JP2013539203A5 - - Google Patents

Description

一実施形態において、単一の可動閉鎖機構７０１は、垂直に駆動することができるローラとして形成され、単一の静止閉鎖機構７０５は、カム・プレートの傾斜チャンネル内のローラの移動がフレーム２０５に垂直の方向にポートドアの移動２０１を引き起こすようにローラを受け取るように適合するカム・プレートとして形成される。別の実施形態において、単一の可動閉鎖機構７０１は、垂直に駆動することができるカム・プレートとして形成され、単一の静止閉鎖機構は、カム・プレートの傾斜チャンネルに位置決めされたローラとのカム・プレートの移動がフレームに垂直の方向にポートドアの移動２０１を引き起こすように、カム・プレート内で受け取られるように適合するローラとして形成される。

Claims (36)

1. ロードポートであって、
   前面と、後面と、第１及び第２の垂直側面とを有し、該前面が、容器ドアが存在する時にそれを保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成されたポートドアと、
   前記ポートドアが前記容器ドアにインタフェースで接続する際に通過する開口部を有するように形成されたフレームと、
   前記ポートドアの制御された位置決め及び移動をもたらすように該ポートドアに接続された位置決めデバイスと、
   ポートドアに対して閉鎖力を印加するための独立した移動制御機構として該ポートドアの前記後面に接続され、前記ポートドアの前記第１及び第２の垂直側面の各々を超えて外方に延びるように形成され、該ポートドア及び前記フレームの両方に対して制御された態様で移動させることが可能なように構成された可動閉鎖機構と、
   前記フレームの前記開口部に近接して該フレーム上に配置され、かつ前記可動閉鎖機構と係合するように形成された静止閉鎖機構と、
   を含み、
   容器ドアが存在するときに、前記静止閉鎖機構と係合する前記可動閉鎖機構の移動が、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する、
   ことを特徴とするロードポート。
2. 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
3. 前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部に対して垂直方向に前記ポートドアを移動するように形成され、
   前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部内で水平方向に前記ポートドアを移動するように形成される、
   ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
4. 前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後の位置で該ポートドアの前記第１及び第２の垂直側面のそれぞれの１つを超えて外方に各々が延びる１対の案内部材として形成され、該１対の案内部材の各々が、該ポートドアに対して垂直な方向にかつ同時の方式で移動するように形成され、
   前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ固定された１対のカム・プレートとして形成され、該１対のカム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、
   ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
5. 前記１対の案内部材がそれぞれ接続される１対のドライブプレートと、
   １対のドライブ軌道の各々が前記ポートドアの前記後面に接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を垂直な方向に向けるような向きにされた前記１対のドライブプレートがそれぞれ接続される１対のドライブ軌道と、
   前記１対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
   前記ドライブ源の仕事を前記１対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
   を更に含むことを特徴とする請求項４に記載のロードポート。
6. 前記機械的リンケージは、前記ポートドアに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記１対のドライブプレートと該１対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記１対の案内部材との各々の等しくかつ同時の垂直移動を引き起こすように、該１対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項５に記載のロードポート。
7. 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
   前記モータは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
   前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
   前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記ポートドアに対して該水平な方向に向けられる、
   ことを特徴とする請求項６に記載のロードポート。
8. 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
   前記空圧シリンダは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
   前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
   ことを特徴とする請求項６に記載のロードポート。
9. 前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ固定された１対の案内部材として形成され、
   前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後かつ外側のそれぞれの位置で該ポートドアの前記第１及び第２の垂直側面に沿ってそれぞれ配置された１対の可動カム・プレートとして形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、該ポートドアに対して垂直な方向にかつ同時の方式で移動するように形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
   ことを特徴とする請求項１に記載のロードポート。
10. 前記１対の可動カム・プレートがそれぞれ接続される１対のドライブプレートと、
    １対のドライブ軌道の各々が前記ポートドアの前記後面に接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を垂直な方向に向けるような向きにされた前記１対のドライブプレートがそれぞれ接続される１対のドライブ軌道と、
    前記１対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
    前記ドライブ源の仕事を前記１対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
    を更に含むことを特徴とする請求項９に記載のロードポート。
11. 前記機械的リンケージは、前記ポートドアに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記１対のドライブプレートと該１対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記１対の可動カム・プレートとの各々の等しい垂直移動を引き起こすように、該１対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。
12. 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
    前記モータは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
    前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
    前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記ポートドアに対して該水平な方向に向けられる、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のロードポート。
13. 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
    前記空圧シリンダは、固定位置で前記ポートドアの前記後面に接続され、
    前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
    ことを特徴とする請求項１１に記載のロードポート。
14. 前記１対の可動カム・プレートは、前記１対のドライブプレートのそれぞれの部分として形成されることを特徴とする請求項１０に記載のロードポート。
15. ロードポートであって、
    前面と、後面と、第１及び第２の垂直側面とを有し、該前面が、容器ドアが存在する時にそれを保持するための容器の容器ドアにインタフェースで接続するように形成されたポートドアと、
    前記ポートドアが前記容器ドアにインタフェースで接続する際に通過する開口部を有するように形成されたフレームと、
    前記ポートドアの制御された位置決め及び移動をもたらすように該ポートドアに接続された位置決めデバイスと、
    前記ポートドアの前記第１及び第２の垂直側面の各々を超えて外方に延びるように該ポートドアの前記後面に接続された静止閉鎖機構と、
    前記フレームの前記開口部に近接して前記フレーム上に配置され、かつ前記静止閉鎖機構と係合するように形成され、該フレーム及び前記ポートドアの両方に対して制御された態様で移動させることが可能なように構成された可動閉鎖機構と、
    を含み、
    前記静止閉鎖機構及び前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアに閉鎖力を印加する、独立した移動制御機構を形成し、
    前記容器ドアが存在するとき、前記静止閉鎖機構と係合する前記可動閉鎖機構の移動が、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する、
    ことを特徴とするロードポート。
16. 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項１５に記載のロードポート。
17. 前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部に対して垂直方向に前記ポートドアを移動するように形成され、
    前記位置決めデバイスは、前記フレームの前記開口部内で水平方向に前記ポートドアを移動するように形成される、
    ことを特徴とする請求項１５に記載のロードポート。
18. 前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後の位置で該ポートドアの前記第１及び第２の垂直側面のそれぞれの１つを超えて外方に各々が延びる１対の案内部材として形成され、
    前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ配置された１対の可動カム・プレートとして形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、該フレーム及び前記ポートドアの両方に対して垂直な方向にかつ同時の方式で移動するように形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためのその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
    ことを特徴とする請求項１５に記載のロードポート。
19. 前記１対の可動カム・プレートがそれぞれ接続される１対のドライブプレートと、
    前記１対のドライブプレートがそれぞれ接続され、１対のドライブ軌道の各々が、前記フレームに接続され、かつ垂直な方向のそれに接続された該ドライブプレートの誘導された移動に向けられた１対のドライブ軌道と、
    前記１対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
    前記ドライブ源の仕事を前記１対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
    を更に含むことを特徴とする請求項１８に記載のロードポート。
20. 前記機械的リンケージは、前記フレームに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記１対のドライブプレート及び該１対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記１対の可動カム・プレートの各々の等しくかつ同時の垂直移動を引き起こすように、該１対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項１９に記載のロードポート。
21. 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
    前記モータは、固定位置で前記フレームに接続され、
    前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
    前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及び該それに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記フレームに対して該水平な方向に向けられる、
    ことを特徴とする請求項２０に記載のロードポート。
22. 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
    前記空圧シリンダは、固定位置で前記フレームに接続され、
    前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
    ことを特徴とする請求項２０に記載のロードポート。
23. 前記１対の可動カム・プレートは、前記１対のドライブプレートのそれぞれの部分として形成されることを特徴とする請求項１９に記載のロードポート。
24. 前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ配置された１対の案内部材として形成され、該１対の案内部材の各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、
    前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの前記後面の背後かつ外側のそれぞれの位置で該ポートドアの前記第１及び第２の垂直側面に沿ってそれぞれ固定された１対のカム・プレートとして形成され、該１対のカム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
    ことを特徴とする請求項１５に記載のロードポート。
25. 前記１対の案内部材がそれぞれ接続される１対のドライブプレートと、
    １対のドライブ軌道の各々が、前記フレームに接続され、かつそれに接続された前記ドライブプレートの誘導された移動を垂直な方向に向けるような向きにされた前記１対のドライブプレートがそれぞれ接続される１対のドライブ軌道と、
    前記１対のドライブプレートのそれらのそれぞれのドライブ軌道に沿った移動を制御するように形成されたドライブ源と、
    前記ドライブ源の仕事を前記１対のドライブプレートの同時の移動に変換するように形成された機械的リンケージと、
    を更に含むことを特徴とする請求項２４に記載のロードポート。
26. 前記機械的リンケージは、前記フレームに対して水平な方向に移動するように形成された運動伝達プレートとして形成され、該運動伝達プレートは、該運動伝達プレートの水平な移動が、前記１対のドライブプレートと該１対のドライブプレートにそれぞれ接続された前記１対の案内部材との各々の等しい垂直移動を引き起こすように、該１対のドライブプレートの各々と係合するように形成されることを特徴とする請求項２５に記載のロードポート。
27. 前記ドライブ源は、モータによる回転に向けて接続された送りネジを有するモータであり、
    前記モータは、固定位置で前記フレームに接続され、
    前記送りネジとの補完的方式でネジ切りされたナットが、該送りネジを受け取るために前記運動伝達プレートに接続され、
    前記送りネジ及び前記ナットは、該ナット内の該送りネジの回転が、該ナット及びそれに接続された運動伝達プレートを前記水平な方向に移動するように、前記フレームに対して該水平な方向に向けられる、
    ことを特徴とする請求項２６に記載のロードポート。
28. 前記ドライブ源は、ドライブロッドが接続された空圧シリンダであり、
    前記空圧シリンダは、固定位置で前記フレームに接続され、
    前記ドライブロッドは、該ドライブロッドの移動が、前記水平な方向の前記運動伝達プレートの移動を引き起こすように、該運動伝達プレートにも接続される、
    ことを特徴とする請求項２６に記載のロードポート。
29. ロードポートを作動させる方法であって、
    フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階であって、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、該ポートドアの前面に固定され、該フレームの該開口部内に該ポートドアを位置決めする段階が、該容器のドア開口部内に該容器ドアを位置決めする段階に対応する前記フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階と、
    独立した移動制御機構を作動させて前記ポートドアに閉鎖力を印加し、第１の方向に該ポートドアを移動することなく、該第１の方向に前記ポートドアの後面に接続された可動閉鎖機構を移動し、それによって該可動閉鎖機構が、前記フレームに固定された静止閉鎖機構と係合するように移動される段階であって、該静止閉鎖機構と係合する該可動閉鎖機構の移動が、該ポートドアの前面と前記容器ドアとの間に閉鎖力を印加する前記移動される段階と、
    前記閉鎖力が前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に印加される間に前記容器に該容器ドアを固定する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
30. 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項２９に記載の方法。
31. 前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの第１及び第２の垂直側面のそれぞれの１つを超えて外方に各々が延びる１対の案内部材を含み、該ポートドアに接続された該可動閉鎖機構の前記第１の方向の移動が、該１対の案内部材の同時の方式の垂直な方向の移動に対応し、
    前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ固定された１対のカム・プレートとして形成され、該１対のカム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこの該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、
    ことを特徴とする請求項２９に記載の方法。
32. 前記静止閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ固定された１対の案内部材として形成され、
    前記可動閉鎖機構は、前記ポートドアの第１及び第２の垂直側面に沿ってそれぞれ配置された１対の可動カム・プレートとして形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
    ことを特徴とする請求項２９に記載の方法。
33. ロードポートを作動させる方法であって、
    フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階であって、半導体加工物を保持するための容器の容器ドアが、該ポートドアの前面に固定され、該フレームの該開口部内に該ポートドアを位置決めする段階が、該容器のドア開口部内に該容器ドアの位置決めする段階に対応する前記フレームの開口部内にポートドアを位置決めする段階と、
    独立した移動制御機構を作動させて前記ポートドアに閉鎖力を印加し、前記ポートドア又は該フレームを第１の方向に移動することなく、前記フレームに接続された可動閉鎖機構の独立した２つの部材の各々を該第１の方向に移動し、それによって該可動閉鎖機構の独立した２つの部材の各々が該ポートドアに固定された静止閉鎖機構の対応する部材と係合するように移動される段階であって、該静止閉鎖機構の対応する部材と係合する該可動閉鎖機構の独立した２つの部材の各々の第１の方向への移動が、該ポートドアの前面と前記容器ドアの間に閉鎖力を印加する前記移動される段階と、
    前記閉鎖力が前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間に印加される間に前記容器に該容器ドアを固定する段階と、
    を含むことを特徴とする方法。
34. 前記閉鎖力は、前記ポートドアの前記前面と前記容器ドアの間で垂直な方向に向けられることを特徴とする請求項３３に記載の方法。
35. 前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの第１及び第２の垂直側面のそれぞれの１つを超えて外方に各々が延びる１対の案内部材として形成され、
    前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ配置された１対の可動カム・プレートとして形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、該１対の可動カム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにその可動カム・プレートのそこにある該案内部材に対する移動を前記容器ドアに垂直に向かう前記ポートドアの移動に変換するように形成される、
    ことを特徴とする請求項３３に記載の方法。
36. 前記可動閉鎖機構は、前記フレームの前記開口部の前記第１及び第２の垂直側面に近接してそれぞれ配置された１対の案内部材として形成され、該１対の案内部材の各々が、同時の方式で垂直な方向に移動するように形成され、
    前記静止閉鎖機構は、前記ポートドアの第１及び第２の垂直側面に沿ってそれぞれ固定された１対のカム・プレートとして形成され、該１対のカム・プレートの各々が、前記１対の案内部材のそれぞれの１つを受け取るように形成されたチャンネルを含み、各チャンネルが、前記閉鎖力を印加するためにそこにある該案内部材の移動を前記容器ドアに垂直に向かう該ポートドアの移動に変換するように形成される、
    ことを特徴とする請求項３３に記載の方法。