JP2014027061A - 位置決め装置、露光装置及び工作機械 - Google Patents
位置決め装置、露光装置及び工作機械 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2014027061A JP2014027061A JP2012165104A JP2012165104A JP2014027061A JP 2014027061 A JP2014027061 A JP 2014027061A JP 2012165104 A JP2012165104 A JP 2012165104A JP 2012165104 A JP2012165104 A JP 2012165104A JP 2014027061 A JP2014027061 A JP 2014027061A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide
- rolling
- rolling guide
- positioning
- end side
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Landscapes
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Machine Tool Units (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
- Bearings For Parts Moving Linearly (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
【解決手段】本願発明は、テーブル2の位置を測定して、その位置をフィードバック制御するフルクローズ制御手段を備えた位置決め装置において、テーブル2を一軸方向に移動可能とする転がり案内3、4と、転がり案内3、4に沿ってテーブル2を移動可能とするボールねじ5とを備え、転がり案内3の摩擦抵抗を転がり案内4の摩擦抵抗よりも大きくし、ボールねじ5を転がり案内3と転がり案内4との間に設け、テーブル2の位置を測定する測定位置を、ボールねじ5よりも転がり案内4側に設けている。
【選択図】図1
Description
ところで、転がり案内を採用した位置決めテーブルにおいて、ナノメートル(nm)オーダの位置決め精度を得ようとする場合には、転がり案内の非線形特性に応じた制御系を備える必要があると提唱されている(例えば、非特許文献1を参照)。このようなnmオーダの位置決め精度を備える位置決めテーブルでは、そのテーブルに設けられたサブnm〜数nmの分解能を有する位置測定器からの信号をフィードバック信号に用いたフィードバック制御が採用されている場合がある。そして、これらの組み合わせにより、nmオーダの位置決めを達成したとの報告例がある(例えば、非特許文献2を参照)。
しかしながら、実際に使用される位置決めテーブルにおいては、配置空間の制約などからナローガイド化が困難な場合も多く、また移動体のヨーイング誤差の再現性に影響されて上述の非特許文献にあるような位置決め精度を得ることが困難な場合が多い。特に、大型の位置決めテーブルにおいてその傾向が顕著となることがある。
また、近年では、転がり案内方式から空気を動作流体とする静圧案内方式へと案内要素を変更し、転がり要素であるボールねじの代わりにリニアモータを駆動源とする位置決めテーブルが、nmオーダの位置決めテーブルに採用される場合が多い。
図7は、従来技術に係る位置決めテーブル600の構成を模式的に示した図である。位置決めテーブル600は、左右が略均等である案内構成において、左方に配置されたリニアエンコーダ6での検出値によるフィードバック制御を行う位置決めテーブルである。ここでは、駆動部5を動作させ、テーブル2を図中の+方向に移動させる場合を想定する。そこで、駆動部5を動作させると、テーブル2が移動して、左方の転がり案内4の抵抗が右方の転がり案内3の抵抗よりも一時的に大きくなる場合がある。そのため、テーブル2が反時計(CCW)方向にヨーイング回転し、リニアエンコーダ6はテーブル2が−方向に移動したことを検出することがある。つまり、従来技術に係る位置決めテーブルでは、駆動部5の送り方向とテーブル2の検出された移動方向とが一致しない場合がある。このような場合には、駆動部5は+方向へテーブル2をさらに移動させる指令を受けるので、必要以上に+方向へテーブル2が移動することになる。その際、一時的に抵抗が大きかった転がり案内4は摩擦力が小さくなり(つまり、摩擦抵抗が小さくなり)、テーブル2全体はそのヨーイング剛性により時計(CW)方向に回転することがある。これにより、リニアエンコーダ6は目標値以上の位置へテーブル2が移動したことを検出することになる。この場合、テーブル2は目標値近傍で制御困難な不感帯が存在することで、例えば往復動を続けることがある。転がり案内3、4の摩擦抵抗は、転動体であるボールの弾性変形の状態にも影響を受けるが、転動体への予圧量、または封入したグリース量などによっても変動する場合がある(例えば、非特許文献3を参照)。また、この変動により、非特許文献1よりも頻繁に変動が生じる場合もある。
本発明は、このような事情に鑑みてなされたものであって、安価、かつ圧縮空気といった空圧などの付帯設備を必要としない転がり案内を用いて、ナローガイド化が困難なテーブル、あるいは大型のテーブルを備えるとともに、nmオーダの位置決め精度を得ることができる位置決め装置を提供することを目的とする。
