JP2014036501A - リニアモータ装置 - Google Patents

Abstract

【課題】可動子の衝突を回避し、省スペース化に資すると共に、加工能率の低下を抑えることができるリニアモータ装置を提供する。
【解決手段】リニアモータは、長尺の固定子４４１及び一又は複数の可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃを有している。各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃには、キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが固定されている。リニアモータ装置は、基台４１に複数の固定子４４１を並置してなるリニアモータを複数備え、移動方向と略直交する方向におけるキャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの長さは、隣り合う固定子４４１の全幅に跨る長さ以上であり、一のキャリッジ４２ｂを固定してある一の可動子４４２ｂと、一のキャリッジ４２ｂに隣り合う他のキャリッジ４２ａ、４２ｃを固定してある他の可動子４４２ａ、４４２ｃとは、互いに異なる固定子により相互に推力を発生するようにしてある。
【選択図】図５

Description

本発明は、複数のキャリッジを備えたリニアモータ装置に関する。

複数のキャリッジを備えたリニアモータ装置がある（例えば、特許文献１（段落００２１〜００２３及び図２）、特許文献２（段落００１３、図１及び段落００２０〜００２２及び図２、図３）参照）。当該リニアモータ装置では、１つの長尺の固定子に複数の可動子が配置され、各可動子に加工装置を取り付けるキャリッジが１つずつ固定されている。通常、可動子のサイズはキャリッジのサイズより小さい。

特開２００７−７４８３２号公報 特開２００４−３３６９６３号公報

しかしながら、大重量の加工装置をキャリッジに取り付ける場合又は加工装置を高速で移動させる場合、大きな推力を発生するリニアモータがリニアモータ装置に用いられる。推力が大きいリニアモータは、可動子のサイズをその移動方向に大きくする必要があり、可動子がキャリッジから突出する場合がある。

ところで、キャリッジに載置された加工装置により被加工物を加工する際、隣り合うキャリッジはできるだけ近くまで接近した方が加工能率は向上する。特に隣り合うキャリッジに取り付けられた加工装置を交互に使用する場合は、夫々のキャリッジの移動距離を短くすることができる。しかし、隣り合うキャリッジがお互いに接近した場合に接触あるいは衝突すると、キャリッジや加工装置が破損し、その後の位置決め精度が低下する虞がある。よって、複数のキャリッジをリニアモータに搭載する場合、隣り合うキャリッジが稼働中に接触あるいは衝突しないように制御できる最も小さなキャリッジ同士の間隔（最低距離）を定めている。しかし、可動子がキャリッジから突出し、その突出部が最低距離を超えている場合、可動子同士が衝突する可能性がある。一方、可動子同士の衝突を回避するために、隣り合うキャリッジを最低距離まで接近させない場合、キャリッジの移動距離が長くなり、加工装置を用いた作業の能率が低下したり、支障をきたしたりすることがある。

移動方向におけるキャリッジの長さを長くし、可動子がキャリッジから突出しないようにすることは一案であるが、かかる場合、リニアモータ装置の大型化及びコストアップを招来せしめ、ひいてはリニアモータ装置が設置される工場の省スペース化に反する。
また、上述の場合、加工装置の大きさに比して必要以上にキャリッジの移動方向における大きさが大きくなるのみであり、キャリッジの移動距離を短くできず加工能率が低下する。

本願はかかる事情に鑑みてなされたものである。その目的は可動子の衝突を回避し、省スペース化に資すると共に、加工能率の低下を抑えることができるリニアモータ装置を提供することにある。

本願に係るリニアモータ装置は、基台に固定された長尺の固定子及び該固定子の長手方向へ移動可能な一又は複数の可動子を有するリニアモータを備え、該一又は複数の可動子夫々にキャリッジが固定されているリニアモータ装置において、前記基台に複数の前記固定子を並置してなる前記リニアモータを複数備え、移動方向と略直交する方向における前記キャリッジの長さは、隣り合う固定子の全幅に跨る長さ以上であり、一のキャリッジを固定してある一の可動子と、該一のキャリッジに隣り合う他のキャリッジを固定してある他の可動子とは、互いに異なる固定子により相互に推力を発生するようにしてあることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、複数のリニアモータを備えている。各リニアモータは、長尺の固定子と一又は複数の可動子とを有する。各可動子には、キャリッジが固定されている。複数の固定子は、基台に並置されている。移動方向と略直交する方向におけるキャリッジの長さは、隣り合う固定子の全幅に跨る長さ以上である。一のキャリッジを固定してある一の可動子と、一のキャリッジに隣り合う他のキャリッジを固定してある他の可動子とは、互いに異なる固定子により相互に推力を生成する。
これにより、可動子がキャリッジから移動方向に突出している場合、キャリッジから突出した可動子の部分長より短い許容限界距離まで隣り合うキャリッジ同士を接近させても、可動子同士が衝突することを回避することができる。可動子の衝突を避けるためにキャリッジの大きさを増大させる必要がないので、リニアモータ装置は大型化を抑えることができる。ひいては、リニアモータ装置は省スペース化に資する。更に、リニアモータ装置は加工能率の低下を抑制することができる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記固定子は前記基台の同一平面上に固定されていることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、複数の固定子は基台の同一平面上に固定されている。
これにより、キャリッジに取り付けられる装置を基台の同一平面上で移動することができる。

