JP2013504440A - 機能性構造化表面を調製する方法および前記方法により得られる表面 - Google Patents
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Abstract
本発明は、少なくとも1個の埋設された細孔を含む材料に適用される制御された材料の除去の工程を含む、機能性構造化表面を調製する方法であって、細孔の内表面が少なくとも1個の化学結合基(120)を含む方法に関する。材料は、材料の除去により影響を受けない細孔の内表面の部分がアクセス可能となるように除去される。
Description
本発明は、機能性構造化表面を調製する方法および前記方法により得られる表面に関する。
現在、分子スケールからナノスケールの範囲内の寸法を有する機能性物体を大量に、より低コストで開発することが試みられている。これらの物体は、化学的方法または物理的方法により生成することができる。
しかしながら、完全に利用可能なものとするため、これらのナノ物体(例えばナノ粒子、ナノワイヤ、ナノチューブ)は操作可能であり、アクセス可能でなければならない。特に、互いに、および巨視的座標系に関してこれらの局在またはこれらの配向を識別することが必要である。
従って、生物学用途であれ、分子エレクトロニクス用途であれ、ナノマグネティズム用途であれ、表面上でのナノ物体の位置調整の制御は、主要な技術的課題である。種々の技術が想定されてきており、実施されたいくつかが記載されている。
AFM(原子間力顕微鏡)のチップは、例えば、粒子の局在化された堆積または特異的なグラフト化を提供することができる。しかしながら、このアプローチは、表面上で限られた数の粒子の位置調整にのみ適用可能である。
より大きいスケールでは、電子ビームもしくは集束イオンビームリトグラフィーまたはナノインプリントリトグラフィー(熱可塑性、またはさもなければ光活性化による。)によりナノ構造化された表面を、溶液または気相中に存在する粒子の局在化に使用することができる。これに関して、文献WO2008/012923(Harvard)は、対象となる材料の個別のナノ構造を作出するために実施される、凹面表面上で金属、有機または半導体材料を封入し、次いで封入材料を切断することをベースとするナノ構造の製造方法を提示している。
両親媒性分子の自己集合により、より小さく(2から100nm)、組織化された単位を有する巨視的構造化表面をさらに生じさせることが可能となる。構造化有機表面は、特に、界面活性剤のアニーリングにより形成される(例えば、Aisson et al.,Surface Science 2007,601,2611)。残念ながら、提案された技術は、単位の選択的な官能基化を可能とせず、従って、これらの表面上でのナノ物体の位置調整を制御することが困難である。
界面活性剤のミセル中でのナノ粒子の直接封入は、大面積上に組織化された粒子の網目を生じさせることも可能とする。従って、文献WO2008/125172(Max Planck Gesellschaft and Heidelberg University)は、金属種を負荷したマルチブロックコポリマーの溶液中で基板を浸漬し、溶液から基板を徐々に取り出し、次いで金属化合物を還元または酸化してナノ粒子を形成する工程を行うことを含む方法を記載している。
粒子間の相互作用に基づき得られる表面上でのナノ粒子の自己組織化も、リトグラフィー方法により予備構造化された基板が利用されて大面積に使用されている。これに関連して、WO2006/051186(CEA)は、粒子を基板上で粒子の自己組織化および基板と粒子との調節された相互作用により堆積させることを含む方法を記載している。一方で、文献US7164209(Nanosys Inc.)は、ガス流の作用によるアライメントと組み合わせたマスクまたは配置することができるナノ粒子の使用を記載している。
しかしながら、これらの最後に挙げられた方法は、特にアニーリングの外部作用下でアグロメレートの形成をもたらす、粒子間に限られた電位の障壁を述べているにすぎない。
さらに、リオトロピック相の組織化を使用するメソポーラス無機層が公知である。文献US6326326(Battelle Memorial Institute)は、メソポーラス材料を水和させ、材料を官能性分子の前駆体と混合し、撹拌して前駆体を細孔に通して浸透させ、加熱することを含む方法を記載している。これに関連して、メソ細孔のカテゴリーは、IUPACにより、2から50nmの幅を有する細孔を含むものとして定義され、より小さい細孔はマイクロ細孔と記載され、より大きい細孔はマクロ細孔と記載されていることを指摘すべきである(例えばPure & Appl.Chem.,Vol.57,No.4,pp.603−619,1985参照。)。
さらに、蒸発により誘導される自己集合をベースとするケイ素アルコキシドの官能基化階層化メソポーラス皮膜の合成が、文献「First Direct Synthesis of highly ordered bifunctional mesoporous silica thin films」by Mehdi et al.,J.Nanosciences and Nanotechnology 6,377,2006から公知である。拡大された細孔を有するメソポーラスシリカの皮膜の調製も、文献「Ordered large−pore mesoporous silica film with Im3m symmetry synthesized in ternary copolymer−butanol−water system」by Fang et al.,Materials Letters,60,5,2006,581−584から公知である。