このような位置決め装置であれば、より確実性を高めて、テーブルの移動方向とテーブルの回転による測定位置の移動方向とを一致させることができる。
このような位置決め装置であれば、さらに確実性を高めて、テーブルの移動方向とテーブルの回転による測定位置の移動方向とを一致させることができる。
このような位置決め装置であれば、転がり案内を構成する転動体の数は、一端側に設けられた転がり案内の方が他端側に設けられた転がり案内よりも2倍以上あるので、一端側に設けられた転がり案内の摩擦抵抗を他端側に設けられた転がり案内の摩擦抵抗の2倍以上にすることが容易にできる。
また、上記の位置決め装置において、前記テーブルにおける、前記一端側に設けられた前記転がり案内と前記他端側に設けられた前記転がり案内との間に開口部を形成したこととしてもよい。
また、本発明の一態様に係る露光装置は、上述の位置決め装置を備えたことを特徴とするものである。
また、本発明の一態様に係る工作機械は、上述の位置決め装置を備えたことを特徴とするものである。
このような工作機械であれば、上述の位置決め装置を備えているので、従来技術に係る工作機械と比較して、高い位置決め精度を得ることができる。
以下に、本発明の第1実施形態に係る位置決め装置100の構造、動作及び効果について、図1を参照しつつ説明する。
<構造>
本実施形態に係る位置決め装置100は、位置決め対象物を一軸方向に位置決め可能な位置決め装置である。この位置決め装置100は、テーブル2と、テーブル2の一端2a側に設けられた転がり案内3と、テーブル2の他端2b側に設けられた転がり案内4と、テーブル2に設けられた駆動部5と、テーブル2の位置を測定する位置測定器6と、位置測定器6で測定されたテーブル2の位置情報に基づいてテーブル2の位置をフィードバック制御するフルクローズ制御手段(図示せず)とを備えている。図1は、上述のテーブル2と、転がり案内3、4と、駆動部5と、位置測定器6との配置関係を模式的に示した図である。
[テーブル2]
テーブル2は、位置決め対象物を搭載するためのテーブルであって、長方形の平板からなるが、他の形状であってもよい。テーブル2の下面には、後述するガイドベアリング8a、8b、8c、8d、10a、10b及びナット12が取付けられている。
長方形であるテーブル2の長手方向にある2つの端部のうち、図において右側に表れる一方の端部を「一端2a」とし、図において左側に表れる他方の端部を「他端2b」とする。また、テーブル2の長手方向と直交する方向の一方向を「+」方向とし、その逆方向を「−」方向とする。
転がり案内3、4は、テーブル2を前記「+」方向または「−」方向の一軸方向に移動させるための転がり案内であって、この実施形態では、テーブル2の一端2a側と他端2b側とに相互に間隔を置いて配置されている。
転がり案内3は、2つの平行且つ同一の寸法及び形状の案内レール7a、7bを備えており、1つの案内レールにつき2つのガイドベアリング(スライダー)が滑動自在に跨架されている。ここで、案内レール7aには2つのガイドベアリング8a、8bが跨架され、案内レール7bには2つのガイドベアリング8c、8dが跨架されている。
なお、各案内レール7a、7b、9における各ガイドベアリング8aと8b、8cと8d、10aと10b間の距離(スパン)は同じ距離となっている。
駆動部5は、案内レール7a、7b、9に沿ってテーブル2を滑動させるための駆動部であって、例えば、ボールねじとモータとを含んで構成されるものである。以下、駆動部5として、ボールねじとモータ(図示せず)とを用いた場合について説明する。よって、以下においては、駆動部5のことをボールねじ5とも称する。
ねじ軸11の一端には、例えば、ねじ軸11を回転させるためのモータ(図示せず)が設けられている。このため、ねじ軸11をモータで回転させることでナット12とともにテーブル2をねじ軸11方向に沿って、+・−方向に自在に滑動させることができる。
テーブル2の左側である他端2bの中央には、テーブル2の位置を測定するための位置測定器6が設けられている。この位置測定器6は、例えばリニアエンコーダである。位置決め装置100では、リニアエンコーダで取得したテーブル2の位置情報に基づいて、テーブル2のフィードバック制御を行っている。このフィードバック制御には、例えば公知の技術であるフルクローズ制御手段を用いることができる。フルクローズ制御手段は公知の技術であるため、その説明は省略する。
本実施形態では、一端2a側の転がり案内3の摩擦抵抗は、他端2b側の転がり案内4の摩擦抵抗の2倍となっている。これは、転がり案内3、4の前記構造に起因している。
ここで、ボールの大きさにもよるが、50μm〜100μm以下の微小位置決めにおいては、転がり案内3、4のボールは、弾性体すなわち案内方向に対するばね要素としてそれぞれ作用するものとみなされる。そこで、この位置決め装置100の場合、一端2a側の剛性が他端2b側の剛性よりも2倍高くなっている。よって、駆動力が+方向へ作用した場合には、テーブル2に対する一端2a側と他端2b側のばね定数の不均衡(アンバランス)により、テーブル2は+方向へ滑動するとともに平面視で時計方向に回転する。これは、上述のボールの弾性変形に起因する摩擦抵抗の変動幅の最大値(1.7倍)に対して、ガイドベアリング8a〜8dの数が2倍と明らかに大きいためである。そして、一端2a側と他端2b側の転がり案内3、4の摩擦抵抗の不均衡を考慮したとしてもテーブル2は確実に平面視で時計方向に回転するからである。このため、ボールねじ5の送り量とテーブル2の移動量との間に非線形性はあるものの、送り方向と移動方向とは一致するという整合性は確保される。