本願に係るリニアモータ装置は、移動方向と略直交する方向における前記キャリッジの長さは、全ての固定子の全幅に跨る長さ以上であることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、移動方向と略直交する方向におけるキャリッジの長さは、全ての固定子の全幅に跨る長さ以上である。
これにより、移動方向と略直交する方向におけるキャリッジの長さを長くすることにより、並置された複数の固定子に対応するより多くの可動子から、キャリッジを移動させる可動子を選択する自由度が高まる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記固定子は積層状態で前記基台上に固定されていることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、固定子は積層状態で基台に固定されている。
これにより、複数の固定子を固定するスペースが基台にない場合でも、リニアモータ装置は複数の固定子を搭載することができる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記基台は交差する二平面を有し、前記固定子は、前記二平面上夫々に、該二平面の稜線の長さ方向と平行的に固定されていることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、基台は交差する二平面を有している。固定子は、二平面夫々の上に、二平面が交差して形成される稜線の長さ方向と略平行に固定されている。
これにより、固定子を固定する基台の面を二平面に増大させることができ、リニアモータ装置のバリエーションを広げることができる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記キャリッジは前記二平面の交差角度で屈曲した板状をなし、かつ屈曲部が該二平面の稜線に対向し、移動方向と略直交する方向における前記二平面に沿った前記キャリッジの長さは、前記稜線を介して隣り合う固定子の該二平面に沿った全幅に跨る長さ以上であることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、キャリッジは交差する基台の二平面がなす角度で屈曲した板状をなしている。キャリッジは、屈曲部が二平面夫々の稜線に対向するように配置されている。移動方向と略直交する方向において二平面に沿ったキャリッジの長さは、二平面の稜線を介して隣り合う固定子の二平面に沿った全幅に跨る長さ以上である。
これにより、装置をキャリッジに取り付ける面の選択枝を二平面に増大させることができる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記二平面は略直交しており、前記固定子は前記二平面上夫々に固定されており、前記キャリッジの移動方向の断面形状はＬ字状をなすことを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、固定子は略直交する二平面夫々の上に固定されている。キャリッジの移動方向における断面形状はＬ字状である。
これにより、基台の形状を例えば成形しやすい正四角柱状にすることができ、リニアモータ装置の組み立て容易性を向上させることができる。

本願に係るリニアモータ装置は、基台に固定された長尺の固定子及び該固定子の長手方向へ移動する一又は複数の可動子を有するリニアモータを備え、該一又は複数の可動子夫々にキャリッジが固定されているリニアモータ装置において、前記基台に複数の前記固定子を積層状態で固定してなる前記リニアモータを複数備え、移動方向と略直交する方向における前記キャリッジの長さは、一の固定子の幅以上であり、一のキャリッジを固定してある一の可動子と、該一のキャリッジに隣り合う他のキャリッジを固定してある他の可動子とは、互いに異なる固定子により相互に推力を発生するようにしてあることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、複数のリニアモータを備えている。各リニアモータは、長尺の固定子と一又は複数の可動子とを有する。各可動子には、キャリッジが固定されている。複数の固定子は、基台に積層状態で固定されている。移動方向と略直交する方向におけるキャリッジの長さは、一の固定子の幅以上である。一のキャリッジを固定してある一の可動子と、一のキャリッジに隣り合う他のキャリッジを固定してある他の可動子とは、互いに異なる固定子により相互に推力を生成する。
これにより、可動子がキャリッジから移動方向に突出している場合、キャリッジから突出した可動子の部分長より短い許容限界距離まで隣り合うキャリッジを接近させても、可動子同士が衝突することを回避することができる。また、固定子が積層されて基台に固定されているので、リニアモータ装置は基台の面積を有効活用することができる。更に、キャリッジの大きさを一の固定子の幅まで小さくすることができるので、リニアモータ装置のダウンサイジングに資する。ひいては、リニアモータ装置は省スペース化に資する。更に、リニアモータ装置は加工能率の低下を抑制することができる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記キャリッジは前記固定子の積層体から積層方向に隔離配置され、かつ対応する前記可動子に連結される積層方向に伸びた連結部を有することを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、キャリッジは固定子の積層体から積層方向へ離れた位置に配置され、対応する可動子と積層方向に伸びた連結部で連結されている。
これにより、連結部の長さを積層体の厚さに応じて設定することで、キャリッジを積層体の積層方向に配置することができる。

本願に係るリニアモータ装置は、前記固定子を二個備え、二個の前記固定子に係る可動子は千鳥状に配置されていることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、固定子を二個備えている。二個の固定子と夫々相互に推力を発生する可動子は、二個の固定子の長手方向に対して千鳥状に配置されている。
これにより、リニアモータ装置は、２個のリニアモータだけで可動子同士の接触を回避することができる。

本願に係るリニアモータ装置は、複数の前記固定子夫々と、該複数の前記固定子夫々に対応する可動子とは、各々異なる大きさの推力を発生するようにしてあることを特徴とする。

本願に係るリニアモータ装置では、複数の固定子夫々と、これらの固定子に夫々対応する可動子とが発生する推力の大きさは各々異なる。
これにより、リニアモータ装置は、装置を搬送するキャリッジの搬送能力に幅を持たせることができる。

本願に係るリニアモータ装置によれば、可動子の衝突を回避し、省スペース化に資すると共に、加工能率の低下を抑えることができる。

可動ガントリーステージの概要を示す斜視図である。 簡略化したガントリーを示す斜視図である。 簡略化したガントリーを示す分解斜視図である。 簡略化したガントリーをＹ軸方向に切断した断面図である。 簡略化したガントリーを示す正面図である。 簡略化したガントリーをＹ軸方向に切断した断面図である。 簡略化したガントリーをＹ軸方向に切断した断面図である。