しかしながら、これらのメソポーラス層の外表面は、一般に、構造化も選択的官能基化も有さず、ナノ物体の配置の制御に使用することができない。
別の関連では、化学的エッチングに供した場合のメソ構造化されたシリカの皮膜の挙動の研究も、文献「Grating induced micelle alignment of mesostructured silica films」,Applied Physics Letters,91,2,2007から公知である。皮膜の最終崩壊前の数段階の存在を示唆する、メソポーラスシリカの皮膜をソーダ溶液による攻撃に供する効果の研究も、文献「On the etching of silica and mesoporous silica films determined by X−ray reflectivity and atomic force microscopy」,Thin solid films,517,9,3028,2009から公知である。
これらの研究において使用される方法は、材料の除去の制御を可能とせず、層の多孔構造を急速に破壊する。
酸化チタンの構造化層の熱処理により得られるピットの形成の機序の研究も、文献「Surface Nanopatterning by Organic/Inorganic Self−Assembly and Selective Local Functionalization」,Small,2006,2,587から公知である。か焼工程は存在し得るいかなる脆性化学基も破壊し、外表面の後続の使用は想定できない。
Aisson et al.,Surface Science 2007,601,2611
Pure & Appl.Chem.,Vol.57,No.4,pp.603−619,1985
First Direct Synthesis of highly ordered bifunctional mesoporous silica thin films by Mehdi et al.,J.Nanosciences and Nanotechnology 6,377,2006
Ordered large−pore mesoporous silica film with Im3m symmetry synthesized in ternary copolymer−butanol−water system by Fang et al.,Materials Letters,60,5,2006,581−584
Grating induced micelle alignment of mesostructured silica films,Applied Physics Letters,91,2,2007
On the etching of silica and mesoporous silica films determined by X−ray reflectivity and atomic force microscopy,Thin solid films,517,9,3028,2009
Surface Nanopatterning by Organic/Inorganic Self−Assembly and Selective Local Functionalization,Small,2006,2,587
本発明は、これらの問題を解決する。
上記問題を解決するため、本発明は、少なくとも1個の埋設された細孔を含む材料に適用される材料除去工程を含む、構造化表面を調製する方法を提案する。材料の除去は、材料の除去により影響を受けない細孔の内表面の部分がアクセス可能となるように実施される。このことは、材料の除去の継続時間、強度および方向の条件を適応させることにより達成することができる。細孔の内表面は、化学固定基を含む。
一般に、当該化学固定基は、細孔の内表面との同一平面として、または細孔の内表面から突出して提供することができることに留意すべきである。これらの基は、短くても長くてもよく、分枝鎖でも直鎖でもよいスペーサーにより材料のバルクに連結することができる。典型的には、スペーサーは、材料からの化学固定基の距離を増加させ、立体障害の効果の回避を可能とする構造に対応する。スペーサー基の構造はこの環境との低い反応性を有し、例えばアルキルまたはシクロアルキルタイプの鎖に対応し得る。
材料の除去は、物理的、化学的または物理化学的研磨処理により実施することができ、研磨速度は好ましくは1分当たり数nm(5nm.s−1未満またはさらには1nm.s−1未満)のオーダーであり、水平度(除去される厚さに関して表面の最高点と最低点との差として定義)は10%未満またはさらには5%もしくは2.5%である。
研磨は、加圧液体、例えば水、有機溶媒または窒素により、超音波またはガス、例えば圧縮空気と場合により組み合わせて実施することができる。
研磨は、研磨剤、即ち、微細化固体粒子の形態の生成物により、単独で、または担体液体(例えば水)もしくは担体ガス(例えば圧縮空気)中で実施することができる。研磨剤は、無機物でも有機物でもよい。
研磨は、温度および圧力の標準状態(25℃、1気圧)下で、他の形態よりもガス形態が安定である化学物質、例えば固体状態または超臨界状態の「ドライアイス」の粒子により実施することもできる。
さらに、研磨は、処理すべき表面の物理的パラメーター、例えばこの温度の変化を誘導する効果を有し、この表面の気化および分散をもたらすことができるレーザービームまたはマイクロ波タイプの電磁照射により実施することができる。