以上のように、本実施形態に係る位置決め装置100は、テーブル2の位置制御をテーブル2の実際の変位を計測してフィードバック制御するシステム構成であるため、テーブル2の移動時にテーブル2の回転誤差が生じるものの転がり案内3、4の摩擦力変動の影響を排除して位置決めが可能となる。よって、本実施形態に係る位置決め装置100であれば、高い位置決め精度を得ることができる。
また、本実施形態では、転動体として、同じ大きさのボールを用いた場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、ボールの大きさを一端2a側の転がり案内3と他端2b側の転がり案内4とで異ならせることで、一端2a側の転がり案内3の摩擦抵抗を他端2b側の転がり案内4の摩擦抵抗の2倍以上にしてもよい。
また、本実施形態では、ガイドベアリング8a〜8d、10a、10bにおいて、同じグリース(基油粘度)を用いた場合について説明したが、これに限定されるものではない。例えば、グリースの種類を変えることで、一端2a側の転がり案内3の摩擦抵抗を他端2b側の転がり案内4の摩擦抵抗の2倍以上にしてもよい。
以下に、本発明の第2実施形態に係る位置決め装置110の構造、動作及び効果について、図2を参照しつつ説明する。
<構造・動作>
本実施形態に係る位置決め装置110は、位置決め対象物を一軸方向に位置決め可能な位置決め装置であって、図1に示した上述の位置決め装置110の変形例である。このため、位置決め装置110の構造は、位置決め装置110の構造と同じであるが、ボールねじ5の設置位置において異なっている。そこで、このボールねじ5の設置位置についてのみ説明し、その他の構成については図1のものと同一であるので説明を省略する。なお、図2では、図1において説明した構成部分と同一の要素については、同一の符号を付している。
本実施形態に係る位置決め装置110であれば、ボールねじ5は転がり案内3側、即ち摩擦抵抗の大きい案内要素側に偏って設けられているので、位置決め装置100と比較して、テーブル2のヨーイング角度誤差の発生を小さくすることができる。
よって、本実施形態に係る位置決め装置110であれば、位置決め装置100を用いた場合よりも高い位置決め精度を得ることができる。他の構成及び効果は図1のものと同一である。
以下に、本発明の第3実施形態に係る位置決め装置500について、図3〜6を参照しつつ説明する。
<構造>
本実施形態に係る位置決め装置500は、位置決め対象物を2軸方向(X−Y軸方向)に位置決め可能な位置決め装置であって、例えば上述の位置決め装置110を2基上下に組み合わせて構成した位置決め装置である。図3〜6は、2基の位置決め装置の配置関係を模式的に示した図である。
[ベース501]
ベース501は、後述する第1の位置決めテーブル200、第2の位置決めテーブル300及びステージ400を搭載する基部であって、その形は、例えば平面視した場合に概ね正方形である。このため、対向配置された2対の端部を備えている。2対の端部のうち、一対の端部は端部501aと端部501bとで構成されており、別の一対の端部は端部501cと端部501dとで構成されている。
第1の位置決めテーブル200は、X軸テーブル202と、X軸テーブル202の一端202a側でベース501との間に設けられた転がり案内203と、X軸テーブル202の他端202b側でベース501との間に設けられた転がり案内204と、X軸テーブル202の転がり案内203側でベース501との間に設けられたボールねじ205と、を含んで構成される。なお、転がり案内203、204及びボールねじ205は、図1、2に示した位置決めテーブル100、110の転がり案内3、4及びボールねじ5と実質的に同一の構造であり、機能も同一である。よって、本実施形態では、重複する部分については、その説明を省略する。
また、転がり案内203側には、ボールねじ205が設けられている。ねじ軸211の両端211a、211b付近は、軸受213a、213bによってベース501に対して回転自在に支持されている。また、ねじ軸211の一端211bにはベース501に固定されたモータ214(以下、「X軸モータ214」ともいう。)が接続されている。この接続は、ねじ軸211の一端211bとX軸モータ214の回転軸(図示せず)とをカップリング(軸継手)215で連結することで実現されている。また、軸受213a、213bの間には、ナット212の移動領域を規定するためのストッパ216a、216bが間隔をおいてナット212を挟むようにして設けられている。
第2の位置決めテーブル300は、Y軸テーブル302と、Y軸テーブル302の一端302a側に設けられた転がり案内303と、Y軸テーブル302の他端302b側に設けられた転がり案内304と、Y軸テーブル302の前記転がり案内303側に設けられたボールねじ305と、を含んで構成される。なお、転がり案内303、304及びボールねじ305は、前記した図1、2の位置決めテーブル100、110の転がり案内3、4及びボールねじ5と実質的に同一の構造であり、機能も同一である。よって、本実施形態では、重複する部分については、その説明を省略する。