以下、実施の形態をその図面を参照して具体的に説明する。
本願に係るリニアモータ装置は、例えばＸＹステージ、ＸＹθステージ、固定ガントリーステージ、可動ガントリーステージ、エアーフロートＸＹステージ等のリニアステージである。以下では、本願に係るリニアモータ装置として、可動ガントリーステージを例に挙げて説明する。可動ガントリーステージは、レーザスクライブ装置、露光装置、製造装置、検査装置等の各種装置をキャリッジに取り付け、取り付けた各種装置を搬送する。ただし、以下では、これらの被搬送物である各種装置は省略する。

実施の形態１
図１は、可動ガントリーステージ１の概要を示す斜視図である。
可動ガントリーステージ１は、Ｙ軸リニアステージ２及びＸ軸リニアステージ３を含む。Ｙ軸リニアステージ２は、Ｘ軸リニアステージ３をＹ軸方向に移動するリニアステージである。Ｘ軸リニアステージ３は、ガントリー構造をなし、Ｙ軸と略直交するＸ軸方向に各種装置を搬送するリニアステージである。
以下、図１におけるＹ軸方向のうち、手前側を前側又は正面側、奥行き側を後側又は背面側と呼ぶ。

Ｙ軸リニアステージ２は、定盤２１、複数のＹ軸脚部２２、２つのＹ軸固定ベース（基台）２３、２つのＹ軸リニアモータ２４及び２つのＹ軸キャリッジ２５を含む。
定盤２１は、正面視略矩形の板状をなし、石材、アルミニウム、鉄、セラミック等又はこれらのハイブリッド材料からなる。定盤２１は、その上に載置されるＹ軸リニアステージ２の構成部及びＸ軸リニアステージ３を支える略水平面を提供する。

複数のＹ軸脚部２２は、夫々同じ長さの四角柱状をなし、その上のＹ軸固定ベース２３等を支える支柱である。各Ｙ軸脚部２２は、定盤２１の上面における２つの長辺夫々に沿った端部に所定等間隔で配置されている。
２つのＹ軸固定ベース２３は、夫々四角柱状をなす。２つのＹ軸固定ベース２３は、夫々Ｙ軸に対して略平行に配列されたＹ軸脚部２２の列の上に、横倒しの状態で架設されている。２つのＹ軸固定ベース２における各上面は略水平にされている。
２つのＹ軸リニアモータ２４は、夫々固定子及び可動子を含む。各固定子は、Ｙ軸と略平行な長尺状をなし、夫々２つのＹ軸固定ベース２３の上面に配置されている。

２つのＹ軸キャリッジ２５は、夫々例えばアルミニウム合金からなり、略矩形の平板状をなす。各Ｙ軸キャリッジ２５の下面には、Ｙ軸リニアモータ２４の可動子（図示せず）が取り付けられている。２つのＹ軸キャリッジ２５は、互いに共同して上面に載置されるＸ軸リニアステージ３をＹ軸方向に移動するテーブルである。

Ｘ軸リニアステージ３は、２つのＸ軸脚部３１及びガントリー４を含む。
２つのＸ軸脚部３１は、夫々同じ長さの四角柱状をなし、その上のガントリー４を支える短柱状の支柱である。各Ｘ軸脚部３１は、２つのＹ軸キャリッジ２５の上面に載置されている。ガントリー４は、Ｘ軸リニアステージ３の本体である。

図２は、簡略化したガントリー４を示す斜視図である。図３は、簡略化したガントリー４を示す分解斜視図である。
ガントリー４は、Ｘ軸固定ベース（基台）４１、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ、２本のリニアガイド４３、２つのＸ軸リニアモータ４４の固定子４４１及び３つの可動子４４２を含む。
なお、図２及び図３では、１つの固定子４４１に２つの可動子４４２を載置したものと、１つの固定子４４１に１つの可動子４４２を載置したものとを描いている。このため、Ｘ軸リニアモータ４４は、後述する固定子４４１を指示している。そこで、Ｘ軸リニアモータ４４の符号を４４（４４１）としてある。

Ｘ軸固定ベース４１は、四角柱状をなし、その断面形状は略矩形である。Ｘ軸固定ベース４１は、その下面における両端部が夫々２つのＸ軸脚部３１の上面に接合されている。Ｘ軸固定ベース４１は、２つのＸ軸脚部３１の間をＸ軸方向に架け渡すように横倒しの状態に形成されている。Ｘ軸固定ベース４１における上下前後の各面は夫々略水平及び略鉛直に構成されている。
なお、Ｘ軸固定ベース４１は、横倒しの四角筒状でもよい。

Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、例えばアルミニウム合金からなり、略矩形の平板状をなす。Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、可動ガントリーステージ１が搬送する各種装置が取り付けられる取付台に該当し、Ｘ軸固定ベース４１の正面に取り付けられている。
リニアガイド４３は、例えばアルミニウムからなり、Ｘ軸方向に延在する長尺状のレール部材である。２本のリニアガイド４３は、夫々Ｘ軸固定ベース４１における正面の上部及び下部に略平行に敷設されている。

図４は、簡略化したガントリー４をＹ軸方向に切断した断面図である。
Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが固定されるＸ軸固定ベース４１の正面は、Ｘ軸方向に沿った凹形状をなしている。そのため、Ｘ軸固定ベース４１の中央は後側に窪み、Ｘ軸固定ベース４１の上下端部は前側に突出している。２本のリニアガイド４３は、夫々Ｘ軸固定ベース４１の上下端部に略平行かつ略水平に敷設されている。

Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの上下方向における幅は、２本のリニアガイド４３の間隔よりも広い。２本のリニアガイド４３と対向するＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの裏面には、夫々１つずつスライダ４２１がＸ軸方向に延設されている。２本のスライダ４２１の裏面側には、夫々リニアガイド４３が嵌挿可能な溝が設けられている。２本のスライダ４２１の溝にリニアガイド４３が嵌挿することにより、リニアガイド４３は、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃによるＸ軸方向の移動（例えば、摺動）を案内するように構成されている。

図４におけるスライダ４２１の溝は、蟻溝である。なお、図４におけるスライダ４２１の溝は、Ｌ字溝でもよい。Ｘ軸キャリッジ４２がＸ軸固定ベース４１の上面を移動する場合、スライダ４２１の溝は、Ｖ字溝（三角溝）、Ｕ字溝、凹字溝等でもよく、特定の形状に限定されない。リニアガイド４３は、これらの溝に嵌挿可能なほぞである。

図２、図３及び図４において、２本のリニアガイド４３がＸ軸固定ベース４１に敷設されているが、リニアガイド４３の本数は２本に限らず、１本又は３本以上でもよい。例えば、リニアガイド４３は、Ｘ軸固定ベース４１における正面の上部に１本だけ敷設されてもよい。リニアガイド４３は、Ｘ軸固定ベース４１における正面の上部、中部及び下部に１本ずつ、合計３本敷設されてもよい。あるいは、リニアガイド４３は、Ｘ軸固定ベース４１における正面の上部及び下部に２本ずつ、合計４本敷設されてもよい。Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの裏面には、リニアガイド４３の本数に応じた数のスライダ４２１を設ければよい。

Ｘ軸リニアモータ４４は、固定子４４１及び可動子４４２を含む。なお、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを夫々固定してある可動子４４２を区別する場合、可動子４４２各々に異なる符号４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃを付して、以下では可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃと表記する（図３参照）。すなわち、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに夫々対応する可動子４４２の各符号を、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの符号に含まれるアルファベットと同じアルファベットを付加して示す。また、可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃのより細部の部分の各符号についても、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの符号に含まれるアルファベットと同じアルファベットを付加して示す。

図４では、Ｘ軸上で直列に配列した３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが重なり合う方向から描かれている。そのため、図４では、最も紙面手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃのみが描かれており、他の２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂは最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃにより隠れている。また、図４では、最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃを固定してある可動子４４２ｃと、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂを固定してある可動部４４２ｂとが描かれている。最も奥側に位置する可動子４４２ａは、最も手前側に位置する可動子４４２ｃにより隠れている。図４では、最も紙面手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃ及び可動子４４２ｃに斜線を付した。中央に位置する可動子４４２ｂは、白抜きにして、最も手前側に位置する可動子４４２ｃと区別可能な態様で図示してある。

２本の固定子４４１は、夫々Ｘ軸方向に延びた長尺状をなし、Ｘ軸固定ベース４１における正面の窪み面に並置されている（図４参照）。すなわち、２本の固定子４４１は、窪み面に並列状態で固着されている。２本の固定子４４１は、２本のリニアガイド４３に挟まれるように配置している。

Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの上下方向における幅は、少なくとも上下方向に隣り合う固定子４４１の全幅に跨る長さ以上である。すなわち、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの上下方向における幅は、上下方向に隣り合う２本の固定子４４１の幅と、２本の固定子４４１の間隔とを合わせたものより大きくなっている。

２本のリニアガイド４３における前側の先端面及び２本の固定子４４１における前側の先端面は、略同一面上に位置し、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの裏面と固定子４４１との間には、隙間が形成されている。

固定子４４１は、ヨーク４４１１及び永久磁石４４１２を含む。ヨーク４４１１は、鉄鋼材料（例えば、ＳＳ材）等の軟強磁性材料からなり、Ｘ軸方向に伸びた長尺状をなす。ヨーク４４１１の断面形状は、下向きに開いた略コの字状をなす。永久磁石４４１２は、ヨーク４４１１において対向する内側の前後２面に、夫々異極性の磁極が向き合うように、かつＮ極とＳ極とがＸ軸方向に沿って交互に並ぶように列設されている。異極性の永久磁石４４１２の列により挟まれた空間は、磁気空隙を形成している。

可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、Ｘ軸方向に沿って配列する複数の扁平コイル（図示せず）を含み、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの背面に夫々取り付けられている。可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、夫々突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃ及び屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃを含む。突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃは、夫々Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから背面側に突出する可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの部分である。屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃは、夫々突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃの先端から上向きに屈曲した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの部分である。

Ｙ軸方向に切断された可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの断面形状はＬ字状をなす。上向きに屈曲した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃは、固定子４４１において下向きに開いた開口から磁気空隙内に遊嵌される。
各扁平コイルは、屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃに配置してある。各扁平コイルは、通電がなされた場合、磁気空隙内のＸ軸方向に沿って可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃに作用する推力が発生するように結線されている。可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの移動範囲は、Ｘ軸方向における固定子４４１の長さと略同一である。
なお、本明細書では、Ｘ軸リニアモータ４４は可動コイル型を記載したが、可動磁石型であってもよい。

図５は、簡略化したガントリー４を示す正面図である。
可動子４４２の大きさは、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに取り付けられる各種装置の重量と、該各種装置を使用する場合に必要とされる移動速度に応じて異なる。各種装置の重量がより大きいほど、あるいは各種装置の移動速度をより速く設定するほど、より大きな推力を発生させるＸ軸リニアモータ４４が必要とされ、移動方向における可動子４４２の長さはより長くなる。場合によっては、Ｘ軸方向における可動子４４２の長さは、Ｘ軸方向におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの幅よりも長くなる。