最後に、研磨は、磨き操作を実施する装置の固体表面により誘導される機械的なものであってよい。研磨は、溶液中での化学的方法もしくは乾燥化学的方法またはアニーリングにより実施することもできる。
細孔および適切な研磨の使用により、後にアクセス可能となる固定基を保存しながらナノ構造化表面を得ることが可能となる。異方性研磨技術の使用、即ち、少なくとも1個の細孔を含む材料を包囲する媒体が非異方性または配向移動(例えば流れの存在)を受ける技術が、これに関して有利である。
影響を受けず、アクセス可能とされる細孔の部分は、セルと呼ばれる。セルは、球体の断片の形状を有することができる。
「細孔またはセルの内表面をアクセス可能とする」は、物体が障害物に直面することなく材料の外部から直線移動して表面に到達することができる立体角を増加させることを意味する。
研磨は細孔中に開口を作出し、この開口を介してセルは材料の外部からアクセス可能である。材料の処理のための全工程は、表面が少なくとも該セルを含む場合には構造化表面として記載される、表面を開放するように実施される。この表面は平らであっても屈曲部を有してもよい。
本発明は、分子エレクトロニクス、ナノエレクトロニクス、マグネティズム、ナノオプティクス、生物学(特にDNAチップ)および化学(触媒、化学センサ)の産業分野に適合する。
固定基は、ナノ物体を特異的に固定するのに使用することができ、従ってナノ物体をセル中で位置調整することを可能とし、またはさらには幾つかのセルが組織化された網目を形成する場合には組織化されることが可能な、化学官能基である。固定基は、ナノ物体についての物理化学的親和性を示す。
一般的にナノ物体懸濁液と固定基を担持する表面との接触の継続時間を、懸濁液内のナノ物体の濃度の減少と相関づけることが可能である場合、固定基とナノ物体との間に親和性が存在すると考えられ、プラトー値が、懸濁液中のナノ物体のいかなる脱混合とも独立して達せられる。
従って、親和性が存在するナノ物体/固定基ペアを決定することが可能である。親和性は、一般に、ナノ物体の表面と固定基との間に現れる弱いまたは強いタイプの相互作用に起因する。弱いタイプの相互作用のうち、特に、水素結合、イオンタイプの結合、錯体形成結合、パイ相互作用(「パイスタッキング」)、ファンデルワールス結合、疎水性結合(または界面活性剤タイプの非極性結合)を挙げることができ、強い結合のうち、自然に形成することができる共有結合を挙げることができる。
これに関して使用することができる化学官能基のうち、特に、アミン、ニトリル、チオール官能基または蛍光体を含む官能基を挙げることができる。
ナノ物体は、ナノメートルサイズの物体であり、この最大寸法は、1μm未満であり、典型的には100または25nm未満である。ナノ物体は特に、ナノ粒子、ナノ結晶、ナノワイヤまたはナノチューブまたはナノカラムであり得る。このようなナノ物体は有機でも無機でもよく、溶液でも気相でもよい。ナノ物体は、表面上に1種以上の有機リガンドを含むことができる。
本発明に関して使用されるナノ物体は、有利には、研磨工程の間に細孔中で作製される開口の平均サイズよりも小さいサイズを有し、このことによりナノ物体が開口中に進入することが可能となる。
有利な特徴によれば、従って本方法は、構造化表面上でのナノ物体の位置調整の工程をさらに含む。
従って、表面レリーフの構造中で、例えば表面においてアクセス可能とされた細孔(セル)の内表面上で位置調整されたナノ物体を有する表面が得られる。
このことは、ナノ物体の位置調整についての重要な電位障壁の利点を提供する。
有利な特徴によれば、位置調整は、例えば溶液中での含浸による堆積を含む。
有利な特徴によれば、処理される材料は埋設された細孔層を処理前に含有し、材料の除去は、層の細孔のそれぞれの内表面の一部がアクセス可能となるように実施される。表面は平面であってよいが、屈曲部を有してもよい。
場合により、層は、配列された細孔の網目を含有する。配列されたセルの網目を含む構造化された表面は、これから得られる。ナノ物体をこのセルの網目中に配置することにより、アクセス可能であり、操作可能であるこれらのナノ物体の位置調整の制御が達成される。なぜならば、ナノ物体が配置が既知であるセル中に配されるからである。
有利な特徴によれば、研磨工程の間に除去される材料は、細孔の層の面に関して、前記材料の除去によりアクセス可能とされる特に機能的に重要である下方領域に対向する連続層である。
従って、容積組織化を有する材料から出発して、制御された構造特性を有し、材料中の対象となる下方領域にアクセス可能性を提供する構造化レリーフの表面を得る。用途に応じて、こうして新たなアクセス可能性が提供される対象となる領域は、処理される材料の領域または処理される材料が配置されているまたは合成された担体の領域である。
有利な特徴によれば、材料の除去は、入射を制御して適用されるビーム、例えばイオンビームによる研磨により実施される。入射角は、材料の基準表面に対して、細孔の層が平面である場合には例えば細孔の層に平行して好ましくは、0から10°または好ましくは、0から5°またはさらには0から2°である。これらの低い値の角度について、入射はグレージングと記載される。
細孔周囲の材料を除去することにより、ビーム、例えばイオンビームによる研磨、ナノ構造化表面が巨視的寸法で生じる。この研磨技術により、さらに細孔の表面上に特異的に存在する化学官能基を保存することが可能となる。
イオンビーム研磨は、アルゴン、酸素または好適な研磨速度を提供する別のタイプのガスのビームを用いて適用することができる。