ステージ400は、不図示のワーク及びその固定具(例えば静電チャックなど)401並びに位置検出器406を搭載するための部材であり、その形は、例えば平面視で略正方形をしている。
ステージ400の位置決めを行う場合、X軸モータ214及びY軸モータ314をそれぞれ駆動させて各軸のねじ軸211、311を回転させ、ナット212、312をねじ軸211、311に沿って移動させる。このようにして、X軸方向及び/またはY軸方向にステージ400を移動させることで、ステージ400を目的とする位置に停止させる。
ステージ400上には、ステージ400の位置情報を獲得するための位置検出器406が設けられている。この位置検出器406は、例えばレーザ測長する際に用いられる測長用鏡406a、406bとからなる。測長用鏡406aは案内レール309側に、平面視でY軸と平行になるように設けられている。また、測長用鏡406bは案内レール207a、207b側に、平面視でX軸と平行になるように設けられている。
同様に、ベース501から離れた位置であって、測長用鏡406bと対向する位置(つまり、Y軸方向であって転がり案内203側)には測長用レーザ装置407cが設けられている。ここで、ステージ400のY軸方向の位置情報は、測長用レーザ装置407cでレーザ407dを送受して、測長用鏡406bまでの距離を測ることで得られる。
なお、本実施形態では、位置検出器406としてレーザ測長器を用いたが、これはテーブル202、302の回転誤差のSin成分が実際のワークに対する位置決め誤差となるため、作用点近傍に測定の原点を有する測定系(つまり、アッベの原理に基づいた測定系)を設けることが好ましいからである。この場合には、ヨーイングによるSin成分は無視できるレベルまで小さくなり、(1−cosθ)成分が位置決め誤差となる。テーブルのヨーイング誤差の再現性成分は、1秒(1秒=1/3600deg)以下であるため、(1−cosθ)成分はnmオーダの位置決め精度を得る場合であっても無視可能なレベルである。
本実施形態に係る位置決め装置500であれば、位置決め対象物を一軸方向だけでなく、2軸方向(X軸及びY軸)で高い位置決め精度を得ることができる。具体的には、位置決め装置500であれば、テーブル202、302の位置制御をテーブル202、302の実際の変位を計測してフィードバック制御するシステム構成を備えているため、2軸方向において、テーブル202、302の移動時にテーブル202、302の回転誤差が生じるものの転がり案内203、204、303、304の摩擦力変動の影響を排除して位置決めが可能となる。よって、本実施形態に係る位置決め装置500であれば、位置決め対象物を2軸方向において位置決めする場合であっても高い位置決め精度を得ることができる。
本実施形態は、上述の第1実施形態〜第3実施形態で説明した位置決め装置を備えた露光装置である。
本実施形態に係る露光装置であれば、上述の第1実施形態〜第3実施形態の位置決め装置を備えているので、従来技術に係る露光装置と比較して、高い位置決め精度を得ることができる。
本実施形態は、上述の第1実施形態〜第3実施形態で説明した位置決め装置を備えた工作機械である。
本実施形態に係る工作機械であれば、上述の第1実施形態〜第3実施形態の位置決め装置を備えているので、従来技術に係る工作機械と比較して、高い位置決め精度を得ることができる。
2a 端部
2b 端部
3 転がり案内
4 転がり案内
5 ボールねじ
6 位置測定器
7a 案内レール
7b 案内レール
8a ガイドベアリング
8b ガイドベアリング
8c ガイドベアリング
8d ガイドベアリング
9 案内レール
10a ガイドベアリング
10b ガイドベアリング
11 ねじ軸
12 ナット
Claims (8)
- テーブルの位置を測定して前記位置をフィードバック制御するフルクローズ制御手段を備えた位置決め装置において、
前記テーブルに、その一端側と他端側とに相互に間隔をおいて設けられた、前記テーブルを一軸方向に移動可能とする転がり案内と、
前記テーブルに設けられた、前記転がり案内に沿って前記テーブルを移動可能とする駆動要素と、を備え、
前記一端側に設けられた前記転がり案内の摩擦抵抗を、前記他端側に設けられた前記転がり案内の摩擦抵抗よりも大きくし、
前記駆動要素を、前記一端側に設けられた前記転がり案内と前記他端側に設けられた前記転がり案内との間に設け、
前記テーブルの位置を測定する測定位置を、前記駆動要素よりも前記他端側に設けられた前記転がり案内側に設けることを特徴とする位置決め装置。 - 前記一端側に設けられた前記転がり案内の摩擦抵抗を、前記他端側に設けられた前記転がり案内の摩擦抵抗の2.0倍以上にしたことを特徴とする請求項1に記載の位置決め装置。
- 前記駆動要素を、前記一端側に設けられた前記転がり案内と前記他端側に設けられた前記転がり案内との中間、または前記一端側に設けられた前記転がり案内側に偏って設けたことを特徴とする請求項1または請求項2に記載の位置決め装置。
- 前記一端側に設けられた前記転がり案内の転動体と、前記他端側に設けられた前記転がり案内の転動体とは、いずれも同一径のものを用い、前者の転動体の数を後者の転動体の数よりも2倍以上にしたことを特徴とする請求項1から請求項3のいずれか一項に記載の位置決め装置。
- 前記一端側に設けられた前記転がり案内を、2本の案内レールと、前記2本の案内レールのそれぞれに跨架されたスライダーとを含んで構成し、