図５の可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、Ｘ軸方向におけるその長さがＸ軸方向におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの幅よりも長い一例を示している。

３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂの裏面には、可動子４４２ｂが上側に取り付けられている。そして、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂの可動子４４２ｂの屈曲部４４２２ｂは、並置された２本の固定子４４１のうち、上側の固定子４４１の磁気空隙に遊嵌されている（図４参照）。
３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃの各裏面には、可動子４４２ａ、４４２ｃが下側に夫々取り付けられている。そして、両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃの可動子４４２ａ、４４２ｃの各屈曲部４４２２ａ、４４２２ｃは、並置された２本の固定子４４１のうち、下側の固定子４４１の磁気空隙に夫々遊嵌されている（図４参照）。

換言した場合、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに夫々１つずつ取り付けられた各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、上下方向に並置された２本の固定子４４１に対して、千鳥状に配置されている。すなわち、各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、２本の固定子４４１に対して移動方向に向かって互い違いに配置されている。隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ同士が一定距離を越えて接近した場合、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから夫々突出した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの一部は、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの裏側に位置するＸ軸固定ベース４１の窪み及び固定子４４１の磁気空隙に収納される。
その際、各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃが夫々Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出している部分の長さ（例えば、図５におけるＬ）は、移動方向におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの長さ（幅）の２分の１未満とする。

次に、可動ガントリーステージ１の動作について説明する。
３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ各々に、１台ずつ例えばレーザ装置を取り付ける。各レーザ装置は、定盤２１上に載置された被加工物に対して加工処理を施す。被加工物における加工工程の進行に伴い、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは移動される。

移動するＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが衝突しないように、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃには接近可能な許容限界距離である最低距離が定められている。しかし、各Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに取り付けられた可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃがＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃからＸ軸方向、すなわち移動方向に突出している長さは、当該最低距離よりも長い。そのため、仮に複数のＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに１つずつ取り付けられた各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃが仮に１本の固定子４４１との磁気的相互作用により推力を発生させる場合、隣り合うキャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃ同士は、接近距離が最低距離より長い場合であっても衝突する可能性がある。
つまり、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃをＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ同士の最低距離まで近づけることはできない。

しかし、本発明によれば、可動ガントリーステージ１におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、上下方向に並置された固定子４４１に対して千鳥に配置されている。Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから夫々突出した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの部分は、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの裏側におけるＸ軸固定ベース４１の窪み及び固定子４４１の磁気空隙に収納される。そのため、可動ガントリーステージ１のガントリー４においては、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近させても、各Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに取り付けられた可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃ同士は衝突しない。すなわち、隣り合う２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近させてレーザ装置を駆動させたい場合、可動ガントリーステージ１は２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近させることができる。

本実施の形態では、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの数は、３つであった。しかし、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の数は、２つ又は４つ以上でもよい。
Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の数が２つである場合、１つのＸ軸キャリッジ４２ａに取り付ける可動子４４２ａは１本の固定子４４１との相互作用により推力を発生させ、もう１つのＸ軸キャリッジ４２ｂに取り付ける可動子４４２ｂは他のもう１本の固定子４４１との相互作用により推力を発生させればよい。そのためには、２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂに対して、可動子４４２ａ、４４２ｂの移動方向と略直交する方向に２本の固定子４４１の間隔だけずらして、可動子４４２ａ、４４２ｂを取り付ければよい。
換言すると、２つの可動子４４２ａ、４４２ｂがお互いに干渉しないように、夫々の可動子４４２ａ、４４２ｂを載置する固定子４４１同士を可動子４４２ａ、４４２ｂの移動方向と略直交する方向に離して、Ｘ軸固定ベース４１に取り付ければよい。

Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の数が４つ以上である場合、並置されるＸ軸リニアモータ４４の固定子４４１の数が２つであるとき、移動方向に対してＸ軸キャリッジ４２ａ等に可動子４４２ａ等を千鳥状に配置すればよい。
Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の数が４つ以上である場合、並置されるＸ軸リニアモータ４４の固定子４４１の数が３つ以上であるとき、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等に可動子４４２ａ等を、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ｂ等に取り付けられた可動子４４２ｂ等が作用し合う固定子４４１と異なる固定子４４１に対応する位置に取り付ければよい。

２つのＸ軸リニアモータ４４の推力は、同じでもよいし、異なっていてもよい。２つのＸ軸リニアモータ４４の推力が異なる場合、必要以上の推力を有するＸ軸リニアモータ４４を作る必要がなく、コストダウンとなる。可動ガントリーステージ１が３つ以上のＸ軸リニアモータ４４を備える場合も、各Ｘ軸リニアモータ４４の推力は同じでもよいし、異なっていてもよい。
また、１つの固定子４４１に２つの可動子４４２を載置する場合、固定子４４１との間の磁気的相互作用により発生させる推力の大きさに差があってもよい。換言すると、２つの可動子４４２における移動方向に沿った長さは異なっていてもよい。

可動ガントリーステージ１によれば、省スペース化に資することができる。
複数の加工装置を夫々複数のキャリッジに取り付けて加工処理をする場合、キャリッジから突出した可動子が隣り合うキャリッジの可動子と干渉しないようにするとき、最低距離までキャリッジを接近させることができない。可動子がキャリッジから突出しないように、キャリッジのサイズを大きくすることは、省スペース化及びコストダウンに反する。
一方、複数の固定子４４１を並置し、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃを移動方向と略直交する方向に対して異なる位置に取り付けることにより、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近させることができる。
よって、可動ガントリーステージ１は、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの移動距離を短くすることができ、加工能率の低下を抑制することができる。