有利な特徴によれば、少なくとも1個の細孔を含む材料は、例えば前記少なくとも1個の細孔を含む材料の前駆体を含有する溶液の回転被覆または浸漬被覆による、基板または担体上での堆積後の溶媒の蒸発により事前に形成され、前駆体はその間に縮合反応を受ける。
従って、材料を調製する方法は、最初に、溶液材料の固体材料への転換の現象を含み、この間に反応物質は、例えば相変化またはゾル−ゲル縮合現象を含む物理化学反応を受け、こうして物質による固体構造が獲得される。
例えば、材料は複数のメソ細孔を含有し、メソポーラス材料と記載される。有利な特徴によれば、溶媒は、このための1種以上の界面活性剤を含む。次いで、1種以上の界面活性剤の存在下での、前駆体の溶液の反応の工程は、メソポーラス材料の形状を決定する構造化工程を構成する。
選択される界面活性剤により、好適な細孔間距離および好適な細孔サイズを有する特定の既知の制御された形状が得られる。
または、材料の構造化は、電気化学的に誘導することもできる。例えば、界面活性剤およびシリカゾルを含有する溶液中に浸漬される電極に適用される電位は、自己集合した界面活性剤周囲におけるシリカ前駆体の重縮合の反応を触媒するためのヒドロキシルイオンを生じさせる。従って、電位は、電極表面上での直接的なメソ構造化層の成長を誘発する。
有利な特徴によれば、材料が合成される溶液が、細孔の表面上での固定基の自然な配置のために前駆体と反応することができる分子を含有する。従って、このことは直接合成と呼ばれる。
例えば、これらの分子は、材料の前駆体分子と縮合することができる、材料中に固定化のための基およびこの分子が材料除去工程によりアクセス可能とされると構造化表面上でナノ粒子についての固定基として機能することができる、結合または錯体化のための化学官能基を含む。
有利な特徴によれば、材料は、球状細孔を含む。代替的にまたは組合せで、材料は、準線が好ましくは材料が堆積される担体の表面に実質的に平行である円筒状細孔を適宜含む。
球状および円筒状単位は、2から50nmの直径を有することができる。単位間の距離は、1から50nmまたは2から10nmで変動し得る。
有利な特徴によれば、直接合成の代替例であるがこれと組合せ可能であり、本方法は、材料除去工程前に、処理すべき材料またはこの前駆体の表面と反応することができる化学固定基を有する、少なくとも1種の物質を含有する溶液中での処理すべき材料の含浸により実施することができる官能基化工程を含む。前記官能基化工程を材料構造化(または合成)工程に続けると、この官能基化工程はポスト合成と記載される。官能基化工程は、特に1個以上の細孔の形成に続けられる。
別の実施形態によれば、直接合成は、少なくとも1個の化学固定基前駆体を含む、少なくとも1個の細孔を有する材料をもたらし、前駆体は続いて化学固定基に変換される。前駆体および化学固定基の間には、典型的には、一般に2つ以下の限られた数の化学工程が存在する。
このような工程により、直接合成により得ることができる固定基とは異なっていてもよい、細孔中で固定基として機能することができる化学官能基を有する、少なくとも1個の細孔を含む材料を調製することが可能となる。直接合成により得られる固定基を、ポスト合成反応により(完全にまたは部分的に)改質することもできる。
有利な特徴によれば、材料除去工程は、処理すべき材料が事前に堆積されたまたは合成された担体の表面が、細孔の内部空間を介して、アクセス可能となるように実施される。従って、担体の材料の物理または化学特性を利用することまたは細孔の内部空間を介する担体の転換を実施することが可能である。これは、アクセス可能とされる、特定機能の下方領域の例である。
有利な特徴によれば、本方法は、こうしてアクセス可能とされた担体の表面の化学官能基化の工程も含む。この官能基化は、材料除去工程の前または後に実施することができる。
別の有利な特徴によれば、本方法は、構造化表面上でのナノ物体の位置調整の工程後に、材料の残留物の除去の工程を含む。
有利な特徴によれば、少なくとも1個の細孔を含む材料は、金属酸化物、例えばケイ素(SiO2)、チタン(TiO2)、亜鉛(ZnO)またはアルミニウム(Al2O3)の酸化物のファミリーの多孔性材料から選択される。この材料は、メソ構造化ハイブリッド有機/無機多孔性材料であり得る。この材料は、機能的または構造的役割を有する追加の元素または合成様式から生じる微量元素を含有することができる。
有利な特徴によれば、材料は、表面が細孔の内表面であろうと材料の外表面であろうと、材料の表面からある距離において埋設された官能基(即ち、少なくとも電荷を交換することができる埋設された化学基)もこのバルクに含む。この官能基は、直接合成により得られるものであり得、構造化表面上に位置されるナノ物体との物理または物理化学反応の実施に役立つことができる。
本発明はまた、提示された方法により得られる表面に関する。
本発明を目下、以下の付属の図面を参照して詳細に記載する。
図1では、球状細孔の立体配置を有するシリカの薄膜100を調製する。メソポーラスシリカの皮膜100は、ケイ素基板または担体101を浸漬被覆することにより合成する。これらの皮膜は、トリブロックコポリマーのファミリーに属する界面活性剤F127 102により構造化し、6nmの直径を有する球状細孔110を形成することが可能となる。浸漬被覆溶液は、2工程において調製する。第1の工程において、シリカ前駆体(テトラエトキシシラン、以下TEOSと称する。)を、「原液」と称される水、塩酸およびエタノールの溶液中で予備加水分解する。この溶液のpHは、好ましくは、シリカの等電点と同一程度のオーダーであるように選択し(ilは2であり、従ってpHは典型的には1.2から2.6である。)、このことにより縮合の機序を減速することにより、アルコキシドを加水分解することが可能となる。原液は1時間撹拌する。
