminal 47 number of less than the drive terminals 45, of the peripheral region of the piezoelectric body 40 is arranged in a region along the one short side 46d of the driver IC 46. 尚、ドライバIC46の他方の短辺46c側に配置された第1接続部43bについては、ドライバIC46との導通のみを考慮するならば、第1共通電極バンプ51bの数はそれほど多くする必要はない。 Note that the first connecting portion 43b arranged on the other short side 46c side of the driver IC 46, if considering only conduction between the driver IC 46, is not necessary the number of the first common electrode bump 51b is so much . しかし、この他方側の短辺46cの封止を確実にするという観点から、複数の入力バンプ51cと同じ程度の数の、第1共通電極バンプ51bが設けられることが好ましい。 However, from the viewpoint of ensuring the sealing of the short side 46c of the other side, the number of the same degree as the plurality of input bumps 51c, it is preferable that the first common electrode bump 51b is provided.

次に、前記実施形態に種々の変更を加えた変更形態について説明する。 Next, an explanation will be made about modified embodiments in which various modifications to the embodiment. 但し、前記実施形態と同様の構成を有するものについては、同じ符号を付して適宜その説明を省略する。 However, the elements which have the same configuration as the embodiment, the description thereof is omitted as appropriate given the same reference numerals.

1]ドライバIC46と接続される複数の接続端子50の配置は、少なくとも一部の接続端子50が複数の圧電素子41を取り囲むように配置されていればよく、特定の配置には限定されない。 1] arrangement of the plurality of connection terminals 50 which are connected to a driver IC46 may be arranged so that at least a portion of the connection terminal 50 surrounds the plurality of piezoelectric elements 41 is not limited to a particular arrangement.

例えば、図6、図7に示すように、ドライバIC46が、2つの圧電体40よりも搬送方向上流側に形成された第1接続部43bにおいてのみ、バンプ51bで共通電極43と接続されてもよい。 For example, FIG. 6, as shown in FIG. 7, the driver IC46 is, in the two first connecting portions 43b formed on the transport direction upstream side of the piezoelectric member 40 but also connected to the common electrode 43 in the bump 51b good. 即ち、2つの圧電体40の間の、圧力室24を隔てる隔壁部20aと対向する領域にはバンプ51が接合されない形態であってもよい。 That is, between the two piezoelectric body 40 may be in the form of bumps 51 is not joined to the area facing the partition wall 20a which separates the pressure chamber 24.

あるいは、逆に、図8に示すように、ドライバIC46が、2つの圧電体40の間の第2接続部43cにおいてのみバンプ51dで共通電極43と接続されてもよい。 Alternatively, conversely, as shown in FIG. 8, the driver IC46 is, only in the second connecting portion 43c between the two piezoelectric body 40 may be connected to the common electrode 43 in the bumps 51d. この場合、ドライバIC46の短辺46c側には、複数の入力端子47など、共通電極43の接続用以外の他の接続端子50を配置できる。 In this case, the short sides 46c side of the driver IC 46, such as a plurality of input terminals 47, can be arranged other connection terminals 50 other than the connection of the common electrode 43.

また、前記実施形態では、図2のように、ドライバIC46の長辺46a,46b側に複数の駆動用端子45が配置されていたが、駆動用端子45以外の接続端子の数が多い場合には、駆動用端子45がドライバIC46の短辺側に配置され、駆動用端子45以外の接続端子50がドライバIC46の長辺側に配置されてもよい。 In the above embodiment, as shown in FIG. 2, the long side 46a of the driver IC 46, the plurality of drive terminals 45 to 46b side were arranged, when the number of the connection terminals except drive terminal 45 is large is the drive terminals 45 are arranged on the short side of the driver IC 46, connection terminals 50 other than the drive terminals 45 may be disposed on the long sides of the driver IC 46.

2]前記実施形態では、ドライバIC46に設けられた複数のバンプ51は、全て、流路ユニット20側に形成された複数の接続端子50と電気的に接続されていたが、前記複数のバンプ51に、接続端子50が配置されていない領域に接合される、いわゆる、ダミーバンプが含まれていてもよい。 2] In the above embodiment, a plurality of bumps 51 provided on the driver IC46 all, had been connected to the plurality of connection terminals 50 electrically formed in the flow path unit 20 side, the plurality of bumps 51 the connecting terminal 50 is bonded to the region not arranged, so-called, it may include dummy bumps.