実施の形態２
実施の形態２は、２本の固定子４４１を積層した状態でＸ軸固定ベース４１の正面に固定する形態に関する。
実施の形態２に係るガントリー４においても、実施の形態１と同様に３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが、正面から見て左から右へＸ軸方向に直列に配列している。各Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、Ｘ軸固定ベース４１に敷設された２本のリニアガイド４３に案内されてＸ軸方向に移動するように構成されている。

図６は、簡略化したガントリー４をＹ軸方向に切断した断面図である。
Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが取り付けられるＸ軸固定ベース４１の正面側は、Ｘ軸方向に沿った凹形状をなしている。そのため、Ｘ軸固定ベース４１の中央は後側に窪み、Ｘ軸固定ベース４１の上下端部は前側に突出している。２本のリニアガイド４３は、夫々Ｘ軸固定ベース４１の上下端部に略平行かつ略水平に敷設されている。図６におけるＸ軸固定ベース４１の窪みの深さは、図４におけるＸ軸固定ベース４１の窪みの深さよりも深い。

２本のＸ軸リニアモータ４４が夫々有する固定子４４１は、その断面形状が略コの字状をなし、いずれの固定子４４１も開口が下向きになる姿勢で前後方向（Ｙ軸方向）に積層されている。積層状態の固定子４４１は、Ｘ軸固定ベース４１における窪みの底面に固着されている。
２本のリニアガイド４３における前側の先端面及びより前側に位置する固定子４４１における前側の先端面は、略同一面上に位置する。

Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、夫々正面方向から見て略矩形の板状をなし、固定子４４１からなる積層体の前側に位置する。
図６では、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが重なり合う方向から描かれている。そのため、図６では、最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃのみが斜線を付して描かれており、他の２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂは最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃにより隠れている。
図６では、最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃに配置された可動子４４２ｃが斜線を付して描かれている。最も奥側に位置するＸ軸キャリッジ４２ａに配置された可動子４４２ａは、最も手前側に位置する可動子４４２ｃにより隠れている。中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂに配置された可動子４４２ｂは、白抜きにして、最も手前側に位置する可動子４４２ｃと区別可能な態様で図示してある。

Ｘ軸方向に配列した３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂには、可動子４４２ｂの突出部４４２１ｂ（連結部）がＸ軸キャリッジ４２ｂ裏面の中央から下寄りの位置に取り付けられている。中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂの可動子４４２ｂの屈曲部４４２２ｂは、前後に積層している２本の固定子４４１のうち、後側の固定子４４１の磁気空隙に遊嵌されている。図６において、突出部４４２１ｂの一部（Ｘ軸キャリッジ４２ｂに近い部分）は、突出部４４２１ｃに隠れている。

３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃには、可動子４４２ａ、４４２ｃの突出部４４２１ａ、４４２１ｃが中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂの突出部４４２１ｂと紙面でＸ軸キャリッジ４２ｂの高さ方向における同じ位置に夫々取り付けられている。ただし、両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃに取り付けられている突出部４４２１ａ、４４２１ｃの長さは、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂに取り付けられている突出部４４２１ｂの長さより前後方向における固定子４４１の幅だけ短い。両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃの可動子４４２ａ、４４２ｃの各屈曲部４４２２ａ、４４２２ｃは、前後に積層している２本の固定子４４１のうち、前側の固定子４４１の磁気空隙に夫々遊嵌されている。

換言した場合、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに夫々取り付けられた各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃは、前後に積層した２本の固定子４４１に対して、前後方向に千鳥状に配置されている。すなわち、各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃは、２本の固定子４４１に対して互い違いに配置されている。隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ等同士が一定距離を越えて接近した場合、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等から突出した可動子４４２ａ等の屈曲部４４２２ａ等は、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ｂ等の可動子４４２ｂ等の屈曲部４４２２ｂ等に対応する固定子４４１とは異なる固定子４４１の磁気空隙に遊嵌される。

実施の形態２におけるガントリー４においても、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近した場合、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの部分が干渉し合うことはない。
なお、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近した場合、可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃが干渉しないように、移動方向における突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃの長さは、移動方向におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの長さ以下の長さにしてある。
その際、可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃがＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出している部分の長さは、移動方向におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの長さ（幅）の２分の１未満とする。

他方、移動方向において少なくとも屈曲部４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃは、夫々Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出している。

あるいは、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂにおいては、突出部４４２１ｂが両端に位置する突出部４４２１ａ、４４２１ｃよりもより下寄りの位置に取り付けられてもよい。これにより、可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃがＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから移動方向へ突出している場合であっても、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃにおける可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの突出部４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃ同士が干渉し合うことはない。

なお、実施の形態２においても、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の数は２つ又は４つ以上でもよく、Ｘ軸リニアモータ４４又は固定子４４１の本数が３本以上であってもよいことは勿論である。

図６において、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、積層した固定子４４１の下側に配置されてもよい。図６において、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃにその裏側から積層した固定子４４１の下側に延びるリブ（連結部）を設け、当該リブに可動子４４２ａ等の突出部４４２１ａ等を連結固定してもよい。
特に実施の形態２においては、２つの固定子４４１を積層したが、必要な数のＸ軸キャリッジ４２ａ等に対応して更に固定子４４１を多層にする場合、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等から固定子４４１までの距離が長くなる。その際、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の裏面にリブ（連結部）を設け、当該リブに可動子４４２ａ等（突出部４４２１ａ等）を連結すればよい。