加水分解したら、溶液をエタノール中で溶解させた界面活性剤からなるF127のミセル溶液に添加する。
ケイ素基板を、以下の化学量論比からなる溶液中で浸漬する:1のTEOSに対して32のEtOH、5のH2O、0.005のHClおよび0.004のF127。最終溶液を1時間撹拌する。
次いで、皮膜100により被覆された基板を溶液から14cm.分−1の一定速度において抜き出す。形成された皮膜の全厚は100nmのオーダーである。次いで、基板を80℃において4日間乾燥させて基板の機械強度を改善し、次いでエタノールにより80℃において2時間すすいで構造形成界面活性剤102を取り出す(図2)。球状細孔110をIm3m立方対称に従って組織化し、メソポーラスシリカの重層105の存在を伴う。
本明細書に詳細に記載されている実施形態において、細孔110の化学官能基化は、直接合成により実施する。皮膜100の調製時において、シリカ前駆体の予備加水分解の工程の間、この皮膜内にある割合の官能基化前駆体、ここではシアノプロピル官能基を有する分子120(シアノプロピルトリエトキシシラン)を含める。この割合は、好ましくは10%である(TEOSに関する化学量論比)。
ここで、これらの分子120は、界面活性剤について十分な親和性を示し、シリカバルク(皮膜100)の固定化に役立つトリエトキシシラン基と、固定基として使用することができるシアノ官能基126との間のスペーサーとして作用するプロピルアーム122を含むことに留意すべきである(しかし、この分子は異なる長さを有することができる。)。このことを図2Aに説明する。これらの分子はTEOSと縮合し、従ってシリカ網目中に共有結合的に挿入される。
界面活性剤は、分子120の最良の保存を提供する溶媒、例えばエタノールによりすすぐことにより取り出す。次いで、分子120を細孔の表面に特異的にグラフト化する(図2)。明確にするため、1個の細孔およびセル当たり1個の分子120のみを示す。
図3では、メソポーラス層105の研磨は、Plassys MU400アルゴンガンCOPRAを用いて得られるアルゴンのビーム200の適用により実施する。供給源PBS COPRA DN160CFは、最大出力600Wの13.56MHzにおける無線周波数波により発生させる。
エッチングされる厚さは、アルゴンガスの圧力、ビーム200を発生させる無線周波数波の出力Prfおよびエッチング時間により制御する。一実施形態において、1.2×10−4torrの圧力P(Ar)、300Wのソース出力Prfおよび240秒の持続時間を使用する。
ビーム200の寸法は皮膜100の横寸法よりも大きく、この結果、全皮膜100が自然に処理されるが、代替例として、処理すべき表面全体上を移動する狭いビームにより皮膜100を処理することができる。
さらに、皮膜100は、処理が回転対称に従って均一に実施されるようにこの処理の間に360°の規則回転移動に従う。代替例として、ビーム200は回転移動に従うことができることが理解される。
このプロトコルにより、1秒当たり0.2nmの研磨速度を実現し、10cm2の面積について水平度を4.3%のオーダーとすることが可能となる。
次いで、細孔の第1の層105の開口およびイオンビームによるシリカ壁の研磨により、ビーム120をグレージング入射、例えば約5°で適用する場合(図3)、ビームの傾斜および細孔が構成する空洞の存在の組合せにより作出されるシェーディング効果により、セル115と呼ばれる開口細孔中にグラフト化された分子120を保持することが可能となる。シェーディングは、細孔周囲のシリカの本体(mass)によりもたらされる。このことを図3Aに説明し、基準116は、処理を停止した時点でビーム200により接触されなかったセル115の表面を示す。
サブナノメートルスケールの層105の厚さを特性決定するためにX線反射率の技術を使用する。240秒間のエッチングの前後に計測された反射率の曲線を図6に提示する(それぞれ曲線500および510)。X線反射率の計測は、波長1.789ÅのコバルトアノードのKα放射線を使用して、Philips Xpert反射率計を用いて実施した。
エッチングされた皮膜100について矢印により示す3つのBraggピークは、基板の面に垂直な方向における細孔105の層の周期性に起因する。
皮膜100の最終厚さは、Kiessigフリンジを生成する一方、層105の周期性は(エッチングされていない皮膜について0.067、0.13および0.20Å−1のqz値において位置する)Bragg反射を発生させる。Kiessigフリンジの分析は、ビーム200への曝露後に厚さが101nmから65.8nmに減少したことを示す。最初は11個の細孔の層105からなる皮膜100は、研磨後にこうして8個の層105へのこの厚さの低減が生じる。
Braggピークの位置は、処理後にわずかに(約0.075、0.14および0.22Å−1に)シフトするにすぎず、このことは処理が表面に垂直な層の周期性を顕著に変えなかったことを示す。Braggピークの位置は、層105(エッチング前は図2、エッチング後は図3)の厚さがエッチングの前後でそれぞれ9.4nmおよび8.5nmであることを示す。この小さい差は、細孔の球形状のわずかな歪みによる。
これら2つの特性は、下方多孔構造を破壊することなく第1のシリカの層105の除去に起因する皮膜100の全厚の減少と一致する。