例えば、図9、図10に示すように、ドライバIC46に、複数の駆動バンプ51aの間に配置されたダミーバンプ51e(第2バンプ)が設けられてもよい。 For example, FIG. 9, as shown in FIG. 10, the driver IC 46, arranged dummy bumps 51e (second bump) may be provided between the plurality of driving bumps 51a. 図10に示すように、ダミーバンプは、振動板30を覆う絶縁膜44に直接接合されるものであり、駆動用端子45等の接続端子50とは電気的に接続されない。 As shown in FIG. 10, the dummy bump is intended to be bonded directly to the insulating film 44 covering the vibration plate 30 is not electrically connected to the connection terminal 50 such as a drive pin 45. また、駆動バンプ51aとダミーバンプ51eの間に封止材52が充填されている。 Further, the sealing material 52 is filled between the drive bumps 51a and dummy bumps 51e.

駆動用バンプ51a等の、接続端子50と接続されるバンプ51は、ドライバIC46と接続端子50とを接続して圧電素子41の駆動に寄与するものであり、それらのバンプ51の間隔は、圧電素子41の大きさや個数等の制約を受け、自由に設定できないこともあり得る。 Bumps 51 connected such as driving bumps 51a, and the connecting terminal 50, which contributes to driving of the piezoelectric element 41 connects the connection terminal 50 and the driver IC 46, the spacing of those bumps 51, piezoelectric constrained such size and number of elements 41, may not be able to freely set. しかし、バンプ51の間隔が大きいと、隣接するバンプ51の間に封止材52が保持されにくくなり、封止が困難となる。 However, if the interval of the bumps 51 is large, it becomes difficult sealing material 52 is held between the adjacent bumps 51, the sealing is difficult. この点、図9、図10の構成では、複数の駆動バンプ51aの間にダミーバンプ51eを配置して、バンプ51の間隔を狭めることができるため、隣接するバンプ51の間を封止材52で確実に封止することができる。 In this regard, FIG. 9, in the configuration of FIG. 10, by arranging the dummy bumps 51e between the plurality of driving bumps 51a, it is possible to reduce the distance of the bump 51, between the adjacent bumps 51 in the sealing material 52 it can be reliably sealed.

また、図9では、駆動バンプ51aとダミーバンプ51eとが一直線上に配置されているが、図11に示すように、駆動バンプ51aとダミーバンプ51eとが、走査方向に位置がずれて配置されて、これらのバンプ51が千鳥状に配列されていてもよい。 Further, in FIG. 9, although the driving bumps 51a and dummy bumps 51e are arranged in a straight line, as shown in FIG. 11, a driving bumps 51a and dummy bumps 51e is disposed position deviation in the scanning direction, these bumps 51 may be arranged in a staggered manner. この配置は、駆動バンプ51aの配列間隔が小さく、それらの間にダミーバンプ51eを配置するのが難しい場合に好適である。 This arrangement, arrangement interval of the drive bump 51a is small, is suitable when it is difficult to place the dummy bumps 51e therebetween. また、駆動バンプ51aとダミーバンプ51eが一直線上に配置されている形態(図9)と比べて、バンプ51の間に保持される封止材52の厚みを大きくすることができ、その分、封止機能が向上するという利点もある。 Furthermore, compared to Embodiment (FIG. 9) which drives the bump 51a and the dummy bumps 51e are positioned on a straight line, it is possible to increase the thickness of the sealing material 52 that is held between the bump 51, correspondingly, it sealed there is also an advantage that the stop function is improved.

また、前記実施形態(図2〜図4)では、振動板30の、2列の圧力室列の間を隔てる隔壁部20aと対向する領域に、共通電極43との導通用のバンプ(第2共通電極バンプ51d)が接合されていたが、前述したように、振動板30の反りを防止することのみを目的とするのであれば、このバンプは電極導通用のバンプである必要はなく、ダミーバンプであってもよい。 Further, the above embodiment (FIGS. 2-4), the vibration plate 30, the area facing the partition wall 20a which separates the two pressure chamber rows of bumps for electrical conduction between the common electrode 43 (second common but electrode bumps 51d) have been joined, as mentioned above, if only to prevent warping of the diaphragm 30 than the intended, the bumps need not be bump electrode conductive, the dummy bumps it may be.

3]前記実施形態では、図3に示すように、1つの圧電体40が複数の圧力室24に跨って配置されることによって、複数の圧力室24にそれぞれ対応する複数の圧電素子41が一体化された構成であった。 3] In the above embodiment, as shown in FIG. 3, by a single piezoelectric element 40 is disposed over the pressure chambers 24, a plurality of piezoelectric elements 41 respectively corresponding to the plurality of pressure chambers 24 is integrally It was of configurations. これに対して、図12に示すように、複数の圧電素子41が互いに分離され、複数の圧力室24の中央部にそれぞれ配置されてもよい。 In contrast, as shown in FIG. 12, is separated a plurality of piezoelectric elements 41 to each other, it may be disposed at the central portion of the plurality of pressure chambers 24.