前記他端側に設けられた前記転がり案内を、1本の案内レールと、前記1本の案内レールに跨架されたスライダーとを含んで構成し、
前記案内レールのそれぞれの形状と寸法を同一とし、前記スライダーのそれぞれの形状と寸法を同一としたことを特徴とする請求項1から請求項4のいずれか一項に記載の位置決め装置。 - 前記テーブルにおける、前記一端側に設けられた前記転がり案内と前記他端側に設けられた前記転がり案内との間に開口部を形成したことを特徴とする請求項1から請求項5のいずれか一項に記載の位置決め装置。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の位置決め装置を備えたことを特徴とする露光装置。
- 請求項1から請求項6のいずれか一項に記載の位置決め装置を備えたことを特徴とする工作機械。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012165104A JP6040613B2 (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012165104A JP6040613B2 (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014027061A true JP2014027061A (ja) | 2014-02-06 |
JP6040613B2 JP6040613B2 (ja) | 2016-12-07 |
Family
ID=50200460
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012165104A Active JP6040613B2 (ja) | 2012-07-25 | 2012-07-25 | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6040613B2 (ja) |
Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05285758A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Yotaro Hatamura | 直線送り装置の動特性制御システム |
JPH06226571A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-16 | Honda Motor Co Ltd | 工作機械におけるテーブル移動装置 |
JPH08229759A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-10 | Canon Inc | 位置決め装置並びにデバイス製造装置及び方法 |
JPH11243132A (ja) * | 1997-04-22 | 1999-09-07 | Canon Inc | 位置決め装置およびこれを用いた露光装置 |
JP2004058269A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-02-26 | Okuma Corp | 移動体の案内装置 |
JP2004223647A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
JP2008090718A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
JP2012110991A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
-
2012
- 2012-07-25 JP JP2012165104A patent/JP6040613B2/ja active Active
Patent Citations (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05285758A (ja) * | 1992-04-09 | 1993-11-02 | Yotaro Hatamura | 直線送り装置の動特性制御システム |
JPH06226571A (ja) * | 1993-01-29 | 1994-08-16 | Honda Motor Co Ltd | 工作機械におけるテーブル移動装置 |
JPH08229759A (ja) * | 1995-02-24 | 1996-09-10 | Canon Inc | 位置決め装置並びにデバイス製造装置及び方法 |
JPH11243132A (ja) * | 1997-04-22 | 1999-09-07 | Canon Inc | 位置決め装置およびこれを用いた露光装置 |
JP2004058269A (ja) * | 2002-06-06 | 2004-02-26 | Okuma Corp | 移動体の案内装置 |
JP2004223647A (ja) * | 2003-01-22 | 2004-08-12 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
JP2008090718A (ja) * | 2006-10-04 | 2008-04-17 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