実施の形態２は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明、作用及び効果を省略する。

実施の形態３
実施の形態３は、２本の固定子４４１を夫々Ｘ軸固定ベース４１の正面及び上面に１本ずつ配置し、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の形状をＸ軸固定ベース４１の正面及び上面を覆い、Ｘ方向断面視にてＬ字形状にする形態に関する。
実施の形態３に係るガントリー４においても、例えば３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが、正面から見て左から右へＸ軸方向に直列に配列している。各Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、Ｘ軸固定ベース４１に敷設された３本のリニアガイド４３に案内されてＸ軸方向に移動するように構成されている。

図７は、簡略化したガントリー４をＹ軸方向に切断した断面図である。
Ｘ軸固定ベース４１の正面は、Ｘ軸方向に沿った凹形状をなしている。そのため、Ｘ軸固定ベース４１正面の中央は後側に窪み、Ｘ軸固定ベース４１正面の上下端部は前側に突出している。２本のリニアガイド４３が、夫々Ｘ軸固定ベース４１正面の上下端部に略平行かつ略水平に敷設されている。
１本の固定子４４１がＸ軸固定ベース４１における正面の窪みの底面中央に固着されている。固定子４４１は、その断面形状が略コの字状をなし、開口が下向きになる姿勢で配置されている。
２本のリニアガイド４３における前側の先端面及び固定子４４１における前側の先端面は、略同一面上に位置する。

Ｘ軸固定ベース４１の上面は、Ｘ軸方向に沿った凹形状をなしている。そのため、Ｘ軸固定ベース４１上面の中央は下側に窪み、Ｘ軸固定ベース４１上面の前後端部は上側に突出している。１本のリニアガイド４３が、Ｘ軸固定ベース４１上面の後端部に略水平に敷設されている。
１本の固定子４４１がＸ軸固定ベース４１上面における窪みの底面中央に固着されている。固定子４４１は、その断面形状が略コの字状をなし、開口が前向きになる姿勢で配置されている。
Ｘ軸固定ベース４１上面に敷設されたリニアガイド４３における上側の先端面及び固定子４４１における上側の先端面は、略同一面上に位置する。

図７では、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃが重なり合う方向から描かれている。そのため、図７では、最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃのみが斜線を付して描かれており、他の２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂは最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃにより隠されている。
図７では、最も手前側に位置するＸ軸キャリッジ４２ｃに配置された可動子４４２ｃが斜線を付して描かれている。最も奥側に位置するＸ軸キャリッジ４２ａに配置された可動子４４２ａは、最も手前側に位置する可動子４４２ｃにより隠れている。中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂに配置された可動子４４２ｂは、白抜きにして、最も手前側に位置する可動子４４２ｃと区別可能な態様で図示してある。

Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは、夫々Ｌ型鋼アングルに類似した形状をなし、正面キャリッジ４２２及び上面キャリッジ４２３を含む。正面キャリッジ４２２は、Ｘ軸固定ベース４１の正面に敷設された２本のリニアガイド４３に夫々案内される２つのスライダ４２１が上下端部に略平行かつ略水平に固設された矩形状平板部材である。上面キャリッジ４２３は、Ｘ軸固定ベース４１の上面に敷設された１本のリニアガイド４３に案内されるスライダ４２１が後側端部に固設された矩形状平板部材である。正面キャリッジ４２２及び上面キャリッジ４２３は、Ｘ軸方向から見た断面視Ｌ字状の角部に該当するキャリッジ屈曲部４２６において、ネジ（図示せず）等の締結部材で結合され、一体化されている。

なお、図７では正面キャリッジ４２２及び上面キャリッジ４２３の継ぎ目が省略されている。しかし、正面キャリッジ４２２及び上面キャリッジ４２３を含むＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃは一体成形されてもよい。かかる場合、図７に示すように、正面キャリッジ４２２及び上面キャリッジ４２３の間に境はない。

Ｘ軸方向に配列した３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂの上面キャリッジ４２３には、可動子４４２ｂの突出部４４２１ｂが上面キャリッジ４２３裏面の中央に取り付けられている。中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂの上面キャリッジ４２３に取り付けられた可動子４４２ｂの屈曲部４４２２ｂは、後側に屈曲し、Ｘ軸固定ベース４１の上面に設置された固定子４４１の磁気空隙に遊嵌されている。
３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃの正面キャリッジ４２２には、可動子４４２ａ、４４２ｃの突出部４４２１ａ、４４２１ｃが正面キャリッジ４２２裏面の中央から下寄りの位置に夫々取り付けられている。両端に位置する２つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃの正面キャリッジ４２２に夫々取り付けられた可動子４４２ａ、４４２ｃの各屈曲部４４２２ａ、４４２２ｃは、上側に屈曲し、Ｘ軸固定ベース４１の正面に設置された固定子４４１の磁気空隙に遊嵌されている。
３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃのうち、中央に位置するＸ軸キャリッジ４２ｂは上面キャリッジ４２３にのみ可動子４４２ｂを有し、両端に位置するＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｃは夫々正面キャリッジ４２２にのみ可動子４４２ａ、４４２ｃを有している。

換言した場合、３つのＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃに夫々取り付けられた各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、Ｘ軸固定ベース４１の正面及び上面に１本ずつ固定された２本の固定子４４１に対して、千鳥状に配置されている。すなわち、各可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃは、２本の固定子４４１に対して互い違いに配置されている。隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃ同士が一定距離を越えて接近した場合、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの一部は、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの裏側に位置するＸ軸固定ベース４１の窪み及び固定子４４１の磁気空隙に収納される。