表面のトポグラフィーは、走査型電子顕微鏡(SEM)により、電界放出銃を使用するHitachi 4100/ZEISS顕微鏡を用いて観察した。図7は、材料の除去後のメソポーラス皮膜100の上面のSEM画像を示す。この画像は、異なる配向性を有するドメインからなる結晶格子に従って組織化されたセル115の分布を示し、このドメインは、写真に付加された黒線により表されたドメイン境界160により区切られる。ドメインの平均サイズは約0.02μm2である。
別の実施形態によれば、層105の調製時に強磁場を適用してこれらのドメインのサイズを、単結晶格子からなる表面が得られるまで増加させることができる。
図9は、エッチング後のメソポーラス皮膜の断面のSEM画像を示す(切片は破砕により得た。)。比較のため、図8は、エッチング前の同一の皮膜を、同様に断面で同一技術を使用して示す。
断面は、反射率(図6)により事前に実証された11から8個への層の厚さの減少を裏付ける。
SEM画像は、この皮膜について予想されるIm3m対称が、この対称の軸[110]が表面の面に垂直であるような対称であることも裏付ける。
これらの画像は、エッチング後の細孔110のわずかな歪みが、基板に対して法線方向での8から6nmのこれらの円形断面の圧潰によるものであり得ることも示す。
図4および5では、結晶格子に従って組織化された単分散セル115からなり、セルの表面上に選択的に存在する官能基120を有する薄膜100のナノ構造化表面を、機能性ナノ粒子400のグラフト化に使用する。
細孔110の表面を、Fe−Pt(鉄−白金合金)の磁性ナノ粒子400と錯体を形成することができるシアノプロピル官能基120によりグラフト化する。これらの球状粒子は3nmの直径を有し、システインリガンド(チオール官能基)の環のために水溶液中で可溶性である。これらの粒子を、含浸工程の間、溶媒410中で提示する(図4)。
場合により、溶媒410の蒸発の間に現れる毛細管力1200を利用する。この毛細管力Fcは、蒸発時に溶媒滴の形状を制御し(図4において接触角θにより説明)、セル115中での粒子の堆積を促進する。
明確にするため、1個のグラフト化されたナノ粒子400のみを1個のセル115ごとに示す(図5)。
図11は、皮膜100の開口および官能基化メソポーラス表面上に吸着されたナノ粒子400の分布のSEM画像を示す。比較のため、図10は、官能基化されていない開口メソポーラス表面を示す(官能基120の不存在)。
ナノ粒子400を局在化する方法は、図2において把握されるとおり、追加の化学固定官能基120をセル115および粒子400上で使用する場合、大幅に拡充される。
実際、SEM画像の外観検査に基づき、官能基化された細孔110中の単離されたナノ粒子400の数は、シリカ壁と呼ばれる細孔間の表面上に吸着されたナノ粒子400の数よりも多く、官能基化されていない細孔110中に存在するナノ粒子400の数よりも多いと考えられる。
この観察は、1500個超の細孔110に基づく統計的アプローチにより確認され、この結果を図12に提示する。図12は、シアノプロピル官能基120により官能基化された皮膜100(カラム1110)のセル115中および官能基化されていない皮膜100(カラム1120)のセル110中に存在するFe−Ptのナノ粒子400の数を提示するヒストグラムを示す。
結果は、官能基化された皮膜100についてセル115中の粒子400の数が官能基化されていない皮膜100よりも7倍多いことを示す。セル115の外側で観察された粒子400に関して、比はかなり低く(それぞれカラム1130および1140)、この比は凝集した粒子400(それぞれカラム1150および1160)に関しても同様である。
この実施形態によれば、細孔110の充填度は、官能基化された皮膜100について30%のオーダーである。
このアプローチは、高密度の情報保存を有する材料としての用途におけるこれらの粒子400の局在化の制御を可能とする。表面上に組織化されたこのような粒子400の網目により、特に、磁界Bの適用により回転物を配向することおよび制御された様式で磁気力顕微鏡(MFM)のチップを用いて粒子に選択的に到達することが可能となる。
他の実施形態によれば、細孔110の表面上にグラフト化される化学官能基の密度の変化、粒子400および細孔110の追加の官能基化または粒子400およびセル115のサイズの比の調整のために充填度はより高い。
図1Aから1Cに示す別の実施形態によれば、メソ細孔の表面上での固定基の配置をポスト合成グラフト化により実施し、従ってメソポーラス層の構造化の工程を細孔の官能基化の工程とは分離し、この官能基化の工程の前に実施する。この工程のため、必要であれば、文献、例えばA.Stein et al.,Advanced Materials,12,1403(2000)の総説を参照することができる。
第一に、細孔710を含むメソポーラス材料700を形成し、界面活性剤を図1Aに示す状態に到達するまで取り出す。この後に、材料700のマイクロ細孔性(2nm未満の直径を有する細孔)を介して拡散することができる小分子を含有する溶液760による材料700の含浸を行う(図1B参照。)。これらの分子は、好適な条件下でシリカと反応するように選択し、溶媒760の除去後、固定基720を細孔710の表面上に提供する(図2と同一の図1C)。
別の実施形態によれば、基を直接官能基化によりグラフト化し、次いで基を化学的に改質し、クラスター(またはマクロ分子)をこの基にポスト合成によりグラフト化する。
図13から15に示す別の実施形態によれば、図13において細孔の層1305を有する図2に提示するものと同様の構造から出発して、研磨特性(図14)を調整してメソポーラス材料1300を最初に堆積させた下方基板1301が、セル1150の底部に出現することを可能とするナノ構造化表面を形成する。