JP2012110991A (ja) * | 2010-11-24 | 2012-06-14 | Nsk Ltd | 位置決め装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6040613B2 (ja) | 2016-12-07 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9222763B2 (en) | Coordinate measuring machine with constrained counterweight | |
Zhang et al. | Developing a linear piezomotor with nanometer resolution and high stiffness | |
US8215199B2 (en) | Parallel kinematic positioning system | |
Sze-Wei et al. | A fine tool servo system for global position error compensation for a miniature ultra-precision lathe | |
CN101197197B (zh) | 大运动范围宏微双重驱动定位平台 | |
CN102914442B (zh) | 一种单向压力动态加载装置 | |
US6920696B2 (en) | Microscopic positioning device and tool position/orientation compensating method | |
Shinno et al. | XY-θ nano-positioning table system for a mother machine | |
JP5286383B2 (ja) | トグル式位置合わせプラットフォーム | |
US20130069294A1 (en) | Two-dimension precision transfer equipment, three-dimension precision transfer equipment, and coordinate measuring machine | |
CN108890324B (zh) | 基于方箱的超精密x-y气浮平面定位平台 | |
JP2020517940A (ja) | 位置決め装置 | |
JP6040613B2 (ja) | 位置決め装置、露光装置及び工作機械 | |
Fujita et al. | Dynamic characteristics and dual control of a ball screw drive with integrated piezoelectric actuator | |
JP2010025224A (ja) | 案内装置 | |
CN101261206A (zh) | 材料纳米力学性能测试中的两自由度加载装置 | |
Serge et al. | Motion systems: An overview of linear, air bearing, and piezo stages | |
KR20160000962A (ko) | 고정밀 이송 스테이지 | |
JP4735576B2 (ja) | 摩擦駆動搬送装置 | |
CN104400374B (zh) | 用于航空发动机转静子装配测量的双框共面导向式调心方法与装置 | |
JP4392617B2 (ja) | 免震構造物の水平変位計測装置 | |
TW201121702A (en) | Two stage type long stroke nano-scale precision positioning system. | |
JP2000347738A (ja) | マスクステージ駆動機構及びその制御方法 | |
JPS61112216A (ja) | 非接触駆動形平面移動台 | |
JPH0516167B2 (ja) |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150316 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160129 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160202 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160401 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160712 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20160801 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161011 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161024 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6040613 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |