JP2014007087A - プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】処理室20内に上部電極21と下部電極28を対向配置し、少なくとも上部電極21または下部電極28のいずれか一方に高周波電力を印加して、処理室20内に導入した処理ガスをプラズマ化し、下部電極28上に載置された被処理体Wに対して処理を行うプラズマ処理装置において、処理室20の上部中央および側方に、それぞれ排気部22、26が設けられ、処理室20上部に、上部中央の排気部22と同心円状に、下部電極28よりも外周側に配置された外側ガス導入部31と、上部中央の排気部22の外周を囲み且つ外側ガス導入部31よりも内側に配置された内側ガス導入部32とが設けられている。
【選択図】図1
Description
20 処理室
21 上部電極
22 中央排気部
24 下部電極
26 側方排気部
31 外側ガス導入部
32 内側ガス導入部
Claims (12)
- 処理室内に上部電極と下部電極を対向配置し、少なくとも前記上部電極または前記下部電極のいずれか一方に高周波電力を印加して、前記処理室内に導入した処理ガスをプラズマ化し、前記下部電極上に載置された被処理体に対して処理を行うプラズマ処理装置において、
前記処理室の上部中央および側方に、それぞれ排気部が設けられ、
前記処理室上部に、前記上部中央の排気部と同心円状に、前記下部電極よりも外周側に配置された外側ガス導入部と、前記上部中央の排気部の外周を囲み且つ前記外側ガス導入部よりも内側に配置された内側ガス導入部とが設けられていることを特徴とする、プラズマ処理装置。 - 前記側方の排気部から排気装置までの排気コンダクタンスと、前記中央の排気部から排気装置までの排気コンダクタンスの比が、2:3〜3:2であることを特徴とする、請求項1に記載のプラズマ処理装置。
- 前記中央の排気部の径は、前記上部電極と前記下部電極との間隔の3倍以下であることを特徴とする、請求項1または2に記載のプラズマ処理装置。
- 前記中央の排気部の径は、前記上部電極と前記下部電極との間隔の1.5倍以上2倍以下であることを特徴とする、請求項3に記載のプラズマ処理装置。
- 前記上部電極と前記下部電極との間隔は、20mm〜80mmであることを特徴とする、請求項1〜4のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記排気部は、複数の孔または複数のスリットで構成されていることを特徴とする、請求項1〜5のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記外側ガス導入部と前記内側ガス導入部は、処理ガスの導入量をそれぞれ独立して制御可能であることを特徴とする、請求項1〜6のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記内側ガス導入部と前記外側ガス導入部との間に、中間ガス導入部が設けられていることを特徴とする、請求項1〜7のいずれかに記載のプラズマ処理装置。
- 前記中間ガス導入部は、前記外側ガス導入部および前記内側ガス導入部から独立して処理ガスの導入量を制御可能であることを特徴とする、請求項8に記載のプラズマ処理装置。
- 請求項1〜6に記載のプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法であって、
前記外側および内側ガス導入部と前記排気部を制御することにより、処理室内の処理ガスの圧力分布を調整することを特徴とする、プラズマ処理方法。 - 請求項7に記載のプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法であって、
前記外側ガス導入部、前記内側ガス導入部、および前記排気部をそれぞれ独立して制御することにより、処理室内の処理ガスの圧力分布を調整することを特徴とする、プラズマ処理方法。 - 請求項9に記載のプラズマ処理装置を用いたプラズマ処理方法であって、
前記外側ガス導入部、前記内側ガス導入部、前記中間ガス導入部、および前記排気部をそれぞれ独立して制御することにより、処理室内の処理ガスの圧力分布を調整することを特徴とする、プラズマ処理方法。
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