4]前記実施形態の図2や図3から理解されるように、複数の圧電素子41がドライバIC46によって覆われるためには、ドライバIC46の大きさは複数の圧電素子41の配置領域よりも大きい平面積を有する必要がある。 4] As understood from FIGS. 2 and 3 of the embodiment, since a plurality of piezoelectric elements 41 are covered by the driver IC46, the size of the driver IC46 is greater than the arrangement region of the plurality of piezoelectric elements 41 there is a need to have a flat area. 逆に言えば、1つのヘッドが有する圧電素子41の最大数(即ち、ノズル16の最大数)は、ドライバIC46の大きさの制約を受ける。 Conversely, the maximum number of the piezoelectric elements 41 having one head (i.e., the maximum number of nozzles 16) is restricted in the size of the driver IC 46. しかし、このことは、本発明を適用することによって、多数のノズル16を有するインクジェットヘッドを実現することが困難になる、ということを意味するわけではない。 However, this is, by applying the present invention, is possible to realize an ink jet head having a plurality of nozzles 16 becomes difficult, it does not mean that. 即ち、図2、図3に示されるようなヘッドユニットを、複数組み合わせることによって、より多くのノズル16を有するインクジェットヘッドを簡単に実現することができる。 That is, FIG. 2, the head unit as shown in FIG. 3, by a plurality combined, it is possible to easily realize the ink jet head having more nozzles 16.

5]前記実施形態では、ドライバIC46に、このドライバIC46と複数の接続端子50とを接続する複数のバンプ51が設けられていたが、複数のバンプ51は、流路ユニット20側の複数の接続端子50に、上方(ドライバIC46側)へ突出するように形成されていてもよい。 5] In the above embodiment, the driver IC46, the plurality of bumps 51 for connecting the the driver IC46 and a plurality of connection terminals 50 are provided, a plurality of bumps 51, a plurality of connection of the channel unit 20 side the terminal 50 may be formed so as to protrude upward (the driver IC46 side).

以上説明した実施形態及びその変更形態は、液体噴射装置であるインクジェットヘッドに本発明を適用した一例であるが、本発明の圧電アクチュエータは、液体に圧力を付与する用途で使用されるものには限られない。 Above-described embodiment and the modified embodiments is an example of applying the present invention to the ink-jet head is a liquid ejecting apparatus, a piezoelectric actuator of the present invention, to those used in applications to impart a pressure to the liquid not limited. 基板上に複数の圧電素子が配置され、ドライバICによって複数の圧電素子をそれぞれ駆動して基板を変形させることによって、複数の固体の駆動対象物にそれぞれ変位や振動等を生じさせるといった、別の用途に使用するものであってもよい。 A plurality of piezoelectric elements are arranged on the substrate, by deforming the substrate by driving a plurality of piezoelectric elements, respectively, by the driver IC, such as causing each displacement or vibration to the driven object of the plurality of solids, of another or it may be used in applications.

4 インクジェットヘッド16 ノズル20 流路ユニット20a 隔壁部21 圧電アクチュエータ24 圧力室30 振動板40 圧電体41 圧電素子42 駆動電極43 共通電極43b 第1接続部43c 第2接続部45 駆動用端子46 ドライバIC 4 ink jet head 16 nozzles 20 channel unit 20a partition wall portion 21 piezoelectric actuator 24 pressure chamber 30 diaphragm 40 piezoelectric element 41 piezoelectric element 42 drive electrode 43 common electrode 43b first connecting portion 43c second connecting portion 45 drive terminal 46 Driver IC
47 入力端子50 接続端子51a 駆動バンプ51b 第1共通電極バンプ51c 入力バンプ51d 第1共通電極バンプ51e ダミーバンプ52 封止材 47 an input terminal 50 connected terminals 51a driving bumps 51b first common electrode bump 51c input bumps 51d first common electrode bumps 51e dummy bumps 52 sealant

Claims (6)

  1. 複数のノズル及び前記複数のノズルにそれぞれ連通する複数の圧力室を含む液体流路が形成された、流路構造体と、 Liquid flow path including a plurality of pressure chambers respectively communicating with the plurality of nozzles and the plurality of nozzles are formed, and the channel structure,
    前記流路構造体の一表面に、前記複数の圧力室とそれぞれ対向して配置された複数の圧電素子と、 On one surface of the flow channel structure, a plurality of piezoelectric elements disposed to face each with the plurality of pressure chambers,
    前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、 And a driver IC for driving the plurality of piezoelectric elements,
    前記流路構造体の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、 On the one surface of the flow path structure, a plurality of connection terminals including a plurality of drive terminals respectively connected to said plurality of piezoelectric elements are disposed in the peripheral region of said plurality of piezoelectric elements,
    前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、 The driver IC is disposed opposite to the one surface of the flow path structure so as to cover the plurality of piezoelectric elements,
    前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、 One of the flow channel structure and the driver IC, a plurality of bumps projecting into their other side is provided,
    前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記複数の第1バンプによって取り囲まれ、 A plurality of first bump included in the plurality of bumps, by said plurality of connection terminals arranged in a peripheral region of said plurality of piezoelectric elements and the driver IC are connected, the plurality of piezoelectric elements surrounded by the plurality of first bump,
    前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とする液体噴射装置。 A liquid ejecting apparatus characterized by insulating sealing material is filled between the plurality of first bump.
  2. 前記接続端子は、前記流路構造体の前記一表面の、前記圧力室と対向する領域よりも外側に配置されていることを特徴とする請求項1に記載の液体噴射装置。 The connection terminal, the channel of the one surface of the structure, a liquid ejecting apparatus according to claim 1, characterized in that it is arranged outside the area facing the pressure chamber.
  3. 前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧力室を隔てる隔壁部と対向する領域にも、前記バンプが接合されていることを特徴とする請求項2に記載の液体噴射装置。 Of the one surface of the flow path structure, in an area facing the partition wall separating the plurality of pressure chambers, the liquid ejecting apparatus according to claim 2, wherein the bump is bonded.
  4. 前記複数の圧力室は、前記流路構造体の前記一表面に沿った所定方向に配列され、 Wherein the plurality of pressure chambers are arranged in a predetermined direction along said one surface of the flow channel structure,
    前記ドライバICは、矩形の平面形状を有し、その長辺が前記所定方向に沿った状態で前記流路構造体の前記一表面と対向して配置され、 The driver IC has a rectangular planar shape, its long side is arranged opposite to the one surface of the flow path structure in a state along the predetermined direction,
    前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧電素子の周囲領域のうちの、前記ドライバICの長辺に沿う領域には、前記複数の前記駆動用端子が配置され、 Of the one surface of the flow path structure, of the peripheral region of the plurality of piezoelectric elements, in a region along the long side of the driver IC, the plurality of the drive terminals are arranged,
    前記流路構造体の前記一表面の、前記複数の圧電素子の周囲領域のうちの、前記ドライバICの短辺に沿う領域には、前記駆動用端子以外の前記接続端子が配置されていることを特徴とする請求項1〜3の何れかに記載の液体噴射装置。 Of the one surface of the flow path structure, of the peripheral region of the plurality of piezoelectric elements, the region along the short side of the driver IC, that said connecting terminals other than the drive terminals are arranged the liquid ejecting apparatus according to any one of claims 1 to 3, wherein the.
  5. 前記複数のバンプには、前記複数の第1バンプの間に配置された第2バンプがさらに含まれ、 The plurality of bumps, the second bump disposed between the plurality of first bump is further included,
    前記第2バンプは、前記流路構造体の前記一表面の、前記接続端子が配置されていない領域に接合され、 The second bump, of the one surface of the flow path structure, the connection terminal is joined to the region not arranged,
    前記第1バンプと前記第2バンプの間に、前記封止材が充填されていることを特徴とする請求項1〜4の何れかに記載の液体噴射装置。 Wherein between the first bump and the second bump, a liquid ejecting apparatus according to claim 1, wherein the sealing material is characterized in that it is filled.
  6. 基板の一表面に配置された複数の圧電素子と、 A plurality of piezoelectric elements disposed on one surface of the substrate,
    前記複数の圧電素子を駆動するドライバICと、を備え、 And a driver IC for driving the plurality of piezoelectric elements,
    前記基板の前記一表面には、前記複数の圧電素子にそれぞれ接続された複数の駆動用端子を含む複数の接続端子が、前記複数の圧電素子の周囲領域に配置され、 On the one surface of said substrate, a plurality of connection terminals including a plurality of drive terminals respectively connected to said plurality of piezoelectric elements are disposed in the peripheral region of said plurality of piezoelectric elements,
    前記ドライバICは、前記複数の圧電素子を覆うように前記基板の前記一表面と対向して配置され、 The driver IC is disposed to face the one surface of the substrate to cover the plurality of piezoelectric elements,
    前記ドライバICと前記流路構造体の一方に、それらの他方側へ突出する複数のバンプが設けられ、 One of the flow channel structure and the driver IC, a plurality of bumps projecting into their other side is provided,
    前記複数のバンプに含まれる複数の第1バンプによって、前記ドライバICと前記複数の圧電素子の前記周囲領域に配置された前記複数の接続端子とが接続されることで、前記複数の圧電素子が前記ドライバICと前記複数の第1バンプによって囲まれ、 A plurality of first bump included in the plurality of bumps, by said plurality of connection terminals arranged in a peripheral region of said plurality of piezoelectric elements and the driver IC are connected, the plurality of piezoelectric elements It said surrounded by the driver IC and the plurality of first bump,
    前記複数の第1バンプの間に絶縁性の封止材が充填されていることを特徴とする圧電アクチュエータ。 The piezoelectric actuator, characterized in that the insulating sealing material is filled between the plurality of first bump.
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