メソポーラス材料をこのように基板上に堆積させる場合、数多くの細孔1310が基板上で開口することに留意すべきである(図13)。従って、図15におけるエッチング工程の終了時、細孔の単一層のみが残留するにすぎず、セル1150を形成する少なくとも一部の細孔は外部に開口し(図15、上部)、こうしてナノ構造表面1500を構成し、同時に下方基板1301への開口を構成する(図15、底部)。好ましくは、従って、メソポーラス材料のベースにより底部においていかなる密閉セルも存在しないが、ナノ構造化表面は、基板1301の曝露表面1306間で連続するシリカ壁1155からなり、このことにより基板1301がセル1150を介してアクセス可能である。
次いで、イオンビーム200によるエッチングが極めて小さい層厚まで均一であることを利用し、このことにより極めて均一なナノ構造化表面1500を得ることが可能になり、セル1150は互いに極めて類似している。
化学官能基1320は、材料1310の皮膜の調製の間の直接合成による官能基化のため、メソポーラス材料1300の合成から出発するある変法において存在する(図2に関する上記および官能基化された前駆体の使用を参照。)。これらの官能基は、多孔が開口したら、好ましくは細孔中で、細孔またはセル1150の中心に指向された分子の官能性頭部を有する細孔の表面上に特異的にグラフト化する。または、これらの基をメソポーラス材料のポスト合成官能基化により提供することが可能であった(図示せず。)。
このとき、他の化学官能基1325を基板1301の表面上に、ポスト合成官能基化により付加することができる(図13)。
従って、研磨の終了時(図15)、基板1301の曝露表面1306は官能基1325を担持する。
特定の実施形態によれば、曝露領域1306をシリカ壁1155の表面とは別に官能基化する。メソポーラス材料の官能基化をポスト合成により実施する場合、この官能基化のために、2つの異なる分子をポスト合成含浸により適用することによりこれら2つの表面の異なる化学的性質を利用し、一方の分子はシリカとの反応に好適であり、他方は基板表面との反応に好適である。化学基1325は、結合または錯体化を補助する固定基、例えばニトリル官能基である。
さらに細孔を介する担体のフラッシュ表面のアクセス可能性に基づく変法によれば、従って2から50nmのパターンのサイズを有する無機マスクをリトグラフィーのために形成する(図21から24)。
細孔2310が固定基2320により官能基化されており、担体2301上に配置されている層2305を有するメソポーラス皮膜2300(図21)から出発して、研磨を事前に実施して(図22)基板2301の表面2306を、セル2315を介してアクセス可能とする。
次いで、細孔2310の壁の表面上にグラフト化された化学官能基2320を、ナノ粒子2400、例えば金属の固定に利用する(図23)。こうしてこれらの粒子の合体が制御されたナノメートル直径の、担体2301の表面上で互いに対向して組織化された環(または小さい円筒体)の形成を生じさせる。
シリカ壁2155の除去後(図24)、環の集合物2500が得られ、こうしてマスクおよび/または元のナノ構造を構成する。
図16では、別の実施形態によれば、p6m六方晶系対称のメソポーラス皮膜の円筒細孔が表面において開口している。実際、使用される界面活性体のタイプおよびこれらの導入濃度に応じて、異なる形状、例えば球状または円筒状を有する細孔1610を発生させることが可能である。例えば、シリカ層1605を界面活性剤P123により構造化し、2D六方晶対称の組織化された直径5nmの円筒状細孔の形成を可能とする。従って、ナノ粒子は、球体に加え、固定基1620により固定されたナノワイヤまたはナノチューブ1640であってもよい。
図17、18および19に提示する断面のSEM画像は、50、200および480秒の研磨(エッチング)時間後に得られる。これらの画像は、デジタルプリントのように組織化された、表面にアラインした溝1700の存在の明らかにする。
図20は、これらの画像において観察されるとおり、エッチング厚さが研磨(エッチング)時間に線形に比例することを示す。
図19に示す480秒のエッチング時間については、ナノ構造化皮膜は4nmの厚さであるにすぎない。エッチングは、極めて小さい厚さまで均一である。
他の実施形態によれば、細孔のアライメントは、事前にレリーフのパターンを有する基板の使用により、または層の調製時における強磁場の適用により改善される。
別の実施形態によれば、方法は、円筒状細孔中でのダイアモンドナノ粒子のグラフト化に用いる。従って、使用される官能基のタイプは、細孔の表面上でグラフト化されて粒子の表面上に存在するカルボキシル基とペプチド結合を形成するアミン官能基である。ナノ粒子は、反応器としての後の使用およびダイアモンドナノワイヤの形成のために円筒体中でアラインされる。
図25および26に示す実施形態において、シリカ皮膜3100のバルクの官能基化は、細孔3110中での固定基3120の埋め込みの他に、直接合成により実施することもできる。官能基化されたビシリル化シリカ前駆体3500を、メソポーラス材料の合成のための溶液に添加する。これらの前駆体は、2個のシリル化末端3510の間に1個以上の官能基3520を含むことができ、この基は、アリール基、金属および有機化学官能基、例えば窒素含有または酸素含有官能基であり得る。
2個のシリル化末端3510を担持するこれらの分子は、シリカ網目の残部との重縮合を受け、官能基3520をシリカ壁の中央に担持する。従って、材料は、官能基もこのバルクに含む(図25)。
研磨後(図26)、これらの官能基3520はシリカ壁3155の内側に存在し、場合により5から25Å以上の距離にわたり固定基3120によりセル3115中に位置されたナノ物体3400との物理または物理化学相互作用の実施に使用される。壁3155が構成される材料の原子は、官能基3520とナノ物体3400との間の中間空間中に存在することができる。
他の変法によれば、種々の官能基を種々の比率で用いて細孔の多官能基化を実施する。
他の実施形態において、使用されるメソポーラス材料は、シリカに代えて、前駆体、例えば四塩化チタン(TiCl4)またはチタンイソプロポキシド(Ti(OiPr)4)により得られる酸化チタンである。
他の実施形態において、メソポーラス材料が堆積される担体101、1300または2300は、ケイ素以外の材料、例えばガラスもしくは金または担体の表面上での皮膜の均質な堆積を得るためにメソポーラス材料に関して十分な親和性を示す別の材料からなる。さらに、任意の担体材料の表面は、この親和性を改善するために(特に、中間層を堆積させることにより、化学またはUVオゾン処理などにより)改質することができる。
本発明は、提示の実施形態に限定されるものではないが、当業者の能力内の変法を含む。
Claims (21)
- 少なくとも1個の埋設された細孔(110;710;1310;1610;2310;3110)を含む材料に適用される制御された材料除去の工程を含む、機能性構造化表面を調製する方法であって、細孔の内表面が、少なくとも1個の化学固定基(120;720;1320;1620;2320;3120)を含み、材料の除去が、細孔周囲の本体によりもたらされるシェーディング効果により材料の除去による影響を受けない細孔の内表面の一部がアクセス可能となるように異方性研磨の技術により実施される方法。
- 構造化表面上のナノ物体(400;1640;2400;3400)の位置調整の工程をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の方法。
- 前記位置調整が、前記化学固定基(120;720;1320;1620;2320;3120)を用いる化学親和性による安定化を含むことを特徴とする、請求項2に記載の方法。
- 位置調整が、含浸による堆積を含むことを特徴とする、請求項2または3の一項に記載の方法。
- 前記材料が少なくとも1つの細孔の層(105;705;1305;1605;2305)を含有し、細孔のそれぞれの内表面の少なくとも一部が化学固定基(120;720;1320;1620;2320;3120)を含み、材料の除去が、材料の除去により影響を受けない細孔のそれぞれの内表面の部分がアクセス可能となるように選択される継続時間、強度および方向の条件を用いて実施されることを特徴とする、請求項1から4の一項に記載の方法。
- 材料の除去が、入射を制御したビーム(200)の適用により実施されることを特徴とする、請求項1から5の一項に記載の方法。
- 前記ビームが、アルゴンイオンのビーム(200)であることを特徴とする、請求項6に記載の方法。
- 少なくとも1個の細孔を含む材料が、前記材料の前駆体を含有する溶液から事前に形成されることを特徴とする、請求項1から7の一項に記載の方法。
- 溶液が界面活性剤(102)を最初に含むことを特徴とする、請求項8に記載の方法。
- 溶液が、細孔の表面上での固定基(120;1320;1620;2320;3120)の配置のために前駆体と反応することができる分子を含有することを特徴とする、請求項8または9に記載の方法。
- 少なくとも1個の細孔の形成の工程後、少なくとも1個の化学固定基(720;1320;1620;2320;3120)の付加の工程を含むことを特徴とする、請求項1から10の一項に記載の方法。
- 材料が少なくとも1個の球状細孔(110)を含むことを特徴とする、請求項1から10の一項に記載の方法。
- 材料が少なくとも1個の円筒状細孔(1610)を含むことを特徴とする、請求項1から11の一項に記載の方法。
- 材料除去工程が、細孔の内部空間を介して、前記材料が配置される担体(1301;2301)の表面(1306;2306)がアクセス可能となるように実施されることを特徴とする、請求項1から13の一項に記載の方法。
- 前記担体の表面(1306)上での化学固定基の付加の工程も含むことを特徴とする、請求項14に記載の方法。
- 構造化表面上でのナノ物体(2400)の位置調整の工程後、少なくとも1個の細孔を含む材料の残留物(2155)の除去の工程をさらに含むことを特徴とする、請求項14または15に記載の方法。
- 少なくとも1個の細孔を含む材料が、ケイ素、チタン、亜鉛またはアルミニウムの酸化物から選択されることを特徴とする、請求項1から16の一項に記載の方法。
- 化学固定基(120;1320;1620;2320;3120)がニトリル官能基を含むことを特徴とする、請求項1から17の一項に記載の方法。
- 少なくとも1個の細孔を含む材料が、このバルクに電荷を交換することができる化学基(3520)も含むことを特徴とする、請求項1から17の一項に記載の方法。
- 表面が少なくとも1個の化学固定基(120;2320;3120)を含む少なくとも1個のメソ細孔セル(115;2315;3115)を含む機能性構造化表面。
- 請求項1から19の一項に記載の方法により得られるナノ構造化表面。
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