図７では、Ｘ軸固定ベース４１の正面及び上面がなす角度、すなわちキャリッジ屈曲部４２６の角度は略９０度であった。しかし、Ｘ軸固定ベース４１の正面及び上面がなす角度は略９０度に限らず、１２０度、１３５度等の鈍角又は４５度、６０度等の鋭角であってもよい。かかる場合、キャリッジ屈曲部４２６は、Ｘ軸固定ベース４１の正面及び上面がなす角度に応じて屈曲し、Ｘ軸固定ベース４１の前側上端の角部と対向する位置で結合され、一体化される。

実施の形態３におけるガントリー４においても、隣り合うＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃを最低距離まで接近した場合、Ｘ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出した可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃの部分が干渉し合うことはない。
その際、可動子４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃがＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃから突出している部分の長さは、移動方向におけるＸ軸キャリッジ４２ａ、４２ｂ、４２ｃの長さ（幅）の２分の１未満とする。

なお、実施の形態３においても、Ｘ軸キャリッジ４２ａ等の数は２つ又は４つ以上でもよく、Ｘ軸リニアモータ４４又は固定子４４１の本数が３本以上であってもよいことは勿論である。

実施の形態３は以上の如きであり、その他は実施の形態１と同様であるので、対応する部分には同一の参照番号を付してその詳細な説明、作用及び効果を省略する。

なお、開示された実施の形態は、全ての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上述の説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味及び範囲内での全ての変更が含まれることが意図される。

１ 可動ガントリーステージ
２ Ｙ軸リニアステージ
２１ 定盤
２２ Ｙ軸脚部
２３ Ｙ軸固定ベース（基台）
２４ Ｙ軸リニアモータ
２５ Ｙ軸キャリッジ
３ Ｘ軸リニアステージ
３１ Ｘ軸脚部
４ ガントリー
４１ Ｘ軸固定ベース（基台）
４２ａ、４２ｂ、４２ｃ Ｘ軸キャリッジ
４２１ スライダ
４２２ 正面キャリッジ
４２３ 上面キャリッジ
４２６ キャリッジ屈曲部
４３ リニアガイド
４４ Ｘ軸リニアモータ
４４１ 固定子
４４１１ ヨーク
４４１２ 永久磁石
４４２、４４２ａ、４４２ｂ、４４２ｃ 可動子
４４２１ａ、４４２１ｂ、４４２１ｃ 突出部（連結部）
４４２２ａ、４４２２ｂ、４４２２ｃ 屈曲部

Claims (11)

1. 基台に固定された長尺の固定子及び該固定子の長手方向へ移動可能な一又は複数の可動子を有するリニアモータを備え、該一又は複数の可動子夫々にキャリッジが固定されているリニアモータ装置において、
   前記基台に複数の前記固定子を並置してなる前記リニアモータを複数備え、
   移動方向と略直交する方向における前記キャリッジの長さは、隣り合う固定子の全幅に跨る長さ以上であり、
   一のキャリッジを固定してある一の可動子と、該一のキャリッジに隣り合う他のキャリッジを固定してある他の可動子とは、互いに異なる固定子により相互に推力を発生するようにしてある
   ことを特徴とするリニアモータ装置。
2. 前記固定子は前記基台の同一平面上に固定されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ装置。
3. 移動方向と略直交する方向における前記キャリッジの長さは、全ての固定子の全幅に跨る長さ以上である
   ことを特徴とする請求項２に記載のリニアモータ装置。
4. 前記固定子は積層状態で前記基台上に固定されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ装置。
5. 前記基台は交差する二平面を有し、
   前記固定子は、前記二平面上夫々に、該二平面の稜線の長さ方向と平行的に固定されている
   ことを特徴とする請求項１に記載のリニアモータ装置。
6. 前記キャリッジは前記二平面の交差角度で屈曲した板状をなし、かつ屈曲部が該二平面の稜線に対向し、
   移動方向と略直交する方向における前記二平面に沿った前記キャリッジの長さは、前記稜線を介して隣り合う固定子の該二平面に沿った全幅に跨る長さ以上である
   ことを特徴とする請求項５に記載のリニアモータ装置。
7. 前記二平面は略直交しており、
   前記固定子は前記二平面上夫々に固定されており、
   前記キャリッジの移動方向の断面形状はＬ字状をなす
   ことを特徴とする請求項６に記載のリニアモータ装置。
8. 基台に固定された長尺の固定子及び該固定子の長手方向へ移動する一又は複数の可動子を有するリニアモータを備え、該一又は複数の可動子夫々にキャリッジが固定されているリニアモータ装置において、
   前記基台に複数の前記固定子を積層状態で固定してなる前記リニアモータを複数備え、
   移動方向と略直交する方向における前記キャリッジの長さは、一の固定子の幅以上であり、
   一のキャリッジを固定してある一の可動子と、該一のキャリッジに隣り合う他のキャリッジを固定してある他の可動子とは、互いに異なる固定子により相互に推力を発生するようにしてある
   ことを特徴とするリニアモータ装置。
9. 前記キャリッジは前記固定子の積層体から積層方向に隔離配置され、かつ対応する前記可動子に連結される積層方向に伸びた連結部を有する
   ことを特徴とする請求項８に記載のリニアモータ装置。
10. 前記固定子を二個備え、
    二個の前記固定子に係る可動子は千鳥状に配置されている
    ことを特徴とする請求項１から請求項９までのいずれか一項に記載のリニアモータ装置。
11. 複数の前記固定子夫々と、該複数の前記固定子夫々に対応する可動子とは、各々異なる大きさの推力を発生するようにしてある
    ことを特徴とする請求項１から請求項１０までのいずれか一項に記載のリニアモータ装置。

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